JP2019200144A - 標準尺及び真直度測定方法 - Google Patents
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- 所定の長さを有し、長さ方向の断面が矩形形状を有する透明な基体部と、
前記基体部の中立軸上に間隔を置いて形成された目盛と、
を備えることを特徴とする標準尺。 - 前記基体部は、
長さ方向の断面が前記基体部の1/2の高さを有する矩形形状の第1基体部と、
長さ方向の断面が前記基体部の1/2の高さを有する矩形形状であって、前記第1基体部に対向する面に前記目盛を有する第2基体部と、
を備え、
前記第1基体部と前記第2基体部の対向する面同士が接合されていることを特徴とする請求項1記載の標準尺。 - 前記目盛は、前記中立軸上に形成された十字マークであることを特徴とする請求項1または2記載の標準尺。
- 前記基体部はガラス製であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の標準尺。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の標準尺を用いた真直度測定方法であって、
前記標準尺を真直度を測定する測定対象物の軸に平行に設置する設置工程と、
前記標準尺の前記目盛を前記標準尺の一方の面側から測定する第1測定工程と、
前記標準尺を前記中立軸周りに180°回転させる回転工程と、
前記標準尺の前記目盛を前記標準尺の他方の面側から測定する第2測定工程と、
前記第1測定工程における測定結果及び前記第2測定工程における測定結果を用いて前記軸の真直度を算出する算出工程と
を含むことを特徴とする真直度測定方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63103913A (ja) * | 1986-10-20 | 1988-05-09 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
JPH01276005A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk | 測長器及び標的 |
JPH11108645A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Nikon Corp | 反射鏡の反射面の真直度測定方法及びステージ装置 |
JP2001235304A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Kuroda Precision Ind Ltd | 真直度測定装置の真直運動精度測定方法 |
US20030110653A1 (en) * | 2001-12-13 | 2003-06-19 | Schafer Randal D. | Measuring tool and method of making |
-
2018
- 2018-05-17 JP JP2018095014A patent/JP7112880B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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---|---|---|---|---|
JPS63103913A (ja) * | 1986-10-20 | 1988-05-09 | Mitsutoyo Corp | 光学式変位検出器 |
JPH01276005A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk | 測長器及び標的 |
JPH11108645A (ja) * | 1997-09-30 | 1999-04-23 | Nikon Corp | 反射鏡の反射面の真直度測定方法及びステージ装置 |
JP2001235304A (ja) * | 2000-02-21 | 2001-08-31 | Kuroda Precision Ind Ltd | 真直度測定装置の真直運動精度測定方法 |
US20030110653A1 (en) * | 2001-12-13 | 2003-06-19 | Schafer Randal D. | Measuring tool and method of making |
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