JP2019163953A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】短い検査時間で円筒形の検査対象物の内周面及び外周面を高精度に検査することができる外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査装置１は、検査対象物Ｍの被写面の周方向の一部分に相当する撮像検査範囲Ｍｆの画像に基づいて、検査対象物Ｍを検査する。外観検査装置１は、検査対象物Ｍを検査位置に位置づける位置決め機構２と、互いに平行に延びる一対の直線状の発光部を有するバー光源３１ａと、前記一対の発光部の間に位置する同軸光源３１ｄと、を備え、位置決め機構２は、撮像検査部３の光軸が撮像検査範囲Ｍｆ内の検査対象物Ｍの被写面の接線に対して直交し、且つバー光源３１ａの一対の発光部が、撮像検査範囲Ｍｆ内の前記被写面と、撮像検査部３の光軸方向に重ならない位置であり、且つ、中心軸ＭＤが前記撮像検査部３の光軸に対して傾いた状態に検査対象物Ｍを位置づける。【選択図】 図８

Description

本発明は、外観検査装置に関する。

検査対象物に対し、例えば外観検査などの検査を行う外観検査装置が知られている。このような外観検査装置の一例として、例えば特許文献１（特開２０１７−２０７３４１号公報）には、検査対象物を取り囲む環状の発光手段と検査対象物に対して上方から光を照射する発光手段とからなり且つ互いに波長が異なる二種類のカラー光を発光する２つ光源と、前記検査対象物を回転させる回転テーブルと、光源からの反射光に基づいて前記検査対象物を前記回転テーブルにより回転させながら撮像するカメラと、を備えた外観検査装置が開示されている。

前記外観検査装置は、波長が異なる複数の光を分光することで、キズ及び汚れなどの欠陥に関し、外観検査を同時に行うことができる。

特開２０１７−２０７３４１号公報

上述の特許文献１に開示されている外観検査装置は、異なる周波数特性を有する光源を用いて検査対象物の外周面を外観検査する。よって、検査時間を短縮することができる。しかし、円筒形の検査対象物の内周面を外観検査するためには、光源の位置と検査対象物を配置する検査位置とを高精度に調整する必要がある。

本発明の目的は、短い検査時間で円筒形の検査対象物の内周面及び外周面を高精度に検査することができる外観検査装置を提供することである。

本発明は、上記技術的課題を解決するために、以下の構成の外観検査装置を提供する。

本発明の一実施形態に係る外観検査装置は、円筒形の検査対象物の内周面及び外周面の少なくとも一方である被写面に検査光を照射可能な複数種類の光源と、
前記検査対象物を撮像し、前記撮像された画像のうち前記被写面の周方向の一部分に相当する撮像検査範囲の画像に基づいて、前記検査対象物の外観を検査する撮像検査部と、を有する外観検査装置であって、
前記検査対象物を検査位置に位置づける配置部と、前記検査位置に位置する前記検査対象物を前記円筒形の中心軸回りに回転させる回転部と、を有する位置決め機構を有し、
前記光源は、前記撮像検査部の光軸と平行な光軸を有し且つ互いに平行に延びる一対の直線状の発光部を有するバー光源と、前記撮像検査部の光軸と同じ光軸を有し且つ前記一対の発光部の間に位置する同軸光源と、を備え、
前記位置決め機構は、前記撮像検査部の光軸が前記撮像検査範囲内の前記検査対象物の被写面の接線に対して直交し、且つ前記バー光源の一対の発光部が、前記撮像検査範囲内の前記被写面と、前記撮像検査部の光軸方向に重ならない位置であり、且つ、前記中心軸が前記撮像検査部の光軸に対して所定の角度に傾いた状態である撮像配置に前記検査対象物を前記検査位置に位置づけ、
前記撮像検査部は、前記回転部による検査対象物の回転と同期して前記検査対象物を撮像する。

以上の構成により、短い検査時間で円筒形の検査対象物の内周面及び外周面を高精度に検査することができる外観検査装置を提供することができる。

図１は、実施形態に係る検査装置の概略構成を示す斜視図である。 図２は、検査部の概略構成を示す斜視図である。 図３は、検査対象物を外表面側から見た斜視図である。 図４は、検査対象物を内表面側から見た斜視図である。 図５は、姿勢反転装置の概略構成を示す斜視図である。 図６は、位置決め機構によって検査対象物を検査部の第１検査位置に位置付けた状態を示す斜視図である。 図７は、位置決め機構によって検査対象物を検査部の第２検査位置に位置付けた状態を示す斜視図である。 図８は、第１検査位置に位置付けられた検査対象物と光学系の位置関係を模式的に示す図である。 図９は、外周面を検査する場合に第１検査位置に位置付けられた検査対象物の中心軸と光軸との角度関係を模式的に示す図である。 図１０は、内周面を検査する場合に第１検査位置に位置付けられた検査対象物の中心軸と光軸との角度関係を模式的に示す図である。

以下、図面を参照し、本発明の実施の形態を詳しく説明する。なお、図中の同一または相当部分については同一の符号を付してその説明は繰り返さない。また、各図中の構成部材の寸法は、実際の構成部材の寸法及び各構成部材の寸法比率等を忠実に表していない。

なお、以下の説明において、外観検査装置１を設置した状態で、外観検査装置１の上下方向を「上下方向」といい、外観検査装置１の水平方向を「横方向」という。

（全体構成）
図１は、本発明の実施形態に係る外観検査装置１の概略構成を示す斜視図である。外観検査装置１は、検査対象物Ｍに対して複数の外観検査を行う。詳しくは、外観検査装置１は、検査対象物Ｍを把持し、検査位置に位置決めする位置決め機構２と、位置決め機構２によって把持された状態の検査対象物Ｍを検査する撮像検査部３とを備える。なお、本実施形態では、外観検査装置１は、検査対象物Ｍの表面における傷及び汚れ等の有無を確認する外観検査を行うが、外観検査に加えて検査対象物Ｍに対して他の検査を行ってもよい。

