JP2019172963A - 活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物および剥離型粘着シート - Google Patents

Abstract

【課題】活性エネルギー線照射前の粘着力が良好であり、かつ、耐熱性に優れた粘着剤となり、加熱後においても活性エネルギー線照射後の剥離性（耐汚染性、微粘着性）に優れた粘着剤を得ることができる活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を提供する。【解決手段】アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）およびビスマス系化合物（Ｃ）を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、上記アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度が−１０℃以下であり、かつ、上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、アクリル系樹脂（Ａ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で１×１０-5〜１重量部である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物とする。【選択図】なし

Description

本発明は、半導体ウエハ、プリント基板、ガラス加工品、金属板、プラスチック板等の被加工部材を加工する際の一時的な表面保護用の剥離型粘着シートの粘着剤層に使用される活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物および剥離型粘着シートに関するものである。

ウレタン（メタ）アクリレート系化合物は、多価イソシアネート系化合物と水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物とを反応させて得ることができる。かかる反応においては、効率よくウレタン（メタ）アクリレート系化合物を得るために種々の触媒が使用されている。上記触媒としては、例えば、有機金属化合物や有機アミンやその塩等が挙げられ、これらのなかでも触媒能が高い点でジブチル錫ジラウレート（ＤＢＴＬ）が一般的に使用されている。

そして、上記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物とアクリル系樹脂とを用いた活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤が知られている。例えば、特許文献１には、基材面上にアクリル系粘着剤と３，０００〜１０，０００の重量平均分子量を有するウレタンアクリレート系オリゴマーである放射線重合性化合物からなる粘着剤層を塗布してなる粘着シートが開示されている。また、該シートは剥離する際に紫外線を照射することにより被着体との粘着力が急激に低下するということが記載されている。

上記粘着シートは、従来、半導体ウエハを用いた集積回路の作製や穴開け等の加工工程において、被加工部材の汚れや損傷を防ぐことを目的として一時的に上記被加工部材の表面を保護するための表面保護用として用いられている。そして、近年の加工技術の微細化や、被加工部材の薄膜化等の理由で被加工部材に対して適度な粘着力が求められる一方、表面保護の役目を終えた後には表面保護用の粘着シートを剥離する必要があり、剥離する際には軽い力で糊残りなく剥離できることが求められている。また、近年では半導体ウエハに限らず様々な部材の加工時にも表面保護用の粘着シートが利用されている。

そのようななか、例えば、特許文献２において、粘着シートの活性エネルギー線照後の剥離性（耐汚染性、微粘着性）を、放射線重合性化合物の種類や配合比率、及びアクリロイル基の個数によって調整することが知られている。

また、近年の電子部品の製造工程では、粘着テープを貼付した状態の部品が高温にさらされることが増えていることから、電子部品の製造工程に使用する粘着テープには、高温条件に耐え得る耐熱性も求められている。

特開昭６２−１５３３７６号公報 特開平７−１９３０２８号公報

上記特許文献１での開示技術では、活性エネルギー線照射前の粘着力が良好である旨の記述がある。しかしながら、近年の加工技術の微細化に伴い、従来よりも高い活性エネルギー線照射前の粘着力が求められ、特許文献１の開示技術では、充分満足のいく活性エネルギー線照射前の粘着力を得ることは難しいと考えられる。

また、上記特許文献２の開示技術において、放射線重合性化合物とアクリル系樹脂とを用いた場合は、アクリル系樹脂が放射線重合性化合物によって可塑化してしまい、活性エネルギー線照射前の粘着力が低下してしまったり、糊残りしてしまうという問題が考えられる。

さらに、アクリル系樹脂のガラス転移温度を低くすることで加熱工程を経た後の活性エネルギー線照射後の粘着力を低くできるが、活性エネルギー線照射前の粘着力が低く、さらなる改善が求められている。

そこで、本発明ではこのような背景下において、活性エネルギー線照射前の粘着力が良好であり、かつ、耐熱性に優れた粘着剤となり、加熱後においても活性エネルギー線照射後の剥離性（耐汚染性、微粘着性）に優れた粘着剤を得ることができる活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を提供することを目的とするものである。

しかるに、本発明者等は、かかる事情に鑑み鋭意研究を重ねた結果、ガラス転移温度の低いアクリル系樹脂及びウレタン（メタ）アクリレート系化合物を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物に、ビスマス系化合物を微量含有させることにより、活性エネルギー線照射前の粘着力が高く、さらに加熱工程を経た後の活性エネルギー線照射後の粘着力を低くでき、剥離性に優れることを見出し、本発明を完成した。

一般的に活性エネルギー線照射前の粘着力は、アクリル系樹脂の組成やガラス転移温度、架橋剤量が大きく影響すると考えられるところ、本発明においては、特定微量のビスマス系化合物によって、活性エネルギー線照射前の粘着力が高くなるという効果を見出したものである。

すなわち、本発明は、アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）およびビスマス系化合物（Ｃ）を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、上記アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度が−１０℃以下であり、かつ、上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、アクリル系樹脂（Ａ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で１×１０^-5〜１重量部である活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を第１の要旨とする。また、上記第１の要旨の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層を有する剥離型粘着シートを第２の要旨とするものである。

本発明は、アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）およびビスマス系化合物（Ｃ）を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、上記アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度が−１０℃以下であり、かつ、上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、アクリル系樹脂（Ａ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で１×１０^-5〜１重量部である。そのため、この活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を剥離型粘着シートの粘着剤層として用いた場合は、活性エネルギー線照射前の粘着力が良好であり、かつ、耐熱性に優れ、また、加熱後においても活性エネルギー線照射後の剥離性（耐汚染性、微粘着性）に優れたものとすることができる。

さらに本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が、架橋剤（Ｄ）を含有すると、より活性エネルギー線照射前の粘着力に優れるものとなる。

さらに本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が、光重合開始剤（Ｅ）を含有すると、活性エネルギー線照射によりウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の硬化性を向上させ、より活性エネルギー線照射後の剥離性に優れるものとなる。

上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で１×１０^-5〜１重量部であると、より活性エネルギー線照射前の粘着力に優れるものとなる。

以下、本発明を実施するための形態について具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
本発明において、「（メタ）アクリル」とはアクリルあるいはメタクリルを、「（メタ）アクリロイル」とはアクリロイルあるいはメタクリロイルを、「（メタ）アクリレート」とはアクリレートあるいはメタクリレートをそれぞれ意味するものである。
また、「アクリル系樹脂」とは、少なくとも１種の（メタ）アクリレート系モノマーを含む重合成分を重合して得られる樹脂である。
なお、本発明において、「シート」とは、特に「フィルム」、「テープ」と区別するものではなく、これらも含めた意味として記載するものである。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、通常、一度被加工部材と貼り合わせた後に剥離することを前提とする、剥離型粘着シートの粘着剤層に主として用いられる。上記剥離型粘着シートは、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を基材シート上に塗工し、粘着剤層とした状態で用いられ、被加工部材と貼り合せた後、活性エネルギー線を照射することにより粘着剤層が硬化して粘着力が低下し、容易に被加工部材から剥離することができるものである。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）さらにビスマス系化合物（Ｃ）を含有してなるものである。以下、各成分について説明する。

〔アクリル系樹脂（Ａ）〕
本発明で用いられるアクリル系樹脂（Ａ）は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）と官能基含有モノマー（ａ２）、必要に応じて、その他の共重合性モノマー（ａ３）とを共重合させて得られるものである。

