JP2019164020A - 液膜厚さ測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】繰り返し液膜厚さを測定しても自然な大気腐食環境を維持できる液膜厚さ測定装置を提供する。【解決手段】液膜厚さ測定装置１は、導電性部材２と、プローブ３と、抵抗測定部４とを含む。プローブ３は、導線６と、撥水層７とを含む。導線６は、導電性部材２に対向し導電性部材２と電気的に接続される。撥水層７は、導線６先端の側部に定着して設けられる。プローブ３は、導電性部材２に対して近接離間方向に往復移動可能である。抵抗測定部４は、導線６と導電性部材２との間の電気抵抗を測定する。【選択図】図１

Description

本発明は、液膜厚さ測定装置に関する。

金属は、様々な機械製品、構造部品等に使用される。金属は大気にさらされると、腐食することが知られている（以下、大気腐食ともいう）。金属が腐食すると強度等の様々な機械特性が劣化する。金属の機械特性が劣化すると製品等の性能も劣化する。ここで、金属の腐食速度は、金属表面に付着した液膜の厚さ等の影響を受けることが知られている。したがって、金属の腐食環境を把握するために、金属表面に付着した液膜厚さを知ることは重要である。

液膜厚さを測定する方法は、（１）観察法、（２）赤外線反射吸収法、（３）反射光法等がある。（１）観察法は、試料面上に形成した液膜を水平方向からＣＣＤカメラ等で観察し、液膜厚さを測定する。（２）赤外線反射吸収法は、赤外光が水分子に吸収されやすいという特性を利用する。赤外光を液膜に照射し、試料面から反射した赤外光を受光し、液膜に吸収された赤外光の量から液膜厚さを測定する。（３）反射光法は、レーザ、Ｘ線等の直線性を有する光を液膜に照射し、試料面からの反射光を受光する。照射した光と受光した反射光との光度変化から液膜厚さを測定する。

しかしながら、観察法では、測定精度がＣＣＤカメラの解像度に依存し、たとえば５０μｍ以下の薄い液膜厚さを測定することは困難である。赤外線反射吸収法及び反射光法では、観察法等による液膜厚さ測定結果を検量線として用いなければ、精度の高い液膜厚さの測定は困難である。また、赤外線反射吸収法及び反射光法（光学式測定法）では、赤外線やレーザ等が試料に向けて照射されるため、試料や液膜が赤外線やレーザ等と光電気化学反応を起こし、試料の特性が変化することがある。金属の大気腐食の進行を調査するためには、測定対象の金属（試料）の特性は変化しない方が望ましい。

これに対し、その他の液膜厚さを測定する方法として、接触法がある。接触法は、導電性を有する試料面上に液膜を形成し、プローブを上方から降下させ液膜に接触させる。プローブが液膜に接触すると試料とプローブとの間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗の変化を検出し、プローブの移動距離と電気抵抗値の変化から液膜厚さを測定する。このような接触法によれば、上述の観察法及び光学式測定法での問題は生じない。

接触法による液膜厚さの測定装置はたとえば、特開２００６−３１７３２３号公報（特許文献１）に開示されている。特許文献１に記載されている液膜厚さ測定では、固定電極上に水膜を形成する。固定電極と対向する移動電極を降下させ、水膜を経て固定電極と接触させる。移動電極が固定電極に接触した位置をメモリが記憶する。その後、移動電極を一度上昇させる。そして、再度、移動電極を降下させ、移動電極が固定電極上の水膜と接触すると、移動電極と固定電極との間の電気抵抗が変化する。この電気抵抗が変化したときの移動電極の位置をメモリが記憶し、先に記憶した移動電極と固定電極とが接触した位置との関係から水膜の厚さを測定する。

特開２００６−３１７３２３号公報

特許文献１の測定装置では、水膜の厚さを測定するために、一度移動電極を固定電極と接触させる必要がある。そのため、移動電極を上昇させたとき、移動電極が水膜から液を奪い、一部の液が移動電極に付着する。すなわち、水膜の量（膜厚）が変化する。特許文献１では、測定対象とする地面上や道路上等の水膜の厚さが１ｍｍ以上と大きいため、移動電極に付着する液量が測定に大きく影響することはない。

