JP2019157027A - Thermosetting resin composition, resin film for interlayer insulation, composite film, printed wiring board and method for producing the same - Google Patents

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由佳子 庄子
Yukako Shoji
由佳子 庄子
哲郎 岩倉
Tetsuo Iwakura
哲郎 岩倉
彩 笠原
Aya Kasahara
彩 笠原
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Abstract

To provide a thermosetting resin composition that, when made into a film, prevents the occurrence of whitening in wiring pattern embedding; and a resin film for interlayer insulation, a composite film, a printed wiring board and a method of producing the same, using the thermosetting resin composition.SOLUTION: A thermosetting resin composition contains an epoxy resin (A), an active ester curing agent (B), a phosphorous curing accelerator (C) and a pyridine compound having a tertiary amino group (D). There are also provided a resin film for interlayer insulation, a composite film, a printed wiring board and a method of producing the same, using the thermosetting resin composition.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、熱硬化性樹脂組成物、層間絶縁用樹脂フィルム、複合フィルム、プリント配線板及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a thermosetting resin composition, a resin film for interlayer insulation, a composite film, a printed wiring board, and a method for producing the same.

近年、電子機器の小型化、軽量化、多機能化等が一段と進み、これに伴って、LSI(Large Scale Integration)、チップ部品等の高集積化が進み、その形態も多ピン化及び小型化へと急速に変化している。このため、電子部品の実装密度を向上するために、多層プリント配線板の微細配線化の開発が進められている。これらの要求に合致する多層プリント配線板としては、ガラスクロスを含まない絶縁樹脂フィルムを、プリプレグの代わりに絶縁層(以下、「ビルドアップ層」ともいう)として用いるビルドアップ構造の多層プリント配線板が、軽量化、小型化及び微細化に適したプリント配線板として主流になりつつある。   In recent years, electronic devices have become smaller, lighter, more multifunctional, and with this, LSI (Large Scale Integration), chip parts, etc. have become more highly integrated, and their forms are also multi-pin and miniaturized. It is changing rapidly. For this reason, in order to improve the mounting density of electronic components, development of micro wiring of a multilayer printed wiring board has been advanced. As a multilayer printed wiring board meeting these requirements, a multilayer printed wiring board having a build-up structure in which an insulating resin film not containing glass cloth is used as an insulating layer (hereinafter also referred to as “build-up layer”) instead of a prepreg. However, it is becoming mainstream as a printed wiring board suitable for weight reduction, miniaturization and miniaturization.

ビルドアップ層は、加工寸法安定性の向上及び半導体実装後の反り量の低減のために、低熱膨張化が求められている。ビルドアップ層を低熱膨張化する方法の一つとして、フィラーを高充填する方法が挙げられる。例えば、ビルドアップ層の40質量%以上をシリカフィラーとすることによって、ビルドアップ層の低熱膨張化が図られている(特許文献1〜3)。   The build-up layer is required to have a low thermal expansion in order to improve the processing dimension stability and reduce the amount of warpage after semiconductor mounting. One method for reducing the thermal expansion of the build-up layer is a method of highly filling the filler. For example, low thermal expansion of the buildup layer is achieved by using 40% by mass or more of the buildup layer as a silica filler (Patent Documents 1 to 3).

一方で、コンピュータ、情報通信機器等は近年ますます高性能化及び高機能化し、大量のデータを高速で処理するために、扱う信号が高周波化する傾向にある。特に携帯電話及び衛星放送に使用される電波の周波数領域はGHz帯の高周波領域のものが使用されている。高周波化による伝送損失を抑制するため、高周波領域で使用する有機材料としては、比誘電率及び誘電正接が低い材料が望まれている。このような要求に対して、様々な取り組みがなされてきており、例えば、特許文献4には、シアネート樹脂を含有する樹脂組成物が開示されている。   On the other hand, in recent years, computers, information communication devices, and the like have become higher performance and higher functionality, and in order to process a large amount of data at a high speed, signals to be handled tend to be high-frequency. In particular, the frequency range of radio waves used for mobile phones and satellite broadcasting is in the high frequency range of the GHz band. In order to suppress transmission loss due to higher frequencies, a material having a low relative dielectric constant and dielectric loss tangent is desired as an organic material used in the high frequency region. Various efforts have been made to meet such demands. For example, Patent Document 4 discloses a resin composition containing a cyanate resin.

また、上記した多種の要求を満たすために、異なる機能を付与した二層からなる絶縁層用複合フィルムも検討されている。ここで第一の樹脂層は、第二の樹脂層と導体層との接着性を向上させる役割があり、第二の樹脂層は、絶縁性、配線パターン埋め込み性等のビルドアップ層としての機能を発現する役割がある。
例えば、特許文献5には、接着補助層付き層間絶縁用樹脂フィルム及び該フィルムを用いたプリント配線板が開示されている。
In addition, in order to satisfy the various requirements described above, a composite film for an insulating layer composed of two layers having different functions has been studied. Here, the first resin layer has a role of improving the adhesion between the second resin layer and the conductor layer, and the second resin layer functions as a build-up layer such as insulation and wiring pattern embedding. There is a role to express.
For example, Patent Document 5 discloses a resin film for interlayer insulation with an adhesion auxiliary layer and a printed wiring board using the film.

特開2007−87982号公報JP 2007-87982 A 特開2009−280758号公報JP 2009-280758 A 特開2005−39247号公報JP 2005-39247 A 特開2014−136779号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-136791 特開2016−135859号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2006-135859

しかしながら、本発明者等の検討によると、二層からなる絶縁層用複合フィルムによって配線パターンを埋め込もうとすると、配線板のパターン埋め込み時に第一の樹脂層が破断して第二の樹脂層が露出し、白化する現象が生じることがある。これは第一の樹脂層である接着補助層の硬化不足が原因であると推測される。白化は得られるプリント配線板の外観不良の原因となると共に、めっきピール強度等へ影響も懸念されるため改善が望まれている。   However, according to the study by the present inventors, when the wiring pattern is embedded with the two-layer composite film for insulating layer, the first resin layer breaks when the wiring board pattern is embedded, and the second resin layer May be exposed and whitening may occur. This is presumed to be caused by insufficient curing of the adhesion auxiliary layer which is the first resin layer. Whitening causes poor appearance of the obtained printed wiring board, and there is a concern about the influence on the plating peel strength and the like.

本発明は、このような状況に鑑みなされたものであり、フィルムにした際の配線パターン埋め込み時における白化の発生が抑制された熱硬化性樹脂組成物、これを用いた層間絶縁用樹脂フィルム、複合フィルム、プリント配線板及びその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, a thermosetting resin composition in which the occurrence of whitening at the time of embedding a wiring pattern in a film is suppressed, a resin film for interlayer insulation using the same, It aims at providing a composite film, a printed wiring board, and its manufacturing method.

本発明者らは、上記の課題を解決すべく検討を進めた結果、特定の組成を有する熱硬化性樹脂組成物が当該課題を解決できることを見出した。
すなわち、本発明は、次の[1]〜[16]を提供する。
[1]エポキシ樹脂(A)、活性エステル硬化剤(B)、リン系硬化促進剤(C)及び第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)を含有する、熱硬化性樹脂組成物。
[2]熱硬化性樹脂組成物に含有されるエポキシ樹脂(A)のエポキシ基に対する、活性エステル硬化剤(B)のエステル基の当量比(エステル基/エポキシ基)が、0.3〜1.5である、上記[1]に記載の熱硬化性樹脂組成物。
[3]さらに、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(E)を含有する、上記[1]又は[2]に記載の熱硬化性樹脂組成物。
[4]前記成分(E)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、1〜20質量部である、上記[3]に記載の熱硬化性樹脂組成物。
[5]リン系硬化促進剤(C)が、第三ホスフィンとキノン類との付加物である、上記[1]〜[4]のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
[6]リン系硬化促進剤(C)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.1〜20質量部である、上記[1]〜[5]のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
[7]第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)が、4−ジメチルアミノピリジンである、上記[1]〜[6]のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
[8]第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.1〜20質量部である、上記[1]〜[7]のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物。
[9]上記[1]〜[8]のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物を含む、層間絶縁用樹脂フィルム。
[10]上記[1]〜[8]のいずれかに記載の熱硬化性樹脂組成物を含む第一の樹脂組成物層と、第二の樹脂組成物層とを含む、複合フィルム。
[11]前記第二の樹脂組成物層が、脂肪族マレイミド化合物由来の構造単位とジアミン化合物由来の構造単位とを有するポリイミド化合物(F)、変性ポリブタジエン(G)、及び無機充填材(H)を含有する第二の熱硬化性樹脂組成物を含む、上記[10]に記載の複合フィルム。
[12]硬化物の5GHzの誘電正接が、0.005以下である、上記[10]又は[11]に記載の複合フィルム。
[13]上記[9]に記載の層間絶縁用樹脂フィルムの硬化物、又は上記[10]〜[12]のいずれかに記載の複合フィルムの硬化物を含む、プリント配線板。
[14]上記[9]に記載の層間絶縁用樹脂フィルム、又は上記[10]〜[12]のいずれかに記載の複合フィルムを、基材の片面又は両面にラミネートする工程を備える、プリント配線板の製造方法。
[15]熱硬化性樹脂組成物(I)を含む樹脂組成物層(I)と、
熱硬化性樹脂組成物(II)を含む樹脂組成物層(II)と、
を有する複合フィルムであって、
樹脂組成物層(II)が、内層回路を埋め込んで層間絶縁層を形成する層であり、
樹脂組成物層(I)が、前記層間絶縁層の内層回路とは反対側の面に導体層との接着補助層を形成する層であり、
熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度が140℃以下である、複合フィルム。
[16]熱硬化性樹脂組成物(II)の反応開始温度が、熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度よりも高い温度であって、その温度差が、5〜50℃である、上記[15]に記載の複合フィルム。
As a result of investigations to solve the above problems, the present inventors have found that a thermosetting resin composition having a specific composition can solve the problems.
That is, the present invention provides the following [1] to [16].
[1] A thermosetting resin composition containing an epoxy resin (A), an active ester curing agent (B), a phosphorus-based curing accelerator (C), and a pyridine compound (D) having a tertiary amino group.
[2] The equivalent ratio (ester group / epoxy group) of the ester group of the active ester curing agent (B) to the epoxy group of the epoxy resin (A) contained in the thermosetting resin composition is 0.3 to 1. The thermosetting resin composition according to the above [1], which is 0.5.
[3] The thermosetting resin composition according to [1] or [2], further including a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (E).
[4] The thermosetting resin composition according to [3], wherein the content of the component (E) is 1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the thermosetting resin composition. object.
[5] The thermosetting resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the phosphorus curing accelerator (C) is an adduct of a tertiary phosphine and a quinone.
[6] The above [1] to [5], wherein the content of the phosphorus-based curing accelerator (C) is 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the thermosetting resin composition. ] The thermosetting resin composition in any one of.
[7] The thermosetting resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the pyridine compound (D) having a tertiary amino group is 4-dimethylaminopyridine.
[8] The above [1], wherein the content of the pyridine compound (D) having a tertiary amino group is 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the thermosetting resin composition. ] The thermosetting resin composition in any one of [7].
[9] A resin film for interlayer insulation containing the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [8].
[10] A composite film comprising a first resin composition layer containing the thermosetting resin composition according to any one of [1] to [8] and a second resin composition layer.
[11] The polyimide compound (F), the modified polybutadiene (G), and the inorganic filler (H) in which the second resin composition layer has a structural unit derived from an aliphatic maleimide compound and a structural unit derived from a diamine compound. The composite film as described in [10] above, comprising a second thermosetting resin composition containing
[12] The composite film according to [10] or [11] above, wherein the cured product has a dielectric loss tangent of 5 GHz of 0.005 or less.
[13] A printed wiring board comprising a cured product of the interlayer insulating resin film according to [9] or a cured product of the composite film according to any of [10] to [12].
[14] A printed wiring comprising a step of laminating the interlayer insulating resin film according to [9] or the composite film according to any one of [10] to [12] on one side or both sides of a substrate. A manufacturing method of a board.
[15] A resin composition layer (I) containing a thermosetting resin composition (I);
A resin composition layer (II) containing a thermosetting resin composition (II);
A composite film having
The resin composition layer (II) is a layer that embeds the inner layer circuit to form an interlayer insulating layer,
The resin composition layer (I) is a layer that forms an adhesion auxiliary layer with a conductor layer on the surface opposite to the inner layer circuit of the interlayer insulating layer,
The composite film whose reaction start temperature of a thermosetting resin composition (I) is 140 degrees C or less.
[16] The reaction start temperature of the thermosetting resin composition (II) is higher than the reaction start temperature of the thermosetting resin composition (I), and the temperature difference is 5 to 50 ° C. The composite film according to [15] above.

本発明によると、フィルムにした際の配線パターン埋め込み時における白化の発生が抑制された熱硬化性樹脂組成物、これを用いた層間絶縁用樹脂フィルム、複合フィルム、プリント配線板及びその製造方法を提供することができる。   According to the present invention, a thermosetting resin composition in which the occurrence of whitening at the time of embedding a wiring pattern in a film is suppressed, a resin film for interlayer insulation using the same, a composite film, a printed wiring board, and a method for producing the same Can be provided.

本実施形態の複合フィルムを示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the composite film of this embodiment.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本明細書においてはX以上でありY以下である数値範囲(X、Yは実数)を「X〜Y」と表すことがある。例えば、「0.1〜2」という記載は0.1以上であり2以下である数値範囲を示し、当該数値範囲には0.1、0.34、1.03、2等が含まれる。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail. In this specification, a numerical range that is greater than or equal to X and less than or equal to Y (X and Y are real numbers) may be expressed as “X to Y”. For example, the description “0.1-2” indicates a numerical range that is 0.1 or more and 2 or less, and the numerical range includes 0.1, 0.34, 1.03, 2, and the like.

本明細書において「樹脂組成物」とは、後述する各成分の混合物、当該混合物を半硬化させた(いわゆるBステージ状とした)物及び硬化させた(いわゆるCステージ状とした)物の全てを含む。   In the present specification, the “resin composition” refers to a mixture of components described later, a product obtained by semi-curing the mixture (so-called B-stage shape) and a product obtained by curing (so-called C-stage shape). including.

本明細書において「層間絶縁層」とは、2層の導体層の間に位置し、当該導体層を絶縁するための層である。本明細書の「層間絶縁層」は、例えば、層間絶縁用樹脂フィルムの硬化物、複合フィルムの硬化物等が挙げられる。なお、本明細書において「層」とは、一部が欠けているもの、ビア又はパターンが形成されているものも含む。   In this specification, the “interlayer insulating layer” is a layer that is located between two conductor layers and insulates the conductor layer. Examples of the “interlayer insulating layer” in the present specification include a cured product of a resin film for interlayer insulation, a cured product of a composite film, and the like. Note that in this specification, the “layer” includes a part in which a part is missing and a part in which a via or a pattern is formed.

[熱硬化性樹脂組成物]
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂(A)(以下、「成分(A)」ともいう)、活性エステル硬化剤(B)(以下、「成分(B)」ともいう)、リン系硬化促進剤(C)(以下、「成分(C)」ともいう)及び第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)(以下、「成分(D)」ともいう)を含有するものである。
[Thermosetting resin composition]
The thermosetting resin composition of the present embodiment includes an epoxy resin (A) (hereinafter also referred to as “component (A)”), an active ester curing agent (B) (hereinafter also referred to as “component (B)”), It contains a phosphorus-based curing accelerator (C) (hereinafter also referred to as “component (C)”) and a pyridine compound (D) having a tertiary amino group (hereinafter also referred to as “component (D)”). is there.

<エポキシ樹脂(A)>
エポキシ樹脂(A)としては、特に限定されないが、エポキシ基を2個以上有する多官能エポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、キサンテン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらの中でも、めっき銅との接着性の観点から、ビフェニル構造又はナフタレン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビフェニル構造又はナフタレン構造を有する多官能エポキシ樹脂、ビフェニル構造又はナフタレン構造を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂がより好ましい。
<Epoxy resin (A)>
Although it does not specifically limit as an epoxy resin (A), The polyfunctional epoxy resin which has 2 or more of epoxy groups is preferable, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin , Phenol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, aralkyl novolac type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, xanthene type epoxy resin, etc. Is mentioned. Among these, from the viewpoint of adhesiveness with plated copper, an epoxy resin having a biphenyl structure or a naphthalene structure is preferable, a polyfunctional epoxy resin having a biphenyl structure or a naphthalene structure, an aralkyl novolac type epoxy resin having a biphenyl structure or a naphthalene structure Is more preferable.

エポキシ樹脂(A)のエポキシ当量は、特に限定されないが、めっき銅との接着性の観点から、150〜450g/eqが好ましく、200〜400g/eqがより好ましく、250〜350g/eqがさらに好ましい。   Although the epoxy equivalent of an epoxy resin (A) is not specifically limited, From an adhesive viewpoint with plated copper, 150-450 g / eq is preferable, 200-400 g / eq is more preferable, 250-350 g / eq is further more preferable. .

エポキシ樹脂(A)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   An epoxy resin (A) may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中のエポキシ樹脂(A)の含有量は、特に限定されないが、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、10〜90質量部が好ましく、20〜80質量部がより好ましく、30〜70質量部がさらに好ましい。エポキシ樹脂(A)の含有量が、10質量部以上であると、めっき銅とのより良好な接着強度が得られ、90質量部以下であると、より低い誘電正接が得られる傾向にある。
なお、本明細書において、熱硬化性樹脂組成物の固形分とは、熱硬化性樹脂組成物を構成する成分から有機溶媒等の揮発性の成分を除外した残分を意味し、室温(25℃)で液状、水飴状及びワックス状のものも含む。
Although content of the epoxy resin (A) in the thermosetting resin composition of this embodiment is not specifically limited, 10-90 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of solid content of a thermosetting resin composition. 20-80 mass parts is more preferable, and 30-70 mass parts is further more preferable. When the content of the epoxy resin (A) is 10 parts by mass or more, better adhesive strength with the plated copper can be obtained, and when it is 90 parts by mass or less, a lower dielectric loss tangent tends to be obtained.
In addition, in this specification, solid content of a thermosetting resin composition means the residue which excluded volatile components, such as an organic solvent, from the component which comprises a thermosetting resin composition, and room temperature (25 ℃) including liquid, water tank and wax.

<活性エステル硬化剤(B)>
活性エステル硬化剤(B)は、エステル基を1分子中に1個以上有し、エポキシ樹脂(A)の硬化作用を有するものをいう。
活性エステル硬化剤(B)としては、特に限定されないが、脂肪族又は芳香族カルボン酸と、脂肪族又は芳香族ヒドロキシ化合物と、から得られるエステル化合物等が挙げられる。
これらの中でも、脂肪族カルボン酸、脂肪族ヒドロキシ化合物等から得られるエステル化合物は、脂肪族鎖を含むことにより有機溶媒への可溶性及びエポキシ樹脂との相溶性を高くできる傾向にある。
また、芳香族カルボン酸、芳香族ヒドロキシ化合物等から得られるエステル化合物は、芳香族環を有することで耐熱性を高められる傾向にある。
<Active ester curing agent (B)>
The active ester curing agent (B) has one or more ester groups in one molecule and has a curing action of the epoxy resin (A).
Although it does not specifically limit as an active ester hardening | curing agent (B), The ester compound etc. which are obtained from an aliphatic or aromatic carboxylic acid and an aliphatic or aromatic hydroxy compound are mentioned.
Among these, ester compounds obtained from aliphatic carboxylic acids, aliphatic hydroxy compounds, and the like tend to have high solubility in organic solvents and compatibility with epoxy resins by including aliphatic chains.
Moreover, the ester compound obtained from aromatic carboxylic acid, an aromatic hydroxy compound, etc. exists in the tendency for heat resistance to be improved by having an aromatic ring.

