JP2019171771A - 水分バリア性積層体 - Google Patents

Abstract

【課題】水分トラップ層を備え、この水分トラップ層の水分トラップ性能が最大限に発揮され、優れた水分バリア性を示す水分バリア性積層体を提供する。【解決手段】ガスバリア層ａ１を有するガスバリア性フィルム基材Ａと、フィルム基材Ａを下地として形成された水分トラップ層Ｂとを含み、水分トラップ層Ｂのフィルム基材Ａとは反対側の表面には、４０℃、９０％ＲＨでの透湿度が４．０×１０〜５．０×１０４ｇ／ｍ２・ｄａｙの範囲にある保護樹脂層Ｃが積層されていることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、水分トラップ層を備えた水分バリア性積層体に関するものである。

近年において開発され、実用されている各種の電子デバイス、例えば有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）、太陽電池、タッチパネル、電子ペーパーなどでは、水分による電荷のリーク等を回避するため、高度の水分バリア性が要求される。

ところで、各種プラスチック基材の特性、特にガスバリア性を改善するための手段として、プラスチック基材の表面に、蒸着により、ケイ素酸化物などからなる無機薄膜（無機バリア層）を形成することが知られており（特許文献１）、このような無機薄膜を備えたフィルムは、バリアフィルムとして広く使用されている。このようなバリアフィルムは、上記のような電子デバイスに要求される水分バリア性を満足させるには不十分であると共にプラスチック基材に用いられる樹脂の残留水分がデバイスを著しく劣化させる。

また、このような要求を満たすため、吸湿性を有するイオン性ポリマーをマトリックスとする水分トラップ層が積層された構造を有する水分バリア性積層体も、本出願人により提案されている（特許文献２）。

上記のような水分トラップ層は、蒸着等によりプラスチックフィルムの表面に形成されている無機バリア層上に、イオン性ポリマーを含むトラップ層形成用の塗布組成物を塗布し、硬化させることにより成膜されるものであり、このような層の形成により優れた水分バリア性を示すというものである。

しかしながら、高い水分トラップ性能を有する水分トラップ層が設けられているバリアフィルムを用いたとしても、その水分バリア性が十分に発揮されないという問題があった。

特開２０００−２５５５７９号公報 特開２０１５−９６３２０号

従って、本発明の目的は、水分トラップ層を備え、この水分トラップ層の水分トラップ性能が最大限に発揮され、優れた水分バリア性を示す水分バリア性積層体を提供することにある。

本発明によれば、ガスバリア層を有するガスバリア性フィルム基材Ａと、該フィルム基材Ａを下地として形成された水分トラップ層Ｂとを含み、該水分トラップ層Ｂの該フィルム基材Ａとは反対側の表面には、４０℃、９０％ＲＨでの透湿度が４．０×１０〜５．０×１０^４ｇ／ｍ^２／ｄａｙの範囲にある保護樹脂層Ｃが積層されていることを特徴とする水分バリア性積層体が提供される。

本発明の水分バリア性積層体においては、
（１）前記水分トラップ層Ｂは、ＪＩＳ−７２５１に準拠して２３０℃で測定した含水量が０．１５ｇ／ｇ以下に保持されていること、
（２）前記水分トラップ層Ｂが、吸湿性のポリマーを含有していること、
（３）前記水分トラップ層Ｂが、イオン性ポリマーからなる吸湿性マトリックス中に、さらに該マトリックスよりも到達湿度が低湿度である吸湿剤が分散された構造を有していること、
（４）前記水分トラップ層Ｂ中に含まれるイオン性ポリマーが、カチオン性ポリマーであること、
（５）前記保護樹脂層Ｃが、アクリル樹脂、ウレタン樹脂またはポリエステル樹脂により形成されていること、
（６）前記保護樹脂層Ｃが、０．１〜１５μｍの厚みを有していること、
（７）前記保護樹脂層Ｃには、屈折率調整剤としての金属酸化物粒子が配合されていること、
（８）前記金属酸化物が、シリカ、アルミナ、チタニアまたはジルコニアであること、
（９）前記保護層（Ｃ）の上に透明導電膜が設けられていること、
が好適である。

本発明の水分バリア性積層体は、ガスバリア層を有するガスバリア性フィルム基材Ａを下地として水分トラップ層Ｂが形成されているという基本構造を有しているが、このような水分トラップ層の上に透湿度が４．０×１０〜５．０×１０^４ｇ／ｍ^２／ｄａｙの範囲にある保護樹脂層Ｃが積層されているという点に大きな特徴を有するものであり、このような透湿度を有する保護樹脂層Ｃが積層されていることにより、この水分バリア性積層体の製造過程での水分トラップ層の吸湿を有効に防止することができ、この結果、水分トラップ層が乾燥状態に保持されたままの状態で水分バリア性積層体を使用に供することができ、水分トラップ層による水分バリア性が最大限に発揮させることができる。

ガスバリア性フィルム基材Ａを下地として形成された水分トラップ層Ｂは、形成後、乾燥処理を行い、水分トラップ層Ｂ中の吸湿水分を放出させておくことが必要である。即ち、水分トラップ層Ｂの吸湿水分が多いほど、水分トラップ層Ｂの含水量が短時間で飽和してしまい、水分トラップ性が損なわれてしまうからである。
例えば、本出願人が提案している特許文献２に開示されている積層体では、プラスチック基材上に形成されている水分トラップ層は、第２の無機バリア層を備えたバリアフィルムに、第２の無機バリア層の下地となっている有機層に積層された構造を有している。このような構造の積層体において、水分トラップ層の乾燥処理は、第２の無機バリア層を備えたバリアフィルムに積層する前の段階で行われる。バリアフィルムを積層した後では、水分トラップ層が２つの無機バリア層にサンドイッチされた構造となってしまうため、水分トラップ層中の吸湿水分を放出させることができないからである。

また、水分トラップ層の乾燥は、乾燥剤が分散されている乾燥剤シートを貼り付け、これを加熱された乾燥雰囲気中に供給することにより行われる。乾燥剤シートを貼り付けることなく乾燥を行った場合、水分トラップ層から放出された水分が再び水分トラップ層に吸湿されてしまうため、乾燥剤シートを貼り付けることにより、水分トラップ層の再吸湿を防止し、さらに、乾燥剤シートによるデシカント効果により、乾燥効率を高めるわけである。
このようにして水分トラップ層の乾燥処理が行われた乾燥処理フィルムは、必要に応じて、ロール等に巻き取られて保管され、適宜の時に、ロールから巻き出され、乾燥剤シートを引き剥がしながら、上記の第２の無機バリア層を備えたバリアフィルムを積層していくことになる。

このようにして水分トラップ層の乾燥が行われ且つバリアフィルムの積層が行われるのであるが、本発明者等の検討によると、乾燥剤シートを引き剥がした後、バリアフィルムを積層するまでの短時間で水分トラップ層の吸湿が生じ、このときの吸湿により、水分トラップ層の性能低下が生じていることが判った。しかも、このような短時間での吸湿は、水分トラップ層の性能が高いものほど顕著であり、その性能低下が大きい。

例えば、乾燥された水分トラップ層を、２３℃、４０％ＲＨの環境下に暴露したとき、この水分トラップ層の含水量（トラップ層１ｇ当りに換算した量）は、３０秒後には、約０．１５ｇ／ｇ増大する。従って、乾燥剤シートを引き剥がした後の水分トラップ層の吸湿を防止するためには、ライン速度をより速くし、乾燥剤シート引き剥がし後、直ちにバリアフィルムの積層を行なえばよいのであるが、このようなライン速度を速くするには限界がある。

