JP2017147422A - Adhesive film for multilayer printed wiring board - Google Patents

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喬之 鈴川
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雅晴 松浦
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郁夫 菅原
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廣幸 横島
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祐貴 手塚
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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adhesive film for a multilayer printed wiring board, which is superior in the property of filling irregularities even when a silica filler is highly filled.SOLUTION: An adhesive film for a multilayer printed wiring board comprises a resin composition layer arranged by forming, on a support film, a layer of a resin composition including (A) a novolac type phenol resin which is 1.1-1.7 in the variance ratio (Mw/Mn) of a weight-average molecular weight (Mw) to a number average molecular weight (Mn), (B) an epoxy resin, (C) an inorganic filler and (D) a solvent. In the adhesive film, (B) the epoxy resin is at least one novolac type epoxy resin selected from a group consisting of a novolac type epoxy resin having a biphenyl skeleton, a cresol novolac type epoxy resin and an aralkyl novolac type epoxy resin; and (C) the inorganic filler is 0.1 μm or larger in average particle diameter, of which the content in the resin composition layer is 20-95 mass% of resin solid contents, and the content of (D) the solvent in the resin composition layer is 1-20 mass%.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、多層プリント配線板用の接着フィルムに関する。   The present invention relates to an adhesive film for a multilayer printed wiring board.

近年、電子機器、通信機器等に用いられる多層プリント配線板には、小型化、軽量化及び配線の高密度化だけでなく、演算処理速度の高速化の要求が強まっている。それに伴い、多層プリント配線板の製造方法として、回路基板の配線層上に層間絶縁層を交互に積み上げていくビルドアップ方式の製造技術が注目されている。   In recent years, multilayer printed wiring boards used in electronic devices, communication devices, and the like have been increasingly demanded not only for miniaturization, weight reduction, and higher wiring density, but also for higher processing speed. Accordingly, as a method for manufacturing a multilayer printed wiring board, a build-up method manufacturing technique in which interlayer insulating layers are alternately stacked on a wiring layer of a circuit board has attracted attention.

ビルドアップ方式で使用されている有機絶縁樹脂としては、芳香族系エポキシ樹脂と、エポキシ樹脂に対する活性水素を有する硬化剤(例えば、フェノール系硬化剤、アミン系硬化剤、カルボン酸系硬化剤等)とを組み合わせたものが主に用いられてきた。これらの硬化剤を用いて硬化させて得られる硬化物は、物性面のバランスに優れるものの、エポキシ基と活性水素との反応によって、極性の高いヒドロキシ基が発生することにより、吸水率の上昇、比誘電率、誘電正接等の電気特性の低下を招くという問題があった。   Organic insulating resins used in the build-up method include aromatic epoxy resins and curing agents having active hydrogen for the epoxy resins (for example, phenolic curing agents, amine curing agents, carboxylic acid curing agents, etc.) The combination of and has been mainly used. Although the cured product obtained by curing using these curing agents is excellent in the balance of physical properties, the reaction between the epoxy group and active hydrogen generates a highly polar hydroxy group, thereby increasing the water absorption rate. There has been a problem in that electrical characteristics such as dielectric constant and dielectric loss tangent are deteriorated.

シアネート樹脂とエポキシ樹脂とを含む樹脂組成物の硬化物は、比誘電率及び誘電正接が小さく、該樹脂組成物を用いることにより、電気特性に優れる有機絶縁樹脂層が得られることが知られている。一方で、シアネート樹脂を用いて得られる有機絶縁樹脂層は、高温高湿の加速試験を行うと、内層パターンと有機絶縁樹脂層との界面における接着性の保持率が大きく低下する傾向がある。そこで、例えば、特許文献1ではシアネート樹脂に対するエポキシ樹脂の使用量を過剰にすることで、接着性の保持率の低下を低減し、かつ活性エステル硬化剤を硬化剤として使用することで、エポキシ樹脂の割合が増えることによる電気特性の低下を防いでいる。   A cured product of a resin composition containing a cyanate resin and an epoxy resin has a low relative dielectric constant and dielectric loss tangent, and it is known that an organic insulating resin layer having excellent electrical characteristics can be obtained by using the resin composition. Yes. On the other hand, when an organic insulating resin layer obtained using a cyanate resin is subjected to a high-temperature and high-humidity accelerated test, the adhesive retention at the interface between the inner layer pattern and the organic insulating resin layer tends to be greatly reduced. Therefore, for example, in Patent Document 1, by using an excessive amount of the epoxy resin with respect to the cyanate resin, a decrease in the adhesive retention rate is reduced, and an active ester curing agent is used as a curing agent. This prevents a decrease in electrical characteristics due to an increase in the ratio of.

ところで、特許文献2には、離型層を有する支持体と有機絶縁樹脂層とからなる接着フィルムをコア基板に積層した後、支持体が付いた状態で熱硬化し、支持体が付いたまま又は支持体を剥離後に、レーザー又はドリルにより穴あけする工法が開示されている。   By the way, in patent document 2, after laminating | stacking the adhesive film which consists of a support body which has a mold release layer, and an organic insulating resin layer on a core board | substrate, it thermosets in the state with a support body, and a support body remains attached. Alternatively, a method of making a hole with a laser or a drill after peeling the support is disclosed.

また、ビルドアップ層には、加工寸法安定性、半導体実装後の反り量低減の需要から、低熱膨張係数化(低CTE化)が求められており、低CTE化に向けた取り組みが行われている(例えば、特許文献3〜5参照)。最も主流な方法として、シリカフィラーを高充填化(例えば、ビルドアップ層中の40質量%以上をシリカフィラーとする)することによって、ビルドアップ層の低CTE化を図っているものが多い。   In addition, the build-up layer is required to have a low thermal expansion coefficient (low CTE) due to demands for processing dimensional stability and reduction of warpage after semiconductor mounting, and efforts are being made to reduce the CTE. (For example, see Patent Documents 3 to 5). As the most mainstream method, many build-up layers have a low CTE by increasing the amount of silica filler (for example, 40 mass% or more in the build-up layer is a silica filler).

特許第5556222号公報Japanese Patent No. 5556222 国際公開第2009/035071号International Publication No. 2009/035071 特表2006−527920号公報JP-T-2006-527920 特開2007−87982号公報JP 2007-87982 A 特開2009−280758号公報JP 2009-280758 A

[1]ビルドアップ層の低CTE化を図るためにシリカフィラーを高充填化させると、ビルドアップ材料によって、内層回路の配線パターンの凹凸を埋め込むことが難しくなる傾向にある。また、スルーホールのような内層回路を、ビルドアップ材料によって凹凸が小さくなるように埋め込むことが要求されている。ビルドアップ材料の低CTE化を図るためにシリカフィラーを高充填化すると、これらの要求を満たすことが難しくなる傾向にある。 [1] When the silica filler is increased in order to reduce the CTE of the build-up layer, it tends to be difficult to bury the unevenness of the wiring pattern of the inner layer circuit by the build-up material. In addition, it is required to embed an inner layer circuit such as a through hole so that unevenness is reduced by a build-up material. If the silica filler is highly filled in order to reduce the CTE of the build-up material, it tends to be difficult to satisfy these requirements.

第1の発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、シリカフィラーを高充填化しても凹凸の埋め込み性に優れる多層プリント配線板用の接着フィルムを提供することを目的とする。   The first invention was made to solve such a problem, and an object of the invention is to provide an adhesive film for a multilayer printed wiring board that is excellent in unevenness embedding even when the silica filler is highly filled. To do.

[2]特許文献2の技術は、炭酸ガスレーザーを使用して絶縁層に良好なブラインドビアを形成することができるという効果を有するものの、シアネート樹脂、エポキシ樹脂及び活性エステル樹脂からなる有機絶縁樹脂層をコア基板上に積層し、支持体付きで硬化すると、硬化後にコア基材と有機絶縁樹脂層との界面において剥がれが発生してしまい、外観の良い硬化基板を得ることができないことが問題となっている。 [2] Although the technique of Patent Document 2 has the effect that a good blind via can be formed in an insulating layer using a carbon dioxide gas laser, an organic insulating resin comprising a cyanate resin, an epoxy resin and an active ester resin When a layer is laminated on a core substrate and cured with a support, peeling occurs at the interface between the core substrate and the organic insulating resin layer after curing, and a cured substrate with a good appearance cannot be obtained. It has become.

第2の発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、支持体付きで硬化しても外観の良い層間絶縁層が得られ、得られる層間絶縁層の誘電正接が低く、レーザー加工後のスミア除去性及び耐熱性に優れる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた層間絶縁層用樹脂フィルム及び多層プリント配線板を提供することを目的とする。   The second invention has been made to solve such a problem, an interlayer insulating layer having a good appearance even when cured with a support is obtained, and the dielectric tangent of the obtained interlayer insulating layer is low, It aims at providing the resin composition excellent in the smear removal property and heat resistance after laser processing, the resin film for interlayer insulation layers using this resin composition, and a multilayer printed wiring board.