しかしながら、金属の大気腐食は金属表面の液膜の厚さが数十μｍであるときに顕著に進行するため、金属の大気腐食を調査する際には、数十μｍの薄い液膜厚さを測定することが求められる。このような数十μｍの厚さの液膜の体積は、地面上や道路上の水膜よりもはるかに小さい。そのため薄い液膜では、移動電極に奪われる液量が膜厚測定に及ぼす影響は大きい。

また、金属の大気腐食の進行は時間に依存する。そのため、大気腐食を調査する際には、液膜の厚さの変化を長時間にわたって把握する必要がある。すなわち、大気腐食を調査するには、液膜の厚さを、時間をおいて複数回測定する必要がある。特許文献１の測定装置では、測定の度に移動電極により測定対象の液膜から液が奪われるため、測定毎に液膜の体積が変化する。現実の金属の大気腐食環境では、液の蒸発により液膜の体積が変化し、急激に液膜の体積が変化することはない。すなわち、特許文献１の測定装置では、自然な大気腐食環境を維持することが困難である。

本発明の目的は、繰り返し液膜厚さを測定しても、膜厚に大きな変化を加えることがなく、自然な大気腐食環境を維持できる液膜厚さ測定装置を提供することである。

本発明の液膜厚さ測定装置は、導電性部材と、プローブと、抵抗測定部とを含む。プローブは、導線と、撥水層とを含む。導線は、導電性部材に対向し導電性部材と電気的に接続される。撥水層は、導線先端の側部に定着して設けられる。プローブは、導電性部材に対して近接離間方向に往復移動可能である。抵抗測定部は、導線と導電性部材との間の電気抵抗を測定する。

本発明による液膜厚さ測定装置は、繰り返し液膜厚さを測定しても自然な大気腐食環境を維持できる。

図１は、液膜厚さ測定装置を示す図である。 図２は、プローブの一部を示す断面図である。 図３は、他の実施形態のプローブの一部を示す断面図である。 図４は、撥水層を含まないプローブを液膜に接触させた場合の模式図である。 図５は、撥水層を含まないプローブを液膜から離した場合の模式図である。 図６は、撥水層を含むプローブを液膜に接触させた場合の模式図である。 図７は、撥水層を含むプローブを液膜から離した場合の模式図である。

接触法による液膜厚さの測定では、導電性部材上に形成された液膜とプローブ先端（先端面を含む）とが接触することで液膜厚さが測定される。導電性部材は腐食環境を調査する対象となる金属である。金属の大気腐食は時間とともに進行するため、液膜厚さを測定した後、プローブを一度液膜から離し、放置する必要がある。プローブ先端を液膜に接触させるとプローブに液膜が濡れ上がる（浸漬濡れ性）。この状態でプローブを液膜から離すと、液膜から一部の液がプローブに付着して奪われる。そのため、測定毎に導電性部材上に形成された液膜の体積（厚さ）が変化し、自然な大気腐食環境が維持されにくい。

本実施形態の液膜厚さ測定装置は、導電性部材と、プローブと、抵抗測定部とを含む。プローブは、導線と、撥水層とを含む。導線は、導電性部材に対向し導電性部材と電気的に接続される。撥水層は、導線先端の側部に定着して設けられ、導線の外周面の少なくとも一部を覆う。プローブは、導電性部材に対して近接離間方向に往復移動可能である。抵抗測定部は、導線と導電性部材との間の電気抵抗を測定する。

プローブの液膜との接触部が撥水コーティングされていることにより、プローブ先端を液膜に接触させた後に離しても、プローブに液膜の液が付着しにくく、測定毎に液膜の厚さが大きく変化しない。したがって、本実施形態の液膜厚さ測定装置を用いて腐食環境を調査する期間を通じて自然な大気腐食環境を維持することができる。

導線の延在方向に垂直な断面形状は円であり、導線の半径に対する撥水層の厚さの比は、０．２以上、０．５以下であるのが好ましい。

撥水層の厚さが大きすぎれば、撥水層の形成に長時間を費やすことになる。また、撥水層の厚さが小さすぎれば、撥水層が剥がれたり、十分な撥水効果を発揮しにくくなる。以上のことから、本実施形態での撥水層の厚さを規定している。

撥水層はたとえば、フッ素樹脂によるコーティング層である。また、導線はたとえば、白金線である。

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳しく説明する。図中同一又は相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