しかるに、本発明に従い、透湿度が４．０×１０〜５．０×１０^４ｇ／ｍ^２／ｄａｙの範囲にある保護樹脂層を水分トラップ層の上に形成したときには、３０秒後の含水量の増大量は、約０．１０ｇ／ｇ以下に低減する。
即ち、本発明によれば、適度な透湿度を有している保護樹脂層Ｃを設けておくことにより、乾燥剤シートを引き剥がした後の水分トラップ層の吸湿を有効に防止し、水分トラップ層の性能低下を有効に回避することができる。
尚、本発明においては、保護樹脂層Ｃの透湿度が低い程、水分トラップ層Ｂの吸湿防止効果が高いが、この透湿度が過度に低くなると、水分トラップ層の乾燥時において、水分トラップ層からの吸湿水分の放出が制限されてしまうし、また、水分トラップ層によるデシカント効果も低下してしまう。このため、本発明では、保護樹脂層Ｃの透湿度を所定の範囲に設定しているわけである。

本発明の水分バリア性積層体の層構造の一例を示す概略側断面図。 図１の水分バリア性積層体に設けられている水分トラップ層Ｂの乾燥に使用する乾燥剤シートの一例を示す概略側断面図。

図１に示す例において、全体として１０で示されている本発明の水分バリア性積層体は、ガスバリア性フィルム基材Ａと、このフィルム基材Ａを下地として形成された水分トラップ層Ｂとを備え、この水分トラップ層Ｂの表面、即ち、フィルム基材Ａとは反対側の面に、保護樹脂層Ｃが設けられた構造を有している。

このような水分バリア性積層体１は、水分の侵入を嫌う各種デバイスに装着されて使用されるものであり、例えば、図１に示されているように、ガスバリア性フィルム基材Ａがデバイスの外側（高湿度雰囲気下）に位置し、保護樹脂層Ｃがデバイスの内部（低湿度側）に位置するように配置されて使用される。

＜ガスバリア性フィルム基材Ａ＞
このガスバリア性フィルム基材Ａは、後述する保護樹脂層Ｃに比して透湿度がかなり低いフィルムであり、例えば、４０℃、相対湿度９０％での透湿度が１．０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下の範囲にある。

このようなフィルム基材Ａは、エチレン・ビニルアルコール共重合体や芳香族ポリアミドなどのガスバリア性樹脂、或いはガスバリア性樹脂の層が、適宜、接着剤樹脂層を介してポリオレフィンやポリエステルなどからなる内外層の間の中間層として設けられた多層構造を有するものであってもよいが、一般的には、図１に示されているように、無機バリア層ａ１がプラスチック基材層ａ２を下地として形成された構造を有していることが好ましい。

無機バリア層ａ１は、プラスチック基材層ａ２を下地として形成される層であり、例えば特開２０１５−９６３２０号公報等により公知のものであってよく、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティングなどに代表される物理蒸着や、プラズマＣＶＤに代表される化学蒸着などによって形成される無機質の蒸着膜、例えば各種金属乃至金属酸化物により形成される膜であることが、高い酸素バリア性を確保できると言う点で好適であり、特に、凹凸を有する面にも均一に成膜され、酸素のみならず水分に対しても優れたバリア性を発揮するという点で、プラズマＣＶＤにより形成されていることが好ましい。

尚、プラズマＣＶＤによる蒸着膜は、所定の真空度に保持されたプラズマ処理室内に無機バリア層ａ１の下地となるフィルム形態のプラスチック基材層ａ２を配置し、膜形成する金属若しくは該金属を含む化合物のガス（反応ガス）及び酸化性ガス（通常酸素やＮＯｘのガス）を、適宜、アルゴン、ヘリウム等のキャリアガスと共に、ガス供給管を用いて、金属壁でシールドされ且つ所定の真空度に減圧されているプラズマ処理室に供給し、この状態でマイクロ波電界や高周波電界などによってグロー放電を発生させ、その電気エネルギーによりプラズマを発生させ、上記化合物の分解反応物をプラスチック基材層ａ２の表面に堆積させて成膜することにより得られる。

上記の反応ガスとしては、一般に、下地の基材層ａ２の界面に炭素成分を含む柔軟な領域を有し且つその上に酸化度の高いバリア性に優れた領域を有する膜を形成できるという観点から有機金属化合物、例えばトリアルキルアルミニウムなどの有機アルミニウム化合物や、有機チタン化合物、有機ジルコニウム化合物、有機ケイ素化合物等のガスを用いることが好ましく、特に、酸素に対するバリア性の高い無機バリア層ａ１を比較的容易に効率良く形成できるという点で、有機ケイ素化合物が最も好ましい。

また、上述した無機バリア層ａ１の厚みは、下地となるプラスチック基材層ａ２の厚みに応じて、所定の水分透過率を満足させ得るような厚みに設定され、一般に、４乃至５００ｎｍ、特に３０乃至４００ｎｍ程度の厚みを有していればよい。

さらに、上記の無機バリア層ａ１は、蒸着等の手法によらず、コーティング等によってプラスチック基材層ａ２上に形成することもできる。即ち、コーティングにより形成される無機バリア層ａ１は、上述した蒸着等により形成されるものと比較すると、酸素バリア性等の特性は低いが、要求される酸素等に対するバリア性の程度によっては、コーティングにより無機バリア層ａ１を形成することもできる。

コーティングにより形成される無機バリア層ａ１としては、ポリシラザンや、重縮合性のシラン化合物（例えばアルコキシシランなど）、重縮合性のアルミナ化合物（例えばアルコキシアルミニウムなど）を成膜成分として含み、適宜、シリカやアルミナ等の無機微粒子が混合された有機溶媒溶液を用い、これを所定の面に塗布し、加熱し、有機溶媒を揮散して成膜するものが代表的である。

プラスチック基材層ａ２は、既に述べたとおり、無機バリア層ａ１の下地となるものであり、通常、熱可塑性或いは熱硬化性の樹脂により、その形態に応じて、射出乃至共射出成形、押出乃至共押出成形、フィルム乃至シート成形、圧縮成形性、注型重合等により成形される。

一般的には、成形性やコスト等の観点から、熱可塑性樹脂が好適である。
このような熱可塑性樹脂の例としては、低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ１−ブテン、ポリ４−メチル−１−ペンテンあるいはエチレン、プロピレン、１−ブテン、４−メチル−１−ペンテン等のα−オレフィン同志のランダムあるいはブロック共重合体等のポリオレフィン、環状オレフィンコポリマーや環状オレフィンポリマー等の環状オレフィン系樹脂、エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・ビニルアルコール共重合体、エチレン・塩化ビニル共重合体等のエチレン・ビニル化合物共重合体、ポリスチレン、アクリロニトリル・スチレン共重合体、ＡＢＳ、α−メチルスチレン・スチレン共重合体等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニル・塩化ビニリデン共重合体、ポリアクリル酸メチル、ポリメタクリル酸メチル等のポリビニル化合物、ナイロン６、ナイロン６−６、ナイロン６−１０、ナイロン１１、ナイロン１２等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の熱可塑性ポリエステル、ポリカーボネート、ポリフエニレンオキサイドや、その他、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、フッ素樹脂、アリル樹脂、ポリウレタン樹脂、セルロース樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ケトン樹脂、アミノ樹脂、或いはポリ乳酸などの生分解性樹脂等により形成される。さらに、これらのブレンド物や、これら樹脂が適宜共重合により変性されたもの（例えば、酸変性オレフィン樹脂など）であってもよい。

