JP2019204039A - Method for forming translucent member and method for manufacturing light-emitting device, and light-emitting device - Google Patents

Method for forming translucent member and method for manufacturing light-emitting device, and light-emitting device Download PDF

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Abstract

To provide a new method for imparting a fine uneven shape.SOLUTION: A method for forming a translucent member includes a step of irradiating a main surface 140a of a resin body 140X after curing containing a silicone resin via a photomask 200 having a light-shielding region 200s and a transmission region 200t with ultraviolet rays, and thereby making a height of a first region R1 corresponding to the light-shielding region of the photomask in the main surface and a height of a second region R2 corresponding to the transmission region of the photomask in the main surface different from each other.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、透光性部材の形成方法および発光装置の製造方法に関する。また、本開示は、発光装置にも関する。   The present disclosure relates to a method for forming a translucent member and a method for manufacturing a light emitting device. The present disclosure also relates to a light emitting device.

微細な凹凸形状を形成する技術として、微細な凹凸を有する型の表面形状を樹脂材料の層に転写するインプリント法が知られている。インプリント法によって形状が転写される対象は、熱可塑性樹脂または紫外線硬化性樹脂である。前者では、型を熱可塑性樹脂に押し当て、加熱によって熱可塑性樹脂を硬化させた後、熱可塑性樹脂から型を分離する。後者では、紫外線を透過する型を紫外線硬化性樹脂に押し当て、型を介した紫外線の照射によって紫外線硬化性樹脂を硬化させた後、紫外線硬化性樹脂から型を分離する。   As a technique for forming a fine uneven shape, an imprint method is known in which a surface shape of a mold having fine unevenness is transferred to a resin material layer. The object whose shape is transferred by the imprint method is a thermoplastic resin or an ultraviolet curable resin. In the former, after a mold is pressed against a thermoplastic resin and the thermoplastic resin is cured by heating, the mold is separated from the thermoplastic resin. In the latter, a mold that transmits ultraviolet light is pressed against the ultraviolet curable resin, and the mold is separated from the ultraviolet curable resin after the ultraviolet curable resin is cured by irradiation of ultraviolet rays through the mold.

インプリント法は、下記の特許文献1に開示されるように、例えば、表示装置用の反射防止フィルムの形成に用いられる。あるいは、インプリント法は、偏光フィルム等の製造にも用いられ得る。また、インプリント法は、エッチングに用いるレジストパターンの形成に適用されることもある。下記の特許文献2は、n型半導体層およびp型半導体層を含む半導体積層部の表面に錐台形状または錐体形状のパターンを形成するためのマスクの形成に、インプリント法を適用可能であると説明している。このように、インプリント法は、発光ダイオード(LED)に代表される発光素子、有機EL発光装置等における光取り出し効率向上のための凹凸形状の付与への応用も期待されている。   The imprint method is used for forming an antireflection film for a display device, for example, as disclosed in Patent Document 1 below. Alternatively, the imprint method can be used for manufacturing a polarizing film or the like. The imprint method may be applied to the formation of a resist pattern used for etching. In Patent Document 2 below, the imprint method can be applied to the formation of a mask for forming a frustum-shaped or pyramidal pattern on the surface of a semiconductor stacked portion including an n-type semiconductor layer and a p-type semiconductor layer. Explain that there is. As described above, the imprint method is also expected to be applied to the provision of uneven shapes for improving light extraction efficiency in light emitting elements typified by light emitting diodes (LEDs) and organic EL light emitting devices.

特開2017−032806号公報JP 2017-032806 A 特開2016−001639号公報JP, 2006-001639, A

インプリント法によれば、微細な凹凸形状を形成することが可能である。しかしながら、形状を付与可能な対象は、現状、未硬化の状態の熱可塑性樹脂または紫外線硬化性樹脂のいずれかであるという制約がある。   According to the imprint method, it is possible to form a fine uneven shape. However, at present, there is a restriction that the object to which the shape can be imparted is either an uncured thermoplastic resin or an ultraviolet curable resin.

本開示のある実施形態による透光性部材の形成方法は、主面を有し、シリコーン樹脂を含む硬化後の樹脂体の前記主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記主面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記主面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程を含む。   According to an embodiment of the present disclosure, a method for forming a translucent member includes a main surface, and the main surface of the cured resin body including a silicone resin is irradiated with ultraviolet light through a photomask having a light shielding region and a transmission region. The height of the first region corresponding to the light-shielding region of the photomask on the main surface and the height of the second region corresponding to the transmission region of the photomask on the main surface Including different steps.

本開示の他のある実施形態による発光装置の製造方法は、上面を有する発光素子と、主面を有し、未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された透光性の樹脂体であって、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う樹脂体とを有する発光体を準備する工程(a)と、表面に凹凸のパターンを有し、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(b)とを含み、前記工程(b)は、前記樹脂体の前記主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記主面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記主面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程(b1)を含む。   A method of manufacturing a light emitting device according to another embodiment of the present disclosure includes a light emitting element having an upper surface and a translucent resin body having a main surface and formed by curing an uncured silicone resin raw material. A step (a) of preparing a light emitter having a resin body covering at least the upper surface of the light emitting element, and a translucent member having an uneven pattern on the surface and covering at least the upper surface of the light emitting element The step (b) includes irradiating the main surface of the resin body with ultraviolet light through a photomask having a light shielding region and a transmission region. A step (b1) of making the height of the first region corresponding to the light shielding region of the photomask different from the height of the second region corresponding to the transmission region of the photomask on the main surface.

本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の製造方法は、上面を有し、前記上面とは反対側に正極および負極が設けられた発光素子を準備する工程(a)と、表面に凹凸のパターンを有し、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(b)とを含み、前記工程(b)は、未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された透光性の樹脂体の表面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記表面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記表面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程(b1)を含む。   According to still another embodiment of the present disclosure, a method of manufacturing a light emitting device includes a step (a) of preparing a light emitting element having a top surface and having a positive electrode and a negative electrode provided on a side opposite to the top surface, And (b) forming a translucent member that covers at least the upper surface of the light emitting element, and the step (b) is formed by curing an uncured silicone resin raw material. By irradiating the surface of the translucent resin body with ultraviolet rays through a photomask having a light-shielding region and a light-transmitting region, the height of the first region corresponding to the light-shielding region of the photomask on the surface is increased. And (b1) including making the heights of the second regions corresponding to the transmission regions of the photomask different from each other on the surface.

本開示のさらに他のある実施形態による発光装置の製造方法は、上面を有し、前記上面とは反対側に正極および負極が設けられた発光素子を準備する工程(a)と、表面に凹凸のパターンを有し、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(b)とを含み、前記工程(b)は、未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された透光シートの主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記主面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記主面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程(b1)と、紫外線で照射された前記透光シートを前記発光素子の前記上面側に配置する工程(b2)とを含む。   According to still another embodiment of the present disclosure, a method of manufacturing a light emitting device includes a step (a) of preparing a light emitting element having a top surface and having a positive electrode and a negative electrode provided on a side opposite to the top surface, And (b) forming a translucent member that covers at least the upper surface of the light emitting element, and the step (b) is formed by curing an uncured silicone resin raw material. By irradiating the main surface of the translucent sheet with ultraviolet light through a photomask having a light-shielding region and a light-transmitting region, the height of the first region corresponding to the light-shielding region of the photomask in the main surface, The step (b1) of making the height of the second region corresponding to the transmissive region of the photomask different from each other on the main surface, and the translucent sheet irradiated with ultraviolet light on the upper surface side of the light emitting element And a location for step (b2).

本開示のさらに他のある実施形態による発光装置は、上面を有する発光素子と、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆い、前記発光素子の前記上面の上方に位置する主面を含む透光性部材とを備え、前記透光性部材の前記主面は、凹凸のパターンを有しており、赤外分光によって得られる、前記透光性部材に関する吸収スペクトルの波数3700cm−1超3000cm−1未満の範囲に現れるSi−OH起因の吸収は、シリコーン樹脂に関する吸収スペクトルの前記範囲における吸収よりも大きく、前記透光性部材に関する吸収スペクトルの波数2960cm−1付近および800cm−1付近に現れるSi−CH起因の吸収ピークは、それぞれ、シリコーン樹脂に関する吸収スペクトルの波数2960cm−1付近および800cm−1付近の吸収ピークと比較して小さい。 According to still another embodiment of the present disclosure, a light-emitting device includes a light-emitting element having an upper surface, and a translucent member that covers at least the upper surface of the light-emitting element and is located above the upper surface of the light-emitting element. with the door, the main surface of the transparent member has a pattern of irregularity is obtained by infrared spectroscopy, the absorption spectrum for the light-transmitting member wavenumber 3700 cm -1 of less than super 3000 cm -1 absorption of Si-OH caused appearing in range is greater than the absorption in the range of the absorption spectrum for silicone resin, Si-CH 3 appearing in the vicinity of wave number 2960 cm -1 and around 800 cm -1 of the absorption spectrum for the light transmissive member absorption peak attributed, respectively, the wave number 2960 cm -1 and around 800 of the absorption spectra for silicone resin m -1 small compared with the absorption peak in the vicinity.

本開示のさらに他のある実施形態による発光装置は、上面を有する発光素子と、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆い、前記発光素子の前記上面の上方に位置する主面を含む透光性部材とを備え、前記透光性部材の前記主面は、凹凸のパターンを有しており、前記透光性部材の前記主面の瞬間接着力は、シリコーン樹脂の瞬間接着力よりも低い。   According to still another embodiment of the present disclosure, a light-emitting device includes a light-emitting element having an upper surface, and a translucent member that covers at least the upper surface of the light-emitting element and is located above the upper surface of the light-emitting element. The main surface of the translucent member has an uneven pattern, and the instantaneous adhesive force of the main surface of the translucent member is lower than the instantaneous adhesive force of silicone resin.

本開示のある実施形態によれば、微細な凹凸形状を付与する新規な方法が提供される。   According to an embodiment of the present disclosure, a novel method for providing a fine uneven shape is provided.

第1の実施形態による透光性部材の製造方法の概要を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the outline | summary of the manufacturing method of the translucent member by 1st Embodiment. 第1の実施形態による透光性部材の製造方法の他の例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the other example of the manufacturing method of the translucent member by 1st Embodiment. 第1の実施形態による透光性部材の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the translucent member by 1st Embodiment. 第1の実施形態による透光性部材の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the translucent member by 1st Embodiment. フォトマスク200の一例を示す模式的な平面図である。2 is a schematic plan view showing an example of a photomask 200. FIG. 透光性部材140の一例を示す模式的な断面図である。4 is a schematic cross-sectional view showing an example of a light transmissive member 140. FIG. 透光性部材140の一例を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing an example of a translucent member 140. 第2の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる例示的な発光装置の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the illustrative light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 図9に示すステップS22に含まれ得るステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the step which may be included in step S22 shown in FIG. 発光素子110Aおよび透光性の樹脂体140Uを有する発光体100Uの例示的な構成を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the exemplary structure of the light-emitting body 100U which has the light emitting element 110A and the translucent resin body 140U. 図9に示すステップS21に含まれ得るステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the step which may be included in step S21 shown in FIG. 発光体100Uの例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 発光体100Uの例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 発光体100Uの例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 発光体100Uの例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 発光体100Uの例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 発光体100Uの例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 第2の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 発光体100Uの他の例示的な製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the other exemplary manufacturing method of the light-emitting body 100U. 第2の実施形態による発光装置の製造方法の他の例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the other example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法の他の例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the other example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 基板410Aと、基板410A上に設けられた第1導電部411Aおよび第2導電部412Aとを有する複合基板400Aの一例を示す模式的な上面図である。It is a schematic top view showing an example of a composite substrate 400A having a substrate 410A and a first conductive portion 411A and a second conductive portion 412A provided on the substrate 410A. 発光装置100Bの外観の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the external appearance of the light-emitting device 100B. 図26に示す発光装置100Bを発光装置100Bの中央付近の位置で図26中のYZ面に平行に切断したときの断面を模式的に示す図である。FIG. 27 is a diagram schematically showing a cross section when the light emitting device 100B shown in FIG. 26 is cut in parallel with the YZ plane in FIG. 26 at a position near the center of the light emitting device 100B. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 図28に示すステップS24に含まれ得るステップを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the step which may be included in step S24 shown in FIG. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる発光装置のさらに他の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically another example of the light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 図28に示すステップS24に含まれ得るステップの他の例を説明するための図である。FIG. 29 is a diagram for explaining another example of steps that can be included in step S24 shown in FIG. 28. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating another example of the manufacturing method of the light-emitting device by 2nd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる例示的な発光装置の外観を模式的に示す上面図である。It is a top view which shows typically the external appearance of the exemplary light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる例示的な発光装置の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the illustrative light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる発光装置の断面の他の例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the other example of the cross section of the light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 図9に示すステップS21に含まれ得るステップの他の例を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the other example of the step which may be included in step S21 shown in FIG. 複合基板300Fの一例を示す模式的な上面図である。It is a typical top view which shows an example of the composite substrate 300F. 本開示の第3の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な上面図である。It is a typical top view for explaining a manufacturing method of a light emitting device by a 3rd embodiment of this indication. 第3の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。It is typical sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる他の例示的な発光装置の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the other illustrative light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られるさらに他の例示的な発光装置の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the further another light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られるさらに他の例示的な発光装置の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the further another light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られるさらに他の例示的な発光装置の構造を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the structure of the further another light-emitting device obtained by the manufacturing method of the light-emitting device by 3rd Embodiment. 実施例1−1のサンプルの表面を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the surface of the sample of Example 1-1. 実施例1−1のサンプルの表面形状を示す図である。It is a figure which shows the surface shape of the sample of Example 1-1. 実施例1−1のサンプルの断面プロファイルを示す図である。It is a figure which shows the cross-sectional profile of the sample of Example 1-1. 実施例1−2のサンプルの表面を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the surface of the sample of Example 1-2. 実施例1−2のサンプルの表面形状を示す図である。It is a figure which shows the surface shape of the sample of Example 1-2. 実施例1−3のサンプルの表面を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the surface of the sample of Example 1-3. 実施例1−3のサンプルの表面形状を示す図である。It is a figure which shows the surface shape of the sample of Example 1-3. 型の分離後の樹脂シートの表面形状を示す図である。It is a figure which shows the surface shape of the resin sheet after isolation | separation of a type | mold. 参考例2−1のサンプルの表面形状を示す図である。It is a figure which shows the surface shape of the sample of the reference example 2-1. 参考例2−2のサンプルの表面形状を示す図である。It is a figure which shows the surface shape of the sample of the reference example 2-2. フーリエ変換型赤外分光光度計によって得られた、参考例3のサンプルに関する透過光の赤外スペクトルを示す。The infrared spectrum of the transmitted light regarding the sample of the reference example 3 obtained by the Fourier-transform type infrared spectrophotometer is shown. 図64の一部を拡大して示す図であり、参考例3のサンプルに関する透過光の赤外スペクトルを示す。64 is an enlarged view of a part of FIG. 64, and shows an infrared spectrum of transmitted light related to the sample of Reference Example 3. FIG. 図64の一部を拡大して示す図であり、参考例3のサンプルに関する透過光の赤外スペクトルを示す。64 is an enlarged view of a part of FIG. 64, and shows an infrared spectrum of transmitted light related to the sample of Reference Example 3. FIG. 参考例3−1、参考例3−2および比較例の各サンプルの表面のタック性に関する測定結果を示す図である。It is a figure which shows the measurement result regarding the tackiness of the surface of each sample of the reference example 3-1, reference example 3-2, and a comparative example.

以下、図面を参照しながら、本開示の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態は、例示であり、本開示による透光性部材の形成方法および発光装置の製造方法は、以下の実施形態に限られない。例えば、以下の実施形態で示される数値、形状、材料、ステップ、そのステップの順序などは、あくまでも一例であり、技術的に矛盾が生じない限りにおいて種々の改変が可能である。   Hereinafter, embodiments of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiment is an exemplification, and the method for forming a light transmissive member and the method for manufacturing a light emitting device according to the present disclosure are not limited to the following embodiment. For example, the numerical values, shapes, materials, steps, order of the steps, and the like shown in the following embodiments are merely examples, and various modifications are possible as long as no technical contradiction arises.

図面が示す構成要素の寸法、形状等は、わかり易さのために誇張されている場合があり、実際の透光性部材、発光装置、および、製造装置における、寸法、形状および構成要素間の大小関係を反映していない場合がある。また、図面が過度に複雑になることを避けるために、一部の要素の図示を省略することがある。   The dimensions, shapes, and the like of the components shown in the drawings may be exaggerated for the sake of clarity, and the size, shape, and size of the components in the actual translucent member, light-emitting device, and manufacturing device may be large or small. The relationship may not be reflected. In addition, in order to avoid the drawing from becoming excessively complicated, illustration of some elements may be omitted.

以下の説明において、実質的に同じ機能を有する構成要素は共通の参照符号で示し、説明を省略することがある。以下の説明では、特定の方向または位置を示す用語(例えば、「上」、「下」、「右」、「左」およびそれらの用語を含む別の用語)を用いる場合がある。しかしながら、それらの用語は、参照した図面における相対的な方向または位置をわかり易さのために用いているに過ぎない。参照した図面における「上」、「下」等の用語による相対的な方向または位置の関係が同一であれば、本開示以外の図面、実際の製品、製造装置等において、参照した図面と同一の配置でなくてもよい。本開示において「平行」とは、特に他の言及がない限り、2つの直線、辺、面等が0°から±5°程度の範囲にある場合を含む。また、本開示において「垂直」または「直交」とは、特に他の言及がない限り、2つの直線、辺、面等が90°から±5°程度の範囲にある場合を含む。   In the following description, components having substantially the same function are denoted by common reference numerals, and description thereof may be omitted. In the following description, terms indicating a specific direction or position (eg, “up”, “down”, “right”, “left” and other terms including those terms) may be used. However, these terms only use relative directions or positions in the referenced drawings for clarity. If the relative direction or positional relationship in terms of “upper”, “lower”, etc. in the referenced drawing is the same, it is the same as the referenced drawing in drawings, actual products, manufacturing apparatuses, etc. other than this disclosure. It may not be an arrangement. In the present disclosure, “parallel” includes a case where two straight lines, sides, surfaces, and the like are in a range of about 0 ° to ± 5 ° unless otherwise specified. Further, in the present disclosure, “vertical” or “orthogonal” includes a case where two straight lines, sides, surfaces, and the like are in a range of about 90 ° to ± 5 ° unless otherwise specified.

(第1の実施形態)
図1および図2は、本開示の第1の実施形態による透光性部材の製造方法の概要を示すフローチャートである。図1に例示された透光性部材の製造方法は、概略的には、シリコーン樹脂を含む樹脂体の主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射する工程(ステップS11)を含む。後述するように、シリコーン樹脂を含む樹脂体の主面の一部に選択的に紫外線を照射することにより、主面のうち紫外線で照射された領域の高さと、主面のうち紫外線が当たらなかった領域の高さとを互いに異ならせ得る。すなわち、樹脂体の主面に基本的に非接触で凹凸を形成することが可能である。
(First embodiment)
FIG. 1 and FIG. 2 are flowcharts showing an outline of a method for manufacturing a translucent member according to the first embodiment of the present disclosure. The method for producing a translucent member illustrated in FIG. 1 is generally a process of irradiating a main surface of a resin body containing a silicone resin with ultraviolet rays through a photomask having a light shielding region and a transmission region (step). S11). As will be described later, by selectively irradiating a part of the main surface of the resin body containing the silicone resin with ultraviolet rays, the height of the region irradiated with the ultraviolet rays of the main surface and the ultraviolet rays of the main surface do not hit. The heights of the areas can be different from each other. That is, it is possible to form irregularities on the main surface of the resin body basically in a non-contact manner.

ここで、紫外線の照射の対象である樹脂体は、基本的には硬化された状態であり、本硬化(Cステージあるいは全硬化とも呼ばれる)状態の樹脂を指す。ただし、後述の実施形態において説明するように、紫外線の照射の対象である樹脂体として、予備硬化(Bステージあるいは半硬化とも呼ばれる)状態の樹脂を用いることも可能である。図1は、本硬化後の樹脂体を用いる例のフローを示し、紫外線照射後にさらなる硬化工程を有しない。樹脂体を一旦半硬化状態としてから本硬化を行い、その後に紫外線を照射してもよい。他方、図2は、半硬化後の樹脂体を用いる例を示し、図1の例と比較して、紫外線照射後に樹脂体を硬化させる工程(ステップS12)をさらに有する。図2に示すように、予備硬化状態の樹脂体を用いる場合には、樹脂体の主面を紫外線で照射する工程に続くその後の工程において硬化工程を実行する。本硬化状態の樹脂体を用いる場合は、その後の工程において、更なる硬化工程は必須ではない。特に断りがない限り、本明細書において単に「硬化」と記載されている場合、「硬化」とは本硬化のことを指す。   Here, the resin body that is the target of irradiation with ultraviolet rays is basically in a cured state, and refers to a resin in a main curing state (also referred to as C-stage or total curing). However, as will be described in an embodiment described later, a resin in a pre-cured (also referred to as B-stage or semi-cured) state can be used as the resin body that is the target of ultraviolet irradiation. FIG. 1 shows a flow of an example using a resin body after main curing, and does not have a further curing step after ultraviolet irradiation. The resin body may be temporarily cured after it is once cured, and then irradiated with ultraviolet rays. On the other hand, FIG. 2 shows an example using a semi-cured resin body, and further includes a step (step S12) of curing the resin body after irradiation with ultraviolet rays, as compared with the example of FIG. As shown in FIG. 2, when a precured resin body is used, the curing process is performed in a subsequent process following the process of irradiating the main surface of the resin body with ultraviolet rays. In the case of using a resin body in a fully cured state, a further curing step is not essential in the subsequent steps. Unless otherwise specified, when only “curing” is described in this specification, “curing” refers to main curing.

以下、図面を参照しながら、透光性部材の製造方法の実施形態を詳細に説明する。   Hereinafter, an embodiment of a method for producing a translucent member will be described in detail with reference to the drawings.

まず、図3に示すように、樹脂体140Xを準備する。図3に示す例において、樹脂体140Xは、全体として板状であり、平面状の主面140aを有する。ここでは、樹脂体140Xは、板状の部材である。なお、樹脂体140Xの形状は、板状に限らず任意の形状とすることができる。図3において樹脂体140Xの上面に相当する、主面140aの形状は、平面でもよく、あるいは曲面でもよい。樹脂体140Xは、例えば、10μm以上500μm以下程度の厚さを有し得る。   First, as shown in FIG. 3, a resin body 140X is prepared. In the example shown in FIG. 3, the resin body 140X is plate-like as a whole and has a planar main surface 140a. Here, the resin body 140X is a plate-like member. The shape of the resin body 140X is not limited to a plate shape, and may be an arbitrary shape. In FIG. 3, the shape of the main surface 140a corresponding to the upper surface of the resin body 140X may be a flat surface or a curved surface. The resin body 140X may have a thickness of about 10 μm or more and 500 μm or less, for example.

