JP2019201037A - ウエハ加工用テープ及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 147
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 144
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 216
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 64
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 45
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 claims 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 32
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 32
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 17
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 8
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 5
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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Abstract
Description
まず、本実施形態に係るウエハ加工用テープの概略構成について説明する。本実施形態に係るウエハ加工用テープは、半導体装置の製造時に、半導体ウエハ(不図示)に貼り付けられて用いられるテープである。ウエハ加工用テープは、通常は、長尺に形成されて、ロール状に巻かれた状態となっている。
次に、半導体装置の製造方法について説明する。半導体装置の製造方法は、上述したウエハ加工用テープ1を用いて行う。
次に、ウエハ加工用テープ1の詳細構成について説明する。
0.05≦(d1/D)≦0.5 …(1)
0.1≦(d2/D)≦0.7 …(2)
接着剤層(ダイボンドフィルム)の厚さが20μm、粘着フィルム(ダイシングテープ)の厚さが110μm、接着剤層の直径が320mmの日立化成株式会社製のウエハ加工用テープ(型番 FH−9011−20)を用意し、ウエハ加工用テープに貼り付ける半導体ウエハの直径、つまりウエハ貼付予定領域の直径を、300mmとした。そして、ウエハ加工用テープに、切削機器を用いて4mmの−状の切込を形成した。切込の最も接着剤層の外周縁側に位置する外側先端を、接着剤層の外周縁から5mmの位置とした。
冷却温度:−15℃、冷却時間:120秒、エキスパンド量:12mm、エキスパンド速度:200mm/s、エキスパンド後の保持時間:10秒
[ヒートシュリンク条件]
ヒータ温度:220℃、ヒータ回転速度:5°/s、エキスパンド量:7mm
(実施例2)
切込の形状を4mm四方の×状とし、切込の最も接着剤層の外周縁側に位置する外側先端を、接着剤層の外周縁から3mmの位置とした他は、実施例1と同条件として、実施例2のウエハ加工用テープを得た。
切込の形状を4mm四方の×状とし、切込の最も接着剤層の外周縁側に位置する外側先端を、接着剤層の外周縁から2mmの位置とした他は、実施例1と同条件として、実施例3のウエハ加工用テープを得た。
切込の数を72とした他は、実施例3と同条件として、実施例3のウエハ加工用テープを得た。
切込の最も接着剤層の外周縁側に位置する外側先端を、接着剤層の外周縁から1mmの位置とした他は、実施例4と同条件として、実施例5のウエハ加工用テープを得た。
接着剤層に切込を形成しない他は、実施例1と同条件として、比較例1のウエハ加工用テープを得た。
切込の数を72とし、切込の最も接着剤層の外周縁側に位置する外側先端を、接着剤層の外周縁とした他は、実施例1と同条件として、比較例2のウエハ加工用テープを得た。
実施例1〜5及び比較例1〜2のウエハ加工用テープのそれぞれに半導体ウエハを貼り付け、各ウエハ加工用テープをエキスパンドした後、各ウエハ加工用テープの接着剤層の外周部を目視により観察した。接着剤層の破片が飛散していなかったものをA、接着剤層の破片が僅かに飛散したものをB、接着剤層の破片が飛散したものをC、接着剤層の破片が著しく飛散したものをDとした。評価結果を表1に示す。
上述した飛散性評価の後、半導体ウエハ(分断された複数の半導体チップ)の上方から顕微鏡にて観察し、接着剤層が分断されているかを評価した。顕微鏡による観察は、半導体ウエハの全面に対して実施した。接着剤層が分断されていたものをA、接着剤層が分断されていない部分があったものをBとした。評価結果を表1に示す。
上述した分断性評価の後、粘着フィルムに紫外線を照度100mW/cm2、照射量200mJ/cm2の条件で照射し、粘着フィルムの粘着層を硬化させて粘着力を低下させた。その後、分断された接着剤層付き半導体チップ100個について、株式会社日立ハイテクノロジーズ製のDB800−HSDを用いて、ピックアップ高さ200μm、ピックアップ速度1mm/s、多ピン突き上げ(ピン数:9)の条件にてピックアップを行った。問題なくピックアップできたものをA、ピックアップ不良が発生したものをBとした。評価結果を表1に示す。
Claims (18)
- 半導体ウエハに貼り付けて用いるウエハ加工用テープであって、
基材層と前記基材層上に設けられた粘着層とを有する粘着フィルムと、
前記粘着フィルムの前記粘着層上に設けられて前記半導体ウエハが貼り付けられる円形の接着剤層と、を備え、
前記接着剤層には、前記接着剤層の外周縁よりも内側に、切込が形成されている、
ウエハ加工用テープ。 - 前記切込は、前記接着剤層の前記半導体ウエハが貼り付けられるウエハ貼付予定領域よりも外側に形成されている、