図１は、液膜厚さ測定装置を示す図である。液膜厚さ測定装置１は、導電性部材２と、プローブ３と、抵抗測定部４と、移動装置１１とを含む。

［導電性部材］
導電性部材２は、腐食環境を測定する部材である。この導電性部材２の表面に液膜１０を形成し、液膜１０によって引き起こされる導電性部材２の大気腐食を調査する。導電性部材２の寸法は、測定対象に応じて適宜設定される。具体的には、測定対象となる液膜１０の液径よりも小さい寸法となるように設定される。導電性部材２はたとえば、鋼等の金属である。後述するように、液膜厚さ測定装置１は、導電性部材２とプローブ３の導線との間の電気抵抗を測定することで液膜厚さを測定する。

導電性部材２は、非導電性の樹脂部材５に埋め込まれる。導電性部材２の表面（上面）は、樹脂部材５から表出する。導電性部材２の上面及び樹脂部材５の上面は、境界部分において滑らかにつながる。導電性部材２の表面及び樹脂部材５の表面に液膜１０を形成するためである。たとえば、導電性部材２の表面及び樹脂部材５の表面は８００番のやすりで湿式研磨されることで、これらの境界が滑らかになり、同一平面を形成する。導電性部材２及び樹脂部材５は、図示せぬ土台等に固定される。

［プローブ］
プローブ３は、導電性部材２の鉛直上方に配置される。プローブ３は、導電性部材２に対して鉛直方向に移動可能であり、導電性部材２に対して近接離間方向に往復移動可能である。液膜厚さを測定する際、プローブ３を導電性部材２に対して降下させ、プローブ３が導電性部材２の表面上に形成された液膜１０と接触するとプローブ３と導電性部材２との間の電気抵抗が変化する。このときのプローブ３の降下量に基づいて、液膜厚さを測定する。

図２は、プローブの一部を示す断面図である。図２は、プローブの延在方向に沿った断面を示す。プローブ３は、導線６と、撥水層７とを含む。導線６はたとえば、白金線である。撥水層７はたとえば、フッ素樹脂コーティング層であり、導線６の一部又は全部をコーティングする。

導線６は、先端面８と、側面９とを含む。たとえば、導線６の断面が円形である場合、先端面８は導線６の一方の端面（下端面）であり、側面９は円柱形状の導線の外周面である。先端面８は、導電性部材２の表面と対向する。導線６は、導電性部材２と電気的に接続されている（図１の一点鎖線参照）。導線６と導電性部材２との接続は周知の方法で接続すればよい。さらに、導線６と導電性部材２とは後述する抵抗測定部４に電気的に接続される。

撥水層７は、撥水性を有する材料からなる。撥水層７は、少なくとも導線６の先端側部に定着して設けられ、外周面（側面９）を覆う。導線６の先端側部とは、導線６の先端面８から導線６の延在方向に所定の距離までの側面９の領域を意味する。撥水層７は、プローブ３を液膜１０に接触させた際、液膜１０の一部の液がプローブ３に付着し、奪うことを抑制する。したがって、撥水層７は、少なくともプローブ３の先端から液膜１０の液が付着する（濡れ上がる）領域まで設けられる。液が濡れ上がる領域は、液膜１０の組成、量、プローブ３の大きさ等の測定条件により様々である。したがって、撥水層７が設けられる領域は、導線６の先端面８から測定条件に対応した所定の距離まで設けられる。なお、プローブ３の浸漬濡れ性を低くするため、撥水層７は導線６の周方向全域にわたって覆うのが好ましい。

たとえば、液膜が水であり、液膜厚さが１ｍｍ以下、プローブ３（撥水層７）の直径が０．１ｍｍとすれば、撥水層７を設けるべき所定の距離は約５ｍｍである。すなわち、撥水層７は導線６の先端面８から５ｍｍまでの側面９に設けられる。ただし、撥水層７が設けられる所定の距離は、撥水層７が設けられる必要がある最低限の距離である。したがって、先端面８から所定の距離を超えて側面９に撥水層７が設けられてもよい。

導線６の断面が円形の場合、導線６の直径に対する撥水層７の厚さの比は、特に限定されない。撥水層７の厚さが小さすぎれば、撥水層７が剥がれたり、十分な撥水効果を発揮しにくくなる。後述する実施例で示すように、導線６の半径に対する撥水層７の厚さの比が、０．２以上であれば、複数回液膜厚さを測定できる。一方、撥水層７の厚さが大きすぎれば、撥水層７の形成に時間を要し、好ましくない。したがって、導線６の半径に対する撥水層７の厚さの比は、０．５以下であるのが好ましい。なお、撥水層７の厚さとは円形断面の導線６の側面９に設けられた中空円形断面の撥水層７の外径から導線６の直径を差し引いた値を２で割った値を意味する。