樹脂体140Xは、透光性を有し、凹凸が付与された後、例えば、保護部材、光拡散部材等の光学部材として、発光素子、発光装置等の光出射側に配置され得る。なお、本明細書における「透光性」および「透光」の用語は、入射した光に対して拡散性を示すことをも包含するように解釈され、「透明」であることに限定されない。   After the resin body 140X has translucency and is provided with unevenness, the resin body 140X can be disposed as an optical member such as a protective member or a light diffusing member on the light emitting side of a light emitting element, a light emitting device, or the like. Note that the terms “translucent” and “translucent” in this specification are interpreted to include diffusibility with respect to incident light, and are not limited to being “transparent”.

樹脂体140Xは、シリコーン樹脂を含む部材である。樹脂体140X中のシリコーン樹脂は、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有する。あるいは、樹脂体140X中のシリコーン樹脂は、2つのメチル基がケイ素原子に結合したDユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する。樹脂体140Xは、これら2種の有機ポリシロキサンの両方を含んでいてもよい。樹脂体140X中のシリコーン樹脂は、例えば、フェニル基を有し、かつ、Dユニットを有する有機ポリシロキサンを含有していてもよい。樹脂体140Xを構成するシリコーン樹脂組成物は、メチル基およびフェニル基以外の基が導入された変性シリコーンを含んでいてもよい。   The resin body 140X is a member containing a silicone resin. The silicone resin in the resin body 140X contains an organic polysiloxane having at least one phenyl group in the molecule. Alternatively, the silicone resin in the resin body 140X contains an organic polysiloxane having a D unit in which two methyl groups are bonded to a silicon atom. The resin body 140X may contain both of these two types of organic polysiloxanes. The silicone resin in the resin body 140X may contain, for example, an organic polysiloxane having a phenyl group and having a D unit. The silicone resin composition constituting the resin body 140X may contain a modified silicone into which groups other than methyl groups and phenyl groups are introduced.

樹脂体140Xは、実質的にシリコーン樹脂からなる部材に限定されず、シリコーン樹脂以外の材料を含む複合部材であり得る。例えば、樹脂体140Xは、シリコーン樹脂を含む樹脂材料を母材とし、光散乱性のフィラーが分散された部材等であってもよい。光散乱性のフィラーとしては、母材よりも高い屈折率を有する無機材料もしくは有機材料の粒子を用いることができる。光散乱性のフィラーの例は、二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、チタン酸カリウム、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、ムライト、酸化ニオブ、硫酸バリウム、酸化ケイ素、各種希土類酸化物(例えば、酸化イットリウム、酸化ガドリニウム)等の粒子である。なお、樹脂体140Xを構成する母材は、シリコーン樹脂以外の樹脂を含んでいてもかまわない。   The resin body 140X is not limited to a member substantially made of a silicone resin, and may be a composite member containing a material other than the silicone resin. For example, the resin body 140X may be a member in which a resin material containing a silicone resin is used as a base material and a light scattering filler is dispersed. As the light-scattering filler, particles of an inorganic material or an organic material having a refractive index higher than that of the base material can be used. Examples of light scattering fillers include titanium dioxide, zirconium dioxide, potassium titanate, aluminum oxide, aluminum nitride, boron nitride, mullite, niobium oxide, barium sulfate, silicon oxide, various rare earth oxides (eg, yttrium oxide, oxide) Gadolinium) and the like. The base material constituting the resin body 140X may include a resin other than the silicone resin.

樹脂体140Xは、樹脂中に分散された波長変換部材を含んでいてもよい。樹脂体140Xが波長変換部材を含むことにより、樹脂体140Xは、入射した光の少なくとも一部を吸収し、入射した光の波長とは異なる波長の光を発することができる。波長変換部材の典型例は、蛍光体等の粒子である。蛍光体には、公知の材料を適用することができる。蛍光体の例は、YAG系蛍光体、KSF系蛍光体等のフッ化物系蛍光体およびCASN等の窒化物系蛍光体、βサイアロン蛍光体等である。YAG系蛍光体は、青色光を黄色光に変換する波長変換物質の例であり、KSF系蛍光体およびCASNは、青色光を赤色光に変換する波長変換物質の例であり、βサイアロン蛍光体は、青色光を緑色光に変換する波長変換物質の例である。蛍光体は、量子ドット蛍光体であってもよい。   The resin body 140X may include a wavelength conversion member dispersed in the resin. When the resin body 140X includes the wavelength conversion member, the resin body 140X can absorb at least part of the incident light and emit light having a wavelength different from the wavelength of the incident light. A typical example of the wavelength conversion member is a particle such as a phosphor. A known material can be applied to the phosphor. Examples of the phosphor include a fluoride phosphor such as a YAG phosphor and a KSF phosphor, a nitride phosphor such as CASN, a β sialon phosphor, and the like. The YAG phosphor is an example of a wavelength conversion material that converts blue light into yellow light, and the KSF phosphor and CASN are examples of a wavelength conversion material that converts blue light into red light, and a β sialon phosphor Is an example of a wavelength converting material that converts blue light into green light. The phosphor may be a quantum dot phosphor.

樹脂体140Xは、購入または作製によって準備することができる。支持体上に付与したシリコーン樹脂原料を硬化させることにより樹脂体140Xを得てもよい。例えば、板状等の所定の形状に成形されたシリコーン樹脂原料を例えば150℃の温度下に4時間おくことにより、硬化後の樹脂体が得られる。樹脂体140Xの形成にトランスファー成形、圧縮成形法等を適用してもよい。硬化状態の樹脂体を得るためのシリコーン樹脂原料の加熱温度の範囲は、好ましくは、100℃以上200℃以下であり、より好ましくは、120℃以上180℃以下である。加熱時間の範囲は、好ましくは、60分以上480分以下であり、より好ましくは、120分以上300分以下である。なお、これらの加熱条件は、未硬化のシリコーン樹脂原料を用いて本硬化状態の樹脂体を得る場合も、予備硬化後のシリコーン樹脂を用いて本硬化状態の樹脂体を得る場合も同じである。   The resin body 140X can be prepared by purchase or production. The resin body 140X may be obtained by curing the silicone resin raw material applied on the support. For example, a cured resin body can be obtained by placing a silicone resin raw material molded into a predetermined shape such as a plate shape at a temperature of, for example, 150 ° C. for 4 hours. Transfer molding, compression molding, or the like may be applied to the formation of the resin body 140X. The range of the heating temperature of the silicone resin raw material for obtaining a cured resin body is preferably 100 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, and more preferably 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower. The range of the heating time is preferably 60 minutes or more and 480 minutes or less, and more preferably 120 minutes or more and 300 minutes or less. In addition, these heating conditions are the same when either obtaining a fully cured resin body using an uncured silicone resin raw material or when obtaining a fully cured resin body using a precured silicone resin. .

樹脂体140X中のシリコーン樹脂は、予備硬化の状態であってもよい。例えば、シリコーン樹脂を含むシリコーン樹脂原料をスプレー法、キャスト法、ポッティング法等の塗布法あるいはスクリーン印刷法によって基板等の支持体上に付与した後、例えば150℃の温度下に0.5時間おくことにより、予備硬化後の樹脂体が得られる。予備硬化状態の樹脂体を得るためのシリコーン樹脂原料の加熱温度の範囲は、好ましくは、80℃以上200℃以下であり、より好ましくは、120℃以上180℃以下である。加熱時間の範囲は、好ましくは、0.1分以上120分以下であり、より好ましくは、15分以上45分以下である。   The silicone resin in the resin body 140X may be in a precured state. For example, a silicone resin material containing a silicone resin is applied onto a support such as a substrate by a coating method such as a spray method, a casting method, or a potting method, or a screen printing method, and then placed at a temperature of 150 ° C. for 0.5 hours, for example. As a result, a pre-cured resin body is obtained. The heating temperature range of the silicone resin raw material for obtaining a precured resin body is preferably 80 ° C. or higher and 200 ° C. or lower, more preferably 120 ° C. or higher and 180 ° C. or lower. The range of the heating time is preferably from 0.1 minutes to 120 minutes, and more preferably from 15 minutes to 45 minutes.

次に、図4に模式的に示すように、紫外線照射装置500により、フォトマスクを介して樹脂体140Xの主面140aを紫外線で照射する(図1のステップS11および図2のステップS11)。このとき、図4に示すように、遮光領域200sおよび透過領域200tを有するフォトマスク200を用いる。図4において、フォトマスク200のうちハッチングが付された領域は、フォトマスク200の遮光領域200sを示している。また、図4において、フォトマスク200のうち白い領域は、フォトマスク200の透過領域200tを示している。なお、この例では、フォトマスク200が樹脂体140Xの主面140a上に配置された状態で紫外線の照射が実行されている。つまり、図4では、フォトマスク200と樹脂体140Xとが直接に接触している場合を例示している。しかしながら、フォトマスク200と樹脂体140Xとが接していることは必須ではない。つまり、フォトマスク200と樹脂体140Xとは離間していてもよく、あるいは、別の透光性の部材がこれらの間に介在していてもよい。   Next, as schematically shown in FIG. 4, the ultraviolet irradiation device 500 irradiates the main surface 140a of the resin body 140X with ultraviolet rays through a photomask (step S11 in FIG. 1 and step S11 in FIG. 2). At this time, as shown in FIG. 4, a photomask 200 having a light shielding region 200s and a transmission region 200t is used. In FIG. 4, the hatched area of the photomask 200 indicates the light shielding area 200 s of the photomask 200. In FIG. 4, the white area in the photomask 200 indicates the transmission area 200 t of the photomask 200. In this example, ultraviolet irradiation is performed in a state where the photomask 200 is disposed on the main surface 140a of the resin body 140X. That is, FIG. 4 illustrates a case where the photomask 200 and the resin body 140X are in direct contact. However, it is not essential that the photomask 200 and the resin body 140X are in contact with each other. That is, the photomask 200 and the resin body 140X may be separated from each other, or another translucent member may be interposed between them.

図5は、フォトマスク200の一例を示す。この例では、フォトマスク200は、円形状の複数の遮光領域200sを有する。図5に例示する構成において、複数の遮光領域200sは、各領域の中心が三角格子の格子点上に位置する二次元の配置を有する。フォトマスク200は、半導体プロセスに用いられる公知のレチクル(またはフォトマスク)と同様にして作製することが可能である。例えば、ガラス(典型的には石英ガラス)シート、高分子フィルム等の表面にクロム膜等の遮光膜を形成した後、例えばフォトリソグラフィによって遮光膜をパターニングし、遮光領域200sを形成することによりフォトマスク200を得ることができる。つまり、透過領域200tは、支持体としてのガラスシート、高分子フィルム等のうち、クロム等による遮光層が形成されていない領域であり、紫外線を透過させるように構成された領域である。   FIG. 5 shows an example of the photomask 200. In this example, the photomask 200 has a plurality of circular light shielding regions 200s. In the configuration illustrated in FIG. 5, the plurality of light shielding regions 200 s has a two-dimensional arrangement in which the center of each region is located on a lattice point of a triangular lattice. The photomask 200 can be manufactured in the same manner as a known reticle (or photomask) used in a semiconductor process. For example, after a light shielding film such as a chromium film is formed on the surface of a glass (typically quartz glass) sheet or a polymer film, the light shielding film is patterned by, for example, photolithography to form a light shielding region 200s. A mask 200 can be obtained. That is, the transmissive region 200t is a region in which a light shielding layer made of chromium or the like is not formed in a glass sheet or a polymer film as a support, and is a region configured to transmit ultraviolet rays.

図5に例示する遮光領域200sの配置ピッチ、つまり、互いに隣接する2つの遮光領域200sの中心間距離は、例えば、0.1μm以上3000μm以下の範囲であり、好ましくは2μm以上100μm以下、さらに好ましくは3μm以上30μm以下である。また、遮光領域200sの半径は、例えば、0.05μm以上1000μm以下の範囲であり、好ましくは1μm以上50μm以下、さらに好ましくは2μm以上10μm以下である。もちろん、遮光領域200sの配置および遮光領域200sの各々の形状は、図5に示す例に限定されず、任意の配置および形状を採用し得る。互いに隣接する2つの遮光領域200sの中心間距離は、フォトマスク200の全体にわたって一定とすることができる。あるいは、求める配光特性等に応じて遮光領域200sの中心間距離を任意に変更してもよい。また、複数の遮光領域200sの間でこれらの形状は、全てに共通して同じ形状であってもよいし、複数の遮光領域200sに、形状または大きさの異なる遮光領域が混在されていてもよい。複数の遮光領域200sの形状は、求める配光特性等に応じて任意の形状、大きさとすることができる。   The arrangement pitch of the light shielding regions 200s illustrated in FIG. 5, that is, the distance between the centers of two light shielding regions 200s adjacent to each other is, for example, in the range of 0.1 μm to 3000 μm, preferably 2 μm to 100 μm, and more preferably. Is 3 μm or more and 30 μm or less. The radius of the light shielding region 200s is, for example, in the range of 0.05 μm to 1000 μm, preferably 1 μm to 50 μm, and more preferably 2 μm to 10 μm. Of course, the arrangement of the light shielding regions 200s and the shape of each of the light shielding regions 200s are not limited to the example shown in FIG. 5, and any arrangement and shape can be adopted. The distance between the centers of the two light shielding regions 200s adjacent to each other can be constant over the entire photomask 200. Alternatively, the distance between the centers of the light shielding regions 200s may be arbitrarily changed according to the light distribution characteristics to be obtained. In addition, these shapes may be the same in common among the plurality of light shielding regions 200s, or light shielding regions having different shapes or sizes may be mixed in the plurality of light shielding regions 200s. Good. The shape of the plurality of light shielding regions 200s can be set to an arbitrary shape and size according to a desired light distribution characteristic or the like.

なお、図5では、フォトマスク200は、長方形状の外形を有している。ただし、フォトマスク200の外形は、この例に限定されず、例えば、正方形状であってもよい。また、フォトマスク200の寸法は、樹脂体140Xの寸法に整合させることができる。ただし、これに限らず、フォトマスク200は、樹脂体140Xの主面140aよりも大きな面積を有していてもよいし、主面140aよりも小さな面積を有していてもよい。前者の場合、単一のフォトマスク200を介して、複数の樹脂体140Xに対して一括して紫外線を照射し得る。後者の場合、ステップアンドリピート法により、主面140aに対して複数回の照射を実行してもよい。   In FIG. 5, the photomask 200 has a rectangular outer shape. However, the outer shape of the photomask 200 is not limited to this example, and may be, for example, a square shape. Moreover, the dimension of the photomask 200 can be matched with the dimension of the resin body 140X. However, the present invention is not limited thereto, and the photomask 200 may have a larger area than the main surface 140a of the resin body 140X, or may have a smaller area than the main surface 140a. In the former case, a plurality of resin bodies 140X can be collectively irradiated with ultraviolet rays through a single photomask 200. In the latter case, the main surface 140a may be irradiated a plurality of times by a step-and-repeat method.

紫外線の照射の工程における照射量は、例えば20J/cm以上である。照射される紫外線の波長に特に限定はなく、例えば、UVA(400〜315nm)〜UVC(280〜140nm)の波長範囲にわたるスペクトルを有する紫外線を発する紫外線照射装置を用いることができる。ここでは、発光の主ピーク波長が365nmの光源を用いる。 The irradiation amount in the ultraviolet irradiation step is, for example, 20 J / cm 2 or more. There is no limitation in particular in the wavelength of the ultraviolet-ray irradiated, For example, the ultraviolet irradiation device which emits the ultraviolet-ray which has a spectrum over the wavelength range of UVA (400-315 nm)-UVC (280-140 nm) can be used. Here, a light source having a main peak wavelength of light emission of 365 nm is used.

紫外線の照射により、図6に模式的に示すように、主面140aのうち遮光領域200sに対応する第1領域R1の高さと、主面140aのうち透過領域200tに対応する第2領域R2の高さとを互いに異ならせ、主面140aに複数の凹部140dを有する透光性部材140を得ることが可能である。第1領域R1は、主面140aのうち遮光領域200sに覆われることによって紫外線の照射から遮蔽されていた領域である。第2領域R2は、主面140aのうち透過領域200tを介して紫外線が照射された領域である。樹脂体140Xが予備硬化状態のシリコーン樹脂を含む場合には、紫外線の照射の工程の実行後に、加熱によって樹脂体140Xを硬化させることにより(図2のステップS12)、複数の凹部140dを有する透光性部材140が得られる。なお、図6では、説明の便宜のために凹部140dを誇張して大きく描いている。   As schematically shown in FIG. 6, by irradiation with ultraviolet rays, the height of the first region R1 corresponding to the light shielding region 200s in the main surface 140a and the second region R2 corresponding to the transmission region 200t in the main surface 140a. It is possible to obtain the translucent member 140 having a plurality of recesses 140d on the main surface 140a with different heights. The first region R1 is a region that is shielded from the irradiation of ultraviolet rays by being covered with the light shielding region 200s in the main surface 140a. The second region R2 is a region irradiated with ultraviolet rays through the transmission region 200t in the main surface 140a. When the resin body 140X includes a pre-cured silicone resin, the resin body 140X is cured by heating (step S12 in FIG. 2) after performing the ultraviolet irradiation process, thereby transmitting a plurality of concave portions 140d. The light member 140 is obtained. In FIG. 6, the recessed portion 140d is exaggerated and drawn for convenience of explanation.

ここで、フォトマスク200を介した紫外線の照射によって形成された凹部140dは、樹脂体140Xのうち第1領域R1にある部分の厚さが減少することによって形成される構造である。または、樹脂体140Xのうち第2領域R2にある部分の厚さが増大した結果、高さが相対的に小さくなることにより形成される構造である。注目すべきは、紫外線の照射を受けた領域と、紫外線が照射されなかった領域との間で高さの差が生じる(凹凸が形成される)点である。後に実施例を参照しながら説明するように、主面140aの法線方向に沿った、第1領域R1と第2領域R2との間の高さの差dは、0.1μm以上であり得る。高さの差dは、例えば10μm未満である。   Here, the recess 140d formed by the irradiation of ultraviolet rays through the photomask 200 has a structure formed by reducing the thickness of the portion of the resin body 140X in the first region R1. Or it is a structure formed when the thickness of the part which exists in 2nd area | region R2 among the resin bodies 140X increases, and height becomes relatively small. It should be noted that there is a difference in height (irregularities are formed) between the region irradiated with ultraviolet rays and the region not irradiated with ultraviolet rays. As will be described later with reference to the embodiment, the height difference d between the first region R1 and the second region R2 along the normal direction of the main surface 140a may be 0.1 μm or more. . The height difference d is, for example, less than 10 μm.

図7は、透光性部材140の一例を模式的に示す。図7に示すように、この例では、フォトマスク200の遮光領域200sが、三角格子の格子点上にそれぞれの中心が位置する配置を有することに対応して、凹部140dも、三角格子の格子点上にそれぞれの中心が位置する配置を有する。なお、図7では、図6と同様に、説明の便宜のために凹部140dを誇張して大きく描いている。本開示の他の図面においても、説明の便宜のために凹部140dを誇張して大きく描くことがある。   FIG. 7 schematically shows an example of the translucent member 140. As shown in FIG. 7, in this example, corresponding to the fact that the light shielding regions 200 s of the photomask 200 have an arrangement in which the respective centers are located on the lattice points of the triangular lattice, the recess 140 d also has the triangular lattice lattice. It has an arrangement in which each center is located on a point. In FIG. 7, as in FIG. 6, the concave portion 140d is exaggerated and drawn for convenience of explanation. In other drawings of the present disclosure, the concave portion 140d may be exaggerated and drawn for convenience of explanation.

透光性部材140の主面140a側または主面140aの反対側の主面140b(この例では下面)に配置され得るLED等の発光素子または発光装置の発光ピーク波長の光に対する、透光性部材140の透過率は、例えば60%以上である。上述の発光ピーク波長の光に対する、透光性部材140の透過率が70%以上であると有益であり、80%以上であるとより有益である。透光性部材140は、50%以上のヘーズ値を有し得る。ヘーズ値は、JIS K7136:2000に準拠した測定方法によって測定することができる。   Translucency with respect to light having a light emission peak wavelength of a light emitting element such as an LED or a light emitting device that can be disposed on the main surface 140a side of the translucent member 140 or the main surface 140b (the lower surface in this example) opposite to the main surface 140a. The transmittance of the member 140 is, for example, 60% or more. It is beneficial if the transmissivity of the translucent member 140 with respect to the light having the above-mentioned emission peak wavelength is 70% or more, and more advantageously 80% or more. The translucent member 140 may have a haze value of 50% or more. The haze value can be measured by a measuring method based on JIS K7136: 2000.

このように、本開示の実施形態によれば、金型のような成形型を用いることなく、樹脂体140Xの主面140aに基本的に非接触で凹凸パターン等の形状を付与することが可能である。本開示の実施形態によれば、一般的なインプリント法と異なり、形状の付与の対象に型を押し付ける必要がないので、形状の付与の対象への物理的な接触によるダメージの発生を回避できる。また、形状の付与にエッチングが要求されないので、エッチングによるダメージの発生もない。なお、透光性部材140中のシリコーン樹脂は、基本的に硬化後(本硬化後)の状態である。そのため、透光性部材140を例えば300℃前後の高温の環境にさらした場合であっても、主面140aに形成された凹部140dの形状を維持させることが可能である。したがって、透光性部材140を得た後に、高温を伴うプロセスに透光性部材140を投入することが可能である。   As described above, according to the embodiment of the present disclosure, it is possible to impart a shape such as an uneven pattern to the main surface 140a of the resin body 140X basically in a non-contact manner without using a mold such as a mold. It is. According to the embodiment of the present disclosure, unlike a general imprint method, it is not necessary to press a mold against an object to which a shape is applied, so that occurrence of damage due to physical contact with the object to which a shape is applied can be avoided. . Further, since etching is not required for imparting the shape, no damage is caused by etching. The silicone resin in the translucent member 140 is basically in a state after being cured (after the main curing). Therefore, even when the translucent member 140 is exposed to a high temperature environment of, for example, about 300 ° C., it is possible to maintain the shape of the recess 140 d formed on the main surface 140 a. Therefore, after obtaining the translucent member 140, the translucent member 140 can be put into a process involving a high temperature.