[1]本発明者らは、前記第1の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定のノボラック型フェノール樹脂と、特定のエポキシ樹脂と、特定の無機充填材とを含む樹脂組成物を用いることにより、前記第1の課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。すなわち、第1の発明は次の接着フィルムを提供する。 [1] As a result of intensive studies to solve the first problem, the inventors of the present invention have a resin composition containing a specific novolac-type phenolic resin, a specific epoxy resin, and a specific inorganic filler. The inventors have found that the first problem can be solved by using an object, and have completed the present invention. That is, the first invention provides the following adhesive film.

(1)(A)重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との分散比(Mw/Mn)が、1.1〜1.7であるノボラック型フェノール樹脂と、(B)エポキシ樹脂と、(C)無機充填材と、(D)溶剤と、を含む樹脂組成物を、支持体フィルム上に層形成してなる樹脂組成物層を有し、(B)エポキシ樹脂が、ビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及びアラルキルノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂であり、(C)無機充填材の平均粒径が0.1μm以上で、その樹脂組成物層中における含有量が、樹脂固形分のうち20〜95質量%であり、樹脂組成物層中における(D)溶剤の含有量が1〜20質量%である、多層プリント配線板用の接着フィルム。 (1) (A) A novolak type phenol resin having a dispersion ratio (Mw / Mn) of 1.1 to 1.7 of a weight average molecular weight (Mw) and a number average molecular weight (Mn), and (B) an epoxy resin And (C) an inorganic filler, and (D) a solvent, and a resin composition layer formed by forming a layer on a support film, and (B) an epoxy resin has a biphenyl skeleton. At least one novolak epoxy resin selected from the group consisting of a novolak epoxy resin, a cresol novolac epoxy resin and an aralkyl novolac epoxy resin having an average particle size of (C) an inorganic filler having an average particle size of 0.1 μm or more In the multilayer composition, the content in the resin composition layer is 20 to 95% by mass of the resin solid content, and the content of the solvent (D) in the resin composition layer is 1 to 20% by mass. The adhesive film for cement wiring board.

[2]本発明者らは、前記第2の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、活性エステル硬化剤、リン系硬化促進剤及び無機充填材を含有する樹脂組成物を用いることにより、前記第2の課題を解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。すなわち、第2の発明は、次の(2)〜(19)を提供する。 [2] As a result of intensive studies to solve the second problem, the present inventors have found that the resin contains an epoxy resin, a cyanate resin, an active ester curing agent, a phosphorus curing accelerator, and an inorganic filler. It has been found that the second problem can be solved by using the composition, and the present invention has been completed. That is, the second invention provides the following (2) to (19).

(2)(a)エポキシ樹脂、(b)シアネート樹脂、(c)活性エステル硬化剤、(d)リン系硬化促進剤及び(e)無機充填材を含有する、樹脂組成物。
(3)(d)リン系硬化促進剤が、リン原子に少なくとも1つのアルキル基が結合したホスフィン化合物とキノン化合物との付加反応物である、上記(2)に記載の樹脂組成物。
(4)(d)リン系硬化促進剤が、下記一般式(I)で表されるホスフィン化合物と下記一般式(II)で表されるキノン化合物との付加反応物である、上記(2)又は(3)に記載の樹脂組成物。
(2) A resin composition comprising (a) an epoxy resin, (b) a cyanate resin, (c) an active ester curing agent, (d) a phosphorus-based curing accelerator, and (e) an inorganic filler.
(3) The resin composition according to (2), wherein (d) the phosphorus-based curing accelerator is an addition reaction product of a phosphine compound in which at least one alkyl group is bonded to a phosphorus atom and a quinone compound.
(4) The above (2), wherein (d) the phosphorus curing accelerator is an addition reaction product of a phosphine compound represented by the following general formula (I) and a quinone compound represented by the following general formula (II) Or the resin composition as described in (3).

(一般式(I)中、Rは炭素数1〜12のアルキル基を示し、R及びRは、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素基を示す。一般式(II)中、R〜Rは、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜18の炭化水素基を示し、RとRは互いに結合して環状構造となっていてもよい。)
(5)(d)リン系硬化促進剤の含有量が、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、0.01〜0.5質量部である、上記(2)〜(4)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(6)樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、(a)エポキシ樹脂の含有量が5〜60質量部、(b)シアネート樹脂の含有量が2〜50質量部、(c)活性エステル硬化剤の含有量が2〜30質量部、(e)無機充填材の含有量が40〜85質量部である、上記(2)〜(5)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(7)さらに、(f)ジシアンジアミドを含有する、上記(2)〜(6)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(8)さらに、(g)フェノキシ樹脂を含有する、上記(2)〜(7)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(9)(e)無機充填材が、ビニルシランカップリング剤、エポキシシランカップリング剤及びアミノシランカップリング剤から選ばれる1種類以上の表面処理剤で表面処理されたものである、上記(2)〜(8)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(10)さらに、(h)シロキサン骨格を有する樹脂を含有する、上記(2)〜(9)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(11)(e)無機充填材の体積平均粒径が、0.05〜3μmである、上記(2)〜(10)のいずれかに記載の樹脂組成物。
(12)支持体、接着補助層及び層間絶縁層用樹脂組成物層をこの順に有する層間絶縁層用樹脂フィルムであって、
層間絶縁層用樹脂組成物層が、上記(2)〜(11)のいずれかに記載の樹脂組成物を含有する層である、層間絶縁層用樹脂フィルム。
(13)前記接着補助層が、(i)エポキシ樹脂及び(j)シアネート樹脂を含有する接着補助層用樹脂組成物を含有する、上記(12)に記載の層間絶縁層用樹脂フィルム。
(14)(j)シアネート樹脂が、1分子中に2個のシアナト基を有するジシアネート化合物のプレポリマーである、上記(13)に記載の層間絶縁層用樹脂フィルム。
(15)前記接着補助層用樹脂組成物が、(k)比表面積が20m/g以上の無機充填材を含有する、上記(13)又は(14)に記載の層間絶縁層用樹脂フィルム。
(16)前記接着補助層用樹脂組成物が、(m)ポリブタジエン骨格を含有するポリアミド樹脂を含有する、上記(13)〜(15)のいずれかに記載の層間絶縁層用樹脂フィルム。
(17)前記接着補助層用樹脂組成物が、(n)フェノキシ樹脂を含有する、上記(13)〜(16)のいずれかに記載の層間絶縁層用樹脂フィルム。
(18)前記接着補助層の厚さが1〜15μm、前記層間絶縁層用樹脂組成物層の厚さが10〜100μm、前記支持体の厚さが10〜150μmである、上記(12)〜(17)のいずれかに記載の層間絶縁層用樹脂フィルム。
(19)上記(2)〜(11)のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物又は上記(12)〜(18)のいずれかに記載の層間絶縁層用樹脂フィルムの硬化物を含む、多層プリント配線板。
(In general formula (I), R 1 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms. In (II), R 4 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and R 4 and R 5 may be bonded to each other to form a cyclic structure. )
(5) Said (2)-(4) whose content of (d) phosphorus hardening accelerator is 0.01-0.5 mass part with respect to 100 mass parts of solid content conversion of a resin composition. The resin composition in any one of.
(6) The content of the epoxy resin is 5 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition, (b) the content of the cyanate resin is 2 to 50 parts by mass, (c) Resin composition in any one of said (2)-(5) whose content of an active ester hardening | curing agent is 2-30 mass parts and whose content of (e) inorganic filler is 40-85 mass parts.
(7) The resin composition according to any one of (2) to (6), further comprising (f) dicyandiamide.
(8) The resin composition according to any one of (2) to (7), further comprising (g) a phenoxy resin.
(9) (e) The above-mentioned (2) to (e), wherein the inorganic filler is surface-treated with one or more kinds of surface treatment agents selected from vinyl silane coupling agents, epoxy silane coupling agents and aminosilane coupling agents. (8) The resin composition in any one of.
(10) The resin composition according to any one of (2) to (9), further comprising (h) a resin having a siloxane skeleton.
(11) The resin composition according to any one of (2) to (10), wherein the volume average particle diameter of the inorganic filler (0.05) is 0.05 to 3 μm.
(12) A resin film for an interlayer insulating layer having a support, an adhesion auxiliary layer, and a resin composition layer for an interlayer insulating layer in this order,
The resin film for interlayer insulation layers whose resin composition layer for interlayer insulation layers is a layer containing the resin composition in any one of said (2)-(11).
(13) The resin film for an interlayer insulation layer according to (12), wherein the adhesion auxiliary layer contains a resin composition for an adhesion auxiliary layer containing (i) an epoxy resin and (j) a cyanate resin.
(14) The resin film for an interlayer insulating layer according to (13), wherein (j) the cyanate resin is a prepolymer of a dicyanate compound having two cyanate groups in one molecule.
(15) The resin film for an interlayer insulating layer according to the above (13) or (14), wherein the resin composition for an adhesion auxiliary layer contains (k) an inorganic filler having a specific surface area of 20 m 2 / g or more.
(16) The resin film for an interlayer insulating layer according to any one of (13) to (15), wherein the resin composition for an adhesion auxiliary layer contains (m) a polyamide resin containing a polybutadiene skeleton.
(17) The resin film for an interlayer insulating layer according to any one of (13) to (16), wherein the resin composition for an adhesion auxiliary layer contains (n) a phenoxy resin.
(18) The thickness of the adhesion auxiliary layer is 1 to 15 μm, the thickness of the resin composition layer for the interlayer insulating layer is 10 to 100 μm, and the thickness of the support is 10 to 150 μm. (17) The resin film for interlayer insulation layers according to any one of the above.
(19) The cured product of the resin composition according to any one of (2) to (11) or the cured product of the resin film for an interlayer insulating layer according to any one of (12) to (18), Multilayer printed wiring board.

