JP2019200159A - ＮＯｘセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】センサ電極におけるＮＯｘに対する活性低下を抑制することができるＮＯｘセンサを提供する。【解決手段】ＮＯｘセンサ１は、被測定ガス室１０、基準ガス室１１、固体電解質体２、及び複数の電極３を含む。複数の電極３は、基準電極３ｂ、ポンプ電極３ｐ、及びセンサ電極３ｓを含む。ポンプ電極３ｐ及びセンサ電極３ｓは、固体電解質体２の被測定ガス室１０側の主面２１に形成されている。センサ電極３ｓはＰｔとＲｈとの合金またはＰｔの電極である。ポンプ電極３ｐは、Ｐｔを主成分とする、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄの合金であり、Ａｕを０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下、Ｐｄを０．１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下含有する。【選択図】図１

Description

本発明は、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体と、固体電解質体の表面に形成された複数の電極と、を含むＮＯｘセンサに関する。

従来より、被測定ガスに含まれる酸素の濃度を低減させるためのポンプセルと、ポンプセルによって酸素の濃度を低減させた後の被測定ガスに含まれるＮＯｘの濃度を測定するためのセンサセルと、を含むＮＯｘセンサが、例えば特許文献１で提案されている。

ポンプセルは、ポンプ電極を含み、Ｏ_２分子を酸素イオンに分解し、固体電解質体を通して酸素イオンを被測定ガス室から排出する。ポンプ電極には、Ｏ_２に対して活性であるがＮＯｘに対して不活性な性質を有する、Ｐｔ−Ａｕ合金が用いられる。このため、ポンプ電極では、ＮＯｘは分解されない。

また、センサセルは、センサ電極を含み、ＮＯｘを分解して酸素イオンを発生させ、固体電解質体を通して酸素イオンを被測定ガス室から排出する。センサ電極には、ＮＯｘに対して活性なＰｔ−Ｒｈ合金や、Ｐｔが用いられる。

ＮＯｘセンサを製造する際には、未焼成の固体電解質体の表面に、ポンプ電極やセン電極となる導電ペーストを印刷し、他のセラミック材料と組み合わせて、焼成する工程を行う。

特開２０１６−８８３１号公報

しかしながら、上記従来の技術では、導電ペーストを印刷して焼成する工程においてポンプ電極に熱が加わることや、ＮＯｘセンサの使用環境において長時間の熱に晒されることにより、ポンプ電極に含まれるＡｕが蒸散してしまう。また、ＮＯｘセンサを使用する際には、ヒータを用いて固体電解質体を活性化温度まで昇温させるため、このヒータの熱によって、ポンプ電極に含まれるＡｕが蒸散してしまう。

ＡｕはＮＯｘに対して不活性であるため、Ａｕがセンサ電極の表面に付着すると、センサ電極の、ＮＯｘを分解する能力が低下してしまうという問題がある。

本発明は上記点に鑑み、センサ電極におけるＮＯｘに対する活性低下を抑制することができるＮＯｘセンサを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、ＮＯｘセンサは、被測定ガス（ｇ）に含まれる酸素の濃度を低減させるためのポンプ電極（３ｐ）を含み、ポンプ電極は、Ｐｔを主成分とする、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄの合金であり、Ａｕを０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下、Ｐｄを０．１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下含有する。

請求項３に記載の発明では、ＮＯｘセンサは、被測定ガス（ｇ）が導入される被測定ガス室（１０）と、基準ガスが導入される基準ガス室（１１）と、被測定ガス室と基準ガス室との間に介在し、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体（２）と、固体電解質体の主面（２１、２２）に形成された複数の電極（３）と、を備えている。

複数の電極は、固体電解質体の基準ガス室側の主面（２２）に形成された基準電極（３ｂ）と、固体電解質体の被測定ガス室側の主面（２１）に形成されたポンプ電極（３ｐ）及びセンサ電極（３ｓ）と、を含む。センサ電極（３ｓ）はＰｔとＲｈとの合金またはＰｔからなる。

また、固体電解質体とポンプ電極と基準電極とによって、被測定ガス室に導入された被測定ガス中の酸素濃度を調整するポンプセル（４ｐ）が形成され、固体電解質体と前記センサ電極と基準電極とによって、被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定するセンサセル（４ｓ）が形成されている。