(第2の実施形態)
図8は、本開示の第2の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる例示的な発光装置の断面を模式的に示す。図8に示す発光装置100Aは、発光素子110Aと、波長変換部材120Aと、導光部材130Aと、透光性部材140Aと、光反射性部材150Aとを有する。
(Second Embodiment)
FIG. 8 schematically illustrates a cross-section of an exemplary light emitting device obtained by the method for manufacturing a light emitting device according to the second embodiment of the present disclosure. A light emitting device 100A illustrated in FIG. 8 includes a light emitting element 110A, a wavelength conversion member 120A, a light guide member 130A, a light transmissive member 140A, and a light reflective member 150A.

発光素子110Aは、例えばLEDであり、この例では、発光素子110Aは、素子本体111と、発光素子110Aの下面側に位置する正極112Aおよび負極114Aとを有する。図8に例示する構成では、発光素子110Aの上面は、素子本体111の上面111aに一致し、正極112Aおよび負極114Aは、発光素子110Aの上面とは反対側の、素子本体111の下面111b上に配置されている。   The light emitting element 110A is, for example, an LED, and in this example, the light emitting element 110A includes an element body 111, and a positive electrode 112A and a negative electrode 114A located on the lower surface side of the light emitting element 110A. In the configuration illustrated in FIG. 8, the upper surface of the light emitting element 110A coincides with the upper surface 111a of the element body 111, and the positive electrode 112A and the negative electrode 114A are on the lower surface 111b of the element body 111 on the opposite side of the upper surface of the light emitting element 110A. Is arranged.

素子本体111は、例えば、サファイアまたは窒化ガリウム等の支持基板と、支持基板上の半導体積層構造とを含む。半導体積層構造は、活性層と、活性層を挟むn型半導体層およびp型半導体層とを含む。半導体積層構造は、紫外〜可視域の発光が可能な窒化物半導体(InxAlyGa1-x-yN、0≦x、0≦y、x+y≦1)を含んでいてもよい。上述の正極112Aおよび負極114Aは、半導体積層構造に所定の電流を供給する機能を有する。図8に示すように、正極112Aの下面および負極114Aの下面は、発光装置100Aの下面100bから露出されており、したがって、発光装置100Aは、フリップチップ接続による実装に適合した構成を有するといえる。 The element body 111 includes, for example, a support substrate such as sapphire or gallium nitride and a semiconductor multilayer structure on the support substrate. The semiconductor stacked structure includes an active layer and an n-type semiconductor layer and a p-type semiconductor layer that sandwich the active layer. The semiconductor laminated structure may include a light emitting capable nitride semiconductor of ultraviolet to visible range (In x Al y Ga 1- xy N, 0 ≦ x, 0 ≦ y, x + y ≦ 1). The positive electrode 112A and the negative electrode 114A described above have a function of supplying a predetermined current to the semiconductor stacked structure. As shown in FIG. 8, the lower surface of the positive electrode 112A and the lower surface of the negative electrode 114A are exposed from the lower surface 100b of the light emitting device 100A. Therefore, it can be said that the light emitting device 100A has a configuration suitable for mounting by flip chip connection. .

図8に例示する構成において、発光装置100Aは、素子本体111の上面111aの上方に、波長変換部材120Aおよび透光性部材140Aの積層構造を含む。波長変換部材120Aは、上面120aと下面120bとの間に位置する側面120cを有し、透光性部材140Aは、上面140aと下面140bとの間に位置する側面140cを有する。図示するように、この例では、波長変換部材120Aの側面120cおよび透光性部材140Aの側面140cは、光反射性部材150Aによって覆われている。導光部材130Aは、波長変換部材120Aの下面120bと素子本体111の上面111aとの間に位置する部分を有し、導光部材130Aの他の一部は、素子本体111の上面111aと下面111bとの間に位置する、素子本体111の側面111cの少なくとも一部を覆う。   In the configuration illustrated in FIG. 8, the light emitting device 100A includes a laminated structure of the wavelength conversion member 120A and the translucent member 140A above the upper surface 111a of the element body 111. The wavelength conversion member 120A has a side surface 120c positioned between the upper surface 120a and the lower surface 120b, and the translucent member 140A has a side surface 140c positioned between the upper surface 140a and the lower surface 140b. As illustrated, in this example, the side surface 120c of the wavelength conversion member 120A and the side surface 140c of the translucent member 140A are covered with the light reflective member 150A. The light guide member 130A has a portion located between the lower surface 120b of the wavelength conversion member 120A and the upper surface 111a of the element body 111, and another part of the light guide member 130A is the upper surface 111a and the lower surface of the element body 111. At least a part of the side surface 111c of the element body 111 located between the element body 111 and the element body 111b is covered.

ここでは、透光性部材140Aは、第1の実施形態の透光性部材140と同様の板状の構造であり、図8に模式的に示すように、例えば、発光素子110Aの上面の上方に位置する上面140aは、複数の凹部140dを有している。透光性部材140Aの厚さは、例えば5μm以上100μm以下の範囲であり、凹部140dの深さは、例えば0.1μm以上である。後述するように、複数の凹部140dは、第1の実施形態とほぼ同様の方法によって透光性部材140Aに形成され得る。後に実施例により説明するように、後述のプローブ法に基づいて得られる、透光性部材140の瞬間接着力は、意図的な紫外線の照射がなされていないシリコーン樹脂の表面の瞬間接着力の例えば50%以下の範囲内である。   Here, the translucent member 140A has a plate-like structure similar to that of the translucent member 140 of the first embodiment. For example, as schematically illustrated in FIG. 8, for example, above the upper surface of the light emitting element 110A. The upper surface 140a located at has a plurality of recesses 140d. The thickness of the translucent member 140A is, for example, in the range of 5 μm to 100 μm, and the depth of the recess 140d is, for example, 0.1 μm or more. As will be described later, the plurality of recesses 140d can be formed in the translucent member 140A by a method substantially similar to that of the first embodiment. As will be described later with reference to examples, the instantaneous adhesive force of the translucent member 140 obtained based on the probe method described later is, for example, the instantaneous adhesive force on the surface of the silicone resin that is not intentionally irradiated with ultraviolet rays. It is in the range of 50% or less.

発光素子110Aの発光ピーク波長の光に対する、透光性部材140Aの透過率は、典型的には、60%以上である。光を有効に利用する観点から、発光素子110Aの発光ピーク波長における透光性部材140Aの透過率が70%以上であると有益であり、80%以上であるとより有益である。   The transmissivity of the translucent member 140A with respect to light having the emission peak wavelength of the light emitting element 110A is typically 60% or more. From the viewpoint of effectively using light, it is beneficial that the transmissivity of the translucent member 140A at the light emission peak wavelength of the light emitting element 110A is 70% or more, and more beneficial if it is 80% or more.

波長変換部材120Aは、ここでは、透光性部材140Aと同様に板状の形状を有する。波長変換部材120Aは、例えば、シリコーン樹脂等の母材と、蛍光体等の波長変換部材とを含有し、発光素子110Aからの光の少なくとも一部を吸収し、入射した光の波長とは異なる波長の光を発する。   Here, the wavelength conversion member 120A has a plate-like shape like the translucent member 140A. The wavelength conversion member 120A contains, for example, a base material such as a silicone resin and a wavelength conversion member such as a phosphor, and absorbs at least a part of the light from the light emitting element 110A and is different from the wavelength of the incident light. Emits light of wavelength.

光反射性部材150Aは、波長変換部材120A、透光性部材140Aおよび導光部材130Aを取り囲む形状を有し、素子本体111のうち、側面111cを少なくとも覆う。また、図示する例において、光反射性部材150Aの一部は、素子本体111の下面111bのうち、正極112Aおよび負極114Aを除く領域を覆う。なお、本明細書における「覆う」は、被覆される部材と、被覆する部材とが直接に接している態様だけでなく、例えばこれらの部材の間にさらに他の部材が介在することにより、これらが直接に接していない部分を含むような態様をも包含するように解釈される。本明細書において、「光反射性」とは、発光素子の発光ピーク波長における反射率が60%以上であることを指す。光反射性部材150Aの、発光素子110Aの発光ピーク波長における反射率が70%以上であるとより有益であり、80%以上であるとさらに有益である。また、光反射性部材150Aが白色を有すると有益である。   The light reflective member 150A has a shape surrounding the wavelength conversion member 120A, the light transmissive member 140A, and the light guide member 130A, and covers at least the side surface 111c of the element body 111. In the illustrated example, a part of the light reflective member 150A covers a region of the lower surface 111b of the element body 111 excluding the positive electrode 112A and the negative electrode 114A. In addition, the term “covering” in this specification is not limited to a mode in which a member to be covered and a member to be covered are in direct contact with each other, for example, when another member is interposed between these members. It is construed to include such an embodiment that includes a portion that is not in direct contact. In this specification, “light reflectivity” means that the reflectance at the light emission peak wavelength of the light emitting element is 60% or more. The reflectance of the light reflective member 150A at the light emission peak wavelength of the light emitting element 110A is more useful when it is 70% or more, and it is further useful when it is 80% or more. In addition, it is beneficial if the light reflective member 150A has a white color.

図9は、本開示の第2の実施形態による発光装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。図9に例示された発光装置の製造方法は、概略的には、発光素子および透光性の樹脂体を有する発光体を準備する工程(ステップS21)と、表面に凹凸のパターンを有し、発光素子の上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(ステップS22)とを含む。ここで説明する例では、透光性部材を形成する工程は、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して樹脂体の主面を紫外線で照射する工程(ステップS221)を含む。紫外線の照射の対象となる樹脂体は、シリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された例えば樹脂シートまたはシリコーン樹脂原料が予備硬化状態の樹脂シートである。必要に応じて、紫外線の照射後、図10に例示するように、樹脂体を硬化させる工程(ステップS222)が実行される。以下、図面を参照しながら、図8に示す発光装置100Aの例示的な製造方法の詳細を説明する。   FIG. 9 is a flowchart illustrating an example of a method for manufacturing a light emitting device according to the second embodiment of the present disclosure. The manufacturing method of the light-emitting device illustrated in FIG. 9 schematically includes a step of preparing a light-emitting body having a light-emitting element and a light-transmitting resin body (step S21), and a surface having an uneven pattern, Forming a translucent member that covers at least the upper surface of the light emitting element (step S22). In the example described here, the step of forming the translucent member includes a step of irradiating the main surface of the resin body with ultraviolet rays through a photomask having a light shielding region and a transmission region (step S221). The resin body to be irradiated with ultraviolet rays is, for example, a resin sheet formed by curing a silicone resin material or a resin sheet in which a silicone resin material is precured. If necessary, a step of curing the resin body (step S222) is performed after the irradiation with ultraviolet rays, as illustrated in FIG. Hereinafter, details of an exemplary manufacturing method of the light emitting device 100A shown in FIG. 8 will be described with reference to the drawings.

[発光体の準備の工程]
まず、発光素子および透光性の樹脂体を有する発光体を準備する(図9のステップS21)。ここでは、図11に例示するような、発光素子110Aの上面の上方に配置されたシート状の樹脂体140Uを含む発光体100Uを準備する。図11は、発光体100Uを発光体100Uの上面100Uaに垂直に切断したときの断面を模式的に示している。
[Process for preparing phosphor]
First, a light emitter having a light emitting element and a translucent resin body is prepared (step S21 in FIG. 9). Here, a light emitting body 100U including a sheet-like resin body 140U disposed above the upper surface of the light emitting element 110A as illustrated in FIG. 11 is prepared. FIG. 11 schematically shows a cross section when the light emitter 100U is cut perpendicularly to the upper surface 100Ua of the light emitter 100U.

図11に示す発光体100Uは、発光素子110Aおよび樹脂体140Uに加えて、波長変換部材120A、導光部材130Aおよび光反射性部材150Aをさらに有する。図11に示すように、発光体100Uは、波長変換部材120Aおよび樹脂体140Uの積層構造をその一部に含み、光反射性部材150Aは、樹脂体140Uの側面140cおよび波長変換部材120Aの側面120cを覆っている。発光体100Uは、購入によって準備されてもよいし、製作によって準備されてもよい。図11に示す発光体100Uは、例えば、以下のようにして得られる。   The light emitter 100U shown in FIG. 11 further includes a wavelength conversion member 120A, a light guide member 130A, and a light reflective member 150A in addition to the light emitting element 110A and the resin body 140U. As shown in FIG. 11, the light emitter 100U includes a laminated structure of the wavelength conversion member 120A and the resin body 140U in a part thereof, and the light reflective member 150A includes the side surface 140c of the resin body 140U and the side surface of the wavelength conversion member 120A. 120c is covered. The light emitter 100U may be prepared by purchase or may be prepared by manufacturing. The light emitter 100U shown in FIG. 11 is obtained as follows, for example.

図12は、発光体100Uの例示的な製造方法を説明するためのフローチャートである。発光体100Uの準備の工程は、例えば、上面を有する発光素子を準備する工程(ステップS211)と、発光素子の上面に未硬化の透光性樹脂材料を付与する工程(ステップS212)と、透光性樹脂材料を硬化させることにより、発光素子の上面の上方に樹脂体を配置する工程(ステップS213)とを含む。   FIG. 12 is a flowchart for explaining an exemplary manufacturing method of the light emitter 100U. The steps of preparing the light emitter 100U include, for example, a step of preparing a light emitting element having an upper surface (step S211), a step of applying an uncured translucent resin material to the upper surface of the light emitting element (step S212), And a step of arranging a resin body above the upper surface of the light emitting element by curing the light-sensitive resin material (step S213).

まず、上面を有し、上面とは反対側に位置する下面111b側に正極112Aおよび負極114Aを有する発光素子110Aを準備する(図12のステップS211)。発光素子110Aは、購入によって準備されてもよい。   First, a light emitting element 110A having an upper surface and having a positive electrode 112A and a negative electrode 114A on the lower surface 111b side opposite to the upper surface is prepared (step S211 in FIG. 12). The light emitting element 110A may be prepared by purchase.

次に、耐熱性の粘着シートまたは基板等の支持体50を準備し、正極112Aおよび負極114Aを支持体50に向けて発光素子110Aを支持体50上に配置する。ここでは、図13に示すように、支持体50の上面50aに複数の発光素子110Aを一時的に固定する。簡単のために、図13では、紙面の左右方向に沿って配置された3つの発光素子110Aを示しているが、上面50a上に発光素子110Aが二次元に配置されてももちろんかまわない。   Next, a support 50 such as a heat-resistant adhesive sheet or substrate is prepared, and the light emitting element 110A is disposed on the support 50 with the positive electrode 112A and the negative electrode 114A facing the support 50. Here, as shown in FIG. 13, the plurality of light emitting elements 110 </ b> A are temporarily fixed to the upper surface 50 a of the support 50. For the sake of simplicity, FIG. 13 shows three light emitting elements 110A arranged along the left-right direction of the paper surface. However, the light emitting elements 110A may be two-dimensionally arranged on the upper surface 50a.

次に、図14に示すように、発光素子110Aの上面である上面111aにディスペンサ等によって透光性の第1樹脂材料130rを付与する(図12のステップS212)。第1樹脂材料130rは、シリコーン樹脂、シリコーン変性樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂、トリメチルペンテン樹脂もしくはポリノルボルネン樹脂、または、これらの2種以上を含む材料を母材として含むことができる。   Next, as shown in FIG. 14, a translucent first resin material 130r is applied to the upper surface 111a which is the upper surface of the light emitting element 110A by a dispenser or the like (step S212 in FIG. 12). The first resin material 130r includes, as a base material, a silicone resin, a silicone-modified resin, an epoxy resin, a phenol resin, a polycarbonate resin, an acrylic resin, a trimethylpentene resin, a polynorbornene resin, or a material containing two or more of these. Can do.

次に、図15に模式的に示すように、波長変換部材120Aおよび樹脂体140Uを第1樹脂材料130r上に配置し、第1樹脂材料130rを硬化させる。ここでは、波長変換部材120Aおよび樹脂体140Uの積層シートを準備し、所定の大きさの積層シート片LBに切り出した後、積層シート片LBを各発光素子110Aの第1樹脂材料130r上に配置する。積層シート片LBの配置後、第1樹脂材料130rを硬化させることにより、図16に示すように、導光部材130Aを形成して、発光素子110Aの上面の上方に樹脂体140Uを配置することができる(図12のステップS213)。第1樹脂材料130rの硬化後に、ダイシング装置等を利用して波長変換部材120Aの側面120cおよび樹脂体140Uの側面140cをトリミングしてもよい。これにより、それぞれが、発光素子110Aの上面を少なくとも覆う樹脂体140Uを有する複数の発光体が得られる。   Next, as schematically shown in FIG. 15, the wavelength conversion member 120A and the resin body 140U are disposed on the first resin material 130r, and the first resin material 130r is cured. Here, a laminated sheet of the wavelength conversion member 120A and the resin body 140U is prepared, cut into a laminated sheet piece LB of a predetermined size, and then the laminated sheet piece LB is disposed on the first resin material 130r of each light emitting element 110A. To do. After the arrangement of the laminated sheet pieces LB, the first resin material 130r is cured to form the light guide member 130A and the resin body 140U is arranged above the upper surface of the light emitting element 110A as shown in FIG. (Step S213 in FIG. 12). After the first resin material 130r is cured, the side surface 120c of the wavelength conversion member 120A and the side surface 140c of the resin body 140U may be trimmed using a dicing apparatus or the like. Thus, a plurality of light emitters each having a resin body 140U that covers at least the upper surface of the light emitting element 110A is obtained.

なお、積層シート片LBは、例えば、蛍光体の粒子が分散された樹脂材料中の樹脂をBステージの状態とした蛍光体シートと、透光性の樹脂シートとを準備し、これらを熱によって貼り合わせ、超音波カッタ等により所定の寸法の切断片を得ることによって準備することができる。蛍光体シートは、蛍光体、シリコーン樹脂等の樹脂材料、フィラー粒子および溶媒を含有する第2樹脂材料から形成することができる。蛍光体としては、上述のYAG系蛍光体、KSF系蛍光体、CASNおよびβサイアロン蛍光体等の公知の蛍光体を用い得る。   The laminated sheet piece LB is prepared, for example, by preparing a phosphor sheet in which a resin in a resin material in which phosphor particles are dispersed is in a B-stage state, and a translucent resin sheet, which are heated. It can be prepared by obtaining a cut piece of a predetermined size by bonding, ultrasonic cutter or the like. The phosphor sheet can be formed from a second resin material containing a phosphor, a resin material such as a silicone resin, filler particles, and a solvent. As the phosphor, known phosphors such as the above-mentioned YAG phosphor, KSF phosphor, CASN, and β sialon phosphor can be used.

透光性の樹脂シートは、例えば、シリコーン樹脂を母材として含む未硬化のシリコーン樹脂原料を予備硬化させたBステージの状態とすることによって得ることができる。透光性の樹脂シートは、未硬化のシリコーン樹脂原料を本硬化させることによって形成されたシートであってもよい。シリコーン樹脂原料は、付加的に、光散乱性のフィラー等を含んでいてもよい。母材としてのシリコーン樹脂は、典型的には、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサン、および/または、Dユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する。上述の第2樹脂材料をスプレー法、キャスト法、ポッティング法等の塗布法によって透光シートの主面上に付与し、第2樹脂材料を硬化させることによっても蛍光体シートおよび透光性の樹脂シートの積層シートを得ることができる。あるいは、購入によって積層シートまたは積層シート片LBを準備してもよい。購入によって蛍光体シートおよび/または透光シートを準備してもよい。なお、第1樹脂材料130rを硬化させる過程で透光性の樹脂シート中のシリコーン樹脂が硬化されてもかまわない。   The translucent resin sheet can be obtained, for example, by bringing the uncured silicone resin raw material containing a silicone resin as a base material into a B-stage state. The translucent resin sheet may be a sheet formed by permanently curing an uncured silicone resin raw material. The silicone resin raw material may additionally contain a light scattering filler or the like. The silicone resin as a base material typically contains an organic polysiloxane having at least one phenyl group in the molecule and / or an organic polysiloxane having a D unit. The phosphor sheet and the translucent resin can also be obtained by applying the second resin material described above onto the main surface of the translucent sheet by a coating method such as spraying, casting, or potting, and curing the second resin material. A laminated sheet of sheets can be obtained. Or you may prepare a lamination sheet or lamination sheet piece LB by purchase. A phosphor sheet and / or a translucent sheet may be prepared by purchase. The silicone resin in the translucent resin sheet may be cured in the process of curing the first resin material 130r.

導光部材130Aの形成後に、発光素子110Aの側面に相当する素子本体111の側面111cを覆う光反射性部材を形成する。例えば、図17に示すように、支持体50上の構造を光反射性樹脂層150Tで覆う。   After the light guide member 130A is formed, a light reflective member that covers the side surface 111c of the element body 111 corresponding to the side surface of the light emitting element 110A is formed. For example, as shown in FIG. 17, the structure on the support 50 is covered with a light reflective resin layer 150T.

光反射性樹脂層150Tは、例えば光反射性のフィラーが分散された第3樹脂材料を支持体50の上面50aに付与した後、第3樹脂材料を硬化させることによって形成することができる。第3樹脂材料としては、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、BTレジン、ポリフタルアミド(PPA)等を母材として含む材料を用いることができる。光反射性のフィラーとしては、二酸化チタンの粒子に代表される上述の光散乱粒子を用いることができる。光反射性樹脂層150Tの形成には、例えばトランスファー成形を適用できる。図17に示す状態では、樹脂体140Uの上面140aは、光反射性樹脂層150Tによって覆われている。積層シート片LBを構成する透光性の樹脂シートがBステージの状態である場合、光反射性樹脂層150Tの形成の過程で透光性の樹脂シート中のシリコーン樹脂が本硬化されてもかまわない。   The light reflective resin layer 150T can be formed by, for example, applying a third resin material in which a light reflective filler is dispersed to the upper surface 50a of the support 50 and then curing the third resin material. As the third resin material, a material including a silicone resin, a phenol resin, an epoxy resin, a BT resin, polyphthalamide (PPA), or the like as a base material can be used. As the light-reflective filler, the above-described light scattering particles represented by titanium dioxide particles can be used. For example, transfer molding can be applied to the formation of the light reflective resin layer 150T. In the state shown in FIG. 17, the upper surface 140a of the resin body 140U is covered with the light reflective resin layer 150T. When the translucent resin sheet constituting the laminated sheet piece LB is in a B-stage state, the silicone resin in the translucent resin sheet may be fully cured in the process of forming the light reflective resin layer 150T. Absent.