図３及び図４は、外観検査装置１によって検査される検査対象物Ｍの概略構成を示す斜視図である。本実施形態では、検査対象物Ｍは、軸線方向に並んだ小径部ＭＥ及び、小径部ＭＥの直径よりも大きい大径部ＭＦを有する有底円筒状の部品である。検査対象物Ｍは、底面に中心孔ＭＣを有する。外観検査装置１は、検査対象物Ｍの外表面ＭＡの外観検査だけでなく、検査対象物Ｍの内表面ＭＢの外観検査を行うとともに、検査対象物Ｍの底面における中心孔ＭＣの内周面の外観検査も行う。すなわち、以下の説明において、検査対象物Ｍの外観は、検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び内表面ＭＢの外観と底面の中心孔ＭＣの内周面の外観とを含む。なお、外表面ＭＡには、検査対象物の側面の外周面及び底面の外表面を含み、内表面ＭＢには、検査対象物Ｍの側面の内周面及び底面の内表面を含む。

図１に示すように、位置決め機構２は、撮像検査部３の近くに位置する。撮像検査部３の近くには、供給部４、良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６が位置する。すなわち、位置決め機構２は、供給部４、良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６の近くに位置する。供給部４には、検査対象物Ｍが供給される。供給部４は、撮像検査部３が載置された検査台３ａに取り付けられている。良品仕分トレイ５には、撮像検査部３の外観検査によって良品と判定された検査対象物Ｍが収容される。不良品仕分トレイ６には、撮像検査部３の外観検査によって不良品と判定された検査対象物Ｍが収容される。良品仕分トレイ５と不良品仕分トレイ６とは、横方向に並んで位置する。検査装置１を上方から見て、検査部３は、供給部４と良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６との間に位置する。

本実施形態では、外観検査装置１は、撮像検査部３と位置決め機構２と良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６との組み合わせを、２組有する。各組の撮像検査部３は、横方向に並んで位置する。各組の良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６は、各組の撮像検査部３の近くに位置する。各組の位置決め機構２は、検査対象物Ｍを把持する。各組の撮像検査部３は、位置決め機構２によって把持された状態の検査対象物Ｍの外観検査を行う。供給部４は、各組の撮像検査部３に対して、検査対象物Ｍを供給する。

なお、位置決め機構２、撮像検査部３、良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６は、それぞれ、異なる台上に位置する。位置決め機構２、撮像検査部３、良品仕分トレイ５及び不良品仕分トレイ６は、一部が同じ台上に位置してもよいし、全てが同じ台上に位置してもよい。また、供給部４は、撮像検査部３が載置された検査台３ａとは異なる台に取り付けられてもよい。

位置決め機構２は、供給部４に供給された検査対象物Ｍを把持した後、検査対象物Ｍを所定の検査位置まで搬送する。検査位置は、後述の第１検査位置Ｔ１または第２検査位置Ｔ２を含む。位置決め機構２は、撮像検査部３によって検査対象物Ｍの外観検査を行う間、検査対象物Ｍを把持する。位置決め機構２は、撮像検査部３の検査結果に応じて、検査対象物Ｍを良品仕分トレイ５または不良品仕分トレイ６に収容する。

位置決め機構２は、例えば、回転軸の周りに回転可能な複数の関節部２１と、関節部２１によって接続された複数のアーム２２とを有する。本実施形態では、位置決め機構２は、６個の関節部２１と、２本のアーム２２と、ハンド２５と、を有する。なお、ハンド２５は、把持部に相当する。本実施形態の位置決め機構２は、６個の関節部２１が回転可能な６軸多関節ロボットである。位置決め機構２では、関節部２１の駆動によりアーム２２が移動することによって、ハンド２５を所定の位置に位置付ける。すなわち、関節部２１及びアーム２２によって、ハンド２５を３次元で移動可能な駆動部２０が構成される。

以下で、位置決め機構２における６個の関節部２１のそれぞれを区別して表す場合には、６個の関節部２１のそれぞれを「第１関節部２１Ａ」、「第２関節部２１Ｂ」、「第３関節部２１Ｃ」、「第４関節部２１Ｄ」、「第５関節部２１Ｅ」及び「第６関節部２１Ｆ」とする。また、以下では、２本のアーム２２のそれぞれを区別して表す場合には、２本のアーム２２のそれぞれを「第１アーム２２Ａ」及び「第２アーム２２Ｂ」とする。

位置決め機構２は、第１関節部２１Ａに相対回転可能に連結される支持部材２３をさらに有する。支持部材２３は、支持台２ａに固定される。

第２関節部２１Ｂは、第１関節部２１Ａに相対回転可能に連結される。第２関節部２１Ｂには、第１アーム２２Ａの基端が固定される。第１アーム２２Ａの先端は、第３関節部２１Ｃに固定される。第３関節部２１Ｃは、第４関節部２１Ｄに相対回転可能に連結される。第４関節部２１Ｄには、第２アーム２２Ｂの基端が相対回転可能に連結される。第２アーム２２Ｂの先端は、第５関節部２１Ｅに固定される。第６関節部２１Ｆは、第５関節部２１Ｅに相対回転可能に連結される。第６関節部２１Ｆは、ハンドまたは工具等を相対回転可能に取付可能である。なお、第６関節部２１Ｆは、回転部に相当する。本実施形態では、第６関節部２１Ｆに、複数の爪を有するハンド２５が取り付けられている。

第１関節部２１Ａ、第２関節部２１Ｂ、第３関節部２１Ｃ、第４関節部２１Ｄ、第５関節部２１Ｅ及び第６関節部２１Ｆは、それぞれ、回転軸の周りに回転可能である。第１関節部２１Ａの回転軸と第２関節部２１Ｂの回転軸とは直交する。第３関節部２１ｃの回転軸と第４関節部２１Ｄの回転軸とは直交する。第５関節部２１Ｅの回転軸と第６関節部２Ｆの回転軸とは直交する。

第１関節部２１Ａ、第２関節部２１Ｂ、第３関節部２１Ｃ、第４関節部２１Ｄ、第５関節部２１Ｅ及び第６関節部２１Ｆのうち少なくとも一部は、異なる方向に延びる回転軸を中心として回転する。

これにより、ハンド２５に把持された検査対象物Ｍを所定の検査位置に位置付けるとともに検査対象物Ｍを異なる複数の姿勢で保持する、位置決め機構２を、コンパクトな構成によって実現できる。

関節部２１は、従来の多関節ロボットの関節部と同様に、モータ及び減速機を有する構成である。関節部２１の構成は、従来の多関節ロボットと同様の構成であるため、関節部２１の構成の詳しい説明は省略する。