そして、ポンプ電極はＰｔとＡｕ及びＰｄを含み、Ｐｔ、Ａｕ及びＰｄの合計量に対して、Ｐｄを０．１ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下、Ａｕを０．１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下含有する。

これによると、ＰｄはＡｕとの結合エネルギーがＡｕ同士の結合エネルギーよりも大きいので、ポンプ電極に熱が加えられたとしても、Ａｕが相分離しにくくなる。このため、ポンプ電極からＡｕが蒸散しにくくなるので、被測定ガスに含まれるＮＯｘを分解して酸素イオンを発生させるためのセンサ電極の表面にＡｕが付着しにくくなる。したがって、センサ電極におけるＮＯｘに対する活性低下を抑制することができる。

なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

第１実施形態に係るＮＯｘセンサの断面図である。 図１のII−II断面図である。 図１のIII-III断面図である。 図１に示されたＮＯｘセンサの分解斜視図である。 加熱耐久試験のためのサンプルを示した平面図である。 （ａ）はＰｄが含まれていないポンプ電極の表面貴金属濃度を示した図であり、（ｂ）はＰｄが含まれているポンプ電極の表面貴金属濃度を示した図である。 （ａ）はＰｄが含まれていないポンプ電極のＸＲＤ回折結果を示した図であり、（ｂ）はＰｄが含まれているポンプ電極のＸＲＤ回折結果を示した図である。 ポンプ電極へのＰｄ添加の有無による効果を説明するための図である。 センサ電極のＡｕ含有量とポンプ電極のＰｄ組成比を変化させたときの、センサ電極に含まれるＡｕ濃度の変化を示した図である。

以下、一実施形態について図を参照して説明する。ＮＯｘセンサは、自動車の排気ガスに含まれるＮＯｘ濃度を測定するための、車載用ＮＯｘセンサとすることができる。

図１、図２、及び図３に示されるように、ＮＯｘセンサ１は、被測定ガス室１０、基準ガス室１１、固体電解質体２、及び複数の電極３を備える。

被測定ガス室１０には被測定ガスｇが導入される。基準ガス室１１には、大気等の基準ガスが導入される。固体電解質体２は、被測定ガス室１０と基準ガス室１１との間に介在している。固体電解質体２は、酸素イオン伝導性を有する。複数の電極３は、固体電解質体２の主面２１、２２に形成されている。

複数の電極３は、基準電極３ｂ、ポンプ電極３ｐ、及びセンサ電極３ｓを含む。基準電極３ｂは、固体電解質体２の基準ガス室１１側の主面２２に形成されている。ポンプ電極３ｐ及びセンサ電極３ｓは、固体電解質体２の被測定ガス室１０側の主面２１に形成されている。つまり、ポンプ電極３ｐ及びセンサ電極３ｓは、同一の被測定ガス室１０に設置されている。

ポンプ電極３ｐは、被測定ガスｇに含まれる酸素の濃度を低減させるための電極である。ポンプ電極３ｐは、Ｐｔを主成分とする、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄの合金の電極であり、Ａｕを０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下、Ｐｄを０．１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下含有する。なお、上記「主成分」とは、最も質量比が高い成分を意味する。

センサ電極３ｓは、被測定ガスｇに含まれるＮＯｘを分解して酸素イオンを発生させるための電極である。センサ電極３ｓは、ＰｔとＲｈとの合金またはＰｔの電極である。

固体電解質体２とポンプ電極３ｐと基準電極３ｂとによって、被測定ガス室１０に導入される被測定ガスｇ中の酸素濃度を調整するポンプセル４ｐが形成されている。また、固体電解質体２とセンサ電極３ｓと基準電極３ｂとによって、被測定ガスｇ中のＮＯｘ濃度を測定するセンサセル４ｓが形成されている。

図２に示されるように、ＮＯｘセンサ１は、上記ポンプセル４ｐとセンサセル４ｓの他に、モニタセル４ｍを備える。モニタセル４ｍは、固体電解質体２、モニタ電極３ｍ、及び基準電極３ｂを含む。モニタ電極３ｍは、ポンプ電極３ｐと同様に、Ｐｔを主成分とする、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄの合金の電極である。モニタ電極３ｍは、固体電解質体２の、被測定ガス室１０側の主面２１に形成されている。