次に、図18に示すように、研削加工等を適用して光反射性樹脂層150Tの上面側から光反射性樹脂層150Tの一部を除去することによって樹脂体140Uの上面140aを露出させる。研削加工の実行により、図11に示す発光体100Uと同様の構成を有する複数の構造が支持体50の上面50aに得られる。なお、このとき、光反射性樹脂層150Tの一部とともに樹脂体140Uの一部が研削によって除去されてもよい。この場合、研削によって露出された上面140aは、厳密には、研削の実行前の上面140aとは異なる面であるといえるが、このように新たに形成された面も、実施形態における上面140aに含まれると解釈される。   Next, as shown in FIG. 18, the upper surface 140a of the resin body 140U is exposed by applying a grinding process or the like to remove a part of the light reflective resin layer 150T from the upper surface side of the light reflective resin layer 150T. . By executing the grinding process, a plurality of structures having the same configuration as the light emitter 100U shown in FIG. 11 is obtained on the upper surface 50a of the support 50. At this time, a part of the resin body 140U may be removed by grinding together with a part of the light reflective resin layer 150T. In this case, strictly speaking, it can be said that the upper surface 140a exposed by grinding is a surface different from the upper surface 140a before the grinding is performed, but the newly formed surface is also the upper surface 140a in the embodiment. Interpreted as included.

[透光性部材の形成の工程]
発光体100Uの準備後、表面に凹凸のパターンを有し、発光素子110Aの上面を覆う透光性部材を形成する(図9のステップS22)。本実施形態では、フォトマスクを介した紫外線の照射により、樹脂体の表面、ここでは、樹脂体140Uの上面140aに複数の凹部を形成する。
[Process of forming translucent member]
After the preparation of the light emitting body 100U, a translucent member having an uneven pattern on the surface and covering the upper surface of the light emitting element 110A is formed (step S22 in FIG. 9). In the present embodiment, a plurality of recesses are formed on the surface of the resin body, here, the upper surface 140a of the resin body 140U by irradiation with ultraviolet rays through a photomask.

例えば、図19に示すように、樹脂体140Uの上面140a側にフォトマスク200を配置した状態で、紫外線照射装置500により、フォトマスク200を介して樹脂体140Uの上面140a(例えば樹脂体140Xの主面140aに相当)を紫外線で照射する(図10のステップS221)。樹脂体の表面への凹部形成の工程は、図4〜図6を参照して説明した、紫外線の部分的な照射による樹脂体140Xの主面140aへの複数の凹部140dの形成の例と同様にして実行することができる。   For example, as shown in FIG. 19, with the photomask 200 disposed on the upper surface 140a side of the resin body 140U, the upper surface 140a of the resin body 140U (for example, the resin body 140X) The main surface 140a is irradiated with ultraviolet rays (step S221 in FIG. 10). The step of forming the recesses on the surface of the resin body is the same as the example of forming the plurality of recesses 140d on the main surface 140a of the resin body 140X by partial irradiation of ultraviolet rays described with reference to FIGS. Can be executed.

図4に示す例と同様に、フォトマスク200は、遮光領域200sおよび透過領域200tを有する。フォトマスク200を介した紫外線の照射により、図6に示す例と同様に、上面140aのうち遮光領域200sで覆われていた第1領域R1の高さと、透過領域200tの直下に位置していた第2領域R2の高さとを互いに異ならせ得る。換言すれば、紫外線の部分的な照射により、樹脂体140Uの上面140aに、フォトマスク200の遮光領域200sに対応した位置に複数の凹部140dを形成することができる。既に説明したように、フォトマスク200が樹脂体140Uの上面140aに接触していてもよく、接触していなくてもよい。   Similar to the example illustrated in FIG. 4, the photomask 200 includes a light shielding region 200 s and a transmission region 200 t. Similar to the example shown in FIG. 6, the irradiation with the ultraviolet rays through the photomask 200 positioned the height of the first region R1 covered with the light shielding region 200s in the upper surface 140a and directly below the transmission region 200t. The height of the second region R2 can be different from each other. In other words, a plurality of concave portions 140d can be formed on the upper surface 140a of the resin body 140U at positions corresponding to the light shielding regions 200s of the photomask 200 by partial irradiation with ultraviolet rays. As already described, the photomask 200 may or may not be in contact with the upper surface 140a of the resin body 140U.

紫外線の照射により、図20に示すように、樹脂体の表面、ここでは、樹脂体140Uの上面140aに複数の凹部が形成された複数の構造の集合体を形成する。すなわち、複数の凹部140dを有し、発光素子110Aの上面を覆う透光性部材140Aが得られる。なお、樹脂体140Uが予備硬化の状態である場合には、例えば紫外線の照射後に、加熱により樹脂体140Uを硬化させる(図10のステップS222)。例えば、支持体50上に得られた構造を150℃の温度下に4時間おくことにより、樹脂体140U中のシリコーン樹脂を本硬化状態とすることができる。支持体50上に得られた構造の加熱は、必要に応じて実行されればよく、図10に示すステップS222は、省略され得る。   By irradiating with ultraviolet rays, as shown in FIG. 20, an assembly having a plurality of structures in which a plurality of recesses are formed on the surface of the resin body, here, the upper surface 140a of the resin body 140U is formed. That is, a translucent member 140A having a plurality of recesses 140d and covering the upper surface of the light emitting element 110A is obtained. In the case where the resin body 140U is in a pre-cured state, for example, after irradiation with ultraviolet rays, the resin body 140U is cured by heating (step S222 in FIG. 10). For example, the silicone resin in the resin body 140U can be brought into a fully cured state by placing the structure obtained on the support 50 at a temperature of 150 ° C. for 4 hours. The heating of the structure obtained on the support body 50 should just be performed as needed, and step S222 shown in FIG. 10 may be skipped.

さらに、ダイシング装置等によって支持体50上の構造を所望の形状に切り出す。例えば、図21に示すように、互いに隣接する2つの発光素子110Aの位置で、光反射性樹脂層150Tを切断する。光反射性樹脂層150Tの研削および切断の工程により、図21に示すように、光反射性部材150Aを形成することができる。その後、支持体50上の構造を支持体50から分離することにより、図8に示す発光装置100Aが得られる。   Further, the structure on the support 50 is cut into a desired shape by a dicing apparatus or the like. For example, as shown in FIG. 21, the light reflective resin layer 150T is cut at the positions of two light emitting elements 110A adjacent to each other. By the process of grinding and cutting the light reflective resin layer 150T, the light reflective member 150A can be formed as shown in FIG. Thereafter, the structure on the support 50 is separated from the support 50, whereby the light emitting device 100A shown in FIG. 8 is obtained.

上述の例では、それぞれが発光素子110Aおよび樹脂体140Uを含む構造の集合体に対して紫外線を照射した後に個片化しているが、以下のように、構造の集合体を個片化して発光体100Uを得た後に紫外線を照射してもよい。   In the above-described example, each of the structures each including the light emitting element 110A and the resin body 140U is singulated after being irradiated with ultraviolet rays. However, the structure aggregate is singulated to emit light as follows. You may irradiate an ultraviolet-ray after obtaining the body 100U.

図18を参照して説明したように例えば研削によって光反射性樹脂層150Tから樹脂体140Uの上面140aを露出させた後、支持体50上にある構造の集合体をダイシング装置等によって所望の形状に切り出す。例えば、互いに隣接する2つの発光素子110Aの位置で研削後の光反射性樹脂層150Tを切断することにより、図22に示すように、光反射性部材150Aを形成することができる。その後、支持体50上の構造を支持体50から分離することにより、図11に示す発光体100Uが得られる。   As described with reference to FIG. 18, after exposing the upper surface 140a of the resin body 140U from the light-reflective resin layer 150T by grinding, for example, the assembly of the structure on the support 50 is formed into a desired shape by a dicing apparatus or the like. Cut into For example, the light reflective member 150A can be formed as shown in FIG. 22 by cutting the ground light reflective resin layer 150T at the positions of two light emitting elements 110A adjacent to each other. Thereafter, by separating the structure on the support 50 from the support 50, a light emitter 100U shown in FIG. 11 is obtained.

個片化された発光体100Uを得た後、発光素子110Aの上面を覆う透光性部材を形成する(のステップS22)。例えば、図23に模式的に示すように、粘着シートまたは基板等の支持体60上に発光体100Uを配置し、上面100Uaにフォトマスク200を配置した状態で、紫外線照射装置500により、フォトマスク200を介して樹脂体140Uの上面140a(例えば樹脂体140Xの主面140aに相当)を紫外線で照射する(図10のステップS221)。この例でもやはり、フォトマスク200が樹脂体140Uの上面140aに接触していることは必須ではない。紫外線の照射は、図23に例示するように、複数の発光体100Uの樹脂体140Uに対して一括して実行されてもよいし、複数の発光体100Uのそれぞれに対して個別に実行されてもよい。   After obtaining the separated luminous body 100U, a translucent member that covers the upper surface of the light emitting element 110A is formed (step S22). For example, as schematically shown in FIG. 23, in a state where the light emitter 100U is disposed on a support 60 such as an adhesive sheet or a substrate and the photomask 200 is disposed on the upper surface 100Ua, the photomask is used by the ultraviolet irradiation device 500. The upper surface 140a of the resin body 140U (for example, corresponding to the main surface 140a of the resin body 140X) is irradiated with ultraviolet rays through 200 (step S221 in FIG. 10). Also in this example, it is not essential that the photomask 200 is in contact with the upper surface 140a of the resin body 140U. As illustrated in FIG. 23, the ultraviolet irradiation may be performed on the resin bodies 140U of the plurality of light emitters 100U at once, or may be performed individually on each of the plurality of light emitters 100U. Also good.

フォトマスク200を介した紫外線の照射により、樹脂体140Uの上面140aに複数の凹部140dが形成され、発光素子110Aの上面を覆う透光性部材140Aが得られる。樹脂体140Uが予備硬化の状態である場合には、加熱により、樹脂体140Uを硬化させる(図10のステップS222)。以上の工程により、図24に示すように、複数の発光装置100Aが支持体60上に得られる。   By irradiating with ultraviolet rays through the photomask 200, a plurality of concave portions 140d are formed on the upper surface 140a of the resin body 140U, and a translucent member 140A covering the upper surface of the light emitting element 110A is obtained. When the resin body 140U is in a pre-cured state, the resin body 140U is cured by heating (step S222 in FIG. 10). Through the above steps, a plurality of light emitting devices 100A are obtained on the support 60 as shown in FIG.

本開示の第2の実施形態によれば、発光素子を覆う透光性の部材の表面に微細な凹凸を付与して光の取り出し効率を向上させ得る。上述の発光装置100Aのように、発光素子110Aの光出射側に透光性の部材を配置する場合、発光素子110Aからの光による劣化を考慮して、透光性の部材の材料として熱硬化性樹脂を用いることが有益である。本開示の実施形態によれば、基本的に非接触で熱硬化性樹脂の表面に凹凸のパターンを形成することが可能になるので、光の取り出し効率の向上に有利である。しかも、実質的に発光装置として使用可能な構造(例えば発光体100U)の表面に事後的に凹凸パターンを形成することが可能である。特許文献2には、発光素子を樹脂材料で覆い、さらに、予備硬化の状態または硬化後の樹脂の表面に凹凸パターンを形成するという着眼点はない。   According to the second embodiment of the present disclosure, the light extraction efficiency can be improved by providing fine irregularities on the surface of the translucent member covering the light emitting element. In the case where a light-transmitting member is disposed on the light emitting side of the light emitting element 110A as in the light emitting device 100A described above, in consideration of deterioration due to light from the light emitting element 110A, thermosetting as a material of the light transmitting member. It is beneficial to use a functional resin. According to the embodiment of the present disclosure, it is possible to form a concavo-convex pattern on the surface of the thermosetting resin basically in a non-contact manner, which is advantageous in improving the light extraction efficiency. Moreover, it is possible to form a concavo-convex pattern on the surface of a structure that can be substantially used as a light-emitting device (for example, the light-emitting body 100U). Patent Document 2 does not focus on covering the light emitting element with a resin material and further forming a concavo-convex pattern on the surface of the resin after being cured or after being cured.

上述の例では、発光素子110Aの上面に付与された第1樹脂材料130r上に積層シート片LBを配置後、第1樹脂材料130rを硬化させ、積層シート片LBを発光素子110Aの上方に接合している。このとき、第1樹脂材料130rから導光部材130Aを形成することができる。導光部材130Aは、発光素子110Aの側面である素子本体111の側面111cから出射された光を発光装置100Aの上方に向けて反射させる機能を有する。したがって、導光部材130Aの形成により、光の利用効率を向上させることが可能になる。   In the above-described example, after the laminated sheet piece LB is disposed on the first resin material 130r applied to the upper surface of the light emitting element 110A, the first resin material 130r is cured, and the laminated sheet piece LB is bonded above the light emitting element 110A. doing. At this time, the light guide member 130A can be formed from the first resin material 130r. The light guide member 130A has a function of reflecting light emitted from the side surface 111c of the element body 111, which is the side surface of the light emitting element 110A, toward the upper side of the light emitting device 100A. Therefore, the use efficiency of light can be improved by forming the light guide member 130A.

さらに、上述の例では、導光部材130Aを取り囲み、かつ、素子本体111の下面111bのうち正極112Aおよび負極114Aを除く領域を覆う光反射性部材150Aを発光装置100Aに設けている。そのため、発光装置100Aの側面または下面100bからの光の漏れを抑制して、光の利用効率をより向上させ得る。   Further, in the above-described example, the light-emitting device 100A is provided with the light-reflecting member 150A that surrounds the light guide member 130A and covers the region of the lower surface 111b of the element body 111 excluding the positive electrode 112A and the negative electrode 114A. Therefore, leakage of light from the side surface or the lower surface 100b of the light emitting device 100A can be suppressed, and the light use efficiency can be further improved.

注目すべきは、光反射性樹脂層150Tの内部に一旦樹脂体140Uを埋設してから樹脂体140Uの上面140aを光反射性樹脂層150Tから露出させ、上面140aに凹凸を形成している点である。従来、光反射性樹脂層150Tの内部に樹脂体140Uのような透光性の部材を埋設するような製造方法では、研削面に現れる、透光性の部材の表面に事後的に凹凸を付与することは困難であった。これに対し、本開示の実施形態によれば、予備硬化の状態または硬化後の樹脂体140Uの表面に形状を付与することが可能である。そのため、製品として使用可能な発光装置を得た後に、透光性の部材に事後的に形状を付与することが可能になり、発光装置からの光の取出し効率向上の効果が期待できる。   It should be noted that the resin body 140U is once embedded in the light-reflective resin layer 150T, and then the upper surface 140a of the resin body 140U is exposed from the light-reflective resin layer 150T, thereby forming irregularities on the upper surface 140a. It is. Conventionally, in a manufacturing method in which a light-transmitting member such as the resin body 140U is embedded in the light-reflective resin layer 150T, unevenness is subsequently added to the surface of the light-transmitting member that appears on the ground surface. It was difficult to do. On the other hand, according to the embodiment of the present disclosure, it is possible to give a shape to the surface of the pre-cured state or the cured resin body 140U. Therefore, after obtaining a light-emitting device that can be used as a product, it is possible to give a shape to the light-transmitting member afterwards, and the effect of improving the light extraction efficiency from the light-emitting device can be expected.

図8を参照して説明したように、ここでは、正極112Aおよび負極114Aが発光装置100Aの下面100bから露出されており、発光装置100Aは、例えばリフローによって配線基板等に実装され得る。本実施形態においても、第1の実施形態と同様に、透光性部材140Aが高温の環境にさらされた場合であっても、凹部140dの形状を維持させることが可能である。つまり、本開示の実施形態は、リフロー等の高温を伴うプロセスの適用に有利である。例えば、発光装置100Aを300℃の温度下で40分間加熱したときの、加熱の前後における凹部140dの深さの変化は、25%以下の範囲内であり得る。ここで、凹部140dの深さの変化は、加熱を実行する前における任意の10箇所の凹部140dの深さの平均値をDp、加熱を実行した後における任意の10箇所の凹部140dの深さの平均値をDqとしたとき、|Dq−Dp|/Dpにより定義することができる。   As described with reference to FIG. 8, here, the positive electrode 112A and the negative electrode 114A are exposed from the lower surface 100b of the light emitting device 100A, and the light emitting device 100A can be mounted on a wiring board or the like by reflow, for example. In the present embodiment, similarly to the first embodiment, the shape of the recess 140d can be maintained even when the translucent member 140A is exposed to a high temperature environment. That is, the embodiment of the present disclosure is advantageous for application of a process involving a high temperature such as reflow. For example, when the light emitting device 100A is heated at a temperature of 300 ° C. for 40 minutes, the change in the depth of the recess 140d before and after heating can be within a range of 25% or less. Here, the change in the depth of the concave portion 140d is the average value of the depth of the arbitrary ten concave portions 140d before the heating is performed by Dp, and the depth of the arbitrary ten concave portions 140d after the heating is performed. Can be defined by | Dq−Dp | / Dp.

なお、上述の支持体50に代えて、図25に例示するような、基板410Aと、基板410A上に設けられた第1導電部411Aおよび第2導電部412Aとを有する複合基板400Aを用いてもよい。図25は、複合基板400Aを上面400a側から見たときの外観の一例を示している。基板410Aは、図25に模式的に示すように、貫通孔414を有する。図25には表れていないが、第1導電部411Aの一部および第2導電部412Aの一部は、貫通孔414を介して上面400aとは反対側の下面まで延びている。   Instead of the support 50 described above, a composite substrate 400A having a substrate 410A and a first conductive portion 411A and a second conductive portion 412A provided on the substrate 410A as illustrated in FIG. 25 is used. Also good. FIG. 25 shows an example of the appearance when the composite substrate 400A is viewed from the upper surface 400a side. The substrate 410A has a through hole 414 as schematically shown in FIG. Although not shown in FIG. 25, a part of the first conductive part 411A and a part of the second conductive part 412A extend to the lower surface opposite to the upper surface 400a through the through hole 414.

基板410Aを用いる場合、支持体50への複数の発光素子110Aの一時的な固定(図13参照)に代えて、例えば、フリップチップ接続により複数の発光素子110Aが複合基板400Aの上面400a側に固定される。このとき、はんだ等の接合部材により、各発光素子110Aの正極112Aおよび負極114Aが複合基板400Aの第1導電部411Aおよび第2導電部412Aにそれぞれ接続される。なお、図25中に細い破線で描かれた矩形は、発光素子110Aが配置される位置を示している。導光部材130Aの形成および透光性の樹脂体140Uの配置の後、図17を参照して説明した工程と同様に、複合基板400Aの上面400a上の構造を光反射性樹脂層150Tによって覆う。   When the substrate 410A is used, instead of temporarily fixing the plurality of light emitting elements 110A to the support 50 (see FIG. 13), for example, the plurality of light emitting elements 110A are placed on the upper surface 400a side of the composite substrate 400A by flip chip connection. Fixed. At this time, the positive electrode 112A and the negative electrode 114A of each light emitting element 110A are connected to the first conductive portion 411A and the second conductive portion 412A of the composite substrate 400A by a joining member such as solder, respectively. In addition, the rectangle drawn with the thin broken line in FIG. 25 has shown the position where 110 A of light emitting elements are arrange | positioned. After the formation of the light guide member 130A and the arrangement of the translucent resin body 140U, the structure on the upper surface 400a of the composite substrate 400A is covered with the light reflective resin layer 150T in the same manner as the process described with reference to FIG. .

研削等によって樹脂体140Uの上面140aを光反射性樹脂層150Tから露出させた後、図19を参照して説明した例と同様にして上面140aに複数の凹部140dを形成する。その後、図25に太い破線CTで示す位置でダイシング装置等によって光反射性樹脂層150Tおよび複合基板400Aを一括して切断することにより、複数の発光装置100Bが得られる。   After the upper surface 140a of the resin body 140U is exposed from the light reflective resin layer 150T by grinding or the like, a plurality of recesses 140d are formed in the upper surface 140a in the same manner as the example described with reference to FIG. Thereafter, the light-reflecting resin layer 150T and the composite substrate 400A are collectively cut at a position indicated by a thick broken line CT in FIG. 25 using a dicing device or the like, whereby a plurality of light-emitting devices 100B are obtained.

図26は、発光装置100Bの外観の一例を示す。図27は、発光装置100Bを発光装置100Bの中央付近の位置で図26中のYZ面に平行に切断したときの断面を模式的に示す。図26および図27に示すように、発光装置100Bは、透光性部材140Aの側面140cを覆う光反射性部材150Bと、複合基板400Bとを含む。複合基板400Bは、基板410Bと、第1導電部411Bと、第2導電部412Bとを含み、図27に示すように、第1導電部411Bおよび第2導電部412Bは、接合部材420によって発光素子110Aの正極112Aおよび負極114Aにそれぞれ電気的に接続されている。図27に例示する構成において、光反射性部材150Bは、複合基板400Bにまで達し、接合部材420をも覆っている。   FIG. 26 shows an example of the appearance of the light emitting device 100B. FIG. 27 schematically shows a cross section of the light emitting device 100B when cut in parallel with the YZ plane in FIG. 26 at a position near the center of the light emitting device 100B. As shown in FIGS. 26 and 27, the light emitting device 100B includes a light reflective member 150B that covers the side surface 140c of the light transmissive member 140A, and a composite substrate 400B. The composite substrate 400B includes a substrate 410B, a first conductive portion 411B, and a second conductive portion 412B. As shown in FIG. 27, the first conductive portion 411B and the second conductive portion 412B emit light by the bonding member 420. The element 110A is electrically connected to the positive electrode 112A and the negative electrode 114A, respectively. In the configuration illustrated in FIG. 27, the light reflective member 150 </ b> B reaches the composite substrate 400 </ b> B and also covers the bonding member 420.

ここで、基板410B、第1導電部411Bおよび第2導電部412Bは、それぞれ、図25に示す基板410A、第1導電部411Aおよび第2導電部412Aの一部である。図26および図27に例示する構成において、発光装置100Bは、図のX軸方向に対してY軸方向に長い形状を有し、いわゆるサイドビュータイプの発光装置として用いられる。   Here, the substrate 410B, the first conductive portion 411B, and the second conductive portion 412B are part of the substrate 410A, the first conductive portion 411A, and the second conductive portion 412A shown in FIG. 25, respectively. In the configuration illustrated in FIGS. 26 and 27, the light-emitting device 100B has a shape that is longer in the Y-axis direction than the X-axis direction in the drawing, and is used as a so-called side-view type light-emitting device.