活性エステル硬化剤(B)としては、フェノールエステル化合物、チオフェノールエステル化合物、N−ヒドロキシアミンエステル化合物、複素環ヒドロキシ化合物のエステル化化合物等が挙げられる。
より具体的には、例えば、芳香族カルボン酸とフェノール性水酸基との縮合反応にて得られる芳香族エステルが挙げられ、ベンゼン、ナフタレン、ビフェニル、ジフェニルプロパン、ジフェニルメタン、ジフェニルエーテル、ジフェニルスルホン酸等の芳香環の水素原子の2〜4個をカルボキシ基で置換したものから選ばれる芳香族カルボン酸成分と、上記した芳香環の水素原子の1個を水酸基で置換した1価フェノールと芳香環の水素原子の2〜4個を水酸基で置換した多価フェノールとの混合物を原材料として、芳香族カルボン酸とフェノール性水酸基との縮合反応にて得られる芳香族エステル等が好ましい。すなわち、上記芳香族カルボン酸成分由来の構造単位と上記1価フェノール由来の構造単位と上記多価フェノール由来の構造単位とを有する芳香族エステルが好ましい。
Examples of the active ester curing agent (B) include phenol ester compounds, thiophenol ester compounds, N-hydroxyamine ester compounds, and esterified compounds of heterocyclic hydroxy compounds.
More specifically, for example, aromatic esters obtained by a condensation reaction of an aromatic carboxylic acid and a phenolic hydroxyl group can be mentioned, and aromatics such as benzene, naphthalene, biphenyl, diphenylpropane, diphenylmethane, diphenyl ether, diphenylsulfonic acid and the like can be mentioned. Aromatic carboxylic acid components selected from those in which 2 to 4 hydrogen atoms in the ring are substituted with carboxy groups, monovalent phenols in which one of the hydrogen atoms in the aromatic ring is substituted with a hydroxyl group, and hydrogen atoms in the aromatic ring Aromatic esters obtained by a condensation reaction of an aromatic carboxylic acid and a phenolic hydroxyl group using a mixture of 2 to 4 of the above with a polyhydric phenol substituted with a hydroxyl group is preferred. That is, an aromatic ester having a structural unit derived from the aromatic carboxylic acid component, a structural unit derived from the monohydric phenol, and a structural unit derived from the polyhydric phenol is preferable.

活性エステル硬化剤(B)としては、市販品を用いてもよい。活性エステル硬化剤(B)の市販品としては、例えば、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC−8000−65T」(DIC株式会社製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416−70BK」(DIC株式会社製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱ケミカル学株式会社製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱ケミカル株式会社製)等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the active ester curing agent (B). As a commercial item of the active ester curing agent (B), for example, as an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, “EXB9451”, “EXB9460”, “EXB9460S”, “HPC-8000-65T” (DIC) Co., Ltd.), “EXB9416-70BK” (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, “DC808” (manufactured by Mitsubishi Chemical) as an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and phenol novolak Examples of the active ester compound containing a benzoylated product of “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) and the like.

活性エステル硬化剤(B)のエステル当量は、特に限定されないが、150〜400g/eqが好ましく、170〜300g/eqがより好ましく、200〜250g/eqがさらに好ましい。   The ester equivalent of the active ester curing agent (B) is not particularly limited, but is preferably 150 to 400 g / eq, more preferably 170 to 300 g / eq, and further preferably 200 to 250 g / eq.

活性エステル硬化剤(B)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   An active ester hardening agent (B) may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中の活性エステル硬化剤(B)の含有量は、特に限定されないが、エポキシ樹脂(A)のエポキシ基に対する、活性エステル硬化剤(B)のエステル基の当量比(エステル基/エポキシ基)が、0.3〜1.5となる量が好ましく、0.4〜1.3となる量がより好ましく、0.5〜1.0となる量がさらに好ましい。活性エステル硬化剤(B)の含有量が上記範囲内であると、めっき銅との接着強度をより高め、且つより低い誘電正接と平滑な表面を得られるため、微細配線を形成する観点から好適である。   Although content of the active ester hardening | curing agent (B) in the thermosetting resin composition of this embodiment is not specifically limited, The ester group of the active ester hardening | curing agent (B) with respect to the epoxy group of an epoxy resin (A) is not limited. The amount that the equivalent ratio (ester group / epoxy group) is 0.3 to 1.5 is preferable, the amount that becomes 0.4 to 1.3 is more preferable, and the amount that becomes 0.5 to 1.0 is further increased. preferable. When the content of the active ester curing agent (B) is within the above range, the adhesive strength with the plated copper can be further increased, and a lower dielectric loss tangent and a smooth surface can be obtained. It is.

<リン系硬化促進剤(C)>
リン系硬化促進剤(C)としては、リン原子を含有し、エポキシ樹脂(A)と活性エステル硬化剤(B)との反応を促進させる硬化促進剤であれば特に制限なく使用することができる。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、リン系硬化促進剤(C)を含有することによって、硬化反応をより一層十分に進めることができる。この理由は、リン系硬化促進剤(C)を用いることによって、活性エステル硬化剤(B)中のカルボニル基の電子求引性を高めることができ、これにより活性エステル硬化剤(B)とエポキシ樹脂(A)との反応が促進されるためと推察される。
このように本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、リン系硬化促進剤(C)を含有することにより、他の硬化促進剤を用いた場合より、エポキシ樹脂(A)と活性エステル硬化剤(B)との硬化反応がより一層十分に進行するため、後述する第二の熱硬化性樹脂組成物層と組み合わせた際に、低い誘電正接が得られると考えられる。
<Phosphorus curing accelerator (C)>
The phosphorus curing accelerator (C) can be used without particular limitation as long as it is a curing accelerator containing a phosphorus atom and accelerating the reaction between the epoxy resin (A) and the active ester curing agent (B). .
The thermosetting resin composition of the present embodiment can further promote the curing reaction by containing the phosphorus-based curing accelerator (C). The reason for this is that by using the phosphorus-based curing accelerator (C), the electron withdrawing property of the carbonyl group in the active ester curing agent (B) can be increased, whereby the active ester curing agent (B) and the epoxy are cured. It is assumed that the reaction with the resin (A) is promoted.
As described above, the thermosetting resin composition of the present embodiment contains the phosphorus-based curing accelerator (C), so that the epoxy resin (A) and the active ester curing agent are used more than when other curing accelerators are used. Since the curing reaction with (B) proceeds more sufficiently, it is considered that a low dielectric loss tangent can be obtained when combined with the second thermosetting resin composition layer described later.

リン系硬化促進剤(C)としては、特に限定されないが、トリフェニルホスフィン、ジフェニル(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルフェニル)ホスフィン、トリス(アルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(アルキルアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルキルフェニル)ホスフィン、トリス(ジアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(トリアルコキシフェニル)ホスフィン、トリス(テトラアルコキシフェニル)ホスフィン、トリアルキルホスフィン、ジアルキルアリールホスフィン、アルキルジアリールホスフィン等の有機ホスフィン類;有機ホスフィン類と有機ボロン類との錯体;第三ホスフィンとキノン類との付加物などが挙げられる。これらの中でも、硬化反応がより十分に進み、高いめっき銅との接着性を発揮できる観点から、第三ホスフィンとキノン類との付加物が好ましい。
第三ホスフィンとしては、特に限定されないが、トリノルマルブチルホスフィン、ジブチルフェニルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、エチルジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス(4−メチルフェニル)ホスフィン、トリス(4−メトキシフェニル)ホスフィン等が挙げられる。また、キノン類としては、特に限定されないが、o−ベンゾキノン、p−ベンゾキノン、ジフェノキノン、1,4−ナフトキノン、アントラキノン等が挙げられる。これらの中でも、めっき銅との接着性、耐熱性及び平滑な表面が得られるという観点から、トリノルマルブチルホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物がより好ましい。
Although it does not specifically limit as a phosphorus hardening accelerator (C), A triphenylphosphine, a diphenyl (alkylphenyl) phosphine, a tris (alkylphenyl) phosphine, a tris (alkoxyphenyl) phosphine, a tris (alkyl alkoxyphenyl) phosphine, a tris (Dialkylphenyl) phosphine, tris (trialkylphenyl) phosphine, tris (tetraalkylphenyl) phosphine, tris (dialkoxyphenyl) phosphine, tris (trialkoxyphenyl) phosphine, tris (tetraalkoxyphenyl) phosphine, trialkylphosphine, Organic phosphines such as dialkylarylphosphine and alkyldiarylphosphine; complexes of organic phosphines and organic borons; tertiary phosphines and quino And addition products of class thereof. Among these, an adduct of a tertiary phosphine and a quinone is preferable from the viewpoint that the curing reaction proceeds more sufficiently and can exhibit high adhesion to plated copper.
Although it does not specifically limit as a tertiary phosphine, Tri-normal butyl phosphine, dibutyl phenyl phosphine, butyl diphenyl phosphine, ethyl diphenyl phosphine, triphenyl phosphine, tris (4-methylphenyl) phosphine, tris (4-methoxyphenyl) phosphine, etc. Is mentioned. The quinones are not particularly limited, and examples include o-benzoquinone, p-benzoquinone, diphenoquinone, 1,4-naphthoquinone, and anthraquinone. Among these, an adduct of trinormal butylphosphine and p-benzoquinone is more preferable from the viewpoints of adhesion to plated copper, heat resistance, and a smooth surface.

リン系硬化促進剤(C)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   A phosphorus hardening accelerator (C) may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中のリン系硬化促進剤(C)の含有量は、特に限定されないが、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.1〜20質量部が好ましく、0.2〜15質量部がより好ましく、0.4〜10質量部がさらに好ましい。リン系硬化促進剤(C)の含有量が、0.1質量部以上であると、硬化反応を十分進めることができ、20質量部以下であると、硬化物の均質性を保つことができる。
また、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中のリン系硬化促進剤(C)の、エポキシ樹脂(A)を基準とする場合の含有量は、エポキシ樹脂(A)100質量部に対して、0.25〜20質量部が好ましく、0.5〜10質量部がより好ましく、0.8〜5質量部がさらに好ましい。リン系硬化促進剤(C)の含有量が、エポキシ樹脂(A)100質量部に対して、0.2質量部以上であると、硬化反応を十分進めることができ、20質量部以下であると、硬化物の均質性を保つことができる。
Although content of the phosphorus hardening accelerator (C) in the thermosetting resin composition of this embodiment is not specifically limited, It is 0.1 with respect to 100 mass parts of solid content of a thermosetting resin composition. 20 mass parts is preferable, 0.2-15 mass parts is more preferable, 0.4-10 mass parts is further more preferable. When the content of the phosphorus curing accelerator (C) is 0.1 part by mass or more, the curing reaction can be sufficiently advanced, and when it is 20 parts by mass or less, the homogeneity of the cured product can be maintained. .
Further, the content of the phosphorus-based curing accelerator (C) in the thermosetting resin composition of the present embodiment based on the epoxy resin (A) is based on 100 parts by mass of the epoxy resin (A). 0.25-20 mass parts is preferable, 0.5-10 mass parts is more preferable, and 0.8-5 mass parts is still more preferable. When the content of the phosphorus-based curing accelerator (C) is 0.2 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin (A), the curing reaction can be sufficiently advanced and is 20 parts by mass or less. And the homogeneity of the cured product can be maintained.

<第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)>
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)を含有することによって、硬化反応をより一層十分に進めることができる。この理由は、リン系硬化促進剤(C)よりも反応開始温度の低い成分(D)を用いることによって、活性エステル硬化剤(B)とエポキシ樹脂(A)との反応が促進されるためと推察される。すなわち、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、成分(D)を含有することにより、リン系硬化促進剤(C)のみを用いた場合より、エポキシ樹脂(A)と活性エステル硬化剤(B)との硬化反応がより一層十分に進行するため、後述する第二の熱硬化性樹脂組成物層と組み合わせた際に、層間絶縁層の硬化不足によるパターン埋め込み時の白化が抑制されると考えられる。
<Pyridine compound having a tertiary amino group (D)>
The thermosetting resin composition of this embodiment can further promote the curing reaction by containing the pyridine compound (D) having a tertiary amino group. This is because the reaction between the active ester curing agent (B) and the epoxy resin (A) is promoted by using the component (D) having a reaction initiation temperature lower than that of the phosphorus-based curing accelerator (C). Inferred. That is, the thermosetting resin composition of the present embodiment contains the component (D), so that the epoxy resin (A) and the active ester curing agent (C) are used more than when only the phosphorus-based curing accelerator (C) is used. Since the curing reaction with B) proceeds more sufficiently, when combined with the second thermosetting resin composition layer described below, whitening at the time of pattern embedding due to insufficient curing of the interlayer insulating layer is suppressed. Conceivable.

第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)としては、ピリジンを構成する複素環が有する水素のうち、1個又は2個以上の水素原子を第3級アミノ基で置換した化合物が挙げられる。このような成分(D)としては、下記一般式(1)で表される化合物が好ましい。   Examples of the pyridine compound (D) having a tertiary amino group include compounds in which one or two or more hydrogen atoms are substituted with a tertiary amino group among the hydrogen atoms of the heterocyclic ring constituting the pyridine. Such a component (D) is preferably a compound represented by the following general formula (1).


(式中、R及びRは、各々独立に、炭素数1〜10の炭化水素基を示し、nは1〜5の整数を示す。nが2以上の場合は、複数のR同士又は複数のR同士は、各々、同一であっても異なっていてもよい。)

(Wherein, R 1 and R 2 each independently represents a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, n represents if .n represents an integer of 1 to 5 is 2 or more, plural R 1 each other Or a plurality of R 2 may be the same or different from each other.)

一般式(D−1)中のR及びRが示す炭素数1〜10の炭化水素基としては、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アリール基等が挙げられる。これらの中でも、アルキル基が好ましい。アルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等が挙げられる。これらの中でも、メチル基が好ましい。
及びRが示す炭化水素基の炭素数は、1〜5が好ましく、1〜3がより好ましい。
nは1〜5の整数であり、1〜3の整数が好ましく、1がより好ましい。
上記の成分(D)の中でも、下記一般式(D−2)で表される化合物がより好ましい。
Examples of the hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms represented by R 1 and R 2 in the general formula (D-1) include an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, and an aryl group. Among these, an alkyl group is preferable. Examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, t-butyl group, n-pentyl group, hexyl group, octyl group, nonyl group, and decyl group. Can be mentioned. Among these, a methyl group is preferable.
The hydrocarbon groups R 1 and R 2 represents the 1 to 5 preferably 1 to 3 is more preferable.
n is an integer of 1 to 5, an integer of 1 to 3 is preferable, and 1 is more preferable.
Among the above components (D), a compound represented by the following general formula (D-2) is more preferable.


(式中、R及びRは、上記で説明した通りである。)

(Wherein R 1 and R 2 are as described above.)

成分(D)としては、2−ジメチルアミノピリジン、3−ジメチルアミノピリジン、4−ジメチルアミノピリジン、2−ジエチルアミノピリジン、3−ジエチルアミノピリジン、4−ジエチルアミノピリジン等が挙げられる。これらの中でも、硬化反応をより一層十分に進めることができるという観点から、4−ジメチルアミノピリジンが好ましい。   Examples of the component (D) include 2-dimethylaminopyridine, 3-dimethylaminopyridine, 4-dimethylaminopyridine, 2-diethylaminopyridine, 3-diethylaminopyridine, 4-diethylaminopyridine and the like. Among these, 4-dimethylaminopyridine is preferable from the viewpoint that the curing reaction can be further sufficiently advanced.

成分(D)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   A component (D) may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中の成分(D)の含有量は、特に限定されないが、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.1〜20質量部が好ましく、0.15〜15質量部がより好ましく、0.2〜10質量部がさらに好ましい。成分(D)の含有量が、0.1質量部以上であると、硬化反応を十分進めることができ、20質量部以下であると、硬化物の均質性を保つことができる。
また、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中の成分(D)の、エポキシ樹脂(A)を基準とする場合の含有量は、エポキシ樹脂(A)100質量部に対して、0.2〜20質量部が好ましく、0.5〜10質量部がより好ましく、0.8〜5質量部がさらに好ましい。成分(D)の含有量が、エポキシ樹脂(A)100質量部に対して、0.2質量部以上であると、硬化反応を十分進めることができ、20質量部以下であると、硬化物の均質性を保つことができる。
Although content of the component (D) in the thermosetting resin composition of this embodiment is not specifically limited, 0.1-20 mass parts is with respect to 100 mass parts of solid content of a thermosetting resin composition. Preferably, 0.15-15 mass parts is more preferable, and 0.2-10 mass parts is further more preferable. When the content of the component (D) is 0.1 parts by mass or more, the curing reaction can be sufficiently advanced, and when it is 20 parts by mass or less, the homogeneity of the cured product can be maintained.
In addition, the content of the component (D) in the thermosetting resin composition of the present embodiment based on the epoxy resin (A) is 0.2 with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin (A). -20 mass parts is preferable, 0.5-10 mass parts is more preferable, 0.8-5 mass parts is further more preferable. When the content of the component (D) is 0.2 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the epoxy resin (A), the curing reaction can be sufficiently advanced, and when it is 20 parts by mass or less, the cured product. Can maintain homogeneity.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物中の成分(C)と成分(D)の、質量基準の含有量比[成分(C)/成分(D)]は、0.1〜10が好ましく、0.2〜8がより好ましく、0.3〜6がさらに好ましく、0.5〜5が特に好ましい。含有量比が上記範囲内であると、層間絶縁層の硬化不足によるパターン埋め込み時の白化がより効果的に抑制される。   The mass ratio of the component (C) and the component (D) in the thermosetting resin composition of the present embodiment [component (C) / component (D)] is preferably 0.1 to 10, 0.2-8 are more preferable, 0.3-6 are more preferable, and 0.5-5 are especially preferable. When the content ratio is within the above range, whitening at the time of pattern embedding due to insufficient curing of the interlayer insulating layer is more effectively suppressed.

<フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(E)>
成分(E)は、フェノール性水酸基を有するポリブタジエン変性されたポリアミド樹脂であれば、特に限定されないが、ジアミン由来の構造単位と、フェノール性水酸基を含有するジカルボン酸由来の構造単位と、フェノール性水酸基を含有しないジカルボン酸由来の構造単位と、両末端にカルボキシ基を有するポリブタジエン由来の構造単位とを有するものが好ましい。具体的には、下記一般式(i)で表される構造単位、下記一般式(ii)で表される構造単位、及び下記一般式(iii)で表される構造単位を有するものが好ましく挙げられる。
<Phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene modified polyamide resin (E)>
The component (E) is not particularly limited as long as it is a polybutadiene-modified polyamide resin having a phenolic hydroxyl group, but is not limited to a structural unit derived from a diamine, a structural unit derived from a dicarboxylic acid containing a phenolic hydroxyl group, and a phenolic hydroxyl group. Those having a structural unit derived from dicarboxylic acid containing no carboxylic acid and a structural unit derived from polybutadiene having carboxy groups at both ends are preferred. Specifically, preferred are those having a structural unit represented by the following general formula (i), a structural unit represented by the following general formula (ii), and a structural unit represented by the following general formula (iii). It is done.

一般式(i)〜(iii)中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度を示す整数であって、a=2〜10、b=0〜3、c=3〜30、x=1に対しy+z=2〜300((y+z)/x)を示し、さらにy=1に対しz≧20(z/y)である。
一般式(i)〜(iii)中、R’はそれぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに由来する2価の基を示し、一般式(iii)中、R’’は芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸又は両末端にカルボキシ基を有するオリゴマーに由来する2価の基を示す。
一般式(i)〜(iii)中に含まれる複数のR’同士は同一であっても異なっていてもよい。また、zが2以上の整数のとき、複数のR’’同士は同一であっても異なっていてもよい。
なお、一般式(i)〜(iii)中、R’は、具体的には、後述する芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに由来する2価の基であり、R’’は、後述する芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸又は両末端にカルボキシ基を有するオリゴマーに由来する2価の基であることが好ましい。
In the general formulas (i) to (iii), a, b, c, x, y and z are integers indicating the average degree of polymerization, respectively, and a = 2 to 10, b = 0 to 3, c = 3 Y + z = 2 to 300 ((y + z) / x) for ˜30, x = 1, and z ≧ 20 (z / y) for y = 1.
In the general formulas (i) to (iii), R ′ each independently represents a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and in the general formula (iii), R ″ represents an aromatic dicarboxylic acid. , A divalent group derived from an aliphatic dicarboxylic acid or an oligomer having a carboxy group at both ends.
A plurality of R ′ contained in the general formulas (i) to (iii) may be the same or different. When z is an integer of 2 or more, the plurality of R ″ may be the same or different.
In the general formulas (i) to (iii), R ′ is specifically a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine described later, and R ″ is an aromatic described later. It is preferably a divalent group derived from dicarboxylic acid, aliphatic dicarboxylic acid or an oligomer having a carboxy group at both ends.