ハンド２５は、上記の通り、検査対象物Ｍを把持する把持部に相当する。ハンド２５は、第６関節部２１Ｆに相対回転可能に連結される。検査対象物Ｍを把持するハンド２５及びハンド２５を３次元で移動可能な駆動部２０は、配置部に相当する。

第６間接部２１Ｆは、ハンド２５を相対回転させる。第６間接部２１Ｆによるハンド２５の回転軸は、ハンド２５が把持する検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤと一致する。すなわち、回転部２６は、検査対象物Ｍを中心軸線ＭＤ回りに回転させる。

図２は、撮像検査部３の概略構成を示す斜視図である。図２に示すように、撮像検査部３は、複数の検査ユニット３１〜３３を有する。複数の検査ユニット３１〜３３は、検査対象物Ｍの外観を検査する。具体的には、複数の検査ユニット３１〜３３は、光源から検査対象物Ｍに出射されて検査対象物Ｍで反射した光を、画像として取得することにより、検査対象物Ｍの外表面ＭＡまたは内表面ＭＢにおける傷及び汚れ等の有無を検査する。本実施形態では、撮像検査部３は、３つの検査ユニット３１〜３３を有する。３つの検査ユニット３１〜３３において、各検査ユニットは、検査対象物Ｍの外観を異なるアングルから検査する。

３つの検査ユニット３１〜３３は、第１検査ユニット３１と、第２検査ユニット３２と、第３検査ユニット３３とを含む。

第１検査ユニット３１は、第１バー光源部３１ａと、第１撮像部３１ｂと、リング状光源部３１ｃと、同軸光源部３１ｄとを有する。

第１バー光源部３１ａは、上下方向に所定の間隔で位置する一対のバー状の光源を含む。第１バー光源部３１ａは、バー光源に相当する。第１バー光源部３１ａに含まれる一対のバー光源は、面光源であり、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と平行な光軸を有する。また、一対のバー光源からそれぞれ出射された光は、互いに平行に延びる。

第１バー光源部３１ａにおける一対のバー光源の発光部の長さは、それぞれ、検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤ方向の長さ寸法よりも長い。これにより、第１バー光源部３１ａにおける一対のバー光源の発光部から出射された検査光を検査対象物Ｍに照射した際に、検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤ方向において、検査対象物Ｍに照射される光の明るさを均一にすることができる。

バー光源の間隔は、検査対象物Ｍの外径寸法よりも大きい。すなわち、一対のバー光源から出射された後、検査対象物Ｍの表面で反射された光は、検査対象物Ｍがどのような姿勢であっても、第１撮像部３１ｂに対して拡散反射光として入射される。

第１バー光源部３１ａは、例えば赤色光を出射する。第１バー光源部３１ａは、第１検査位置Ｔ１に位置する検査対象物Ｍに対して光を出射する。なお、第１検査位置Ｔ１は、図２において破線の丸印で示す位置である。第１バー光源部３１ａから出射される光は、検査対象物Ｍにおける外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面の傷等を確認するために用いられる。

第１バー光源部３１ａから出射される光はそれぞれの光軸が水平方向に延びる。すなわち、第１検査位置Ｔ１は、第１バー光源部３１ａと上下方向の高さが同じである。

第１撮像部３１ｂは、例えばＣＣＤカメラを含む。ＣＣＤカメラは、グローバルシャッターの撮像素子であるＣＣＤを有する。第１バー光源部３１ａにおける一対のバー光源は、第１撮像部３１ｂと第１検査位置Ｔ１との間に位置する。第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１は、上下方向において、第１バー光源部３１ａにおける一対のバー光源の間に位置する。

これにより、第１バー光源部３１ａから出射された光は、第１検査位置Ｔ１に位置する検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面で反射する。検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面で反射した反射光は、第１バー光源部３１ａの間を通過して、第１撮像部３１ｂに入力される。よって、第１バー光源部３１ａから出射されて検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面で拡散反射した光を用いて、第１撮像部３１ｂによって、検査対象物Ｍの外表面ＭＡにおいて傷等の有無を確認することができる。

なお、第１バー光源部３１ａは、後述する姿勢反転装置７によって軸線方向に姿勢が反転した検査対象物Ｍの内表面ＭＢの外観検査を行う際にも用いられる。

すなわち、第１バー光源部３１ａは、検査対象物Ｍの外表面ＭＡ、中心孔ＭＣの内周面または内表面ＭＢにおける傷等の有無を確認するために用いられる。

リング状光源部３１ｃは、リング状の光源を含む。この光源は、例えば白色光を出射する。リング状光源部３１ｃは、第１検査位置Ｔ１の近くで且つ第１検査位置Ｔ１に位置する検査対象物Ｍに対して光を出射する。リング状光源部３１ｃから出射される光は、検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面の汚れ等を確認するために用いられる。リング状光源部３１ｃから出射されて検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面で反射した反射光は、第１撮像部３１ｂに入力される。よって、リング状光源部３１ｃから出射されて検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面で拡散反射した光を用いて、第１撮像部３１ｂによって、検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面において汚れ等の有無を確認することができる。

同軸光源部３１ｄは、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と同軸で光を出射する光源（同軸光源）を含む。第２光源部３２ａの構成は、従来の同軸照明装置の構成と同様なので、第２光源部３２ａの詳しい構成については説明を省略する

同軸光源部３１ｄの光源は、第１バー光源部３１ａから出射される検査光の周波数よりも短波長の光、例えば青色光を出射する。同軸光源部３１ｄは、第１検査位置Ｔ１に位置する検査対象物Ｍの外表面ＭＡ、内表面ＭＢ及び中心孔ＭＣの内周面で反射する。検査対象物Ｍの外表面ＭＡ及び中心孔ＭＣの内周面で反射した反射光は、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と同じ方向に進んで、第１バー光源部３１ａにおける一対のバー光源の間を通過して、第１撮像部３１ｂに入力される。よって、第１バー光源部３１ａから出射されて検査対象物Ｍの外表面ＭＡなどで反射した正反射光を用いて、第１撮像部３１ｂによって、検査対象物Ｍの外表面ＭＡの汚れ等の有無を確認することができる。