またこのプラスチック基材層ａ２は、エチレン・ビニルアルコール共重合体の如き酸素バリア性に優れたガスバリア性樹脂などにより形成することもでき、このようなガスバリア性樹脂により形成された層を含む多層構造を有していてもよい。即ち、このようなガスバリア性樹脂を含むプラスチック基材層ａ２を下地として、前述した無機バリア層ａ１を形成することができる。

本発明においては、入手のし易さ、コスト、成形性、或いは酸素や水分に対して多少なりともバリア性を示し、さらには、後述する無機バリア層ａ１の下地として好適であるという観点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル樹脂や、ポリイミド樹脂、環状オレフィンコポリマーや環状オレフィンポリマー等の環状オレフィン系樹脂のフィルムを基材層５として使用することがより好適である。

上述したプラスチック基材層ａ２の厚みは特に制限されないが、この厚みが過度に厚いと、このフィルム基材Ａの水分透過率が大きくなり、前述した水分透過率を満足させることが困難となるおそれがある。また、フィルム基材Ａのフレキシブル性がなくなるため、この基材層ａ１の厚みは、通常、２００μｍ以下とし、より好ましくは１２５μｍ以下とし、この範囲でバリアフィルム１の水分透過率が前述した範囲となるように設定される。

このようなガスバリア性フィルム基材Ａを下地として以下に述べる水分トラップ層Ｂが形成される。
尚、図１の例では、水分トラップ層Ｂが、無機バリア層ａ１を下地として形成されているが、勿論、プラスチック基材層ａ２を下地として水分トラップ層Ｂを形成することもできる。但し、無機バリア層ａ１の傷付等を防止するという点で、無機バリア層ａ１を下地として水分トラップ層Ｂを形成することが望ましい。

＜水分トラップ層Ｂ＞
本発明において、水分トラップ層Ｂは、上述したガスバリア性フィルム基材Ａの厚み方向に流れる水分を遮断するものであり、水分バリア性を付与することが要求される場合に設けられる。
この水分トラップ層Ｂは、水分遮断性を示すものであれば、特に制限されず、所定の樹脂層中にゼオライト等の吸湿剤を分散させたものなど、それ自体公知の層であってよい。しかしながら、特に、水分に対する高いバリア性が要求される場合、例えば１０^−５ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下、さらには、１０^−６ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下の水分透過率（（２３℃、ＲＨ５０％）を実現させるためには、特開２０１５−９６３２０号等に開示されているイオン性ポリマーにより水分トラップ層Ｂを形成することが好ましく、さらには、このイオン性ポリマーをマトリックスとし、このマトリックス中にイオン性ポリマーよりも到達湿度が低い吸湿剤を分散させることにより水分トラップ層Ｂを形成することが好適である。特に、このようなイオン性ポリマーをマトリックスとするものは、水分捕捉性が優れ、さらに到達湿度が低い吸湿剤が分散されているものは、水分吸収に起因する膨潤などの変形を有効に回避することができるからである。

水分トラップ層Ｂの形成に好適に使用されるイオン性ポリマーには、カチオン性ポリマーとアニオン性ポリマーとがある。

カチオン性ポリマーとしては、アリルアミン、エチレンイミン、ビニルベンジルトリメチルアミン、［４−（４−ビニルフェニル）−メチル］−トリメチルアミン、ビニルベンジルトリエチルアミン等のアミン系単量体；ビニルピリジン、ビニルイミダゾール等の含窒素複素環系単量体；及び、それらの塩類；に代表されるカチオン性単量体の少なくとも１種を、適宜、共重合可能な他の単量体と共に、重合乃至共重合し、さらに必要により、酸処理により部分中和させて得られるものが使用される。
このようなカチオン性ポリマーについては、特開２０１５−９６３２０号等に詳述されており、その詳細は省略するが、一般的には、ポリアリルアミンが成膜性等の観点から好適である。

一方、アニオン性ポリマーとしては、例えば、メタクリル酸、アクリル酸、無水マレイン酸等のカルボン酸系単量体；α−ハロゲン化ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸等のスルホン酸系単量体；ビニルリン酸等のホスホン酸系単量体；及びこれら単量体の塩類；などに代表されるアニオン性単量体の少なくとも１種を、適宜、共重合可能な他の単量体と共に重合乃至共重合させ、さらに必要により、アルカリ処理により部分中和させて得られるものが使用される。
このようなアニオン性ポリマーについても、特開２０１５−９６３２０号等に詳述されており、その詳細は省略するが、一般的には、ポリ（メタ）アクリル酸及びその部分中和物（例えば一部がＮａ塩であるもの）である。

また、上記のイオン性ポリマー中に配合することにより膨潤による変形を好適に防止できる吸湿剤、即ち、イオン性ポリマーよりも到達湿度が低い吸湿剤としては、例えば、湿度８０％ＲＨ及び温度３０℃の環境条件での到達湿度が６％以下のものを挙げることができる。即ち、この吸湿剤の到達湿度がイオン性ポリマーよりも高いと、マトリックスに吸収された水分の閉じ込めが十分でなく、水分の放出等を生じ易くなるが、イオン性ポリマーよりも到達湿度の低い吸湿剤がイオン性ポリマー中に配合されている場合には、低湿度雰囲気でも水分を効果的にトラップすることができるばかりか、イオン性ポリマーに吸収された水分を該吸湿剤により捕捉することができるため、水分の放出を抑制し、高い水分バリア性を発揮させることができる。

また、上記のような吸湿剤は、一般に湿度８０％ＲＨ及び温度３０℃雰囲気下において２０％以上の吸水率（ＪＩＳ Ｋ−７２０９−１９８４）を有しており、無機系及び有機系のものがある。
無機系の吸湿剤としては、ゼオライト、アルミナ、活性炭、モンモリロナイト等の粘土鉱物、シリカゲル、酸化カルシウム、硫酸マグネシウムなどを挙げることができる。
有機系の吸湿剤としては、アニオン系ポリマー若しくはその部分中和物の架橋物を挙げることができる。このアニオン系ポリマーとしては、カルボン酸系単量体（（メタ）アクリル酸や無水マレイン酸など）、スルホン酸系単量体（ハロゲン化ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸など）、ホスホン酸系単量体（ビニルリン酸など）及びこれら単量体の塩類等に代表されるアニオン性単量体の少なくとも１種を、重合或いは他の単量体と共重合させて得られるものを挙げることができる。特に透明性が求められる用途においては、有機系の吸湿剤が有効である。例えば、架橋ポリ（メタ）アクリル酸Ｎａの微細粒子などが代表的な有機系吸湿剤である。

また、上記の吸湿剤の中では、比表面積が大となり、高い吸湿性を示すという観点から粒径が小さな吸湿剤が好ましく（例えば、平均一次粒子径が１００ｎｍ以下、特に８０ｎｍ以下）、特に粒径の小さな有機系ポリマーの吸湿剤が最適である。
即ち、有機系ポリマーの吸湿剤は、イオン性ポリマーのマトリックスに対する分散性が極めて良好であり、均一に分散させることができるばかりか、これを製造するための重合法として乳化重合や懸濁重合などを採用することにより、その粒子形状を微細で且つ揃った球形状とすることができ、これをある程度以上配合することにより、極めて高い透明性を確保することが可能となる。
また、有機系の微細な吸湿剤では、前述した到達湿度が著しく低く、高い吸湿性を示すばかりか、架橋によって膨潤による体積変化も極めて少なくすることができ、従って、体積変化を抑制しながら、環境雰囲気を絶乾状態もしくは絶乾状態に近いところまで湿度を低下させる上で最適である。
このような有機系の吸湿剤の微粒子としては、例えば架橋ポリアクリル酸Ｎａ微粒子（平均粒子径約７０ｎｍ）がコロイド分散液（ｐＨ＝１０．４）の形で東洋紡株式会社よりタフチックＨＵ−８２０Ｅの商品名で市販されている。