[1]第1の発明によれば、シリカフィラーを高充填化しても凹凸の埋め込み性に優れた多層プリント配線板用の接着フィルムを提供することができる。 [1] According to the first invention, it is possible to provide an adhesive film for a multilayer printed wiring board that is excellent in unevenness embedding even when the silica filler is highly filled.

[2]第2の発明によれば、支持体付きで硬化しても外観の良い層間絶縁層が得られ、得られる層間絶縁層の誘電正接が低く、レーザー加工後のスミア除去性及び耐熱性に優れる樹脂組成物、該樹脂組成物を用いた層間絶縁層用樹脂フィルム及び多層プリント配線板を提供することができる。 [2] According to the second invention, an interlayer insulating layer having a good appearance even when cured with a support is obtained, the dielectric tangent of the obtained interlayer insulating layer is low, smear removability and heat resistance after laser processing It is possible to provide an excellent resin composition, a resin film for an interlayer insulating layer using the resin composition, and a multilayer printed wiring board.

[1]第1の発明
本発明の多層プリント配線板用の接着フィルムは、(A)重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との分散比(Mw/Mn)が、1.1〜1.7であるノボラック型フェノール樹脂(以下、単に「(A)ノボラック型フェノール樹脂」ともいう)と、(B)エポキシ樹脂と、(C)無機充填材と、(D)溶剤と、を含む樹脂組成物(以下、「接着フィルム用樹脂組成物」ともいう)を、支持体フィルム上に層形成してなる樹脂組成物層を有し、(B)エポキシ樹脂が、ビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及びアラルキルノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂であり、(C)無機充填材の平均粒径が0.1μm以上で、その樹脂組成物層中における含有量が、樹脂固形分のうち20〜95質量%であり、樹脂組成物層中における(D)溶剤の含有量が1〜20質量%である、多層プリント配線板用の接着フィルムである。
[1] First Invention The adhesive film for a multilayer printed wiring board of the present invention has a dispersion ratio (Mw / Mn) of (A) weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) of 1.1. -1.7 novolak-type phenol resin (hereinafter also referred to simply as "(A) novolak-type phenol resin"), (B) an epoxy resin, (C) an inorganic filler, and (D) a solvent. A novolak having a resin composition layer formed by forming a resin composition (hereinafter also referred to as “resin composition for an adhesive film”) on a support film, and (B) an epoxy resin having a biphenyl skeleton Type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin and aralkyl novolac type epoxy resin, at least one kind of novolac type epoxy resin, and (C) the average particle size of the inorganic filler is 0. 1 μm or more, the content in the resin composition layer is 20 to 95 mass% in the resin solid content, and the content of the solvent (D) in the resin composition layer is 1 to 20 mass%. It is an adhesive film for multilayer printed wiring boards.

[接着フィルム用樹脂組成物]
接着フィルム用樹脂組成物は、(A)ノボラック型フェノール樹脂と、(B)エポキシ樹脂と、(C)無機充填材と、(D)溶剤とを含むものである。以下、これらの各成分について説明する。
[Resin composition for adhesive film]
The resin composition for adhesive films contains (A) a novolak-type phenol resin, (B) an epoxy resin, (C) an inorganic filler, and (D) a solvent. Hereinafter, each of these components will be described.

<(A)ノボラック型フェノール樹脂>
(A)ノボラック型フェノール樹脂は、エポキシ樹脂の硬化剤として用られるものであり、重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との分散比(Mw/Mn)が、1.1〜1.7の範囲のものである。
<(A) Novolac type phenolic resin>
(A) The novolak-type phenol resin is used as a curing agent for an epoxy resin, and the dispersion ratio (Mw / Mn) between the weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) is 1.1 to 1. .7 range.

このような(A)ノボラック型フェノール樹脂は、例えば、特許第4283773号公報に記載の製造方法により製造することができる。
すなわち、原料としてフェノール化合物及びアルデヒド化合物、酸触媒としてリン酸化合物、反応補助溶媒として非反応性の含酸素有機溶媒を用い、これらから形成される二層分離状態を、例えば、機械的攪拌、超音波等によりかき混ぜ混合して、二層(有機相と水相)が交じり合った白濁状の不均一反応系(相分離反応)として、フェノール化合物とアルデヒド化合物との反応を進め、縮合物(樹脂)を合成することができる。
次に、例えば、非水溶性有機溶剤(例えば、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等)を添加混合して前記の縮合物を溶解し、かき混ぜ混合を止めて静置し、有機相(有機溶剤相)と水相(リン酸水溶液相)とに分離させ、水相を除去して回収を図る一方、有機相については湯水洗及び/又は中和した後、有機溶剤を蒸留回収することによって(A)ノボラック型フェノール樹脂を製造することができる。
上記のノボラック型フェノール樹脂の製造方法は、相分離反応を利用しているため、攪拌効率は極めて重要であり、反応系中の両相を微細化して界面の表面積をできる限り増加させることが反応効率の面から望ましく、これによりフェノール化合物の樹脂への転化が促進される。
Such (A) novolac type phenolic resin can be produced by, for example, the production method described in Japanese Patent No. 4283773.
That is, a phenol compound and an aldehyde compound as raw materials, a phosphoric acid compound as an acid catalyst, a non-reactive oxygen-containing organic solvent as a reaction auxiliary solvent, and the two-layer separation state formed from these are subjected to, for example, mechanical stirring, Stir and mix by sonic waves, etc. to advance the reaction between the phenolic compound and the aldehyde compound as a cloudy heterogeneous reaction system (phase separation reaction) in which two layers (organic phase and aqueous phase) intermingle, and condensate (resin ) Can be synthesized.
Next, for example, a water-insoluble organic solvent (for example, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, etc.) is added and mixed to dissolve the condensate, and the mixing is stopped and allowed to stand, and the organic phase (organic solvent phase) and (A) Novolak by separating into an aqueous phase (phosphoric acid aqueous solution phase) and removing the aqueous phase for recovery, while the organic phase is washed with hot water and / or neutralized and then the organic solvent is recovered by distillation. Type phenolic resin can be produced.
Since the above-described method for producing a novolak-type phenolic resin utilizes a phase separation reaction, the stirring efficiency is extremely important, and it is a reaction to increase the surface area of the interface as much as possible by miniaturizing both phases in the reaction system. Desirable from an efficiency standpoint, this facilitates the conversion of phenolic compounds to resins.

原料として用いられるフェノール化合物としては、例えば、フェノール、オルソクレゾール、メタクレゾール、パラクレゾール、キシレノール、ビスフェノール化合物、オルソ位に炭素数3以上、好ましくは炭素数3〜10の炭化水素基を有するオルソ置換フェノール化合物、パラ位に炭素数3以上、好ましくは炭素数3〜18の炭化水素基を有するパラ置換フェノール化合物等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
ここで、ビスフェノール化合物としては、例えば、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビス(2−メチルフェノール)A、ビス(2−メチルフェノール)F、ビスフェノールS、ビスフェノールE、ビスフェノールZ等が挙げられる。
オルソ置換フェノール化合物としては、例えば、2−プロピルフェノール、2−イソプロピルフェノール、2−sec−ブチルフェノール、2−tert−ブチルフェノール、2−フェニルフェノール、2−シクロヘキシルフェノール、2−ノニルフェノール、2−ナフチルフェノール等が挙げられる。
パラ置換フェノール化合物としては、例えば、4−プロピルフェノール、4−イソプロピルフェノール、4−sec−ブチルフェノール、4−tert−ブチルフェノール、4−フェニルフェノール、4−シクロヘキシルフェノール、4−ノニルフェノール、4−ナフチルフェノール、4−ドデシルフェノール、4−オクタデシルフェノール等が挙げられる。
Examples of the phenol compound used as the raw material include phenol, orthocresol, metacresol, paracresol, xylenol, bisphenol compound, ortho substitution having a hydrocarbon group having 3 or more carbon atoms, preferably 3 to 10 carbon atoms in the ortho position. Examples thereof include a phenol compound and a para-substituted phenol compound having a hydrocarbon group having 3 or more carbon atoms, preferably 3 to 18 carbon atoms, in the para position. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.
Here, examples of the bisphenol compound include bisphenol A, bisphenol F, bis (2-methylphenol) A, bis (2-methylphenol) F, bisphenol S, bisphenol E, and bisphenol Z.
Examples of ortho-substituted phenol compounds include 2-propylphenol, 2-isopropylphenol, 2-sec-butylphenol, 2-tert-butylphenol, 2-phenylphenol, 2-cyclohexylphenol, 2-nonylphenol, 2-naphthylphenol, and the like. Is mentioned.
Examples of the para-substituted phenol compound include 4-propylphenol, 4-isopropylphenol, 4-sec-butylphenol, 4-tert-butylphenol, 4-phenylphenol, 4-cyclohexylphenol, 4-nonylphenol, 4-naphthylphenol, 4-dodecylphenol, 4-octadecylphenol, etc. are mentioned.

