JP2019178999A - 電気的接触子及び電気的接続装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査体の電極端子に接触するため接触荷重を確保し、電気的接触性を安定させ、電極的接触子の組み立てを容易にすることができるようにする。【解決手段】本発明に係る電気的接触子は、第１接触対象に接触する第１接触片と、第１受け部と、第１結合部とを有する第１のプランジャーと、第２接触対象に接触する第２接触片と、第２受け部と、第１のプランジャーの第１結合部と重なり合った状態で接触する第２結合部とを有し、第２接触片が、第１のプランジャーの第１結合部の端部をガイドするガイド溝部を有する１又は複数の第２のプランジャーと、第１結合部と第２結合部との重なり部分の外周を覆い、両端部が第１受け部及び第２受け部に当接して、第１のプランジャーと第２のプランジャーとの相対移動を許容させるコイルスプリングとを備える。【選択図】 図１

Description

本発明は、電気的接触子及び電気的接続装置に関し、例えば、被検査体の電気的特性を検査するために、被検査体の電極に接触させる電気的接触子及び複数の電気的接触子を有する電気的接続装置に適用し得るものである。

従来、集積回路の製造工程では、パッケージされた集積回路について電気的特性の検査（例えば、パッケージテストやファイナルテストなど）が行なわれる。そのような検査では、複数の電気的接触子（「接触子」、「プローブ」等とも呼ぶ。）を備える電気的接続装置（いわゆるテストソケット、ソケットボードなどと呼ばれている。）に、被検査体である集積回路が装着される。集積回路を装着した電気的接続装置に設けられている各電気的接触子の一端は、集積回路の各電極端子（「端子」とも呼ぶ。）と電気的に接触し、又各電気的接触子の他端が、電気的接続装置に設けられている配線基板に電気的に接触しており、その配線基板に接続している検査装置（以下では、「テスタ」とも呼ぶ。）により、集積回路の電気的特性の検査が行なわれる。

電気的接触子としては、複数の板状のプランジャーを重ね、その周囲に圧縮コイルスプリングを配置し、圧縮コイルスプリングの復元力により軸方向外側にプランジャーを付勢するものが従来から知られている。例えば特許文献１に開示されている電気的接触子は、二つの第１プランジャーと、一つの第２プランジャーとを有しており、第１及び第２のプランジャーはそれぞれ細長い板状に形成されている。そして第２のプランジャーを、第１のプランジャーで両面側から挟むように構成されている。そして、第１のプランジャーと第２のプランジャーが重なっている部分の周囲には、筒状支持部材としての密着巻きコイルが巻回されており、各プランジャーの抜け落ちを防止すると共に、第１及び第２のプランジャーがその長手方向に互いにスライド可能に保持されている。さらに、第１及び第２のプランジャーが筒状支持部材で支持された状態の外周に圧縮コイルスプリングが設けられており、この圧縮コイルスプリングの両端が第１及び第２のプランジャーのばね受け部に当接して、各プランジャーが互いに離間する方向に付勢されている。

特開２０１０−１３３９３２号公報

近年の集積回路の小型化・微細化に伴い、集積回路上の電極端子の狭ピッチ化が進んでおり、これに対応可能なように、より細い形状の電気的接触子が求められている。

しかしながら、特許文献１に開示されているような複数の細長い板状のプランジャーが重ねられている電気的接触子において細型化を進めるには、各プランジャーの板厚をさらに薄く、かつ板幅をさらに細くする必要がある。このため、細型化する程、被検査体である集積回路の端子に対して電気的接触子を接触させる押し込み荷重に耐え得る強度を確保することが難しくなるという問題がある。

また、特許文献１に開示されている電気的接触子のように、プランジャーをコイルスプリングに係止させてプランジャーが抜け落ちないようにしている電気的接触子においては、そのコイルスプリングの内径より大きい幅のばね受け部を備えたプランジャーの内端を、コイルスプリング内に圧入して電気的接触子を組み立てる場合がある。このため、電気的接触子の細型化によりプランジャーの板厚が薄くかつ板幅が細くなる程、プランジャーの圧入時にプランジャーが変形したり、電気的接触子の組み立てが困難になるという問題もある。

そのため、上記課題に鑑み、被検査体である集積回路上に形成する電極端子の狭ピッチ化に伴い、被検査体の電極端子に接触するため接触荷重を確保し、電気的接触性を良好に安定させることができ、構成部品を薄厚化した場合でも電極的接触子の組み立てを容易にすることができる電気的接触子及び電気的接続装置が求められている。

かかる課題を解決するために、第１の本発明に係る電気的接触子は、（１）第１接触対象に接触する第１接触片と、第１受け部と、第１結合部とを有する第１のプランジャーと、（２）第２接触対象に接触する第２接触片と、第２受け部と、第１のプランジャーの第１結合部と重なり合った状態で接触する第２結合部とを有し、第２接触片が、第１のプランジャーの第１結合部の端部をガイドするガイド溝部を有する１又は複数の第２のプランジャーと、（３）第１結合部と第２結合部との重なり部分の外周を覆い、両端部が第１受け部及び第２受け部に当接して、第１のプランジャーと第２のプランジャーとの相対移動を許容させるコイルスプリングとを備えることを特徴とする。

第２の本発明に係る電気的接続装置は、被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置において、被検査体の電極に対応する位置に配設され、電極に電気的に接触する電気的接触子を備え、電気的接触子として第１の本発明に係る電気的接触子を用いたことを特徴とする。

本発明によれば、被検査体に形成する電極端子の狭ピッチ化に伴い、構成部品を薄型化や細型化した場合でも、被検査体の電極端子に接触するため接触荷重を確保し、電気的接触性を良好に安定させることができ、また、電極的接触子の組み立て時の部品の破損や変形を防止し、容易に組み立てることができる。

実施形態に係る電気的接触子の構成を示す斜視図である。 実施形態に係る電気的接続装置の平面図である。 図２に示した電気的接続装置のＡ−Ａ線矢視断面図である。 図２に示した電気的接続装置のＢ−Ｂ線矢視断面図である。 実施形態の電気的接続装置において電気的接触子が装着されている部分の要部拡大断面図である。 実施形態に係る電気的接触子の第１のプランジャーの構成を示す図である。 実施形態に係る第１のプランジャーに設けられているコイル止め部を示す拡大図である。 実施形態に係る第１のプランジャーの接触片の両面に形成されるガイド部を説明する説明図である。 実施形態に係る電気的接触子の第２のプランジャーの構成を示す図である。 実施形態に係る第２のプランジャーの接触片における拡大要部構成図である。 実施形態に係るコイルスプリングに内挿されるプランジャーの状態を示す図である。 実施形態に係る第２のプランジャーの接触片の上端部先端を示す図である。 実施形態に係るコイルスプリングの構成を示す構成図である。 変形実施形態に係る第２のプランジャーの接触片における拡大要部構成図である。

（Ａ）主たる実施形態
以下では、本発明に係る電気的接触子及び電気的接続装置の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。