被測定ガスｇ中のＮＯｘ濃度を測定する際には、基準電極３ｂとポンプ電極３ｐとの間に、ポンプ電極３ｐの方が低電位となるように、直流電圧を印加する。このようにすると、被測定ガスｇに含まれるＯ_２が、ポンプ電極３ｐにおいて酸素イオンに還元され、この酸素イオンが、固体電解質体２を通して基準ガス室１１側へ排出される。そのため、被測定ガスｇ中のＯ_２濃度が低減する。ポンプ電極３ｐは、ＮＯｘに不活性なＡｕを含有しているので、ポンプ電極３ｐではＮＯｘは分解されず、Ｏ_２のみイオン化される。

このように、被測定ガスｇ中のＯ_２濃度を低減させた後、モニタセル４ｍを用いて、被測定ガスｇに僅かに残留するＯ_２の濃度を測定する。すなわち、モニタ電極３ｍにおいてＯ_２を酸素イオンに還元し、この酸素イオンを、固体電解質体２を通して基準ガス室１１側へ排出する。このときに流れる電流値を測定することにより、残留するＯ_２の濃度を測定する。

また、センサセル４ｓでは、ポンプセル４ｐによってＯ_２濃度を低減させた被測定ガスｇに含まれる、Ｏ_２とＮＯｘとの合計の濃度を測定する。すなわち、センサ電極３ｓにおいてＯ_２とＮＯｘをそれぞれ分解し、酸素イオンを発生させる。この酸素イオンが固体電解質体２を流れたときに生じる電流値を測定することにより、Ｏ_２とＮＯｘの合計濃度を測定する。そして、この合計濃度から、モニタセル４ｍを用いて測定したＯ_２濃度を減算することにより、ＮＯｘ濃度を算出する。

センサ電極３ｓは、Ｏ_２とＮＯｘとの両方に活性であるため、これらの合計の濃度しか測定できない。そのため、モニタセル４ｍを用いてＯ_２濃度のみを測定しておき、上記合計濃度からＯ_２濃度を減算することにより、ＮＯｘ濃度を正確に測定できる。

次に、ＮＯｘセンサ１の構造について、より詳細に説明する。図１及び図４に示されるように、ＮＯｘセンサ１は、セラミック製の板状部１３、第１スペーサ１４、第２スペーサ１５、ヒータ６、及び拡散抵抗層１２を含む。第１スペーサ１４によって被測定ガス室１０が形成されており、第２スペーサ１５によって基準ガス室１１が形成されている。これらのスペーサ１４、１５は、それぞれセラミックスである。

拡散抵抗層１２はアルミナ等によって形成されている。この拡散抵抗層１２によって、ＮＯｘセンサ１外から被測定ガス室１０に導入される被測定ガスｇのガス量が制限される。

図４に示されるように、板状部１３には、電極３に電気接続された接続端子１６が形成されている。

固体電解質体２は、ジルコニアや部分安定化ジルコニア等で形成されている。上述したように、固体電解質体２の表面には、複数の電極３が形成されている。図２及び図４に示されるように、モニタ電極３ｍ及びセンサ電極３ｓは、固体電解質体２の長手方向（Ｘ方向）と厚さ方向（Ｚ方向）との双方に直交する幅方向（Ｙ方向）において、互いに隣り合っている。長手方向、厚さ方向、幅方向が、Ｘ方向、Ｚ方向、Ｙ方向に対応する。また、モニタ電極３ｍ及びセンサ電極３ｓは、ポンプ電極３ｐに対して、それぞれＸ方向に隣り合う位置に形成されている。

図４に示されるように、ヒータ６は、２枚のアルミナシート６１、６３と、２枚のアルミナシート６１、６３の間に介在する電熱部６２と、を含む。アルミナシート６３の表面には、電熱部６２に電気接続したヒータ用端子１７が形成されている。電熱部６２に電流を流して発熱させることにより、固体電解質体２を活性化温度まで昇温するよう構成されている。

次に、ＮＯｘセンサ１の製造方法について説明する。ＮＯｘセンサ１を製造するには、まず、未焼成の固体電解質体２を用意し、この固体電解質体２の表面２１、２２に、それぞれポンプ電極３ｐ、センサ電極３ｓ、モニタ電極３ｍ、基準電極３ｂとなる導電性ペーストを印刷する。

