JP2019177642A5 - - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、各図には、便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸が付記されている。Ｚ軸は、カッターホイールの中心軸に垂直である。また、図２（ａ）〜図３（ｂ）、図４（ｃ）、図５（ａ）〜図６（ｂ）、図８（ｂ）、図８（ｃ）中の実線Ｈは、基板Ｆの表面Ｈを示している。また、図５（ａ）〜図７（ｃ）中の矢印は、スクライブ方向を示す。
回転軸５３を基板Ｆに対して傾ける、すなわち、ホルダユニット３０を基板Ｆに対して傾けると、スクライビングホイール４０は、基板Ｆの表面Ｈと接触する位置が変わる。たとえば、図３（ｂ）において、点Ａは、ホルダユニット３０を傾ける前、基板Ｆの表面Ｈにスクライビングホイール４０が接触したときの位置である。この点Ａに対し、図５（ａ）に示すように、回転軸５３を基板Ｆに対して傾けた場合、すなわち、軸心Ｓと基板Ｆのなす角が８５度の場合、スクライビングホイール４０が基板Ｆの表面Ｈと接触する位置は、点Ｂである。図５（ａ）中の実線は、点Ｂを通り且つ回転軸５３と平行な軸Ｒである。このように、回転軸５３を基板Ｆに対して傾けた場合、スクライビングホイール４０において基板Ｆの表面Ｈと接触する位置が変化する。
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