ジアミンとしては、例えば、芳香族ジアミン、脂肪族ジアミン等が挙げられる。
上記芳香族ジアミンとしては、ジアミノベンゼン、ジアミノトルエン、ジアミノフェノール、ジアミノジメチルベンゼン、ジアミノメシチレン、ジアミノニトロベンゼン、ジアミノジアゾベンゼン、ジアミノナフタレン、ジアミノビフェニル、ジアミノジメトキシビフェニル、ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノジメチルジフェニルエーテル、メチレンジアミン、メチレンビス(ジメチルアニリン)、メチレンビス(メトキシアニリン)、メチレンビス(ジメトキシアニリン)、メチレンビス(エチルアニリン)、メチレンビス(ジエチルアニリン)、メチレンビス(エトキシアニリン)、メチレンビス(ジエトキシアニリン)、イソプロピリデンジアニリン、ジアミノベンゾフェノン、ジアミノジメチルベンゾフェノン、ジアミノアントラキノン、ジアミノジフェニルチオエーテル、ジアミノジメチルジフェニルチオエーテル、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノジフェニルスルホキシド、ジアミノフルオレン等が挙げられる。
上記脂肪族ジアミンとしては、エチレンジアミン、プロパンジアミン、ヒドロキシプロパンジアミン、ブタンジアミン、へプタンジアミン、ヘキサンジアミン、シクロペンタンジアミン、シクロヘキサンジアミン、アザペンタンジアミン、トリアザウンデカジアミン等が挙げられる。
Examples of diamines include aromatic diamines and aliphatic diamines.
Examples of the aromatic diamine include diaminobenzene, diaminotoluene, diaminophenol, diaminodimethylbenzene, diaminomesitylene, diaminonitrobenzene, diaminodiazobenzene, diaminonaphthalene, diaminobiphenyl, diaminodimethoxybiphenyl, diaminodiphenyl ether, diaminodimethyldiphenyl ether, methylenediamine, Methylenebis (dimethylaniline), methylenebis (methoxyaniline), methylenebis (dimethoxyaniline), methylenebis (ethylaniline), methylenebis (diethylaniline), methylenebis (ethoxyaniline), methylenebis (diethoxyaniline), isopropylidenedianiline, diaminobenzophenone , Diaminodimethylbenzophenone, diaminoan Rakinon, diaminodiphenyl thioether, diaminodiphenyl dimethyl diphenyl thioether, diaminodiphenyl sulfone, diaminodiphenyl sulfoxide, diaminofluorene and the like.
Examples of the aliphatic diamine include ethylenediamine, propanediamine, hydroxypropanediamine, butanediamine, heptanediamine, hexanediamine, cyclopentanediamine, cyclohexanediamine, azapentanediamine, and triazaundecadiamine.

フェノール性水酸基を含有するジカルボン酸としては、例えば、ヒドロキシイソフタル酸、ヒドロキシフタル酸、ヒドロキシテレフタル酸、ジヒドロキシイソフタル酸、ジヒドロキシテレフタル酸等が挙げられる。
フェノール性水酸基を含有しないジカルボン酸としては、例えば、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、両末端にカルボキシ基を有するオリゴマー等が挙げられる。
芳香族ジカルボン酸としては、例えば、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ビフェニルジカルボン酸、メチレン二安息香酸、チオ二安息香酸、カルボニル二安息香酸、スルホニル安息香酸、ナフタレンジカルボン酸等が挙げられる。
脂肪族ジカルボン酸としては、例えば、シュウ酸、マロン酸、メチルマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、フマル酸、りんご酸、酒石酸、(メタ)アクリロイルオキシコハク酸、ジ(メタ)アクリロイルオキシコハク酸、(メタ)アクリロイルオキシりんご酸、(メタ)アクリルアミドコハク酸、(メタ)アクリルアミドりんご酸等が挙げられる。
Examples of the dicarboxylic acid containing a phenolic hydroxyl group include hydroxyisophthalic acid, hydroxyphthalic acid, hydroxyterephthalic acid, dihydroxyisophthalic acid, and dihydroxyterephthalic acid.
Examples of the dicarboxylic acid not containing a phenolic hydroxyl group include aromatic dicarboxylic acids, aliphatic dicarboxylic acids, and oligomers having carboxy groups at both ends.
Examples of the aromatic dicarboxylic acid include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, biphenyl dicarboxylic acid, methylene dibenzoic acid, thiodibenzoic acid, carbonyl dibenzoic acid, sulfonylbenzoic acid, and naphthalenedicarboxylic acid.
Examples of the aliphatic dicarboxylic acid include oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, maleic acid, fumaric acid, malic acid, tartaric acid, (meth) acryloyloxysuccinic acid, di (meta) ) Acryloyloxysuccinic acid, (meth) acryloyloxymalic acid, (meth) acrylamide succinic acid, (meth) acrylamide malic acid and the like.

成分(E)の重量平均分子量は、特に限定されないが、60,000〜250,000が好ましく、80,000〜200,000がより好ましい。成分(E)の重量平均分子量は、後述のポリイミド化合物(F)の重量平均分子量と同様の方法により求めることができる。   Although the weight average molecular weight of a component (E) is not specifically limited, 60,000-250,000 are preferable and 80,000-200,000 are more preferable. The weight average molecular weight of a component (E) can be calculated | required by the method similar to the weight average molecular weight of the below-mentioned polyimide compound (F).

成分(E)の活性水酸基当量は、特に限定されないが、1,500〜7,000g/molが好ましく、2,000〜6,000g/molがより好ましく、3,000〜5,000g/molがさらに好ましい。   The active hydroxyl equivalent of the component (E) is not particularly limited, but is preferably 1,500 to 7,000 g / mol, more preferably 2,000 to 6,000 g / mol, and 3,000 to 5,000 g / mol. Further preferred.

成分(E)は、例えば、ジアミンと、フェノール性水酸基を含有するジカルボン酸と、フェノール性水酸基を含有しないジカルボン酸と、両末端にカルボキシ基を有するポリブタジエンとを、ジメチルアセトアミド等の有機溶媒中で、触媒として亜リン酸エステルとピリジン誘導体の存在下で反応性させて、カルボキシ基とアミノ基とを重縮合させることにより合成される。製造に使用できる各化合物は、上記したものを例示できる。   Component (E) is, for example, a diamine, a dicarboxylic acid containing a phenolic hydroxyl group, a dicarboxylic acid not containing a phenolic hydroxyl group, and a polybutadiene having a carboxy group at both ends in an organic solvent such as dimethylacetamide. And synthesized by polycondensation of a carboxy group and an amino group by reacting in the presence of a phosphite ester and a pyridine derivative as a catalyst. Examples of the compounds that can be used for the production include those described above.

成分(E)の製造に使用する両末端にカルボキシ基を有するポリブタジエンとしては、例えば、数平均分子量が200〜10,000であることが好ましく、数平均分子量が500〜5,000のオリゴマーであることがより好ましい。   For example, the polybutadiene having a carboxy group at both ends used for the production of the component (E) is preferably an oligomer having a number average molecular weight of 200 to 10,000 and a number average molecular weight of 500 to 5,000. It is more preferable.

成分(E)としては、市販品を使用することができ、市販品の成分(E)としては、日本化薬株式会社製のBPAM−155等が挙げられる。   Commercially available products can be used as the component (E), and examples of the commercially available component (E) include BPAM-155 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.

成分(E)は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。   A component (E) may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物が、成分(E)を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、1〜20質量部が好ましく、2〜15質量部がより好ましく、3〜10質量部がさらに好ましい。成分(E)の含有量が、1質量部以上であると、樹脂組成物の強靭性を高くすることができ、緻密な粗化形状が得られ、めっき銅との接着強度を高めることができる。また、20質量部以下であると、耐熱性の低下がなく、粗化工程時の薬液に対する耐性の低下も防ぐことができる。また、めっき銅との十分な接着性を確保できる。   When the thermosetting resin composition of this embodiment contains a component (E), the content is not specifically limited, 1-20 with respect to 100 mass parts of solid content of a thermosetting resin composition. Mass parts are preferred, 2-15 parts by mass are more preferred, and 3-10 parts by mass are even more preferred. When the content of the component (E) is 1 part by mass or more, the toughness of the resin composition can be increased, a dense roughened shape can be obtained, and the adhesive strength with the plated copper can be increased. . Moreover, when it is 20 parts by mass or less, there is no decrease in heat resistance, and it is possible to prevent a decrease in resistance to chemicals during the roughening step. Moreover, sufficient adhesiveness with plated copper can be ensured.

<充填材(J)>
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、さらに、充填材(J)を含有していてもよい。充填材(J)としては、無機充填材、有機充填材等が挙げられる。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、充填材(J)を含有することで、得られる絶縁層をレーザー加工する際に樹脂の飛散をより低減できる。
<Filler (J)>
The thermosetting resin composition of the present embodiment may further contain a filler (J). Examples of the filler (J) include inorganic fillers and organic fillers.
By containing the filler (J), the thermosetting resin composition of this embodiment can further reduce resin scattering when laser processing the obtained insulating layer.

無機充填材としては、特に限定されないが、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等が挙げられる。   The inorganic filler is not particularly limited, but silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, titanium Examples thereof include barium acid, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, and calcium zirconate.

無機充填材の比表面積は、本実施形態の樹脂層上に微細配線を形成する観点から、20m/g以上が好ましく、50m/g以上がより好ましい。比表面積の上限に特に制限はないが、入手容易性の観点からは、500m/g以下が好ましく、200m/g以下がより好ましい。比表面積は、不活性気体の低温低湿物理吸着によるBET法で求めることができる。具体的には、粉体粒子表面に、窒素等の吸着占有面積が既知の分子を液体窒素温度で吸着させ、その吸着量から粉体粒子の比表面積を求めることができる。 The specific surface area of the inorganic filler is preferably 20 m 2 / g or more, and more preferably 50 m 2 / g or more, from the viewpoint of forming fine wiring on the resin layer of the present embodiment. Although there is no restriction | limiting in particular in the upper limit of a specific surface area, 500 m < 2 > / g or less is preferable from a viewpoint of availability, and 200 m < 2 > / g or less is more preferable. The specific surface area can be determined by a BET method by low-temperature low-humidity physical adsorption of an inert gas. Specifically, molecules having a known adsorption occupation area such as nitrogen are adsorbed on the surface of the powder particles at the liquid nitrogen temperature, and the specific surface area of the powder particles can be determined from the amount of adsorption.

比表面積が20m/g以上の無機充填材としては、市販品を用いてもよい。市販品としては、例えば、ヒュームドシリカであるAEROSIL R972(日本アエロジル株式会社製、商品名、比表面積110±20m/g)、及びAEROSIL R202(日本アエロジル株式会社製、商品名、比表面積100±20m/g)、コロイダルシリカであるPL−1(扶桑化学工業株式会社製、商品名、比表面積181m/g)、PL−7(扶桑化学工業株式会社製、商品名、比表面積36m/g)等が挙げられる。また、耐湿性を向上させる観点からは、シランカップリング剤等の表面処理剤で表面処理された無機充填材であることが好ましい。 As the inorganic filler having a specific surface area of 20 m 2 / g or more, a commercially available product may be used. Examples of commercially available products include AEROSIL R972 (trade name, specific surface area 110 ± 20 m 2 / g, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.), which is fumed silica, and AEROSIL R202 (trade name, specific surface area 100, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.). ± 20m 2 / g), PL -1 ( Fuso chemical Co., Ltd. is a colloidal silica, trade name, specific surface area 181m 2 / g), PL- 7 ( Fuso chemical Co., Ltd., trade name, specific surface area 36m 2 / g). Further, from the viewpoint of improving moisture resistance, an inorganic filler surface-treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent is preferable.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物が無機充填材を含有する場合、その含有量は、熱硬化性樹脂組成物中の樹脂成分の固形分100質量部に対して、1〜30質量部が好ましく、2〜25質量部がより好ましく、3〜20質量部がさらに好ましく、5〜18質量部が特に好ましい。無機充填材の含有量が、1質量部以上であると、より良好なレーザー加工性が得られる傾向にあり、30質量部以下であると、後述する第二の熱硬化性樹脂組成物層と導体層との接着強度がより向上する傾向にある。   When the thermosetting resin composition of this embodiment contains an inorganic filler, the content is 1-30 mass parts with respect to 100 mass parts of solid content of the resin component in a thermosetting resin composition. Preferably, 2-25 mass parts is more preferable, 3-20 mass parts is more preferable, and 5-18 mass parts is especially preferable. When the content of the inorganic filler is 1 part by mass or more, better laser processability tends to be obtained, and when it is 30 parts by mass or less, the second thermosetting resin composition layer described later There exists a tendency which the adhesive strength with a conductor layer improves more.

有機充填材としては、特に限定されないが、アクリロニトリルブタジエンの共重合物として、アクリロニトリルとブタジエンとを共重合した架橋NBR粒子、アクリロニトリルとブタジエンとアクリル酸等のカルボン酸とを共重合したもの、ポリブタジエン、NBR、シリコーンゴムをコアとし、アクリル酸誘導体をシェルとした、いわゆるコア−シェルゴム粒子等が挙げられる。有機充填材を含有することで、樹脂層の伸び性がより向上する。   The organic filler is not particularly limited, but as a copolymer of acrylonitrile butadiene, a crosslinked NBR particle obtained by copolymerizing acrylonitrile and butadiene, a copolymer of acrylonitrile, butadiene and carboxylic acid such as acrylic acid, polybutadiene, Examples include so-called core-shell rubber particles having NBR, silicone rubber as a core, and acrylic acid derivative as a shell. By containing the organic filler, the extensibility of the resin layer is further improved.

<その他の成分>
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、上記各成分の他に、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて、上記各成分以外の、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等のその他の樹脂成分;酸化防止剤、流動調整剤、上記成分(C)及び成分(D)以外の硬化促進剤等の添加剤;後述する難燃剤;有機溶媒などを含有していてもよい。その他の成分は、各々について、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<Other ingredients>
The thermosetting resin composition of the present embodiment includes, in addition to the above-described components, a thermosetting resin, a thermoplastic resin, and the like other than the above-described components, as long as the effects of the present invention are not impaired. Other resin components; antioxidants, flow regulators, additives such as curing accelerators other than the above components (C) and (D); flame retardants described later; organic solvents and the like may be included. As for the other components, one kind may be used alone, or two or more kinds may be used in combination.

(その他の樹脂成分)
その他の樹脂成分としては、フェノキシ樹脂が挙げられる。
ここで、「フェノキシ樹脂」とは主鎖が芳香族ジオールと芳香族ジグリシジルエーテルとの重付加構造である高分子の総称であり、本明細書においては、重量平均分子量が、10,000以上のものを指す。なお、主鎖が芳香族ジオールと芳香族ジグリシジルエーテルの重付加構造である高分子がエポキシ基を有する場合、重量平均分子量が10,000以上のものはフェノキシ樹脂と分類し、重量平均分子量が10,000未満のものはエポキシ樹脂(A)と分類する。
(Other resin components)
Examples of other resin components include phenoxy resins.
Here, the “phenoxy resin” is a general term for polymers whose main chain is a polyaddition structure of an aromatic diol and an aromatic diglycidyl ether. In the present specification, the weight average molecular weight is 10,000 or more. Refers to things. In addition, when the polymer whose main chain is a polyaddition structure of aromatic diol and aromatic diglycidyl ether has an epoxy group, those having a weight average molecular weight of 10,000 or more are classified as phenoxy resins, and the weight average molecular weight is Those less than 10,000 are classified as epoxy resin (A).

フェノキシ樹脂としては、シクロヘキサン構造を含有するフェノキシ樹脂、トリメチルシクロヘキサン構造を含有するフェノキシ樹脂、テルペン構造を含有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。これらの中でも、樹脂フィルムの取り扱い性を向上させる観点から、テルペン構造及びトリメチルシクロヘキサン構造から選ばれる1種以上を含有するフェノキシ樹脂が好ましく、トリメチルシクロヘキサン(TMC)構造を含有するフェノキシ樹脂がより好ましく、ビフェニル型エポキシ樹脂と、トリメチルシクロヘキサン構造を含有するビスフェノール化合物(1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン)と、に由来する骨格を含有するフェノキシ樹脂がさらに好ましい。   Examples of the phenoxy resin include a phenoxy resin containing a cyclohexane structure, a phenoxy resin containing a trimethylcyclohexane structure, and a phenoxy resin containing a terpene structure. Among these, from the viewpoint of improving the handleability of the resin film, a phenoxy resin containing one or more selected from a terpene structure and a trimethylcyclohexane structure is preferable, and a phenoxy resin containing a trimethylcyclohexane (TMC) structure is more preferable. More preferred is a phenoxy resin containing a skeleton derived from a biphenyl type epoxy resin and a bisphenol compound containing a trimethylcyclohexane structure (1,1-bis (4-hydroxyphenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane). .

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物がフェノキシ樹脂を含有する場合、その含有量は、特に限定されないが、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、2〜30質量部が好ましく、5〜25質量部がより好ましく、10〜20質量部がさらに好ましい。フェノキシ樹脂の含有量が、2質量部以上であると、可撓性、取り扱い性に優れると共に、導体層のピール強度が優れる傾向にあり、30質量部以下であると、保存安定性、流動性に優れると共に、適切な粗度が得られる傾向にある。   When the thermosetting resin composition of this embodiment contains a phenoxy resin, the content is not particularly limited, but is 2 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the thermosetting resin composition. Preferably, 5-25 mass parts is more preferable, and 10-20 mass parts is further more preferable. When the content of the phenoxy resin is 2 parts by mass or more, the flexibility and handleability are excellent, and the peel strength of the conductor layer tends to be excellent. When the content is 30 parts by mass or less, storage stability and fluidity are obtained. And an appropriate roughness tends to be obtained.

(酸化防止剤)
酸化防止剤としては、ヒンダードフェノール系酸化防止剤、スチレン化フェノール系酸化防止剤等のフェノール系酸化防止剤などが挙げられる。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物が酸化防止剤を含有する場合、その含有量は、導体層との接着性、耐熱性及び誘電特性を損なわずに酸化防止性を向上するという観点から、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.001〜5質量部が好ましく、0.01〜3質量部がより好ましく、0.1〜0.5質量部がさらに好ましい。
(Antioxidant)
Examples of the antioxidant include phenolic antioxidants such as hindered phenolic antioxidants and styrenated phenolic antioxidants.
In the case where the thermosetting resin composition of the present embodiment contains an antioxidant, the content is improved from the viewpoint of improving the antioxidant properties without impairing the adhesion, heat resistance and dielectric properties with the conductor layer. 0.001-5 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of solid content of a thermosetting resin composition, 0.01-3 mass parts is more preferable, 0.1-0.5 mass part is further more preferable.

(流動調整剤)
流動調整剤としては、シリコーン系、ビニル系、アクリル系、フッ素系等の流動調整剤が挙げられる。これらの中でも、シリコーン系の流動調整剤が好ましい。
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物が流動調整剤を含有する場合、その含有量は、導体層との接着性、耐熱性及び誘電特性を損なわずにハジキ防止性を向上するという観点から、熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.001〜5質量部が好ましく、0.01〜3質量部がより好ましく、0.1〜0.5質量部がさらに好ましい。
(Flow control agent)
Examples of the flow control agent include silicone, vinyl, acrylic, and fluorine flow control agents. Among these, a silicone type flow regulator is preferable.
In the case where the thermosetting resin composition of the present embodiment contains a flow regulator, the content is improved from the viewpoint of improving repellency without impairing the adhesion, heat resistance and dielectric properties with the conductor layer. 0.001-5 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of solid content of a thermosetting resin composition, 0.01-3 mass parts is more preferable, 0.1-0.5 mass part is further more preferable.

(有機溶媒)
本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、樹脂フィルムの製造を容易にするため、各成分が有機溶媒中に溶解及び/又は分散されたワニスの状態(以下、「樹脂ワニス」ともいう)としてもよい。
有機溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶媒;メチルセロソルブ等のアルコール系溶媒;テトラヒドロフラン等のエーテル系溶媒;トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族系溶媒などが挙げられる。これらの中でも、溶解性等の観点から、ケトン系溶媒が好ましく、メチルエチルケトンがより好ましい。
樹脂ワニス中の熱硬化性樹脂組成物の固形分総量は、塗布容易性の観点から、5〜50質量%が好ましく、10〜30質量%がより好ましい。
(Organic solvent)
The thermosetting resin composition of the present embodiment is in a varnish state (hereinafter also referred to as “resin varnish”) in which each component is dissolved and / or dispersed in an organic solvent in order to facilitate the production of a resin film. Also good.
Examples of the organic solvent include ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; alcohol solvents such as methyl cellosolve; ether solvents such as tetrahydrofuran; aromatic solvents such as toluene, xylene, and mesitylene. . Among these, from the viewpoint of solubility and the like, a ketone solvent is preferable, and methyl ethyl ketone is more preferable.
The total solid content of the thermosetting resin composition in the resin varnish is preferably 5 to 50% by mass and more preferably 10 to 30% by mass from the viewpoint of ease of application.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物の反応開始温度は、100〜140℃が好ましく、105〜130℃がより好ましく、110〜125℃がさらに好ましく、110〜120℃が特に好ましい。反応開始温度が上記範囲内であると、層間絶縁層の硬化不足によるパターン埋め込み時の白化がより効果的に抑制される。なお、反応開始温度は、実施例に記載の方法で測定した値である。   100-140 degreeC is preferable, as for the reaction start temperature of the thermosetting resin composition of this embodiment, 105-130 degreeC is more preferable, 110-125 degreeC is further more preferable, and 110-120 degreeC is especially preferable. When the reaction start temperature is within the above range, whitening during pattern embedding due to insufficient curing of the interlayer insulating layer is more effectively suppressed. In addition, reaction start temperature is the value measured by the method as described in an Example.