本発明において、上記のような吸湿剤の量は、その特性を十分に発揮させ、水分バリア性の著しい向上及び膨潤による寸法変化を有効に抑制させると同時に、無機バリア層ａ１が示すバリア性よりも高い水分バリア性を長期間にわたって確保するという観点から、イオン性ポリマーの種類に応じて設定される。
例えば、カチオン性ポリマー中に上記の吸湿剤を分散させて水分トラップ層Ｂを形成する場合には、一般に、カチオン性ポリマー１００質量部当り、５０質量部以上、特に１００乃至９００質量部の量で存在することが好ましく、更には２００乃至６００重量部の量であることがより好ましい。また、アニオン性ポリマー中に吸湿剤を分散させる場合には、アニオン性ポリマー１００重量部当り、５０重量部以上、特に１００乃至１３００重量部の量で存在することが好ましく、更には１５０乃至１２００重量部の量であることがより好ましい。

また、上記のようなイオン性ポリマーを用いて形成される水分トラップ層Ｂでは、イオン性ポリマーに架橋構造が導入されていることが好適である。即ち、イオン性ポリマー中に架橋構造が導入されていると、水を吸収したとき、イオン性ポリマーの分子が架橋によって互いに拘束されることとなり、膨潤（水分吸収）による体積変化を抑制し、機械的強度や寸法安定性の向上がもたらされる。
このような架橋構造は、水分トラップ層Ｂを形成するための塗布組成物中に架橋剤を配合しておくことにより導入することができる。特にアニオン性ポリマーの場合、カチオン性ポリマーとは異なって、水素結合による水の補足のみなので、吸湿に適した空間の網目構造（架橋構造）をマトリックス中に導入することにより、その吸湿性を大きく高めることができる。

このような架橋構造を導入するための架橋剤は、カチオン性ポリマーに架橋構造を導入する場合と、アニオン性ポリマーに架橋構造を導入する場合とで若干異なっている。

カチオン性ポリマー用の架橋剤としては、例えば特開２０１５−９６３２０号等にも記載されているように、カチオン性基と反応し得る架橋性官能基（例えば、エポキシ基）と、加水分解と脱水縮合を経て架橋構造中にシロキサン構造を形成し得る官能基（例えば、アルコシシリル基）を有している化合物を使用することができ、具体的には、下記式（１）：
Ｘ−ＳｉＲ^１ _ｎ（ＯＲ^２）_３−ｎ （１）
式中、Ｘは、末端にエポキシ基を有する有機基であり、
Ｒ^１及びＲ^２は、それぞれ、メチル基、エチル基、もしくはイソプロピル
基であり、
ｎは、０、１、もしくは２である、
で表されるシラン化合物が好適に使用される。

このようなシラン化合物において、上記式（１）中のエポキシ基を有する有機基Ｘとしては、γ−グリシドキシアルキル基が代表的であり、例えばγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランやγ−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシランが架橋剤として好適に使用される。
また、上記式（１）中のエポキシ基が、エポキシシクロヘキシル基のような脂環式エポキシ基であるものも架橋剤として好適である。例えば、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランのような脂環式エポキシ基を有する化合物を架橋剤として使用した場合には、マトリックスの架橋構造中に、シロキサン構造と共に、脂環構造が導入される。このような脂環構造の導入は、吸湿に適した空間の網目構造を形成するというマトリックスの機能を更に効果的に発揮させることができる。

さらに、上記の架橋構造中に脂環構造を導入するために、複数のエポキシ基と脂環基とを有している化合物、例えば、下記式（２）：
Ｇ−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−Ａ−（Ｃ＝Ｏ）Ｏ−Ｇ （２）
式中、Ｇは、グリシジル基であり、
Ａは、脂肪族環を有する２価の炭化水素基、例えばシクロアルキレン基である、
で表されるジグリシジルエステルを、架橋剤として使用することができる。このようなジグリシジルエステルの代表的なものは、下記の式（２−１）で表される。

即ち、式（２）のジグリシジルエステルは、アルコキシシリル基を有していないが、架橋構造中に脂環構造を導入するため、マトリックス中に吸湿に適した空間の網目構造を形成するという点で効果的である。

上述した架橋剤は、カチオン性ポリマー１００重量部当り、５乃至６０重量部、特に１５乃至５０重量部の量で使用することが望ましく、このような架橋剤の少なくとも７０重量％以上、好ましくは８０重量％以上が、前述した式（１）のシラン化合物であることが望ましい。

また、アニオン性ポリマーに架橋構造を導入するための架橋剤としては、やはり特開２０１５−９６３２０号等に記載されているように、アニオン性ポリマーが有しているイオン性基と反応し得る架橋性官能基（例えばエポキシ基）を２個以上有している化合物を使用することができ、カチオン性マトリックス用のコーティング組成物でも挙げられた式（２）：
Ｇ−Ｏ（Ｃ＝Ｏ）−Ａ−（Ｃ＝Ｏ）Ｏ−Ｇ （２）
式中、Ｇは、グリシジル基であり、
Ａは、脂肪族環を有する２価の炭化水素基、例えばシクロアルキレン基である、
で表されるジグリシジルエステルが好適に使用される。

即ち、上記式（２）のジグリシジルエステルにおいては、エポキシ基がアニオン性基と反応し、２価の基Ａによる脂環構造を含む架橋構造がマトリックス中に形成される。このような脂環構造を含む架橋構造によりされ、膨潤の抑制がもたらされる。
特に、上記のジグリシジルエステルの中でも好適なものは、先にも挙げられており、特に、吸湿に適した空間の網目構造を形成できるという観点から、先の式（２−１）で表されるジグリシジルエステルが最も好適である。

このようなアニオンポリマー用の架橋剤は、アニオン性ポリマー１００重量部当り、１乃至５０重量部、特に１０乃至４０重量部の量で使用することが望ましい。

本発明において、水分トラップ層Ｂの形成は、所定の吸湿性のポリマーや吸湿剤等を有機溶媒に溶解ないし分散させたコーティング組成物を、前述したガスバリア性フィルム基材Ａの表面、特に無機バリア層ａ１の表面に塗布し、加熱して有機溶媒を除去することにより行うことができる。

尚、本発明においては、以下に述べる保護樹脂層Ｃを設けることにより、水分トラップ層の含水量（２３０℃、ＪＩＳ−７２５１に準拠）が０．１５ｇ／ｇ以下、特に０．１ｇ／ｇ以下の範囲に保持されることが好適であり、これにより、水分トラップ層Ｂの性能を十分に発揮させ、優れた水分バリア性を確保することができる。