原料として用いられるアルデヒド化合物としては、例えば、ホルムアルデヒド、ホルマリン、パラホルムアルデヒド、トリオキサン、アセトアルデヒド、パラアルデヒド、プロピオンアルデヒド等が挙げられる。これらの中でも、反応速度の観点から、パラホルムアルデヒドが好ましい。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。   Examples of the aldehyde compound used as a raw material include formaldehyde, formalin, paraformaldehyde, trioxane, acetaldehyde, paraaldehyde, propionaldehyde, and the like. Among these, paraformaldehyde is preferable from the viewpoint of reaction rate. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

アルデヒド化合物(F)とフェノール化合物(P)との配合モル比(F/P)は、好ましくは0.33以上、より好ましくは0.40〜1.0、さらに好ましくは0.50〜0.90である。配合モル比(F/P)を前記範囲内とすることにより、優れた収率を得ることができる。   The compounding molar ratio (F / P) of the aldehyde compound (F) and the phenol compound (P) is preferably 0.33 or more, more preferably 0.40 to 1.0, still more preferably 0.50 to 0.00. 90. By setting the blending molar ratio (F / P) within the above range, an excellent yield can be obtained.

酸触媒として用いるリン酸化合物は、水の存在下、フェノール化合物との間で相分離反応の場を形成する重要な役割を果たすものである。リン酸化合物としては、例えば、89質量%リン酸、75質量%リン酸等の水溶液タイプを用いることができる。また、必要に応じて、例えば、ポリリン酸、無水リン酸等を用いてもよい。
リン酸化合物の含有量は、相分離効果を制御する観点から、例えば、フェノール化合物100質量部に対して、5質量部以上、好ましくは25質量部以上、より好ましくは50〜100質量部である。なお、70質量部以上のリン酸化合物を使用する場合には、反応系への分割投入により、反応初期の発熱を抑えて安全性を確保することが好ましい。
The phosphoric acid compound used as the acid catalyst plays an important role in forming a phase separation reaction field with the phenol compound in the presence of water. As a phosphoric acid compound, aqueous solution types, such as 89 mass% phosphoric acid and 75 mass% phosphoric acid, can be used, for example. Moreover, you may use polyphosphoric acid, anhydrous phosphoric acid, etc. as needed.
From the viewpoint of controlling the phase separation effect, the content of the phosphate compound is, for example, 5 parts by mass or more, preferably 25 parts by mass or more, more preferably 50 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the phenol compound. . In addition, when using 70 mass parts or more of phosphoric acid compounds, it is preferable to ensure safety by suppressing heat generation at the initial stage of the reaction by splitting into the reaction system.

反応補助溶媒としての非反応性含酸素有機溶媒は、相分離反応の促進に極めて重要な役割を果たすものである。反応補助溶媒としては、アルコール化合物、多価アルコール系エーテル、環状エーテル化合物、多価アルコール系エステル、ケトン化合物、スルホキシド化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物を用いることが好ましい。
アルコール化合物としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール等の一価アルコール、ブタンジオール、ペンタンジオール、ヘキサンジオール、エチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、トリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール等の二価アルコール、グリセリン等の三価アルコールなどが挙げられる。
多価アルコール系エーテルとしては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノペンチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールエチルメチルエーテル、エチレングリコールグリコールエーテル等が挙げられる。
環状エーテル化合物としては、例えば、1,3−ジオキサン、1,4−ジオキサン等が挙げられ、多価アルコール系エステルとしては、例えば、エチレングリコールアセテート等のグリコールエステル化合物などが挙げられる。ケトン化合物としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(以下、「MEK」ともいう)、メチルイソブチルケトン等が挙げられ、スルホキシド化合物としては、例えば、ジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキド等が挙げられる。
これらの中でも、エチレングリコールモノメチルエーテル、ポリエチレングリコール、1,4−ジオキサンが好ましい。
反応補助溶媒は、上記の例示に限定されず、上記の特質を有し、かつ反応時に液状を呈するものであれば、固体であってもよく、それぞれ単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
反応補助溶媒の配合量としては、特に限定されないが、例えば、フェノール化合物100質量部に対して、5質量部以上、好ましくは10〜200質量部である。
The non-reactive oxygen-containing organic solvent as a reaction auxiliary solvent plays a very important role in promoting the phase separation reaction. As the reaction auxiliary solvent, it is preferable to use at least one compound selected from the group consisting of alcohol compounds, polyhydric alcohol ethers, cyclic ether compounds, polyhydric alcohol esters, ketone compounds, and sulfoxide compounds.
Examples of alcohol compounds include monohydric alcohols such as methanol, ethanol, and propanol, butanediol, pentanediol, hexanediol, ethylene glycol, propylene glycol, trimethylene glycol, diethylene glycol, dipropylene glycol, triethylene glycol, and tripropylene glycol. And dihydric alcohols such as polyethylene glycol and trihydric alcohols such as glycerin.
Examples of polyhydric alcohol ethers include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monopentyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol ethyl methyl ether, and ethylene glycol. A glycol ether etc. are mentioned.
Examples of the cyclic ether compound include 1,3-dioxane and 1,4-dioxane, and examples of the polyhydric alcohol ester include glycol ester compounds such as ethylene glycol acetate. Examples of the ketone compound include acetone, methyl ethyl ketone (hereinafter also referred to as “MEK”), and methyl isobutyl ketone. Examples of the sulfoxide compound include dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide.
Among these, ethylene glycol monomethyl ether, polyethylene glycol, and 1,4-dioxane are preferable.
The reaction auxiliary solvent is not limited to the above examples, and may be a solid as long as it has the above-mentioned characteristics and exhibits a liquid state at the time of reaction, each being used alone or in combination of two or more. May be.
Although it does not specifically limit as a compounding quantity of a reaction auxiliary solvent, For example, it is 5 mass parts or more with respect to 100 mass parts of phenolic compounds, Preferably it is 10-200 mass parts.

前記不均一反応工程中に、さらに、界面活性剤を用いることによって、相分離反応を促進し、反応時間を短縮することが可能となり、収率向上にも寄与できる。
界面活性剤としては、例えば、石鹸、アルファオレフィンスルホン酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸及びその塩、アルキル硫酸エステル塩、アルキルエーテル硫酸エステル塩、フェニルエーテルエステル塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸エステル塩、エーテルスルホン酸塩、エーテルカルボン酸塩等のアニオン系界面活性剤;ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンスチレン化フェノールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアミノエーテル、ポリエチレングリコール脂肪族エステル、脂肪族モノグリセライド、ソルビタン脂肪族エステル、ペンタエリストール脂肪族エステル、ポリオキシエチレンポリプロピレングリコール、脂肪族アルキロールアマイド等のノニオン系界面活性剤;モノアルキルアンモニウムクロライド、ジアルキルアンモニウムクロライド、アミン酸塩化合物等のカチオン系界面活性剤などが挙げられる。
界面活性剤の配合量は、特に限定されないが、例えば、フェノール化合物100質量部に対して、0.5質量部以上、好ましくは1〜10質量部である。
By further using a surfactant during the heterogeneous reaction step, the phase separation reaction can be promoted, the reaction time can be shortened, and the yield can be improved.
Examples of the surfactant include soap, alpha olefin sulfonate, alkylbenzene sulfonic acid and its salt, alkyl sulfate ester salt, alkyl ether sulfate ester salt, phenyl ether ester salt, polyoxyethylene alkyl ether sulfate ester salt, ether sulfone. Anionic surfactants such as acid salts and ether carboxylates; polyoxyethylene alkylphenyl ethers, polyoxyalkylene alkyl ethers, polyoxyethylene styrenated phenol ethers, polyoxyethylene alkylamino ethers, polyethylene glycol aliphatic esters, fats Monoglyceride, sorbitan aliphatic ester, pentaerythritol aliphatic ester, polyoxyethylene polypropylene glycol, aliphatic alkylol ama Nonionic surfactants such as de; monoalkyl ammonium chloride, dialkyl ammonium chloride, and cationic surfactants such as amine salt compounds.
Although the compounding quantity of surfactant is not specifically limited, For example, it is 0.5 mass part or more with respect to 100 mass parts of phenolic compounds, Preferably it is 1-10 mass parts.