かかる（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）は、アクリル系樹脂（Ａ）の主成分となるものである。上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）は、アルキル基の炭素数が、通常１〜２０であり、好ましくは１〜１２、特に好ましくは１〜８、さらに好ましくは１〜４である。炭素数が大きすぎると、得られるアクリル系樹脂（Ａ）とウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）とが均一に混合しにくくなり被加工部材への糊残りが生じやすくなる傾向がある。

上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）として、具体的には、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチルアクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、セチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート等の脂肪族の（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー；シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の脂環式の（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。
上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）のなかでも、脂肪族の（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマーが好ましく、共重合性、粘着物性、取り扱いやすさおよび原料入手しやすさの点で、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレートが特に好ましく用いられる。

また、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）の重合成分中における含有量は、通常３０〜９９．９重量％であり、好ましくは４０〜９９重量％、特に好ましくは５０〜９８重量％である。かかる含有量が少なすぎると、活性エネルギー線照射前の粘着力が低下しやすくなる傾向があり、多すぎると活性エネルギー線照射前の粘着力が高くなりすぎる傾向がある。

上記官能基含有モノマー（ａ２）としては、例えば、水酸基含有モノマー、カルボキシ基含有モノマー、アミノ基含有モノマー、アミド基含有モノマー、グリシジル基含有モノマー、スルホン酸基含有モノマー、アセトアセチル基含有モノマー等を挙げることができる。これらの官能基含有モノマーは、単独でもしくは２種類以上を併用することができる。

上記水酸基含有モノマーとしては、水酸基含有（メタ）アクリレート系モノマーであることが好ましく、具体的には、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、８−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル、カプロラクトン変性２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等のカプロラクトン変性モノマー、ジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレート等のオキシアルキレン変性モノマー、２−アクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシエチルフタル酸等の１級水酸基含有モノマー；２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等の２級水酸基含有モノマー；２，２−ジメチル２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の３級水酸基含有モノマー等を挙げることができる。
上記水酸基含有モノマーのなかでも、後述の架橋剤（Ｄ）との反応性に優れる点で、１級水酸基含有モノマーが好ましく、特には２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートが好ましい。

上記水酸基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常０．１〜２０重量％であり、好ましくは０．５〜１０重量％、より好ましくは１〜５重量％である。かかる含有量が多すぎると、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向があり、少なすぎると架橋度が低下し、被加工部材への汚染性が増大しやすくなる傾向がある。

上記カルボキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸ダイマー、クロトン酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、グルタコン酸、イタコン酸、アクリルアミドＮ−グリコール酸、ケイ皮酸等が挙げられる。なかでも共重合性の点で（メタ）アクリル酸が好ましく用いられる。

上記カルボキシ基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常１０重量％以下であり、好ましくは５重量％以下、より好ましくは１重量％以下、特に好ましくは０．３重量％以下である。かかる含有量が多すぎると、被加工部材を変質させやすい傾向や、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向がある。

上記アミノ基含有モノマーとしては、例えば、アミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等が挙げられる。

上記アミノ基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常３０重量％以下であり、好ましくは１０重量％以下、より好ましくは５重量％以下である。かかる含有量が多すぎると、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向がある。

上記アミド基含有モノマーとしては、例えば、エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、ジメチル（メタ）アクリルアミド、ジエチル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノプロピルアクリルアミド、（メタ）アクリルアミドＮ−メチロール（メタ）アクリルアミド等の（メタ）アクリルアミド系モノマー等が挙げられる。

上記アミド基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常３０重量％以下であり、好ましくは１０重量％以下、より好ましくは５重量％以下である。かかる含有量が多すぎると、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向がある。

上記グリシジル基含有モノマーとしては、例えば、メタクリル酸グリシジル、メタクリル酸アリルグリシジル等が挙げられる。

上記グリシジル基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常１重量％以下であり、好ましくは０．５重量％以下、より好ましくは０．３重量％以下である。かかる含有量が多すぎると、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向がある。

上記スルホン酸基含有モノマーとしては、例えば、エチレンスルホン酸、アリルスルホン酸、メタアリルスルホン酸等のオレフィンスルホン酸、２−アクリルアミド−２−メチロールプロパンスルホン酸、スチレンスルホン酸あるいはその塩等が挙げられる。

上記スルホン酸基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常１重量％以下であり、好ましくは０．５重量％以下、より好ましくは０．３重量％以下である。かかる含有量が多すぎると、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向がある。

上記アセトアセチル基含有モノマーとしては、例えば、２−（アセトアセトキシ）エチル（メタ）アクリレート、アリルアセトアセテート等が挙げられる。

上記アセトアセチル基含有モノマーの重合成分中における含有量は、通常１０重量％以下であり、好ましくは５重量％以下、より好ましくは１重量％以下である。かかる含有量が多すぎると、乾燥工程前に架橋が進行し、塗工性に問題が生じやすくなる傾向がある。

上記その他の共重合性モノマー（ａ３）としては、例えば、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、ステアリン酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステルモノマー；フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェニルジエチレングリコール（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、スチレン、α−メチルスチレン等の芳香環を含有するモノマー；ビフェニルオキシエチル（メタ）アクリレート等のビフェニルオキシ構造含有（メタ）アクリル酸エステル系モノマー；２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−エトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のアルコキシ基またはオキシアルキレン基を含有するモノマー；アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、アルキルビニルエーテル、ビニルトルエン、ビニルピリジン、ビニルピロリドン、イタコン酸ジアルキルエステル、フマル酸ジアルキルエステル、アリルアルコール、アクリルクロライド、メチルビニルケトン、アリルトリメチルアンモニウムクロライド、ジメチルアリルビニルケトン等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

上記その他の共重合性モノマー（ａ３）の重合成分中における含有量は、通常４０重量％以下、好ましくは３０重量％以下、より好ましくは２５重量％以下である。その他の共重合性モノマー（ａ３）が多すぎると粘着特性が低下しやすくなる傾向がある。

本発明で用いるアクリル系樹脂（Ａ）は、ガラス転移温度が−１０℃以下となるように、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）、官能基含有モノマー（ａ２）、必要に応じて、その他の共重合性モノマー（ａ３）を適宜選択し重合することにより得られる。かかる重合法としては通常、溶液ラジカル重合、懸濁重合、塊状重合、乳化重合等の従来公知の方法により適宜行うことができる。なかでも溶液ラジカル重合で製造することが、安全に、安定的に、任意のモノマー組成でアクリル系樹脂（Ａ）を製造できる点で好ましい。

上記溶液ラジカル重合では、例えば、有機溶剤中に、（メタ）アクリル酸アルキルエステル系モノマー（ａ１）、官能基含有モノマー（ａ２）、必要に応じて、その他の共重合性モノマー（ａ３）等のモノマー成分および重合開始剤を混合あるいは滴下し、還流状態あるいは通常５０〜９８℃で０．１〜２０時間程度重合すればよい。

上記重合反応に用いられる有機溶剤としては、例えば、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ヘキサン等の脂肪族炭化水素類、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール等の脂肪族アルコール類、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類等が挙げられる。

上記重合開始剤としては、通常のラジカル重合開始剤を用いることができ、具体的には、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビスジメチルバレロニトリル等のアゾ系重合開始剤、ベンゾイルパーオキサイド、ラウロイルパーオキサイド、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド等の過酸化物系重合開始剤等が挙げられる。

上記の重合方法によって得られるアクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、加熱・活性エネルギー線照射後の剥離性に優れる点から、−１０℃以下であることが必要である。好ましくは−７０〜−１５℃、特に好ましくは−６０〜−２０℃、さらに好ましくは−５０〜−２５℃、殊に好ましくは−４０〜−３０℃である。ガラス転移温度が高すぎると、加熱工程後に活性エネルギー線を照射した際の剥離性が低下する。なお、ガラス転移温度が低すぎると、被加工部材に対する汚染性が増大する傾向がある。