図8に示す発光装置100Aは、以下のようにして得ることもできる。図28は、本開示の第2の実施形態による発光装置の製造方法のさらに他の一例を示すフローチャートである。図28に例示された発光装置の製造方法は、概略的には、発光素子を準備する工程(ステップS23)と、表面に凹凸のパターンを有し、発光素子の上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(ステップS24)とを含む。この例において、透光性部材を形成する工程(図28のステップS24)は、図29に例示されるように、透光性の樹脂体の表面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射する工程(ステップS241)を含む。フォトマスクを介した紫外線の照射の対象となる樹脂体は、シリコーン樹脂原料を例えば硬化させることによって形成された透光性の部分をその一部に含む樹脂シートである。紫外線の照射の工程の実行後、必要に応じて、樹脂体を硬化させる工程(ステップS242)がさらに実行され得る。   The light emitting device 100A shown in FIG. 8 can also be obtained as follows. FIG. 28 is a flowchart illustrating yet another example of the method for manufacturing the light emitting device according to the second embodiment of the present disclosure. The manufacturing method of the light emitting device illustrated in FIG. 28 schematically includes a step of preparing a light emitting element (step S23), and a translucent member that has an uneven pattern on the surface and covers at least the upper surface of the light emitting element. (Step S24). In this example, as shown in FIG. 29, the step of forming the translucent member (step S24 in FIG. 28) uses a photomask having a light shielding region and a transmissive region on the surface of the translucent resin body. The process of irradiating with an ultraviolet ray through (step S241). The resin body to be irradiated with ultraviolet rays through the photomask is a resin sheet that includes a translucent part formed by, for example, curing a silicone resin raw material. After execution of the ultraviolet irradiation step, a step of curing the resin body (step S242) may be further executed as necessary.

まず、図30に示すように、透光部172を有する第1の樹脂層170を準備する。樹脂層170は、2以上の透光部172を有し得る。図30に例示する構成において、樹脂層170は、光反射性樹脂部174を有し、各透光部172は、光反射性樹脂部174によって互いに分離されている。なお、この例では、各透光部172は、透光層140Lおよび波長変換層120Lを含む。樹脂層170は、例えば以下のようにして得ることができる。   First, as shown in FIG. 30, the 1st resin layer 170 which has the translucent part 172 is prepared. The resin layer 170 may have two or more light transmitting portions 172. In the configuration illustrated in FIG. 30, the resin layer 170 includes a light reflecting resin portion 174, and the light transmitting portions 172 are separated from each other by the light reflecting resin portion 174. In this example, each light transmitting portion 172 includes a light transmitting layer 140L and a wavelength conversion layer 120L. The resin layer 170 can be obtained as follows, for example.

まず、光反射性の樹脂シートを準備する。光反射性の樹脂シートの材料としては、上述の第3樹脂材料を用いることができる。例えば、光反射性の樹脂シートは、シリコーン樹脂に二酸化チタンおよび酸化ケイ素の粒子が60重量%程度分散された樹脂シートであり得る。光反射性の樹脂シートの形成には、圧縮成形、トランスファー成形もしくは射出成形、または、印刷法もしくはスプレー法を適用した成形を用い得る。   First, a light reflective resin sheet is prepared. As the material of the light-reflective resin sheet, the above-described third resin material can be used. For example, the light-reflective resin sheet may be a resin sheet in which about 60% by weight of titanium dioxide and silicon oxide particles are dispersed in a silicone resin. For the formation of the light-reflective resin sheet, compression molding, transfer molding or injection molding, or molding using a printing method or a spray method can be used.

次に、パンチング等によって樹脂シートに貫通孔を設ける。上面視における貫通孔の形状は、例えば矩形状である。貫通孔の形成後、ポッティング法、印刷法、スプレー法等により、未硬化のシリコーン樹脂を母材として含む、例えば上述の第2樹脂材料で貫通孔の内部を充填する。このとき、貫通孔の内部に充填された第2樹脂材料において蛍光体の粒子を沈降させて第2樹脂材料を硬化させることにより、厚さ方向において蛍光体の濃度差を有する透光部を形成することが可能である。例えば、蛍光体の粒子が下面側に多く分布する透光部を形成することができる。あるいは、貫通孔の内部に透明な樹脂材料を配置して硬化させた後、透明な樹脂材料上に第2樹脂材料を付与して貫通孔をこれらの材料で充填してもよい。   Next, a through hole is provided in the resin sheet by punching or the like. The shape of the through hole in the top view is, for example, a rectangular shape. After the through hole is formed, the inside of the through hole is filled with, for example, the above-described second resin material containing an uncured silicone resin as a base material by a potting method, a printing method, a spray method, or the like. At this time, in the second resin material filled in the through hole, the phosphor particles are settled to cure the second resin material, thereby forming a light-transmitting portion having a phosphor concentration difference in the thickness direction. Is possible. For example, it is possible to form a translucent part in which many phosphor particles are distributed on the lower surface side. Or after arrange | positioning and hardening a transparent resin material inside a through-hole, you may provide a 2nd resin material on a transparent resin material, and you may fill a through-hole with these materials.

蛍光体の粒子を沈降させ、第2樹脂材料の硬化後に上下を反転させれば、図30に示すような、光反射性樹脂部174および複数の透光部172を有する樹脂層170が得られる。図30に例示する構成において、透光層140Lは、透光部172中、蛍光体の粒子の濃度が相対的に低い層である。なお、図30では、波長変換層120Lと透光層140Lとの間に境界が存在するかのようにこれらの層を図示しているが、これらの層の間の境界を明確に認識できないこともある。透光部172中のシリコーン樹脂は、予備硬化の状態であってもかまわない。   If the phosphor particles are allowed to settle and the top and bottom are inverted after the second resin material is cured, a resin layer 170 having a light reflecting resin portion 174 and a plurality of light transmitting portions 172 as shown in FIG. 30 is obtained. . In the configuration illustrated in FIG. 30, the translucent layer 140 </ b> L is a layer in the translucent portion 172 that has a relatively low concentration of phosphor particles. In FIG. 30, these layers are illustrated as if there is a boundary between the wavelength conversion layer 120 </ b> L and the translucent layer 140 </ b> L, but the boundary between these layers cannot be clearly recognized. There is also. The silicone resin in the light transmitting portion 172 may be in a precured state.

次に、樹脂層170のうち透光部172が配置された領域上にディスペンサ等によって透光性の第1樹脂材料130rを付与する。さらに、発光素子110Aを準備し(図28のステップS23)、図31に示すように、正極112Aおよび負極114Aを樹脂層170とは反対側に向けて、発光素子110Aを第1樹脂材料130r上に配置する。これにより、素子本体111の側面111cの少なくとも一部の上に第1樹脂材料130rを配置することができる。第1樹脂材料130rを硬化させることにより、第1樹脂材料130rから導光部材130Aを形成することができる。   Next, a translucent first resin material 130r is applied to a region of the resin layer 170 where the translucent portion 172 is disposed by a dispenser or the like. Further, the light emitting element 110A is prepared (step S23 in FIG. 28). As shown in FIG. 31, the positive electrode 112A and the negative electrode 114A are directed to the opposite side of the resin layer 170, and the light emitting element 110A is placed on the first resin material 130r. To place. Thereby, the first resin material 130r can be disposed on at least a part of the side surface 111c of the element body 111. By curing the first resin material 130r, the light guide member 130A can be formed from the first resin material 130r.

次に、図32に示すように、樹脂層170上の構造を覆う第2の樹脂層としての光反射性樹脂層150Tを形成する。光反射性樹脂層の材料には、上述の光反射性の樹脂シートの材料、すなわち、樹脂層170の光反射性樹脂部174の材料と同様に上述の第3樹脂材料を用いることができる。光反射性樹脂層150Tの形成には、例えばトランスファー成形を適用できる。   Next, as shown in FIG. 32, a light reflective resin layer 150T as a second resin layer covering the structure on the resin layer 170 is formed. As the material of the light reflective resin layer, the above-described third resin material can be used similarly to the material of the above-described light reflective resin sheet, that is, the material of the light reflective resin portion 174 of the resin layer 170. For example, transfer molding can be applied to the formation of the light reflective resin layer 150T.

次に、研削加工等を適用して光反射性樹脂層150Tの上面側から光反射性樹脂層150Tの一部を除去することにより、図33に示すように、各発光素子110Aの正極112Aおよび負極114Aを研削面から露出させる。   Next, by applying a grinding process or the like to remove a part of the light reflective resin layer 150T from the upper surface side of the light reflective resin layer 150T, as shown in FIG. 33, the positive electrodes 112A and 110A of the respective light emitting elements 110A and The negative electrode 114A is exposed from the ground surface.

その後、ダイシング装置等によって樹脂層170および光反射性樹脂層150Tを互いに隣接する2つの発光素子110Aの位置で切断することにより、光反射性樹脂部174および光反射性樹脂層150Tから光反射性部材150Aを形成して、図34に示すように、各々が、図11に示す発光体100Uと同様の構成を有する複数の発光体が得られる。この例において、樹脂層170の透光部172の透光層140Lおよび波長変換層120Lが、透光性の樹脂体140Uおよび波長変換部材120Aに対応する。   Thereafter, the resin layer 170 and the light-reflective resin layer 150T are cut at the positions of the two light emitting elements 110A adjacent to each other by a dicing device or the like, so that the light-reflective resin portion 174 and the light-reflective resin layer 150T are light-reflective. Forming member 150A, as shown in FIG. 34, a plurality of light emitters each having the same configuration as light emitter 100U shown in FIG. 11 is obtained. In this example, the translucent layer 140L and the wavelength conversion layer 120L of the translucent part 172 of the resin layer 170 correspond to the translucent resin body 140U and the wavelength conversion member 120A.

次に、樹脂体140Uから、発光素子110Aの上面を少なくとも覆う透光性部材140Aを形成する。透光性部材140Aの形成の工程は、例えば図23および図24を参照して説明した例と同様にして実行することができる。   Next, a translucent member 140A that covers at least the upper surface of the light emitting element 110A is formed from the resin body 140U. The step of forming the translucent member 140A can be performed in the same manner as the example described with reference to FIGS. 23 and 24, for example.

例えば、まず、図23に示すように、支持体60上に発光体100Uを配置し、上面100Uaにフォトマスク200を配置する。さらに、樹脂体140Uの上面140aを、フォトマスク200を介して紫外線で照射する(図29のステップS241)。この工程も、図6を参照して説明した、樹脂体140Xの主面140aへの紫外線の照射の例と同様にして実行することができる。紫外線の照射により、上面140aに複数の凹部140dを形成することができ、その結果、表面に凹凸のパターンを有し、発光素子110Aの上面を覆う透光性部材140Aが得られる(図28のステップS24)。   For example, first, as shown in FIG. 23, the light emitter 100U is disposed on the support 60, and the photomask 200 is disposed on the upper surface 100Ua. Further, the upper surface 140a of the resin body 140U is irradiated with ultraviolet rays through the photomask 200 (step S241 in FIG. 29). This step can also be performed in the same manner as the example of the irradiation of ultraviolet rays onto the main surface 140a of the resin body 140X described with reference to FIG. A plurality of concave portions 140d can be formed on the upper surface 140a by irradiation with ultraviolet rays, and as a result, a translucent member 140A having an uneven pattern on the surface and covering the upper surface of the light emitting element 110A is obtained (FIG. 28). Step S24).

なお、透光部172を有する樹脂層170の段階で、図4〜図6を参照した例と同様の方法により、透光部172の表面に複数の凹部140dを形成してもよい。樹脂体140U中のシリコーン樹脂がBステージの状態にある場合には、凹部140dの形成後、例えば加熱によって樹脂体140Uを硬化させることにより(図29のステップS242)、透光性部材140Aを有する発光装置100Aが得られる。   Note that, at the stage of the resin layer 170 having the light transmitting portion 172, a plurality of concave portions 140d may be formed on the surface of the light transmitting portion 172 by the same method as the example with reference to FIGS. When the silicone resin in the resin body 140U is in the B-stage state, the resin body 140U is cured by, for example, heating (step S242 in FIG. 29) after the formation of the recess 140d, so that the translucent member 140A is provided. A light emitting device 100A is obtained.

個片化の前の段階、換言すれば、各々が発光体100Uと同様の構成を有する複数の発光体の集合体の段階で、紫外線の照射の工程が実行されてもよい。図33に示すように、正極112Aおよび負極114Aを光反射性樹脂層150Tから露出させた後であって光反射性樹脂層150Tを切断する前の状態、すなわち、複数の発光体が光反射性樹脂層150Tによって一体的に保持された状態で、紫外線を照射する工程を行い、その後、光反射性樹脂層150Tを切断して複数の発光装置100Aを得てもよい。   The step of irradiating with ultraviolet rays may be performed at the stage before separation, in other words, at the stage of an assembly of a plurality of light emitters each having the same configuration as that of the light emitter 100U. As shown in FIG. 33, after the positive electrode 112A and the negative electrode 114A are exposed from the light reflective resin layer 150T and before the light reflective resin layer 150T is cut, that is, the plurality of light emitters are light reflective. A plurality of light emitting devices 100A may be obtained by performing a step of irradiating ultraviolet rays while being integrally held by the resin layer 150T, and then cutting the light reflective resin layer 150T.

(第2の実施形態の変形例)
図35は、第2の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる発光装置のさらに他の一例を示す。図35に示す発光装置100Cは、図8を参照して説明した例と同様に、発光素子110A、波長変換部材120A、導光部材130A、透光性部材140Aおよび光反射性部材150Cを有する。光反射性部材150Cが、発光素子110Aの側面を取り囲み、かつ、素子本体111の下面111bのうち、正極112Aおよび負極114Aの配置された領域以外の領域を覆う点は、図8に示す発光装置100Aの光反射性部材150Aと同様である。ただし、この例では、光反射性部材150Cは、波長変換部材120Aの側面120cおよび透光性部材140Aの側面140cを覆っていない。
(Modification of the second embodiment)
FIG. 35 shows still another example of the light emitting device obtained by the method for manufacturing the light emitting device according to the second embodiment. A light emitting device 100C illustrated in FIG. 35 includes a light emitting element 110A, a wavelength conversion member 120A, a light guide member 130A, a light transmissive member 140A, and a light reflective member 150C, as in the example described with reference to FIG. The light-reflecting member 150C surrounds the side surface of the light-emitting element 110A and covers the area of the lower surface 111b of the element body 111 other than the area where the positive electrode 112A and the negative electrode 114A are disposed, as shown in FIG. It is the same as the light reflective member 150A of 100A. However, in this example, the light reflective member 150C does not cover the side surface 120c of the wavelength conversion member 120A and the side surface 140c of the translucent member 140A.

図35に示す発光装置100Cは、概略的には、図30〜図34を参照しながら説明した例と同様に、図28に示すフローと同様の工程に従って製造することができる。ただし、ここでは、透光性部材の形成の工程は、図36に示すように、透光シートの主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射する工程(ステップS243)と、紫外線で照射された透光シートを発光素子の上面側に配置する工程(ステップS244)とを含む。フォトマスクを介した紫外線の照射の対象となる透光シートは、典型的には、未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成されたシートである。以下、図面を参照しながら、発光装置100Cの例示的な製造方法の詳細を説明する。   The light emitting device 100C shown in FIG. 35 can be manufactured generally according to the same process as the flow shown in FIG. 28, as in the example described with reference to FIGS. However, here, as shown in FIG. 36, the step of forming the translucent member is a step of irradiating the main surface of the translucent sheet with ultraviolet rays through a photomask having a light shielding region and a transmissive region (step S243). ) And a step of placing the translucent sheet irradiated with ultraviolet rays on the upper surface side of the light emitting element (step S244). The translucent sheet to be irradiated with ultraviolet rays through a photomask is typically a sheet formed by curing an uncured silicone resin raw material. Hereinafter, details of an exemplary manufacturing method of the light emitting device 100C will be described with reference to the drawings.

まず、発光素子を準備する(図28のステップS23)。さらに、発光素子110Aの上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する(図28のステップS24)。ここでは、透光性部材の形成に際し、まず、図37に示すような、波長変換層120Vおよび透光層140Vを有する積層シート片170Vを準備する。この例では、透光層140Vは、主面140Vaおよび主面140Vbを有し、主面140Vbは、波長変換層120Vの一方の主面120Vaに対向している。図37に模式的に示すように、透光層140Vは、主面140Vaに複数の凹部140dを有している。積層シート片170Vは、例えば、上述の積層シート片LBと同様にして作製することができる。   First, a light emitting element is prepared (step S23 in FIG. 28). Further, a translucent member that covers at least the upper surface of the light emitting element 110A is formed (step S24 in FIG. 28). Here, when forming the translucent member, first, a laminated sheet piece 170V having a wavelength conversion layer 120V and a translucent layer 140V as shown in FIG. 37 is prepared. In this example, the translucent layer 140V has a main surface 140Va and a main surface 140Vb, and the main surface 140Vb faces one main surface 120Va of the wavelength conversion layer 120V. As schematically shown in FIG. 37, the translucent layer 140V has a plurality of recesses 140d on the main surface 140Va. The laminated sheet piece 170V can be produced in the same manner as the laminated sheet piece LB described above, for example.

まず、主面を有する透光性の樹脂シート(以下、簡単のために、単に「透光シート」と呼ぶことがある。)を準備する。透光シートは、例えば、未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって得ることができる。上述の樹脂体140Xは、透光シートの一例である。透光シートは、Bステージの状態であってもよい。   First, a translucent resin sheet having a main surface (hereinafter simply referred to as “translucent sheet” for simplicity) is prepared. The translucent sheet can be obtained, for example, by curing an uncured silicone resin raw material. The above-described resin body 140X is an example of a translucent sheet. The translucent sheet may be in a B-stage state.

透光シートの準備後、透光シートの主面上にフォトマスク200を配置し、例えば紫外線照射装置500を用いてフォトマスク200を介して透光シートの主面を紫外線で照射する(図36のステップS243)。フォトマスク200を介した紫外線の照射により、透光シートの主面のうちフォトマスク200の遮光領域200sに対応する第1領域R1の高さと、透光シートの主面のうちフォトマスク200の透過領域200tに対応する第2領域R2の高さとを互いに異ならせて、透光シートの主面に複数の凹部140dを形成することができる。透光シートの主面への凹部形成の工程は、図4〜図6を参照して説明した、樹脂体140Xの主面140aへの複数の凹部140dの形成の例と同様にして実行することができる。   After preparing the translucent sheet, a photomask 200 is placed on the main surface of the translucent sheet, and the main surface of the translucent sheet is irradiated with ultraviolet rays through the photomask 200 using, for example, an ultraviolet irradiation device 500 (FIG. 36). Step S243). By irradiation with ultraviolet rays through the photomask 200, the height of the first region R1 corresponding to the light-shielding region 200s of the photomask 200 in the main surface of the translucent sheet and the transmission of the photomask 200 in the main surface of the translucent sheet. The plurality of recesses 140d can be formed on the main surface of the light transmitting sheet by making the height of the second region R2 corresponding to the region 200t different from each other. The step of forming the recesses on the main surface of the translucent sheet is performed in the same manner as the example of forming the plurality of recesses 140d on the main surface 140a of the resin body 140X described with reference to FIGS. Can do.

以上の工程により、図7に示す透光性部材140と同様の、主面140aに複数の凹部140dを有する透光シートが得られる。必要に応じて、紫外線の照射後の透光シートを所定の寸法に切断する。ここでは、透光シートは、上面視において例えば矩形状の外形を有する。さらに、透光シートの主面140aとは反対側の主面上に波長変換層120Vを形成する。波長変換層120Vの形成により、上述の透光シートを透光層140Vとして含む積層シート片170Vが得られる。   Through the above steps, a translucent sheet having a plurality of recesses 140d on the main surface 140a, which is similar to the translucent member 140 shown in FIG. 7, is obtained. If necessary, the translucent sheet after irradiation with ultraviolet rays is cut into a predetermined size. Here, the translucent sheet has, for example, a rectangular outer shape in a top view. Further, the wavelength conversion layer 120V is formed on the main surface opposite to the main surface 140a of the translucent sheet. By forming the wavelength conversion layer 120V, a laminated sheet piece 170V including the above-described translucent sheet as the translucent layer 140V is obtained.

波長変換層120Vの形成には、上述の積層シート片LBの形成の例と同様の手法を適用できる。例えば、蛍光体の粒子が分散された樹脂材料中の樹脂をBステージの状態とした蛍光体シートを透光シートの主面140aとは反対側の主面上に配置し、熱によってこれらのシートを貼り合わせることにより、積層シート片170Vが得られる。あるいは、透光シートの主面140aとは反対側の主面上に上述の第2樹脂材料を付与した後、第2樹脂材料を硬化させることによって波長変換層120Vを形成してもよい。購入によって積層シート片170Vを準備してもよい。なお、複数の凹部140dの形成は、透光層140Vの一方の主面上に波長変換層120Vを配置した後に実行されてもかまわない。例えば、透光層140Vの一方の主面上に波長変換層120Vを形成した後に、透光シートの波長変換層120Vとは反対側の主面に複数の凹部140dを形成してもかまわない。   For the formation of the wavelength conversion layer 120V, a method similar to the example of the formation of the laminated sheet piece LB described above can be applied. For example, a phosphor sheet in which a resin in a resin material in which phosphor particles are dispersed is in a B-stage state is disposed on the main surface opposite to the main surface 140a of the translucent sheet, and these sheets are heated by heat. Is laminated to obtain a laminated sheet piece 170V. Or after giving the above-mentioned 2nd resin material on the main surface on the opposite side to the main surface 140a of a translucent sheet | seat, you may form the wavelength conversion layer 120V by hardening a 2nd resin material. The laminated sheet piece 170V may be prepared by purchase. The formation of the plurality of concave portions 140d may be performed after the wavelength conversion layer 120V is disposed on one main surface of the light transmitting layer 140V. For example, after forming the wavelength conversion layer 120V on one main surface of the translucent layer 140V, a plurality of recesses 140d may be formed on the main surface of the translucent sheet opposite to the wavelength conversion layer 120V.

その後、紫外線で照射された透光シートを発光素子の上面側に配置する(図36のステップS244)。ここでは、図37に模式的に示すように、波長変換層120V上に第1樹脂材料130rを付与し、第1樹脂材料130r上に発光素子110Aを配置する。このとき、素子本体111の上面111aを積層シート片170Vに向けて第1樹脂材料130r上に発光素子110Aを配置する。これにより、素子本体111の側面111cの少なくとも一部の上に第1樹脂材料130rを配置することができる。第1樹脂材料130rを硬化させることにより、図38に示すように、導光部材130Aを形成して、上述の透光シートを透光層140Vの形で発光素子110Aの上面側に配置することができる。なお、図37および図38では、1つの発光素子110Aを図示しているが、図31を参照して説明した、樹脂層170上に複数の発光素子110Aを配置する例のように、積層シート片170V上に複数の発光素子110Aを配置してよいことはいうまでもない。   Thereafter, the translucent sheet irradiated with ultraviolet rays is disposed on the upper surface side of the light emitting element (step S244 in FIG. 36). Here, as schematically shown in FIG. 37, the first resin material 130r is provided on the wavelength conversion layer 120V, and the light emitting element 110A is disposed on the first resin material 130r. At this time, the light emitting element 110A is disposed on the first resin material 130r with the upper surface 111a of the element body 111 facing the laminated sheet piece 170V. Thereby, the first resin material 130r can be disposed on at least a part of the side surface 111c of the element body 111. By curing the first resin material 130r, as shown in FIG. 38, the light guide member 130A is formed, and the above-described light-transmitting sheet is disposed on the upper surface side of the light-emitting element 110A in the form of the light-transmitting layer 140V. Can do. 37 and 38, one light emitting element 110A is illustrated. However, as in the example in which a plurality of light emitting elements 110A are arranged on the resin layer 170 described with reference to FIG. It goes without saying that a plurality of light emitting elements 110A may be arranged on the piece 170V.