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物の硬化時における反応熱は、120〜180J/gが好ましく、130〜170J/gがより好ましく、140〜160J/gがさらに好ましい。反応熱が上記範囲内であると、層間絶縁層の硬化不足によるパターン埋め込み時の白化がより効果的に抑制される。なお、反応熱は、実施例に記載の方法で測定した値である。   120-180 J / g is preferable, the reaction heat at the time of hardening of the thermosetting resin composition of this embodiment is more preferable, 130-170 J / g is more preferable, and 140-160 J / g is further more preferable. When the reaction heat is within the above range, whitening during pattern embedding due to insufficient curing of the interlayer insulating layer is more effectively suppressed. In addition, reaction heat is the value measured by the method as described in an Example.

[複合フィルム、層間絶縁用樹脂フィルム]
本実施形態の複合フィルムは、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物を含む第一の樹脂組成物層(以下、「第一の樹脂層」ともいう)と、第二の樹脂組成物層(以下、「第二の樹脂層」ともいう)とを含む、複合フィルムである。
また、本実施形態の層間絶縁用樹脂フィルムは、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物を含む、層間絶縁用樹脂フィルムである。
[Composite film, resin film for interlayer insulation]
The composite film of this embodiment includes a first resin composition layer (hereinafter, also referred to as “first resin layer”) containing the thermosetting resin composition of this embodiment, and a second resin composition layer ( Hereinafter, it is also referred to as “second resin layer”).
Moreover, the resin film for interlayer insulation of this embodiment is a resin film for interlayer insulation containing the thermosetting resin composition of this embodiment.

本実施形態の複合フィルムの例を模式断面図として図1に示す。本実施形態に係る複合フィルムは、第一の樹脂層2及び第二の樹脂層1、並びに必要に応じて支持体3及び/又は保護フィルム4を備えている。
なお、第一の樹脂層と第二の絶縁層との間には、明確な界面が存在せず、例えば、第一の樹脂層の構成成分の一部と、第二の絶縁層の構成成分の一部とが、相溶及び/又は混合した状態であってもよい。
An example of the composite film of this embodiment is shown in FIG. 1 as a schematic cross-sectional view. The composite film according to the present embodiment includes a first resin layer 2 and a second resin layer 1, and a support 3 and / or a protective film 4 as necessary.
In addition, there is no clear interface between the first resin layer and the second insulating layer, for example, a part of the constituent components of the first resin layer and the constituent components of the second insulating layer. May be in a state of being compatible and / or mixed.

<第一の樹脂層>
第一の樹脂層は、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物(ここでは「第一の熱硬化性樹脂組成物」ともいう)を含むものであり、本実施形態のプリント配線板において、後述する熱硬化性樹脂組成物を含む第二の樹脂層の硬化物と、導体層との間に位置し、導体層との接着性を向上させることを目的として設けられるものである。第一の樹脂層を設けることにより、平滑な表面が得られ、且つ、めっきにて形成される導体層ともより良好な接着強度が得られる。したがって、微細配線を形成する観点から、第一の樹脂層を設けることが好ましい。
<First resin layer>
The first resin layer includes the thermosetting resin composition of the present embodiment (herein also referred to as “first thermosetting resin composition”). In the printed wiring board of the present embodiment, the first resin layer will be described later. It is located between the cured product of the second resin layer containing the thermosetting resin composition and the conductor layer, and is provided for the purpose of improving the adhesion to the conductor layer. By providing the first resin layer, a smooth surface can be obtained, and better adhesive strength can be obtained with a conductor layer formed by plating. Therefore, it is preferable to provide the first resin layer from the viewpoint of forming fine wiring.

<第二の樹脂層>
第二の樹脂層は、例えば、本実施形態の複合フィルムを用いて多層プリント配線板を製造する場合において、回路基板と接着補助層との間に設けられ、回路基板の導体層とその上の層とを絶縁するために用いられる。また、第二の樹脂層は、回路基板にスルーホール、ビアホール等が存在する場合、それらの中に流動し、該ホール内を充填する役割も果たす。
<Second resin layer>
For example, in the case of manufacturing a multilayer printed wiring board using the composite film of the present embodiment, the second resin layer is provided between the circuit board and the adhesion auxiliary layer, and the conductor layer of the circuit board and the top thereof Used to insulate the layers. In addition, when the through hole, the via hole, or the like exists in the circuit board, the second resin layer also flows in the circuit board and fills the inside of the hole.

第二の樹脂層としては、回路基板の導体層とその上の層とを絶縁させるものであれば、特に限定されないが、例えば、マレイミド化合物(f1)(以下、「成分(f1)」ともいう)由来の構造単位とジアミン化合物(f2)(以下、「成分(f2)」ともいう)由来の構造単位とを有するポリイミド化合物(F)、(以下、「ポリイミド化合物(F)」又は「成分(F)」ともいう)、変性ポリブタジエン(G)(以下、「成分(G)」ともいう)、及び無機充填材(H)(以下、「成分(H)」ともいう)を含有する、第二の熱硬化性樹脂組成物を含むことが好ましい。
成分(F)〜(H)は、各々について、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
The second resin layer is not particularly limited as long as it insulates the conductor layer of the circuit board from the layer above it. For example, maleimide compound (f1) (hereinafter also referred to as “component (f1)”) ) Derived structural unit and a diamine compound (f2) (hereinafter also referred to as “component (f2)”), a polyimide compound (F), (hereinafter referred to as “polyimide compound (F)” or “component ( F) ”, modified polybutadiene (G) (hereinafter also referred to as“ component (G) ”), and inorganic filler (H) (hereinafter also referred to as“ component (H) ”), It is preferable that the thermosetting resin composition is included.
With regard to each of the components (F) to (H), one type may be used alone, or two or more types may be used in combination.

<ポリイミド化合物(F)>
ポリイミド化合物(F)は、マレイミド化合物(f1)由来の構造単位とジアミン化合物(f2)由来の構造単位とを有するものである。
なお、成分(f1)及び(f2)は、各々について、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<Polyimide compound (F)>
The polyimide compound (F) has a structural unit derived from the maleimide compound (f1) and a structural unit derived from the diamine compound (f2).
In addition, component (f1) and (f2) may be used individually by 1 type, respectively, and may be used in combination of 2 or more type, respectively.

成分(f1)としては、脂肪族マレイミド化合物が好ましい。
脂肪族マレイミド化合物としては、イミド基間の炭素数が6〜40個であり、N−置換マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物であることが好ましい。
脂肪族マレイミド化合物としては、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン、ピロリロン酸バインダ型長鎖アルキルビスマレイミド等が挙げられる。これらの中でも、熱膨張率が低く、ガラス転移温度に優れるという観点から、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサンが好ましい。
As the component (f1), an aliphatic maleimide compound is preferable.
The aliphatic maleimide compound is preferably a maleimide compound having 6 to 40 carbon atoms between imide groups and having two or more N-substituted maleimide groups.
Examples of the aliphatic maleimide compound include 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane, pyrroluronic acid binder type long chain alkyl bismaleimide and the like. Among these, 1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane is preferable from the viewpoint that the coefficient of thermal expansion is low and the glass transition temperature is excellent.

成分(f1)は、脂肪族マレイミド化合物と共に、又は脂肪族マレイミド化合物に代えて、脂肪族マレイミド化合物以外のマレイミド化合物(以下、「その他のマレイミド化合物」ともいう)由来の構造単位を含んでいてもよい。
その他のマレイミド化合物としては、N−置換マレイミド基を2個以上有するマレイミド化合物であれば特に限定されず、例えば、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)エーテル、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、m−フェニレンビスマレイミド、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン等が挙げられる。これらの中でも、導体との高接着性、伸び、破断強度等の機械特性に優れるという観点から、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパンが好ましい。
Component (f1) may contain a structural unit derived from a maleimide compound other than the aliphatic maleimide compound (hereinafter also referred to as “other maleimide compounds”) together with or in place of the aliphatic maleimide compound. Good.
Other maleimide compounds are not particularly limited as long as they are maleimide compounds having two or more N-substituted maleimide groups. For example, bis (4-maleimidophenyl) methane, polyphenylmethanemaleimide, bis (4-maleimidophenyl) Ether, bis (4-maleimidophenyl) sulfone, 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide, m-phenylenebis And maleimide and 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane. Among these, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane is preferable from the viewpoint of excellent mechanical properties such as high adhesion to a conductor, elongation, and breaking strength.

成分(f1)由来の構造単位としては、下記一般式(F−1)で表される基、下記一般式(F−2)で表される基等が挙げられる。   Examples of the structural unit derived from the component (f1) include a group represented by the following general formula (F-1) and a group represented by the following general formula (F-2).


(式中、Aは成分(f1)の残基を示し、*は結合部を示す。なお、成分(f1)の残基とは、成分(f1)から結合に供された官能基(マレイミド基)を除いた部分の構造をいう。)

(In the formula, A 1 represents a residue of the component (f1), and * represents a bonding portion. The residue of the component (f1) is a functional group (maleimide) provided from the component (f1) for bonding. (The structure of the part excluding the group).)

ポリイミド化合物(F)中における、成分(f1)由来の構造単位の合計含有量は、5〜95質量%が好ましく、30〜93質量%がより好ましく、60〜90質量%がさらに好ましい。成分(f1)由来の構造単位の含有量が上記範囲内であると、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物において、より良好な高周波特性、フィルムハンドリング性が得られる傾向にある。   5-95 mass% is preferable, as for the total content of the structural unit derived from a component (f1) in a polyimide compound (F), 30-93 mass% is more preferable, and 60-90 mass% is further more preferable. When the content of the structural unit derived from the component (f1) is within the above range, in the thermosetting resin composition of the present embodiment, better high-frequency characteristics and film handling properties tend to be obtained.

成分(f2)は、アミノ基を2個有する化合物であれば、特に制限されない。
成分(f2)としては、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルケトン、4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジヒドロキシベンジジン、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)プロパン、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、1,3−ビス〔1−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1−メチルエチル〕ベンゼン、1,4−ビス〔1−[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1−メチルエチル〕ベンゼン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、3,3’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン等が挙げられる。
これらの中でも、有機溶媒への溶解性、合成時の反応性、及び耐熱性に優れるという観点から、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジエチルジフェニルメタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、及び4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。また、成分(f2)は、誘電特性及び低吸水性に優れる観点から、3,3’−ジメチル−5,5’−ジエチル−4,4’−ジアミノジフェニルメタンが好ましい。また、成分(f2)は、導体との高接着性、伸び、破断強度等の機械特性に優れる観点から、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパンが好ましい。更に、上記の有機溶媒への溶解性、合成時の反応性、耐熱性、導体との高接着性に優れるのに加えて、優れた高周波特性と低吸湿性を発現できる観点から、成分(f2)は、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4’−[1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリンが好ましい。
The component (f2) is not particularly limited as long as it is a compound having two amino groups.
As the component (f2), 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-diethyldiphenylmethane, 4,4′- Diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl ketone, 4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'- Diaminobiphenyl, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 3,3′-dihydroxybenzidine, 2,2-bis (3-amino-4-hydroxyphenyl) propane, 3,3′-dimethyl- 5,5′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis [4- (4-a Nophenoxy) phenyl] propane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4 ′ -Bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 1,3-bis [1- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1-methylethyl] benzene, 1,4-bis [1- [4- (4 -Aminophenoxy) phenyl] -1-methylethyl] benzene, 4,4 '-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline, 4,4'-[1,4-phenylenebis (1- Methylethylidene)] bisaniline, 3,3 ′-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfo , Bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, and the like.
Among these, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldiphenylmethane, 4 from the viewpoint of excellent solubility in organic solvents, reactivity during synthesis, and heat resistance. , 4′-diamino-3,3′-diethyldiphenylmethane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4 ′-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene) Bisaniline and 4,4 ′-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline are preferred. Component (f2) is preferably 3,3′-dimethyl-5,5′-diethyl-4,4′-diaminodiphenylmethane from the viewpoint of excellent dielectric properties and low water absorption. The component (f2) is preferably 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane from the viewpoint of excellent mechanical properties such as high adhesion to the conductor, elongation, and breaking strength. Furthermore, in addition to excellent solubility in the organic solvent, reactivity during synthesis, heat resistance, and high adhesion to the conductor, the component (f2 ) Is preferably 4,4 ′-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline and 4,4 ′-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline.

成分(f2)由来の構造単位としては、例えば、下記一般式(F−3)で表される基、下記一般式(F−4)で表される基等が挙げられる。   Examples of the structural unit derived from the component (f2) include a group represented by the following general formula (F-3), a group represented by the following general formula (F-4), and the like.


(式中、Aは成分(f2)の残基を示し、*は結合部を示す。なお、成分(f2)の残基とは、成分(f2)から結合に供された官能基(アミノ基)を除いた部分の構造をいう。)

(In the formula, A 2 represents a residue of the component (f2), and * represents a bonding part. The residue of the component (f2) is a functional group (amino) provided for bonding from the component (f2). (The structure of the part excluding the group).)

ポリイミド化合物(F)中における、成分(f2)由来の構造単位の合計含有量は、5〜95質量%が好ましく、7〜70質量%がより好ましく、10〜40質量%がさらに好ましい。成分(f2)由来の構造単位の含有量が上記範囲内であると、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物において、より良好な高周波特性、耐熱性、難燃性、及びガラス転移温度が得られる傾向にある。   5-95 mass% is preferable, as for the total content of the structural unit derived from a component (f2) in a polyimide compound (F), 7-70 mass% is more preferable, and 10-40 mass% is further more preferable. When the content of the structural unit derived from the component (f2) is within the above range, in the thermosetting resin composition of the present embodiment, better high-frequency characteristics, heat resistance, flame retardancy, and glass transition temperature are obtained. It tends to be.

ポリイミド化合物(F)中における成分(f1)由来の構造単位と、成分(f2)由来の構造単位との含有比率は、ポリイミド化合物(F)中における、成分(f2)の−NH基由来の基(−NHも含む)の合計当量(Ta2)と、成分(f1)に由来するマレイミド基由来の基(マレイミド基も含む)の合計当量(Ta1)との当量比(Ta2/Ta1)が、0.05〜10.0であることが好ましく、1.0〜5.0であることがより好ましい。当量比(Ta2/Ta1)が上記範囲内であると、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物において、より良好な高周波特性、耐熱性、難燃性及びガラス転移温度が得られる傾向にある。 The content ratio of the structural unit derived from the component (f1) in the polyimide compound (F) and the structural unit derived from the component (f2) is derived from the —NH 2 group of the component (f2) in the polyimide compound (F). the total equivalents of groups (-NH 2 including) (Ta2), component (f1) derived from a maleimide group derived from group equivalent ratio (Ta2 / Ta1) of the total equivalents of (maleimido group containing) (Ta1) is 0.05 to 10.0, and more preferably 1.0 to 5.0. When the equivalent ratio (Ta2 / Ta1) is within the above range, the thermosetting resin composition of the present embodiment tends to obtain better high-frequency characteristics, heat resistance, flame retardancy, and glass transition temperature.

ポリイミド化合物(F)は、有機溶媒への溶解性、高周波特性、導体との高接着性、フィルムの成形性等の観点から、下記一般式(F−5)で表されるポリアミノビスマレイミド化合物を含むことが好ましい。   The polyimide compound (F) is a polyamino bismaleimide compound represented by the following general formula (F-5) from the viewpoints of solubility in an organic solvent, high frequency characteristics, high adhesion to a conductor, film formability, and the like. It is preferable to include.


(式中、A及びAは、上記で説明した通りである。)

(In the formula, A 1 and A 2 are as described above.)

ポリイミド化合物(F)は、例えば、成分(f1)と成分(f2)とを有機溶媒中で反応させることで製造することができる。
成分(f1)と成分(f2)とを反応させてポリイミド化合物(F)を製造する際には、反応触媒を必要に応じて使用することもできる。反応触媒としては、制限されないが、例えば、p−トルエンスルホン酸等の酸性触媒;トリエチルアミン、ピリジン、トリブチルアミン等のアミン類;メチルイミダゾール、フェニルイミダゾール等のイミダゾール類;トリフェニルホスフィン等のリン系触媒などが挙げられる。これらは単独又は2種類以上を混合して用いてもよい。また、反応触媒の配合量は特に限定されないが、例えば、成分(f1)及び成分(f2)の合計量100質量部に対して、0.01〜5.0質量部の範囲で使用することができる。
The polyimide compound (F) can be produced, for example, by reacting the component (f1) and the component (f2) in an organic solvent.
When manufacturing a polyimide compound (F) by making a component (f1) and a component (f2) react, a reaction catalyst can also be used as needed. Although it does not restrict | limit as a reaction catalyst, For example, Acid catalysts, such as p-toluenesulfonic acid; Amines, such as a triethylamine, a pyridine, and a tributylamine; Imidazoles, such as a methylimidazole and a phenylimidazole; Phosphorus catalysts, such as a triphenylphosphine Etc. You may use these individually or in mixture of 2 or more types. Moreover, the compounding quantity of a reaction catalyst is although it does not specifically limit, For example, it is used in 0.01-5.0 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of a component (f1) and a component (f2). it can.

成分(f1)、成分(f2)、必要によりその他の成分を合成釜に所定量仕込み、成分(f1)と成分(f2)とをマイケル付加反応させることによりポリイミド化合物(F)が得られる。この工程での反応条件としては、特に限定されないが、例えば、反応速度等の作業性、ゲル化抑制などの観点から、反応温度は50〜160℃が好ましく、反応時間は1〜10時間が好ましい。
また、この工程では有機溶媒を追加又は濃縮して反応原料の固形分濃度、溶液粘度を調整することができる。反応原料の固形分濃度は、特に限定されないが、例えば、10〜90質量%が好ましく、20〜80質量%がより好ましい。反応原料の固形分濃度が10質量%以上の場合、反応速度が遅くなりすぎず、製造コストの面で有利である。また、反応原料の固形分濃度が90質量%以下の場合、より良好な溶解性が得られ、攪拌効率が良く、またゲル化することも少ない。
A predetermined amount of the component (f1), the component (f2), and other components as needed is charged into the synthesis kettle, and the component (f1) and the component (f2) are subjected to a Michael addition reaction to obtain the polyimide compound (F). The reaction conditions in this step are not particularly limited. For example, the reaction temperature is preferably 50 to 160 ° C. and the reaction time is preferably 1 to 10 hours from the viewpoints of workability such as reaction rate and suppression of gelation. .
In this step, an organic solvent can be added or concentrated to adjust the solid content concentration of the reaction raw material and the solution viscosity. Although the solid content density | concentration of a reaction raw material is not specifically limited, For example, 10-90 mass% is preferable and 20-80 mass% is more preferable. When the solid content concentration of the reaction raw material is 10% by mass or more, the reaction rate does not become too slow, which is advantageous in terms of production cost. Moreover, when the solid content concentration of the reaction raw material is 90% by mass or less, better solubility is obtained, the stirring efficiency is good, and gelation is less likely.

ポリイミド化合物(F)の重量平均分子量は、特に限定されないが、800〜10,000が好ましく、900〜5,000がより好ましく、1,000〜3,000がさらに好ましい。ポリイミド化合物(F)の重量平均分子量は、実施例に記載の方法により求めることができる。   Although the weight average molecular weight of a polyimide compound (F) is not specifically limited, 800-10,000 are preferable, 900-5,000 are more preferable, 1,000-3,000 are more preferable. The weight average molecular weight of a polyimide compound (F) can be calculated | required by the method as described in an Example.

第二の熱硬化性樹脂組成物中のポリイミド化合物(F)の含有量は、特に限定されないが、第二の熱硬化性樹脂組成物中の全樹脂成分の合計質量中、50〜95質量%が好ましく、60〜90質量%がより好ましい。ポリイミド化合物(F)の含有量が上記範囲内であると、絶縁信頼性に優れ、低熱膨張率、高ガラス転移温度、良好な誘電正接が得られる傾向にある。   Although content of the polyimide compound (F) in a 2nd thermosetting resin composition is not specifically limited, 50-95 mass% in the total mass of all the resin components in a 2nd thermosetting resin composition. Is preferable, and 60 to 90 mass% is more preferable. When the content of the polyimide compound (F) is within the above range, the insulation reliability is excellent, and a low thermal expansion coefficient, a high glass transition temperature, and a good dielectric loss tangent tend to be obtained.

