JP2019203884A5 - - Google Patents

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  1. リングジャイロスコープであって、
    実質的に円形で柔軟性のリングであり、前記リングは、リング平面を画定し、かつ前記リングが前記リング平面内で形状振動を受けることができるように基板から柔軟に懸架され、前記リングは、互いに直交する前記リング平面内の第1の横対称軸および第2の横対称軸を備え、前記リングはまた、互いに直交する前記リング平面内の第1の対角対称軸および第2の対角対称軸をも備え、各横対称軸と隣接する前記第1の対角対称軸および前記第2の対角対称軸との間の角度は45°である、リングを備え、前記ジャイロスコープは、
    前記リングを共振振動するように駆動するように構成され、前記リングの複数の第1のセクタに配置された1つまたは複数の一次ピエゾ分割トランスデューサ、および、前記リングの前記振動を検知するように構成され、前記リングの1つまたは複数の第2のセクタに配置された1つまたは複数の二次ピエゾ分割トランスデューサであり、各第1のセクタは、前記リングの横対称軸と交差し、前記対称軸に関して対称であり、各第2のセクタは、前記リングの対角対称軸と交差し、前記リングの前記対角対称軸に関して対称である、1つまたは複数の一次ピエゾ分割トランスデューサおよび1つまたは複数の二次ピエゾ分割トランスデューサと、
    前記第1の横対称軸および前記第2の横対称軸と前記第1の対角対称軸および前記第2の対角対称軸の両方に関して対称的な質量分布を形成する4つ以上の質量要素であり、各質量要素はブリッジコネクタから前記リングに取り付けられ、前記ブリッジコネクタは前記リングに沿って均等に分散されている、4つ以上の質量要素と
    をさらに備えることを特徴とする、リングジャイロスコープ。
  2. すべての質量要素がリングの内側に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のリングジャイロスコープ。
  3. 前記質量要素の数が4Nであり、ここでNはゼロより大きい整数であり、前記質量要素が前記横対称軸および前記対角対称軸の両方に関して対称的に分布することを特徴とする、請求項2に記載のリングジャイロスコープ。
  4. 前記質量要素の数が8であり、各質量要素が、1つの対称軸と交差し、前記対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対称軸に中心を置かれるように、配置されている、請求項2に記載のリングジャイロスコープ。
  5. 前記質量要素の数が4であり、各質量要素が、対角対称軸と交差し、前記対角対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対角対称軸に中心を置かれるように、配置されている、請求項2に記載のリングジャイロスコープ。
  6. 前記質量要素の数が4であり、各質量要素が、横対称軸と交差し、前記横対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対称軸に中心を置かれるように、配置されている、請求項2に記載のリングジャイロスコープ。
  7. すべての質量要素が前記リングの外側に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載のリングジャイロスコープ。
  8. 前記質量要素の数が4であり、各質量要素が、対角対称軸と交差し、前記対角対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対角対称軸に中心を置かれるように、配置されている、請求項7に記載のリングジャイロスコープ。
  9. 前記質量要素が、前記リングの内側に配置されている内側質量要素と、前記リングの外
    側に配置されている外側質量要素とを含むことを特徴とする、請求項1に記載のリングジャイロスコープ。
  10. 前記内側質量要素の数は8であり、各内側質量要素は、1つの対称軸と交差し、前記対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対称軸に中心を置かれるように、配置されており、
    前記外側質量要素の数は4であり、各外側質量要素は、対角対称軸と交差し、前記対角対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対角対称軸に中心を置かれるように、配置されていることを特徴とする、請求項9に記載のリングジャイロスコープ。
  11. 前記内側質量要素の数は4であり、各内側質量要素は、対角対称軸と交差し、前記対角対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対角対称軸に中心を置かれるように、配置されており、
    前記外側質量要素の数は4であり、各外側質量要素は、対角対称軸と交差し、前記対角対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対角対称軸に中心を置かれるように、配置されていることを特徴とする、請求項に記載のリングジャイロスコープ。
  12. 前記内側質量要素の数は4であり、各内側質量要素は、横対称軸と交差し、前記横対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記横対称軸に中心を置かれるように、配置されており、
    前記外側質量要素の数は4であり、各外側質量要素は、対角対称軸と交差し、前記対角対称軸に対して対称になり、かつ前記質量要素のブリッジコネクタが前記対角対称軸に中心を置かれるように、配置されていることを特徴とする、請求項に記載のリングジャイロスコープ。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11668553B2 (en) * 2020-02-14 2023-06-06 Applied Materials Inc. Apparatus and method for controlling edge ring variation
CN114353776A (zh) * 2021-12-31 2022-04-15 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 一种基于旋转模态的mems陀螺