本発明において、アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、ＴＡインスツルメント社製の示差走査熱量計「ＤＳＣ Ｑ２０００」を用いて測定される値である。測定温度範囲は−８０〜４０℃で、温度上昇速度は、５℃／分である。

また、アクリル系樹脂（Ａ）の重量平均分子量は、通常１０万〜２００万、好ましくは１５万〜１５０万、特に好ましくは２０万〜１２０万、殊に好ましくは、３０万〜１００万である。重量平均分子量が小さすぎると、被加工部材に対する汚染性が高くなる傾向があり、大きすぎると塗工性が低下しやすくなり、またコストの面で不利となる傾向がある。

さらに、アクリル系樹脂（Ａ）の分散度（重量平均分子量／数平均分子量）は、２０以下であることが好ましく、特には１０以下が好ましく、さらには７以下が好ましく、殊には５以下が好ましい。かかる分散度が高すぎると被加工部材に対する汚染性が増大する傾向がある。なお、分散度の下限は、製造の限界の点から、通常１．１である。

上記の重量平均分子量は、標準ポリスチレン分子量換算による重量平均分子量であり、高速液体クロマトグラフ（日本Ｗａｔｅｒｓ社製、「Ｗａｔｅｒｓ ２６９５（本体）」と「Ｗａｔｅｒｓ ２４１４（検出器）」）に、カラム：Ｓｈｏｄｅｘ ＧＰＣ ＫＦ−８０６Ｌ（排除限界分子量：２×１０⁷、分離範囲：１００〜２×１０⁷、理論段数：１０，０００段／本、充填剤材質：スチレン−ジビニルベンゼン共重合体、充填剤粒径：１０μｍ）を３本直列にして用いることにより測定されるものであり、数平均分子量も同様の方法で得ることができる。

〔ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）〕
本発明で用いられるウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）は、ウレタン結合および（メタ）アクリロイル基を有する化合物である。

上記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）は、水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）との反応物であるウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ１）であってもよいし、水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）、多価イソシアネート系化合物（ｂ２）およびポリオール系化合物（ｂ３）の反応物であるウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ２）であってもよい。なかでも、本発明においては、活性エネルギー線照射後の剥離性の点でウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ１）を用いることが好ましい。
なお、本発明においてウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）としては、水酸基を１個有するものが好ましく、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート等のヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリロイルホスフェート、２−（メタ）アクリロイロキシエチル−２−ヒドロキシプロピルフタレート、カプロラクトン変性２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、脂肪酸変性−グリシジル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−（メタ）アクリロイロキシプロピル（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基を１個含有する水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物；グリセリンジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−アクリロイル−オキシプロピルメタクリレート等のエチレン性不飽和基を２個含有する水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物；ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、エチレンオキサイド変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート等のエチレン性不飽和基を３個以上含有する水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物等が挙げられる。
水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）は単独でもしくは２種以上併せて用いることができる。

これらのなかでも、活性エネルギー線照射後の硬化性に優れる点で、エチレン性不飽和基を３個以上含有する水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）が好ましく、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートやジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートが特に好ましい。

多価イソシアネート系化合物（ｂ２）としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ポリフェニルメタンポリイソシアネート、変性ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、フェニレンジイソシアネート、ナフタレンジイソシアネート等の芳香族系多価イソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、リジンジイソシアネート、リジントリイソシアネート等の脂肪族系ポリイソシアネート；水添化ジフェニルメタンジイソシアネート、水添化キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環式系多価イソシアネート；或いはこれら多価イソシアネートのイソシアヌレート体または多量体化合物、アロファネート型ポリイソシアネート、ビュレット型ポリイソシアネート、水分散型ポリイソシアネート（例えば、日本ポリウレタン工業社製の「アクアネート１００」、「アクアネート１１０」、「アクアネート２００」、「アクアネート２１０」等）等が挙げられる。これらは単独でもしくは２種以上併せて用いることができる。

これらのなかでも、反応性および汎用性に優れる点で、トリレンジイソシアネート等の芳香族系多価イソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族系ジイソシアネート、水添化ジフェニルメタンジイソシアネート、水添化キシリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート等の脂環式系ジイソシアネートが好ましく、特に好ましくはリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水添化ジフェニルメタンジイソシアネート、水添化キシリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートであり、さらに好ましくは、リレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネートである。

ポリオール系化合物（ｂ３）としては、水酸基を２個以上含有する化合物であればよく、例えば、脂肪族ポリオール、脂環式ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリカーボネート系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、ポリブタジエン系ポリオール、ポリイソプレン系ポリオール、（メタ）アクリル系ポリオール、ポリシロキサン系ポリオール等が挙げられる。これらは１種または２種以上を併用して用いることができる。

上記脂肪族ポリオールとしては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリメチレングリコール、ジメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール、２，２−ジエチル−１，３−プロパンジオール、２−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオール、１，４−テトラメチレンジオール、１，３−テトラメチレンジオール、２−メチル−１，３−トリメチレンジオール、１，５−ペンタメチレンジオール、１，６−ヘキサメチレンジオール、３−メチル−１，５−ペンタメチレンジオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタメチレンジオール、ペンタエリスリトールジアクリレート、１，９−ノナンジオール、２−メチル−１，８−オクタンジオール等の２個の水酸基を含有する脂肪族アルコール類、キシリトールやソルビトール等の糖アルコール類、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン等の３個以上の水酸基を含有する脂肪族アルコール類等が挙げられる。

上記脂環式ポリオールとしては、例えば、１，４−シクロヘキサンジオール、シクロヘキシルジメタノール等のシクロヘキサンジオール類、水添ビスフェノールＡ等の水添ビスフェノール類、トリシクロデカンジメタノール等が挙げられる。

上記ポリエーテル系ポリオールとしては、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリブチレングリコール、ポリペンタメチレングリコール、ポリヘキサメチレングリコール等のアルキレン構造含有ポリエーテル系ポリオールや、これらポリアルキレングリコールのランダム或いはブロック共重合体等が挙げられる。

上記ポリエステル系ポリオールとしては、例えば、多価アルコールと多価カルボン酸との縮合重合物；環状エステル（ラクトン）の開環重合物；多価アルコール、多価カルボン酸および環状エステルの３種類の成分による反応物等が挙げられる。

上記多価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリメチレングリコール、１，４−テトラメチレンジオール、１，３−テトラメチレンジオール、２−メチル−１，３−トリメチレンジオール、１，５−ペンタメチレンジオール、ネオペンチルグリコール、１，６−ヘキサメチレンジオール、３−メチル−１，５−ペンタメチレンジオール、２，４−ジエチル−１，５−ペンタメチレンジオール、グリセリン、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、シクロヘキサンジオール類（１，４−シクロヘキサンジオール等）、ビスフェノール類（ビスフェノールＡ等）、糖アルコール類（キシリトールやソルビトール等）等が挙げられる。
上記多価カルボン酸としては、例えば、マロン酸、マレイン酸、フマル酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸等の脂肪族ジカルボン酸；１，４−シクロヘキサンジカルボン酸等の脂環式ジカルボン酸；テレフタル酸、イソフタル酸、オルトフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、パラフェニレンジカルボン酸、トリメリット酸等の芳香族ジカルボン酸等が挙げられる。
上記環状エステルとしては、例えば、プロピオラクトン、β−メチル−δ−バレロラクトン、ε−カプロラクトン等が挙げられる。