撥水層７はたとえば、液化した撥水性材料（たとえばフッ素樹脂）に導線６を浸漬させることで設けられる。導線６を撥水性材料に浸漬させた後、乾燥させれば、導線６に撥水性材料が定着し、撥水層７が形成される。このように浸漬により撥水層７を形成することで、導線６の側面９に一様な厚さの撥水層７が形成されやすくなる。導線６の先端に撥水層７を形成した後、先端をやすりで削る、または切断することで導線６の先端を露出して導電性を担保した接触面とする加工を施す。このようにして、導線６の先端側部に撥水層７が設けられる。

導線６の先端面８と撥水層７の先端面は同一平面であるのが望ましい。しかしながら、本実施形態の液膜厚さ測定装置１は、導線６の先端面８と撥水層７の先端面とが同一平面でない場合を排除するものではない。上述のような導線６の先端の加工の際、導線６の先端面８と撥水層７の先端面を完全に同一平面に仕上げることは困難であるからである。したがって、導線６の先端面８は撥水層７の先端面から加工精度の分、僅かに突出していてもよい。

図３は、他の実施形態のプローブの一部を示す断面図である。導線６の先端面８は、導電性部材２の表面と平行でなくてもよい。たとえば導線６の先端面８を加工する際に、斜めに切削してもよいし、尖端状に切削してもよい。また、傾斜面として形成する場合は、導線６の先端面８の一部（上方側）に撥水層７を残存させてもよい。

続いて、撥水層７が導線６の側面９を覆うことの効果を説明する。

図４は、撥水層を含まないプローブを液膜に接触させた場合の模式図である。プローブ１０３が撥水層を含まない、すなわち導線１０６のみを含むプローブ１０３を液膜１１０に接触させる。撥水層を含まないプローブ１０３は、浸漬濡れ性が高いため、液膜１１０の液が導線１０６の側面に濡れ上がる。

図５は、撥水層を含まないプローブを液膜から離した場合の模式図である。液膜１１０に接触させた撥水層を含まないプローブ１０３を引き上げると、このプローブ１０３は浸漬濡れ性が高いため、液膜１１０の一部の液滴が導線１０６に付着する。そのため、導電性部材１０２の表面上に形成された液膜１１０の体積が、プローブ１０３に奪われた液の分、減少する（破線参照）。すなわち、導電性部材１０２の表面上に形成された液膜１１０の厚さが急激に変化する。金属の大気腐食は、液膜厚さが数十μｍである薄い場合に顕著に進行する。薄い液膜において液の一部が奪われる場合、厚い液膜において同量の液が奪われる場合と比べて液膜厚さの変化割合が大きい。そして、現実に外気に曝された金属が大気腐食する場合、その金属表面の薄い液膜の液膜厚さが急激に変化することはない。現実には、蒸発等によって液膜の厚さは徐々に変化するからである。すなわち、液膜厚さ測定の際、プローブに液膜の一部の液が奪われると、自然な大気腐食の進行が妨げられ、正確な大気腐食に関する情報が得られにくくなる。

図６は、撥水層を含むプローブを液膜に接触させた場合の模式図である。導線６を覆う撥水層７を含むプローブ３を液膜１０に接触させる。撥水層７を含むプローブ３は、浸漬濡れ性が低いため、液膜１０の液が導線の側面に濡れ上がりにくい。

図７は、撥水層を含むプローブを液膜から離した場合の模式図である。液膜１０に接触させたプローブ３を引き上げる際、このプローブ３は浸漬濡れ性が低いことから、液滴が付着しにくい。そのため、導電性部材２の表面上に形成された液膜１０の体積が維持される。すなわち、プローブ３を用いて液膜厚さを測定した前後で大気腐食を把握する対象の導電性部材２の表面上に形成された液膜１０の厚さが変化しにくい。したがって、測定毎に自然な大気腐食環境を維持することができる。特に、液膜厚さを繰り返し測定する際に、本実施形態の液膜厚さ測定装置１は顕著な効果を奏する。