（Ａ−１）電気的接続装置の構成
図２は、実施形態に係る電気的接続装置の平面図である。図３は、図２に示した電気的接続装置のＡ−Ａ線矢視断面図であり、電気的接続装置に収容される被検査体を点線で表している。図４は、図２に示した電気的接続装置のＢ−Ｂ線矢視断面図である。図５は、実施形態の電気的接続装置において電気的接触子が装着されている部分の要部拡大断面図である。なお、以下では、図２〜図５中の上下方向に従って、「上」、「下」を言及することとする。

電気的接続装置１１は、主に、フレーム部１８、ソケット部１９を有する。図３に示すように、電気的接続装置１１は、配線基板１５上に設けられている。

電気的接続装置１１は、試験に必要な電気信号を授受する検査装置（以下では、「テスタ」とも呼ぶ。）と接続しており、被検査体１２の電気的特性を検査する。例えば、被検査体１２としての集積回路の製造工程で、組立完了した集積回路の電気的試験（例えば、パッケージテストやファイナルテスト等）に用いる試験用ＩＣソケットとして、電気的接続装置１１を用いることができる。

電気的接続装置１１におけるソケット部１９の中央部には受入凹部５３が設けられており、この受入凹部５３に被検査体１２が収容される（図３参照）。被検査体１２の収容方法は、例えば、図示しない被検査体装着手段により、所定の押し込み荷重により、被検査体１２を下向き、すなわち受入凹部５３の上方から配線基板１５側に押し付け、電気的接続装置１１に被検査体１２を収容する。

図３に示すように、被検査体１２は、その下面に複数の電極端子（「端子」）１３が設けられている。各電極端子１３は、被検査体１２の下面に設けられている電極であり、複数の電極端子１３は、被検査体１２の下面に、一列、複数列、マトリックス上又は他の配列で備えられている。なお、この実施形態では、被検査体１２の形状が四角形であり、被検査体１２の下面には、マトリックス状に複数の電極端子１３が配列されている場合を例示するが、被検査体１２の形状や複数の電極端子１３の配列の仕方は、これに限定されるものではない。また、この実施形態では電極端子１３はバンプの場合を例にとって説明する。

配線基板１５は、例えば電気絶縁部材で形成された配線基板である。配線基板１５の上面には、例えば印刷配線技術により導電性を有する金属材料からなる配線が形成されており、この配線は、被検査体１２を試験するテスタ（図示しない）の配線に電気的に接続されている。配線基板１５の上側に、例えばネジや位置決めピンなどの固定部材３５により、フレーム部１８が固定されている。また、配線基板１５の上側には、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７等が固定されて配置されている。配線基板１５に形成されている配線上には、コンタクトパッド２２が配設されており、電気的接触子２０の下端部がコンタクトパッド２２に接触して電気的に導通される。

フレーム部１８は、配線基板１５、下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を一体的に固定して支持すると共に、ソケット部１９を上下動可能に支持する部材である。

フレーム部１８は、主に、外枠部３１、固定用フランジ部３２、上下動支持用フランジ部３３を有する。

外枠部３１は、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７及びソケット部１９の周縁部を囲うように、四角形の枠体状に形成されている。外枠部３１の下面には、位置決め用ピン（又は位置決め用孔；いずれも図示せず）が設けられ、配線基板１５の上面には、外枠部３１側の位置決め用ピン（又は位置決め用孔）に対応して、位置決め用孔（又は位置決め用ピン；いずれも図示せず）が設けられている。これにより、外枠部３１の下面の位置決め用ピン（又は位置決め用孔）と、配線基板１５の上面の位置決め用孔（又は位置決め用ピン）とが嵌合して、外枠部３１と配線基板１５とが正確に位置決めされて支持されるようになっている。外枠部３１の四隅には、固定部材３５（図２参照）が取り付けられている。固定部材３５は、外枠部３１の四隅の貫通孔（図示せず）を介して配線基板１５のネジ孔（図示せず）にねじ込まれて、これら外枠部３１と配線基板１５とを固定している。

固定用フランジ部３２は、外枠部３１の四角筒状の開口部の対向する内側面に、互いに対向するように２つ設けられている。各固定用フランジ部３２は、互いに内側へ水平に伸びた、ほぼ半円板状に形成されている。各固定用フランジ部３２の下面の高さ（すなわち、配線基板１５から各固定用フランジ部３２の下面までの高さ）は、下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を重ねた高さとほぼ同じ値に設定されている。これにより、配線基板１５上に重ねられた下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を、各固定用フランジ部３２と配線基板１５とで挟んで支持するようになっている。ここで、固定用フランジ部３２の下に上側ハウジング１７と下側ハウジング１６を入れたときに、下側ハウジングの下面が外枠部３１の下面と同じになるようになされている。

各固定用フランジ部３２の中央には、ガイドピン３７が嵌合するピン孔３８が形成されている。ピン孔３８の内径は、ガイドピン３７の軸部４０の外径とほぼ同じ寸法に設定されている。

ガイドピン３７は、頭部３９と軸部４０とを有する。頭部３９は、下側ハウジング１６に設けられているピン頭部嵌合孔２３の内径とほぼ同じ外径であり、頭部３９は円板状に形成されている。軸部４０は、上側ハウジング１７のピン軸部嵌合孔２８及び固定用フランジ部３２のピン孔３８の内径とほぼ同じ外径であり、軸部４０は円柱棒状に形成されている。

下側ハウジング１６のピン頭部嵌合孔２３と、上側ハウジング１７のピン軸部嵌合孔２８と、各固定用フランジ部３２のピン孔３８とは、ガイドピン３７が通されることにより、同一軸心上に軸が位置するように設けられている。

ガイドピン３７の頭部３９が下側ハウジング１６のピン頭部嵌合孔２３に嵌合し、軸部４０が上側ハウジング１７のピン軸部嵌合孔２８及び固定用フランジ部３２のピン孔３８に嵌合し、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７及びフレーム部１８の位置決めを行っている。下側ハウジング１６及び上側ハウジング１７を、フレーム部１８の各固定用フランジ部３２の下面と配線基板１５とで上下から挟んでフレーム部１８の開口内に支持することにより、これら配線基板１５、下側ハウジング１６、上側ハウジング１７及びフレーム部１８が、互いに正確に位置決めされて一体的に固定されている。

上下動支持用フランジ部３３は、ソケット部１９を上下動可能にフレーム部１８の開口内に支持するための部分である。上下動支持用フランジ部３３は、四角形の枠体状のフレーム部１８における開口部の四隅にそれぞれ形成されている。