同軸光源部３１ｄから出射される光は、光軸が水平である。すなわち、第１検査位置Ｔ１は、同軸光源部３１ｄと上下方向の高さが同じである

第２検査ユニット３２は、第２光源部３２ａと、第２撮像部３２ｂとを有する。

第２光源部３２ａは、第２撮像部３２ｂの光軸Ｌ２と同軸で光を出射する光源を含む。第２光源部３２ａの構成は、従来の同軸照明装置の構成と同様なので、第２光源部３２ａの詳しい構成については説明を省略する。第２撮像部３２ｂの光軸Ｌ２は、撮像検査部３を上方から見て、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と直交する。また、第２撮像部３２ｂの光軸Ｌ２は、撮像検査部３を側方から見て、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１よりも下方に位置する。

第２光源部３２ａの光源は、例えば白色光を出射する。第２光源部３２ａは、第２検査位置Ｔ２に位置する検査対象物Ｍに対して光を出射する。第２検査位置Ｔ２は、図２において破線の丸印で示す位置である。第２光源部３２ａから出射される光は、検査対象物Ｍの外表面ＭＡにおける底面の汚れ等を確認するために用いられる。第２撮像部３２ｂは、例えばＣＣＤカメラを含む。第２光源部３２ａは、第２撮像部３２ｂと第２検査位置Ｔ２との間に位置する。

なお、第２検査位置Ｔ２は、第１検査位置Ｔ１の下方に位置する。これにより、第１検査位置Ｔ１で第１検査ユニット３１によって検査対象物Ｍの外観検査を行った後、検査対象物Ｍを第２検査位置Ｔ２に移動させて、第２検査ユニット３２によって検査対象物Ｍの外観検査を行うことができる。

以上の構成により、第２光源部３２ａから出射された光は、第２検査位置Ｔ２に位置する検査対象物Ｍの外表面ＭＡの底面で正反射する。検査対象物Ｍの外表面ＭＡの底面で反射した反射光は、第２光源部３２ａを通過して、第２撮像部３２ｂに入力される。よって、第２光源部３２ａから出射されて検査対象物Ｍの外表面ＭＡの底面で反射した光を用いて、第２撮像部３２ｂによって、検査対象物Ｍの底面における汚れ等の有無を確認することができる。

第２光源部３２ａから出射される光は、同軸光源部３１ｄから出射される光の光軸と同様に、光軸が水平である。すなわち、第２検査位置Ｔ２は、第２光源部３２ａと上下方向高さが同じである。これにより、第２検査ユニット３２の高さ方向の寸法を小さくすることができ、上下方向に並ぶ第１検査ユニット３１と第２検査ユニット３２を含む撮像検査部３をコンパクトな構成によって実現できる。

第３検査ユニット３３は、図６及び図７に示すように、第３光源部３３ａと、第３撮像部３３ｂとを有する。

第３光源部３３ａは、図６及び図７に示すように、上下方向に所定の間隔で位置する一対のバー状の光源を含む。この光源は、例えば赤色光を出射する。第３光源部３３ａは、第２検査位置Ｔ２に位置する検査対象物Ｍの側面に対して光を出射する。第３光源部３３ａから出射される光は、検査対象物Ｍの外表面ＭＡにおける側面の汚れ等を確認するために用いられる。第３撮像部３３ｂは、例えばＣＣＤカメラを含む。第３光源部３３ａは、第３撮像部３３ｂと第２検査位置Ｔ２との間に位置する。第３撮像部３３ｂの光軸Ｌ３は、第３光源部３３ａにおける一対のバー光源の間に位置する。

第３光源部３３ａから出射される光は、それぞれの光軸が水平である。すなわち、第２検査位置Ｔ１は、第３光源部３３ａと上下方向の高さが同じである。

なお、第２検査位置Ｔ２において、第３検査ユニット３３によって検査する際の検査対象物Ｍの姿勢と、第２検査ユニット３２によって検査する際の検査対象物Ｍの姿勢とは同じである。

以上の構成により、第３光源部３３ａから出射された光は、前記第３検査位置に位置する検査対象物Ｍの外表面ＭＡにおける側面で反射する。検査対象物Ｍの外表面ＭＡにおける側面で反射した反射光は、第３光源部３３ａにおける一対のバー光源の間を通過して、第３撮像部３３ｂに入力される。よって、一対の第３光源部３３ａから出射されて検査対象物Ｍの外表面ＭＡにおける側面で反射した光を用いて、第３撮像部３３ｂによって、検査対象物Ｍの外表面ＭＡの側面における汚れ等の有無を確認することができる。

なお、第３検査ユニット３３は、第１検査ユニット３１の下方に位置する。これにより、撮像検査部３において、上下方向の空間を利用して複数の検査ユニット３１，３３をコンパクトに配置できる。よって、撮像検査部３を上方から見て、撮像検査部３をコンパクトな構成にすることができる。したがって、外観検査装置１のコンパクト化を図れる。

また、撮像検査部３を上方から見て、第２検査位置Ｔ２に対し、一対の第２光源部３２ａ及び第２撮像部３２ｂが並ぶ方向と、第３光源部３３ａ及び第３撮像部３３ｂが並ぶ方向とは直交する。すなわち、第２検査ユニット３２の検査位置と第３検査ユニット３３の検査位置とを同じ検査位置である第２検査位置Ｔ２とすることができる。これにより、検査対象物Ｍを移動させることなく、複数の検査ユニット３２，３３によって、検査対象物Ｍの外観を複数のアングルから検査することができる。

外観検査装置１は、図示しない検査制御部を有する。この検査制御部は、位置決め機構２によって検査対象物Ｍを把持しつつ検査対象物Ｍを第１検査位置Ｔ１または第２検査位置Ｔ２に位置付けて、撮像検査部３によって検査対象物Ｍの外観検査を行う。前記検査制御部は、撮像検査部３の複数の検査ユニット３１〜３３で得られた画像データに基づいて、検査対象物Ｍにおける外観の傷及び汚れ等の有無を判定する。すなわち、前記検査制御部は、位置決め機構２及び撮像検査部３を制御して、検査対象物Ｍの外観検査を行う。本実施形態では、前記画像データに基づく外観検査の判定方法は、従来と同様の方法であるため、詳しい説明を省略する。

