JP2019196287A - ガラス積層体の製造方法及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ガラス積層体製造工程は、ガラス積層体を製造する工程である。図1及び図2に示すように、ガラス積層体1は、ガラスフィルム2及び支持ガラス3を含み、ガラスフィルム2の接合面2aと支持ガラス3の接合面3aとが分離可能に密着している。なお、以下では、ガラスフィルム2及び支持ガラス3が矩形状である場合を例にとって説明するが、ガラスフィルム2及び支持ガラス3の形状は特に限定されず、例えば、円形、楕円形、三角形、五角形以上の多角形などであってもよい。
電子デバイス製造関連処理工程では、透明電極の成膜処理や封止処理等に伴う加熱処理(第二の加熱工程)により、図7に示すように、ガラスフィルム2の有効部2xにデバイス部20が作り込まれた電子デバイス21が、支持ガラス3上に積層された状態となる。
(2)ガラスフィルムとしては、縦寸法が364mm、横寸法が464mm、厚みが0.1mmの矩形状の薄板ガラスを使用した。
(3)支持ガラス及びガラスフィルムはいずれも、日本電気硝子株式会社製の無アルカリガラス(製品名:OA−10G)を使用した。
(4)支持ガラスの接合面及びガラスフィルムの接合面はいずれも、表面粗さRaが0.2nmであった。
(5)支持ガラスの端面は、R面取りされていた。ガラスフィルムの端面は、面取りされることなく、スクライブ切断されたままの面であった。
(6)支持ガラス及びガラスフィルムは、ロールブラシとpH10のアルカリイオン水を用いて洗浄機内で洗浄した後、リンス液でリンスすると共に、エアナイフで乾燥させた。(7)前記図3及び図4に示す表面処理装置を用い、処理槽内で支持ガラスとガラスフィルムの両方の接合面に対して粒子状有機物を含む処理ガスを30分間吹き付けて、両方の接合面に処理ガス中の粒子状有機物を付着させた。処理ガスはクリーンドライエアとした。処理槽に処理ガスを供給する配管は、その内部を流通する処理ガスと共に強制対流式の乾燥器(オーブン)により加熱した。これにより、上流配管から粒子状有機物を発現させ、上流配管を流通する処理ガスに添加した。
(8)粒子状有機物を付着させた後、支持ガラスの接合面とガラスフィルムの接合面とを減圧雰囲気下で密着させて積層した。この際、液晶ディスプレイ装置の製造に用いられるODF合着機を使用した。減圧雰囲気の圧力は1Paとした。
γ[J/m2]=(3h2EaTa3EbTb3)/{16c(EaTa3+EbTb3)}
ここで、hはガラス板と支持ガラスの間に挿入する部材の厚み[m]、Taはガラス板の厚み[m]、Eaはガラス板のヤング率[Pa]、Tbは支持ガラスの厚み[m]、Ebは支持ガラスのヤング率[Pa]、cは厚み既知の部材の挿入によって剥離した距離[m]、である。なお、既知の厚みを有する部材には厚み100μmのステンレス板を用いた。
2 ガラスフィルム
2a 接合面
3 支持ガラス
3a 接合面
4 表面処理装置
5 処理対象ガラス
5a 接合面
6 処理ガス
7 タンク
8 処理槽
9 配管
10 収容部
13 ノズル
14 加熱部
15 粗塵用フィルター
20 デバイス部
21 電子デバイス
Claims (10)
- ガラスフィルム及び支持ガラスを含み、前記ガラスフィルムの接合面と前記支持ガラスの接合面とが分離可能に密着しているガラス積層体の製造方法であって、
前記ガラスフィルムの前記接合面及び前記支持ガラスの前記接合面の少なくとも一方に粒子状有機物を含む処理ガスを吹き付ける表面処理工程と、前記ガラスフィルムの前記接合面と前記支持ガラスの前記接合面とを前記粒子状有機物を介して密着させて前記ガラス積層体を得る積層工程とを備えていることを特徴とするガラス積層体の製造方法。 - 前記粒子状有機物が、ポリアミドを含むことを特徴とする請求項1に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記処理ガスの吹き付け位置まで前記処理ガスを供給する供給路が、ポリアミドを含む配管を備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記ポリアミドを含む配管及び/又はその内部を流通する前記処理ガスを加熱することを特徴とする請求項3に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記ポリアミドを含む配管の加熱温度は40〜80℃であり、単位面積当たりの前記処理ガスの吹き付け量は300〜3000L/min/m2であることを特徴とする請求項4に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記処理ガスが、クリーンドライエアを含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記表面処理工程が、前記ガラスフィルム及び前記支持ガラスのうちの処理対象ガラスをクリーンルーム内に配置された処理槽内に搬入する搬入工程と、前記処理槽内で前記処理対象ガラスに前記処理ガスを吹き付ける吹き付け工程と、前記処理ガスを吹き付けた後に前記処理対象ガラスを前記処理槽から搬出する搬出工程とを備えていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記搬入工程及び前記搬出工程で、前記処理槽内に除塵ガスを供給することを特徴とする請求項7に記載のガラス積層体の製造方法。
- 前記処理槽における前記処理対象ガラスの取出口が、前記クリーンルーム内に形成される気流の上流側と異なる方向を向いていることを特徴とする請求項7又は8に記載のガラス積層体の製造方法。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載のガラス積層体の製造方法により、前記ガラス積層体を得るガラス積層体製造工程と、前記ガラス積層体の前記ガラスフィルムに加熱処理を伴う電子デバイス製造関連処理を行う電子デバイス製造関連処理工程と、前記ガラス積層体の前記支持ガラスから前記電子デバイス製造関連処理が行われたガラスフィルムを分離させる分離工程とを備えていることを特徴とする電子デバイスの製造方法。
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