また、未焼成の板状部１３、第１スペーサ１４、第２スペーサ１５を用意する。また、スペーサ１４、１５や板状部１３には、電極３と接続端子１６とを電気接続するためのビア１８を形成しておく。そして、未焼成の上記板状部１３、第１スペーサ１４、固体電解質体２、第２スペーサ１５を積層し、センサ積層体を形成する。

続いて、未焼成の２枚のアルミナシート６１、６３を用意し、この２枚のアルミナシート６１、６３のうち一方のアルミナシート６３に、電熱部６２となる導体ペーストを印刷する。また、一方のアルミナシート６３の表面に、ヒータ用端子１７、接続端子１６となるペーストを印刷する。アルミナシート６１、６３には、電気接続用のビア１８を形成しておく。そして、２枚のアルミナシート６１、６３を積層し、ヒータ積層体を形成する。

この後、センサ積層体とヒータ積層体とを積層し、全体を加熱しつつＺ方向に圧縮する。これにより、各層を密着させ、未焼成のＮＯｘセンサ１を形成する。この未焼成のＮＯｘセンサ１を、所定の温度にて焼成する。焼成温度は、例えば１４００〜１５００℃程度とすることができる。こうして、ＮＯｘセンサ１が完成する。

次に、ポンプ電極３ｐへのＰｄ添加によるＡｕ蒸散抑制について説明する。発明者らは、ポンプ電極３ｐへのＰｄ添加によるＡｕ蒸散抑制を評価するため、ポンプ電極３ｐへのＰｄ含有濃度を変化させたサンプルを複数製作した。

具体的には、ポンプ電極３ｐへのＰｄ含有量を２ｗｔ％〜１８ｗｔ％で変化させると共に、Ａｕ含有量を５ｗｔ％〜２０ｗｔ％で変化させたサンプルを合計２５水準製作した。各サンプルは、図５に示されるように、ポンプ電極３ｐの隣にセンサ電極３ｓが配置されたものである。比較対象として、ポンプ電極３ｐにＰｄが含まれていないサンプルも用意した。

そして、比較対象及び２５水準に対して、大気での１０５０℃、５０時間の加熱耐久試験を行い、Ｘ線光電子分光分析を行った。分析箇所は、図５に示されたセンサ電極３ｓの一部である。

まず、図６（ａ）に示されるように、ポンプ電極３ｐにＰｄが含まれていない比較対象では、加熱耐久試験後、センサ電極３ｓの表面貴金属濃度において、Ａｕ含有率が増加した。図６（ａ）は、ポンプ電極３ｐのＡｕの含有量を１ｗｔ％としたものを示している。

また、図７（ａ）に示されるように、加熱耐久試験後の比較対象のセンサ電極３ｓにおいては、２つのピークが現れた。大きいピークは、Ｐｔが主体のピークである。小さいピークは、Ａｕが主体のピークである。つまり、ポンプ電極３ｐにＰｄが含まれていない比較対象では、加熱耐久試験によって相分離が起こり、Ａｕがセンサ電極３ｓに付着した結果である。

これについて、ＹＳＺ基板の上にポンプ電極３ｐとしてＰｔ−Ａｕ金属粒子とＹＳＺ粒子を樹脂等で混合しペースト化したものを塗布し、焼結したものを断面ＴＥＭで観察し、ＥＤＳ分析を行った。その結果、ポンプ電極３ｐの表面から３−５ｍｍでＰｔが減少していた。また、Ａｕがポンプ電極３ｐの表面に析出していた。

一方、図６（ｂ）に示されるように、ポンプ電極３ｐにＰｄが含まれているものでは、加熱耐久試験後、センサ電極３ｓの表面貴金属濃度において、Ａｕ含有率はほとんど変化しなかった。図６（ｂ）は、ポンプ電極３ｐのＡｕ、Ｐｄの含有量を１ｗｔ％、１ｗｔ％としたものを示している。

また、図７（ｂ）に示されるように、加熱耐久試験後のセンサ電極３ｓにおいては、１つのピークが現れた。大きいピークは、Ｐｔが主体のピークである。その他に目立ったピークは現れなかった。これは、ポンプ電極３ｐにＰｄが含まれる場合、加熱耐久試験によっては相分離が起こりにくく、Ａｕが蒸散しにくくなった結果である。