各上下動支持用フランジ部３３は、図４に示すように、主に、板部４２と、ガイドネジ孔４３と、スプリング孔４４とを備える。

板部４２は、フレーム部１８の外枠部３１の四隅のそれぞれに設けられたフレーム部１８と一体化している板材であり、隅を形成する２つの枠部分を連絡するように懸架されている。板部４２の下面の高さ（すなわち、配線基板１５から板部４２の下面までの高さ）は、固定用フランジ部３２の下面の高さと同じ値になるように設定されている。板部４２の上面の高さは、板部４２の上面とソケット部１９のフランジ部５４の下面とが互いに当接することで、被検査体１２の電極端子１３と電気的接触子２０の上端部とが最適に接触するように設定されている。具体的には、被検査体１２の電極端子１３と電気的接触子２０の上端部とが接触して、電気的接触子２０が押し縮められる状態になるように板部４２の上面の高さが設定されている。

板部４２には、ガイドネジ孔４３とスプリング孔４４とが設けられている。ガイドネジ孔４３は、ガイドネジ４６を螺合するためのネジ孔である。ガイドネジ孔４３は、各板部４２の中央部に１つだけ設けられている（図４参照）。スプリング孔４４は、スプリング４７を支持するための孔である。スプリング孔４４は、各ガイドネジ孔４３の両側に２つずつ設けられている。

ガイドネジ４６は、フレーム部１８の開口内におけるソケット部１９の位置を規定すると共に、ソケット部１９の上下動を可能とするためのネジである。ガイドネジ４６は、頭部４８と、ガイド部４９と、ネジ棒部５０とから構成されている。

頭部４８は、ソケット部１９を押さえて抜け落ちを防止する部分である。頭部４８の上面には、マイナスドライバーが係合するマイナス溝５１が形成されている。

ガイド部４９は、ソケット部１９の上下動を案内する部分である。ガイド部４９は、頭部４８とネジ棒部５０との間に設けられ、ソケット部１９のガイド孔５９に嵌合してソケット部１９の上下動を案内する。ガイド部４９の長さは、頭部４８の下面がソケット部１９と接触して支持された状態（ソケット部１９が、スプリング４７で押し上げられた状態）で、電気的接触子２０の上端部がソケット部１９の縮小部５７に受け入れられるように設定されている。図５は、電気的接触子２０の上端部がソケット部１９の縮小部５７に受け入れられる状態を示している。

ネジ棒部５０は、板部４２にガイドネジ４６を固定するための部分である。ネジ棒部５０は、板部４２のガイドネジ孔４３と螺合してガイドネジ４６を板部４２に固定している。

スプリング４７は、ソケット部１９を弾性的に支持するための部材である。スプリング４７の上端は、板部４２のスプリング孔４４に装着されてソケット部１９のフランジ部５４の裏面に当接されている。合計８本のスプリング４７が、４本のガイドネジ４６のガイド部４９に上下動可能に支持されたソケット部１９を下側から付勢している。これにより、ソケット部１９のフランジ部５４がガイドネジ４６の頭部４８の下面に接触するまで上方へ押し上げられ、コンタクト前の待機状態になっている。

ソケット部１９は、被検査体１２を電気的接続装置１１に装着する際に、被検査体１２を位置決めして支持すると共に、被検査体１２の各電極端子１３と対応する電気的接触子２０を整合させるための部材である。ソケット部１９は、主に、受入凹部５３と、フランジ部５４とから構成されている。

受入凹部５３は、電気的接続装置１１に収容する被検査体１２を受け入れて支持する部分である。受入凹部５３は、ほぼ四角形の皿状に形成されている。受入凹部５３の底部の内側は四角形に形成され、その寸法は被検査体１２の外形よりも僅かに大きく設定されている。ここでは、被検査体１２が四角形のために受入凹部５３の底部の内側も四角形に形成されているが、被検査体１２が他の形状の場合には、受入凹部５３の底部の内側も被検査体１２に合わせた形状になる。

被検査体１２が受入凹部５３の底部の内側に装着された状態で、被検査体１２の位置決めがなされるようになっている。受入凹部５３の底板部５５には、多数のガイド孔５６が設けられている。ガイド孔５６は、被検査体１２の各電極端子１３を案内して受け入れるための開口である。各ガイド孔５６は、電極端子１３よりも僅かに大きく形成され、電極端子１３を容易に受け入れられるようになっている。被検査体１２が受入凹部５３の底部の内側に収容されることにより、被検査体１２の各電極端子１３が、各ガイド孔５６の内部の上側に位置できるようになっている。

ガイド孔５６の下端部には、電極端子１３を通さず、電気的接触子２０の上端部を受け入れる縮小部５７が形成されている。縮小部５７は、電気的接触子２０の上端部を貫通して受け入れることを許して、電気的接触子２０が電極端子１３と接触することを可能にする。

受入凹部５３の上側開口５３Ａの下側には、フレーム部１８の上側に向けて開口が広くなってる傾斜面５３Ｂが形成されている。傾斜面５３Ｂは、被検査体１２を案内して受入凹部５３の底部に導くためのものである。

フランジ部５４は、フレーム部１８の上下動支持用フランジ部３３に対応する受入凹部５３の四隅の位置に形成されている。各フランジ部５４には、ガイドネジ４６の頭部４８が当接する座繰り部５８が設けられている。座繰り部５８には、ガイドネジ４６のガイド部４９に上下動可能に嵌合するガイド孔５９が設けられている。フランジ部５４のガイド孔５９にガイドネジ４６のガイド部４９が嵌合して上下動可能に支持され、フランジ部５４による支持によりスプリング４７でソケット部１９が上方へ付勢される。

下側ハウジング１６は、配線基板１５の上側に配置されて、上側ハウジング１７と重ね合わさった状態で、複数の電気的接触子２０を支持する部材である。下側ハウジング１６には、ピン頭部嵌合孔２３（図３参照）が設けられている。このピン頭部嵌合孔２３は、ガイドピン３７の頭部３９が嵌合するための孔である。ピン頭部嵌合孔２３の内径は、このガイドピン３７の頭部３９の外径とほぼ同じ寸法に設定されて、ガイドピン３７の頭部３９が遊びなく嵌合するようになっている。

下側ハウジング１６には、被検査体１２の下面の各電極端子１３に対応したそれぞれの位置に、複数の第１支持孔１６Ａが設けられている。複数の第１支持孔１６Ａのそれぞれには、複数の電気的接触子２０のそれぞれの下端部が挿入される。各第１支持孔１６Ａの内径は、各電気的接触子２０の挿入を可能とするため、電気的接触子２０の外径よりも少し大きく形成されている。また、各第１支持孔１６Ａ内には、電気的接触子２０を受けて支持する下側受け部１６Ｂが形成されている。各下側受け部１６Ｂの内径は、電気的接触子２０の下端部を安定して支持すると共に、電気的接触子２０との電気的接触を確実にするために、第１支持孔１６Ａの内径よりも小さくして形成されている。つまり、後述する電気的接触子２０の下端部が下側受け部１６Ｂと接触し、電気的接触子２０の下端部の先端が貫通して配線基板１５のコンタクトパッド２２と接触するように下側受け部１６Ｂの内径が形成されている。配線基板１５の上面には、各第１支持孔１６Ａの位置に対応する位置に、テスタと配線で接続されているコンタクトパッド２２が設けられている。各第１支持孔１６Ａに挿入された電気的接触子２０の下端部の先端は、下側受け部１６Ｂを貫通して、配線基板１５の上面に設けられているコンタクトパッド２２に押し付けられて接触する。これにより、各電気的接触子２０と各配線基板１５との電気的な接触を実現している。