反応系中の水の量は相分離効果、生産効率に影響を与えるが、一般的には質量基準で、40質量%以下である。水の量を40質量%以下とすることにより、生産効率を良好に保つことができる。   The amount of water in the reaction system affects the phase separation effect and production efficiency, but is generally 40% by mass or less on a mass basis. By making the amount of water 40% by mass or less, the production efficiency can be kept good.

フェノール化合物とアルデヒド化合物との反応温度は、フェノール化合物の種類、反応条件等によって異なり、特に限定されないが、一般的には40℃以上、好ましくは80℃〜還流温度、より好ましくは還流温度である。反応温度が40℃以上であると、十分な反応速度が得られる。反応時間は、反応温度、リン酸の配合量、反応系中の含水量等によって異なるが、一般的には1〜10時間程度である。   The reaction temperature between the phenol compound and the aldehyde compound varies depending on the type of phenol compound, reaction conditions, and the like, and is not particularly limited, but is generally 40 ° C. or higher, preferably 80 ° C. to reflux temperature, more preferably reflux temperature. . When the reaction temperature is 40 ° C. or higher, a sufficient reaction rate can be obtained. The reaction time varies depending on the reaction temperature, the blending amount of phosphoric acid, the water content in the reaction system, etc., but is generally about 1 to 10 hours.

また、反応環境としては、通常は常圧であるが、本発明の特長である不均一反応を維持する観点からは、加圧下又は減圧下で反応を行ってもよい。例えば、0.03〜1.50MPaの加圧下においては、反応速度を上げることができ、さらに、反応補助溶媒としてメタノール等の低沸点溶媒の使用が可能となる。   The reaction environment is usually atmospheric pressure, but from the viewpoint of maintaining the heterogeneous reaction that is a feature of the present invention, the reaction may be performed under pressure or under reduced pressure. For example, under a pressure of 0.03 to 1.50 MPa, the reaction rate can be increased, and a low-boiling solvent such as methanol can be used as a reaction auxiliary solvent.

前記(A)ノボラック型フェノール樹脂の製造方法により、重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との分散比(Mw/Mn)が、1.1〜1.7であるノボラック型フェノール樹脂を製造することができる。
フェノール化合物の種類によって異なるものの、アルデヒド化合物(F)とフェノール化合物(P)の配合モル比(F/P)の範囲によって、例えば、以下のような(A)ノボラック型フェノール樹脂が得られる。
配合モル比(F/P)が0.33以上0.80未満の範囲では、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)の面積法による測定法で、フェノール化合物のモノマー成分の含有量が、例えば、3質量%以下、好ましくは1質量%以下であり、フェノール化合物のダイマー成分の含有量が、例えば、5〜95質量%、好ましくは10〜95質量%であり、さらにGPC測定による重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との分散比(Mw/Mn)が、1.1〜1.7であるノボラック型フェノール樹脂を高収率で製造することができる。
(A) Novolak type phenol resin having a dispersion ratio (Mw / Mn) of weight average molecular weight (Mw) to number average molecular weight (Mn) of 1.1 to 1.7 by the method for producing (A) novolak type phenol resin Can be manufactured.
Although different depending on the type of the phenol compound, for example, the following (A) novolac type phenol resin can be obtained depending on the range of the blending molar ratio (F / P) of the aldehyde compound (F) and the phenol compound (P).
When the blending molar ratio (F / P) is in the range of 0.33 or more and less than 0.80, the content of the monomer component of the phenol compound is, for example, 3 by gel permeation chromatography (GPC) area method. The content of the dimer component of the phenol compound is, for example, 5 to 95% by mass, preferably 10 to 95% by mass, and further the weight average molecular weight (Mw by GPC measurement). ) And the number average molecular weight (Mn), a novolac phenol resin having a dispersion ratio (Mw / Mn) of 1.1 to 1.7 can be produced in a high yield.

(A)ノボラック型フェノール樹脂としては、市販品を使用することができ、例えば、「PAPS−PN2」(旭有機材工業株式会社製、商品名)、「PAPS−PN3」(旭有機材工業株式会社製、商品名)等が挙げられる。   (A) As a novolak-type phenol resin, a commercial item can be used, for example, "PAPS-PN2" (Asahi Organic Materials Co., Ltd. make, brand name), "PAPS-PN3" (Asahi Organic Materials Co., Ltd. stock) Company name, product name) and the like.

接着フィルム用樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲において、(A)ノボラック型フェノール樹脂以外のエポキシ樹脂硬化剤(以下、単に「エポキシ樹脂硬化剤」ともいう)を併用してもよい。
エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、(A)ノボラック型フェノール樹脂以外の各種フェノール樹脂化合物、酸無水物化合物、アミン化合物、ヒドラジット化合物等が挙げられる。フェノール樹脂化合物としては、例えば、(A)ノボラック型フェノール樹脂以外のノボラック型フェノール樹脂、レゾール型フェノール樹脂等が挙げられ、酸無水物化合物としては、例えば、無水フタル酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、メチルハイミック酸等が挙げられる。また、アミン化合物としては、例えば、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、グアニル尿素等が挙げられる。
The resin composition for an adhesive film may be used in combination with (A) an epoxy resin curing agent other than the novolak-type phenol resin (hereinafter also simply referred to as “epoxy resin curing agent”) as long as the effects of the present invention are not impaired. .
As an epoxy resin hardening | curing agent, (A) Various phenol resin compounds other than a novolak-type phenol resin, an acid anhydride compound, an amine compound, a hydragit compound etc. are mentioned, for example. Examples of the phenol resin compound include (A) novolak type phenol resins other than the novolak type phenol resin, resol type phenol resin, and the like, and examples of the acid anhydride compound include phthalic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and the like. Products, methyl hymic acid and the like. Examples of the amine compound include dicyandiamide, diaminodiphenylmethane, and guanylurea.

これらのエポキシ樹脂硬化剤の中でも、信頼性を向上させる観点から、(A)ノボラック型フェノール樹脂以外のノボラック型フェノール樹脂が好ましい。
また、金属箔の引き剥がし強さ及び化学粗化後の無電解めっきの引き剥がし強さが向上する観点からは、トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂及びジシアンジアミドが好ましい。
(A)ノボラック型フェノール樹脂以外のノボラック型フェノール樹脂は、市販品を用いてもよく、例えば、「TD2090」(DIC株式会社製、商品名)等のフェノールノボラック樹脂、「KA−1165」(DIC株式会社製、商品名)等のクレゾールノボラック樹脂などが挙げられる。また、トリアジン環含有ノボラック型フェノール樹脂の市販品としては、例えば、「フェノライトLA−1356」(DIC株式会社製、商品名)、「フェノライトLA7050シリーズ」(DIC株式会社製、商品名)等が挙げられ、トリアジン含有クレゾールノボラック樹脂の市販品としては、例えば、「フェノライトLA−3018」(商品名、DIC株式会社製)等が挙げられる。
Among these epoxy resin curing agents, from the viewpoint of improving reliability, (A) novolac type phenol resins other than novolac type phenol resins are preferable.
Further, from the viewpoint of improving the peel strength of the metal foil and the peel strength of the electroless plating after chemical roughening, a triazine ring-containing novolak type phenol resin and dicyandiamide are preferable.
(A) A novolak-type phenol resin other than the novolak-type phenol resin may be a commercially available product. For example, a phenol novolak resin such as “TD2090” (manufactured by DIC Corporation, trade name), “KA-1165” (DIC) Cresol novolac resins such as those manufactured by Co., Ltd. Moreover, as a commercial item of a triazine ring containing novolak type phenol resin, for example, “Phenolite LA-1356” (manufactured by DIC Corporation, trade name), “Phenolite LA7050 series” (manufactured by DIC Corporation, trade name), etc. Examples of commercially available products of triazine-containing cresol novolak resins include “Phenolite LA-3018” (trade name, manufactured by DIC Corporation).

<(B)エポキシ樹脂>
(B)エポキシ樹脂は、ビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及びアラルキルノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂である。
ビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂とは、分子中にビフェニル誘導体の芳香族環を含有したアラルキルノボラック型のエポキシ樹脂をいい、例えば、下記式(1)で表されるエポキシ樹脂が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
<(B) Epoxy resin>
(B) The epoxy resin is at least one type of novolak epoxy resin selected from the group consisting of a novolak type epoxy resin having a biphenyl skeleton, a cresol novolak type epoxy resin, and an aralkyl novolak type epoxy resin.
The novolak type epoxy resin having a biphenyl skeleton refers to an aralkyl novolak type epoxy resin containing an aromatic ring of a biphenyl derivative in the molecule, and examples thereof include an epoxy resin represented by the following formula (1). You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

(式中、pは、1〜5の整数を示す。)   (In the formula, p represents an integer of 1 to 5.)