次に、積層シート片170Vに例えば上述の第3樹脂材料を付与し、積層シート片170V上の構造を第3樹脂材料によって覆い、第3樹脂材料を硬化させる。第3樹脂材料を硬化させることにより、図39に示すように、発光素子110Aおよび導光部材130Aを覆う光反射性樹脂層150Tを形成することができる。光反射性樹脂層150Tの形成には、例えばトランスファー成形を適用できる。透光層140V中のシリコーン樹脂がBステージの状態である場合には、この光反射性樹脂層150Tの形成の工程において透光層140V中のシリコーン樹脂が硬化され得る。   Next, for example, the above-described third resin material is applied to the laminated sheet piece 170V, the structure on the laminated sheet piece 170V is covered with the third resin material, and the third resin material is cured. By curing the third resin material, as shown in FIG. 39, a light reflective resin layer 150T covering the light emitting element 110A and the light guide member 130A can be formed. For example, transfer molding can be applied to the formation of the light reflective resin layer 150T. When the silicone resin in the translucent layer 140V is in a B-stage state, the silicone resin in the translucent layer 140V can be cured in the step of forming the light reflective resin layer 150T.

その後、研削加工等によって正極112Aおよび負極114Aを研削面から露出させ、図40に示すように、ダイシング装置等を用いて積層シート片170Vおよび光反射性樹脂層150Tを所望の形状に切り出す。以上の工程により、積層シート片170Vから透光性部材140Aおよび波長変換部材120Aを形成し、光反射性樹脂層150Tから光反射性部材150Cを形成して、図35に示す発光装置100Cが得られる。なお、ここでは、積層シート片170Vの波長変換層120Vおよび透光層140Vのうちの透光層140Vに、複数の凹部140dが形成された透光シートを用いている。ただし、この例に限定されず、図4〜図6を参照して説明した手法と同様の手法を適用することによって複数の凹部が形成された蛍光体シートを波長変換層120Vとして用いてもよい。このとき、透光層140Vを省略して、発光素子110Aの上面の上方に位置する透光性部材を波長変換層120Vから形成してもよい。   Thereafter, the positive electrode 112A and the negative electrode 114A are exposed from the ground surface by grinding or the like, and as shown in FIG. 40, the laminated sheet piece 170V and the light-reflective resin layer 150T are cut into desired shapes using a dicing apparatus or the like. Through the above steps, the translucent member 140A and the wavelength conversion member 120A are formed from the laminated sheet piece 170V, and the light reflective member 150C is formed from the light reflective resin layer 150T, whereby the light emitting device 100C shown in FIG. 35 is obtained. It is done. Here, a translucent sheet in which a plurality of concave portions 140d are formed in the translucent layer 140V of the wavelength conversion layer 120V and the translucent layer 140V of the laminated sheet piece 170V is used. However, the present invention is not limited to this example, and a phosphor sheet in which a plurality of recesses are formed by applying a method similar to the method described with reference to FIGS. 4 to 6 may be used as the wavelength conversion layer 120V. . At this time, the translucent layer 140V may be omitted, and the translucent member positioned above the upper surface of the light emitting element 110A may be formed from the wavelength conversion layer 120V.

本実施形態においては、凹部140dを有する主面140aが発光装置の上面(表面)を構成する例を挙げて図示している。ただし、凹部140dは、発光装置の表面に配置されてなくてもよい。例えば、凹部140dが形成された主面140aを発光素子または発光体の上面に対向させてもよい。あるいは、主面140aおよび主面140aとは反対側の主面140bの両方に凹凸のパターンを形成してもよい。凹部140dの内部は、空気によって満たされていてもよいし、透光性部材140Aを構成する材料とは異なる屈折率を有する材料で充填されてもよい。いずれにせよ、透光性部材140Aの表面に凹凸のパターンが形成されている点は、上述の各例の間で共通している。   In the present embodiment, an example in which the main surface 140a having the recess 140d constitutes the upper surface (surface) of the light emitting device is illustrated. However, the recess 140d may not be disposed on the surface of the light emitting device. For example, the main surface 140a on which the recess 140d is formed may be opposed to the upper surface of the light emitting element or the light emitter. Alternatively, an uneven pattern may be formed on both the main surface 140a and the main surface 140b opposite to the main surface 140a. The inside of the recess 140d may be filled with air, or may be filled with a material having a refractive index different from that of the material constituting the translucent member 140A. In any case, the point that the uneven pattern is formed on the surface of the translucent member 140A is common among the above-described examples.

(第3の実施形態)
図41および図42は、第3の実施形態による発光装置の製造方法によって得られる発光装置の一例を示す。図41は、発光装置を上面側から見た例示的な外観を示し、図42は、図41のXLII−XLII断面を示す。
(Third embodiment)
41 and 42 show an example of a light emitting device obtained by the method for manufacturing a light emitting device according to the third embodiment. FIG. 41 shows an exemplary appearance of the light emitting device as viewed from the upper surface side, and FIG. 42 shows a XLII-XLII cross section of FIG.

図41および図42に示す発光装置100Eは、概略的には、発光素子110Bと、発光素子110Bを取り囲む基台350と、一対のリード361、362を有するパッケージ300とを含む。パッケージ300の基台350の中央には、素子載置凹部350eが設けられており、発光素子110Bは、素子載置凹部350eの内側に配置されている。基台350は、上述の光反射性部材150A〜150Cと同様に、例えば、光反射性のフィラーが分散された第3樹脂材料から形成され、発光素子110Bから出射された光線を反射させて発光装置100Eの上面100a側から外部に出射させる機能を有する。本実施形態におけるパッケージは、絶縁材料である樹脂を母材とする基台および導電性のリードを有する、上述のような樹脂パッケージのほか、基台の材料としてセラミックを用いたセラミックパッケージまたは金属パッケージ等の、公知の電子部品用パッケージを用いることができる。   41 and 42 schematically includes a light emitting element 110B, a base 350 surrounding the light emitting element 110B, and a package 300 having a pair of leads 361 and 362. An element mounting recess 350e is provided in the center of the base 350 of the package 300, and the light emitting element 110B is disposed inside the element mounting recess 350e. The base 350 is formed of, for example, a third resin material in which a light-reflective filler is dispersed, and emits light reflected from the light-emitting element 110B, similarly to the above-described light-reflective members 150A to 150C. The device 100E has a function of emitting light from the upper surface 100a side to the outside. The package in the present embodiment includes a ceramic package or a metal package using ceramic as a base material in addition to the resin package as described above, which has a base made of a resin, which is an insulating material, and conductive leads. A known package for electronic components such as can be used.

図42に示すように、リード361の上面361aの一部およびリード362の上面362aの一部は、素子載置凹部350eの底面350fの一部を構成し、リード361の下面361bおよびリード362の下面362bは、発光装置100Eの下面100bから露出されている。ここでは、発光素子110Bは、接合部材360によってリード361上に固定されている。接合部材360を構成する材料は、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂材料等の絶縁性の材料、または、Agペースト等の導電性の材料である。   As shown in FIG. 42, a part of the upper surface 361a of the lead 361 and a part of the upper surface 362a of the lead 362 constitute a part of the bottom surface 350f of the element mounting recess 350e, and the lower surface 361b of the lead 361 and the lead 362 The lower surface 362b is exposed from the lower surface 100b of the light emitting device 100E. Here, the light emitting element 110 </ b> B is fixed on the lead 361 by the bonding member 360. The material constituting the bonding member 360 is an insulating material such as a resin material such as an epoxy resin or a silicone resin, or a conductive material such as an Ag paste.

図41および図42に例示する構成において、発光素子110Bは、下面110bとは反対側の上面110aに正極112Bおよび負極114Bを有する。正極112Bおよび負極114Bには、Au、Ag、Al、Cu等の導電性のワイヤ372および371がそれぞれ接続される。この例では、ワイヤ372によって正極112Bがリード362に電気的に接続され、ワイヤ371によって負極114Bがリード361に電気的に接続されている。   41 and 42, the light emitting element 110B has a positive electrode 112B and a negative electrode 114B on the upper surface 110a opposite to the lower surface 110b. Conductive wires 372 and 371 such as Au, Ag, Al, and Cu are connected to the positive electrode 112B and the negative electrode 114B, respectively. In this example, the positive electrode 112 </ b> B is electrically connected to the lead 362 by the wire 372, and the negative electrode 114 </ b> B is electrically connected to the lead 361 by the wire 371.

発光装置100Eは、素子載置凹部350eの内側に位置する透光性部材340をさらに含む。図42に模式的に示すように、透光性部材340は、発光素子110B、ワイヤ371および372を覆っている。また、図42に模式的に示すように、透光性部材340は、発光素子110Bの上面110aの上方に位置する上面340aに、例えば二次元的に配置された複数の凹部340dを有する。なお、この例では、透光性部材340の上面340aは、基台350の上面350aと概ね整合しており、透光性部材340の上面340aは、上面350aとともに発光装置100Eの上面100aを構成する。   The light emitting device 100E further includes a translucent member 340 located inside the element mounting recess 350e. As schematically shown in FIG. 42, the translucent member 340 covers the light emitting element 110B and the wires 371 and 372. Further, as schematically shown in FIG. 42, the translucent member 340 has a plurality of recesses 340d, for example, two-dimensionally arranged on the upper surface 340a located above the upper surface 110a of the light emitting element 110B. In this example, the upper surface 340a of the translucent member 340 is substantially aligned with the upper surface 350a of the base 350, and the upper surface 340a of the translucent member 340 constitutes the upper surface 100a of the light emitting device 100E together with the upper surface 350a. To do.

なお、透光性部材340の上面340aが基台350の上面350aと概ね整合することは、必須ではない。図43に模式的に示すように、透光性部材340の上面340aは、周縁部と比較してその中央が低く窪んだ凹状を有し得る。また、図示しないが、透光性部材340の上面340aは、中央が高くなった凸状であってもよい。   It is not essential that the upper surface 340a of the translucent member 340 is substantially aligned with the upper surface 350a of the base 350. As schematically shown in FIG. 43, the upper surface 340a of the translucent member 340 may have a concave shape whose center is lower than that of the peripheral edge. Although not shown, the upper surface 340a of the translucent member 340 may have a convex shape with a raised center.

以下、発光装置100Eの例示的な製造方法を説明する。図41および図42に示す発光装置100Eは、概略的には、図9に示すフローと同様の工程に従って製造することができる。ただし、ここでは、発光体の準備の工程は、図44に示すように、上面を有する発光素子を準備する工程(ステップS214)と、シリコーン樹脂原料で発光素子を覆い、シリコーン樹脂原料を硬化させることによって樹脂体を形成する工程(ステップS215)とを含む。透光性部材の形成の工程は、図10を参照して説明した例と同様であり得る。   Hereinafter, an exemplary manufacturing method of the light emitting device 100E will be described. The light emitting device 100E shown in FIGS. 41 and 42 can be manufactured generally according to the same process as the flow shown in FIG. However, here, in the step of preparing the light emitter, as shown in FIG. 44, the step of preparing the light emitting element having the upper surface (step S214), the light emitting element is covered with the silicone resin raw material, and the silicone resin raw material is cured. And a step of forming a resin body (step S215). The process of forming the translucent member may be the same as the example described with reference to FIG.

発光体の準備(図9のステップS21)に際し、まず、発光素子110Bおよびパッケージ300を準備する(図44のステップS214)。ここで、パッケージ300は、各々がパッケージ300を構成する複数の単位を含む複合基板の形で準備することができる。図45は、複合基板の一例を示す。図45に例示する複合基板300Fは、導電性のリードフレーム360Fと、複数の素子載置凹部350eが設けられた基台350Fとを含む。図45では、それぞれが素子載置凹部350eを含む複数の単位のうちの4つを取り出して示している。   When preparing the light emitter (step S21 in FIG. 9), first, the light emitting element 110B and the package 300 are prepared (step S214 in FIG. 44). Here, the package 300 can be prepared in the form of a composite substrate that includes a plurality of units each constituting the package 300. FIG. 45 shows an example of a composite substrate. A composite substrate 300F illustrated in FIG. 45 includes a conductive lead frame 360F and a base 350F provided with a plurality of element mounting recesses 350e. In FIG. 45, four of a plurality of units each including the element mounting recess 350e are extracted and shown.

図45に模式的に示すように、リードフレーム360Fは、第1導電部材であるリード361および第2導電部材であるリード362の複数の組と、互いに隣接する組の間に配置され、これらの組を互いに接続する複数の連結部363とを有する。リード361および362は、例えば、Cuから形成された基材と、基材を被覆する金属層とを有し得る。基材を被覆する金属層は、Ag、Al、Ni、Pd、Rh、Au、Cu、または、これらの合金等を含む、例えばめっき層である。基材を被覆する金属層は、各層がこれらの金属材料の1種以上を含む積層体の形で形成されてもよい。   As schematically shown in FIG. 45, the lead frame 360F is disposed between a plurality of sets of the lead 361 serving as the first conductive member and the lead 362 serving as the second conductive member, and the sets adjacent to each other, and And a plurality of connecting portions 363 connecting the sets to each other. The leads 361 and 362 may have, for example, a base material made of Cu and a metal layer that covers the base material. The metal layer covering the substrate is, for example, a plating layer containing Ag, Al, Ni, Pd, Rh, Au, Cu, or an alloy thereof. The metal layer covering the substrate may be formed in the form of a laminate in which each layer includes one or more of these metal materials.

リード361の一部およびリード362の一部は、基台350Fの素子載置凹部350eのそれぞれの底部において露出されている。素子載置凹部350e内において互いに対向するリード361および362の組のそれぞれは、リード361および362が互いに空間的に分離されることによって形成されたギャップGpを有する。複合基板300Fは、リードフレーム360Fに基台350Fをトランスファー成形等によって一体的に形成することによって得ることが可能である。ギャップGpは、基台350Fを構成する材料によって埋められる。   A part of the lead 361 and a part of the lead 362 are exposed at the bottom of each element mounting recess 350e of the base 350F. Each of the sets of leads 361 and 362 facing each other in the element mounting recess 350e has a gap Gp formed by spatially separating the leads 361 and 362 from each other. The composite substrate 300F can be obtained by integrally forming the base 350F on the lead frame 360F by transfer molding or the like. The gap Gp is filled with the material constituting the base 350F.

次に、図46に示すように、各素子載置凹部350e内に発光素子110Bを配置し、ワイヤ371および372によって正極112Bおよび負極114Bをリード361、362に電気的に接続する。   Next, as shown in FIG. 46, the light emitting element 110B is disposed in each element mounting recess 350e, and the positive electrode 112B and the negative electrode 114B are electrically connected to the leads 361 and 362 by wires 371 and 372, respectively.

さらに、各素子載置凹部350eを未硬化のシリコーン樹脂を含むシリコーン樹脂原料で充填し、シリコーン樹脂原料を硬化させることにより、発光素子110Bを覆う透光性の樹脂体340Zを形成する(図44のステップS215)。樹脂体340Zを形成するためのシリコーン樹脂原料は、上述の樹脂体140Xの材料と同様の材料であり得る。すなわち、樹脂体340Z中のシリコーン樹脂は、典型的には、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサン、および/または、2つのメチル基がケイ素原子に結合したDユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する。シリコーン樹脂原料は、光散乱性のフィラー等がさらに分散された原料であってもよい。   Furthermore, each element mounting recess 350e is filled with a silicone resin raw material containing an uncured silicone resin, and the silicone resin raw material is cured, thereby forming a translucent resin body 340Z that covers the light emitting element 110B (FIG. 44). Step S215). The silicone resin raw material for forming the resin body 340Z may be a material similar to the material of the resin body 140X described above. That is, the silicone resin in the resin body 340Z is typically an organic polysiloxane having at least one phenyl group in the molecule and / or an organic polysiloxane having a D unit in which two methyl groups are bonded to a silicon atom. Contains siloxane. The silicone resin raw material may be a raw material in which a light-scattering filler or the like is further dispersed.

以上の工程により、図46に示すように、各々が発光素子110Bおよび透光性の樹脂体340Zを有する複数の発光体100Yを単位とする繰り返し構造が得られる。ここでは、さらに、図19、図23を参照して説明した例と同様にして、樹脂体340Zの上面に凹凸パターンを形成する。   Through the above steps, as shown in FIG. 46, a repetitive structure in which a plurality of light emitters 100Y each having a light emitting element 110B and a translucent resin body 340Z as a unit is obtained. Here, in the same manner as in the example described with reference to FIGS. 19 and 23, an uneven pattern is formed on the upper surface of the resin body 340Z.

例えば、図47に模式的に示すように、支持体60上に発光体100Yを配置し、素子載置凹部350eの開口側にフォトマスク200を配置する。このとき、図47に示すように、フォトマスク200は、樹脂体340Zと接していてもよい。樹脂体340Zの上面が凹状である場合には、フォトマスク200は、図48に示すように、基台350Fと接しながらも樹脂体340Zとは離間するように配置され得る。   For example, as schematically shown in FIG. 47, the light emitter 100Y is disposed on the support 60, and the photomask 200 is disposed on the opening side of the element mounting recess 350e. At this time, as shown in FIG. 47, the photomask 200 may be in contact with the resin body 340Z. When the upper surface of the resin body 340Z is concave, the photomask 200 can be disposed so as to be separated from the resin body 340Z while being in contact with the base 350F, as shown in FIG.

さらに、例えば紫外線照射装置500により、フォトマスク200を介して樹脂体340Zの上面340a(例えば図19、図23の樹脂体140Uの上面140aに相当)を紫外線で照射する(図10のステップS221)。紫外線の照射により、図49に模式的に示すように、上面340aのうちフォトマスク200の遮光領域200sに対応する第1領域R1の高さと、上面340aのうちフォトマスク200の透過領域200tに対応する第2領域R2の高さとを互いに異ならせ得る。結果として、樹脂体340Zから、発光素子110Bの上面110aを覆い、上面340aに複数の凹部340dを有する透光性部材340を形成することができる。その後、ダイシング装置等によって、互いに隣接する2つの発光体100Yの間の位置で基台350Fとリードフレーム360Fの連結部363とを切断することにより、複数の発光装置100Eを得ることができる。   Further, the upper surface 340a of the resin body 340Z (for example, corresponding to the upper surface 140a of the resin body 140U in FIGS. 19 and 23) is irradiated with ultraviolet rays through the photomask 200 by, for example, the ultraviolet irradiation device 500 (step S221 in FIG. 10). . 49, as schematically shown in FIG. 49, the height of the first region R1 corresponding to the light shielding region 200s of the photomask 200 in the upper surface 340a and the transmission region 200t of the photomask 200 in the upper surface 340a are schematically illustrated. The height of the second region R2 can be made different from each other. As a result, the translucent member 340 that covers the upper surface 110a of the light emitting element 110B and has a plurality of recesses 340d on the upper surface 340a can be formed from the resin body 340Z. Thereafter, a plurality of light emitting devices 100E can be obtained by cutting the base 350F and the connecting portion 363 of the lead frame 360F at a position between the two adjacent light emitters 100Y by a dicing device or the like.

なお、樹脂体340Zの形成に先立ち、発光素子110Bを覆う波長変換部材を形成してもよい。例えば、発光素子110Bが覆われるように各素子載置凹部350eの内部に、蛍光体を含む樹脂材料である第2樹脂材料を付与し、第2樹脂材料を硬化させることにより、波長変換部材を形成する。さらに、波長変換部材上に樹脂体340Zを形成する。   Prior to the formation of the resin body 340Z, a wavelength conversion member that covers the light emitting element 110B may be formed. For example, the second resin material, which is a resin material containing a phosphor, is applied inside each element mounting recess 350e so that the light emitting element 110B is covered, and the second resin material is cured to thereby change the wavelength conversion member. Form. Further, a resin body 340Z is formed on the wavelength conversion member.

その後、図47および図48を参照して説明した工程を実行すれば、図50に例示する発光装置100F、あるいは、図51に例示する発光装置100Gが得られる。発光装置100Fおよび発光装置100Gは、発光素子110Bを覆う波長変換部材320Aと、波長変換部材320Aを覆う透光性部材340とを素子載置凹部350eの内側に有する。図50および図51のいずれの例においても、透光性部材340の上面340aには、複数の凹部340dが設けられている。図50に示す例と比較して、図51に示す例では、透光性部材340の上面340aは、その中央が窪んだ形状を有しており、上面340aの多くの部分は、基台350の上面350aよりも低い位置にある。   Thereafter, when the steps described with reference to FIGS. 47 and 48 are executed, the light emitting device 100F illustrated in FIG. 50 or the light emitting device 100G illustrated in FIG. 51 is obtained. The light emitting device 100F and the light emitting device 100G have a wavelength conversion member 320A that covers the light emitting element 110B and a translucent member 340 that covers the wavelength conversion member 320A inside the element mounting recess 350e. 50 and 51, the upper surface 340a of the translucent member 340 is provided with a plurality of recesses 340d. Compared with the example shown in FIG. 50, in the example shown in FIG. 51, the upper surface 340a of the translucent member 340 has a shape in which the center is depressed, and many portions of the upper surface 340a are formed on the base 350. It is in a position lower than the upper surface 350a.