上記ポリカーボネート系ポリオールとしては、例えば、多価アルコールとホスゲンとの反応物；環状炭酸エステル（アルキレンカーボネート等）の開環重合物等が挙げられる。
上記多価アルコールとしては、前記ポリエステル系ポリオールの説明中で例示の多価アルコール等が挙げられ、上記アルキレンカーボネートとしては、例えば、エチレンカーボネート、トリメチレンカーボネート、テトラメチレンカーボネート、ヘキサメチレンカーボネート等が挙げられる。
なお、ポリカーボネート系ポリオールは、分子内にカーボネート結合を有し、末端がヒドロキシ基である化合物であればよく、カーボネート結合とともにエステル結合を有していてもよい。

上記ポリオレフィン系ポリオールとしては、飽和炭化水素骨格としてエチレン、プロピレン、ブテン等のホモポリマーまたはコポリマーを有し、その分子末端に水酸基を有するものが挙げられる。

上記ポリブタジエン系ポリオールとしては、炭化水素骨格としてブタジエンの共重合体を有し、その分子末端に水酸基を有するものが挙げられる。
ポリブタジエン系ポリオールは、その構造中に含まれるエチレン性不飽和基の全部または一部が水素化された水添化ポリブタジエンポリオールであってもよい。

上記ポリイソプレン系ポリオールとしては、炭化水素骨格としてイソプレンの共重合体を有し、その分子末端に水酸基を有するものが挙げられる。
ポリイソプレン系ポリオールは、その構造中に含まれるエチレン性不飽和基の全部または一部が水素化された水添化ポリイソプレンポリオールであってもよい。

上記（メタ）アクリル系ポリオールとしては、（メタ）アクリル酸エステルの重合体または共重合体の分子内にヒドロキシ基を少なくとも２つ有しているものが挙げられ、かかる（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸ヘキシル、（メタ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アクリル酸ドデシル、（メタ）アクリル酸オクタデシル等の（メタ）アクリル酸アルキルエステル等が挙げられる。

上記ポリシロキサン系ポリオールとしては、例えば、ジメチルポリシロキサンポリオールやメチルフェニルポリシロキサンポリオール等が挙げられる。

これらのなかでも、脂肪族ポリオール、脂環式ポリオールが好ましく用いられ、汎用性の点ではポリエステル系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリカーボネート系ポリオールが好ましく用いられる。

上記ポリオール系化合物（ｂ３）の重量平均分子量は、６０〜５，０００が好ましく、特に好ましくは１００〜３，０００、さらに好ましくは１５０〜２，０００である。ポリオール系化合物（ｂ３）の重量平均分子量が大きすぎると、得られるウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ２）とアクリル系樹脂（Ａ）とが均一に混合しにくくなり被加工部材への糊残りが生じやすくなる傾向がある。また、ポリオール系化合物（ｂ３）の重量平均分子量が小さすぎると、活性エネルギー線照射後に粘着剤層にクラックが発生しやすくなる傾向がある。

ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）は、以上のような成分を、公知の反応手段により反応させることで製造することができる。
通常、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ１）の場合には、上記水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）とを、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ２）の場合にはさらにポリオール系化合物（ｂ３）を、反応器に一括または別々に仕込み公知の反応手段によりウレタン化反応させて製造することができる。また、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ２）を製造する場合には、ポリオール系化合物（ｂ３）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）とを予め反応させて得られる反応生成物に、水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）を反応させる方法が、ウレタン化反応の安定性や副生成物の低減等の点で有用である。

上記水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）との反応においては、反応を促進する目的で反応触媒を用いることが好ましく、かかる反応触媒としては、ビスマス系化合物（Ｃ）が好ましい。ビスマス系化合物（Ｃ）を用いて水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）とを反応させてウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）を製造した場合は、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）中にビスマス系化合物（Ｃ）が残存するため、効率的に活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物中にビスマス系化合物（Ｃ）を含有させることができる。

上記ビスマス系化合物（Ｃ）としては、例えば、硝酸ビスマス、臭化ビスマス、ヨウ化ビスマス、硫化ビスマス等の他、ジブチルビスマスジラウレート、ジオクチルビスマスジラウレート等の有機ビスマス化合物や、２−エチルヘキサン酸ビスマス塩、ナフテン酸ビスマス塩、イソデカン酸ビスマス塩、ネオデカン酸ビスマス塩、ラウリル酸ビスマス塩、マレイン酸ビスマス塩、ステアリン酸ビスマス塩、オレイン酸ビスマス塩、リノール酸ビスマス塩、酢酸ビスマス塩、ビスマスリビスネオデカノエート、ジサリチル酸ビスマス塩、ジ没食子酸ビスマス塩等の有機酸ビスマス塩等が挙げられる。これらは単独でもしくは２種類以上を併用することができる。なかでも、反応効率の点から、有機酸ビスマス塩が好ましく、２−エチルヘキサン酸ビスマス塩がより好ましい。

ビスマス系化合物（Ｃ）を反応触媒として用いる場合の使用量は、水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）の合計１００重量部に対して、ビスマス元素換算で通常１×１０^-5〜１重量部であり、好ましくは１×１０^-4〜０．５重量部、より好ましくは１×１０^-3〜０．１重量部である。ビスマス系化合物（Ｃ）の使用量が少なすぎると、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の製造に時間がかかる傾向があり、使用量が多すぎると被着体耐汚染性が低下する傾向がある。

なお、本発明において「ビスマス元素換算」とは、ビスマス系化合物（Ｃ）をビスマス系化合物（Ｃ）が有するビスマス元素として換算したものであり、具体的には、ＩＣＰ−ＭＳ（Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製、７５００ｃｅ型；標準添加法）で測定することにより求めることができる。

上記水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）との反応においては、上記ビスマス系化合物（Ｃ）を用いることが、活性エネルギー線照射前の粘着力を高くできることから好ましいが、ビスマス系化合物（Ｃ）以外の触媒を用いてもよく、また、ビスマス系化合物（Ｃ）とビスマス系化合物（Ｃ）以外の触媒を併用してもよい。

上記ビスマス系化合物（Ｃ）以外の触媒としては、例えば、ジブチル錫ジラウレート、トリメチル錫ヒドロキシド、テトラ−ｎ−ブチル錫等の有機金属化合物、オクテン酸亜鉛、オクテン酸錫、オクチル酸錫、ナフテン酸コバルト、塩化第１錫、塩化第２錫等の金属塩、トリエチルアミン、ベンジルジエチルアミン、１，４−ジアザビシクロ［２，２，２］オクタン、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］ウンデセン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラメチル−１，３−ブタンジアミン、Ｎ−エチルモルホリン等のアミン系触媒、無機ジルコニウム、有機ジルコニウム、ジルコニウム単体等のジルコニウム系触媒、２−エチルヘキサン酸亜鉛／ジルコニウムテトラアセチルアセトナート等の２種類以上の触媒を併用したものが挙げられる。なお、これらの触媒は１種または２種以上組み合わせて使用することができる。

上記ビスマス系化合物（Ｃ）以外の触媒としては、錫を含有しない触媒が好ましく、また、錫を含有する触媒を使用する場合であっても、その使用量は、水酸基含有（メタ）アクリレート系化合物（ｂ１）と多価イソシアネート系化合物（ｂ２）の合計１００重量部に対して、錫元素換算で通常１×１０^-3重量部以下であることが好ましい。なお、上記錫元素換算量も前記ビスマス系化合物（Ｃ）と同様、錫を含有する触媒をＩＣＰ−ＭＳによって測定することにより求めることができる。

上記ウレタン化反応においては、イソシアネート基に対して反応する官能基を有しない有機溶剤、例えば、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、トルエン、キシレン等の芳香族類等の有機溶剤を用いることができる。