上側ハウジング１７は、下側ハウジング１６の上面に設けられ、下側ハウジング１６と協働して電気的接触子２０の全体を支持するための部材である。上側ハウジング１７には、ピン軸部嵌合孔２８（図３参照）が設けられている。ピン軸部嵌合孔２８は、後述するガイドピン３７の軸部４０が嵌合される孔である。ピン軸部嵌合孔２８の内径は、ガイドピン３７の軸部４０の外径とほぼ同じ寸法に設定されてガイドピン３７の軸部４０を遊びなく嵌合するようになっている。

上側ハウジング１７は、下側ハウジング１６に重ねられて、これら下側ハウジング１６と上側ハウジング１７とで、各電気的接触子２０が伸縮できるように、各電気的接触子２０を支持するようになっている。上側ハウジング１７には、下側ハウジング１６の各第１支持孔１６Ａに対応する位置に、複数の第２支持孔１７Ａが設けられている。各第２支持孔１７Ａは、各第１支持孔１６Ａの上側開口と同じ内径（すなわち、電気的接触子２０の外径よりも少し大きい径）に形成されており、各第２支持孔１７Ａの内部で電気的接触子２０が上下動可能となるように、各電気的接触子２０を収納して支持する。各第２支持孔１７Ａは、被検査体１２の下面に設けられている各電極端子１３の位置と対応する位置に設けられている。そのため、各第２支持孔１７Ａに収納されている電気的接触子２０の上端部の先端が電極端子１３に対して電気的に接触する。これにより、各電気的接触子２０と被検査体１２の電極端子１３との電気的な接触を実現している。第２支持孔１７Ａ内には、電気的接触子２０を上側から支持する上側受け部１７Ｂが形成されている。上側受け部１７Ｂは、第２支持孔１７Ａの上端部の内径を小さくして形成されている。電気的接触子２０の上端部が上側受け部１７Ｂに接触し、電気的接触子２０の上端部の先端が貫通することにより、電気的接触子２０が上側受け部１７Ｂで支持されるように、上側受け部１７Ｂの内径が設定されている。

第１支持孔１６Ａと第２支持孔１７Ａとで、電気的接触子２０全体を収納して支持する電気的接触子支持孔２７（図５参照）が形成されている。電気的接触子２０が電気的接触子支持孔２７に収納された状態で、被検査体１２が電気的接続装置１１に収容されて、上側から下側に向けた押し込み荷重が加わることで、電気的接触子２０は縮んだ状態となって蓄勢し、電気的接触子２０の下端部の先端が配線基板１５の上面のコンタクトパッド２２を押圧した状態になる。

（Ａ−２）電気的接触子の構成
次に、実施形態に係る電気的接触子２０の構成を、図面を参照しながら詳細に説明する。

図１は、実施形態に係る電気的接触子２０の構成を示す斜視図である。

実施形態に係る電気的接触子２０は、１個の第１のプランジャー６１、２個の第２のプランジャー６２、１個の圧縮コイルスプリング（「コイルスプリング」とも呼ぶ。）６３を有する。

電気的接触子２０は、１個の第１のプランジャー６１と２個の第２のプランジャー６２とが協働して、接触対象である２つの部材（すなわち、被検査体１２の電極端子１３及び配線基板１５のコンタクトパッド２２）の間を電気的に導通させるものである。

電気的接触子２０は、２個の第２のプランジャー６２が、第１のプランジャー６１をその両面側から挟み、第２のプランジャー６２及び第１のプランジャー６１が重なって接触している箇所の外周を、コイルスプリング６３が覆うように形成されている。構成部材を組み合わせて電気的接触子２０を完成させる方法は、例えば、コイルスプリング６３の一方の端部から、２個の第２のプランジャー６２のそれぞれを挿入し、コイルスプリング６３に挿入されている２個の第２のプランジャー６２の間に、第１のプランジャー６１をコイルスプリング６３の他方の端部から挿入する方法を適用できる。なお、第１のプランジャー６１をコイルスプリング６３に挿入した後に、挿入されている第１のプランジャー６１を挟みこむようにして、２個の第２のプランジャー６２を挿入するようにしてもよい。

［第１のプランジャー６１］
図６は、実施形態に係る電気的接触子２０の第１のプランジャーの構成を示す図であり、図６（Ａ）は、第１のプランジャーの正面図、図６（Ｂ）は、図６（Ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。図７は、第１のプランジャーに設けられているコイル止め部を示す拡大図である。図８は、第１のプランジャーの接触片の両面に形成されるガイド部を説明する説明図である。

第１のプランジャー６１は、導電性を有する金属部材で形成されており、本実施形態では、電気的接触子２０が接触する２つの部材のうち配線基板１５のコンタクトパッド２２（第１部材とも呼ぶ。）に接触する、板状のプランジャーである。

第１のプランジャー６１の形成方法は、例えば、板厚の薄い金属板材に対して、フォトリソグラフィー技術やエッチング技術などを用いて形成するようにしてもよい。フォトリソグラフィー技術やエッチング技術などにより、第１のプランジャー６１を形成することにより、後述するように立体的な形状とすることができる。また、導電性を有していない板材を元の板材として、第１のプランジャー６１を立体的な形状に形成するようにしてもよい。その場合には、完成後に、導電性を持たせるために、第１のプランジャー６１の外形の表面に対して導電性材料をメッキ加工や塗布や蒸着などを施すようにして形成するようにしてもよい。なお、フォトリソグラフィー技術などを用いる方法に限定されるものではなく、金型を用いて金属板材に対して切削加工や抜き打ち加工などを施して形成するようにしてもよい。

第１のプランジャー６１は、図６（Ａ）に示すように、概ね、結合部６１１、コイル止め部６１２、コイル受け部６１３、ガイド溝部６１４、接触片６１５を有する。第１のプランジャー６１の長さは、電気的接触子２０の全長よりも短い長さであり、電気的接触子２０が押し込まれていない状態で、結合部６１１の先端が第２のプランジャー６２のガイド溝部８１上に位置すると共に、電気的接触子２０が押し込まれた時に、ガイド溝部８１に沿って上側に移動できる余地を残すように設定されている。

結合部６１１は、第１のプランジャー６１と２個の第２のプランジャー６２とが互いに結合される際に直接重ね合わされ、第１のプランジャー６１を第２のプランジャー６２に電気的に接触させるための部分である。結合部６１１は、上下方向に延び、板状に形成されており、各第２のプランジャー６２に対して安定して接触する部分である。結合部６１１の両面のそれぞれは、第２のプランジャー６２の結合部６２１と安定して広い面積で接触できるようにするため、結合部６１１の幅長は、コイルスプリング６３の内径より僅かに小さく設定されていると共に、コイルスプリング６３の軸心から離れた位置に配置される第２のプランジャー６２の結合部６２１の幅長よりも大きくなっている。