なお、図示はしないが、導線６、導電性部材２及び抵抗測定部４を含む電気回路上には、この回路に電気を流す電源が設けられる。

［抵抗測定部］
抵抗測定部４は導線６と導電性部材２との間の電気抵抗を測定する。抵抗測定部４はたとえば、電流計及び電圧計を含む。導電性部材２とプローブ３の導線６とを電気的に接続し、電気回路を形成する。この電気回路に抵抗測定部４を設けることで、導電性部材２とプローブ３（導線６）との間の電気抵抗を測定できる。プローブ３の先端が液膜に接触していない場合、プローブ３と導電性部材２との間は空気であるため、電気抵抗が高い。一方、プローブ３の先端が液膜に接触した場合、プローブ３と導電性部材２との間は液膜であるため、電気抵抗が低い。したがって、プローブ３と導電性部材２との間の電気抵抗を測定すれば、プローブ３の先端が液膜に接触したことを把握することができる。

［移動装置］
液膜厚さ測定装置１は、移動装置１１を含む。移動装置１１は、プローブ３を鉛直方向に移動させて、プローブ３を導電性部材２に対して近接方向または離間方向に往復移動させ、これらの間隔を制御する。すなわち、移動装置１１は、プローブ３を導電性部材２に対して相対的に移動させることが可能である。これにより、プローブ３を導電性部材２の表面上に形成された液膜１０に接触させたり、離したりすることができる。

移動装置１１はまた、プローブ３の移動距離を測定することで、プローブ３と導電性部材２との距離を計測する。これにより、プローブ３の先端が液膜１０に接触した際、プローブ３の先端と導電性部材２との距離を測定すれば、その距離が液膜厚さとなる。具体的には、プローブ３の先端が液膜１０に接触し、抵抗測定部４により測定された電気抵抗値が小さくなったときの、プローブ３の移動距離を移動装置１１で測定することで、液膜１０の鉛直方向の距離（液膜厚さ）を計測することができる。

移動装置１１はたとえば、マイクロメータである。マイクロメータ１１にプローブ３を固定すれば、マイクロメータ１１を操作することでプローブ３を移動させることができる。また、後述するように導電性部材２の位置を基準設定しておけば、導電性部材２とプローブ３の先端との距離をマイクロメータ１１で測定することができる。

液膜厚さ測定装置１は、液膜厚さを算出する算出装置１２を含む。算出装置１２は、抵抗測定部４及び移動装置１１と電気的に接続され、抵抗測定部４によって得られた電気抵抗値と移動装置１１によって得られたプローブ３の移動量とにより、液膜１０の厚さを算出する。なお、算出装置１２によらず、抵抗測定部（抵抗器）４及び移動装置（マイクロメータ）１１の測定結果を目視で確認し、人手によって液膜１０の厚さを算出してもよい。

続いて、本実施形態の液膜厚さ測定装置を用いた液膜厚さ測定方法を説明する。

［液膜厚さ測定方法］
導電性部材２を樹脂部材５に埋め込み、導電性部材２の表面及びその周囲の樹脂部材５を湿式研磨する。これにより、液膜１０が形成される導電性部材２の表面及びその周囲の樹脂部材５の表面が滑らかになり、境界部分が滑らかに接続される。湿式研磨はたとえば、８００番のやすりで行えば足りる。

湿式研磨後、上述した液膜厚さ測定装置１を設置する。プローブ３を降下させ、プローブ３の先端と導電性部材２とを接触させる。この位置で移動装置（マイクロメータ）１１の基準を設定する（０点設定）。そして、プローブ３を上昇させる。

プローブ３を上昇させた後、導電性部材２の表面に液膜１０を形成する。液膜１０の形成はたとえば、スポイトで液を滴下すればよい。液膜１０の組成は、把握する腐食環境に合わせて適宜設定すればよい。たとえば、大気腐食環境を把握する際には、液膜１０は水、又は塩水である。

液膜１０を形成した後、移動装置１１を操作し、プローブ３を降下させる。その際、抵抗測定部４はプローブ３（導線６）と導電性部材２との間の電気抵抗を測定する。プローブ３の先端（導線６の先端面８）が液膜１０に接触すると、プローブ３と導電性部材２との間の電気抵抗が大きく低下する。この時点で移動装置１１の操作を終了し、プローブ３の降下を停止する。そして、移動装置１１に表示された値を読み、基準設定された導電性部材２の表面からプローブ３の先端までの距離を計測する。計測された値が液膜１０の厚さとなる。