＜保護樹脂層Ｃ＞
本発明においては、上記のようにして形成された水分トラップ層Ｂの上に、保護樹脂層Ｃが設けられる。
既に述べたように、かかる保護樹脂層Ｃは、４０℃、相対湿度９０％での透湿度が４．０×１０〜５．０×１０^４ｇ／ｍ^２／ｄａｙの範囲、好ましくは、４．０×１０^２〜３．０×１０^４ｇ／ｍ^２／ｄａｙの範囲になければならない。即ち、この透湿度が上記範囲よりも大きいと、後述する乾燥処理後に、乾燥剤シートを引き剥がした後での水分吸収速度が速く、例えば、水分トラップ層Ｂの含水量を上記範囲に設定することが困難となる。また、透湿度が上記範囲よりも小さい場合、水分トラップ層Ｂからの水分の放出が大きく制限されてしまい、この結果、乾燥を効率よく行うことができないばかりか、場合によっては、含水量が上記範囲となるように水分トラップ層Ｂから水分を放出することができなくなってしまうこともある。

上記のような透湿度を確保するためには、保護樹脂層Ｃの形成に使用される樹脂が有する水分バリア性の程度に応じて、所望の透湿度が得られるような厚みに設定される。

例えば、保護樹脂層Ｃは、種々のプラスチック材料により形成することができ、特に水分トラップ層Ｂの表面へのコーティングにより容易に保護樹脂層Ｃを形成することができるという点で、通常、熱可塑性プラスチックにより形成される。また、保護樹脂層Ｃ自体は、水分バリア性或いは酸素バリア性を向上させるものではないため、生産性の観点からその厚みは例えば０．１〜１５μｍ、特に０．３〜１０μｍ程度の範囲にあることが望ましい。
従って、上記のような厚みで前述した透湿度を確保できるという点で、保護樹脂層Ｃを形成するための樹脂は、適度な水分バリア性を示す樹脂が好適に使用され、例えば、（メタ）アクリル酸アルキル等の（メタ）アクリル系樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、オレフィン系樹脂、これら樹脂が適宜共重合により変性されたものなどにより、保護層Ｃを形成することができる。

本発明において、上記の保護樹脂層Ｃは、上記の樹脂を適当な揮発性溶剤に溶解させた塗布液を調製し、この塗布液を水分トラップ層Ｂの表面、即ち、ガスバリア性フィルム基材Ａが設けられている側とは反対側の面にコーティングし、形成された塗布層を加熱して有機溶媒を揮散させることにより容易に形成することができる。

＜乾燥処理＞
本発明において、上記のようにして水分トラップ層Ｂ上に保護層Ｃを形成した後は、水分トラップ層Ｂ中に含まれる水分を放出するために、乾燥処理が行われる。

このような乾燥処理は、通常、得られた積層体１を、適宜、減圧下に加熱することにより行われるが、本発明においては、この乾燥処理が、保護層Ｃ上に乾燥剤シートを貼り付けた状態で行われる。即ち、前述した保護層Ｃは、適度な水分透過性を示すため、乾燥剤シートを保護層Ｃに貼り付けることにより、保護層Ｃを介して、水分トラップ層Ｂに含まれる水分を捕捉することができ、水分トラップ層Ｂ中の水分含量を効率よく、大幅に低減させることが可能となる。
例えば、乾燥剤シートを貼り付けずに乾燥を行うと、乾燥処理後の保管時に水分トラップ層Ｂの吸湿を生じてしまい、実際の使用時に、水分トラップ層Ｂの性能を十分に発揮できなくなってしまうからである。また、減圧下の加熱乾燥のみでは、水分トラップ層Ｂから放出された水分の一部が、再び、水分トラップ層Ｂにトラップされてしまうため、水分トラップ層Ｂの含水量を前述した範囲内とすることが困難となってしまう。

上記の乾燥剤シートとしては、シリカゲル等の乾燥剤が樹脂中に分散されている公知のものを使用することもできるが、より確実に、含水率を前述した範囲に維持するために、図２に示す構造の乾燥剤シート１０を用いることが好適である。

図２において、この乾燥剤シート１０は、吸湿性樹脂層１１と、吸湿性樹脂層１１の一方の面に設けられた表面保護樹脂層１３とを有しており、吸湿性樹脂層１１の他方の表面（表面保護樹脂層１３が設けられていない側の面）が吸湿性機能面１５となっており、この面１５が、前述した保護層Ｃの表面に、引き剥がし可能に貼り付けられる。

係る乾燥剤シート１０において、吸湿性樹脂層１１は、乾燥剤が分散されている樹脂層であり、乾燥剤としては、それ自体公知の無機系或いは有機系の乾燥剤が使用される。
無機系の乾燥剤としては、ゼオライト、アルミナ、活性炭、モンモリロナイト等の粘土鉱物、シリカゲル、酸化カルシウム、酸化バリウム、塩化カルシウム、硫酸マグネシウムなどを挙げることができる。
有機系の乾燥剤としては、アニオン系ポリマー若しくはその部分中和物の架橋物を挙げることができる。このアニオン系ポリマーとしては、カルボン酸系単量体（（メタ）アクリル酸や無水マレイン酸など）、スルホン酸系単量体（ハロゲン化ビニルスルホン酸、スチレンスルホン酸、ビニルスルホン酸など）、ホスホン酸系単量体（ビニルリン酸など）及びこれら単量体の塩類等に代表されるアニオン性単量体の少なくとも１種を、重合或いは他の単量体と共重合させて得られるものを挙げることができる。

本発明においては、水分トラップ層Ｂから放出される水分を効果的に捕捉できるという観点から、ゼオライトやシリカゲル等の物理的吸着により水分を捕捉する乾燥剤よりも、水との反応による化学吸着性を示す乾燥剤、例えば、酸化カルシウムが好適に使用される。

また、上記の乾燥剤は、樹脂中に均一に分散することができ、かつ比表面積が大きいという観点から、その粒径が小さいことが好ましく、例えば、レーザ回折散乱法で測定した体積換算での平均一次粒子径（Ｄ５０）が２０μｍ以下であることが好適であり、通常、マトリックスである樹脂１００質量部当り５〜８０質量部の量で吸湿性樹脂層１１中に分散されていることが好適である。

さらに、上記吸湿性樹脂層１１におけるマトリックスである樹脂としては、特に制限されず、公知の熱可塑性樹脂を使用することができるが、一般的には、後述する表面保護樹脂層１３や保護樹脂層Ｃに対する貼付性或いはコストなどの観点から、オレフィン系樹脂、例えば低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ１−ブテン、ポリ４−メチル−１−ペンテンあるいはエチレン、プロピレン、１−ブテン、４−メチル−１−ペンテン等のα−オレフィン同士のランダムあるいはブロック共重合体、あるいは環状オレフィン共重合体などが好適に使用される。 本発明においては、上記のオレフィン系樹脂の中でも、特に吸湿性が低く、吸湿性樹脂層１１からの水分の放出が有効に防止され、使用前における乾燥剤の失活を防止するという点で、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）、直鎖低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）及びこれらのブレンド物が好適であり、中でも、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）及び直鎖低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）が好ましい。

また、表面保護樹脂層１３は、雰囲気中からの吸湿性樹脂層１１への水分の侵入を防止するための層であり、このような水分バリア性を確保するため、４０℃、９０％ＲＨでの水分透過率が４０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下、特に２０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であることが好適である。即ち、この水分透過率が高いと、乾燥処理を施す前の製造工程や取り回しの段階で、雰囲気中からの水分の侵入により、吸湿性樹脂層１１中の乾燥剤の吸湿性が短時間で損なわれてしまう。