コイル止め部６１２は、結合部６１１の基端側（図６（Ａ）の下側）に続いて一体的に設けられており、第１のプランジャー６１がコイルスプリング６３に挿入された際に、コイルスプリング６３の端部を留める部分である。コイル止め部６１２は、コイルスプリング６３の端部と嵌合する嵌合部とも呼ぶ。

図７に示すように、コイル止め部６１２は、山形の凸部７１が所定の間隔で上下方向に配列するように形成されており、ある凸部７１とこれに隣接する凸部７１との間にコイルスプリング６３の端部のコイル（線材）が嵌合する。コイルスプリング６３の端部は、線材を密着させて巻いて形成されており（密着巻端部となっており）、そのコイルスプリング６３の密着巻端部がコイル止め部６１２に嵌る。

ここで、第１のプランジャー６１の結合部６１１の下方側にコイル止め部６１２を設けた理由を説明する。近年の被検査体１２の電極端子１３間のピッチが狭くなっている。これに対応するため、電気的接触子の小型化が要求されているが、この小型化を進めるとプランジャーの厚さを薄くし、幅も狭くしなければならなくなるため、プランジャーの強度が弱くなり、電気的接触子の組み立て工程が難しくなることが予想される。例えば、従来は、コイルスプリングとプランジャーとを係合させるためにプランジャーの結合部の先端にコイルスプリングの内径より長い幅の突起状の抜け止め部を設けたりなどして、コイルスプリングの端部からプランジャーを挿入していたが、コイルスプリングの端部からプランジャーを圧入するときに、構成部品が強度に耐えられず、構成部品が変形する等の不良をおこす可能性がある。

しかし、この実施形態によれば、結合部６１１の先端にコイルスプリングの内径より長い幅の抜け落ち部を設けたりする必要がないので、コイルスプリング６３の端部から第１のプランジャー６１を挿入することが容易となる。また、コイルスプリング６３の端部から第１のプランジャー６１を圧入する必要がなくねじ込むだけでよくなるため、構成部品の変形を回避することができ、不良を抑えることができる。さらに、コイルスプリング６３の端部のコイルをコイル止め部６１２に嵌合することで、第１のプランジャー６１とコイルスプリング６３とを強く固定することができ、コイルスプリング６３の抜け落ちを防止できる。

コイル受け部６１３は、コイルスプリング６３の端部を受ける部分である。コイル受け部６１３は、結合部６１１と接触片６１５との境界部分に設けられている段差部である。結合部６１１の幅長に比べて、コイル受け部６１３の幅長は大きく（広く）形成されており、段差が形成されているので、コイル受け部６１３で、弾性力のあるコイルスプリング６３を支持することができる。これにより、電気的接触子２０の上下動を許容している。

接触片６１５は、当該電気的接触子２０の第１接触対象（配線基板１５のコンタクトパッド２２）に接触して電気的に接続するための部分である。接触片６１５は、結合部６１１及びコイル止め部６１２の基端側（図６（Ａ）の下側）に続いて一体的に設けられている。

接触片６１５は、幅広部７３と、先端部７４とを有しており、幅広部７３と先端部７４の境に下側支持肩部７５が形成されている。

接触片６１５の幅広部７３は、下側ハウジング１６の第１支持孔１６Ａ及び上側ハウジング１７の第２支持孔１７Ａの内径よりも少し小さい幅長となっており、かつ下側受け部１６Ｂの孔の内径より大きい幅長となっている。

接触片６１５の先端部７４は、幅広部７３の下方側に連続して形成されており、幅広部７３の幅長よりも小さく（狭く）、かつ下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂの孔の内径より少し小さい幅長に形成されている。そのため、下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂを貫通して、配線基板１５のコンタクトパッド２２に接触できる。配線基板１５のコンタクトパッド２２に対して先端部７４が安定して接触できるようにするため、本実施形態では先端部７４の先端は先細であり、端面は凸状に形成されている。

接触片６１５の下側支持肩部７５は、下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っ掛かって、接触片６１５が第１支持孔１６Ａから抜け落ちないようになっている。下側支持肩部７５が下側ハウジング１６の下側受け部１６Ｂに引っ掛かった状態で、接触片６１５の先端部７４が第１支持孔１６Ａから下方へ突出するようになっている。

接触片６１５の両面（表面及び裏面）のそれぞれには、電気的接触子２０が下向きに押し込まれて、下側に移動する各第２のプランジャー６２の結合部６２１をガイドするガイド溝部６１４が設けられている。接触片６１５におけるガイド溝部６１４の厚さは結合部６１１の厚さと同じであり、接触片６１５の幅広部７３及び先端部７４の両端部はガイド溝部６１４の厚さよりも厚く形成されており、第１のプランジャー６１の両面において、幅広部７３及び先端部７４の両端部とガイド溝部６１４との境界で段差が形成されている。接触片６１５の両面において、接触片６１５の幅広部７３及び先端部７４の両端部の段差が、ガイド溝部６１４の壁面となって、下側に移動する各第２のプランジャー６２の結合部６２１をガイドしている。接触片６１５のガイド溝部６１４の上下方向（長手方向）の長さは、特に限定されるものではないが、下側に移動した各第２のプランジャー６２の結合部６２１の位置を考慮した長さとすることが望ましい。

［第２のプラジャー］
図９は、実施形態に係る電気的接触子２０の第２のプランジャーの構成を示す図であり、図９（Ａ）は、第２のプランジャーの正面図、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）の背面図、図９（Ｃ）は、図９（Ｂ）のＤ−Ｄ線矢視断面図である。図１０は、第２のプランジャーの接触片に形成されるガイド部の構成を示す構成図であり、図１１は、コイルスプリング６３に内挿されるプランジャーを示す図であり、図１２は、第２のプランジャーの接触片の上端部先端を示す図である。

２個の第２のプランジャー６２のそれぞれは、導電性を有する金属部材で形成されており、本実施形態では、電気的接触子２０が接触する２つの部材のうち、被検査体１２の電極端子１３（第２部材とも呼ぶ。）に接触する、板状のプランジャーである。

第２のプランジャー６２の形成方法は、第１のプランジャー６１と同様に、例えば、板厚の薄い金属板材に対して、フォトリソグラフィー技術やエッチング技術などを用いて形成するようにしてもよい。フォトリソグラフィー技術やエッチング技術などにより、第２のプランジャー６２を形成することにより、立体的形状とすることができる。また、導電性を有していない板材を元の板材として、第２のプランジャー６２を立体的な形状に形成するようにしてもよい。その場合には、完成後に、導電性を持たせるために、第２のプランジャー６２の外形の表面に対して導電性材料をメッキ加工や塗布や蒸着などを施すようにして形成するようにしてもよい。なお、フォトリソグラフィー技術などを用いる方法に限定されるものではなく、金型を用いて金属板材に対して切削加工や抜き打ち加工などを施して形成するようにしてもよい。