なお、前記検査制御部は、撮像検査部３の複数の検査ユニット３１〜３３によって検査対象物Ｍの外観検査を行う際に、位置決め機構２の回転部２６を回転させることによって、検査対象物Ｍを把持した状態のハンド２５を回転させる。これにより、撮像検査部３の複数の検査ユニット３１〜３３によって、円筒状の検査対象物Ｍの外観を全周に亘って検査することができる。

また、検査制御部は、回転部２６を回転させることによって、検査対象物Ｍを把持した状態のハンド２５の回転と同期して、第１撮像部３１ｂ、第２撮像部３２ｂ、第３撮像部３３ｂによって検査対象物Ｍを撮像する。

上記の通り、第１撮像部３１ｂ、第２撮像部３２ｂ、第３撮像部３３ｂは、グローバルシャッターの撮像素子であるＣＣＤを有する。すなわち、ＣＣＤの全画素が同じタイミングで画像を取得するため、画素ごとに得られる画像が、撮影時間のずれの影響を受けない。これにより、高速で検査対象物を回転させた場合においても鮮明な画像を得ることができ、検査の精度を向上させることができる。

前記検査制御部は、検査対象物Ｍが外観に傷及び汚れ等がある不良品であると判定した場合には、位置決め機構２によって、検査対象物Ｍを不良品仕分トレイ６に収容する。一方、前記検査制御部は、検査対象物Ｍが外観に傷及び汚れ等のない良品であると判定した場合には、位置決め機構２によって、検査対象物Ｍを良品仕分トレイ５に収容する。このように、前記検査制御部は、検査対象物Ｍを、外観の検査結果に応じて良品と不良品とに選別する。

（姿勢反転装置）
外観検査装置１は、検査対象物Ｍの姿勢を反転させる姿勢反転装置７を有する。この姿勢反転装置７は、検査対象物Ｍが中心軸線ＭＤ方向に延びる有底円筒状の部品である場合に、検査対象物Ｍの姿勢を前記中心軸線ＭＤ方向で反転させる装置である。姿勢反転装置７を用いて検査対象物Ｍの姿勢を反転させることにより、外観検査装置１によって、検査対象物Ｍの外表面ＭＡの外観検査だけでなく内表面ＭＢの外観検査を行うことができる。

図５は、姿勢反転装置７の概略構成を示す斜視図である。姿勢反転装置７は、ステージ４１と、反転部４２とを有する。ステージ４１には、検査対象物Ｍが載置される。検査対象物Ｍは、位置決め機構２によって、ステージ４１上に載置される。

反転部４２は、一対の反転用把持部４３と、回転機構４４とを有する。一対の反転用把持部４３は、互いに近づく方向に移動可能である。これにより、一対の反転用把持部４３は、ステージ４１上の検査対象物Ｍを挟み込むことにより把持可能である。回転機構４４は、図示しないモータを含む。回転機構４４は、一対の反転用把持部４３を、中心軸線ＭＤに直交する回転軸４５を中心として回転させる。

一対の反転用把持部４３でステージ４１上の検査対象物Ｍを把持した状態で、回転機構４４によって一対の反転用把持部４３を回転させることにより、検査対象部Ｍの姿勢をその中心軸線ＭＤ方向に反転させることができる。回転機構４４によって検査対象物Ｍの姿勢を反転させた後、一対の反転用把持部４３による検査対象物Ｍの把持状態を解除することにより、検査対象物Ｍはステージ４１上に載置される。これにより、ステージ４１上に姿勢が反転した状態で載置された検査対象物Ｍを、位置決め機構２によって把持することができる。

以上の構成を有する姿勢反転装置７により、検査対象物Ｍの複数の姿勢のうち、位置決め機構２によって実現できない姿勢を、実現することができる。よって、検査対象物Ｍに対し、より多くの種類の検査を行うことが可能になる。

（位置決め機構による検査対象物の検査位置への位置づけ）
本実施形態では、既述のように、位置決め機構２は、検査対象物Ｍを把持した状態で、検査対象物Ｍを撮像検査部３の第１検査位置Ｔ１または第２検査位置Ｔ２に位置付ける。図６は、位置決め機構２によって検査対象物Ｍを撮像検査部３の第１検査位置Ｔ１に位置付けた状態を示す斜視図である。図７は、位置決め機構２によって検査対象物Ｍを撮像検査部３の第２検査位置Ｔ２に位置付けた状態を示す斜視図である。

具体的には、位置決め機構２は、検査対象物Ｍを把持した状態で、撮像検査部３の第１検査位置Ｔ１に位置付ける。このとき、位置決め機構２において、第１関節部２１Ａ、第２関節部２１Ｂ、第３関節部２１Ｃ、第４関節部２１Ｄ及び第５関節部２１Ｅが回転して、ハンド２５によって把持された検査対象物Ｍを、第１検査位置Ｔ１に位置付ける。

位置決め機構２によって検査対象物Ｍが第１検査位置Ｔ１に位置付けられた際に、撮像検査部３の第１検査ユニット３１は、第１検査位置Ｔ１で位置決め機構２によって把持された状態の検査対象物Ｍの外観検査を行う。具体的には、第１検査位置Ｔ１では、第１検査位置Ｔ２において検査対象物Ｍの外周面ＭＡ、内周面ＭＢ及び中心孔ＭＣの内周の検査を行う。

この際、位置決め機構２の第６関節部２１Ｆが回転することにより、検査対象物Ｍを把持した状態のハンド２５を回転させる。これにより、第１検査ユニット３１によって、検査対象物Ｍの外観を全周に亘って検査することができる。

また、位置決め機構２は、検査対象物Ｍを把持した状態で、撮像検査部３の第２検査位置Ｔ２に位置付ける。このとき、位置決め機構２において、第１関節部２１Ａ、第２関節部２１Ｂ、第３関節部２１Ｃ、第４関節部２１Ｄ及び第５関節部２１Ｅが回転して、ハンド２５によって把持された検査対象物Ｍを、第２検査位置Ｔ２に位置付ける。

位置決め機構２によって検査対象物Ｍが第２検査位置Ｔ２に位置付けられた際に、撮像検査部３の第２検査ユニット３２及び第３検査ユニット３３は、それぞれ、第２検査位置Ｔ２で位置決め機構２によって把持された状態の検査対象物Ｍの外観検査を行う。具体的には、第２検査ユニット３２では、第２検査位置Ｔ２において検査対象物Ｍの底面の外表面及び内表面の検査を行う。