表面保護樹脂層１３を形成する樹脂としては、上記のような水分透過率を確保できるものであれば特に制限されないが、薄い厚みで上記水分透過率を満足させ得るという観点から、吸湿性樹脂層１１の形成に使用されるオレフィン樹脂や、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の熱可塑性ポリエステルが好適であり、より好ましくはオレフィン系樹脂が使用され、吸湿性樹脂層１１との接着性が良好であるという観点から、エチレン系樹脂或いはプロピレン系樹脂が最適である。
上記のような樹脂を用いて表面保護樹脂層１３を形成することにより、例えばその厚みが４０μｍ以下、特に３０μｍ以下で所定の水分透過率を満足させることができる。

上記の説明から理解されるように、乾燥処理に用いる乾燥剤シート１０では、表面保護樹脂層１３によって、雰囲気中からの吸湿樹脂層１１への水分の侵入が防止され、また、吸湿性樹脂層１１の他方の面が吸湿性機能面１５となって、この面１５から侵入する水分が乾燥剤によって捕捉されることとなる。

本発明では、このような乾燥剤シート１３の吸湿性機能面１９を前述した保護層Ｃの表面に貼り付けて、乾燥処理を行い、そのまま保管しておくことにより、水分トラップ層Ｃの含水量を所定の範囲に維持させることができる。
尚、乾燥剤シート１０の保護層Ｃへの貼り付けは、吸湿性機能面１５を形成している樹脂のブロッキング性を利用し、吸湿性機能面１５を直接保護層Ｃの表面に一時的に貼り付けることもできるが、一般的には、粘着剤を用いて貼り付けることが、保管、搬送時等における剥離等の不都合を確実に防止する上で好適である。

このような粘着剤を用いて保護層Ｃに貼り付ける場合、吸湿性機能面１５と保護層Ｃとの間には粘着剤層が形成されるが、この粘着剤層（図２では示されていない）は、吸湿性機能面１５の吸湿性を阻害するものであってはならず、従って、この粘着剤層は、前述した表面保護樹脂層１３よりも水分透過率が高く、例えば４０℃、９０％ＲＨでの水分透過率が４０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以上、特に６０ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以上であることが必要である。

上記の粘着剤としては、（メタ）アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤等の公知の粘着剤を使用することができ、これらの粘着剤により上記のような水分透過率が確保されるように一定厚み以下（例えば、３０μｍ以下）の粘着剤層を形成すればよい。
また、エチレン・酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、軟質ポリオレフィン（ＬＬＤＰＥ）、メタロセンポリオレフィン系エラストマー等も粘着剤として使用することもできる。

また、上記の粘着剤は、この乾燥剤シート１０を貼り付ける保護層Ｃの表面に対する粘着力が０．３Ｎ／２５ｍｍ以下となるように調整されていることが好ましい。このように粘着力を調整しておくことにより、保護層Ｃの表面を損傷させることなく、速やかに乾燥剤シート１０を引き剥がすことができる。
なお、粘着力の調整は、乾燥剤シート１０を貼り付ける保護層Ｃの材質に応じて、粘着剤を形成している高分子中に架橋構造を導入したり、或いは粘着剤中に滑剤等を配合することなどにより行うことができる。

上述した乾燥剤シート１０は、例えば、吸湿性樹脂層１１形成用の乾燥剤含有樹脂組成物と表面保護樹脂層１３形成用の樹脂とを用いて共押出により容易に成形することができ、粘着剤を用いる場合には、上記で形成された吸湿性樹脂層１１の表面に粘着剤をロール塗布し、或いは溶剤含有の粘着剤塗布組成物を塗布し、適宜乾燥すればよい。また、粘着剤として使用する樹脂との３層共押出により成形することもできる。

＜水分バリア性積層体１の使用形態＞
上記のように乾燥剤シート１０を貼り付けての乾燥処理終了後は、通常、この水分バリア性積層体フィルム１を、乾燥剤シート１０が貼り付けられたままの状態でロールに巻き取られて保管される。即ち、ロールに巻き取られた状態では、この水分バリア性積層体１は、乾燥剤シートに１０にサンドイッチされている形態に保持されており、従って、このような保管状態で、水分トラップ層Ｂの吸湿が有効に防止され、水分トラップ層Ｂの含水量を前述した範囲に維持することができる。

このような水分バリア性積層体１は、乾燥剤シート１０を引き剥がした後、使用に供されることとなるが、このときに、本発明の優れた効果が発現する。即ち、本発明の水分バリア性積層体１では、水分トラップ層Ｂの表面に保護樹脂層Ｃが設けられており、この保護樹脂層Ｃが適度な水分バリア性を示すため、経時による水分トラップ層Ｂの含水量の増大が抑制されており、例えば３０秒間の暴露に際して、水分トラップ層Ｂの含水量を、前述した範囲（０．１５ｇ／ｇ以下、特に０．１ｇ／ｇ以下）に保持される。即ち、この時間内に、各種のデバイスの内部に水分トラップ層Ｂが保護樹脂層Ｃを介して対面するように配置することにより、水分トラップ層Ｂによる水分捕捉能を最大限に発揮させ、長期にわたって、優れた水分バリア性を発現することができるわけである。
また、この水分バリア性積層体１に他の水分バリア性積層シートを積層することにより、その水分バリア性をより高めることができるが、このような積層作業の間における水分トラップ層Ｂの吸湿が、保護樹脂層Ｃにより有効に防止することができる。即ち、かかる積層作業は、通常、乾燥剤シート１０を引き剥がした後、この保護樹脂層Ｃの表面に、アクリル系、エポキシ系或いはウレタン系等のドライラミネート接着剤をロールコートし、接着剤の塗布面に、他の水分バリア性積層体１のガスバリア性フィルム基材Ａを接着することにより、積層作業を繰り返し行うことにより、水分バリア性積層シート１の多層構造体を得ることができるが、このような積層作業中での水分トラップ層Ｂの吸湿を有効に防止し、水分トラップ層Ｂの含水量の増大を有効に回避することができる。即ち、極端に速いライン速度で積層作業を行わずとも、水分トラップ層Ｂの吸湿を回避することができ、これは、本発明の大きな利点である。

また、この水分トラップ層Ｂは、上記の乾燥剤シート１０による乾燥処理の他に、真空加熱乾燥やトラップ層Ｂを塗布形成する際のオーブン焼き付けによっても含水量を低減できるが、その後の含水量の増加も保護樹脂層Ｃにより有効に防止することができる。

本発明の水分バリア性積層体１は、水分トラップ層Ｂによる水分バリア性を最大限に発揮させることができるため、それ単独で、或いは上述した多層構造体として、例えば公知の感圧粘着剤などを用いて各種のデバイスに貼り付けることにより、封止材として使用され、デバイス内部への水分の侵入を有効に回避し、デバイス内部を乾燥状態に維持することができ、これにより、水分による電荷のリークなどの不都合を有効に防止することができる。

このようなデバイスとしては、特に制限されず、有機ＥＬ素子、太陽電池、タッチパネル、電子パネルなど、特に水分による電荷のリークを嫌う有機デバイスなどを例示することができる。

また、上記のようなデバイスは、何れも高い透明性が要求され、デバイス内の回路基板には、透明導電膜が設けられるが、本発明の水分バリア性積層体１では、前述した乾燥処理を行い、乾燥剤シート１０を引き剥がした後、保護樹脂層Ｃの表面に透明導電膜を設けることができ、このような透明導電膜を設けた水分バリア性積層体を用いて、各種デバイスの回路基板を形成することもできる。