２個の第２のプランジャー６２のそれぞれは、第１のプランジャー６１と協働して、２つの接触対象、すなわち配線基板１５のコンタクトパッド２２と被検査体１２の電極端子１３との間を電気的に導通させるための板状のプランジャーである。つまり、２個の第２のプランジャー６２は、第１のプランジャー６１を挟み、その状態で、コイルスプリング６３により組み付けられて、電気的接触子２０が形成される。言い換えると、第１のプランジャー６１の結合部６１１の両面のそれぞれに、各第２のプランジャー６２の結合部６２１が電気的に接触した状態で、第２のプランジャー６２が被検査体１２の電極端子１３に接触し、第１のプランジャー６１が配線基板１５のコンタクトパッド２２に接触して、被検査体１２と配線基板１５のコンタクトパッド２２との間で電気的に導通する。

図９（Ａ）は、第２のプランジャー６２が互いに向かい合う側の面の構成を示しており、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）の面と反対側の面の構成を示している。図９（Ｃ）は、図９（Ａ）または（Ｂ）のＤ−Ｄ線矢視断面図である。

以下では、第２のプランジャー６２が互いに向かい合う側の面、すなわち第２のプランジャー６２の内側の面を「第１面」と呼び、第１面の反対側の面、すなわち第２のプランジャー６２の外側の面を「第２面」と呼んで説明する。

各第２のプランジャー６２は、図９（Ａ）及び図９（Ｂ）に示すように、概ね、結合部６２１と、コイル受け部６２２と、ガイド溝部８１と、接触片６２３とに分かれている。第２のプランジャー６１の長さは、電気的接触子２０の全長よりも短い長さであり、電気的接触子２０が押し込まれていない状態で、結合部６２１の先端が第１のプランジャー６１２のガイド溝部６１４上に位置すると共に、電気的接触子２０が押し込まれた時に、ガイド溝部６１４に沿って下側に移動できる余地を残すように設定されている。

図９（Ａ）を参照して、各第２のプランジャー６２の第１面の構成を説明する。図９（Ａ）に示すように、各第２のプランジャー６２の接触片６２３の中央部には、第１のプランジャー６１の結合部６１１をガイドするガイド溝部８１が形成されている。各第２のプランジャー６２の接触片６２３に形成されているガイド溝部８１の底面は、結合棒部８２の面と同一平面上に位置するように連続して形成されている。

また、各第２のプランジャー６２の接触片６２３に形成されているガイド溝部８１の厚さは、接触片６２３の両端部の厚さよりも薄く形成されている。つまり、接触片６２３の両端部とガイド溝部８１との境界で段差部８１１が形成されており、接触片６２３の両端部とガイド溝部８１との段差部８１１が、ガイド溝部８１の壁面となって、第１のプランジャー６１の結合部６１１を案内する。

すなわち、２個の第２のプランジャー６２が第１のプランジャー６１を挟んで電気的接触子２０を構成する際、２個の第２のプランジャー６２が重ね合わせると、各第２のプランジャー６２のガイド溝部８１が対向するため、２個のガイド溝部８１により直方体形状の空間が形成される。この空間内に、第１のプランジャー６１の結合部６１１が上下動可能に収納されることになる。図１０では、説明を容易にするため、１個の第２のプランジャー６２と１個の第１のプランジャー６１との接触関係を示している。図１０に示すように、第１のプランジャー６１の結合部６１１は、第２のプランジャー６２の接触片６２３に形成されたガイド溝部８１に案内されて上下動する。

これは、被検査体１２の電極端子１３の狭ピッチ化に伴い、薄厚の金属板材によりプランジャーが形成され得る。しかし、この実施形態によれば、金属板材が薄厚化しても、２個の第２のプランジャー６２の接触片６２３の両端部が互いに接触しあいながら、被検査体１２の電極端子１３と電気的に接触するので、狭ピッチ化に対応可能にすると共に、押し込み荷重に耐えうる強度を保持することができる。また、第２のプランジャーの接触片の軸方向に垂直な断面はコ字状になっているのでその点でも強度が高くなっている。さらに、２個の第２のプランジャー６２が重ね合わさり、対向するガイド溝部８１により形成される空間内に、第１のプランジャー６１の結合部６１１が上下動可能に収納されるので、電気的接触子２０の上下動も許容できる。

なお、接触片６２３のガイド溝部８１おける段差部８１１の高さ（厚さ）は、第１のプランジャー６１の結合部６１１の厚さの１／２以上とすることが望ましい。つまり、２個の第２のプランジャー６２のガイド部が対向して形成される空間の厚さ方向の長さが、第１のプランジャー６１の結合部６１１の厚さよりも大きくなるようにすることが望ましい。

結合部６２１は、第１のプランジャー６１と第２のプランジャー６２とが互いに結合する際に、第１のプランジャー６１の結合部６１１と重ね合わされて電気的に接触するための部分である。２個の第２のプランジャー６２の結合部６２１が第１のプランジャー６１の結合部６１１を両側から挟持して、第１のプランジャー６１と第２のプランジャー６２とを電気的に接触させる。結合部６２１は、第１のプランジャー６１の結合部６１１との接触をできるだけ広い面積で実現できるように、長い板状に形成されている。結合部６２１は、結合棒部８２と、先端挿入部８３と、抜け止め部８４とから構成されている。

結合棒部８２は、第１のプランジャー６１の結合部６１１を挟持したままコイルスプリング６３に支持されるための部分であり、結合棒部８２の長手方向の長さは、コイルスプリング６３よりも少し長い寸法に設定されている。

結合棒部８２の幅長は、第１のプランジャー６１の結合部６１１の幅長よりも小さい寸法で形成されており、結合棒部８２の厚さは、第１のプランジャー６１の結合部６１１の厚さと同程度に形成される。第１のプランジャー６１の結合部６１１の厚さと同程度の厚さである、２個の第２のプランジャー６２の結合棒部８２及び第１のプランジャー６１の結合部６１１が重なった状態でコイルスプリング６３内に収まるようにするため、第２のプランジャー６２の結合棒部８２の第２面には、段差部８２１が設けられている（図１１参照）。

先端挿入部８３は、結合棒部８２のコイルスプリング６３内への挿入を案内するための部分である。先端挿入部８３は、第２のプランジャー６２の結合部において、結合棒部８２より先端側（すなわち、図９（Ａ）の下側）に形成されている。先端挿入部８３は、コイルスプリング６３に第２のプランジャー６２が挿入される際に、差し入れる方向に対して障害にならないように先が丸まった外形を有し、コイルスプリング６３内に第２のプランジャー６２がスムーズに挿入できるようになっている。先端挿入部８３の幅長は、コイルスプリング６３の内径より同じかあるいは僅かに小さくし、コイルスプリング６３の中で他方の第２のプランジャー６２及び第１のプランジャー６１と重なり先端挿入部８３がコイルスプリングの中心軸からずれた状態でコイルスプリング６３の端部の内周より食み出す寸法にすると、第２のプランジャー６２をコイルスプリング６３に挿入するときに負荷がかからないのでより好ましい。このようにした場合は、第１のプランジャー６１の結合部６１１がコイルスプリング６３内に挿入される前に、二つの第２のプランジャー６２を挿入することによりスムーズに挿入される。その後、第1のプランジャ６１を挿入する事により先端挿入部８３の抜け止め部８４がコイルスプリング６３の内周から少しはみ出す。

