JP2019191357A - 電子写真感光体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 機械式の搬送機構を用いて基体を反応容器の内部に設置する場合、基体が正常位置に設置されず、所望の膜を形成できない場合がある。【解決手段】 吊り下げ式で反応容器の内部まで基体ホルダーを搬送する搬送工程が、(i)基体ホルダーをチャッキング部材で把持し、吊り下げた状態で基体ホルダーの垂直度を測定し、垂直度が規定値以上であるか規定値未満であるかを判断する工程と、(ii)工程(i)で垂直度が規定値未満であると判断された場合は、基体ホルダーを搬送する工程に進み、工程(i)で垂直度が規定値以上であると判断された場合は、チャッキング部材による把持を解除し、基体ホルダーを回転させた後、工程(i)をやり直す工程と、を有する。【選択図】 図1
Description
本発明は、プラズマCVD法を用いた電子写真感光体の製造方法に関する。
電子写真感光体として、水素原子および/またはハロゲン原子を含有し、ケイ素原子を母体とするアモルファス材料、いわゆるアモルファスシリコンで構成されている堆積膜を有する電子写真感光体が知られている。
アモルファスシリコンで構成されている堆積膜の形成方法としては、例えば、高周波電力のグロー放電により堆積膜形成用ガスのプラズマを生成し、その分解種を基体の上に堆積させるプラズマCVD法が挙げられる。
このような方法で、電子写真感光体を製造する場合、円筒状の基体を搬送容器の内部で保持したり、真空の反応容器の内部に設置したりする場合があり、そのための方法に関して、様々な提案がされている。
特許文献1には、搬送専用の搬送容器を設け、反応容器と搬送容器の間で基体の出し入れおよび移動を可能とした搬送機構を用い、基体を反応容器の内部に設置する工程において、塵埃の基体への付着を抑制する堆積膜形成方法が記載されている。
しかしながら、特許文献1に記載されているような搬送機構を用いた場合、機械式の搬送機構を用いて基体を反応容器の内部に設置するため、基体が正常位置に設置されず、所望の膜を形成できない場合がある。例えば、搬送機構を用いて基体ホルダーを吊り下げたときに傾いた状態で反応容器の内部のホルダー受け台に設置しようとした場合、基体ホルダーの設置動作がうまくいかず、途中で停止してしまう。そのため、基体ホルダーの設置異常が発生してしまい、それ以降の工程に進むことができなくなり、膜の形成(成膜)が中断してしまう。
上述した課題を解決するために、本発明は、
円筒状の基体ホルダーに円筒状の基体を設置し、前記基体ホルダーをチャッキング部材で把持した状態で搬送容器の内部に搬入して収容し、吊り下げ式で反応容器の内部まで前記基体ホルダーを搬送する搬送工程と、
前記基体ホルダーを前記反応容器の内部に設置する工程と、
前記反応容器の内部で前記基体の上に堆積膜を形成する堆積膜形成工程と、
を行う電子写真感光体の製造方法において、
前記搬送工程が、
(i)前記基体ホルダーを前記チャッキング部材で把持し、吊り下げた状態で前記基体ホルダーの垂直度を測定し、前記垂直度が規定値以上であるか規定値未満であるかを判断する工程と、
(ii)前記工程(i)で前記垂直度が規定値未満であると判断された場合は、前記基体ホルダーを搬送する工程に進み、前記工程(i)で前記垂直度が規定値以上であると判断された場合は、前記チャッキング部材による把持を解除し、前記基体ホルダーを回転させた後、に前記工程(i)をやり直す工程と、
を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法である。
円筒状の基体ホルダーに円筒状の基体を設置し、前記基体ホルダーをチャッキング部材で把持した状態で搬送容器の内部に搬入して収容し、吊り下げ式で反応容器の内部まで前記基体ホルダーを搬送する搬送工程と、
前記基体ホルダーを前記反応容器の内部に設置する工程と、
前記反応容器の内部で前記基体の上に堆積膜を形成する堆積膜形成工程と、
を行う電子写真感光体の製造方法において、
前記搬送工程が、
(i)前記基体ホルダーを前記チャッキング部材で把持し、吊り下げた状態で前記基体ホルダーの垂直度を測定し、前記垂直度が規定値以上であるか規定値未満であるかを判断する工程と、
(ii)前記工程(i)で前記垂直度が規定値未満であると判断された場合は、前記基体ホルダーを搬送する工程に進み、前記工程(i)で前記垂直度が規定値以上であると判断された場合は、前記チャッキング部材による把持を解除し、前記基体ホルダーを回転させた後、に前記工程(i)をやり直す工程と、
を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法である。
本発明によれば、機械式の搬送機構を用いて基体を反応容器の内部に設置する場合において、基体を設置する前に基体の設置動作がうまくいくかどうかを判別することができ、不適切な設置による歩留まり低下を抑えることができる。