本実施形態の液膜厚さ測定装置の効果を確認するため、液膜厚さ測定試験を実施した。本発明例として、上述した液膜厚さ測定装置、すなわち撥水層を含むプローブを用いて液膜厚さを測定した。比較例として、撥水層を含まないプローブを用いて液膜厚さを測定した。比較例では、プローブのみ本発明例と異なり、その他の試験条件は本発明例と同じであった。

［試験条件］
導電性部材は、鋼であった。導電性部材を樹脂部材に埋め込み、導電性部材の表面及びその周囲の樹脂部材を８００番のやすりで湿式研磨した。本発明例及び比較例ともに、導線は直径１００μｍの白金線であった。本発明例では撥水層は厚さ２０μｍのフッ素樹脂であった。導電性部材の表面に直径６ｍｍの液膜を形成した。液膜の組成は、濃度０．１モル／リットルの硫酸ナトリウム（Ｎａ_２ＳＯ_４）水溶液であった。本発明例及び比較例ともに、プローブ先端が液膜に接触する前、導電性部材とプローブの導線との間の電気抵抗は１４０００Ωであり、導電性部材とプローブの導線との間の電気抵抗が０Ωとなったとき、プローブ先端が液膜に接触したと判断した。

本発明例及び比較例ともに、様々な厚さの液膜を測定した。測定は、液膜形成後に第１回目の測定を行い、第１回目測定後、一度プローブを液膜から離した。その後、第２回目の測定を行った。第１回目測定で測定された液膜厚さと第２回目測定で測定された液膜厚さとを比較し、プローブの接触による液膜厚さ（液膜の体積）の変化を調べた。

［試験結果］
試験結果を表１に示す。

表１中、「目視液膜厚さ」は形成した液膜の厚さをスケールで目視により計測した結果を示し、「第１回目測定」は第１回目の測定での液膜厚さ測定結果を示し、「第２回目測定」は第２回目の測定での液膜厚さ測定結果を示し、「液膜厚さの差」は第１回目測定結果と第２回目測定結果との差を示す。表１中の数字の単位は全てμｍである。

本発明例では、第１回目測定結果と第２回目測定結果との差が比較例と比べて小さかった。すなわち、本発明例では、複数回液膜厚さを測定しても液膜厚さを大きく減少させることはなく、自然な大気腐食環境を維持できたといえる。また、液膜厚さが薄い場合（たとえば液膜厚さ１０μｍ）、特に本発明例の効果が発揮された。すなわち、本実施形態の液膜厚さ測定装置は、薄い液膜を対象とする金属の大気腐食の調査に適する。

以上、本発明の実施の形態を説明した。しかしながら、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。したがって、本発明は上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変更して実施することができる。

上述の説明では、導線が白金線の場合について説明した。しかしながら、本実施形態の液膜厚さ測定装置はこれに限定されない。導線はたとえば、銅、鋼等の導電性の線であってもよい。

上述の説明では、撥水層がフッ素樹脂である場合について説明した。しかしながら、本実施形態の液膜厚さ測定装置はこれに限定されない。撥水層はたとえば、蝋等の油脂状の物質であってもよい。要するに、撥水層は撥水性があればよい。

本実施形態の液膜厚さ測定装置はたとえば、金属の大気腐食調査試験において金属材料の腐食環境の測定に用いることができる。

１：液膜厚さ測定装置
２：導電性部材
３：プローブ
４：抵抗測定部
５：樹脂部材
６：導線
７：撥水層
８：先端面
９：側面
１０：液膜
１１：移動装置

Claims (4)

1. 導電性部材と、
   前記導電性部材に対向し前記導電性部材と電気的に接続された導線と、前記導線先端の側部に定着して設けられた撥水層と、を含み、前記導電性部材に対して近接離間方向に往復移動可能なプローブと、
   前記導線と前記導電性部材との間の電気抵抗を測定する抵抗測定部と、を備える液膜厚さ測定装置。
2. 請求項１に記載の液膜厚さ測定装置であって、
   前記導線の延在方向に垂直な断面形状は円であり、
   前記導線の半径に対する前記撥水層の厚さの比は、０．２以上、０．５以下である、液膜厚さ測定装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の液膜厚さ測定装置であって、
   前記撥水層はフッ素樹脂によるコーティング層である、液膜厚さ測定装置。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の液膜厚さ測定装置であって、
   前記導線は白金線である、液膜厚さ測定装置。

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