また、反応温度は、通常３０〜９０℃、好ましくは４０〜８０℃であり、反応時間は、通常２〜１０時間、好ましくは３〜８時間である。

上記のウレタン化反応は、反応系の残存イソシアネート基含有率が０．３重量％以下になる時点で反応を終了させることにより、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）が得られる。

このようにして得られるウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）は、反応触媒としてビスマス系化合物（Ｃ）を用いることにより、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）中にビスマス系化合物（Ｃ）を含有させることができる。

上記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）は、活性エネルギー線照射後の剥離性の点から、エチレン性不飽和基を４個以上含むことが好ましく、より好ましくは４〜２０個、特に好ましくは５〜１８個、殊に好ましくは６〜１５個である。
かかるエチレン性不飽和基数が多すぎると活性エネルギー線照射後の架橋密度が大きくなりすぎて、粘着剤層にクラックが発生しやすくなる傾向があり、少なすぎると充分な架橋密度が得られないため、活性エネルギー線照射後に剥離しにくくなる傾向がある。

また、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の重量平均分子量は、通常５００〜１０，０００、好ましくは７５０〜５，０００、より好ましくは１，０００〜４，０００である。かかる重量平均分子量が大きすぎるとウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の粘度が高くなり、アクリル系樹脂（Ａ）との相溶性が低下し、被加工部材への糊残りが生じやすくなる傾向がある。重量平均分子量が小さすぎると剥離型粘着シートからウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）がブリードして糊残りが生じやすくなる傾向がある。

なお、上記の重量平均分子量は、標準ポリスチレン分子量換算による重量平均分子量であり、高速液体クロマトグラフ（Ｗａｔｅｒｓ社製、「ＡＣＱＵＩＴＹ ＡＰＣシステム」）に、カラム：ＡＣＱＵＩＴＹ ＡＰＣ ＸＴ ４５０×１本、ＡＣＱＵＩＴＹ ＡＰＣ ＸＴ ２００×１本、ＡＣＱＵＩＴＹ ＡＰＣ ＸＴ ４５×２本を４本直列にして用いることにより測定される。

本発明で用いられるウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の６０℃における粘度は、５００〜１００，０００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、特に好ましくは１，０００〜５０，０００ｍＰａ・ｓである。かかる粘度が上記範囲外では、塗工性が低下する傾向がある。なお、粘度はＥ型粘度計により測定することができる。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物における上記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の含有量は、通常、アクリル系樹脂（Ａ）１００重量部に対して１〜１００重量部であることが好ましく、特に好ましくは１０〜８０重量部、さらに好ましくは１５〜７０重量部、殊に好ましくは２０〜６５重量部である。ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の含有量が少なすぎると活性エネルギー線照射後の剥離性が低下しやすくなる傾向があり、多すぎると粘着剤が可塑化し、活性エネルギー線照射前の粘着力低下や糊残りが発生したり、活性エネルギー線照射後に粘着剤層にクラックが発生しやすくなる傾向がある。

〔ビスマス系化合物（Ｃ）〕
本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、特定微量のビスマス系化合物（Ｃ）を含有するため、活性エネルギー線照射前の粘着力に優れるという効果を奏するものである。

上記ビスマス系化合物（Ｃ）としては、公知一般のものを使用することができ、具体的には、前述のウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の反応触媒で列挙した化合物と同じものを用いることができる。また、ビスマス系化合物（Ｃ）は、単独でもしくは２種類以上を併用してもよい。

前記ウレタン（メタ）アクレート系化合物（Ｂ）中にビスマス系化合物（Ｃ）が残存しており、その含有量が下記の範囲内である場合は、通常、ビスマス系化合物（Ｃ）を新たに活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物に配合する必要はないが、下記の含有量の範囲内であれば、さらにビスマス系化合物（Ｃ）を配合してもよい。この場合、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物に配合するビスマス系化合物（Ｃ）は、前記ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の製造で用いたビスマス系化合物（Ｃ）と同じ化合物を用いることが好ましいが、互いに異なる化合物を用いてもよい。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物における、上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量は、アクリル系樹脂（Ａ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で、通常１×１０^-5〜１重量部であり、好ましくは５×１０^-5〜１×１０^-1重量部であり、特に好ましくは１×１０^-4〜１×１０^-2重量部である。ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が少なすぎると、活性エネルギー線照射前の粘着力が低下する傾向があり、ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が多すぎると、被着体耐汚染性が低下する傾向がある。

また、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物における、上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量は、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で、通常１×１０^-5〜１重量部であり、好ましくは１×１０^-4〜０．５重量部であり、特に好ましくは１×１０^-3〜０．１重量部である。ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が少なすぎると、活性エネルギー線照射前の粘着力が低下する傾向があり、ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が多すぎると、被着体耐汚染性が低下する傾向がある。

〔架橋剤（Ｄ）〕
本発明においては、アクリル系樹脂（Ａ）と架橋構造を形成し、活性エネルギー線照射前の粘着力に優れるようになることから、架橋剤（Ｄ）を配合することが好ましい。上記架橋剤（Ｄ）としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アジリジン系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、メラミン系架橋剤、アルデヒド系架橋剤、アミン系架橋剤が挙げられる。これらのなかでも、剥離型粘着シートの基材シートとの接着性を向上させる点やアクリル系樹脂（Ａ）との反応性の点から、イソシアネート系架橋剤を用いることが好ましい。
また、これらの架橋剤（Ｄ）は、単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。

上記イソシアネート系架橋剤としては、例えば、２，４−トリレンジイソシアネート、２，６−トリレンジイソシアネート、水素化トリレンジイソシアネート、水添化キシリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ジフェニルメタン−４，４−ジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、１，３−ビス（イソシアナトメチル）シクロヘキサン、テトラメチルキシリレンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、トリフェニルメタントリイソシアネート、およびこれらのポリイソシアネート化合物とトリメチロールプロパン等のポリオール化合物とのアダクト体、これらポリイソシアネート化合物のビュレット体やイソシアヌレート体等が挙げられる。
これらのなかでも薬剤耐性や官能基との反応性の点でヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、２，４−トリレンジイソシアネート、２，４−トリレンジイソシアネートまたは２，６−トリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとのアダクト体または２，４−トリレンジイソシアネートおよび２，６−トリレンジイソシアネートのイソシアヌレート体、テトラメチルキシリレンジイソシアネートとトリメチロールプロパンとのアダクト体が好ましい。

上記エポキシ系架橋剤としては、例えば、ビスフェノールＡ・エピクロルヒドリン型のエポキシ樹脂、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエリスリトール、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、１，３’−ビス（Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン、Ｎ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラグリシジル−ｍ−キシレンジアミン等が挙げられる。

上記アジリジン系架橋剤としては、例えば、テトラメチロールメタン−トリ−β−アジリジニルプロピオネート、トリメチロールプロパン−トリ−β−アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ’−ジフェニルメタン−４，４’−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ’−ヘキサメチレン−１，６−ビス（１−アジリジンカルボキシアミド）等が挙げられる。

上記オキサゾリン系架橋剤としては、例えば、２，２’−ビス（２−オキサゾリン）、１，２−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）エタン、１，４−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ブタン、１，８−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ブタン、１，４−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）シクロヘキサン、１，２−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン、１，３−ビス（２−オキサゾリン−２−イル）ベンゼン等の脂肪族あるいは芳香族を含むビスオキサゾリン化合物、２−ビニル−２−オキサゾリン、２−ビニル−４−メチル−２−オキサゾリン、２−ビニル−５−メチル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−４−メチル−２−オキサゾリン、２−イソプロペニル−５−エチル−２−オキサゾリン等の付加重合性オキサゾリンの１種または２種以上の重合物等が挙げられる。