(B)エポキシ樹脂としては、市販品を用いてもよい。市販品の(B)エポキシ樹脂としては、例えば、「NC−3000」(式(1)におけるpが1.7であるエポキシ樹脂)、「NC−3000−H」(式(1)におけるpが2.8であるエポキシ樹脂)(いずれも日本化薬株式会社製、商品名)等が挙げられる。
接着フィルム用樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲において、(B)エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂、フェノキシ樹脂等の高分子タイプのエポキシ樹脂などを含んでいてもよい。
(B) A commercially available product may be used as the epoxy resin. Examples of commercially available (B) epoxy resins include “NC-3000” (epoxy resin having p of 1.7 in formula (1)) and “NC-3000-H” (p in formula (1) 2.8 epoxy resin) (all manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) and the like.
The resin composition for an adhesive film may contain (B) an epoxy resin other than the epoxy resin, a polymer type epoxy resin such as a phenoxy resin, and the like as long as the effects of the present invention are not impaired.

<硬化促進剤>
接着フィルム用樹脂組成物は、(A)ノボラック型フェノール樹脂と(B)エポキシ樹脂との反応を速める観点から、硬化促進剤を含んでいてもよい。硬化促進剤としては、例えば、2−フェニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート等のイミダゾール化合物;トリフェニルホスフィン等の有機リン化合物;ホスホニウムボレート等のオニウム塩;1,8−ジアザビシクロウンデセン等のアミン類;3−(3,4−ジクロロフェニル)−1,1−ジメチルウレアなどが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
<Curing accelerator>
The resin composition for adhesive films may contain a curing accelerator from the viewpoint of accelerating the reaction between (A) the novolak type phenol resin and (B) the epoxy resin. Examples of the curing accelerator include imidazole compounds such as 2-phenylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate; organophosphorus compounds such as triphenylphosphine; phosphonium borate Onium salts; amines such as 1,8-diazabicycloundecene; 3- (3,4-dichlorophenyl) -1,1-dimethylurea and the like. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

<(C)無機充填材>
接着フィルム用樹脂組成物は、平均粒径が0.1μm以上の(C)無機充填材を含む。
(C)無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。これらの中でも、接着フィルムを硬化して形成される層間絶縁層の熱膨張係数を下げる観点から、シリカであることが好ましい。
(C)無機充填材の形状は、特に限定されないが、内層回路に形成されたスルーホール及び回路パターンの凹凸を埋め込み易くする観点から、球形であることが好ましい。
<(C) Inorganic filler>
The resin composition for adhesive films includes (C) an inorganic filler having an average particle size of 0.1 μm or more.
(C) Examples of inorganic fillers include silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, and titanium. Examples thereof include barium acid, strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, and calcium zirconate. You may use these individually or in mixture of 2 or more types. Among these, silica is preferable from the viewpoint of lowering the thermal expansion coefficient of the interlayer insulating layer formed by curing the adhesive film.
(C) The shape of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably a spherical shape from the viewpoint of facilitating embedding of the through holes and circuit patterns formed in the inner layer circuit.

(C)無機充填材の平均粒径は0.1μm以上であり、優れた埋め込み性を得る観点から、0.2μm以上であることが好ましく、0.3μm以上であることがより好ましい。
平均粒径が0.1μm未満の無機充填材の含有量は、埋め込み性の観点から、固形分で、3vol%以下であることが好ましく、1vol%以下であることがより好ましく、平均粒径が0.1μm未満の無機充填材を含有しないことがさらに好ましい。なお、(C)無機充填材は、1種を単独で用いてもよく、異なる平均粒径のものを混合して使用してもよい。
(C) The average particle diameter of the inorganic filler is 0.1 μm or more, and from the viewpoint of obtaining excellent embedding properties, it is preferably 0.2 μm or more, and more preferably 0.3 μm or more.
The content of the inorganic filler having an average particle diameter of less than 0.1 μm is preferably 3 vol% or less, more preferably 1 vol% or less in terms of solid content from the viewpoint of embedding properties, and the average particle diameter is More preferably, it does not contain an inorganic filler of less than 0.1 μm. In addition, (C) an inorganic filler may be used individually by 1 type, and the thing of a different average particle diameter may be mixed and used for it.

(C)無機充填材としては、市販品を用いてもよい。市販品の(C)無機充填材としては、例えば、球形のシリカである「SO−C1」(平均粒径:0.25μm)、「SO−C2」(平均粒径:0.5μm)、「SO−C3」(平均粒径:0.9μm)、「SO−C5」(平均粒径:1.6μm)、「SO−C6」(平均粒径:2.2μm)(すべて株式会社アドマテックス製)等が挙げられる。   (C) A commercially available product may be used as the inorganic filler. Examples of commercially available (C) inorganic fillers include “SO-C1” (average particle diameter: 0.25 μm), “SO-C2” (average particle diameter: 0.5 μm), which are spherical silica, “SO-C3” (average particle size: 0.9 μm), “SO-C5” (average particle size: 1.6 μm), “SO-C6” (average particle size: 2.2 μm) (all manufactured by Admatechs Corporation) ) And the like.

(C)無機充填材は表面処理を施したものであってもよい。例えば、(C)無機充填材としてシリカを使用する場合、表面処理として、シランカップリング剤処理を施していてもよい。シランカップリング剤としては、例えば、アミノシランカップリング剤、ビニルシランカップリング剤、エポキシシランカップリング剤等が挙げられる。これらの中でも、アミノシランカップリング剤で表面処理を施したシリカが好ましい。   (C) The inorganic filler may be subjected to a surface treatment. For example, when silica is used as the inorganic filler (C), a silane coupling agent treatment may be applied as the surface treatment. Examples of the silane coupling agent include amino silane coupling agents, vinyl silane coupling agents, and epoxy silane coupling agents. Among these, silica subjected to surface treatment with an aminosilane coupling agent is preferable.

接着フィルム用樹脂組成物中における(C)無機充填材の量は次のように定義する。まず、支持体フィルム上に層形成する樹脂組成物を、200℃で30分間乾燥し、樹脂組成物に含まれる溶剤を除去して、溶剤を除去した後の重さ(固形分)を測定する。この固形分中に含まれる(C)無機充填材の量を、樹脂固形分のうちの(C)無機充填材の量と定義する。
また、(C)無機充填材の測定方法として、予め配合する(C)無機充填材の固形分の量を計算しておくと、固形分中の割合を容易に求めることができる。溶剤に分散した(C)無機充填材(以下、「(C)無機充填材分散液」ともいう)を使用する場合における計算例を以下に示す。
(C)無機充填材分散液中における(C)無機充填材の固形分は、200℃で30分間乾燥して計算した結果、70質量%であった。この(C)無機充填材分散液40gを用いて樹脂組成物を配合した結果、得られた樹脂組成物の総量は100gであった。100gの樹脂組成物を200℃で30分乾燥し、乾燥後の固形分の重量を測定した結果60gであった。固形分中に含まれる(C)無機充填材の量は、40g×70質量%=28gであるため、樹脂固形分のうちの(C)無機充填材の量は、28/60=47質量%(46.6質量%)と求められる。
The amount of the (C) inorganic filler in the resin composition for adhesive films is defined as follows. First, the resin composition that forms a layer on the support film is dried at 200 ° C. for 30 minutes, the solvent contained in the resin composition is removed, and the weight (solid content) after the solvent is removed is measured. . The amount of (C) inorganic filler contained in the solid content is defined as the amount of (C) inorganic filler in the resin solid content.
In addition, as a method for measuring (C) the inorganic filler, if the amount of the solid content of the (C) inorganic filler to be blended is calculated in advance, the proportion in the solid content can be easily obtained. A calculation example in the case of using (C) inorganic filler dispersed in a solvent (hereinafter also referred to as “(C) inorganic filler dispersion”) is shown below.
The solid content of (C) inorganic filler in (C) inorganic filler dispersion was 70% by mass as a result of calculation after drying at 200 ° C. for 30 minutes. As a result of blending the resin composition using 40 g of this (C) inorganic filler dispersion liquid, the total amount of the obtained resin composition was 100 g. A result of drying 100 g of the resin composition at 200 ° C. for 30 minutes and measuring the weight of the solid content after drying was 60 g. Since the amount of the (C) inorganic filler contained in the solid content is 40 g × 70 mass% = 28 g, the amount of the (C) inorganic filler in the resin solid content is 28/60 = 47 mass%. (46.6% by mass).

接着フィルム用樹脂組成物中における(C)無機充填材の量は、熱硬化後の層間絶縁層の熱膨張係数を低くする観点からは、多いほど好ましいが、形成する内層回路基板の配線パターンの凹凸及びスルーホールを埋め込む観点から、適切な無機充填材の量がある。このような観点から、(C)無機充填材の含有量は、樹脂固形分のうち20〜95質量%であり、30〜90質量%であることが好ましく、50〜90質量%であることがより好ましい。(C)無機充填材の含有量が20質量%以上であると、熱膨張係数を低くすることができ、95質量%以下であると、埋め込み性を良好に保つことができる。   The amount of the (C) inorganic filler in the adhesive film resin composition is preferably as large as possible from the viewpoint of lowering the thermal expansion coefficient of the interlayer insulating layer after thermosetting. In view of embedding irregularities and through holes, there is an appropriate amount of inorganic filler. From such a viewpoint, the content of the (C) inorganic filler is 20 to 95% by mass in the resin solid content, preferably 30 to 90% by mass, and preferably 50 to 90% by mass. More preferred. (C) When the content of the inorganic filler is 20% by mass or more, the thermal expansion coefficient can be lowered, and when it is 95% by mass or less, the embedding property can be kept good.