図2は、搬送機構2000および堆積膜形成装置2100を有する電子写真感光体の製造装置の例を示す模式図である。
搬送容器201は、垂直方向移動機構202によって垂直方向に移動可能であり、水平方向移動機構203によって搬送レール204に沿って水平方向に移動可能である。搬送容器201は、下部にゲート弁205、内部に垂直方向に移動可能なアーム206が設置されている。アーム206は、円筒状基体211Aおよび211Bならびに円筒状の補助部材229が設置された基体ホルダー212を把持可能なチャッキング部材207を有する。搬送容器201の内部には、基体ホルダーが搬入され、収容される。
反応容器210は、マッチングボックス213および高周波電源214が接続されている。反応容器210の上部には、碍子215を介してゲート弁216が設置されている。反応容器210の内部には、ホルダー受け台217、基体加熱用ヒーター218およびガス供給管219が設置されている。円筒状の基体211Aおよび211Bが設置された基体ホルダー212は、ホルダー受け台217に設置される。ホルダー受け台217は、支軸221およびベースプレート222を介して接地されている。反応容器210とベースプレート222との間には、碍子226が設置されている。反応容器210の下部には、排気装置(不図示)に接続された排気配管227および圧力計228が接続されている。
以下、図1および図2を用いて、本発明の電子写真感光体の製造方法の一例について説明する。
工程(i)
図1において、例えば、旋盤を用いて表面に鏡面加工を施した円筒状の基体111Aおよび111Bは、円筒状の補助部材129とともに基体ホルダー112に装着され、基体ホルダー112はホルダー受け台117に設置する。その後、搬送容器101の内部のアーム106を介して基体111Aおよび111Bが設置された基体ホルダー112は、チャッキング部材107により把持される。そして、基体ホルダー112をチャッキング部材107で把持し、図1のように吊り下げた状態で基体ホルダー112の垂直度(鉛直度)を測定する。具体的には、基体ホルダー112の中心軸131と同一平面上に基準線132を仮定し、補助部材129の側面と基体ホルダー112の下部の側面の2点について、基準線132に沿って任意に移動可能な基準位置133からの距離を計測する。また、基準位置133の高さ方向の相対距離の図1中のAも計測する。そして、2点の得られた値を結ぶ直線を算出する。つまり、補助部材129の側面と基体ホルダー112の下部の側面の傾きを算出し、この傾きを垂直度と定義する。
図1において、例えば、旋盤を用いて表面に鏡面加工を施した円筒状の基体111Aおよび111Bは、円筒状の補助部材129とともに基体ホルダー112に装着され、基体ホルダー112はホルダー受け台117に設置する。その後、搬送容器101の内部のアーム106を介して基体111Aおよび111Bが設置された基体ホルダー112は、チャッキング部材107により把持される。そして、基体ホルダー112をチャッキング部材107で把持し、図1のように吊り下げた状態で基体ホルダー112の垂直度(鉛直度)を測定する。具体的には、基体ホルダー112の中心軸131と同一平面上に基準線132を仮定し、補助部材129の側面と基体ホルダー112の下部の側面の2点について、基準線132に沿って任意に移動可能な基準位置133からの距離を計測する。また、基準位置133の高さ方向の相対距離の図1中のAも計測する。そして、2点の得られた値を結ぶ直線を算出する。つまり、補助部材129の側面と基体ホルダー112の下部の側面の傾きを算出し、この傾きを垂直度と定義する。
距離を計測する方法としては、簡易で測定精度が高いことから、計測器134としてレーザー変位計を用いて計測する方法が好ましい。また、計測器134の数としては、計測器134のコストと計測にかかる時間との兼ね合いから、2個が好ましい。測定点は、垂直度の傾きが求められるように、2点以上あればよく、測定精度と測定時間との兼ね合いで決定すればよい。
垂直度の測定は、基体ホルダー112の周方向位置の1点について測定してもよいが、周方向位置を90度または45度ずらした2点または3点について測定することが好ましい。
本発明では、測定で得られた垂直度が、規定値未満であるか所定値以上であるかを判断する。垂直度が規定値以上で基体ホルダー112が傾いた状態でチャッキング部材107が吊り下げられた場合、反応容器210の内部のホルダー受け台217に基体ホルダー212が正常に設置できないため、堆積膜の形成が困難になる。
工程(ii)
垂直度が規定値未満である場合には、基体ホルダーを搬送する工程に進む。
垂直度が規定値未満である場合には、基体ホルダーを搬送する工程に進む。