<変性ポリブタジエン(G)>
変性ポリブタジエン(G)は、化学変性されているポリブタジエンが好ましい。変性ポリブタジエン(G)を用いると、得られる層間絶縁層において、無機充填材(H)と樹脂成分との分離、光沢ムラ等を低減できる。本明細書において、化学変性されているポリブタジエンとは、分子中の側鎖の1,2−ビニル基及び/又は末端の両方若しくは片方が、酸無水物化、エポキシ化、グリコール化、フェノール化、マレイン化、(メタ)アクリル化、ウレタン化等の化学変性されたものを指す。
変性ポリブタジエン(G)は、側鎖に1,2−ビニル基を有する1,2−ブタジエン単位を分子中に含有するものが好ましく、上記1,2−ブタジエン単位を40質量%以上含有するものがより好ましい。
<Modified polybutadiene (G)>
The modified polybutadiene (G) is preferably a chemically modified polybutadiene. When the modified polybutadiene (G) is used, separation between the inorganic filler (H) and the resin component, uneven gloss, and the like can be reduced in the obtained interlayer insulating layer. In the present specification, the chemically modified polybutadiene means that 1,2-vinyl group and / or one or both ends of the side chain in the molecule are acid anhydrided, epoxidized, glycolated, phenolated, maleated. Chemically modified such as chemical, (meth) acrylated, urethanized.
The modified polybutadiene (G) preferably contains 1,2-butadiene units having a 1,2-vinyl group in the side chain in the molecule, and contains 40% by mass or more of the 1,2-butadiene units. More preferred.

より誘電正接が低い熱硬化性樹脂組成物を得る観点から、変性ポリブタジエン(G)は酸無水物で変性されているポリブタジエンが好ましい。酸無水物としては、特に限定されないが、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水ナジック酸、無水グルタル酸、無水ジメチルグルタル酸、無水ジエチルグルタル酸、無水コハク酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸等が挙げられ、無水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸のいずれかであることが好ましく、無水マレイン酸がより好ましい。
変性ポリブタジエン(G)が酸無水物で変性されている場合、変性ポリブタジエン(G)1分子中に含まれる酸無水物由来の基(以下、「酸無水物基」ともいう)の数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、2〜5がさらに好ましい。酸無水物基の数が1分子中に1以上であると、層間絶縁層を形成した際の無機充填材(H)と樹脂成分との分離がより抑制される傾向にある。また、酸無水物基の数が1分子中に10以下であると、得られる熱硬化性樹脂組成物の誘電正接がより低くなる傾向にある。
すなわち、変性ポリブタジエン(G)が無水マレイン酸で変性されている場合、上記と同様の観点から、変性ポリブタジエン(G)1分子中に含まれる無水マレイン酸由来の基の数は、1〜10が好ましく、1〜6がより好ましく、2〜5がさらに好ましい。
From the viewpoint of obtaining a thermosetting resin composition having a lower dielectric loss tangent, the modified polybutadiene (G) is preferably a polybutadiene modified with an acid anhydride. The acid anhydride is not particularly limited, but phthalic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methyl nadic anhydride, nadic anhydride, glutaric anhydride Acid, dimethyl glutaric anhydride, diethyl glutaric anhydride, succinic anhydride, methyl hexahydrophthalic anhydride, methyl tetrahydrophthalic anhydride, etc., including phthalic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride Any of hexahydrophthalic anhydride and tetrahydrophthalic anhydride is preferred, and maleic anhydride is more preferred.
When the modified polybutadiene (G) is modified with an acid anhydride, the number of groups derived from an acid anhydride (hereinafter also referred to as “acid anhydride groups”) contained in one molecule of the modified polybutadiene (G) is 1 -10 are preferable, 1-6 are more preferable, and 2-5 are more preferable. When the number of acid anhydride groups is 1 or more per molecule, the separation between the inorganic filler (H) and the resin component when the interlayer insulating layer is formed tends to be further suppressed. Moreover, when the number of acid anhydride groups is 10 or less per molecule, the dielectric loss tangent of the resulting thermosetting resin composition tends to be lower.
That is, when the modified polybutadiene (G) is modified with maleic anhydride, from the same viewpoint as described above, the number of groups derived from maleic anhydride contained in one molecule of the modified polybutadiene (G) is 1-10. 1-6 are more preferable, and 2-5 are more preferable.

変性ポリブタジエン(G)の重量平均分子量は、500〜25,000が好ましく、1,000〜20,000がより好ましく、2,000〜13,000がさらに好ましく、3,000〜10,000が特に好ましい。変性ポリブタジエン(G)の重量平均分子量が500以上であると、熱硬化性樹脂組成物の硬化性及び硬化物の誘電特性がより良好となる傾向にある。また、重量平均分子量が25,000以下であると、得られる層間絶縁層において、無機充填材(H)と樹脂成分との分離及び光沢ムラがより抑制される傾向にある。なお、変性ポリブタジエン(G)の重量平均分子量は、本明細書の実施例におけるポリイミド化合物(F)の重量平均分子量の測定方法が適用できる。   The weight average molecular weight of the modified polybutadiene (G) is preferably 500 to 25,000, more preferably 1,000 to 20,000, still more preferably 2,000 to 13,000, and particularly preferably 3,000 to 10,000. preferable. When the weight average molecular weight of the modified polybutadiene (G) is 500 or more, the curability of the thermosetting resin composition and the dielectric properties of the cured product tend to be better. Further, when the weight average molecular weight is 25,000 or less, in the obtained interlayer insulating layer, separation between the inorganic filler (H) and the resin component and gloss unevenness tend to be further suppressed. In addition, the measuring method of the weight average molecular weight of the polyimide compound (F) in the Example of this specification can be applied to the weight average molecular weight of the modified polybutadiene (G).

変性ポリブタジエン(G)としては、市販品を用いてもよい。変性ポリブタジエン(G)の市販品としては、例えば、POLYVEST MA75、POLYVEST EP MA120(エボニック社製、商品名)、Ricon130MA8、Ricon131MA5、Ricon184MA6(クレイバレー社製、商品名)等が挙げられる。   A commercially available product may be used as the modified polybutadiene (G). Examples of commercially available modified polybutadiene (G) include POLYVEST MA75, POLYVEST EP MA120 (trade name, manufactured by Evonik), Ricon 130MA8, Ricon 131MA5, and Ricon 184MA6 (trade name, manufactured by Clay Valley).

第二の熱硬化性樹脂組成物中における変性ポリブタジエン(G)の含有量は特に限定されないが、第二の熱硬化性樹脂組成物中の全樹脂成分の合計質量中、1〜50質量%が好ましく、5〜40質量%がより好ましく、10〜30質量%がさらに好ましい。変性ポリブタジエン(G)の含有量が上記範囲内であると、樹脂分離及び光沢ムラをより少なくすることができる傾向にある。   The content of the modified polybutadiene (G) in the second thermosetting resin composition is not particularly limited, but 1 to 50% by mass is 1% by mass in the total mass of all resin components in the second thermosetting resin composition. Preferably, 5-40 mass% is more preferable, and 10-30 mass% is further more preferable. When the content of the modified polybutadiene (G) is within the above range, there is a tendency that resin separation and gloss unevenness can be further reduced.

第二の熱硬化性樹脂組成物中におけるポリイミド化合物(F)及び変性ポリブタジエン(G)の合計含有量は、特に限定されないが、第二の熱硬化性樹脂組成物の合計質量中、5〜50質量%が好ましく、10〜40質量%がより好ましく、15〜30質量%がさらに好ましい。   The total content of the polyimide compound (F) and the modified polybutadiene (G) in the second thermosetting resin composition is not particularly limited, but is 5 to 50 in the total mass of the second thermosetting resin composition. % By mass is preferable, 10 to 40% by mass is more preferable, and 15 to 30% by mass is further preferable.

<無機充填材(H)>
無機充填材(H)としては、特に限定されず、例えば、充填材(J)として例示したものと同様のものが挙げられる。これらの中でも、得られる層間絶縁層をより低熱膨張化できる観点から、シリカが好ましい。
無機充填材(H)の体積平均粒径は、特に限定されないが、0.05〜5μmが好ましく、0.1〜3μmがより好ましく、0.2〜1μmがさらに好ましい。体積平均粒径が5μm以下であると、層間絶縁層上に回路パターンを形成する際にファインパターンの形成をより安定的に行える傾向にある。また、体積平均粒径が0.1μm以上であると、耐熱性がより良好となる傾向にある。なお、体積平均粒径とは、粒子の全体積を100%として、粒子径による累積度数分布曲線を求めたときの体積50%に相当する点の粒径のことであり、レーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。
<Inorganic filler (H)>
It does not specifically limit as an inorganic filler (H), For example, the thing similar to what was illustrated as a filler (J) is mentioned. Among these, silica is preferable from the viewpoint of lowering the thermal expansion of the obtained interlayer insulating layer.
Although the volume average particle diameter of an inorganic filler (H) is not specifically limited, 0.05-5 micrometers is preferable, 0.1-3 micrometers is more preferable, 0.2-1 micrometer is further more preferable. When the volume average particle size is 5 μm or less, the fine pattern tends to be formed more stably when the circuit pattern is formed on the interlayer insulating layer. Further, when the volume average particle size is 0.1 μm or more, the heat resistance tends to be better. The volume average particle diameter is a particle diameter at a point corresponding to a volume of 50% when the cumulative frequency distribution curve by the particle diameter is obtained with the total volume of the particles being 100%, and the laser diffraction scattering method is used. It can be measured with the used particle size distribution measuring device or the like.

無機充填材(H)の分散性及び無機充填材(H)と樹脂組成物中の有機成分との接着性を向上させる目的で、必要に応じ、カップリング剤を併用してもよい。カップリング剤としては、各種のシランカップリング剤、チタネートカップリング剤等を用いることができる。また、その使用量も特に限定されず、例えば、使用する無機充填材(H)100質量部に対して0.1〜5質量部が好ましく、0.5〜3質量部がより好ましい。この範囲であると、無機充填材(H)の使用による特長をより効果的に発揮できる。
カップリング剤を用いる場合、その添加方式は、第二の熱硬化性樹脂組成物中に無機充填材(H)を配合した後、カップリング剤を添加する、いわゆるインテグラルブレンド処理方式であってもよいが、より効果的に無機充填材(H)の特長を発現させる観点から、予め無機充填材にカップリング剤を乾式又は湿式で表面処理した無機充填材を使用する方式であってもよい。
In order to improve the dispersibility of the inorganic filler (H) and the adhesion between the inorganic filler (H) and the organic component in the resin composition, a coupling agent may be used in combination as necessary. As the coupling agent, various silane coupling agents, titanate coupling agents and the like can be used. Moreover, the usage-amount is not specifically limited, For example, 0.1-5 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of inorganic fillers (H) to be used, and 0.5-3 mass parts is more preferable. Within this range, the advantages of using the inorganic filler (H) can be more effectively exhibited.
When a coupling agent is used, the addition method is a so-called integral blend treatment method in which an inorganic filler (H) is added to the second thermosetting resin composition and then the coupling agent is added. However, from the viewpoint of expressing the characteristics of the inorganic filler (H) more effectively, a method may be used in which an inorganic filler obtained by subjecting the inorganic filler to a dry or wet surface treatment with a coupling agent in advance is used. .

無機充填材(H)の熱硬化性樹脂組成物への分散性の観点から、必要に応じ、無機充填材(H)を予め有機溶媒中に分散させたスラリーとして用いることが好ましい。無機充填材(H)をスラリー化する際に使用される有機溶媒としては、上記した有機溶媒が適用できる。これらは1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を混合して用いてもよい。また、これらの有機溶媒の中でも、より高い分散性の観点から、メチルイソブチルケトンが好ましい。
また、無機充填材(H)のスラリーの不揮発分濃度は、特に限定されないが、例えば、無機充填材(H)の沈降性及び分散性の観点から、50〜80質量%が好ましく、60〜80質量%がより好ましい。
From the viewpoint of dispersibility of the inorganic filler (H) in the thermosetting resin composition, it is preferable to use the inorganic filler (H) as a slurry in which the inorganic filler (H) is previously dispersed in an organic solvent, if necessary. As the organic solvent used when slurrying the inorganic filler (H), the above-described organic solvents can be applied. These may be used alone or in combination of two or more. Among these organic solvents, methyl isobutyl ketone is preferable from the viewpoint of higher dispersibility.
Moreover, the non-volatile content density | concentration of the slurry of an inorganic filler (H) is although it does not specifically limit, For example, 50-80 mass% is preferable from a sedimentation property and dispersibility viewpoint of an inorganic filler (H), and 60-80 The mass% is more preferable.

第二の熱硬化性樹脂組成物中の無機充填材(H)の含有量は、第二の熱硬化性樹脂組成物に求める特性及び機能によって適宜選択できるが、第二の熱硬化性樹脂組成物中の全樹脂成分の合計質量100質量部に対して、80〜600質量部が好ましく、100〜500質量部がより好ましく、200〜400質量部がさらに好ましい。無機充填材(H)の含有量が上記範囲内であると、低い熱膨張率を有することができる。   The content of the inorganic filler (H) in the second thermosetting resin composition can be appropriately selected depending on the characteristics and functions required of the second thermosetting resin composition, but the second thermosetting resin composition 80-600 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of total mass of all the resin components in a thing, 100-500 mass parts is more preferable, 200-400 mass parts is more preferable. When the content of the inorganic filler (H) is within the above range, it can have a low coefficient of thermal expansion.

<その他の成分>
第二の熱硬化性樹脂組成物は、上記各成分の他に、本発明の効果を阻害しない範囲で、必要に応じて他の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等のその他の樹脂成分;酸化防止剤、流動調整剤、硬化促進剤等の添加剤;難燃剤;有機溶媒などを含有することができる。
これらのその他の成分は、上記本実施形態の熱硬化性樹脂組成物で説明したものと同様のものが挙げられ、各々について、1種を単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
<Other ingredients>
In the second thermosetting resin composition, in addition to the above-described components, other resin components such as other thermosetting resins and thermoplastic resins as necessary, within a range not inhibiting the effects of the present invention; It can contain additives such as inhibitors, flow regulators, curing accelerators; flame retardants; organic solvents and the like.
Examples of these other components include the same as those described in the thermosetting resin composition of the present embodiment, and each of them may be used alone or in combination of two or more. May be used.

(難燃剤)
第二の熱硬化性樹脂組成物に難燃剤を含有させることで、より良好な難燃性を付与することができる。難燃剤としては、特に限定されないが、塩素系難燃剤、臭素系難燃剤、リン系難燃剤、金属水和物系難燃剤等が挙げられる。これらの中でも、環境への適合性からは、リン系難燃剤又は金属水和物系難燃剤が好ましい。
(Flame retardants)
By including a flame retardant in the second thermosetting resin composition, better flame retardancy can be imparted. Although it does not specifically limit as a flame retardant, A chlorine flame retardant, a bromine flame retardant, a phosphorus flame retardant, a metal hydrate flame retardant, etc. are mentioned. Among these, a phosphorus flame retardant or a metal hydrate flame retardant is preferable from the viewpoint of compatibility with the environment.

(硬化促進剤)
第二の熱硬化性樹脂組成物に適切な硬化促進剤を含有させることで、熱硬化性樹脂組成物の硬化性を向上させ、層間絶縁層の誘電特性、耐熱性、高弾性率性、ガラス転移温度等をより向上させることができる。硬化促進剤としては、特に限定されないが、各種イミダゾール化合物及びその誘導体;各種第3級アミン化合物、各種第4級アンモニウム化合物、トリフェニルホスフィン等の各種リン系化合物などが挙げられる。
(Curing accelerator)
By including an appropriate curing accelerator in the second thermosetting resin composition, the curability of the thermosetting resin composition is improved, and the dielectric properties, heat resistance, high elastic modulus, glass of the interlayer insulating layer The transition temperature and the like can be further improved. The curing accelerator is not particularly limited, and examples thereof include various imidazole compounds and derivatives thereof; various tertiary amine compounds, various quaternary ammonium compounds, and various phosphorus compounds such as triphenylphosphine.

(有機溶媒)
第二の熱硬化性樹脂組成物は、樹脂フィルムの製造を容易にするため、各成分が有機溶媒中に溶解及び/又は分散されたワニスの状態としてもよい。
有機溶媒としては、上記本実施形態の熱硬化性樹脂組成物が含有してもよい有機溶媒と同じものが挙げられる。
(Organic solvent)
The second thermosetting resin composition may be in the form of a varnish in which each component is dissolved and / or dispersed in an organic solvent in order to facilitate the production of a resin film.
As an organic solvent, the same thing as the organic solvent which the thermosetting resin composition of the said embodiment may contain is mentioned.

<支持体及び保護フィルム>
支持体としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィンのフィルム;ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ともいう)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルのフィルム;ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム等の各種プラスチックフィルムなどが挙げられる。また、銅箔、アルミニウム箔等の金属箔、離型紙などを使用してもよい。支持体及び後述する保護フィルムには、マット処理、コロナ処理等の表面処理が施してあってもよい。また、支持体及び後述する保護フィルムには、シリコーン樹脂系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、フッ素樹脂系離型剤等による離型処理が施してあってもよい。
支持体の厚さは特に限定されないが、10〜150μmが好ましく、25〜50μmがより好ましい。
<Support and protective film>
Examples of the support include polyolefin films such as polyethylene, polypropylene and polyvinyl chloride; polyester films such as polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as “PET”) and polyethylene naphthalate; various plastics such as polycarbonate films and polyimide films. A film etc. are mentioned. Moreover, you may use metal foil, release paper, etc., such as copper foil and aluminum foil. The support and the protective film described later may be subjected to surface treatment such as mat treatment or corona treatment. In addition, the support and the protective film described later may be subjected to a release treatment with a silicone resin release agent, an alkyd resin release agent, a fluororesin release agent, or the like.
Although the thickness of a support body is not specifically limited, 10-150 micrometers is preferable and 25-50 micrometers is more preferable.

第一の樹脂層の支持体との反対側の面には、保護フィルムを設けてもよい。保護フィルムの厚さは、特に限定されないが、例えば、1〜40μmであってもよい。保護フィルムを設けることにより、第一の樹脂層の表面へのゴミ等の付着及びキズ付きを防止することができる。複合フィルムは、ロール状に巻き取って貯蔵することもできる。   A protective film may be provided on the surface of the first resin layer opposite to the support. Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, 1-40 micrometers may be sufficient. By providing the protective film, it is possible to prevent adhesion of dust and the like to the surface of the first resin layer and scratches. The composite film can also be stored in a roll form.

なお、本実施形態の層間絶縁用樹脂フィルムは、上記で説明した複合フィルムにおいて、第二の樹脂層を有しないものであってもよい。   In addition, the resin film for interlayer insulation of this embodiment may not have a 2nd resin layer in the composite film demonstrated above.

<複合フィルム、層間絶縁用樹脂フィルムの製造方法>
本実施形態の複合フィルムは、例えば、支持体の上に第一の樹脂層を形成し、その上に第二の樹脂層を形成する方法により製造することができる。
第一の樹脂層の形成には、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物又は本実施形態の熱硬化性樹脂組成物の樹脂ワニス(ここでは、「第一の樹脂層用ワニス」ともいう)を用いることが好ましい。
第二の樹脂層の形成には、第二の熱硬化性樹脂組成物又は第二の熱硬化性樹脂組成物の樹脂ワニス(以下、「第二の樹脂層用ワニス」ともいう)を用いることが好ましい。
支持体に樹脂ワニスを塗工する方法としては、例えば、コンマコーター、バーコーター、キスコーター、ロールコーター、グラビアコーター、ダイコーター等の塗工装置を用いることができる。これらの塗工装置は、膜厚によって、適宜選択することが好ましい。
<Production method of composite film and resin film for interlayer insulation>
The composite film of this embodiment can be manufactured by the method of forming a 1st resin layer on a support body and forming a 2nd resin layer on it, for example.
For the formation of the first resin layer, the thermosetting resin composition of the present embodiment or the resin varnish of the thermosetting resin composition of the present embodiment (herein also referred to as “first varnish for the resin layer”) Is preferably used.
For the formation of the second resin layer, a second thermosetting resin composition or a resin varnish of the second thermosetting resin composition (hereinafter, also referred to as “second resin layer varnish”) is used. Is preferred.
As a method for applying the resin varnish to the support, for example, a coating device such as a comma coater, a bar coater, a kiss coater, a roll coater, a gravure coater, or a die coater can be used. These coating apparatuses are preferably selected as appropriate depending on the film thickness.