あるいは、シリコーン樹脂を含有する第2樹脂材料をシリコーン樹脂原料として用いて第2樹脂材料で各素子載置凹部350eを充填してもよい。素子載置凹部350e内の第2樹脂材料を硬化させて発光体を得た後、図47および図48を参照して説明した工程と同様の工程を実行すれば、図52に例示する発光装置100H、あるいは、図53に例示する発光装置100Iが得られる。発光装置100Hおよび発光装置100Iは、素子載置凹部350e内に、発光素子110Bを覆う波長変換部材320Bを有する。図52および図53に模式的に示すように、波長変換部材320Bは、その上面320aに、複数の凹部340dを有する。図61を参照して説明した例と同様に、図53に示す例では、図52に示す例と比較して、波長変換部材320Bの上面320aは、その中央が窪んだ形状を有しており、上面320aの多くの部分は、基台350の上面350aよりも低い位置にある。このように、透光性部材としての波長変換部材320Bに、紫外線の部分的な照射により、複数の凹部320dを形成してもよい。   Or you may fill each element mounting recessed part 350e with a 2nd resin material using the 2nd resin material containing a silicone resin as a silicone resin raw material. After the second resin material in the element mounting recess 350e is cured to obtain a light emitter, the light emitting device illustrated in FIG. 52 can be obtained by performing the same process as described with reference to FIGS. 100H or the light emitting device 100I illustrated in FIG. 53 is obtained. The light emitting device 100H and the light emitting device 100I include a wavelength conversion member 320B that covers the light emitting element 110B in the element mounting recess 350e. As schematically shown in FIGS. 52 and 53, the wavelength conversion member 320B has a plurality of recesses 340d on the upper surface 320a. Similar to the example described with reference to FIG. 61, in the example shown in FIG. 53, the upper surface 320 a of the wavelength conversion member 320 </ b> B has a shape in which the center is recessed as compared with the example shown in FIG. 52. Many portions of the upper surface 320 a are positioned lower than the upper surface 350 a of the base 350. Thus, you may form the some recessed part 320d in the wavelength conversion member 320B as a translucent member by partial irradiation of an ultraviolet-ray.

上述の第2の実施形態と同様に、本開示の第3の実施形態によれば、発光素子を覆う透光性の樹脂体の表面に微細な凹凸を付与することが可能であり、光の取り出し効率向上の効果が期待できる。第3の実施形態によれば、発光素子を樹脂で封止した後に、発光素子を覆う透光性部材の表面に基本的に非接触で凹凸パターンを形成することが可能である。また、本実施形態においても、凹凸形状の付与後の透光性部材を構成する樹脂は、硬化された状態である。そのため、リフロー等の高温を伴うプロセスを実行しても、透光性部材の表面の凹凸形状を維持させ得る。   Similar to the second embodiment described above, according to the third embodiment of the present disclosure, it is possible to give fine irregularities to the surface of the translucent resin body covering the light emitting element, and The effect of improving the extraction efficiency can be expected. According to the third embodiment, it is possible to form a concavo-convex pattern basically in a non-contact manner on the surface of the translucent member covering the light emitting element after sealing the light emitting element with resin. Also in the present embodiment, the resin constituting the translucent member after imparting the uneven shape is in a cured state. Therefore, even when a process involving high temperature such as reflow is performed, the uneven shape on the surface of the translucent member can be maintained.

このように、本開示の実施形態によれば、発光素子の封止後に、発光素子を覆う透光性の構造の表面に、基本的に非接触で微細な凹凸を付与することが可能である。図41〜図49を参照して説明した例から明らかなように、紫外線の照射による形状の付与の対象は、板状の形状を有する部材に限定されない。紫外線の照射による形状の付与の対象は、ドーム状等、曲面状の表面を有する部材であってもよい。本開示の実施形態によれば、ポッティング、圧縮成形等によって発光素子を覆う透光性の構造を形成した後、その構造の表面に微細な凹凸を事後的に付与し得る。   As described above, according to the embodiment of the present disclosure, after sealing the light emitting element, it is possible to impart fine irregularities basically in a non-contact manner to the surface of the light transmitting structure that covers the light emitting element. . As is clear from the examples described with reference to FIGS. 41 to 49, the object of shape imparting by ultraviolet irradiation is not limited to a member having a plate shape. The object to be given a shape by irradiation with ultraviolet rays may be a member having a curved surface such as a dome shape. According to the embodiment of the present disclosure, after forming a translucent structure that covers the light emitting element by potting, compression molding, or the like, fine irregularities can be subsequently added to the surface of the structure.

(実施例1−1)
以下の手順に従って実施例1−1〜実施例1−3のサンプルを作製し、各サンプルの表面の形状を紫外線の照射の前後で比較した。
(Example 1-1)
Samples of Example 1-1 to Example 1-3 were prepared according to the following procedure, and the surface shapes of the samples were compared before and after irradiation with ultraviolet rays.

まず、フェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有するシリコーン樹脂を予備硬化させることにより形成された透光シートを準備した。ここでは、透光シートとして、信越化学工業株式会社から販売されているシリコーン樹脂(型番:KE−1011)をスクリーン印刷法によってシート状に整形した後、150℃の温度下で0.5時間加熱することによりシリコーン樹脂を予備硬化させ、厚さ100μmの透光シートを得た。   First, a translucent sheet formed by pre-curing a silicone resin containing an organopolysiloxane having a phenyl group in the molecule was prepared. Here, as a translucent sheet, a silicone resin (model number: KE-1011) sold by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. is shaped into a sheet by screen printing, and then heated at a temperature of 150 ° C. for 0.5 hours. As a result, the silicone resin was pre-cured to obtain a translucent sheet having a thickness of 100 μm.

また、クロムから形成された複数の遮光領域を有するフォトマスクを準備した。遮光領域の各々の形状は、直径が9μmの円形状であった。また、これらの遮光領域は、それぞれの中心が三角格子の格子点上に位置するようにフォトマスクの主面に二次元に配置され、互いに隣接する2つの遮光領域の間の中心間距離は、15μmであった。   In addition, a photomask having a plurality of light shielding regions formed of chrome was prepared. Each shape of the light shielding region was a circular shape having a diameter of 9 μm. Further, these light shielding regions are two-dimensionally arranged on the main surface of the photomask so that the respective centers are located on the lattice points of the triangular lattice, and the center-to-center distance between two light shielding regions adjacent to each other is It was 15 μm.

次に、透光シートの一方の主面上にフォトマスクを配置し、最も強いピークの波長が365nmの位置にある紫外線光源を有する紫外線照射装置を用い、フォトマスクを介して透光シートの主面を紫外線で照射した。なお、照射された紫外線は、UVA〜UVCの波長範囲にわたるスペクトルを有していた。このときの紫外線の照射量は、210J/cm、照射時間は、300秒程度であった。 Next, a photomask is disposed on one main surface of the translucent sheet, and an ultraviolet irradiation apparatus having an ultraviolet light source having a wavelength of the strongest peak at a position of 365 nm is used. The surface was irradiated with ultraviolet light. The irradiated ultraviolet rays had a spectrum over the wavelength range of UVA to UVC. At this time, the irradiation amount of ultraviolet rays was 210 J / cm 2 , and the irradiation time was about 300 seconds.

図54は、紫外線の照射後の透光シートの表面を拡大して示す顕微鏡画像である。図55および図56は、紫外線の照射後の透光シートの表面形状を示す、レーザー顕微鏡によって得られた画像である。図56は、透光シートの断面プロファイルを示している。   FIG. 54 is a microscopic image showing the enlarged surface of the translucent sheet after irradiation with ultraviolet rays. FIG. 55 and FIG. 56 are images obtained by a laser microscope showing the surface shape of the translucent sheet after irradiation with ultraviolet rays. FIG. 56 shows a cross-sectional profile of the translucent sheet.

詳しい機構は不明であるが、本発明者らがこれらの結果を検討したところ、フォトマスクを介した紫外線の照射によって、紫外線の照射を受けた領域の表面が盛り上がっていることがわかった。紫外線の照射を受けた領域の表面が盛り上がることにより、図54および図55に示すように、フォトマスクの遮光領域のパターンに対応した複数の凹部が透光シートの主面に形成されている。図56から、透光シートの表面のうち、凹部以外の部分は、概ね平坦であり、また、凹部も概ね滑らかな曲面によって構成されていることがわかった。すなわち、透光シートの表面のうち相対的に高い部分と凹部とを接続する肩部には、エッジが形成されている。なお、紫外線照射後の透光シート表面の凹部の深さは、0.24〜0.43μm程度の範囲であった。   Although the detailed mechanism is unknown, when the present inventors examined these results, it was found that the surface of the region irradiated with ultraviolet rays was raised by irradiation with ultraviolet rays through a photomask. As shown in FIGS. 54 and 55, a plurality of concave portions corresponding to the pattern of the light-shielding region of the photomask are formed on the main surface of the light-transmitting sheet by raising the surface of the region irradiated with the ultraviolet rays. From FIG. 56, it was found that the portion of the surface of the translucent sheet other than the concave portion was generally flat, and the concave portion was also constituted by a generally smooth curved surface. That is, an edge is formed on a shoulder portion that connects a relatively high portion of the surface of the translucent sheet and the concave portion. In addition, the depth of the recessed part of the translucent sheet | seat surface after ultraviolet irradiation was the range of about 0.24-0.43 micrometer.

(実施例1−2)
Dユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する、未硬化のシリコーン樹脂原料(信越化学工業株式会社製、LPS−3541)を用いたこと以外は実施例1−1のサンプルと同様にして、実施例1−2のサンプルを作製した。ここで、LPS−3541は、上述のKE−1011と同様に、フェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有する。このときに得られた透光シートの厚さは、およそ100μmであった。
(Example 1-2)
Example 1 was performed in the same manner as the sample of Example 1-1 except that an uncured silicone resin raw material (LPS-3541 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) containing an organic polysiloxane having a D unit was used. -2 sample was produced. Here, LPS-3541 contains an organic polysiloxane having a phenyl group in the molecule, similar to the above-described KE-1011. The thickness of the translucent sheet obtained at this time was approximately 100 μm.

図57は、実施例1−2のサンプルの表面を拡大して示す。図58は、実施例1−2のサンプルの表面形状を示す、レーザー顕微鏡によって得られた画像である。図57および図58から、実施例1−1のサンプルと同様に、紫外線の部分的な照射により、フォトマスクの遮光領域に対応した位置に凹部を形成可能であることがわかった。紫外線照射後の透光シート表面の凹部の深さは、0.10〜0.12μm程度の範囲であった。   FIG. 57 shows an enlarged surface of the sample of Example 1-2. FIG. 58 is an image obtained by a laser microscope, showing the surface shape of the sample of Example 1-2. From FIG. 57 and FIG. 58, it was found that a recess can be formed at a position corresponding to the light-shielding region of the photomask by partial irradiation with ultraviolet rays, as in the sample of Example 1-1. The depth of the concave portion on the surface of the translucent sheet after the ultraviolet irradiation was in the range of about 0.10 to 0.12 μm.

(実施例1−3)
YAG蛍光体の粉末(平均粒径:10.5μm)をシリコーン樹脂中に混合することにより、YAG蛍光体の粉末が分散されたシリコーン樹脂原料を調製した。シリコーン樹脂としては、上述のLPS−3541を用いた。シリコーン樹脂原料中のYAG蛍光体の粉末の含有量は、質量比で46%であった。YAG蛍光体の粉末が分散されたシリコーン樹脂原料をシート状に整形して予備硬化させることにより透光シートを形成したこと以外は実施例1−1のサンプルと同様にして、実施例1−3のサンプルを作製した。このときに得られた透光シートの厚さは、およそ100μmであった。
(Example 1-3)
A YAG phosphor powder (average particle size: 10.5 μm) was mixed in a silicone resin to prepare a silicone resin raw material in which the YAG phosphor powder was dispersed. As the silicone resin, LPS-3541 described above was used. The content of the YAG phosphor powder in the silicone resin raw material was 46% by mass. Example 1-3 is the same as the sample of Example 1-1 except that a light-transmitting sheet is formed by shaping a silicone resin raw material in which powder of YAG phosphor is dispersed into a sheet and pre-curing it. A sample of was prepared. The thickness of the translucent sheet obtained at this time was approximately 100 μm.

図59は、実施例1−3のサンプルの表面を拡大して示す。図60は、実施例1−3のサンプルの表面形状を示す、レーザー顕微鏡によって得られた画像である。図59および図60から、蛍光体の粒子が分散された原料から形成されたシートであっても、実施例1−1のサンプルおよび実施例1−2のサンプルと同様に、紫外線の部分的な照射によって、フォトマスクの遮光領域に対応した位置に凹部を形成可能であることがわかった。紫外線照射後の透光シート表面の凹部の深さは、0.45〜0.92μm程度の範囲であった。   FIG. 59 shows an enlarged surface of the sample of Example 1-3. FIG. 60 is an image obtained by a laser microscope and showing the surface shape of the sample of Example 1-3. 59 and 60, even in the case of a sheet formed from a raw material in which phosphor particles are dispersed, as in the sample of Example 1-1 and the sample of Example 1-2, a partial ultraviolet ray is obtained. It was found that a recess can be formed at a position corresponding to the light shielding region of the photomask by irradiation. The depth of the concave portion on the surface of the translucent sheet after the ultraviolet irradiation was in the range of about 0.45 to 0.92 μm.

次に、以下の手順により、樹脂シートの表面に付与された形状への熱の影響を検証した。   Next, the effect of heat on the shape applied to the surface of the resin sheet was verified by the following procedure.

(参考例2−1、参考例2−2)
まず、上述のシリコーン樹脂LPS−3541をスクリーン印刷法によってシート状に整形した後、150℃の温度下で4時間加熱することにより、厚さ150μmの樹脂シートを作製した。次に、複数の凸部を表面に有する型を準備した。樹脂シートの一方の主面と、型の凸部とを対向させ、周囲の温度を300℃に上昇させた状態で、ヒートプレス装置を用いて5MPaの圧力で樹脂シートの主面に型を押し付けることにより、樹脂シートの主面に複数の凹部を形成した。ここでは、1.5μmの高さを有する円錐状の凸部が二次元に配置された型を用いた。これらの凸部は、それぞれの頂部が三角格子の格子点上に位置するように型の表面に二次元に配置されており、互いに隣接する2つの凸部の間の頂部の間隔は、3μmであった。
(Reference Example 2-1 and Reference Example 2-2)
First, the above-described silicone resin LPS-3541 was shaped into a sheet by a screen printing method, and then heated at 150 ° C. for 4 hours to prepare a resin sheet having a thickness of 150 μm. Next, a mold having a plurality of convex portions on the surface was prepared. The mold is pressed against the main surface of the resin sheet with a pressure of 5 MPa using a heat press device in a state where the one main surface of the resin sheet faces the convex portion of the mold and the ambient temperature is raised to 300 ° C. Thereby, the several recessed part was formed in the main surface of a resin sheet. Here, a mold in which conical convex portions having a height of 1.5 μm are arranged two-dimensionally was used. These convex portions are two-dimensionally arranged on the surface of the mold so that the respective top portions are located on the lattice points of the triangular lattice, and the distance between the top portions between two adjacent convex portions is 3 μm. there were.

図61は、型の分離後の樹脂シートの表面形状を示す。樹脂シートの表面に形成された凹部の深さは、0.9〜1.1μm程度の範囲であった。次に、型の分離後の樹脂シートを切断することにより、2枚のシートを得た。2枚のシートのうちの一方については、実施例1−1のサンプルの作製に用いた紫外線照射装置を用い、凹部が形成された表面を22.4J/cmの照射量、30秒程度の照射時間で紫外線で照射した。他方のシートについては、凹部の形成後に紫外線照射装置による紫外線の照射を行わなかった。 FIG. 61 shows the surface shape of the resin sheet after separation of the mold. The depth of the recess formed on the surface of the resin sheet was in the range of about 0.9 to 1.1 μm. Next, two sheets were obtained by cutting the resin sheet after separation of the mold. About one of the two sheets, the surface on which the concave portion was formed was irradiated with a dose of 22.4 J / cm 2 for about 30 seconds using the ultraviolet irradiation apparatus used for the preparation of the sample of Example 1-1. Irradiated with ultraviolet rays for the irradiation time. The other sheet was not irradiated with ultraviolet rays by an ultraviolet irradiation device after forming the recess.

2枚のシートを電気炉内に配置し、300℃の温度下に40分間おいた後に電気炉から取り出して室温まで自然冷却させた。これらのシートのうち、紫外線照射装置による紫外線の照射が行われたシートを参考例2−1のサンプルとし、紫外線照射装置による紫外線の照射が行われなかった他方のシートを参考例2−2のサンプルとした。   Two sheets were placed in an electric furnace, placed at a temperature of 300 ° C. for 40 minutes, then taken out of the electric furnace and allowed to cool naturally to room temperature. Among these sheets, the sheet that has been irradiated with ultraviolet rays by the ultraviolet irradiation device is used as a sample of Reference Example 2-1, and the other sheet that has not been irradiated with ultraviolet rays by the ultraviolet irradiation device is referred to as Reference Example 2-2. A sample was used.

図62は、参考例2−1のサンプルの表面形状を示す。図61と図62との比較から、例えば型の押し付けによって表面に凹凸のパターンを付与した後に、紫外線の照射を実行することにより、300℃程度の加熱によっても凹部の形状を維持可能であることがわかった。なお、参考例2−1のサンプルの表面に形成された凹部の深さは、0.9〜1.1μm程度の範囲であった。換言すれば、加熱の前後において、凹部の深さの変化は、おおよそ25%以下の範囲内であった。   FIG. 62 shows the surface shape of the sample of Reference Example 2-1. From a comparison between FIG. 61 and FIG. 62, it is possible to maintain the shape of the concave portion even by heating at about 300 ° C. by performing ultraviolet irradiation after imparting an uneven pattern to the surface by pressing the mold, for example. I understood. In addition, the depth of the recessed part formed in the surface of the sample of the reference example 2-1 was the range of about 0.9-1.1 micrometers. In other words, before and after heating, the change in the depth of the recess was within a range of approximately 25% or less.

図63は、参考例2−2のサンプルの表面形状を示す。図63から、紫外線の照射を行わない場合には、加熱により、表面に形成された凹形状がほぼ失われることがわかった。なお、参考例2−2のサンプルの表面に残った凹部の深さは、0.03μm程度に過ぎなかった。   FIG. 63 shows the surface shape of the sample of Reference Example 2-2. From FIG. 63, it was found that the concave shape formed on the surface was almost lost by heating when the ultraviolet irradiation was not performed. In addition, the depth of the recessed part remaining on the surface of the sample of Reference Example 2-2 was only about 0.03 μm.

図62と図63との比較からわかるように、表面に凹部を有する樹脂シートの表面を20J/cm程度以上の照射量で紫外線で照射することにより、高温(例えばガラス転移点以上の温度)にさらされた場合であっても凹部の形状を維持させ得る。これは、紫外線で照射された表面およびその近傍に何らかの変化が生じたためであると推測される。 As can be seen from the comparison between FIG. 62 and FIG. 63, the surface of the resin sheet having a concave portion on the surface is irradiated with ultraviolet rays at an irradiation dose of about 20 J / cm 2 or more, thereby increasing the temperature (for example, the temperature above the glass transition point). The shape of the recess can be maintained even when exposed to. This is presumably because some change occurred on the surface irradiated with ultraviolet rays and in the vicinity thereof.

(参考例3)
次に、樹脂シートに部分的に紫外線の照射を行った参考例3のサンプルを作製し、赤外分光分析により、紫外線で照射された部分と、紫外線で照射されなかった部分との間でスペクトルの比較を行った。参考例3のサンプルは、上述のシリコーン樹脂LPS−3541を予備硬化させることにより形成された、厚さ150μmの透光シートの表面の一部を紫外線で照射することによって作製した。その後、透光シート中のシリコーン樹脂を本硬化させた。
(Reference Example 3)
Next, a sample of Reference Example 3 in which the resin sheet was partially irradiated with ultraviolet rays was prepared, and a spectrum was measured between a portion irradiated with ultraviolet rays and a portion not irradiated with ultraviolet rays by infrared spectroscopic analysis. A comparison was made. The sample of Reference Example 3 was produced by irradiating a part of the surface of a 150 μm thick translucent sheet formed by precuring the above-described silicone resin LPS-3541 with ultraviolet rays. Thereafter, the silicone resin in the translucent sheet was fully cured.

図64〜図66は、フーリエ変換型赤外分光光度計によって得られた、参考例3のサンプルに関する透過光の赤外スペクトルを示す。図64〜図66中、曲線K1は、意図的に紫外線で照射されていない部分に関するスペクトルを示し、曲線K2は、意図的に紫外線で照射された部分に関するスペクトルを示している。ここでは、赤外スペクトルの取得に、サーモフィッシャーサイエンティフィック株式会社から販売されているNicolet iS50モジュールを用いた。   FIGS. 64 to 66 show the infrared spectra of transmitted light obtained by the Fourier transform infrared spectrophotometer for the sample of Reference Example 3. FIG. In FIGS. 64 to 66, a curve K1 indicates a spectrum related to a portion not intentionally irradiated with ultraviolet rays, and a curve K2 indicates a spectrum related to a portion intentionally irradiated with ultraviolet rays. Here, a Nicolet iS50 module sold by Thermo Fisher Scientific Co., Ltd. was used for acquisition of the infrared spectrum.

図65を参照する。図65は、図64のスペクトルのうち、波数が4000〜1300cm−1の範囲を拡大して示す。図65中には、波数が2000〜1400cm−1の範囲をさらに拡大した図も示されている。図65に示すスペクトルにおいて、Si−OHに由来する吸収に関係する、波数が3700〜3000cm−1の範囲に注目すると、紫外線の照射により、波数が3400cm−1付近に吸収のピークが出現し、波数3700〜3000cm−1の範囲の吸収が増加していることがわかった。 Refer to FIG. FIG. 65 shows an enlarged view of the range of wave numbers from 4000 to 1300 cm −1 in the spectrum of FIG. FIG. 65 also shows a further enlarged view of the wave number range of 2000 to 1400 cm −1 . In the spectrum shown in FIG. 65, when attention is paid to the range of wave numbers of 3700 to 3000 cm −1 related to absorption derived from Si—OH, an absorption peak appears in the vicinity of the wave number of 3400 cm −1 by irradiation with ultraviolet rays. It was found that the absorption in the range of wave numbers 3700 to 3000 cm −1 increased.

図66も参照する。図66は、図64のスペクトルのうち、波数が1400〜400cm−1の範囲を拡大して示している。図65および図66から、Si−CHに由来する吸収に関係する、波数が2960cm−1および800cm−1付近の吸収ピークに着目すると、紫外線の照射により、それぞれのピークの高さが低くなることがわかった。つまり、本開示の実施形態による発光装置の透光性部材の赤外吸収は、基本的に、20J/cm以上の照射量で意図的に紫外線が照射されていないシリコーン樹脂と比較して波数3700cm−1超3000cm−1未満の範囲で大きく、波数2960cm−1および800cm−1付近において小さい。このことから、紫外線の照射により、透光シートのうち、紫外線の照射された表面のごく浅い領域に変化が生じて透光シートの硬さが部分的に向上し、その結果として高温による凹部の形状の変化が抑制された可能性がある。 Reference is also made to FIG. FIG. 66 shows an enlarged view of the range of wave numbers 1400 to 400 cm −1 in the spectrum of FIG. 64. From FIGS. 65 and 66, relating to the absorption derived from Si-CH 3, the wave number is focused on the absorption peak around 2960 cm -1 and 800 cm -1, by irradiation with ultraviolet rays, the height of each peak is lower I understood it. That is, the infrared absorption of the translucent member of the light emitting device according to the embodiment of the present disclosure basically has a wave number as compared with a silicone resin that is not intentionally irradiated with ultraviolet rays at an irradiation dose of 20 J / cm 2 or more. 3700 cm -1 increased in a range of less than super 3000 cm -1, smaller in the vicinity of wave number 2960 cm -1 and 800 cm -1. From this, the irradiation of ultraviolet rays causes a change in the very shallow area of the surface of the translucent sheet irradiated with the ultraviolet rays, and the hardness of the translucent sheet is partially improved. The shape change may be suppressed.