抜け止め部８４は、先端挿入部８３がコイルスプリング６３内に挿入されたとき、この先端挿入部８３がコイルスプリング６３から抜けないようにするための部分である。抜け止め部８４は、先端挿入部８３の基端部（結合棒部８２と先端挿入部８３の境界部分）に設けられている。抜け止め部８４は、結合棒部８２より両側に突出して段差を形成しており、本実施形態では先端挿入部８３の幅寸法と同じに形成されている。抜け止め部８４の幅寸法は、組み上げたときに、コイルスプリング６３の端部の内周よりも僅かに食み出すように設定されており、コイルスプリング６３の内径と同じかあるいは僅かに小さくすると好ましい。すなわち、第１のプランジャー６１の結合部６１１の両面に、第２のプランジャー６２の結合棒部８２が重ねられた状態で、第１のプランジャー６１の結合部６１１の両面に重ね合わされる２つの抜け止め部８４の外側に位置する４つの隅部が、コイルスプリング６３の端部の内径よりも僅かに食み出すように設定されている。

コイル受け部６２２は、コイルスプリング６３の一端が当接してその付勢力を受けるための部分である。コイル受け部６２２は、第２のプランジャー６２の結合部６２１と接触片６２３との境界部分に設けられた段部である。コイル受け部６２２は、結合部６２１の幅長に比べて大きく形成されており、結合部６２１との境界に形成される幅長の段差部分でコイルスプリング６３の端部を受けるようになっている。コイル受け部６２２にコイルスプリング６３の端部が当接することで、第２のプランジャー６２が、電気的接触子２０内において、コイルスプリング６３によってスライド可能に支持されている。

接触片６２３は、第２接触対象（被検査体１２の電極端子１３）に接触して電気的に接続するための部材である。接触片６２３は、第２のプランジャー６２の結合部６２１の基端側（図９（Ａ）の上側）に続いて一体的に設けられている。接触片６２３は、幅寸法が上側ハウジング１７の第２支持孔１７Ａの内径よりも少し小さい寸法のほぼ矩形板状部８６と、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂを貫通してソケット部１９の縮小部５７に入り込む、矩形板状部８６の幅寸法より小さい幅寸法の先端部８５とで形成されている。接触片６２３には、矩形板状部８６と先端部８５の境に上側支持肩部８７が形成されている。上側支持肩部８７は、上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っ掛かって、接触片６２３が第２支持孔１７Ａから抜け出ないようになっている。上側支持肩部８７が上側ハウジング１７の上側受け部１７Ｂに引っ掛かった状態で、接触片６２３の上端部が第２支持孔１７Ａから上方へ突出するようになっている。

接触片６２３の上端部先端８８は、三角形状に形成されている（図１２参照）。上端部先端８８は１つの山形状となっており、２個の第２のプランジャー６２の接触片６２３が重なり合ったときに、２個の接触片６２３の上端部先端８８で形成される山形頂部の稜線が被検査体１２の電極端子１３に対して接触する。２個の第２のプランジャー６２の接触片６２３が重なり合ったときに、２個の接触片６２３で形成される上端部の形状が先細形状に近い形状とするために、接触片６２３の第２面側には、段差部８８１が形成されている（図１２参照）。

なお、この実施形態では、接触片６２３の上端部先端８８が１つの山形形状である場合を例示するが、これに限定されることなく、２つの突起状に形成されて、上端部先端８８の中央部がＵ字状又はＶ字状に窪んで凹部が形成されているものであってもよいし、３つ以上の突起状に形成されているものであってもよい。接触片６２３の上端部先端８８の形状は、被検査体１２の電極端子１３の形状に合わせて適宜変更するようにしてもよい。

［コイルスプリング］
図１３は、実施形態に係るコイルスプリングの構成を示す構成図である。

コイルスプリング６３は、図１３に示すように、第１のプランジャー６１の結合部６１１及び第２のプランジャー６２の結合部６２１が重なり合った部分の外周を覆い、コイルスプリング６３の両端部のそれぞれが、第１のプランジャー６１のコイル受け部６１３と第２のプランジャー６２のコイル受け部６２２に当接して、第１のプランジャー６１及び第２のプランジャー６２に対して上下動を許容するように支持するものである。また、コイルスプリング６３は、導電性を有する金属部材で形成されている。なお、コイルスプリング６３は、絶縁性を有していてもよく、例えば絶縁性の材料で形成してもよいし、金属部材の表面に絶縁性材料をコーティングしてもよい。

コイルスプリング６３は、一方の端部から他方の端部まで同一径で形成されており、コイルスプリング６３の下端部６３１及び上端部６３２は、中央部に比べて線材が密着して形成されている。すなわち、密着巻端部となっている。さらに、コイルスプリング６３の下端部６３１において、密着して構成されている線材の巻き数は、第１のプランジャー６１のコイル止め部６１２の凸部７１の数と同数若しくはそれ以上の数である。これにより、コイルスプリング６３の下端部６３１から第１のプランジャー６１が挿入された際に、コイルスプリング６３の下端部６３１がコイル止め部６１２に嵌るようになっている。

（Ａ−３）実施形態の効果
上述したように、この実施形態によれば、立体的なプランジャーを形成することにより、金属板材が薄厚であっても、被検査体の電極端子の狭ピッチ化に対応でき、被検査体の電極端子に接触するため接触荷重を確保し、電気的接触性を良好に安定させることができる。

また、この実施形態によれば、第１のプランジャーの結合部の下側にコイル止め部を設けることにより、第１のプランジャーをコイルスプリングに挿入するときに、コイルスプリングの下端部を第１のプランジャーのコイル止め部に嵌めることで、電気的接触子の構成部材がバラバラになることやコイルスプリングの抜け落ちを防止でき、電気的接触子の組み立てを容易にすることができる。また、従来のように、コイルスプリングにプランジャーを圧入するときに、構成部品の変形を回避することができる。

（Ｂ）他の実施形態
上述した実施形態においても種々の変形実施形態を言及したが、本発明は、以下の実施形態にも適用できる。

（Ｂ−１）スクラブ動作発生部
第２のプランジャー６２の接触片６２３の中央部に設けられているガイド溝部８１の壁面（段差部）が、第１のプランジャー６１の結合部６１１の先端部と接触（内部接触）して、いずれかの第２のプランジャー６２が被検査体１２の電極端子１３に対してスクラブ動作を発生させるスクラブ動作発生部を有するようにしてもよい。