第一の樹脂層用ワニスを支持体に塗工した後の乾燥条件としては、例えば、乾燥温度は好ましくは50〜150℃、より好ましくは100〜150℃、さらに好ましくは120〜150℃であり、乾燥時間は、好ましくは1〜10分間、より好ましくは2〜5分間である。
第二の樹脂層用ワニスを第一の樹脂層上に塗工した後の乾燥条件としては、例えば、乾燥温度は好ましくは50〜150℃、より好ましくは60〜130℃、さらに好ましくは80〜110℃であり、乾燥時間は、好ましくは1〜10分間、より好ましくは2〜5分間である。
なお、乾燥後の複合フィルム中の揮発成分(主に有機溶媒)の含有量が、10質量%以下となるように乾燥させることが好ましく、6質量%以下となるように乾燥させることがより好ましい。
As drying conditions after coating the first varnish for the resin layer on the support, for example, the drying temperature is preferably 50 to 150 ° C, more preferably 100 to 150 ° C, and still more preferably 120 to 150 ° C. The drying time is preferably 1 to 10 minutes, more preferably 2 to 5 minutes.
As drying conditions after coating the 2nd varnish for resin layers on the 1st resin layer, for example, drying temperature becomes like this. Preferably it is 50-150 degreeC, More preferably, it is 60-130 degreeC, More preferably, it is 80- The drying time is preferably 1 to 10 minutes, more preferably 2 to 5 minutes.
In addition, it is preferable to dry so that content of the volatile component (mainly organic solvent) in the composite film after drying may be 10 mass% or less, and it is more preferable to dry so that it may be 6 mass% or less. .

本実施形態の複合フィルムにおいて形成される第一の樹脂層の厚さは、高周波特性及び微細配線形成の観点から、1〜15μmが好ましく、2〜10μmがより好ましく、4〜7μmがさらに好ましい。
第二の樹脂層の厚さは、求める性能に応じて適宜決定すればよいが、回路基板の導体層を埋め込む観点から、回路基板の導体層の厚さ以上であることが好ましい。具体的には、回路基板が有する導体層の厚さが通常5〜70μmの範囲であるので、第二の樹脂層の厚さは、10〜100μmが好ましく、15〜80μmがより好ましい、20〜50μmがさらに好ましい。
The thickness of the first resin layer formed in the composite film of this embodiment is preferably from 1 to 15 μm, more preferably from 2 to 10 μm, and even more preferably from 4 to 7 μm, from the viewpoint of high frequency characteristics and fine wiring formation.
The thickness of the second resin layer may be appropriately determined according to the required performance, but is preferably equal to or greater than the thickness of the conductor layer of the circuit board from the viewpoint of embedding the conductor layer of the circuit board. Specifically, since the thickness of the conductor layer of the circuit board is usually in the range of 5 to 70 μm, the thickness of the second resin layer is preferably 10 to 100 μm, more preferably 15 to 80 μm. 50 μm is more preferable.

なお、本実施形態の層間絶縁用樹脂フィルムは、上記で説明した複合フィルムの製造方法において、第二の樹脂層を形成しない方法により製造することができ、その他の好ましい条件は、上記で説明した複合フィルムと同様である。   In addition, the resin film for interlayer insulation of this embodiment can be manufactured by the method which does not form a 2nd resin layer in the manufacturing method of the composite film demonstrated above, Other preferable conditions were demonstrated above. The same as the composite film.

<複合フィルムの物性>
本実施形態の複合フィルムの硬化物の5GHzにおける誘電正接は、0.010以下が好ましく、0.008以下がより好ましく、0.005以下がさらに好ましい。なお、硬化物の誘電正接は、実施例に記載の方法により求めることができる。
<Physical properties of composite film>
The dielectric loss tangent at 5 GHz of the cured product of the composite film of this embodiment is preferably 0.010 or less, more preferably 0.008 or less, and further preferably 0.005 or less. In addition, the dielectric loss tangent of hardened | cured material can be calculated | required by the method as described in an Example.

本実施形態の複合フィルムの硬化物のピール強度は、導体層との接着の観点から、0.5kgf/cm以上が好ましく、0.6kgf/cm以上がより好ましく、0.65kgf/cm以上がさらに好ましい。ピール強度の上限に制限はないが、例えば、15kgf/cm以下である。なお、ピール強度は実施例に記載の方法で測定した値である。   The peel strength of the cured product of the composite film of the present embodiment is preferably 0.5 kgf / cm or more, more preferably 0.6 kgf / cm or more, and further 0.65 kgf / cm or more from the viewpoint of adhesion to the conductor layer. preferable. Although there is no restriction | limiting in the upper limit of peel strength, For example, it is 15 kgf / cm or less. The peel strength is a value measured by the method described in the examples.

本実施形態の複合フィルムの硬化物の表面粗さRaは、微細配線形成の観点から、250nm以下が好ましく、240nm以下がより好ましく、180nm以下がさらに好ましい。また、表面粗さRaは、ピール強度をより高める観点から、1nm以上が好ましい。なお、表面粗さは実施例に記載の方法で測定した値である。   From the viewpoint of fine wiring formation, the surface roughness Ra of the cured product of the composite film of the present embodiment is preferably 250 nm or less, more preferably 240 nm or less, and further preferably 180 nm or less. Further, the surface roughness Ra is preferably 1 nm or more from the viewpoint of further increasing the peel strength. The surface roughness is a value measured by the method described in the examples.

本実施形態の複合フィルムの反応開始温度は、120〜160℃が好ましく、125〜150℃がより好ましく、130〜140℃がさらに好ましい。層間絶縁層の硬化不足によるパターン埋め込み時の白化がより効果的に抑制される。なお、反応開始温度は、実施例に記載の方法で測定した値である。
なお、第二の熱硬化性樹脂組成物の反応開始温度は、第一の熱硬化性樹脂組成物の反応開始温度よりも高い温度であることが好ましく、その温度差は、5〜50℃が好ましく、10〜30℃がより好ましい。温度差が5℃以上であると、第一の樹脂層と第二の樹脂層とが同時に反応することなく白化の発生を抑制することができ、50℃以下であると、設定した硬化温度で硬化反応が進行するため、目的とする硬化物物性を得ることができる。
120-160 degreeC is preferable, the reaction start temperature of the composite film of this embodiment has more preferable 125-150 degreeC, and 130-140 degreeC is further more preferable. Whitening during pattern embedding due to insufficient curing of the interlayer insulating layer is more effectively suppressed. In addition, reaction start temperature is the value measured by the method as described in an Example.
The reaction start temperature of the second thermosetting resin composition is preferably higher than the reaction start temperature of the first thermosetting resin composition, and the temperature difference is 5 to 50 ° C. Preferably, 10-30 degreeC is more preferable. When the temperature difference is 5 ° C. or more, the first resin layer and the second resin layer can be prevented from reacting simultaneously without causing the whitening, and when it is 50 ° C. or less, the set curing temperature is reached. Since the curing reaction proceeds, the desired cured physical properties can be obtained.

本実施形態の複合フィルムの反応熱は、50〜120J/gが好ましく、60〜100J/gがより好ましく、70〜90J/gがさらに好ましい。複合フィルムの硬化時における反応熱が上記範囲内であると、層間絶縁層の硬化不足によるパターン埋め込み時の白化がより効果的に抑制される。なお、反応熱は、実施例に記載の方法で測定した値である。   50-120 J / g is preferable, as for the heat of reaction of the composite film of this embodiment, 60-100 J / g is more preferable, and 70-90 J / g is further more preferable. When the reaction heat at the time of curing of the composite film is within the above range, whitening at the time of pattern embedding due to insufficient curing of the interlayer insulating layer is more effectively suppressed. In addition, reaction heat is the value measured by the method as described in an Example.

[プリント配線板及びその製造方法]
本実施形態のプリント配線板は、本実施形態の層間絶縁用樹脂フィルムの硬化物、又は本実施形態の複合フィルムの硬化物を含む。
以下では、本実施形態の複合フィルムを回路基板にラミネートし、多層プリント配線板を製造する方法について説明する。
[Printed wiring board and manufacturing method thereof]
The printed wiring board of the present embodiment includes a cured product of the interlayer insulating resin film of the present embodiment or a cured product of the composite film of the present embodiment.
Hereinafter, a method for manufacturing a multilayer printed wiring board by laminating the composite film of the present embodiment on a circuit board will be described.

本実施形態に係る多層プリント配線板は、次の工程(1)〜(5)の工程を含み、工程(1)、工程(2)又は工程(3)の後で、支持体を剥離又は除去してもよい。
工程(1):本実施形態の複合フィルムを、回路基板の片面又は両面にラミネートする工程
工程(2):複合フィルムを熱硬化し、層間絶縁層を形成する工程
工程(3):層間絶縁層を形成した回路基板に穴あけする工程
工程(4):層間絶縁層の表面を粗化処理する工程
工程(5):粗化された層間絶縁層の表面にめっきする工程
The multilayer printed wiring board according to this embodiment includes the following steps (1) to (5), and the support is peeled off or removed after the step (1), the step (2) or the step (3). May be.
Step (1): Step of laminating the composite film of this embodiment on one or both sides of the circuit board Step (2): Step of thermosetting the composite film to form an interlayer insulating layer Step (3): Interlayer insulating layer Step (4): Step of roughening the surface of the interlayer insulating layer Step (5): Step of plating on the surface of the roughened interlayer insulating layer

<工程(1)>
工程(1)は、本実施形態の複合フィルムを、回路基板の片面又は両面にラミネートする工程である。複合フィルムをラミネートする装置としては、例えば、真空ラミネーターが挙げられる。真空ラミネーターとしては市販品を用いることができ、市販品の真空ラミネーターとしては、例えば、ニチゴー・モートン株式会社製のバキュームアップリケーター、株式会社名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、日立インダストリーズ株式会社製のロール式ドライコーター、日立エーアイシー株式会社製の真空ラミネーター等が挙げられる。
<Step (1)>
Step (1) is a step of laminating the composite film of the present embodiment on one or both sides of the circuit board. Examples of the apparatus for laminating the composite film include a vacuum laminator. Commercially available products can be used as the vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum applicator manufactured by Nichigo-Morton, a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho, and a Hitachi Industries, Ltd. And a roll laminator manufactured by Hitachi AIC Co., Ltd.

ラミネートにおいて、複合フィルムが保護フィルムを有している場合には、保護フィルムを除去した後、複合フィルムを加圧及び/又は加熱しながら回路基板に圧着する。
複合フィルムを用いる場合、第二の樹脂層が、回路基板の回路が形成されている面に対向するように配置する。
ラミネートの条件は、複合フィルム、及び回路基板を必要に応じてプレヒートし、圧着温度(ラミネート温度)を60〜140℃、圧着圧力を0.1〜1.1MPa(9.8×10〜107.9×10N/m)、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下でラミネートしてもよい。また、ラミネートの方法は、バッチ式であっても、ロールでの連続式であってもよい。
In the lamination, when the composite film has a protective film, after removing the protective film, the composite film is pressure-bonded to the circuit board while being pressurized and / or heated.
When using a composite film, it arrange | positions so that a 2nd resin layer may oppose the surface in which the circuit of the circuit board is formed.
The lamination conditions are as follows. The composite film and the circuit board are preheated as necessary, the pressure bonding temperature (laminating temperature) is 60 to 140 ° C., and the pressure bonding pressure is 0.1 to 1.1 MPa (9.8 × 10 4 to 107 9.9 × 10 4 N / m 2 ) and air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less may be laminated. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll.

<工程(2)>
工程(2)は、複合フィルムを熱硬化し、層間絶縁層を形成する工程である。加熱硬化の条件は特に限定されないが、例えば、170〜220℃で20〜80分の範囲で選択することができる。熱硬化させた後に、支持体を剥離してもよい。
<Step (2)>
Step (2) is a step of thermosetting the composite film to form an interlayer insulating layer. The conditions for heat curing are not particularly limited, but can be selected, for example, at 170 to 220 ° C. for 20 to 80 minutes. You may peel a support body, after making it thermoset.

<工程(3)>
工程(3)は、層間絶縁層を形成した回路基板に穴あけする工程である。本工程では、層間絶縁層及び回路基板にドリル、レーザー、プラズマ、又はこれらの組み合わせ等の方法により、穴あけを行い、ビアホール、スルーホール等を形成する。レーザーとしては、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー、UVレーザー、エキシマレーザー等が一般的に用いられる。
<Step (3)>
Step (3) is a step of drilling a circuit board on which an interlayer insulating layer is formed. In this step, drilling is performed on the interlayer insulating layer and the circuit board by a method such as drilling, laser, plasma, or a combination thereof to form via holes, through holes, and the like. As the laser, a carbon dioxide laser, a YAG laser, a UV laser, an excimer laser or the like is generally used.

<工程(4)>
工程(4)は、層間絶縁層の表面を粗化処理する工程である。本工程では、工程(2)で形成した層間絶縁層の表面を酸化剤により粗化処理を行うと同時に、ビアホール、スルーホール等が形成されている場合には、これらを形成する際に発生する「スミア」の除去を行うこともできる。
酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、過マンガン酸塩(過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム)、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素、硫酸、硝酸等が挙げられる。これらの中でも、ビルドアップ工法による多層プリント配線板の製造における層間絶縁層の粗化に汎用されている酸化剤であるアルカリ性過マンガン酸溶液(例えば、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム溶液)を用いて粗化、及びスミアの除去を行ってもよい。
<Process (4)>
Step (4) is a step of roughening the surface of the interlayer insulating layer. In this step, the surface of the interlayer insulating layer formed in step (2) is roughened with an oxidizing agent, and at the same time, if via holes, through holes, etc. are formed, they are generated when these are formed. “Smear” removal can also be performed.
Although it does not specifically limit as an oxidizing agent, For example, permanganate (potassium permanganate, sodium permanganate), dichromate, ozone, hydrogen peroxide, sulfuric acid, nitric acid, etc. are mentioned. Among these, alkaline permanganate solutions (for example, potassium permanganate and sodium permanganate solutions), which are oxidizers commonly used for roughening interlayer insulation layers in the production of multilayer printed wiring boards by the build-up method, are used. It may be used for roughening and smear removal.

<工程(5)>
工程(5)は、粗化された層間絶縁層の表面にめっきする工程である。本工程では、層間絶縁層の表面に無電解めっきにて給電層を形成し、次いで導体層とは逆パターンのめっきレジストを形成し、電解めっきにより導体層(回路)を形成する、セミアディティブ法を用いることができる。なお、導体層形成後、例えば、150〜200℃で20〜120分間アニール処理を施すことにより、層間絶縁層と導体層との接着強度を向上及び安定化させることができる。
<Step (5)>
Step (5) is a step of plating the surface of the roughened interlayer insulating layer. In this process, a power feeding layer is formed on the surface of the interlayer insulating layer by electroless plating, then a plating resist having a pattern opposite to that of the conductive layer is formed, and a conductive layer (circuit) is formed by electrolytic plating. Can be used. In addition, after forming a conductor layer, the adhesive strength of an interlayer insulation layer and a conductor layer can be improved and stabilized by performing an annealing process at 150 to 200 ° C. for 20 to 120 minutes, for example.

更に、このようにして作製された導体層の表面を粗化する工程を有していてもよい。導体層の表面の粗化は、導体層に接する樹脂との接着性を高める効果を有する。導体層を粗化する処理剤としては、特に限定されないが、例えば、有機酸系マイクロエッチング剤である、メックエッチボンドCZ−8100、メックエッチボンドCZ−8101、メックエッチボンドCZ−5480(以上、メック株式会社製、商品名)等が挙げられる。   Furthermore, you may have the process of roughening the surface of the conductor layer produced in this way. The roughening of the surface of the conductor layer has the effect of improving the adhesion with the resin in contact with the conductor layer. The treatment agent for roughening the conductor layer is not particularly limited. For example, MEC etch bond CZ-8100, MEC etch bond CZ-8101, and MEC etch bond CZ-5480 (which are organic acid microetching agents) MEC Co., Ltd. product name).

本実施形態の熱硬化性樹脂組成物、複合フィルム、及びプリント配線板は、1GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に特に好適に用いることができ、特に5GHz以上の高周波信号、10GHz以上の高周波信号又は30GHz以上の高周波信号を扱う電子機器に好適に用いることができる。   The thermosetting resin composition, the composite film, and the printed wiring board of the present embodiment can be particularly suitably used for electronic devices that handle high-frequency signals of 1 GHz or higher, particularly high-frequency signals of 5 GHz or higher, and high-frequency signals of 10 GHz or higher. Or it can use suitably for the electronic device which handles the high frequency signal of 30 GHz or more.

[第二の複合フィルム]
また、本発明によると、
熱硬化性樹脂組成物(I)を含む樹脂組成物層(I)と、
熱硬化性樹脂組成物(II)を含む樹脂組成物層(II)と、
を有する複合フィルムであって、
樹脂組成物層(II)が、内層回路を埋め込んで層間絶縁層を形成する層であり、
樹脂組成物層(I)が、前記層間絶縁層の内層回路とは反対側の面に導体層との接着補助層を形成する層であり、
熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度が140℃以下である、第二の複合フィルムも提供される。
[Second composite film]
Moreover, according to the present invention,
A resin composition layer (I) containing a thermosetting resin composition (I);
A resin composition layer (II) containing a thermosetting resin composition (II);
A composite film having
The resin composition layer (II) is a layer that embeds the inner layer circuit to form an interlayer insulating layer,
The resin composition layer (I) is a layer that forms an adhesion auxiliary layer with a conductor layer on the surface opposite to the inner layer circuit of the interlayer insulating layer,
The 2nd composite film whose reaction start temperature of thermosetting resin composition (I) is 140 degrees C or less is also provided.

熱硬化性樹脂組成物(I)は、樹脂組成物層(I)を形成でき、反応開始温度が140℃以下であるものであれば特に制限はないが、上記本実施形態の熱硬化性樹脂組成物であることが好ましい。樹脂組成物層(I)の反応開始温度は、実施例に記載の方法により測定することができる。
熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度は、140℃以下であり、95〜130℃が好ましく、100〜120℃がより好ましい。
The thermosetting resin composition (I) is not particularly limited as long as the resin composition layer (I) can be formed and the reaction start temperature is 140 ° C. or lower, but the thermosetting resin of the present embodiment is not limited thereto. A composition is preferred. The reaction start temperature of the resin composition layer (I) can be measured by the method described in Examples.
The reaction start temperature of the thermosetting resin composition (I) is 140 ° C. or lower, preferably 95 to 130 ° C., more preferably 100 to 120 ° C.

熱硬化性樹脂組成物(II)は、樹脂組成物層(II)を形成できるものであれば特に制限はないが、上記第二の熱硬化性樹脂組成物であることが好ましい。   The thermosetting resin composition (II) is not particularly limited as long as it can form the resin composition layer (II), but is preferably the second thermosetting resin composition.

熱硬化性樹脂組成物(II)の反応開始温度は、熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度よりも高い温度であることが好ましく、その温度差は、5〜50℃が好ましく、10〜30がより好ましい。温度差が5℃以上であると、樹脂組成物層(I)と樹脂組成物層(II)とが同時に反応することなく白化の発生を抑制することができ、50℃以下であると、設定した硬化温度で硬化反応が進行するため、目的とする硬化物物性を得ることができる。   The reaction initiation temperature of the thermosetting resin composition (II) is preferably higher than the reaction initiation temperature of the thermosetting resin composition (I), and the temperature difference is preferably 5 to 50 ° C. 10-30 are more preferable. When the temperature difference is 5 ° C. or more, the resin composition layer (I) and the resin composition layer (II) can be prevented from reacting simultaneously without reacting, and the temperature difference is set to 50 ° C. or less. Since the curing reaction proceeds at the cured temperature, the desired cured physical properties can be obtained.

第二の複合フィルムの好ましい製造方法、形態、物性等は、上記した本実施形態の複合フィルムと同じである。   The preferable manufacturing method, form, physical properties, etc. of the second composite film are the same as those of the composite film of the present embodiment described above.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されない。上記実施形態は例示であり、本発明の請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and any configuration that has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention and has the same function and effect can be used. Included in the technical scope.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されない。なお、本実施例における室温は25℃である。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited to these Examples. In addition, the room temperature in a present Example is 25 degreeC.

[第一の樹脂組成物の製造]
実施例1
(第一の樹脂組成物A)
表1に示す配合組成となるよう下記方法により第一の樹脂組成物Aを調製した。
成分(A)として、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC株式会社製、商品名:HP−5000、エポキシ当量252g/mol)、成分(B)として、活性エステル硬化剤(DIC株式会社製、商品名:HPC−8000−65T、トルエン希釈品(65質量%)、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、エステル基当量223g/eq)、成分(C)として、リン系硬化促進剤(トリノルマルブチルホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物)、成分(D)として、4−ジメチルアミノピリジン(和光純薬株式会社製)を混合し、第一の樹脂組成物Aを得た。
[Production of first resin composition]
Example 1
(First resin composition A)
The 1st resin composition A was prepared with the following method so that it might become a compounding composition shown in Table 1. FIG.
As component (A), naphthalene type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, trade name: HP-5000, epoxy equivalent 252 g / mol), and as component (B), active ester curing agent (manufactured by DIC Corporation, trade name: HPC). -8000-65T, toluene diluted product (65 mass%), active ester compound containing dicyclopentadiene type diphenol structure, ester group equivalent 223 g / eq), component (C), phosphorus-based curing accelerator (tri-normal butyl 4-dimethylaminopyridine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was mixed as an adduct of phosphine and p-benzoquinone) and component (D) to obtain a first resin composition A.