垂直度が規定値以上である場合には、基体ホルダーを搬送する工程には進まず、一旦、基体ホルダー112を下ろし、ホルダー受け台117に設置した後、チャッキング部材107による把持を解除する。その後、基体ホルダー112を回転させ、基体ホルダー112を把持し直した後に工程(i)をやり直す。その後、垂直度が規定値未満であると判断された場合に、基体ホルダー112を搬送する工程に進む。
基体ホルダー112の回転は、モーター125から回転駆動が駆動軸124およびかさ歯車123を介してホルダー受け台117へ伝えられることで行われる。また、基体ホルダー112の回転角度としては、90度ずつ変化させることが垂直度の変化の観点から好ましい。
(電写真感光体の製造)
上記工程により、基体ホルダー212を搬送する工程に進み、真空封止された搬送容器201の内部において、基体211Aおよび211Bが設置された基体ホルダー212は、チャッキング部材207により把持される。搬送容器201は、水平方向移動機構203によって搬送レール204に沿って移動し、所定の反応容器210の上まで搬送される。反応容器210は、排気配管227に接続された排気装置(不図示)によって真空排気されている。搬送容器201は、垂直方向移動機構202により、ゲート弁205とゲート弁216とが接触するまで下降される。排気配管230に接続された排気装置(不図示)を用いてゲート弁205の面体とゲート弁216の面体との間が真空排気される。面体間が十分に排気された後、ゲート弁205とゲート弁216は開けられる。アーム206が下降し、基体ホルダー212がホルダー受け台217に設置される。その後、基体211Aおよび211Bに堆積膜が形成され、電子写真感光体が製造される。
上記工程により、基体ホルダー212を搬送する工程に進み、真空封止された搬送容器201の内部において、基体211Aおよび211Bが設置された基体ホルダー212は、チャッキング部材207により把持される。搬送容器201は、水平方向移動機構203によって搬送レール204に沿って移動し、所定の反応容器210の上まで搬送される。反応容器210は、排気配管227に接続された排気装置(不図示)によって真空排気されている。搬送容器201は、垂直方向移動機構202により、ゲート弁205とゲート弁216とが接触するまで下降される。排気配管230に接続された排気装置(不図示)を用いてゲート弁205の面体とゲート弁216の面体との間が真空排気される。面体間が十分に排気された後、ゲート弁205とゲート弁216は開けられる。アーム206が下降し、基体ホルダー212がホルダー受け台217に設置される。その後、基体211Aおよび211Bに堆積膜が形成され、電子写真感光体が製造される。
図2において、例えば、加熱用の不活性ガスの一例としてアルゴンガスを、ガス供給管219を介して反応容器210の内部に導入する。真空計228を用いて反応容器210の内部を所定圧力に維持する。基体加熱用ヒーター218によって基体211Aおよび211Bを加熱し、基体211Aおよび211Bの温度を20〜500℃の所定の温度に制御する。基体211Aおよび211Bが所定の温度に加熱されたところで、不活性ガスを徐々に減らす。並行して、成膜用の所定の原料ガス、例えば、シラン、メタンなどの材料ガス、または、ジボラン、ホスフィンなどのドーピングガスを反応容器110の内部に徐々に導入する。真空計228を用いて反応容器210の内部を所定の圧力に維持する。以上の手順により、成膜準備を完了した後、マッチングボックス213を介して高周波電源214から高周波電力を反応容器210に印加する。反応容器210に導入された各原料ガスが分解されてプラズマが生起され、基体211Aおよび211Bの上に、例えば、下部注入阻止層、光導電層、上部注入阻止層、表面層の順に堆積膜が形成される。
(実施例)
以下、実施例および比較例により本発明をさらに詳しく説明する。
以下、実施例および比較例により本発明をさらに詳しく説明する。
(実施例1)
実施例1では、図1および図2に示す製造装置を用いた。
実施例1では、図1および図2に示す製造装置を用いた。
円筒状の基体111Aおよび111Bが設置された基体ホルダー112を、前述した方法により、基体ホルダー112をチャッキング部材107で把持し、図1に示すように吊り下げた。そして、基体ホルダー112を吊り下げた状態で基体ホルダー112の垂直度を測定した。ここで、円筒状の基体111Aおよび111Bは、直径84mm、長さ381mm、厚さ3mmの鏡面加工を施したアルミニウム製の円筒状の基体である。
垂直度の測定に関しては、計測器134としてのレーザー変位計を2個設置し、補助部材129の側面および基体ホルダー112の下部の側面のそれぞれについて、2点ずつ測定を実施した。
本実施例では、工程(i)で垂直度が規定値未満であると判断され、基体ホルダー112を搬送する工程に進み、基体ホルダーが反応容器210の内部のホルダー受け台217に正常に設置された。こうして、歩留まりを落とすことなく、アモルファスシリコンで構成されている堆積膜を有する電子写真感光体を製造することができた。