また、第３検査ユニット３３では、第２検査位置Ｔ２において検査対象物Ｍの外周面ＭＡの検査を行う。さらに具体的には、第３検査ユニット３３では、ピント合わせの位置がずれるため、特に、図３に示す検査対象物Ｍにおいて径が小さい小径部ＭＥの外周面の検査を行う。

この際、位置決め機構２の第６関節部２１Ｆが回転することにより、検査対象物Ｍを把持した状態のハンド２５を回転させる。これにより、第２検査ユニット３２及び第３検査ユニット３３によって、検査対象物Ｍの外観を全周に亘って検査することができる。

このように、本実施形態では、外観検査装置１は、検査対象物Ｍが位置決め機構２によって把持された状態で、検査対象物Ｍの外観検査を行う。また、第１検査位置Ｔ１では、検査対象物Ｍの異なる検査箇所を検査する場合には、各撮像部３１ｂの光軸Ｌ１に対して異なる傾き角度となる姿勢で検査対象物Ｍを位置づける。具体的には、第１検査位置Ｔ１において、検査対象物Ｍは、外表面ＭＡと内表面ＭＢを検査する場合で、各撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤとの交差角度が異なったそれぞれの撮像配置となる。第１検査位置Ｔ１における具体的な検査対象物Ｍの撮像配置については、詳細を後述する。

これにより、検査対象物Ｍを、撮像検査部３の所定の検査位置に、異なる複数の姿勢で保持することができる。よって、検査対象物Ｍを複数の異なる姿勢で外観検査する際に、検査対象物Ｍを保持する構成を簡略化することができる。したがって、外観検査装置１のコンパクト化を図れる。

また、検査対象物Ｍの外観を複数のアングルから検査する際に、該複数のアングル毎に、検査対象物Ｍを固定冶具等によって固定し直す必要がない。よって、検査対象物Ｍの検査時間を短縮することができる。

したがって、本実施形態の外観検査装置１の構成により、迅速かつ容易に、検査対象物Ｍの外観を複数のアングルから検査することができる。

（第１検査位置における検査対象物Ｍの外観検査）
図８は、外周面ＭＡを検査する場合に第１検査位置Ｔ１に位置付けられた検査対象物Ｍと撮像検査部３の光学系との位置関係を、模式的に示す図である。検査対象物Ｍが第１検査位置Ｔ１に位置する場合、検査対象物Ｍの外周面ＭＡまたは内周面ＭＢに対して、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１が法線方向に延びる。このとき、第１撮像部３１ｂの撮像検査範囲Ｍｆは、検査対象物Ｍの外周面ＭＡまたは内周面ＭＢの周方向の一部である。ハンド２５によって把持された検査対象物Ｍを中心軸線ＭＤ周りに回転させることにより、第１撮像部３１ｂにおける撮像検査範囲Ｍｆの位置を順次移動させる。第１撮像部３１ｂは、検査対象物Ｍの回転に同期して検査対象物Ｍを撮像することで、検査対象物Ｍの外周面ＭＡまたは内周面ＭＢの外観を全周に亘って検査する。

なお、撮像検査範囲Ｍｆは、外観検査を行う画像領域である。撮像検査範囲Ｍｆは、第１撮像部３１ｂの被写面である検査対象物Ｍの外周面ＭＡまたは内周面ＭＢにおける撮像画角そのものである必要はなく、第１撮像部３１ｂにより撮像された画像データの一部でもよい。

撮像検査範囲Ｍｆにおける検査対象物Ｍの被写面の周方向の角度θは、例えば、１５度である。なお、撮像検査範囲Ｍｆの周方向の角度θは、検査対象物Ｍの径寸法などに応じて決定すればよく、１５度に限定されない。

第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１は、撮像検査範囲Ｍｆ内の検査対象物Ｍの被写面の接線に対して直交する。したがって、上記の通り、同軸光源部３１ｄは、撮像検査範囲Ｍｆ内の検査対象物Ｍの被写面の接線に直交する方向に青色光Ｐｄを出射する。

一方、第１バー光源部３１ａは、それぞれの発光部から互いに平行に且つ第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と平行な光軸Ｌａで赤色光を出射する。また、それぞれの発光部の位置は、撮像検査範囲Ｍｆ内の被写面に対し、前記撮像検査部の光軸方向に重ならない位置である。

第１バー光源部３１ａのそれぞれの発光部から出射された光のうち周囲に拡散した光Ｐａは、撮像検査範囲Ｍｆ内の被写面に到達し、当該被写面で反射して第１撮像部３１ｂに入力される。

また、第１撮像部３１ｂには、リング状光源部３１ｃから出射された白色光が被写面で反射することで得られる拡散反射光も、入射される。リング状光源部３１ｃを光源として用いることによって、検査対象物Ｍの段差による外表面ＭＡ及び内表面ＭＢの影を少なくするため、被写面全体を鮮明に撮像することができる。

図９は、外周面ＭＡを検査する場合に第１検査位置Ｔ１に位置付けられた検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤと光軸との角度関係を模式的に示す図である。第１検査位置Ｔ１に位置付けられた検査対象物Ｍの外周面ＭＡを検査する場合には、検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤは、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と直交する。これにより、第１撮像部３１ｂの被写界深度の影響をできる限り小さくした状態で、検査対象物Ｍの外周面ＭＡを外観検査することができる。

図１０は、内周面ＭＢを検査する場合に第１検査位置Ｔ１に位置付けられた検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤと光軸との角度関係を模式的に示す図である。第１検査位置Ｔ１に位置付けられた検査対象物Ｍの内周面ＭＢ及び中心孔ＭＣの内周面を検査する場合には、検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤは、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１に対して傾斜する。

検査対象物Ｍの把持姿勢を第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１に対して傾斜させることで、検査対象物Ｍの内周面ＭＢを撮像することができる。よって、検査対象物Ｍを位置決め機構２によって把持した状態で検査対象物Ｍの内周面ＭＢの外観検査を行うことができるため、検査時間の短縮を図ることができる。

なお、検査対象物Ｍの内周面ＭＢを撮像する場合、第１撮像部３１ｂの光軸Ｌ１と検査対象物Ｍの中心軸線ＭＤとがなす角度αは、４０度程度である。ただし、前記角度αは、検査対象物Ｍの形状に応じて、適切な角度とすることができる。