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0461761B1 (en) * 1990-05-18 1994-06-22 British Aerospace Public Limited Company Inertial sensors
JPH10115526A (ja) * 1996-10-15 1998-05-06 Ngk Insulators Ltd 振動ジャイロ・センサ及び振動ジャイロ・センサの製造方法
JPH10132571A (ja) * 1996-10-25 1998-05-22 Murata Mfg Co Ltd 角速度センサ
GB2322196B (en) 1997-02-18 2000-10-18 British Aerospace A vibrating structure gyroscope
JP3942762B2 (ja) * 1998-02-12 2007-07-11 日本碍子株式会社 振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
JPH11304494A (ja) * 1998-04-22 1999-11-05 Meidensha Corp 振動ジャイロ及びその使用方法
JP2000009473A (ja) * 1998-06-22 2000-01-14 Tokai Rika Co Ltd 2軸ヨーレートセンサ及びその製造方法
GB0122254D0 (en) 2001-09-14 2001-11-07 Bae Systems Plc Vibratory gyroscopic rate sensor
US7281426B1 (en) * 2006-06-15 2007-10-16 Innalabs Technologies, Inc. Stemless hemispherical resonator gyroscope
EP2239541B1 (en) 2008-01-29 2013-10-23 Sumitomo Precision Products Co., Ltd. Vibrating gyroscope using piezoelectric film
JP5052674B2 (ja) * 2008-08-06 2012-10-17 パイオニア株式会社 回転振動型ジャイロ
US20100058861A1 (en) * 2008-09-11 2010-03-11 Analog Devices, Inc. Piezoelectric Transducers and Inertial Sensors using Piezoelectric Transducers
JP5523755B2 (ja) 2009-02-11 2014-06-18 住友精密工業株式会社 圧電体膜を用いた振動ジャイロ及びその製造方法
DE102009001244A1 (de) 2009-02-27 2010-09-02 Sensordynamics Ag Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse
JP2011158319A (ja) * 2010-01-29 2011-08-18 Akebono Brake Ind Co Ltd 角速度センサ
JP5716827B2 (ja) * 2011-07-04 2015-05-13 株式会社村田製作所 振動子および振動ジャイロ
EP2544370B1 (en) 2011-07-06 2020-01-01 Nxp B.V. MEMS resonator
FI126070B (en) * 2014-01-28 2016-06-15 Murata Manufacturing Co Improved ring gyroscope structure and gyroscope
WO2016088291A1 (ja) * 2014-12-01 2016-06-09 ソニー株式会社 センサ素子、ジャイロセンサ及び電子機器
US10113873B2 (en) * 2015-05-22 2018-10-30 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Whole angle MEMS gyroscope
US10317210B2 (en) * 2015-05-22 2019-06-11 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Whole angle MEMS gyroscope on hexagonal crystal substrate
CN104897145B (zh) 2015-05-29 2018-03-23 上海交通大学 一种外缘固定式压电驱动多环陀螺及其制备方法
US10809061B2 (en) * 2016-01-27 2020-10-20 Hitachi, Ltd. Vibratory gyroscope including a plurality of inertial bodies
US10520331B2 (en) * 2017-02-27 2019-12-31 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Calibration system and method for whole angle gyroscope
JP6769517B2 (ja) * 2018-05-08 2020-10-14 株式会社村田製作所 ピエゾリングジャイロスコープ

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