上記メラミン系架橋剤としては、例えば、へキサメトキシメチルメラミン、ヘキサエトキシメチルメラミン、ヘキサプロポキシメチルメラミン、ヘキサブトキシメチルメラミン、ヘキサペンチルオキシメチルメラミン、ヘキサヘキシルオキシメチルメラミン、メラミン樹脂等が挙げられる。

上記アルデヒド系架橋剤としては、例えば、グリオキザール、マロンジアルデヒド、スクシンジアルデヒド、マレインジアルデヒド、グルタルジアルデヒド、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒド等が挙げられる。

上記アミン系架橋剤としては、例えば、ヘキサメチレンジアミン、トリエチルジアミン、ポリエチレンイミン、ヘキサメチレンテトラアミン、ジエチレントリアミン、トリエチルテトラアミン、イソホロンジアミン、アミノ樹脂、ポリアミド等が挙げられる。

上記架橋剤（Ｄ）の含有量は、通常、アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の合計１００重量部に対して、０．０１〜２０重量部であることが好ましく、特に好ましくは０．１〜１０重量部、さらに好ましくは０．２〜１重量部である。架橋剤（Ｄ）が少なすぎると、粘着剤の凝集力が低下し、糊残りの原因となる傾向があり、多すぎると、柔軟性および粘着力が低下し、被加工部材との間に浮きが生じる傾向がある。

〔光重合開始剤（Ｅ）〕
また、本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物には、活性エネルギー線照射後の剥離性に優れることから、光重合開始剤（Ｅ）を配合することが好ましい。上記光重合開始剤（Ｅ）としては、光の作用によりラジカルを発生するものであればよく、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、１−［４−（２−ヒドロキシエトキシ）−フェニル］−２−ヒドロキシ−２−メチル−１−プロパン−１−オン、２−メチル−２−モルホリノ（４−チオメチルフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタノン、２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパノンオリゴマー等のアセトフェノン類；ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾイン類；ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチル−ジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−Ｎ，Ｎ−ジメチル−Ｎ−［２−（１−オキソ−２−プロペニルオキシ）エチル］ベンゼンメタナミニウムブロミド、（４−ベンゾイルベンジル）トリメチルアンモニウムクロリド等のベンゾフェノン類；２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、２−（３−ジメチルアミノ−２−ヒドロキシ）−３，４−ジメチル−９Ｈ−チオキサントン−９−オンメソクロリド等のチオキサントン類；２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチル−ペンチルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフォンオキサイド類；等が挙げられる。なかでも、好ましくは、アセトフェノン類、とりわけ２−（ジメチルアミノ）−２−［（４−メチルフェニル）メチル］−１−［４−（４−モルホリニル）フェニル］−１−ブタノンや、チオキサントン類、とりわけ２，４，６−トリメチルベンゾイル−ジフェニルホスフィンオキサイドである。
なお、これら光重合開始剤（Ｅ）は、単独で用いるか、または２種以上を併用することができる。

上記光重合開始剤（Ｅ）の含有量としては、アクリル系樹脂（Ａ）およびウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の合計１００重量部に対して、０．０１〜１０重量部であることが好ましく、特に好ましくは０．１〜５重量部、殊に好ましくは０．５〜２重量部である。
光重合開始剤（Ｅ）の含有量が少なすぎると活性エネルギー線照射による硬化性が低くなり活性エネルギー線照射後の剥離性が低下しやすくなる傾向があり、多すぎると被加工部材に対する汚染性が増大する傾向がある。

また、これら光重合開始剤（Ｅ）の助剤として、例えば、トリエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４，４’−ジメチルアミノベンゾフェノン（ミヒラーケトン）、４，４’−ジエチルアミノベンゾフェノン、２−ジメチルアミノエチル安息香酸、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸（ｎ−ブトキシ）エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４−ジイソプロピルチオキサンソン等を併用することも可能である。これらの助剤も単独でもしくは２種以上併せて用いることができる。

〔その他の成分〕
本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、本発明の効果を損なわない範囲において、例えば、エチレン性不飽和化合物を配合することも活性エネルギー線照射後の剥離性の点で好ましく、また、帯電防止剤、酸化防止剤、可塑剤、充填剤、顔料、希釈剤、老化防止剤、紫外線吸収剤、紫外線安定剤、粘着付与樹脂等の添加剤をさらに含有していてもよい。これらの添加剤は１種を単独でまたは２種以上を併せて用いることができる。特に酸化防止剤は、粘着剤層の安定性を保つのに有効である。酸化防止剤を配合する場合の含有量は、特に制限はないが、好ましくは０．０１〜５重量％である。なお、添加剤の他にも、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物の構成成分の製造原料等に含まれる不純物等が少量含有されていてもよい。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、その組成物中に錫を含まないことが好ましく、また、錫を含む場合であっても、錫の含有量は、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物中、錫元素換算で１×１０^-3重量％以下であることが好ましい。なお、上記「錫」とは、錫単体および錫化合物も含む意味である。

かくして、ガラス転移温度が−１０℃以下のアクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）および特定微量のビスマス系化合物（Ｃ）、好ましくは架橋剤（Ｄ）、光重合性開始剤（Ｅ）、必要に応じてその他の成分を混合することにより、本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が得られる。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、上記架橋剤（Ｄ）により架橋され粘着剤としての性能を発揮するのであるが、その後、活性エネルギー線照射することにより、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）が重合して粘着剤が硬化し、粘着力の低下が起こることで剥離性を発揮することとなる。

上記活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤は、通常、電子基板、半導体ウエハ、ガラス加工品、金属板、プラスチック板等の被加工部材を加工する際、一時的に表面を保護するための剥離型粘着シートの粘着剤層として好ましく用いられる。また、本発明の剥離型粘着シートは、耐熱性に優れることから、被加工部材の表面に貼り付けた後に加熱された場合であっても、活性エネルギー線を照射することにより、優れた剥離性を発揮する。
以下、上記剥離型粘着シートについて説明する。

上記剥離型粘着シートは、通常、基材シート、本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層、必要に応じてさらに離型フィルムを有する。かかる剥離型粘着シートの作製方法としては、まず本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物をそのまま、または、適当な有機溶剤により濃度調整し、離型フィルム上または基材シート上に直接塗工する。その後、例えば８０〜１２０℃、０．５〜１０分間加熱処理等により乾燥させ、これを基材シートまたは離型フィルムに貼付することにより剥離型粘着シートを得ることができる。また、粘着物性のバランスをとるために、乾燥後にさらにエージングを行ってもよい。

上記基材シートとしては、例えば、ポリエチレンナフタート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート／イソフタレート共重合体等のポリエステル系樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン等のポリオレフィン系樹脂；ポリフッ化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化エチレン等のポリフッ化エチレン樹脂；ナイロン６、ナイロン６，６等のポリアミド；ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニル／酢酸ビニル共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、ポリビニルアルコール、ビニロン等のビニル重合体；三酢酸セルロース、セロファン等のセルロース系樹脂；ポリメタクリル酸メチル、ポリメタクリル酸エチル、ポリアクリル酸エチル、ポリアクリル酸ブチル等のアクリル系樹脂；ポリスチレン；ポリカーボネート；ポリアリレート；ポリイミド等の合成樹脂シート、アルミニウム、銅、鉄の金属箔、上質紙、グラシン紙等の紙、硝子繊維、天然繊維、合成繊維等からなる織物や不織布が挙げられる。これらの基材シートは、単層体としてまたは２種以上が積層された複層体として用いることができる。これらのなかでも、軽量化等の点から、合成樹脂シートが好ましい。