実施例2〜3、比較例1
(第一の樹脂組成物B〜D)
各成分及びその配合量を表1に示す配合に変更した以外は第一の樹脂組成物Aと同様にして、第一の樹脂組成物B〜Dを得た。
Examples 2-3 and Comparative Example 1
(First resin composition B to D)
First resin compositions B to D were obtained in the same manner as the first resin composition A except that each component and the blending amount thereof were changed to the blending shown in Table 1.

[反応開始温度及び反応熱の測定]
上記で得られた第一の樹脂組成物を粉末状にし、示差熱熱量計(TAインスツルメント社製、商品名:Q200型示差熱熱量計)を用いて、窒素雰囲気下、昇温速度10℃/分で50〜350℃間を測定したときの反応開始温度と反応熱を測定した。
なお、反応開始温度は、上記で得られたDSC曲線において、硬化発熱ピークの最大傾斜点の接線とベースラインとの交点の温度とし、反応熱は、上記で得られたDSC曲線において、上記硬化発熱ピークの面積から求められる熱量とした。評価結果を表1に示す。
[Measurement of reaction start temperature and reaction heat]
The first resin composition obtained above is powdered and heated at a rate of temperature increase of 10 using a differential calorimeter (TA Instruments, trade name: Q200 type differential calorimeter) under a nitrogen atmosphere. The reaction start temperature and reaction heat when measuring between 50 and 350 ° C. at a rate of ° C./min were measured.
The reaction start temperature is the temperature at the intersection of the tangent of the maximum slope of the curing exothermic peak and the baseline in the DSC curve obtained above, and the reaction heat is the above-mentioned curing in the DSC curve obtained above. The amount of heat determined from the area of the exothermic peak was used. The evaluation results are shown in Table 1.


*:表中、単位の記載がない各成分の配合量の単位は「質量部」である。
*1:エポキシ樹脂(A)100質量部に対する配合量(phr)を意味する。

*: In the table, the unit of the blending amount of each component that does not have a unit is “part by mass”.
* 1: Means blending amount (phr) with respect to 100 parts by mass of epoxy resin (A).

表1より、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物を用いた実施例1〜3は、比較例1に対して反応開始温度が低くなり、反応熱が大きくなった。
すなわち、本実施形態の熱硬化性樹脂組成物は、ワニス塗工後の乾燥時に硬化が進行しやすくなっており、フィルムとした際の硬化度が高くなると推測される。
From Table 1, in Examples 1 to 3 using the thermosetting resin composition of the present embodiment, the reaction start temperature was lower than that of Comparative Example 1, and the reaction heat was increased.
That is, the thermosetting resin composition of the present embodiment is likely to be hardened at the time of drying after varnish coating, and it is presumed that the degree of hardening becomes a film.

次に本実施形態の複合フィルムの製造し、その物性を評価した。   Next, the composite film of this embodiment was manufactured and its physical properties were evaluated.

[ポリイミド化合物(F)の製造]
製造例1
温度計、還流冷却管及び撹拌装置を備えた加熱及び冷却可能な容積5リットルのガラス製フラスコ容器に、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン(大和化成工業株式会社製、商品名:BMI−TMH)(成分(f1))330g、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン(大和化成工業株式会社製、商品名:BMI−4000))1381g(成分(f1))、4,4’−[1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン)]ビスアニリン(三井化学ファイン株式会社製、商品名:ビスアニリンM)(成分(f2))238g及びプロピレングリコールモノメチルエーテル1050gを投入し、還流させながら、液温120℃で、撹拌しながら2.5時間反応させた。その後、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により、反応物の重量平均分子量が1,500であることを確認し、冷却及び200メッシュ濾過してポリイミド化合物(F)(固形分濃度65質量%)を製造した。
[Production of polyimide compound (F)]
Production Example 1
1,6-bismaleimide- (2,2,4-trimethyl) hexane (Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.) was added to a glass flask container having a thermometer, a reflux condenser, and a stirrer and capable of heating and cooling. Manufactured, trade name: BMI-TMH) (component (f1)) 330 g, 2,2-bis [4- (4-maleimidophenoxy) phenyl] propane (manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name: BMI-4000)) 1381 g (component (f1)), 4,4 ′-[1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline (Mitsui Chemical Fine Co., Ltd., trade name: Bisaniline M) (component (f2)) 238 g and 1050 g of propylene glycol monomethyl ether was added, and the mixture was allowed to react for 2.5 hours with stirring at a liquid temperature of 120 ° C. while refluxing. Thereafter, the reaction product is confirmed to have a weight average molecular weight of 1,500 by gel permeation chromatography (GPC), and cooled and filtered through 200 mesh to obtain a polyimide compound (F) (solid content concentration 65 mass%). Manufactured.

得られたポリイミド化合物(F)の重量平均分子量は、GPCにより、標準ポリスチレンを用いた検量線から換算した。検量線は、標準ポリスチレン:TSKstandard POLYSTYRENE(Type;A−2500、A−5000、F−1、F−2、F−4、F−10、F−20、F−40)[東ソー株式会社製、商品名])を用いて3次式で近似した。GPCの条件は、以下に示す。
装置:(ポンプ:L−6200型[株式会社日立ハイテクノロジーズ製])
(検出器:L−3300型RI[株式会社日立ハイテクノロジーズ製])
(カラムオーブン:L−655A−52[株式会社日立ハイテクノロジーズ製])
カラム:ガードカラム;TSK Guardcolumn HHR−L + カラム;TSK gel−G4000HHR+TSK gel−G2000HHR(すべて東ソー株式会社製、商品名)
カラムサイズ:6.0×40mm(ガードカラム)、7.8×300mm(カラム)
溶離液:テトラヒドロフラン
試料濃度:30mg/5mL
注入量:20μL
流量:1.00mL/分
測定温度:40℃
The weight average molecular weight of the obtained polyimide compound (F) was converted from a calibration curve using standard polystyrene by GPC. The calibration curve is standard polystyrene: TSK standard POLYSTYRENE (Type; A-2500, A-5000, F-1, F-2, F-4, F-10, F-20, F-40) [manufactured by Tosoh Corporation, Product name]) and approximated by a cubic equation. The GPC conditions are shown below.
Apparatus: (Pump: L-6200 type [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation])
(Detector: L-3300 type RI [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation])
(Column oven: L-655A-52 [manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation])
Column: guard column; TSK Guardcolumn HHR-L + column; TSK gel-G4000HHR + TSK gel-G2000HHR (all trade names, manufactured by Tosoh Corporation)
Column size: 6.0 × 40 mm (guard column), 7.8 × 300 mm (column)
Eluent: Tetrahydrofuran Sample concentration: 30 mg / 5 mL
Injection volume: 20 μL
Flow rate: 1.00 mL / min Measurement temperature: 40 ° C

[複合フィルム形成用の第二の樹脂組成物の製造]
製造例2
表2に示す配合組成となるよう下記方法により第二の樹脂組成物を調製した。
成分(H)として、アミノシランカップリング剤処理を施したシリカ(株式会社アドマテックス製、商品名:SC−2050−KNK、固形分濃度70質量%のメチルイソブチルケトン分散液)と、成分(G)として、ポリブタジエン系エラストマ(エボニック社製、商品名:POLYVEST 75MA)とを混合した。
そこに製造例1で製造したポリイミド化合物(F)を混合し、高速回転ミキサーにより室温で溶解させた。
ポリイミド化合物(F)が溶解したことを目視で確認した後、難燃剤として、1,3−フェニレンビス(ジ2,6−キシレニルホスフェート)(大八化学工業株式会社製、商品名:PX−200)、酸化防止剤として、4,4’−ブチリデンビス−(6−t−ブチル−3−メチルフェノール)(三菱ケミカル株式会社製、商品名:ヨシノックスBB)、流動調整剤(ビックケミー・ジャパン株式会社製、商品名:BYK−310、固形分濃度25質量%のキシレン溶液)を混合した。
その後、硬化促進剤1として、有機過酸化物(日油株式会社製、商品名:パーブチルP)、硬化促進剤2として、イソシアネートマスクイミダゾール(第一工業製薬株式会社製、商品名:G8009L)を混合した。次いで、ナノマイザー処理によって分散し、複合フィルムを作製するためのワニス状の第二の樹脂組成物を得た。
[Production of second resin composition for forming composite film]
Production Example 2
A second resin composition was prepared by the following method so as to have the composition shown in Table 2.
As component (H), silica treated with an aminosilane coupling agent (manufactured by Admatechs Co., Ltd., trade name: SC-2050-KNK, methyl isobutyl ketone dispersion with a solid content concentration of 70% by mass), and component (G) As a mixture, a polybutadiene elastomer (manufactured by Evonik, trade name: POLYVEST 75MA) was mixed.
The polyimide compound (F) produced in Production Example 1 was mixed therewith and dissolved at room temperature using a high-speed rotary mixer.
After visually confirming that the polyimide compound (F) was dissolved, 1,3-phenylenebis (di-2,6-xylenyl phosphate) (manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd., trade name: PX) was used as a flame retardant. -200), 4,4′-butylidenebis- (6-tert-butyl-3-methylphenol) (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., trade name: Yoshinox BB), a flow regulator (Big Chemie Japan Co., Ltd.) Company name, BYK-310, xylene solution having a solid concentration of 25% by mass) were mixed.
Thereafter, an organic peroxide (manufactured by NOF Corporation, trade name: Perbutyl P) is used as the curing accelerator 1, and an isocyanate mask imidazole (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., trade name: G8009L) is used as the curing accelerator 2. Mixed. Subsequently, it disperse | distributed by the nanomizer process and the varnish-like 2nd resin composition for producing a composite film was obtained.

[複合フィルム用の第一の樹脂組成物の製造]
製造例3
(第一の樹脂組成物Eの製造)
表2に示す配合組成となるよう下記方法により第一の樹脂組成物Eを調製した。
フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(日本化薬株式会社製、商品名:BPAM−155)を、質量%が2.1%となるように、ジメチルアセトアミド、シクロヘキサノンの混合溶媒(ジメチルアセトアミド:シクロヘキサノンの質量比率が7:3の混合溶媒)に溶解させた。溶解後、成分(A)として、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC株式会社製、商品名:HP−5000、エポキシ当量252g/mol)、成分(J)として、無機充填材(日本アエロジル株式会社製、商品名:アエロジルR972、比表面積110±20m/g)、酸化防止剤(株式会社エーピーアイコーポレーション製、商品名:ヨシノックスBB)、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル株式会社製、商品名:YX7200、メチルエチルケトン希釈品(35質量%))、成分(B)として、活性エステル硬化剤(DIC株式会社製、商品名:HPC−8000−65T、トルエン希釈品(65質量%)、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、エステル基当量223g/eq)、流動調整剤(ビックケミージャパン社製、商品名:BYK−310)、成分(C)として、リン系硬化促進剤(トリノルマルブチルホスフィンとp−ベンゾキノンとの付加物)、成分(D)として、4−ジメチルアミノピリジン(和光純薬社製)を配合し溶解させ、固形分濃度が18質量%になるようメチルエチルケトンでワニスを希釈した。その後、ナノマイザー処理によって分散し、ワニス状の第一の樹脂組成物Eを得た。
[Production of first resin composition for composite film]
Production Example 3
(Production of first resin composition E)
The 1st resin composition E was prepared with the following method so that it might become a compounding composition shown in Table 2.
A phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name: BPAM-155) was mixed with dimethylacetamide and cyclohexanone (dimethylacetamide: cyclohexanone) so that the mass% was 2.1%. (Mixed solvent having a mass ratio of 7: 3). After dissolution, as component (A), naphthalene type epoxy resin (manufactured by DIC Corporation, trade name: HP-5000, epoxy equivalent 252 g / mol), as component (J), inorganic filler (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., product) Name: Aerosil R972, specific surface area 110 ± 20 m 2 / g), antioxidant (manufactured by API Corporation, trade name: Yoshinox BB), phenoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, trade name: YX7200, methyl ethyl ketone diluted product) (35 mass%)), active ingredient curing agent (manufactured by DIC Corporation, trade name: HPC-8000-65T, toluene diluted product (65 mass%), dicyclopentadiene type diphenol structure as component (B) Active ester compound, ester group equivalent 223 g / eq), flow modifier (Big Chemie) Made by Japan Co., Ltd., trade name: BYK-310), component (C) as phosphorus curing accelerator (adduct of tri-normal butylphosphine and p-benzoquinone), component (D) as 4-dimethylaminopyridine ( Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) was mixed and dissolved, and the varnish was diluted with methyl ethyl ketone so that the solid content concentration was 18% by mass. Then, it disperse | distributed by the nanomizer process and the varnish-like 1st resin composition E was obtained.

製造例4〜5
(第一の樹脂組成物F及びGの製造)
各成分及びその配合量を表2に示す配合に変更した以外は第一の樹脂組成物Eと同様にして、第一の樹脂組成物F及びGを得た。
Production Examples 4-5
(Production of first resin compositions F and G)
First resin compositions F and G were obtained in the same manner as the first resin composition E, except that each component and the blending amount thereof were changed to the blending shown in Table 2.

[複合フィルムの製造]
実施例4
(複合フィルム1)
上記で得た第一の樹脂組成物Eを、離型処理された支持体(PETフィルム、東レフィルム加工株式会社製、商品名:セラピールSY(01)(厚さ38μm))に、乾燥後の第一の樹脂層の厚さが4.5μmとなるようにコンマコーターを用いて塗布し、140℃で3分間乾燥して、支持体上に第一の樹脂層を形成した。
次いで、形成した第一の樹脂層上に、第二の樹脂組成物を、乾燥後の第二の樹脂層の厚さが35.5μmとなるようにコンマコーターを用いて塗布し、95℃で2分間乾燥した。次いで、第二の樹脂層の表面に、保護フィルムとして厚さ15μmのポリプロピレンフィルムを貼り合わせながらロール状に巻き取り、支持体及び保護フィルムを有する複合フィルム1を得た。
[Manufacture of composite film]
Example 4
(Composite film 1)
The first resin composition E obtained above was dried on a release-treated support (PET film, manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd., trade name: Therapy SY (01) (thickness 38 μm)). The first resin layer was applied using a comma coater so that the thickness of the first resin layer became 4.5 μm, and dried at 140 ° C. for 3 minutes to form the first resin layer on the support.
Next, on the formed first resin layer, the second resin composition was applied using a comma coater so that the thickness of the second resin layer after drying was 35.5 μm, and at 95 ° C. Dried for 2 minutes. Next, a 15 μm-thick polypropylene film was wound as a protective film on the surface of the second resin layer while being rolled up to obtain a composite film 1 having a support and a protective film.

比較例2〜3
(複合フィルム2〜3)
実施例4において、第一の樹脂組成物Eを第一の樹脂組成物F及びGに変えたこと以外は、実施例4と同様にして、複合フィルム2〜3を得た。
Comparative Examples 2-3
(Composite film 2-3)
In Example 4, composite films 2 to 3 were obtained in the same manner as in Example 4 except that the first resin composition E was changed to the first resin compositions F and G.

[複合フィルムの評価]
上記で得た複合フィルムを、以下の方法で評価した。結果を表2に示す。
[Evaluation of composite film]
The composite film obtained above was evaluated by the following method. The results are shown in Table 2.

[反応開始温度及び反応熱]
複合フィルムより保護フィルムを剥離し、樹脂層を削り取った。削り取った樹脂組成物を用いて、上記した第一の樹脂組成物の反応開始温度及び反応熱の測定方法と同じ方法により、複合フィルムの反応開始温度及び反応熱を測定した。
[Reaction start temperature and reaction heat]
The protective film was peeled off from the composite film, and the resin layer was scraped off. Using the scraped resin composition, the reaction start temperature and reaction heat of the composite film were measured by the same method as the measurement method of the reaction start temperature and reaction heat of the first resin composition described above.

[粗化処理後の表面粗さRa]
表面粗さ評価用の基板を以下の手順により作製した。
(試験片の作製方法)
各例で得られた複合フィルムを240mm×240mmのサイズに切断した後、保護フィルムを剥離した。
得られた支持体を有する複合フィルムを、CZ処理が施されたプリント配線板(日立化成株式会社製、商品名:E−700GR)上に、第二の樹脂層とプリント配線板とが当接するようにラミネートした。ラミネートは、100℃、45秒間減圧して圧力を0.5MPaとし、その後、110℃、60秒間、圧着圧力0.5MPaでプレスする方法により行った。
その後、室温に冷却し、複合フィルムを配したプリント配線板を得た。次に、複合フィルムを配したプリント配線板を、支持体を付けたまま第一段階目の硬化として130℃で20分間防爆乾燥機中で硬化を行い、続いて、第二段階目の硬化として190℃で40分間防爆乾燥機中で硬化を行い、層間絶縁層が形成されたプリント配線板を得た。その後、支持体を剥離して得られたプリント配線板を試験片とした。
[Surface roughness Ra after roughening treatment]
A substrate for evaluating the surface roughness was prepared by the following procedure.
(Test piece preparation method)
The composite film obtained in each example was cut into a size of 240 mm × 240 mm, and then the protective film was peeled off.
The second resin layer and the printed wiring board come into contact with the obtained composite film having the support on the printed wiring board (trade name: E-700GR, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) subjected to CZ treatment. Was laminated as follows. Lamination was performed by a method in which pressure was reduced to 0.5 MPa by reducing the pressure at 100 ° C. for 45 seconds, and then pressing was performed at 110 ° C. for 60 seconds at a pressure of 0.5 MPa.
Then, it cooled to room temperature and obtained the printed wiring board which distribute | arranged the composite film. Next, the printed wiring board on which the composite film is arranged is cured in an explosion-proof dryer at 130 ° C. for 20 minutes as the first stage curing with the support attached, and then the second stage curing. Curing was performed in an explosion-proof dryer at 190 ° C. for 40 minutes to obtain a printed wiring board on which an interlayer insulating layer was formed. Then, the printed wiring board obtained by peeling a support body was made into the test piece.

(試験片の粗化処理方法)
次に、上記で得られた試験片に対して、以下の方法により粗化処理を施した。
試験片を、60℃に加温した膨潤液(ローム・アンド・ハース電子材料株式会社製、商品名:CIRCUPOSIT MLB CONDITIONER211)に10分間浸漬処理した。次に、80℃に加温した粗化液(ローム・アンド・ハース電子材料株式会社製、商品名:CIRCUPOSIT MLB PROMOTER213)に15分間浸漬処理した。引き続き、45℃に加温した中和液(ローム・アンド・ハース電子材料株式会社製、商品名:CIRCUPOSIT MLB NEUTRALIZER MLB216)に5分間浸漬処理して中和した。このようにして、上記試験片の層間絶縁層の表面を粗化処理したものを、表面粗さ測定用基板として用いた。
(Roughening method of test piece)
Next, the test piece obtained above was subjected to roughening treatment by the following method.
The test piece was dipped in a swelling liquid heated to 60 ° C. (Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd., trade name: CIRCUPOSIT MLB CONDITIONER 211) for 10 minutes. Next, it was immersed in a roughening liquid (Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd., trade name: CIRCUPOSIT MLB PROMOTER213) heated to 80 ° C. for 15 minutes. Subsequently, the mixture was neutralized by immersion for 5 minutes in a neutralizing solution heated to 45 ° C. (Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd., trade name: CIRCUPOSIT MLB NEUTRALIZER MLB216). Thus, what roughened the surface of the interlayer insulation layer of the said test piece was used as a substrate for surface roughness measurement.

(表面粗さ測定用基板の表面粗さ測定方法)
次に、上記で得られた表面粗さ測定用基板の表面粗さを以下の方法により測定した。
表面粗さ測定用基板の表面粗さを、比接触式表面粗さ計(ブルカーエイエックスエス株式会社製、商品名:wykoNT9100)を用い、内部レンズ1倍、外部レンズ50倍を用いて測定し、算術平均粗さ(Ra)を得て、これを表面粗さRaとした。Raは本発明の主旨から、小さいほうが好ましく、250nm未満であると微細配線形成に好適である。
(Surface roughness measurement method for substrate for surface roughness measurement)
Next, the surface roughness of the surface roughness measurement substrate obtained above was measured by the following method.
The surface roughness of the substrate for measuring the surface roughness is measured using a specific contact surface roughness meter (Bruker AXS Co., Ltd., trade name: wykoNT9100), using an internal lens 1 × and an external lens 50 ×. The arithmetic average roughness (Ra) was obtained, and this was defined as the surface roughness Ra. From the gist of the present invention, Ra is preferably smaller, and if it is less than 250 nm, it is suitable for forming fine wiring.