<難燃剤>
接着フィルム用樹脂組成物は、さらに、難燃剤を含んでいてもよい。
難燃剤としては、特に限定されないが、例えば、無機難燃剤、樹脂難燃剤等が挙げられる。
無機難燃剤としては、例えば、(C)無機充填材として例示される水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が挙げられる。
樹脂難燃剤としては、ハロゲン系樹脂であっても、非ハロゲン系樹脂であってもよいが、環境負荷への配慮から、非ハロゲン系樹脂を用いることが好ましい。樹脂難燃剤は、充填材として配合するものであってもよく、熱硬化性樹脂と反応する官能基を有するものであってもよい。
樹脂難燃剤は、市販品を使用することができる。充填材として配合する樹脂難燃剤の市販品としては、例えば、芳香族リン酸エステル系難燃剤である「PX−200」(大八化学工業株式会社製、商品名)、ポリリン酸塩化合物である「Exolit OP 930」(クラリアントジャパン株式会社製、商品名)等が挙げられる。
熱硬化性樹脂と反応する官能基を有する樹脂難燃剤の市販品としては、エポキシ系リン含有難燃剤、フェノール系リン含有難燃剤等が挙げられる。エポキシ系リン含有難燃剤としては、例えば、「FX−305」(新日鐵住金化学株式会社製、商品名)等が挙げられ、フェノール系リン含有難燃剤としては、例えば、「HCA−HQ」(三光株式会社製、商品名)、「XZ92741」(ダウ・ケミカル社製、商品名)等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
<Flame Retardant>
The resin composition for adhesive films may further contain a flame retardant.
Although it does not specifically limit as a flame retardant, For example, an inorganic flame retardant, a resin flame retardant, etc. are mentioned.
Examples of the inorganic flame retardant include aluminum hydroxide and magnesium hydroxide exemplified as (C) inorganic filler.
The resin flame retardant may be a halogen-based resin or a non-halogen-based resin, but it is preferable to use a non-halogen-based resin in consideration of environmental burden. The resin flame retardant may be blended as a filler or may have a functional group that reacts with the thermosetting resin.
A commercially available product can be used as the resin flame retardant. Examples of commercially available resin flame retardants to be blended as fillers include “PX-200” (trade name, manufactured by Daihachi Chemical Industry Co., Ltd.), which is an aromatic phosphate ester flame retardant, and a polyphosphate compound. “Exolit OP 930” (trade name, manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.) and the like.
Examples of commercially available resin flame retardants having functional groups that react with thermosetting resins include epoxy phosphorus-containing flame retardants and phenol phosphorus-containing flame retardants. Examples of the epoxy-based phosphorus-containing flame retardant include “FX-305” (trade name, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.). Examples of the phenol-based phosphorus-containing flame retardant include “HCA-HQ”. (Trade name) manufactured by Sanko Co., Ltd., “XZ92741” (trade name, manufactured by Dow Chemical Company), and the like. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

<(D)溶剤>
本発明の接着フィルムは、(D)溶剤を含有するものである。
溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン化合物;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル化合物;セロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール化合物;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素化合物;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどを挙げることができる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
なお、本明細書中、本発明の接着フィルムに含まれる(D)溶剤を「残留溶剤」と称することがある。
<(D) Solvent>
The adhesive film of the present invention contains (D) a solvent.
Examples of the solvent include ketone compounds such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; acetate compounds such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and carbitol acetate; cellosolve, methyl carbitol, Examples thereof include carbitol compounds such as butyl carbitol; aromatic hydrocarbon compounds such as toluene and xylene; dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, diethylene glycol dimethyl ether, and propylene glycol monomethyl ether. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.
In the present specification, the solvent (D) contained in the adhesive film of the present invention may be referred to as “residual solvent”.

(残留溶剤量)
本発明の接着フィルム中における残留溶剤量は、1〜20質量%であり、2〜15質量%であることがより好ましく、2〜10質量%であることがさらに好ましい。残留溶剤量が1質量%以上であると、接着フィルムの取り扱い性が向上し、例えば、カッターで切断をする際の粉落ちの発生、割れの発生等を抑制することができる。一方、20質量%以下であると、ベトつきを抑制し、フィルムの巻き取り及び巻きだしが容易になる。また、巻きだしを可能にするため、乾燥後に接着フィルムのワニス塗布面に保護フィルムを設けることが多いが、残留溶剤量が20質量%以下であると、保護フィルムと本発明の接着フィルムとの間の剥離が容易になる。
また、残留溶剤は、多層プリント配線板を作製する工程で、乾燥及び熱硬化によって除去されるものであるため、環境負荷の観点から少ないほうが好ましく、乾燥及び熱硬化の前後の膜厚変化を小さくするためにも少ないほうが好ましい。
なお、本発明の接着フィルムの製造にあたっては、目標とする残留溶剤量になるように、乾燥条件を決定することが好ましい。乾燥条件は、前述の樹脂組成物中に含まれる溶剤の種類、溶剤の量等によって異なるため、それぞれの塗工装置によって、予め条件出しを行った後、決定することが好ましい。
(Residual solvent amount)
The residual solvent amount in the adhesive film of the present invention is 1 to 20% by mass, more preferably 2 to 15% by mass, and further preferably 2 to 10% by mass. When the amount of the residual solvent is 1% by mass or more, the handleability of the adhesive film is improved, and for example, occurrence of powder falling or cracking when cutting with a cutter can be suppressed. On the other hand, when it is 20% by mass or less, stickiness is suppressed and the film can be easily wound and unwound. Moreover, in order to enable unwinding, a protective film is often provided on the varnish-coated surface of the adhesive film after drying, but if the residual solvent amount is 20% by mass or less, the protective film and the adhesive film of the present invention Separation between them becomes easy.
Further, since the residual solvent is removed by drying and thermosetting in the process of producing the multilayer printed wiring board, it is preferable that the residual solvent is small from the viewpoint of environmental load, and the change in film thickness before and after drying and thermosetting is reduced. In order to achieve this, it is preferable that the amount is small.
In the production of the adhesive film of the present invention, it is preferable to determine the drying conditions so as to achieve a target residual solvent amount. Since the drying conditions vary depending on the type of solvent, the amount of the solvent, and the like contained in the resin composition, it is preferable to determine the drying conditions after performing the conditions in advance by each coating apparatus.

ここで、本発明における残留溶剤量とは、支持体フィルムの樹脂組成物層中に含まれる、溶剤の割合(質量%)であり、次のように定義できる。
まず、支持体フィルムの重量(W)を測定し、その上に樹脂組成物層を形成した後の重量(W)を測定する。その後、支持体フィルムとその上に形成した樹脂組成物層を200℃の乾燥機の中に10分間放置し、乾燥後の重量(W)を測定する。得られた重量(W)〜(W)を用いて下記式により計算することができる。
溶剤の割合(質量%)=(1−((W)−(W))/((W)−(W)))×100
Here, the residual solvent amount in the present invention is the ratio (mass%) of the solvent contained in the resin composition layer of the support film, and can be defined as follows.
First, the weight (W a ) of the support film is measured, and the weight (W b ) after the resin composition layer is formed thereon is measured. Thereafter, the support film and the resin composition layer formed thereon are left in a dryer at 200 ° C. for 10 minutes, and the weight after drying (W c ) is measured. It can be calculated by the following formula using the obtained weights (W a ) to (W c ).
Ratio of solvent (% by mass) = (1-((W c ) − (W a )) / ((W b ) − (W a ))) × 100

<その他の成分>
本発明の接着フィルムは、本発明の効果を阻害しない範囲で、その他の成分を含んでいてもよい。その他の成分としては、例えば、オルベン、ベントン等の増粘剤;チアゾール系、トリアゾール系等の紫外線吸収剤;シランカップリング剤等の密着付与剤;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオジングリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤;上記以外の任意の樹脂成分などが挙げられる。
<Other ingredients>
The adhesive film of this invention may contain the other component in the range which does not inhibit the effect of this invention. Examples of other components include thickeners such as olben and benton; UV absorbers such as thiazole and triazole; adhesion imparting agents such as silane coupling agents; phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, and disazo yellow. And colorants such as carbon black; and optional resin components other than those described above.

[支持体フィルム]
本発明における支持体フィルムとは、本発明の接着フィルムを製造する際の支持体となるものであり、多層プリント配線板を製造する際に、通常、最終的に剥離又は除去されるものである。
[Support film]
The support film in the present invention is a support for producing the adhesive film of the present invention, and is usually finally peeled off or removed when producing a multilayer printed wiring board. .