さらに、上記離型フィルムとしては、例えば、上記基材シートで例示した各種合成樹脂シート、紙、織物、不織布等に離型処理したものを使用することができる。

また、上記活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物の塗工方法としては、一般的な塗工方法であれば特に限定されることなく、例えば、ロールコーティング、ダイコーティング、グラビアコーティング、コンマコーティング、スクリーン印刷等の方法が挙げられる。

上記剥離型粘着シートの粘着剤層の厚みは、通常、１〜２００μｍであることが好ましく、さらには５〜１００μｍであることが好ましい。

上記エージングの条件としては、温度は通常、常温（２３℃）〜７０℃、時間は通常、１〜３０日間であり、具体的には、例えば２３℃で１〜２０日間、２３℃で３〜１０日間、４０℃で１〜７日間等の条件で行えばよい。

かくして、本発明の剥離型粘着シートが得られる。上記剥離型粘着シートは、剥離型粘着シートの粘着剤層中のビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、ビスマス元素換算で、通常１×１０^-6〜１重量％であり、好ましくは１×１０^-5〜１×１０^-1重量％であり、特に好ましくは１×１０^-4〜１×１０^-2重量％である。ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が少なすぎると、活性エネルギー線照射前の粘着力が低下する傾向があり、ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が多すぎると、被着体耐汚染性が低下する傾向がある。

上述のように、本発明の剥離型粘着シートは、活性エネルギー線を照射することにより、粘着力が低下するものであるが、上記活性エネルギー線としては、通常、遠紫外線、紫外線、近紫外線、赤外線等の光線、Ｘ線、γ線等の電磁波の他、電子線、プロトン線、中性子線等が利用できる。なかでも、硬化速度、照射装置の入手のしやすさ、価格等から紫外線が好ましい。

上記紫外線を照射する場合の積算照射量は、通常５０〜３，０００ｍＪ／ｃｍ²、好ましくは１００〜１，０００ｍＪ／ｃｍ²である。また、照射時間は、光源の種類、光源と粘着剤層との距離、粘着剤層の厚み、その他の条件によっても異なるが、通常は数秒間、場合によっては数分の１秒間でもよい。

上記剥離型粘着シートの粘着力は、基材シートの種類、被加工部材の種類等によっても異なるが、活性エネルギー線照射前は、４．０Ｎ／２５ｍｍ以上が好ましく、さらには６．０Ｎ／２５ｍｍ以上が好ましく、特には８．０Ｎ／２５ｍｍ以上が好ましい。

また、活性エネルギー線照射後の粘着力は、０．８Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには０．５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特には０．３Ｎ／２５ｍｍ以下が好ましい。

また、本発明の剥離型粘着シートは、１５０℃で１時間加熱し、その後紫外線照射（積算照射量２５０ｍＪ／ｃｍ²）を施した時の粘着力が、０．８Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには０．５Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特には０．３Ｎ／２５ｍｍ以下が好ましい。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物によれば、例えば、これを粘着剤層として用いた剥離型粘着シートは、被加工部材と貼り合せ、被加工部材の表面を一時的に保護した後に、必要に応じて活性エネルギー線を照射することにより、粘着剤層が硬化して粘着力が低下し、容易に被加工部材から剥離することができる。さらにまた、本発明の剥離型粘着シートは、耐熱性に優れることから、被加工部材の表面に貼り付けた後に、加熱された場合であっても、その後、活性エネルギー線を照射することにより、優れた剥離性を発揮するものである。

以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、以下「％」、「部」とあるのは、重量基準を意味する。

＜アクリル系樹脂（Ａ）溶液の調製＞
〔アクリル系樹脂（Ａ−１）〕
温度調節機、温度計、撹拌機、滴下ロートおよび還流冷却器を備えた反応器内に、酢酸エチル９０部、メチルエチルケトン１．２５部、重合触媒としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．０２５部を仕込み、撹拌しながら昇温し、内温が７８℃で安定した段階で、共重合成分としてｎ−ブチルアクリレート７７部、メチルアクリレート２０部、２−ヒドロキシエチルアクリレート３部、ＡＩＢＮ０．０３８部を混合溶解させた混合物を２時間にわたって滴下し、還流下で反応させた。次いで、反応開始から３時間後に酢酸エチル３．８部とＡＩＢＮ０．０３８部を溶解させた液を添加し、反応開始から５時間後に酢酸エチル３．８部と２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（ＡＤＶＮ）０．０２５部を溶解させた液を添加し、反応開始から７時間後に酢酸エチル４６．３部を投入し反応を終了させ、アクリル系樹脂（Ａ−１）溶液〔重量平均分子量６８万、分散度４．５、ガラス転移温度−３１．６℃、樹脂分３９．９％、粘度６，９００ｍＰａ・ｓ（２５℃）〕を得た。

〔アクリル系樹脂（Ａ’−１）〕
温度調節機、温度計、撹拌機、滴下ロートおよび還流冷却器を備えた反応器内に、酢酸エチル１０５部、メチルエチルケトン６．２５部、重合触媒としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．０２５部を仕込み、撹拌しながら昇温し、内温が７８℃で安定した段階で、共重合成分としてｎ−ブチルアクリレート３７部、メチルアクリレート６０部、２−ヒドロキシエチルアクリレート３部、ＡＩＢＮ０．０３８部を混合溶解させた混合物を２時間にわたって滴下し、還流下で反応させた。次いで、反応開始から３時間後に酢酸エチル３．８部とＡＩＢＮ０．０３８部を溶解させた液を添加し、反応開始から５時間後に酢酸エチル３．８部と２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）（ＡＤＶＮ）０．０２５部を溶解させた液を添加し、反応開始から７時間後に酢酸エチル６２．０部を投入し反応を終了させ、アクリル系樹脂（Ａ’−１）溶液〔重量平均分子量５９万、分散度４．３、ガラス転移温度−８．４℃、樹脂分３４．１％、粘度６，７００ｍＰａ・ｓ（２５℃）〕を得た。

下記のようにしてウレタン（メタ）アクリル系化合物（Ｂ）を調製した。

＜ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）の調製＞
〔ウレタンアクリレート（Ｂ−１）〕
温度調節機、温度計、撹拌機、水冷コンデンサー、窒素ガス吹き込み口を備えた４つ口フラスコに、イソホロンジイソシアネート６．６部、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物（水酸基価４８ｍｇＫＯＨ／ｇ）９３．４部、重合禁止剤として２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルクレゾール０．０６部、反応触媒としてビスマス系化合物（Ｃ）である２−エチルヘキサン酸ビスマス塩（日東化成社製）０．０３部を仕込み、６０℃で反応させ、残存イソシアネート基が０．３％以下となった時点で反応を終了し、ウレタンアクリレート（Ｂ−１）（エチレン性不飽和基１０個、重量平均分子量２，０００）混合物を得た。

〔ウレタンアクリレート（Ｂ’−１）〕
温度調節機、温度計、撹拌機、水冷コンデンサー、窒素ガス吹き込み口を備えた４つ口フラスコに、イソホロンジイソシアネート６．６部、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物（水酸基価４８ｍｇＫＯＨ／ｇ）９３．４部、重合禁止剤として２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルクレゾール０．０６部、反応触媒としてジブチル錫ジラウレート０．０２部を仕込み、６０℃で反応させ、残存イソシアネート基が０．３％以下となった時点で反応を終了し、ウレタンアクリレート（Ｂ’−１）（エチレン性不飽和基１０個、重量平均分子量２，０００）混合物を得た。

また、下記に示す各配合成分を準備した。

〔金属触媒〕
・金属触媒（Ｃ’−１）：ジブチル錫ジラウレート（ＤＢＴＬ）

〔架橋剤（Ｄ）〕
・イソシアネート系架橋剤（Ｄ−１）：コロネートＨＸ（東ソー社製）

〔光重合開始剤（Ｅ）〕
・光重合開始剤（Ｅ−１）：ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−フェニルホスフィンオキサイド（ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ社製：ＯＭＮＩＲＡＤ８１９）