第１撮像部３１ｂは、受光した各光源からの光に基づいて画像データを得る。上記の通り、第１バー光源部３１ａからの出射光は赤色光であり、同軸光源部３１ｄからの出射光は青色光である。また、リング状光源部３１ｃからの出射光は、赤色光及び青色光の周波数領域を含む白色光である。

これにより、第１撮像部３１ｂが受光した光を周波数特性に応じて周波数分光して得られる分光画像を、作成することができる。よって、それぞれの特徴を有する分光画像を用いて、異なる表面性状を同時に高精度で検査することができる。

また、２つの光源から出射される赤色光及び青色光は検査光の周波数の差が大きいため、より鮮明な分光画像が得られる。したがって、検査の精度を向上させることができる。

また、同軸光源部３１ｄから出射される検査光の正反射光で検査対象物Ｍの汚れを効率よく検査することができる。そのため、検査対象物Ｍの汚れの補色に近い短波長の周波数を用いることで、検査の精度を向上させることができる。一方、第１バー光源部３１ａから出射される検査光の拡散光で色調に影響を受けない表面のキズなどを検査することができる。そのため、第１バー光源部３１ａから出射される検査光として、前記同軸光源部３１ｄから出射される検査光よりも長波長の周波数の検査光を用いても、検査の精度への影響が少ない。したがって、上記構成により、検査の精度を向上させることができる。

なお、上記の通り、第１撮像部３１ｂは、検査対象物Ｍを把持した状態のハンド２５の回転と同期して、検査対象物Ｍを撮像する。すなわち、本実施形態では、撮像検査範囲Ｍｆにおける被写面の周方向の角度θが１５度であるため、検査対象物Ｍの全周を外観検査するために、第１撮像部３１ｂは２４枚の画像データを撮像する。

（検査手順）
上記構成の外観検査装置１により検査対象物Ｍの外観検査をするには、まず、供給部４の検査対象物Ｍを位置決め機構２で把持して、検査対象物Ｍの外表面ＭＡまたは内表面ＭＢの撮像を行う。検査対象物Ｍの外表面ＭＡまたは内表面ＭＢの内、いずれを先に撮像するかは、供給部４における検査対象物Ｍの姿勢により決定することができる。

次に、位置決め機構２によって、検査対象物Ｍを、第１検査位置Ｔ１に位置づけるとともに、被写面を第１検査ユニット３１で撮像可能な姿勢とする。この状態で、検査対象物Ｍの撮像を行う。

第１検査位置Ｔ１における撮像配置での撮像が終了すると、位置決め機構２は、検査対象物Ｍを第２検査位置Ｔ２に位置づける。第２検査位置Ｔ２においては、第２検査ユニット３２及び第３検査ユニット３３により、位置決め機構２によって検査対象物Ｍを把持した状態で必要な撮像動作を連続して行う。

検査対象物Ｍの外観検査のために必要な画像データの撮像が終了すると、検査対象物Ｍの姿勢を姿勢反転装置７により反転させる。姿勢が反転した検査対象物Ｍを位置決め機構２によって把持し、位置決め機構２によって検査対象物Ｍを第１検査位置Ｔ１及び第２検査位置Ｔ２に位置付ける。第１検査ユニット３１、第２検査ユニット３２及び第３検査ユニット３３により、必要な撮像動作を行う。以上の動作により外観検査に必要なすべての画像データの撮像が終了すると、撮像動作を終了する。

検査制御部は、上記の撮像動作で得られた画像データに基づいて、検査対象物Ｍの外観に傷及び汚れ等があるか否かの判定を行う。検査制御部は、判定結果に基づいて、検査対象物Ｍを、外観の検査結果に応じて良品と不良品とに選別する。

以上の構成により、外観検査装置１は、同軸光源部３１ｄから出射された光の正反射光を用いて、検査対象物Ｍに付着した汚れを検査できるとともに、第１バー光源部３１ａから出射された光の拡散光を用いて、検査対象物表面Ｍのキズなどを高精度で検査することができる。したがって、同じ第１検査位置Ｔ１に位置づけられた検査対象物Ｍを連続して撮像することで、検査時間を短くすることができる。

（その他の実施形態）
以上、本発明の実施の形態を説明したが、上述した実施の形態は本発明を実施するための例示に過ぎない。よって、上述した実施の形態に限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲内で上述した実施の形態を適宜変形して実施することが可能である。

前記実施形態では、外観検査装置１は、検査対象物Ｍの外観の検査を行う。しかしながら、外観検査装置は、検査対象物の外観に加えて、外観以外を検査する装置であってもよい。

前記実施形態では、外観検査装置１は、撮像検査部３と位置決め機構２との組み合わせを２組有する。しかしながら、外観検査装置は、３つ以上の撮像検査部を有してもよいし、１つの撮像検査部を有してもよい。なお、検査効率の観点から、位置決め機構は、１つの撮像検査部に対して、一つ以上配置されることが好ましい。

前記実施形態では、撮像検査部３は、３つの検査ユニット３１〜３３を有する。しかしながら、撮像検査部が有する検査ユニットは、２つ以下であってもよいし、４つ以上であってもよい。また、各検査ユニットにおける光源部及び撮像部の組み合わせも、検査対象物の外観を検査可能な組み合わせであれば、どのような組み合わせであってもよい。

前記実施形態では、撮像検査部３の第１検査ユニット３１は、検査対象物Ｍが第１検査位置Ｔ１に位置付けられた際に検査対象物Ｍの外観検査を行う。また、撮像検査部３の第２検査ユニット３２及び第３検査ユニット３３は、検査対象物Ｍが第２検査位置Ｔ２に位置付けられた際に検査対象物Ｍの外観検査を行う。しかしながら、各検査ユニットの検査位置は、同じ位置であってもよいし、第１検査ユニットの検査位置と第２検査ユニットの検査位置とが同じ位置であってもよいし、第１検査ユニットの検査位置と第３検査ユニットの検査位置とが同じであってもよい。すなわち、撮像検査部３における検査対象物Ｍの検査位置は、一つの検査位置であってもよいし、３つ以上の検査位置であってもよい。