これについて、上記と同様に、ＹＳＺ基板の上にポンプ電極３ｐとしてＰｔ−Ａｕ−Ｐｄ金属粒子とＹＳＺ粒子を樹脂等で混合しペースト化したものを塗布し、焼結したものを断面ＴＥＭで観察し、ＥＤＳ分析を行った。その結果、Ｐｄを含むポンプ電極３ｐでは、Ａｕ−Ｐｄの合金になっていた。 Ａｕ−Ｐｄ合金の融点がＡｕよりも高くなり、Ａｕ蒸散量は抑えられたと考えられる。なお、Ｐｔ−Ａｕ−Ｐｄは合金でも良い。

上記の結果をまとめると、図８（ａ）に示されるように、Ｐｄが含まれないポンプ電極３ｐでは、Ａｕが蒸散しやすくなり、センサ電極３ｓの表面に付着しやすくなると考えられる。その結果、Ａｕがセンサ電極３ｓの表面に付着し、センサ電極３ｓの、ＮＯｘを分解する能力が低下してしまう。Ｐｄが含まれていなポンプ電極３ｐの凝集エネルギーを算出したところ、５．２４ｅＶであった。

これに対し、図８（ｂ）に示されるように、Ｐｄが含まれるポンプ電極３ｐでは、Ａｕが蒸散しにくいので、センサ電極３ｓの表面に付着しにくくなる。つまり、ＰｄによってＡｕ被毒が抑制される。Ｐｄが含まれるポンプ電極３ｐの凝集エネルギーは８．２４ｅＶであった。

ＰｄはＡｕとの結合エネルギーがＡｕ同士の結合エネルギーよりも大きい。よって、ポンプ電極３ｐに熱が加えられたとしても、Ａｕが相分離しにくく、ポンプ電極３ｐからＡｕが蒸散しにくくなる。したがって、センサ電極３ｓの表面にＡｕが付着しにくくなり、その結果、センサ電極３ｓの、ＮＯｘを分解する能力の低下が抑制される。

図９に示されるように、センサ電極３ｓに含まれるＡｕ濃度は、ポンプ電極３ｐのＰｄ含有量の増加に伴って減少した。図９では、ポンプ電極３ｐのＡｕ含有量を５ｗｔ％、１０ｗｔ％、２０ｗｔ％としたときのセンサ電極３ｓのＡｕ濃度を示している。ポンプ電極３ｐのＡｕ含有量を５％としたときにセンサ電極３ｓのＡｕ濃度が最も低くなり、ポンプ電極３ｐのＡｕ含有量を２０％としたときにセンサ電極３ｓのＡｕ濃度が最も高くなった。

そして、ポンプ電極３ｐのＡｕ含有量を１０ｗｔ％、Ｐｄ含有量を１０ｗｔ％としたとき、すなわちＡｕとＰｄとの比率がＡｕ：Ｐｄ＝１：１のとき、センサ電極３ｓのＡｕ濃度が下がりきり、ほぼ一定となった。これは、上記２５水準以外のサンプルとしてＰｄ含有量を３０ｗｔ％以下とした場合も同じであった。したがって、ポンプ電極３ｐのＡｕ含有率を０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下とし、Ｐｄ含有率を０．１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下とすることができる。

また、ポンプ電極３ｐのＡｕ含有量を５ｗｔ％としたときについても、上記２５水準以外のサンプルとしてＰｄ含有量を１５ｗｔ％以下とした場合も、センサ電極３ｓのＡｕ濃度が下がりきり、ほぼ一定となった。したがって、ポンプ電極３ｐのＡｕ含有率を、Ｐｔ、Ａｕ及びＰｄの合計量に対して、０．１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下とし、Ｐｄ含有率を０．１ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下とすることができる。

さらに、ポンプ電極３ｐに含まれるＡｕとＰｄとの比率は、Ａｕ：Ｐｄ＝１：１のときに限られず、ポンプ電極３ｐは、ＡｕとＰｄとの比率がＡｕ：Ｐｄ＝０．８：１．２からＡｕ：Ｐｄ＝１．２：０．８の範囲でもセンサ電極３ｓのＡｕ濃度が低くなった。