請求項1に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記切込の最も前記接着剤層の外周縁側に位置する外側先端は、前記接着剤層の前記半導体ウエハが貼り付けられるウエハ貼付予定領域の外周縁と前記接着剤層の外周縁との中間位置よりも外側に位置している、
請求項1又は2に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記接着剤層の前記半導体ウエハが貼り付けられるウエハ貼付予定領域から前記接着剤層の外周縁までの距離をD、前記接着剤層の外周縁から前記切込の最も前記接着剤層の外周縁側に位置する外側先端までの距離をd1とした場合、
0.05≦(d1/D)≦0.5
の関係を満たす、
請求項1〜3の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記ウエハ加工用テープの前記半導体ウエハが貼り付けられるウエハ貼付予定領域から前記接着剤層の外周縁までの距離をD、前記ウエハ貼付予定領域の外周縁から前記切込の最も前記ウエハ貼付予定領域側に位置する内側先端までの距離をd2とした場合、
0.1≦(d2/D)≦0.7
の関係を満たす、
請求項1〜4の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記切込は、前記接着剤層の径方向に対して傾斜している、
請求項1〜5の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記切込は、X状に形成されている、
請求項1〜6の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記切込は、前記接着剤層の周方向に傾斜したI状に形成されている、
請求項1〜6の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 前記切込は、前記接着剤層の周方向に複数形成されている、
請求項1〜8の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、前記接着剤層の周方向に等間隔に形成されている、
請求項9に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、同一円周上に形成されている、
請求項9又は10に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、二以上の異なる同心円周上に形成されている、
請求項9又は10に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、前記接着剤層の径方向から見て重なっている、
請求項9〜12の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、前記接着剤層の径方向から見て重なっていない、
請求項9〜12の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、同じ形状に形成されている、
請求項9〜14の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 複数の前記切込は、二以上の異なる形状に形成されている、
請求項9〜14の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 隣り合う前記切込の間隔は、2mm以上40mm以下である、
請求項9〜16の何れか一項に記載のウエハ加工用テープ。 - 請求項1〜17の何れか一項に記載したウエハ加工用テープを用いて半導体装置を製造する方法であって、
前記ウエハ加工用テープの前記接着剤層を前記半導体ウエハに貼り付ける貼付工程と、
前記ウエハ加工用テープをエキスパンドすることにより、前記半導体ウエハを複数の半導体チップに分離するエキスパンド工程と、
前記粘着フィルムから前記半導体チップをピックアップするピックアップ工程と、を備える、
半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018093050A JP7238270B2 (ja) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | ウエハ加工用テープ及び半導体装置の製造方法 |
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JP2018093050A JP7238270B2 (ja) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | ウエハ加工用テープ及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019201037A true JP2019201037A (ja) | 2019-11-21 |
JP7238270B2 JP7238270B2 (ja) | 2023-03-14 |
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JP2018093050A Active JP7238270B2 (ja) | 2018-05-14 | 2018-05-14 | ウエハ加工用テープ及び半導体装置の製造方法 |
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DE112020004459T5 (de) | 2019-11-05 | 2022-06-02 | Komatsu Ltd. | Anzeigesteuersystem, Arbeitsmaschine, und Anzeigesteuerverfahren |
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