尚、上記の透明導電膜は、例えば、ＩＴＯ（酸化錫ドープ酸化インジウム）やＧａやＡｌなどをドープした酸化亜鉛などからなるものであり、保護樹脂層Ｃの表面に蒸着により設けることができる。即ち、このような透明導電膜を設ける工程においても、本発明では、その間の水分トラップ層Ｂの吸湿を有効に防止することができる。

また、本発明の水分バリア性積層体を透明性が要求されるデバイスに装着して使用する場合、保護樹脂層Ｃには、屈折率を調整するための金属酸化物を配合しておき、各種デバイスの基板が有する屈折率（例えば透明導電膜の屈折率）と同程度の屈折率を確保することにより、この水分バリア性積層体１による光取り出し効率の低下を有効に回避することができる。

このような屈折率調整用の金属酸化物としては、特に制限されないが、一般に、コスト等の観点から、シリカ、アルミナ、チタニアまたはジルコニアが使用される。このような金属酸化物は、通常、平均粒径（レーザ回折散乱法による体積換算の平均粒径Ｄ_５０）が５〜１００ｎｍ程度の微粒子の形で保護樹脂層Ｃに配合される。その配合量は、通常、樹脂１００質量部当り１００〜４００質量部程度である。

本発明の水分バリア性積層体の優れた性能を、以下の実験例により説明する。

＜乾燥剤シートの作製＞
表面保護樹脂層として、ＬＤＰＥ（住友化学株式会社製、スミカセン）を用い、表面保護樹脂層用の押出機に投入した。吸湿性樹脂層として、乾燥剤として酸化カルシウム含有ＬＬＤＰＥマスターバッチ（近江化学工業株式会社製、Ｂｅｌｌ―ＣＭＬ）と乾燥剤分散層として熱可塑性樹脂であるＬＤＰＥ（住友化学株式会社製、スミカセン）を樹脂成分７５重量部に対して吸湿機能成分（ここでは酸化カルシウム）が２５重量部になるよう混合し、吸湿性樹脂層用の押出機に投入した。表面保護樹脂層及び吸湿性樹脂層の共押出により、ＬＬＤＰＥ（表面保護層、１５μｍ）／ＣａＯ含有ＬＬＤＰＥ層（吸湿性樹脂層、３０μｍ）の２層からなるフィルムを成形した。

＜水分バリア性積層体の乾燥処理＞
後述する実施例及び比較例で作製した水分バリア性積層体及び上記乾燥剤シートをそれぞれ５ｃｍ×５ｃｍの大きさにカットし、水分バリア性積層体の保護樹脂層Ｃと上記乾燥剤シートの吸湿性樹脂層が密着するよう１枚ずつ重ね合わせ、アルミ袋に封入、脱気し、７０℃のオーブン内に７日間静置し、乾燥処理を施した。

＜水分バリア性積層体の含水分評価１＞
後述する実施例及び比較例で作製した水分バリア性積層体に、前記乾燥処理を施した後水分バリア性積層体の含水分をカールフィッシャー法により評価した。・・・（１）
また、リファレンスとして、水分トラップ層を有さない積層体を作製し、同様の乾燥処理を施した後、積層体の含水分をカールフィッシャー法により評価した。・・・（２）
下記の式より、乾燥処理後の水分トラップ層の含水量（Ａ）を算出し、水分トラップ層の含水量が０．０４［ｇ／ｇ］未満のものを◎、０．０４［ｇ／ｇ］以上〜０．１［ｇ／ｇ］未満のものを○、０．１［ｇ／ｇ］以上のものを×とした。なお、乾燥処理前の水分トラップ層の含水量は０．２５［ｇ／ｇ］であった。
水分トラップ層の含水量（Ａ）［ｇ／ｇ］＝（Ｘ−Ｙ）／Ｚ
Ｘは、水分バリア性積層体の検出水分量（１）
Ｙは、リファレンスの検出水分量（２）
Ｚは、水分トラップ層の重量

＜水分バリア積層体の含水分評価２＞
後述する実施例及び比較例で作製した水分バリア性積層体を、前記含水分評価１の方法で乾燥処理を施し、水分トラップ層の含水量を低減した水分バリア性積層体を作製した。
別途、バリアフィルム積層体として、ケイ素酸化物層（無機バリア層）を有する市販バリアフィルム（凸版印刷、ＧＬ−ＲＤ、基材：ＰＥＴ（１２μｍ））のＰＥＴ面同士を厚さ１．８μｍのウレタン系接着剤（三井化学社製Ａ−９８０／Ａ−１９）を用いてドライラミネートしたものを作製した。次いで、前記水分バリア性積層体から前記乾燥剤シートを２３℃４０％ＲＨの環境にて剥離し３０秒間暴露した後、ただちに前記バリアフィルム積層体を厚さ１．８μｍのウレタン系接着剤（三井化学社製、Ａ−９８０／Ａ−１９）を介して、前記水分バリア性積層体の水分トラップ層が形成されている面と前記バリアフィルム積層体とをドライラミネートし、接着剤を硬化させることで多層水分バリア性積層体を得た。
得られた積層体について、含水分をカールフィッシャー法により評価した。・・・（３）
また、リファレンスとして、水分トラップ層を有さない多層水分バリア性積層体を作製し、同様に積層体の含水分をカールフィッシャー法により評価した。・・・（４）
下記の式より、ラミネート工程中での水分トラップ層の含水量増加分（Ｂ）を算出し、前記含水分評価１で算出した水分トラップ層の含水量（Ａ）からの増加含水量が０．１０［ｇ／ｇ］未満のものを◎、０．１０［ｇ／ｇ］以上〜０．１５［ｇ／ｇ］未満のものを○、０．１５［ｇ／ｇ］以上のものを×とした。
水分トラップ層の含水量増加分（Ｂ）［ｇ／ｇ］＝［（Ａ−Ｂ）／Ｃ］−Ｄ
Ａは、多層水分バリア性積層体の検出水分量（３）
Ｂは、リファレンスの検出水分量（４）
Ｃは、水分トラップ層の重量
Ｄは、評価１で算出された水分トラップ層の含水量（Ａ）

＜水蒸気透過度測定＞ 水分バリア性多層構造体を、高感度水蒸気透過度測定装置（ｔｅｃｈｎｏｌｏｘ社製「デルタパーム」）を用い、６０℃９０％ＲＨ環境下における水蒸気透過度を測定し、トラップ性能が失活するまでの時間の評価を行った。トラップ層が失活し、バリア性が初期値の１０倍の値に到達する時間が１０００時間以上のものを○、１０００時間未満のものを×とした。

＜カチオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ１）の調製＞
カチオン性ポリマーとしてポリアリルアミン（ニットーボーメディカル製、ＰＡＡ−１５Ｃ、水溶液品、固形分１５％）を、固形分５重量％になるように水で希釈し、ポリマー溶液を得た。
一方、架橋剤として、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランを用い、５重量％になるように水に溶かして架橋剤溶液を調製した。
次いで、ポリアリルアミン１００重量部に対してγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランが２０重量部になるように、ポリマー溶液と架橋剤溶液とを混合し、さらに、この混合溶液に、吸湿剤として、ポリアクリル酸Ｎａの架橋物（東洋紡製、タフチックＨＵ−８２０Ｅ、水分散品、固形分１３％）を、ポリアリルアミンに対して４２０重量部になるように加え、更に固形分が５％になるよう水で調整した上で良く撹拌し、水分トラップ層用のコーティング液（Ｂ１）を調製した。