次に、紫外線の照射量が互いに異なる複数のサンプルを作製し、紫外線の照射がサンプルの表面の瞬間接着力に与える影響を検証した。なお、本明細書では、「タック性」の用語を「瞬間接着力」の用語とを区別せずに使用し、これらを同じ意味で用いる。本明細書における「瞬間接着力」または「タック性」は、以下に説明するプローブ法による測定によって得られる値を意味する。   Next, a plurality of samples having different ultraviolet irradiation amounts were prepared, and the influence of ultraviolet irradiation on the instantaneous adhesive force on the surface of the sample was verified. In the present specification, the term “tackiness” is used without being distinguished from the term “instant adhesive force”, and these terms are used in the same meaning. The “instant adhesive force” or “tackiness” in the present specification means a value obtained by measurement by the probe method described below.

まず、厚さ3mmの樹脂ブロックを作製し、同一の樹脂ブロックから、切断により、直径が16mmの複数の試験片を準備する。これらの試験片について、インストロンジャパン カンパニイリミテッドから販売されているデュアルコラム卓上型試験機5966を用いて、樹脂ブロックの表面にプローブを接触させた後、一定の速度でプローブを移動させ、樹脂ブロックの表面からのプローブの剥離に必要な力を測定する。測定においては、先端形状が平面状かつ先端面の面積が1800mmの、ステンレス製のプローブを用いる。樹脂シートの表面に対するプローブの接触時間およびプローブの引張速度は、それぞれ、1秒および9mm/分とする。同一のシートから切断によって得られる3枚の試験片に関する測定値の平均をタック性の測定値とする。 First, a resin block having a thickness of 3 mm is prepared, and a plurality of test pieces having a diameter of 16 mm are prepared by cutting from the same resin block. For these test pieces, the probe was brought into contact with the surface of the resin block using a dual column tabletop testing machine 5966 sold by Instron Japan Ltd., and then the probe was moved at a constant speed. Measure the force required to peel the probe from the surface. In the measurement, a stainless steel probe having a flat tip shape and an area of the tip surface of 1800 mm 2 is used. The contact time of the probe with the surface of the resin sheet and the tensile speed of the probe are 1 second and 9 mm / min, respectively. The average of the measurement values for the three test pieces obtained by cutting from the same sheet is taken as the tackiness measurement value.

(参考例3−1)
以下の手順により、参考例3−1および参考例3−2のサンプルならびに比較例のサンプルを作製した。上述の参考例2−1のサンプルと同様にして、信越化学工業株式会社製のシリコーン樹脂LPS3541をスクリーン印刷法によってシート状に整形し、150℃の温度下で4時間加熱することにより、厚さ150μmの樹脂シートを作製した。ただし、ここでは、型の押し付けによる形状の付与は行わず、樹脂シートを切断することによって複数の樹脂シート片を得た。これらの樹脂シート片から無作為に3枚の樹脂シート片を抽出し、参考例2−1のサンプルと同様にして、一方の主面を240J/cmの照射量、30秒程度の照射時間で紫外線で照射した。紫外線の照射後の樹脂シート片を電気炉内に配置し、300℃の温度下に40分間おいた後に電気炉から取り出して室温まで自然冷却させ、参考例3−1のサンプルとした。
(Reference Example 3-1)
The sample of Reference Example 3-1 and Reference Example 3-2 and the sample of Comparative Example were produced by the following procedure. In the same manner as in the sample of Reference Example 2-1, the silicone resin LPS3541 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. was shaped into a sheet by a screen printing method and heated at a temperature of 150 ° C. for 4 hours to obtain a thickness. A 150 μm resin sheet was prepared. However, here, the shape was not imparted by pressing the mold, and a plurality of resin sheet pieces were obtained by cutting the resin sheet. Three resin sheet pieces were extracted at random from these resin sheet pieces, and in the same manner as the sample of Reference Example 2-1, one main surface was irradiated with an irradiation amount of 240 J / cm 2 and an irradiation time of about 30 seconds. Irradiated with UV light. The resin sheet piece after irradiation with ultraviolet rays was placed in an electric furnace, placed at a temperature of 300 ° C. for 40 minutes, then taken out of the electric furnace and allowed to cool naturally to room temperature, to obtain a sample of Reference Example 3-1.

(参考例3−2)
紫外線の照射量を22.4J/cmに変更したこと以外は参考例3−1のサンプルと同様にして、参考例3−2のサンプルを作製した。
(Reference Example 3-2)
A sample of Reference Example 3-2 was produced in the same manner as the sample of Reference Example 3-1, except that the amount of UV irradiation was changed to 22.4 J / cm 2 .

(比較例)
紫外線の照射を実行しなかったことたこと以外は参考例3−1のサンプルと同様にして、比較例のサンプルを作製した。
(Comparative example)
A sample of a comparative example was produced in the same manner as the sample of Reference Example 3-1, except that ultraviolet irradiation was not performed.

図67は、参考例3−1、参考例3−2および比較例の各サンプルの表面のタック性に関する測定結果を示す。図67中、最も右側のプロットは、参考例3−1のサンプルに関する測定値を示し、中央のプロットは、参考例3−2のサンプルに関する測定値を示す。図67中、最も左側のプロットは、比較例のサンプルに関する測定値を示す。   FIG. 67 shows the measurement results regarding the tackiness of the surface of each sample of Reference Example 3-1, Reference Example 3-2 and Comparative Example. In FIG. 67, the rightmost plot shows the measurement values for the sample of Reference Example 3-1, and the center plot shows the measurement values for the sample of Reference Example 3-2. In FIG. 67, the leftmost plot shows the measured values for the sample of the comparative example.

図67に示すように、比較例のサンプルに関する表面のタック性の測定値は、おおよそ23〜32N・cm−2の範囲であった。一方、22.4J/cmの照射量で紫外線が照射された参考例3−2のサンプルは、おおよそ0.1〜8N・cm−2の範囲のタック性の値を示し、240J/cmの照射量で紫外線が照射された参考例3−1のサンプルは、0.3〜0.6N・cm−2の範囲のタック性の値を示した。このことから、意図的な紫外線の照射により、シリコーン樹脂から形成された樹脂シートの表面および/または表面近傍に何らかの変化が生じた可能性がある。その結果、意図的な紫外線の照射により、樹脂表面のタック性が低下したものと推測される。図67に示す結果から、例えば、シリコーン樹脂を含む樹脂体の表面を20J/cm程度以上の照射量で意図的に紫外線で照射することによって、樹脂体の表面の瞬間接着力を、意図的な紫外線の照射がなされていないシリコーン樹脂の表面の瞬間接着力の例えば50%以下に低下させ得ることがわかった。 As shown in FIG. 67, the measured value of the surface tackiness of the sample of the comparative example was approximately in the range of 23 to 32 N · cm −2 . On the other hand, the sample of Reference Example 3-2 irradiated with ultraviolet rays at a dose of 22.4 J / cm 2 exhibits a tackiness value in the range of approximately 0.1 to 8 N · cm −2 , and is 240 J / cm 2. The sample of Reference Example 3-1 that was irradiated with ultraviolet rays at an irradiation amount of 1 to 10 showed a tackiness value in the range of 0.3 to 0.6 N · cm −2 . For this reason, there is a possibility that some change has occurred on the surface and / or in the vicinity of the surface of the resin sheet formed from the silicone resin by intentional ultraviolet irradiation. As a result, it is presumed that the tackiness of the resin surface was lowered by intentional ultraviolet irradiation. From the results shown in FIG. 67, for example, by instantaneously irradiating the surface of a resin body containing a silicone resin with ultraviolet rays at an irradiation dose of about 20 J / cm 2 or more, the instantaneous adhesive force on the surface of the resin body is intentionally reduced. It has been found that it can be reduced to, for example, 50% or less of the instantaneous adhesive force on the surface of the silicone resin that has not been irradiated with ultraviolet rays.

本開示の実施形態は、例えば光源の前面に配置され、入射光線の少なくとも一部を透過させる光学要素の製造に適用できる。本開示の実施形態は、特に、LED等の発光素子を覆う透光性部材を有する発光装置の製造に有用である。   Embodiments of the present disclosure can be applied to, for example, the manufacture of an optical element that is disposed in front of a light source and transmits at least a portion of incident light. The embodiment of the present disclosure is particularly useful for manufacturing a light-emitting device having a light-transmitting member that covers a light-emitting element such as an LED.

100A〜100C、100E〜100I 発光装置
100U、100Y 発光体
110、110A、110B 発光素子
110a 発光素子の上面
110b 発光素子の下面
112A、112B 発光素子の正極
114A、114B 発光素子の負極
120A 波長変換部材
120L、120V 波長変換層
130A 導光部材
140、140A 透光性部材
140L、140V 透光層
140U、140X、340Z 樹脂体
140a 上面
140b 下面
140d 凹部
150A〜150C 光反射性部材
170 樹脂層
170V、LB 積層シート片
172 透光部
174 光反射性樹脂部
200 フォトマスク
200s フォトマスクの遮光領域
200t フォトマスクの透過領域
300 パッケージ
300F 複合基板
320A、320B 波長変換部材
340 透光性部材
340Z 樹脂体
320d、340d 凹部
350 基台
361、362 リード
371、372 ワイヤ
400A、400B 複合基板
410A、410B 基板
411A、411B 第1導電部
412A、412B 第2導電部
500 紫外線照射装置
100A to 100C, 100E to 100I Light emitting device 100U, 100Y Light emitter 110, 110A, 110B Light emitting element 110a Light emitting element upper surface 110b Light emitting element lower surface 112A, 112B Light emitting element positive electrode 114A, 114B Light emitting element negative electrode 120A Wavelength converting member 120L , 120V wavelength conversion layer 130A light guide member 140, 140A translucent member 140L, 140V translucent layer 140U, 140X, 340Z resin body 140a upper surface 140b lower surface 140d recess 150A-150C light reflective member 170 resin layer 170V, LB laminated sheet Piece 172 Translucent part 174 Light reflective resin part 200 Photomask 200s Photomask light-shielding area 200t Photomask transmissive area 300 Package 300F Composite substrate 320A, 320B Wavelength change Member 340 Translucent member 340Z Resin body 320d, 340d Recess 350 Base 361, 362 Lead 371, 372 Wire 400A, 400B Composite substrate 410A, 410B Substrate 411A, 411B First conductive portion 412A, 412B Second conductive portion 500 Ultraviolet irradiation apparatus

Claims (23)

主面を有し、シリコーン樹脂を含む硬化後の樹脂体の前記主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記主面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記主面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程を含む、透光性部材の形成方法。   By irradiating the main surface of the cured resin body containing a silicone resin with ultraviolet light through a photomask having a light shielding region and a transmission region, the main surface of the photomask is included in the main surface. A method for forming a translucent member, comprising: making a height of a first region corresponding to a light shielding region different from a height of a second region corresponding to the transmission region of the photomask on the main surface. 紫外線の照射量は、20J/cm以上である、請求項1に記載の透光性部材の形成方法。 The method for forming a translucent member according to claim 1, wherein the irradiation amount of ultraviolet rays is 20 J / cm 2 or more. 紫外線の照射後の前記第2領域と前記第1領域との間の高さの差は、0.1μm以上である、請求項1または2に記載の透光性部材の形成方法。   3. The method for forming a translucent member according to claim 1, wherein a difference in height between the second region and the first region after irradiation with ultraviolet rays is 0.1 μm or more. 前記シリコーン樹脂は、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項1から3のいずれかに記載の透光性部材の形成方法。   The said silicone resin is a formation method of the translucent member in any one of Claim 1 to 3 containing the organopolysiloxane which has at least 1 phenyl group in a molecule | numerator. 前記シリコーン樹脂は、2つのメチル基がケイ素原子に結合したDユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項1から4のいずれかに記載の透光性部材の形成方法。   The said silicone resin is a formation method of the translucent member in any one of Claim 1 to 4 containing the organic polysiloxane which has D unit in which two methyl groups couple | bonded with the silicon atom. 上面を有する発光素子と、主面を有し、未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された透光性の樹脂体であって、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う樹脂体とを有する発光体を準備する工程(a)と、
表面に凹凸のパターンを有し、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(b)と
を含み、
前記工程(b)は、前記樹脂体の前記主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記主面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記主面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程(b1)を含む、発光装置の製造方法。
A light-emitting element having an upper surface, and a translucent resin body having a main surface and formed by curing an uncured silicone resin raw material, the resin body covering at least the upper surface of the light-emitting element. A step (a) of preparing a luminous body having:
Forming a translucent member having an uneven pattern on the surface and covering at least the upper surface of the light emitting element (b),
In the step (b), the main surface of the resin body is irradiated with ultraviolet rays through a photomask having a light-shielding region and a transmission region, thereby corresponding to the light-shielding region of the photomask in the main surface. The manufacturing method of a light-emitting device including the process (b1) which makes the height of a 1st area | region different from the height of the 2nd area | region corresponding to the said transmissive area | region of the said photomask among the said main surfaces.
前記工程(a)は、
前記発光素子を準備する工程であって、前記発光素子は、前記上面とは反対側に正極および負極を有する、工程(a1)と、
前記発光素子の前記上面または前記樹脂体に未硬化の透光性樹脂材料を付与する工程(a2)と、
前記透光性樹脂材料を硬化させることにより、前記発光素子の前記上面の上方に前記樹脂体を配置する工程(a3)と
を含む、請求項6に記載の発光装置の製造方法。
The step (a)
A step of preparing the light emitting element, wherein the light emitting element has a positive electrode and a negative electrode on a side opposite to the upper surface;
A step (a2) of applying an uncured translucent resin material to the upper surface or the resin body of the light emitting element;
The method for manufacturing a light emitting device according to claim 6, further comprising: (a3) arranging the resin body above the upper surface of the light emitting element by curing the light transmissive resin material.
上面を有し、前記上面とは反対側に正極および負極が設けられた発光素子を準備する工程(a)と、
表面に凹凸のパターンを有し、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(b)と
を含み、
前記工程(b)は、
未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された透光性の樹脂体の表面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記表面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記表面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程(b1)
を含む、発光装置の製造方法。
A step (a) of preparing a light emitting element having a top surface and provided with a positive electrode and a negative electrode on a side opposite to the top surface;
Forming a translucent member having an uneven pattern on the surface and covering at least the upper surface of the light emitting element (b),
The step (b)
By irradiating the surface of the translucent resin body formed by curing the uncured silicone resin raw material with ultraviolet rays through a photomask having a light shielding region and a transmission region, the photomask of the surface (B1) differentiating the height of the first region corresponding to the light shielding region and the height of the second region corresponding to the transmission region of the photomask on the surface
A method for manufacturing a light emitting device, comprising:
前記工程(a)は、
前記発光素子を準備する工程(a1)と、
未硬化のシリコーン樹脂原料で前記発光素子を覆い、前記シリコーン樹脂原料を硬化させることによって前記樹脂体を形成する工程(a2)と
を含む、請求項6に記載の発光装置の製造方法。
The step (a)
Preparing the light emitting element (a1);
The method for manufacturing a light emitting device according to claim 6, further comprising: (a2) forming the resin body by covering the light emitting element with an uncured silicone resin material and curing the silicone resin material.
前記工程(a)と前記工程(b)との間に、前記発光素子の側面を少なくとも覆う光反射性部材を形成する工程(c)をさらに含む、請求項6から8のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   9. The method according to claim 6, further comprising a step (c) of forming a light reflective member that covers at least a side surface of the light emitting element between the step (a) and the step (b). Manufacturing method of light-emitting device. 前記樹脂体は、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項6から10のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light emitting device according to claim 6, wherein the resin body contains an organic polysiloxane having at least one phenyl group in a molecule. 前記樹脂体は、2つのメチル基がケイ素原子に結合したDユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項6から11のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light-emitting device according to claim 6, wherein the resin body contains an organic polysiloxane having a D unit in which two methyl groups are bonded to a silicon atom. 上面を有し、前記上面とは反対側に正極および負極が設けられた発光素子を準備する工程(a)と、
表面に凹凸のパターンを有し、前記発光素子の前記上面を少なくとも覆う透光性部材を形成する工程(b)と
を含み、
前記工程(b)は、
未硬化のシリコーン樹脂原料を硬化させることによって形成された透光シートの主面を、遮光領域および透過領域を有するフォトマスクを介して紫外線で照射することにより、前記主面のうち前記フォトマスクの前記遮光領域に対応する第1領域の高さと、前記主面のうち前記フォトマスクの前記透過領域に対応する第2領域の高さとを互いに異ならせる工程(b1)と、
紫外線で照射された前記透光シートを前記発光素子の前記上面側に配置する工程(b2)と
を含む、発光装置の製造方法。
A step (a) of preparing a light emitting element having a top surface and provided with a positive electrode and a negative electrode on a side opposite to the top surface;
Forming a translucent member having an uneven pattern on the surface and covering at least the upper surface of the light emitting element (b),
The step (b)
By irradiating the main surface of the translucent sheet formed by curing the uncured silicone resin raw material with ultraviolet rays through a photomask having a light-shielding region and a transmission region, the photomask of the main surface A step (b1) of making the height of the first region corresponding to the light shielding region different from the height of the second region corresponding to the transmission region of the photomask on the main surface;
A step (b2) of disposing the translucent sheet irradiated with ultraviolet light on the upper surface side of the light emitting element.
前記工程(b)の後に、前記発光素子の側面を少なくとも覆う光反射性部材を形成する工程(c)をさらに含む、請求項13に記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light emitting device according to claim 13, further comprising a step (c) of forming a light reflective member that covers at least a side surface of the light emitting element after the step (b). 前記透光性部材は、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項13または14に記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light-emitting device according to claim 13 or 14, wherein the translucent member contains an organic polysiloxane having at least one phenyl group in a molecule. 前記透光性部材は、2つのメチル基がケイ素原子に結合したDユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項13から15のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The method of manufacturing a light emitting device according to claim 13, wherein the translucent member contains an organic polysiloxane having a D unit in which two methyl groups are bonded to a silicon atom. 紫外線の照射後の前記第2領域と前記第1領域との間の高さの差は、0.1μm以上である、請求項6から16のいずれかに記載の発光装置の製造方法。   The method for manufacturing a light-emitting device according to claim 6, wherein a difference in height between the second region and the first region after irradiation with ultraviolet rays is 0.1 μm or more. 前記工程(b1)における紫外線の照射量は、20J/cm以上である、請求項6から17のいずれかに記載の発光装置の製造方法。 18. The method for manufacturing a light emitting device according to claim 6, wherein an irradiation amount of ultraviolet rays in the step (b1) is 20 J / cm 2 or more. 上面を有する発光素子と、
前記発光素子の前記上面を少なくとも覆い、前記発光素子の前記上面の上方に位置する主面を含む透光性部材と
を備え、
前記透光性部材の前記主面は、凹凸のパターンを有しており、
赤外分光によって得られる、前記透光性部材に関する吸収スペクトルの波数3700cm−1超3000cm−1未満の範囲に現れるSi−OH起因の吸収は、シリコーン樹脂に関する吸収スペクトルの前記範囲における吸収よりも大きく、前記透光性部材に関する吸収スペクトルの波数2960cm−1付近および800cm−1付近に現れるSi−CH起因の吸収ピークは、それぞれ、シリコーン樹脂に関する吸収スペクトルの波数2960cm−1付近および800cm−1付近の吸収ピークと比較して小さい、発光装置。
A light emitting device having an upper surface;
A translucent member covering at least the upper surface of the light emitting element and including a main surface located above the upper surface of the light emitting element;
The main surface of the translucent member has an uneven pattern,
Obtained by infrared spectroscopy, the absorption of the Si-OH caused appearing in a range of less than the wave number 3700 cm -1 super 3000 cm -1 of the absorption spectrum for the light-transmitting member is greater than the absorption in the range of the absorption spectrum for silicone resin , the absorption peak of the Si-CH 3 due appearing in the vicinity of wave number 2960 cm -1 and around 800 cm -1 of the absorption spectrum for the light-transmitting member, respectively, near the wave number 2960 cm -1 and around 800 cm -1 of the absorption spectrum for silicone resin The light emitting device is small compared to the absorption peak.
上面を有する発光素子と、
前記発光素子の前記上面を少なくとも覆い、前記発光素子の前記上面の上方に位置する主面を含む透光性部材と
を備え、
前記透光性部材の前記主面は、凹凸のパターンを有しており、
前記透光性部材の前記主面の瞬間接着力は、シリコーン樹脂の瞬間接着力よりも低い、発光装置。
A light emitting device having an upper surface;
A translucent member covering at least the upper surface of the light emitting element and including a main surface located above the upper surface of the light emitting element;
The main surface of the translucent member has an uneven pattern,
The light emitting device, wherein an instantaneous adhesive force of the main surface of the translucent member is lower than an instantaneous adhesive force of a silicone resin.
前記凹凸のパターンにおける凹部の底から凸部の頂部までの高さの差は、0.1μm以上である、請求項19または20に記載の発光装置。   21. The light emitting device according to claim 19, wherein a difference in height from the bottom of the concave portion to the top portion of the convex portion in the uneven pattern is 0.1 μm or more. 前記透光性部材は、シリコーン樹脂を含み、
前記シリコーン樹脂は、少なくとも1つのフェニル基を分子中に有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項19から21のいずれかに記載の発光装置。
The translucent member includes a silicone resin,
The light emitting device according to any one of claims 19 to 21, wherein the silicone resin contains an organic polysiloxane having at least one phenyl group in a molecule.
前記透光性部材は、シリコーン樹脂を含み、
前記シリコーン樹脂は、2つのメチル基がケイ素原子に結合したDユニットを有する有機ポリシロキサンを含有する、請求項19から22のいずれかに記載の発光装置。
The translucent member includes a silicone resin,
The light emitting device according to any one of claims 19 to 22, wherein the silicone resin contains an organic polysiloxane having a D unit in which two methyl groups are bonded to a silicon atom.
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