＜実施例１＞
〔粘着剤組成物の調製〕
上記で得られたアクリル系樹脂（Ａ−１）溶液の樹脂分を４０％に調整し、かかる樹脂溶液２５０部（樹脂分１００部）、ウレタンアクリレート（Ｂ−１）５０部、架橋剤（Ｄ−１）０．７５部（アクリル系樹脂（Ａ）の水酸基に対して０．１６当量）、光重合開始剤（Ｅ−１）０．９部、希釈溶剤としてトルエンを混合して、活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物溶液（固形分２０％）を得た。

〔剥離型粘着シートの作製〕
得られた活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を、基材シートとして、易接着ポリエチレンテレフタレートフイルム（膜厚３８μｍ）（東レ社製、「Ｔ６０ ルミラー」）上に、アプリケーターで塗工した後、１００℃で２分間乾燥し、離型フィルム（三井化学東セロ社製、「ＳＰ−ＰＥＴ ３８ ０１−ＢＵ」）に貼付し、４０℃にて７日間エージングすることにより、剥離型粘着シート（粘着剤層の厚み２５μｍ）を得た。
得られた剥離型粘着シートを用いて下記の評価を行った。

〔活性エネルギー線照射前粘着力〕
上記で得られた剥離型粘着シートから２５ｍｍ×１００ｍｍの試験片を作製し、離型フィルムを剥がしたうえで、ステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ板）に２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて重量２ｋｇのゴムローラーを２往復させて加圧貼付し、同雰囲気下で３０分間静置した後、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで１８０度剥離強度（Ｎ／２５ｍｍ）を測定し、下記評価基準により評価を行った。
（評価基準）
◎・・・６．０Ｎ／２５ｍｍ以上
○・・・４．０Ｎ／２５ｍｍ以上、６．０Ｎ／２５ｍｍ未満
×・・・４．０Ｎ／２５ｍｍ未満

〔活性エネルギー線照射後粘着力〕
上記で得られた剥離型粘着シートから２５ｍｍ×１００ｍｍの試験片を作製し、離型フィルムを剥がしたうえで、ステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ板）に２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて重量２ｋｇのゴムローラーを２往復させて加圧貼付し、２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で３０分間静置した後、８０Ｗの高圧水銀灯を１灯用いて、１８ｃｍの高さから５．１ｍ／ｍｉｎのコンベア速度で紫外線照射（積算照射量１８０ｍＪ／ｃｍ²）を行った。さらに２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で３０分静置した後、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで１８０度剥離強度（Ｎ／２５ｍｍ）を測定し、下記評価基準により評価を行った。
（評価基準）
◎・・・０．５Ｎ／２５ｍｍ以下
○・・・０．５Ｎ／２５ｍｍ超、０．８Ｎ／２５ｍｍ以下
×・・・０．８Ｎ／２５ｍｍ超

〔加熱・活性エネルギー線照射後粘着力〕
上記で得られた剥離型粘着シートから２５ｍｍ×１００ｍｍの試験片を作製し、離型フィルムを剥がしたうえで、ステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ板）に２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下にて重量２ｋｇのゴムローラーを２往復させて加圧貼付し、その後１５０℃で１時間加熱処理を行った。加熱処理後の剥離型粘着シートを貼付したステンレス板を、２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で３０分間静置した後、８０Ｗの高圧水銀灯を１灯用いて、１８ｃｍの高さから５．１ｍ／ｍｉｎのコンベア速度で紫外線照射（積算照射量１８０ｍＪ／ｃｍ²）を行った。さらに２３℃、相対湿度５０％の雰囲気下で３０分間静置した後、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎで１８０度剥離強度（Ｎ／２５ｍｍ）を測定し、下記評価基準により評価を行った。
（評価基準）
◎・・・０．５Ｎ／２５ｍｍ以下
○・・・０．５Ｎ／２５ｍｍ超、０．８Ｎ／２５ｍｍ以下
×・・・０．８Ｎ／２５ｍｍ超

〔被着体耐汚染性〕
上記の方法でステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ板）から剥離型粘着シートを剥離した後、ステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ板）表面の糊残りを目視で確認し、下記評価基準により評価を行った。
（評価基準）
○・・・糊残りなし
△・・・一部糊残り
×・・・全面糊残り

＜比較例１＞
実施例１において、ウレタンアクリレート系化合物（Ｂ−１）の代わりにウレタンアクリレート系化合物（Ｂ’−１）を５０部、さらに金属触媒（Ｃ’−１）０．００８５部配合した以外は同様にして活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を得、実施例１と同様の評価を行った。

＜比較例２＞
実施例１において、アクリル系樹脂（Ａ−１）の代わりにアクリル系樹脂（Ａ’−１）を２５０部（樹脂分１００部）配合した以外は同様にして活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を得、実施例１と同様の評価を行った。

＜比較例３＞
実施例１において、アクリル系樹脂（Ａ−１）の代わりにアクリル系樹脂（Ａ’−１）を２５０部（樹脂分１００部）、ウレタンアクリレート系化合物（Ｂ−１）の代わりにウレタンアクリレート系化合物（Ｂ’−１）を５０部、さらに金属触媒（Ｃ’−１）０．００８５部配合した以外は同様にして活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物を得、実施例１と同様の評価を行った。

実施例および比較例の評価結果を下記表１に示す。

上記表１から、実施例においては、活性エネルギー線照射前の粘着力に優れるとともに、活性エネルギー線照射後粘着力に優れ、さらに加熱・活性エネルギー線照射後の粘着力にも優れるものであるのに対して、金属触媒として錫系化合物を含有する比較例１では、活性エネルギー線照射前の粘着力が劣るものであり、また、アクリル系樹脂のガラス転移温度の高い比較例２では、加熱・活性エネルギー線照射後の粘着力が劣るものであり、また、金属触媒として錫系化合物を含有量し、かつ、アクリル系樹脂のガラス転移温度の高い比較例３では、加熱・活性エネルギー線照射後の粘着力が劣り、さらに加熱・活性エネルギー線照射後の被着体汚染性が劣るものであった。このことからも、金属触媒としてビスマス系化合物を含むこと及びガラス転移温度が所定温度以下であるアクリル系樹脂を含有することが重要であることがわかる。

本発明の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物は、半導体ウエハ、プリント基板、ガラス加工品、金属板、プラスチック板等を加工する際の一時的な表面保護用粘着フィルムに好適に用いることができる。

Claims (6)

1. アクリル系樹脂（Ａ）、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）およびビスマス系化合物（Ｃ）を含有する活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物であって、上記アクリル系樹脂（Ａ）のガラス転移温度が−１０℃以下であり、かつ、上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、アクリル系樹脂（Ａ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で１×１０^-5〜１重量部であることを特徴とする活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
2. さらに、架橋剤（Ｄ）を含有することを特徴とする請求項１記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
3. さらに、光重合開始剤（Ｅ）を含有することを特徴とする請求項１または２記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
4. 上記ビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、ウレタン（メタ）アクリレート系化合物（Ｂ）１００重量部に対して、ビスマス元素換算で１×１０^-5〜１重量部であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の活性エネルギー線硬化性剥離型粘着剤組成物が架橋された粘着剤層を有することを特徴とする剥離型粘着シート。
6. 粘着剤層中のビスマス系化合物（Ｃ）の含有量が、ビスマス元素換算で１×１０^-6〜１重量％であることを特徴とする請求項５記載の剥離型粘着シート。