前記実施形態では、撮像検査部３の第１検査ユニット３１と第３検査ユニット３３とは、上下方向に並んで位置する。しかしながら、第１検査ユニットと第３検査ユニットとは左右方向に並んで位置してもよい。また、第１検査ユニット及び第３検査ユニットの少なくとも一方と第２検査ユニットとが上下方向に並んで位置してもよい。すなわち、第１検査ユニット、第２検査ユニット及び第３検査ユニットの配置は、どのような配置であってもよい。

前記実施形態では、位置決め機構２は、例えば６軸多関節ロボットである。しかしながら、位置決め機構２は、検査対象物Ｍを把持した状態で検査対象物Ｍを複数の姿勢で保持可能な構成を有していれば、どのような構成を有してもよい。位置決め機構は、例えば、５軸以下または７軸以上の多関節ロボットであってもよいし、多関節ロボット以外の構成であってもよい。

第２検査ユニット及び第３検査ユニットに用いられる光源の種類としては、上記実施形態に限定されない。また、第１検査ユニットにおいてリング状光源部を省略することもできる。

本発明は、検査対象物の複数の検査を行う検査装置に適用可能である。

１ 検査装置
２ 位置決め機構
２ａ 支持台
３ 検査部
３ａ 検査台
４ 供給部
５ 良品仕分トレイ
６ 不良品仕分トレイ
７ 姿勢反転装置
２０ 駆動部
２１ 関節部
２１Ａ 第１関節部
２１Ｂ 第２関節部
２１Ｃ 第３関節部
２１Ｄ 第４関節部
２１Ｅ 第５関節部
２１Ｆ 第６関節部（回転部）
２２ アーム
２２Ａ 第１アーム
２２Ｂ 第２アーム
２３ 支持部材
２５ ハンド（把持部）
３１ 第１検査ユニット
３１ａ 第１バー光源部
３１ｂ 第１撮像部
３１ｃ リング状光源部
３１ｄ 同軸高原部
３２ 第２検査ユニット
３２ａ 第２光源部
３２ｂ 第２撮像部
３３ 第３検査ユニット
３３ａ 第３光源部
３３ｂ 第３撮像部
４１ ステージ
４２ 反転部
４３ 反転用把持部
４４ 回転機構
Ｍ 検査対象物
ＭＡ 外表面
ＭＢ 内表面
ＭＣ 中心孔の内周面
ＭＤ 中心軸線
Ｍｆ 撮像検査範囲
Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３ 光軸
Ｔ１ 第１検査位置
Ｔ２ 第２検査位置

Claims (10)

1. 円筒形の検査対象物の内周面及び外周面の少なくとも一方である被写面に検査光を照射可能な複数種類の光源と、
   前記検査対象物を撮像し、前記撮像された画像のうち前記被写面の周方向の一部分に相当する撮像検査範囲の画像に基づいて、前記検査対象物の外観を検査する撮像検査部と、を有する外観検査装置であって、
   前記検査対象物を検査位置に位置づける配置部と、前記検査位置に位置する前記検査対象物を前記円筒形の中心軸回りに回転させる回転部と、を有する位置決め機構を有し、
   前記光源は、前記撮像検査部の光軸と平行な光軸を有し且つ互いに平行に延びる一対の直線状の発光部を有するバー光源と、前記撮像検査部の光軸と同じ光軸を有し且つ前記一対の発光部の間に位置する同軸光源と、を備え、
   前記位置決め機構は、前記撮像検査部の光軸が前記撮像検査範囲内の前記検査対象物の被写面の接線に対して直交し、且つ前記バー光源の一対の発光部が、前記撮像検査範囲内の前記被写面と、前記撮像検査部の光軸方向に重ならない位置であり、且つ、前記中心軸が前記撮像検査部の光軸に対して所定の角度に傾いた状態である撮像配置に前記検査対象物を前記検査位置に位置づけ、
   前記撮像検査部は、前記回転部による検査対象物の回転と同期して前記検査対象物を撮像する、外観検査装置。
2. 請求項１に記載の外観検査装置において、
   前記バー光源と前記同軸光源の検査光は、互いに異なる周波数特性を有し、
   前記撮像検査部は、前記被写面をバー光源と前記同軸光源の検査光の周波数帯域で同時に撮像した画像を、前記それぞれの検査光の周波数特性に応じて周波数分光して得られる分光画像を作成する、外観検査装置。
3. 請求項２に記載の外観検査装置において、
   前記同軸光源から出射される検査光の周波数は、前記バー光源から出射される検査光の周波数よりも短波長である、外観検査装置。
4. 請求項３に記載の外観検査装置において、
   前記同軸光源は青色光であり、前記バー光源は赤色光である、外観検査装置。
5. 請求項１から４のいずれか一つに記載の外観検査装置において、
   前記位置決め機構の前記配置部は、前記検査対象物を把持する把持部と、前記検査対象物を把持した状態で前記把持部を３次元で移動可能な駆動部と、を有し、
   前記位置決め機構の前記回転部は、前記検査対象物の前記中心軸回りに前記把持部を回転可能である、外観検査装置。
6. 請求項１から５のいずれか一つに記載の外観検査装置において、
   前記撮像検査範囲が前記検査対象物の外周面であり、
   前記位置決め機構は、前記検査対象物を、前記撮像検査部の光軸が前記中心軸に対して直行する姿勢で前記検査位置に位置づける、外観検査装置。
7. 請求項１から６のいずれか一つに記載の外観検査装置において、
   前記撮像検査範囲が前記検査対象物の内周面であり、
   前記位置決め機構は、前記検査対象物を、前記撮像検査部の光軸が前記中心軸に対して傾斜する姿勢で前記検査位置に位置づける、外観検査装置。
8. 請求項１から７のいずれか一つに記載の外観検査装置において、
   前記バー光源の発光部の長さは、前記検査対象物の軸線方向の長さ寸法よりも長い、外観検査装置。
9. 請求項１から８のいずれか一つに記載の外観検査装置において、
   前記撮像検査部は、グローバルシャッターの撮像素子を有する、外観検査装置。
10. 請求項１から９のいずれか一つに記載の外観検査装置において、
    前記同軸光源及びバー光源の光軸は、水平方向に延びて、
    前記検査位置は、前記同軸光源及びバー光源が上下方向に同じ高さである、外観検査装置。

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