(実施例2)
実施例2では、実施例1と同様の製造装置を用いた。
実施例2では、実施例1と同様の製造装置を用いた。
本実施例では、工程(i)で垂直度が規定値以上であると判断され、チャッキング部材107による把持を解除し、基体ホルダー112を90度回転させ、基体ホルダー112を把持し直した後、工程(i)をやり直した。その後、垂直度が規定値未満であると判断され、基体ホルダー112を搬送する工程に進んだ、その結果、基体ホルダーが反応容器210の内部のホルダー受け台217に正常に設置された。こうして、歩留まりを落とすことなく、アモルファスシリコンで構成されている堆積膜を有する電子写真感光体を製造することができた。
(比較例)
比較例では、実施例1と同様の製造装置を用いた。
比較例では、実施例1と同様の製造装置を用いた。
本比較例では、工程(i)で垂直度が規定値以上であると判断されたが、基体ホルダー112を搬送する工程に進んだ。
その結果、基体ホルダーが反応容器210の内部のホルダー受け台217に正常に設置されず、電子写真感光体の製造を中止した。
112 基体ホルダー
107 チャッキング部材
117 ホルダー受け台
131 中心軸
132 基準線
133 基準位置
134 計測器
107 チャッキング部材
117 ホルダー受け台
131 中心軸
132 基準線
133 基準位置
134 計測器
Claims (8)
- 円筒状の基体ホルダーに円筒状の基体を設置し、前記基体ホルダーをチャッキング部材で把持した状態で搬送容器の内部に搬入して収容し、吊り下げ式で反応容器の内部まで前記基体ホルダーを搬送する搬送工程と、
前記基体ホルダーを前記反応容器の内部に設置する設置工程と、
前記反応容器の内部で前記基体の上に堆積膜を形成する堆積膜形成工程と、
を有する電子写真感光体の製造方法において、
前記搬送工程が、
(i)前記基体ホルダーを前記チャッキング部材で把持し、吊り下げた状態で前記基体ホルダーの垂直度を測定し、前記垂直度が規定値以上であるか規定値未満であるかを判断する工程と、
(ii)前記工程(i)で前記垂直度が規定値未満であると判断された場合は、前記基体ホルダーを搬送する工程に進み、前記工程(i)で前記垂直度が規定値以上であると判断された場合は、前記チャッキング部材による把持を解除し、前記基体ホルダーを回転させた後、前記工程(i)をやり直す工程と、
を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。 - 前記基体ホルダーに前記基体および円筒状の補助部材を設置する請求項1に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記垂直度の測定が、前記基体ホルダーの中心軸と同一平面上に基準線を仮定し、前記補助部材の側面と前記基体ホルダーの下部の側面の2点について、前記基準線に沿って任意に移動可能な基準位置からの距離を、計測器を用いて計測することによって行われる請求項2に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記計測器が、レーザー変位計である請求項3に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記計測器が、2個である請求項3または4に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記垂直度の測定が、前記基体ホルダーの周方向位置を90度または45度ずらした2点または3点について行われる請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記工程(ii)における前記基体ホルダーの回転が、90度ずつ変化させて行われる請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子写真感光体の製造方法。
- 前記基体の上に形成される堆積膜のうち、少なくとも1つが、アモルファスシリコンで構成されている堆積膜である請求項1〜7のいずれか1項に記載の電子写真感光体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018083813A JP2019191357A (ja) | 2018-04-25 | 2018-04-25 | 電子写真感光体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2018083813A Pending JP2019191357A (ja) | 2018-04-25 | 2018-04-25 | 電子写真感光体の製造方法 |
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