＜アニオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ２）の調製＞
アニオン性ポリマーとしてポリアクリル酸（日本純薬製、ＡＣ−１０ＬＰ）を用い、水／アセトン混合溶媒（重量比で８０／２０）に、固形分が５重量％になるように溶解し、水酸化ナトリウムをポリアクリル酸の中和率が８０％になるように加え、ポリマー溶液を得た。
このポリマー溶液に、架橋剤として１，２―シクロヘキサンジカルボン酸ジグリシジルが、ポリアクリル酸部分中和物に対して２０重量部になるように配合し、次いで密着剤として、β−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシランがポリアクリル酸部分中和物に対して３重量部になるように配合し、さらに、粒状吸湿剤（東洋紡製、タフチックＨＵ−８２０Ｅ、水分散品、固形分１３％）が、ポリアクリル酸部分中和物に対して４３１重量部になるように配合し、更に全体の固形分が５重量％になるよう水／アセトン混合溶媒（重量比で８０／２０）で調整した上で良く撹拌し、水分トラップ層用のコーティング液（Ｂ２）を調製した。

＜実施例１＞
アクリル樹脂（荒川化学工業社製、アラコートＤＡ−１０５、固形分３５％）を用意した。
この主ポリマー液に、硬化剤としてポリイソシアネート（荒川化学工業社製、アラコートＣＬ−１００Ａ、固形分４０％）を主ポリマー溶液の固形分１００重量部に対して４０重量部になるように配合し、２―ブタノンで希釈して固形分２０％の保護樹脂層コーティング液（Ｃ）を調整した。

ケイ素酸化物層（無機バリア層）を有する市販バリアフィルム（凸版印刷、ＧＬ−ＲＤ、基材：ＰＥＴ（１２μｍ））のＰＥＴ面同士を厚さ１．８μｍのウレタン系接着剤（三井化学社製、Ａ９８０／Ａ１９）を用いてドライラミネートしたバリアフィルム積層体を用意した。
このバリアフィルム積層体の保護層（Ｄ）上に、上記カチオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ１）をバーコーターにより塗工し、ピーク温度１００℃、ピーク温度保持時間３分の条件で熱処理し、厚み４μｍの水分トラップ層（Ｂ）を形成し、コーティングフィルムＢを得た。
上記保護樹脂層コーティング液Ｃを、前記で得られたコーティングフィルムＢの水分トラップ層Ｂ上に、水分トラップ層形成後速やかに、バーコーターにより塗布した。塗布後の上記フィルムをボックス型の電気オーブンにより、ピーク温度１２０℃、ピーク温度保持時間１０秒の条件で熱処理し、厚み１μｍの保護樹脂層Ｃを形成し、水分バリア性積層体を得た。

＜実施例２＞
保護樹脂層Ｃの厚みを０．５μｍにしたこと以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体、並びに水分バリア性積層構造体を作製した。

＜実施例３＞
保護樹脂層Ｃの厚みを３．０μｍにしたこと以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体、並びに水分バリア性積層構造体を作製した。

＜実施例４＞
保護樹脂層Ｃの厚みを１５．０μｍにしたこと以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体、並びに水分バリア性積層構造体を作製した。

＜実施例５＞
アニオン性ポリマーを用いた水分トラップ層コーティング液（Ｂ２）を使用したこと以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体を作製した。

＜実施例６＞
保護樹脂層Ｃを、主ポリマーとしてポリエステル樹脂（東洋紡社製、バイロンＧＫ８８０）を固形分２０％となるよう２−ブタノンを用いて溶解し、硬化剤としてポリイソシアネート（三井化学「Ｄ−１１０Ｎ」、固形分７５％）を主ポリマーの固形分に対し１０重量部になるよう添加したものを用いること以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体を作製した。

＜実施例７＞
保護樹脂層の主ポリマーをウレタン樹脂（荒川化学工業社製、ユリアーノ５３１９）にしたこと以外は、実施例５と同様の方法で水分バリア積層体を作製した。

＜実施例８＞
実施例１において得られたコーティングフィルムＢの水分トラップ層Ｂ上に、水分トラップ層形成後速やかに、厚さ１．８μｍのウレタン系接着剤（三井化学社製、Ａ９８０／Ａ１９）を介して、厚さ１２μｍのＰＥＴフィルム（東レ社製、ルミラー）をドライラミネートし、水分バリア性積層体を得た。

＜比較例１＞
保護樹脂層Ｃを設けないこと以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体を作製した。

＜比較例２＞
保護樹脂層Ｃの厚みを０．３μｍにしたこと以外は、実施例１と同様の方法で水分バリア積層体、並びに水分バリア性積層構造体を作製した。

＜比較例３＞
実施例１において得られたコーティングフィルムＢの水分トラップ層Ｂ上に、水分トラップ層形成後速やかに、厚さ１．８μｍのウレタン系接着剤（三井化学社製、Ａ９８０／Ａ１９）を介して、厚さ１３μｍの市販バリアフィルム（凸版印刷社製、ＧＬフィルム）をバリア層が内側になるようにドライラミネートし、水分バリア性積層体を得た。

上記実施例及び比較例での評価結果を下記の表１に示す。

１：水分バリア性積層体
Ａ：ガスバリア性フィルム基材
ａ１：無機バリア層
ａ２：フィルム基材層
Ｂ：水分トラップ層
Ｃ：保護樹脂層
９：有機層
１０：乾燥剤シート
１１：吸湿性樹脂層
１３：表面保護樹脂層
１５：吸湿性機能面

Claims (11)

1. ガスバリア層を有するガスバリア性フィルム基材Ａと、該フィルム基材Ａを下地として形成された水分トラップ層Ｂとを含み、該水分トラップ層Ｂの該フィルム基材Ａとは反対側の表面には、４０℃、９０％ＲＨでの透湿度が４．０×１０〜５．０×１０^４ｇ／ｍ^２／ｄａｙの範囲にある保護樹脂層Ｃが積層されていることを特徴とする水分バリア性積層体。
2. 前記水分トラップ層Ｂは、ＪＩＳ−７２５１に準拠して２３０℃で測定した含水量が０．１５ｇ／ｇ以下に保持されている請求項１に記載の水分バリア性積層体。
3. 前記水分トラップ層Ｂが、吸湿性のポリマーを含有している請求項１または２に記載の水分バリア性積層体。
4. 前記水分トラップ層Ｂが、イオン性ポリマーからなる吸湿性マトリックス中に、さらに該マトリックスよりも到達湿度が低湿度である吸湿剤が分散された構造を有している請求項１〜３の何れかに記載の水分バリア性積層体。
5. 前記水分トラップ層Ｂ中に含まれるイオン性ポリマーが、カチオン性ポリマーである請求項１〜４の何れかに記載の水分バリア性積層体。
6. 前記保護樹脂層Ｃが、アクリル樹脂、ウレタン樹脂またはポリエステル樹脂により形成されている請求項１〜５に記載の水分バリア性積層体。
7. 前記保護樹脂層Ｃが、０．１〜１５μｍの厚みを有している請求項１〜６の何れかに記載の水分バリア性積層体。
8. 前記保護樹脂層Ｃには、屈折率調整剤としての金属酸化物粒子が配合されている請求項１〜７の何れかに記載の水分バリア性積層体。
9. 前金属酸化物が、シリカ、アルミナ、チタニアまたはジルコニアである請求項８に記載の水分バリア性積層体。
10. 前記保護層（Ｃ）の上に透明導電膜が設けられている請求項８または９に記載の水分バリア性積層体。
11. 請求項１〜１０の何れかに記載の水分バリア性積層体からなる電子デバイス用部材。