図１４は、変形実施形態に係る第２のプランジャーの接触片における拡大要部構成図である。

図１４（Ａ）に示すように、第２のプランジャー６２の接触片６２３Ａにあるガイド溝部８１Ａの両端の壁面９１及び９１Ｂは、第２のプランジャー６２の上側に向けて幅方向の長さが小さくなるようにテーパ状に形成されている。

一方、第１のプランジャー６１の結合部６１１の両端部のうち、いずれか一方の端部（図１４（Ａ）では左側端部）９５Ａがテーパ状に形成され、他方の端部９５Ｂは直線状に形成されている。

第１のプランジャー６１の下端部が配線基板１５のコンタクトパッド２２と接触すると、第１のプランジャー６１の結合部６１１が、第２のプランジャー６２の接触片６２３のガイド溝部８１Ａにガイドされて、上側に移動するが、結合部６１１の一方の端部９５Ａがテーパ状であり、他方の端部９５Ｂが直線状に形成されているため、他方の端部９５Ｂがガイド溝部９１Ｂと接触する。そうすると、その接触により第２のプランジャー６２が僅かに動くので、第２のプランジャー６２の上端部先端８８が電極端子１３に対してスクラブ動作する。これにより、電極端子１３の表面の酸化被膜等を落とし、結果的に電気的接続性を安定にすることができる。

なお、図１４（Ａ）において、第１のプランジャー６１の結合部６１１の両端部うち一方の端部のみをテーパ状に形成し、ガイド溝部８１Ａの両壁面９１Ａ、９１Ｂをテーパ状にしているので、第１のプランジャー６１の面の向きを変えて（第１面をおもて面とした場合、又は、第２面をおもて面とした場合）、コイルスプリング６３に挿入されたときに、いずれの場合にもスクラブ動作を発生させることができる。

また、図１４（Ｂ）に示すように、第１のプランジャー６１の結合部６１１の両端部は、直線状に形成されている場合、ガイド溝部８１Ｂの両方の壁面のうち、一方の壁面９１Ｂが斜め方向に延びており、他方の壁面９１Ｃが垂直に形成することで、同様の効果を得ることができる。

なお、図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）に示すガイド溝部８１Ａ、８１Ｂ、及び、結合部６１１の構成に限定されるものではなく、ガイド溝部８１と結合部６１１とが内部接触できる構成であれば、広く適用できる。

（Ｂ−２）上述した実施形態では、２個の第２のプランジャーが１個の第１のプランジャーを挟んだ構成を例示した。

しかし、第２のプランジャーの接触片においてガイド溝部８１を設けることにより、ガイド溝部８１と第１のプランジャー６１の結合部６１１との接触性が良くなり、又電気的な接触性も良くなるので、１個の第２のプランジャーと１個の第１のプランジャーとを重ね合わせた構成としてもよい。その場合、電気的接触子の構成部品数を減らすことができるので、コストを抑えることができる。

１１…電気的接続装置、１２…被検査体、１３…電極端子、１５…配線基板、１６…下側ハウジング、１６Ａ…第１支持孔、１６Ｂ…下側受け部、１７…上側ハウジング、１７Ａ…第２支持孔、１７Ｂ…上側受け部、１８…フレーム部、１９…ソケット部、２２…コンタクトパッド、２３…ピン頭部嵌合孔、２７…電気的接触子支持孔、２８…ピン軸部嵌合孔、３１…外枠部、３２…固定用フランジ部、３３…上下動支持用フランジ部、３５…固定部材、３７…ガイドピン、３８…ピン孔、３９…頭部、４０…軸部、４２…板部、４３…ガイドネジ孔、４４…スプリング孔、４６…ガイドネジ、４７…スプリング、４８…頭部、４９…ガイド部、５０…ネジ棒部、５１…マイナス溝、５３…受入凹部、５３Ａ…上側開口、５３Ｂ…傾斜面、５４…フランジ部、５５…底板部、５６…ガイド孔、５７…縮小部、５８…座繰り部、５９…ガイド孔、７１…凸部、
２０…電気的接触子、
６１…第１のプランジャー、６１１…結合部、６１２…コイル止め部、６１３…コイル受け部、６１４…ガイド溝部、６１５…接触片、７３…幅広部、７４…先端部、７５…下側支持肩部、９５Ａ及び９５Ｂ…端部、
６２…第２のプランジャー、６２１…結合部、６２２…コイル受け部、６２３、６２３Ａ、６２３Ｂ…接触片、８１、８１Ａ、８２Ｂ…ガイド溝部、８２…結合棒部、８３…先端挿入部、８４…抜け止め部、８５…先端部、８６…矩形板上部、８７…上側支持肩部、８８…上端部先端、８１１…段差部、８２１…段差部、８８１…段差部、９１Ａ、９１Ｂ及び９１Ｃ…壁面、
６３…コイルスプリング、６３１…下側部、６３２…上側部。

Claims (7)

1. 第１接触対象に接触する第１接触片と、第１受け部と、第１結合部とを有する第１のプランジャーと、
   第２接触対象に接触する第２接触片と、第２受け部と、前記第１のプランジャーの前記第１結合部と重なり合った状態で接触する第２結合部とを有し、前記第２接触片が、前記第１のプランジャーの前記第１結合部の端部をガイドするガイド溝部を有する１又は複数の第２のプランジャーと、
   前記第１結合部と前記第２結合部との重なり部分の外周を覆い、両端部が前記第１受け部及び前記第２受け部に当接して、前記第１のプランジャーと前記第２のプランジャーとの相対移動を許容させるコイルスプリングと
   を備えることを特徴とする電気的接触子。
2. ２個の前記第２のプランジャーの前記第２結合部が、前記第１のプランジャーの前記第１結合部を挟んで重なり合っており、前記各第２のプランジャーの前記第２接触片にある前記ガイド溝部が、互いに対向して設けられていることを特徴とする請求項１に記載の電気的接触子。
3. 前記各第２のプランジャーの前記第２接触片にある前記ガイド溝部が対向して形成される空間に、前記第１のプランジャーの前記結合部の端部が収納されていることを特徴とする請求項２に記載の電気的接触子。
4. 前記各第２のプランジャーの前記第２接触片が対向して設けられ、前記各ガイド溝部の周縁端部が接触して設けられていることを特徴とする請求項２又は３に記載の電気的接触子。
5. 前記第１のプランジャーの前記第１接触片が、前記各第２のプランジャーの前記第２結合部の端部をガイドするガイド溝部を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の電気的接触子。
6. 前記第１のプランジャーの前記第１結合部と前記第１受け部との間に、前記コイルスプリングの端部と嵌合する嵌合部を有することを特徴とする請求項１〜請求項５のいずれかに記載の電気的接触子。
7. 被検査体の電極に接触して試験を行う電気的接続装置において、
   前記被検査体の電極に対応する位置に配設され、前記電極に電気的に接触する電気的接触子を備え、
   前記電気的接触子として請求項１〜６のいずれかに記載の電気的接触子を用いたことを特徴とする電気的接続装置。

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