[めっきピール強度]
めっきピール強度測定用基板を以下の手順により作製した。
(めっきピール強度測定用基板の作製方法)
まず、上記[粗化処理後の表面粗さRa]と同様の方法で作製した複合フィルム付きプリント配線板を、40mm×60mmに切り出し、試験片とした。該試験片を、上記の表面粗さ測定用の基板同様、粗化処理した後、60℃のアルカリクリーナー(アトテックジャパン株式会社製、商品名:クリーナーセキュリガント902)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、23℃のプリディップ液(アトテックジャパン株式会社製、商品名:プリディップネオガントB)で2分間処理した。その後、40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン株式会社製、商品名:アクチベーターネオガント834)で5分間処理を施し、パラジウム触媒を付着させた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン株式会社製、商品名:リデューサーネオガントWA)で5分間処理した。
上記の処理を行った試験片を、化学銅液(アトテックジャパン株式会社製、商品名:ベーシックプリントガントMSK−DK)に入れ、層間絶縁層上のめっき厚さが0.5μmになるまで、無電解めっきを行った。無電解めっき後に、めっき皮膜中に残存している応力を緩和し、残留している水素ガスを除去するために、120℃で15分間ベーク処理を施した。
次に、無電解めっき処理された試験片に対して、さらに層間絶縁層上のめっき厚さが35μmになるまで、電解めっきを行い、導体層として銅層を形成した。電解めっき後、190℃で120分間加熱、硬化させて接着強度測定部作製前の測定基板を得た。
銅層に10mm幅のレジストを形成し、過硫酸アンモニウムで銅層をエッチングすることにより、接着強度測定部として10mm幅の銅層を有する、めっきピール強度測定用基板を得た。
[Plating peel strength]
A substrate for plating peel strength measurement was produced by the following procedure.
(Preparation method of plating peel strength measurement substrate)
First, a printed wiring board with a composite film produced by the same method as in [Surface roughness Ra after roughening treatment] was cut into 40 mm × 60 mm, and used as a test piece. After roughening the test piece in the same manner as the substrate for measuring the surface roughness, the test piece was treated with an alkali cleaner (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., trade name: Cleaner Securigant 902) for 5 minutes, and degreased and washed. did. After washing, it was treated with a 23 ° C. pre-dip solution (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., trade name: Pre-dip Neo Gant B) for 2 minutes. Then, it processed for 5 minutes with the 40 degreeC activator liquid (Atotech Japan Co., Ltd. make, brand name: Activator Neogant 834), and the palladium catalyst was made to adhere. Next, it processed for 5 minutes with a 30 degreeC reducing liquid (Atotech Japan Co., Ltd. make, brand name: Reducer Neogant WA).
The test piece subjected to the above treatment is put in a chemical copper solution (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., trade name: Basic Print Gantt MSK-DK), and until the plating thickness on the interlayer insulating layer reaches 0.5 μm Electroplating was performed. After the electroless plating, a baking treatment was performed at 120 ° C. for 15 minutes in order to relieve the stress remaining in the plating film and remove the remaining hydrogen gas.
Next, electrolytic plating was performed on the test piece subjected to the electroless plating treatment until the plating thickness on the interlayer insulating layer became 35 μm, and a copper layer was formed as a conductor layer. After the electrolytic plating, the substrate was heated and cured at 190 ° C. for 120 minutes to obtain a measurement substrate before production of the adhesive strength measurement part.
A 10 mm wide resist was formed on the copper layer, and the copper layer was etched with ammonium persulfate to obtain a plating peel strength measurement substrate having a 10 mm wide copper layer as an adhesive strength measurement part.

(めっきピール強度の測定方法)
上記により得られためっきピール強度測定用基板を用いて、層間絶縁層と銅層との接着強度の測定を以下の方法により行った。
接着強度測定部の銅層の一端を、銅層と層間絶縁層との界面で剥がしてつかみ具でつかみ、小型卓上試験機(株式会社島津製作所製、商品名:EZT Test)を用いて、垂直方向に引っ張り速度50mm/分、室温中で引き剥がしたときの荷重を測定した。
(Measurement method of plating peel strength)
Using the plating peel strength measurement substrate obtained as described above, the adhesion strength between the interlayer insulating layer and the copper layer was measured by the following method.
One end of the copper layer of the adhesive strength measuring section is peeled off at the interface between the copper layer and the interlayer insulating layer and is gripped with a gripper, and vertically using a small tabletop testing machine (manufactured by Shimadzu Corporation, trade name: EZT Test). The load when it was peeled off at room temperature at a pulling speed of 50 mm / min in the direction was measured.

[層間絶縁層表面の白化有無]
各例で得られた複合フィルムを、240mm×240mmのサイズに切断した後、保護フィルムを剥離した。
得られた支持体を有する複合フィルムを、配線パターンが施されたプリント配線板(日立化成株式会社製、商品名:E−700GR)上に、第二の樹脂層とプリント配線板とが当接するようにラミネートした。ラミネートは、100℃、45秒間減圧して圧力を0.5MPaとし、その後、110℃、60秒間、圧着圧力0.5MPaでプレスする方法により行った。
その後、室温に冷却し、複合フィルムを配したプリント配線板を得た。次に、複合フィルムを配したプリント配線板を、支持体を付けたまま第一段階目の硬化として130℃で20分間防爆乾燥機中で硬化を行い、その後第二段階目の硬化として190℃で40分間防爆乾燥機中で硬化を行い、層間絶縁層が形成されたプリント配線板を得た。その後支持体を剥離しプリント配線板を得た。
白化有無は、得られたプリント配線板の層間絶縁層表面を目視により観察し、層間絶縁層表面に白化が生じず、均一な外観のものを「なし」、白化が生じ、不均一な外観のものを「あり」とした。この白化の評価においては、「なし」であることが好ましい。
[Presence or absence of whitening on the surface of the interlayer insulating layer]
The composite film obtained in each example was cut into a size of 240 mm × 240 mm, and then the protective film was peeled off.
The second resin layer and the printed wiring board come into contact with the composite film having the obtained support on the printed wiring board (trade name: E-700GR, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on which the wiring pattern has been applied. Was laminated as follows. Lamination was performed by a method in which pressure was reduced to 0.5 MPa by reducing the pressure at 100 ° C. for 45 seconds, and then pressing was performed at 110 ° C. for 60 seconds at a pressure of 0.5 MPa.
Then, it cooled to room temperature and obtained the printed wiring board which distribute | arranged the composite film. Next, the printed wiring board on which the composite film is disposed is cured in an explosion-proof dryer at 130 ° C. for 20 minutes as the first stage curing with the support attached, and then 190 ° C. as the second stage curing. Was cured in an explosion-proof dryer for 40 minutes to obtain a printed wiring board on which an interlayer insulating layer was formed. Thereafter, the support was peeled off to obtain a printed wiring board.
The presence or absence of whitening is observed by visually observing the surface of the interlayer insulating layer of the obtained printed wiring board, and no whitening occurs on the surface of the interlayer insulating layer. The thing is “Yes”. In the evaluation of whitening, “none” is preferable.

[誘電正接]
誘電正接の測定に用いた樹脂板は、以下の手順により作製した。
(樹脂板の作製方法)
(I)各例で得られた複合フィルムから保護フィルムを剥離した後、120℃で3分間乾燥した。
次に、乾燥後の支持体を有する複合フィルムを、真空加圧式ラミネーター(株式会社名機製作所製、商品名:MVLP−500/600−II)を用いて、銅箔(電界銅箔、厚さ35μm)の光沢面上に、第二の樹脂層と銅箔とが当接するようにラミネートして、銅箔、複合フィルム、支持体がこの順に積層された積層体(P)を得た。ラミネートは、30秒間減圧して圧力を0.5MPaとした後、120℃、30秒間、圧着圧力0.5MPaでプレスする方法により行った。その後、積層体(P)から支持体を剥離した。
(II)次に、別の複合フィルムを準備し、保護フィルムを剥離した後、110℃で3分間の乾燥を行った。
(III)次に、上記(I)で得られた支持体を剥離した積層体(P)と、上記(II)で得られた乾燥後の支持体を有する複合フィルムとを、複合フィルム同士が当接するように、上記(I)と同様の条件でラミネートして、銅箔、複合フィルム2層からなる層、支持体がこの順に積層された積層体(Q)を得た。その後、積層体(Q)から支持体を剥離した。
(IV)次に、上記(III)で得られた支持体を剥離した積層体(Q)と、上記(II)と同様の方法により得られた乾燥後の支持体を有する複合フィルムとを、複合フィルム同士が当接するように、上記(I)と同様の条件でラミネートして、銅箔、複合フィルム3層からなる層、支持体がこの順に積層された積層体(R)を得た。
(V)上記(I)〜(III)と同様の方法により、積層体(Q)を作製した。
(VI)上記(V)で得られた積層体(Q)と、上記(I)〜(IV)で得られた積層体(R)の支持体をそれぞれ剥離し、積層体(Q)と積層体(R)の複合フィルム同士を貼り合わせ、圧着圧力3.0MPaで190℃、60分間、真空プレスを用いてプレス成型を行った。得られた両面銅箔付き樹脂板を、190℃で2時間硬化させた後、過硫酸アンモニウムで銅箔をエッチングすることで、樹脂板を得た。
[Dielectric loss tangent]
The resin plate used for the measurement of dielectric loss tangent was produced by the following procedure.
(Production method of resin plate)
(I) After the protective film was peeled off from the composite film obtained in each example, it was dried at 120 ° C. for 3 minutes.
Next, the composite film having the support after drying is subjected to copper foil (electrolytic copper foil, thickness) using a vacuum pressure laminator (manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., trade name: MVLP-500 / 600-II). On the glossy surface of 35 μm), the second resin layer and the copper foil were laminated so that they contacted to obtain a laminate (P) in which the copper foil, the composite film, and the support were laminated in this order. Lamination was performed by reducing pressure for 30 seconds to a pressure of 0.5 MPa, and then pressing at 120 ° C. for 30 seconds with a pressure of 0.5 MPa. Then, the support body was peeled from the laminated body (P).
(II) Next, another composite film was prepared and the protective film was peeled off, followed by drying at 110 ° C. for 3 minutes.
(III) Next, the laminate (P) from which the support obtained in (I) above was peeled off, and the composite film having the dried support obtained in (II) above, Lamination was performed under the same conditions as in (I) above to obtain a laminate (Q) in which a copper foil, a layer composed of two composite films, and a support were laminated in this order. Thereafter, the support was peeled from the laminate (Q).
(IV) Next, a laminate (Q) from which the support obtained in (III) was peeled, and a composite film having a dried support obtained by the same method as in (II) above, Lamination was performed under the same conditions as in the above (I) so that the composite films were in contact with each other, thereby obtaining a laminate (R) in which a copper foil, a layer composed of three composite films, and a support were laminated in this order.
(V) A laminate (Q) was produced by the same method as in the above (I) to (III).
(VI) The laminate (Q) obtained in the above (V) and the support of the laminate (R) obtained in the above (I) to (IV) are peeled off, and the laminate (Q) and the laminate are laminated. The composite films of the body (R) were bonded together, and press-molded using a vacuum press at 190 ° C. for 60 minutes at a pressure of 3.0 MPa. After the obtained resin plate with double-sided copper foil was cured at 190 ° C. for 2 hours, the copper foil was etched with ammonium persulfate to obtain a resin plate.

(誘電正接の測定方法)
上記で作製された樹脂板を幅2mm、長さ70mmの試験片に切り出し、ネットワークアナライザー(アジレント・テクノロジー株式会社製、商品名:E8364B)と5GHz対応空洞共振器(株式会社関東電子応用開発製)を用いて、誘電正接を測定した。測定温度は25℃とした。誘電正接が低いほど、誘電特性に優れることを示す。
(Measurement method of dielectric loss tangent)
The resin plate produced above is cut into a test piece having a width of 2 mm and a length of 70 mm, and a network analyzer (manufactured by Agilent Technologies, trade name: E8364B) and a cavity resonator for 5 GHz (manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd.) Was used to measure the dielectric loss tangent. The measurement temperature was 25 ° C. A lower dielectric loss tangent indicates better dielectric properties.


*:表中、単位の記載がない各成分の配合量の単位は「質量部」である。
*1:成分(A)100質量部に対する成分(C)又は成分(D)の配合量を意味する。
*2:ポリイミド化合物(F)の仕込み量から換算される原料(ビスマレイミド)と変性ポリブタジエン(G)との合計100質量部に対する配合量を意味する。
*3:ポリイミド化合物(F)の仕込み量から換算される原料(ビスマレイミド)に対する配合量を意味する。

*: In the table, the unit of the blending amount of each component that does not have a unit is “part by mass”.
* 1: Means the amount of component (C) or component (D) to 100 parts by mass of component (A).
* 2: It means the blending amount with respect to 100 parts by mass in total of the raw material (bismaleimide) and the modified polybutadiene (G) converted from the charged amount of the polyimide compound (F).
* 3: It means the blending amount with respect to the raw material (bismaleimide) converted from the charged amount of the polyimide compound (F).

表2より、本実施形態の複合フィルムを用いた実施例4のプリント配線板は、パターン埋め込み時に白化が生じず、平滑な表面(低表面粗さ(Ra))と、めっき銅との接着強度に優れる層間絶縁層を有していた。一方で、比較例2〜3の層間絶縁層は、いずれかの特性で実施例4に劣ることが分かる。また、実施例4の複合フィルムは、比較例2及び3の複合フィルムよりも反応熱が小さいことから、複合フィルムを作製する際の乾燥時に第一の樹脂層の硬化反応が進行していることが分かり、これにより白化の発生が抑制されていることが示唆される。
以上より、本実施形態の複合フィルムは、パターン埋め込み時に白化が生じず、平滑な表面と、めっき銅との接着強度に優れる層間絶縁層を形成することができ、微細配線の形成に好適であることが分かる。
From Table 2, the printed wiring board of Example 4 using the composite film of the present embodiment is not whitened during pattern embedding, and has a smooth surface (low surface roughness (Ra)) and adhesive strength between plated copper. It had an excellent interlayer insulating layer. On the other hand, it turns out that the interlayer insulation layer of Comparative Examples 2-3 is inferior to Example 4 by either characteristic. Moreover, since the composite film of Example 4 has a smaller reaction heat than the composite films of Comparative Examples 2 and 3, the curing reaction of the first resin layer proceeds during drying when the composite film is produced. This suggests that the occurrence of whitening is suppressed.
As described above, the composite film of the present embodiment does not whiten during pattern embedding, can form a smooth surface and an interlayer insulating layer excellent in adhesive strength with plated copper, and is suitable for forming fine wiring. I understand that.

本発明の層間絶縁用複合フィルムは、パターン埋め込み時に白化が生じず、平滑な表面と、めっき銅との接着強度に優れる層間絶縁層を有している。したがって、本発明の熱硬化性樹脂組成物、層間絶縁用樹脂フィルム、複合フィルム、及びプリント配線板は、コンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ、テレビ等の電気製品;自動二輪車、自動車、電車、船舶、航空機等の乗り物などに有用である。   The composite film for interlayer insulation of the present invention does not cause whitening during pattern embedding, and has a smooth surface and an interlayer insulating layer excellent in adhesive strength between plated copper. Therefore, the thermosetting resin composition, the resin film for interlayer insulation, the composite film, and the printed wiring board of the present invention are used for electrical products such as computers, mobile phones, digital cameras, and televisions; motorcycles, automobiles, trains, ships, Useful for vehicles such as aircraft.

1 第二の樹脂層
2 第一の樹脂層
3 支持体
4 保護フィルム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 2nd resin layer 2 1st resin layer 3 Support body 4 Protective film

Claims (16)

エポキシ樹脂(A)、活性エステル硬化剤(B)、リン系硬化促進剤(C)及び第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)を含有する、熱硬化性樹脂組成物。   A thermosetting resin composition comprising an epoxy resin (A), an active ester curing agent (B), a phosphorus curing accelerator (C) and a pyridine compound (D) having a tertiary amino group. 熱硬化性樹脂組成物に含有されるエポキシ樹脂(A)のエポキシ基に対する、活性エステル硬化剤(B)のエステル基の当量比(エステル基/エポキシ基)が、0.3〜1.5である、請求項1に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The equivalent ratio (ester group / epoxy group) of the ester group of the active ester curing agent (B) to the epoxy group of the epoxy resin (A) contained in the thermosetting resin composition is 0.3 to 1.5. The thermosetting resin composition according to claim 1. さらに、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン変性ポリアミド樹脂(E)を含有する、請求項1又は2に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The thermosetting resin composition according to claim 1 or 2, further comprising a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene-modified polyamide resin (E). 前記成分(E)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、1〜20質量部である、請求項3に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The thermosetting resin composition of Claim 3 whose content of the said component (E) is 1-20 mass parts with respect to 100 mass parts of solid content of the said thermosetting resin composition. リン系硬化促進剤(C)が、第三ホスフィンとキノン類との付加物である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The thermosetting resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the phosphorus-based curing accelerator (C) is an adduct of a tertiary phosphine and a quinone. リン系硬化促進剤(C)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.1〜20質量部である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The content of the phosphorus-based curing accelerator (C) is 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the thermosetting resin composition. The thermosetting resin composition described in 1. 第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)が、4−ジメチルアミノピリジンである、請求項1〜6のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The thermosetting resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the pyridine compound (D) having a tertiary amino group is 4-dimethylaminopyridine. 第3級アミノ基を有するピリジン化合物(D)の含有量が、前記熱硬化性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、0.1〜20質量部である、請求項1〜7のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物。   The content of the pyridine compound (D) having a tertiary amino group is 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the thermosetting resin composition. The thermosetting resin composition according to any one of the above. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物を含む、層間絶縁用樹脂フィルム。   The resin film for interlayer insulation containing the thermosetting resin composition of any one of Claims 1-8. 請求項1〜8のいずれか1項に記載の熱硬化性樹脂組成物を含む第一の樹脂組成物層と、第二の樹脂組成物層とを含む、複合フィルム。   The composite film containing the 1st resin composition layer containing the thermosetting resin composition of any one of Claims 1-8, and the 2nd resin composition layer. 前記第二の樹脂組成物層が、脂肪族マレイミド化合物由来の構造単位とジアミン化合物由来の構造単位とを有するポリイミド化合物(F)、変性ポリブタジエン(G)、及び無機充填材(H)を含有する第二の熱硬化性樹脂組成物を含む、請求項10に記載の複合フィルム。   The second resin composition layer contains a polyimide compound (F) having a structural unit derived from an aliphatic maleimide compound and a structural unit derived from a diamine compound, a modified polybutadiene (G), and an inorganic filler (H). The composite film according to claim 10, comprising a second thermosetting resin composition. 硬化物の5GHzの誘電正接が、0.005以下である、請求項10又は11に記載の複合フィルム。   The composite film according to claim 10 or 11, wherein the cured product has a dielectric loss tangent of 5 GHz of 0.005 or less. 請求項9に記載の層間絶縁用樹脂フィルムの硬化物、又は請求項10〜12のいずれか1項に記載の複合フィルムの硬化物を含む、プリント配線板。   The printed wiring board containing the hardened | cured material of the resin film for interlayer insulation of Claim 9, or the hardened | cured material of the composite film of any one of Claims 10-12. 請求項9に記載の層間絶縁用樹脂フィルム、又は請求項10〜12のいずれか1項に記載の複合フィルムを、基材の片面又は両面にラミネートする工程を備える、プリント配線板の製造方法。   The manufacturing method of a printed wiring board provided with the process of laminating the resin film for interlayer insulation of Claim 9, or the composite film of any one of Claims 10-12 on the single side | surface or both surfaces of a base material. 熱硬化性樹脂組成物(I)を含む樹脂組成物層(I)と、
熱硬化性樹脂組成物(II)を含む樹脂組成物層(II)と、
を有する複合フィルムであって、
樹脂組成物層(II)が、内層回路を埋め込んで層間絶縁層を形成する層であり、
樹脂組成物層(I)が、前記層間絶縁層の内層回路とは反対側の面に導体層との接着補助層を形成する層であり、
熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度が140℃以下である、複合フィルム。
A resin composition layer (I) containing a thermosetting resin composition (I);
A resin composition layer (II) containing a thermosetting resin composition (II);
A composite film having
The resin composition layer (II) is a layer that embeds the inner layer circuit to form an interlayer insulating layer,
The resin composition layer (I) is a layer that forms an adhesion auxiliary layer with a conductor layer on the surface opposite to the inner layer circuit of the interlayer insulating layer,
The composite film whose reaction start temperature of a thermosetting resin composition (I) is 140 degrees C or less.
熱硬化性樹脂組成物(II)の反応開始温度が、熱硬化性樹脂組成物(I)の反応開始温度よりも高い温度であって、その温度差が、5〜50℃である、請求項15に記載の複合フィルム。   The reaction start temperature of the thermosetting resin composition (II) is higher than the reaction start temperature of the thermosetting resin composition (I), and the temperature difference is 5 to 50 ° C. 15. The composite film according to 15.
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