例えば、ポンプ電極３ｐに含まれるＰｔ、Ａｕ、Ｐｄの比率を、Ｐｔ：Ａｕ：Ｐｄ＝９８：１：１とすることができる。Ｐｄの比率が１ｗｔ％であっても、Ｐｄ−Ａｕ合金によってＡｕ蒸散が抑制される。ＰｄによるＡｕ蒸散の効果を高めるために、ポンプ電極３ｐに含まれるＰｔ、Ａｕ、Ｐｄの比率を、Ｐｔ：Ａｕ：Ｐｄ＝８９：１：１０としても良い。この組成比により、Ｐｄ−Ａｕ結合の確率をより高めることができる。

以上説明したように、ポンプ電極３ｐにＰｄを添加することで、センサ電極３ｓのＡｕ被毒を抑制することができる。したがって、センサ電極３ｓにおけるＮＯｘに対する活性低下を抑制することができる。例えば、センサ電極３ｓにＡｕが付着することを抑制するためのＡｕ吸着層等も不要である。

（他の実施形態）
上記各実施形態で示されＮＯｘセンサ１の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、ＮＯｘセンサ１は車両用に限られない。また、ポンプ電極３ｐ及びセンサ電極３ｓは、同一の被測定ガス室１０に設置されていたが、別々の部屋に設置されても構わない。

１０ 被測定ガス室
１１ 基準ガス室
２ 固体電解質体
２１、２２ 主面
３ｂ 基準電極
３ｐ ポンプ電極
３ｓ センサ電極
４ｐ ポンプセル
４ｓ センサセル
ｇ 被測定ガス

Claims (5)

1. 被測定ガス（ｇ）に含まれる酸素の濃度を低減させるためのポンプ電極（３ｐ）を含み、
   前記ポンプ電極は、Ｐｔを主成分とする、Ｐｔ、Ａｕ、Ｐｄの合金であり、Ａｕを０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下、Ｐｄを０．１ｗｔ％以上３０ｗｔ％以下含有するＮＯｘセンサ。
2. 前記被測定ガスに含まれるＮＯｘを分解して酸素イオンを発生させるためのセンサ電極（３ｓ）と、
   前記被測定ガスが導入される被測定ガス室（１０）と、
   を含み、
   前記ポンプ電極及び前記センサ電極は、前記被測定ガス室に設置されている請求項１に記載のＮＯｘセンサ。
3. 被測定ガス（ｇ）が導入される被測定ガス室（１０）と、
   基準ガスが導入される基準ガス室（１１）と、
   前記被測定ガス室と前記基準ガス室との間に介在し、酸素イオン伝導性を有する固体電解質体（２）と、
   前記固体電解質体の主面（２１、２２）に形成された複数の電極（３）と、
   を備え、
   前記複数の電極は、前記固体電解質体の前記基準ガス室側の主面（２２）に形成された基準電極（３ｂ）と、前記固体電解質体の前記被測定ガス室側の主面（２１）に形成されたポンプ電極（３ｐ）及びセンサ電極（３ｓ）と、を含み、
   前記センサ電極はＰｔとＲｈとの合金またはＰｔからなり、
   前記固体電解質体と前記ポンプ電極と前記基準電極とによって、前記被測定ガス室に導入された前記被測定ガス中の酸素濃度を調整するポンプセル（４ｐ）が形成され、前記固体電解質体と前記センサ電極と前記基準電極とによって、前記被測定ガス中のＮＯｘ濃度を測定するセンサセル（４ｓ）が形成され、
   前記ポンプ電極はＰｔとＡｕ及びＰｄを含み、Ｐｔ、Ａｕ及びＰｄの合計量に対して、Ｐｄを０．１ｗｔ％以上１５ｗｔ％以下、Ａｕを０．１ｗｔ％以上５ｗｔ％以下含有するＮＯｘセンサ。
4. 前記ポンプ電極は、ＡｕとＰｄとの比率がＡｕ：Ｐｄ＝０．８：１．２からＡｕ：Ｐｄ＝１．２：０．８である請求項１ないし３のいずれか１つに記載のＮＯｘセンサ。
5. 前記ポンプ電極は、ＡｕとＰｄとの比率がＡｕ：Ｐｄ＝１：１である請求項１ないし３のいずれか１つに記載のＮＯｘセンサ。

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