支持体フィルムとしては、特に限定されないが、例えば、有機樹脂フィルム、金属箔、離型紙等が挙げられる。
有機樹脂フィルムの材質としては、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィン;ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ともいう)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル;ポリカーボネート、ポリイミドなどが挙げられる。これらの中でも、価格及び取り扱い性の観点から、PETが好ましい。
金属箔としては、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられる。支持体に銅箔を用いる場合には、銅箔をそのまま導体層とし、回路を形成することもできる。この場合、銅箔としては、圧延銅、電解銅箔等を用いることができる。また、銅箔の厚さは、特に限定されないが、例えば、2〜36μmの厚さを有するものを使用することができる。厚さの薄い銅箔を用いる場合には、作業性を向上させる観点から、キャリア付き銅箔を使用してもよい。
これらの支持体フィルム及び後述する保護フィルムには、離型処理、プラズマ処理、コロナ処理等の表面処理が施されていてもよい。離型処理としては、シリコーン樹脂系離型剤、アルキッド樹脂系離型剤、フッ素樹脂系離型剤等による離型処理などが挙げられる。
支持体フィルムの厚さは、特に限定されないが、取扱い性の観点から、10〜120μmであることが好ましく、15〜80μmであることがより好ましく、15〜70μmであることがさらに好ましい。
支持体フィルムは、上述のように単一の成分である必要はなく、複数層(2層以上)の別材料で形成されていてもよい。
Although it does not specifically limit as a support body film, For example, an organic resin film, metal foil, a release paper etc. are mentioned.
Examples of the material for the organic resin film include polyolefin such as polyethylene and polyvinyl chloride; polyester such as polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as “PET”) and polyethylene naphthalate; polycarbonate and polyimide. Among these, PET is preferable from the viewpoints of price and handleability.
Examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil. When copper foil is used for the support, the copper foil can be used as it is as a conductor layer to form a circuit. In this case, rolled copper, electrolytic copper foil, or the like can be used as the copper foil. Moreover, although the thickness of copper foil is not specifically limited, For example, what has a thickness of 2-36 micrometers can be used. When using thin copper foil, you may use copper foil with a carrier from a viewpoint of improving workability | operativity.
These support films and a protective film described later may be subjected to surface treatment such as mold release treatment, plasma treatment, corona treatment and the like. Examples of the release treatment include a release treatment with a silicone resin release agent, an alkyd resin release agent, a fluororesin release agent, and the like.
Although the thickness of a support body film is not specifically limited, From a viewpoint of handleability, it is preferable that it is 10-120 micrometers, It is more preferable that it is 15-80 micrometers, It is further more preferable that it is 15-70 micrometers.
The support film need not be a single component as described above, and may be formed of a plurality of layers (two or more layers) of different materials.

支持体フィルムが2層構造である例を示すと、例えば、1層目の支持体フィルムとして、上記で挙げられた支持体フィルムを用い、2層目として、エポキシ樹脂、エポキシ樹脂の硬化剤、充填材等から形成される層を有するものが挙げられる。2層目に用いられる材料は、本発明の接着フィルムに使用する材料において挙げられた材料も使用できる。
1層目の支持体フィルムの上に形成される層(2層目以降、2層以上の複数層あってもよい)は、機能を付与することを意図して作製される層であり、例えば、メッキ銅との接着性の向上等を目的として用いることができる。
2層目の形成方法としては、特に制限されないが、例えば、各材料を溶媒中に溶解及び分散したワニスを、1層目の支持体フィルム上に塗布及び乾燥させる方法が挙げられる。
For example, when the support film has a two-layer structure, for example, as the first support film, the support film mentioned above is used, and as the second layer, an epoxy resin, an epoxy resin curing agent, The thing which has the layer formed from a filler etc. is mentioned. As the material used for the second layer, the materials listed in the materials used for the adhesive film of the present invention can also be used.
A layer formed on the first support film (may be a second layer or a plurality of layers of two or more layers) is a layer prepared with the intention of imparting a function, for example, It can be used for the purpose of improving adhesiveness with plated copper.
Although it does not restrict | limit especially as a formation method of a 2nd layer, For example, the method of apply | coating and drying the varnish which melt | dissolved and disperse | distributed each material in the solvent on the 1st layer support film is mentioned.

支持体フィルムが複数層から形成される場合、1層目の支持体フィルムの厚さは、10〜100μmであることが好ましく、10〜60μmであることがより好ましく、13〜50μmであることがさらに好ましい。
1層目の支持体フィルムの上に形成される層(2層目以降、2層以上の複数層あってもよい)の厚さは、1〜20μmであることが好ましい。1μm以上であると、意図する機能を果たすことができ、また、20μm以下であると、支持体フィルムとしての経済性に優れる。
When the support film is formed of a plurality of layers, the thickness of the first support film is preferably 10 to 100 μm, more preferably 10 to 60 μm, and 13 to 50 μm. Further preferred.
The thickness of the layer formed on the first support film (the second and subsequent layers may be two or more layers) is preferably 1 to 20 μm. When it is 1 μm or more, the intended function can be achieved, and when it is 20 μm or less, the economical efficiency as a support film is excellent.

支持体フィルムが複数層で形成されている場合、支持体フィルムを剥離する際には、本発明の接着フィルムと共に多層プリント配線板側に形成して残す層(2層以上でもよい)と、剥離又は除去される層(2層以上でもよい)とに分離されてもよい。   When the support film is formed of a plurality of layers, when the support film is peeled off, the layer (which may be two or more layers) to be left on the multilayer printed wiring board side together with the adhesive film of the present invention is peeled off. Or you may isolate | separate into the layer (two or more layers may be removed) removed.

[保護フィルム]
本発明の接着フィルムは、保護フィルムを有していてもよい。保護フィルムは、接着フィルムの支持体が設けられている面とは反対側の面に設けられるものであり、接着フィルムへの異物等の付着及びキズ付きを防止する目的で使用される。保護フィルムは、本発明の接着フィルムをラミネート、熱プレス等で回路基板等に積層する前に剥離される。
保護フィルムとしては、特に限定されないが、支持体フィルムと同様の材料を用いることができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されないが、例えば、1〜40μmの厚さを有するものを使用することができる。
[Protective film]
The adhesive film of the present invention may have a protective film. The protective film is provided on the surface opposite to the surface on which the support for the adhesive film is provided, and is used for the purpose of preventing adhesion of foreign substances and the like to the adhesive film and scratches. The protective film is peeled off before the adhesive film of the present invention is laminated on a circuit board or the like by laminating or hot pressing.
Although it does not specifically limit as a protective film, The material similar to a support body film can be used. Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, what has a thickness of 1-40 micrometers can be used.

[接着フィルムの製造方法]
本発明の接着フィルムは、支持体フィルム上に接着フィルム用樹脂組成物を塗布及び乾燥することにより製造することができる。得られた接着フィルムは、ロール状に巻き取って、保存及び貯蔵することができる。より具体的には、例えば、前記有機溶剤に前記各樹脂成分を溶解した後、(C)無機充填材等を混合して接着フィルム用樹脂組成物を調製し、該ワニスを支持体フィルム上に塗布し、加熱、熱風吹きつけ等によって、有機溶剤を乾燥させて、支持体フィルム上に樹脂組成物層を形成することにより製造することができる。
なお、本発明の接着フィルムにおいて、支持体フィルム上に形成した樹脂組成物層は、乾燥させて得られる未硬化の状態であってもよく、半硬化(Bステージ化)した状態であってもよい。
[Production method of adhesive film]
The adhesive film of this invention can be manufactured by apply | coating and drying the resin composition for adhesive films on a support body film. The obtained adhesive film can be rolled up and stored and stored. More specifically, for example, after dissolving each resin component in the organic solvent, (C) an inorganic filler or the like is mixed to prepare a resin composition for an adhesive film, and the varnish is placed on a support film. It can be produced by coating, drying the organic solvent by heating, blowing hot air, or the like to form a resin composition layer on the support film.
In the adhesive film of the present invention, the resin composition layer formed on the support film may be in an uncured state obtained by drying or in a semi-cured (B-stage) state. Good.

支持体フィルムにワニスを塗工する方法としては、特に限定されないが、例えば、コンマコーター、バーコーター、キスコーター、ロールコーター、グラビアコーター、ダイコーター等の公知の塗工装置を用いて塗工する方法を適用することができる。塗工装置は、目標とする膜厚に応じて、適宜選択すればよい。   The method for coating the varnish on the support film is not particularly limited. For example, the coating method may be performed using a known coating apparatus such as a comma coater, a bar coater, a kiss coater, a roll coater, a gravure coater, or a die coater. Can be applied. What is necessary is just to select a coating apparatus suitably according to the target film thickness.

[2]第2の発明
次に、第2の発明に係る樹脂組成物、層間絶縁層用樹脂フィルム及び多層プリント配線板について説明する。
以下、第2の発明の説明において、単に「樹脂組成物」と称する場合、第2の発明に係る樹脂組成物を指すものとする。
[2] Second Invention Next, the resin composition, the resin film for an interlayer insulating layer, and the multilayer printed wiring board according to the second invention will be described.
Hereinafter, in the description of the second invention, when simply referred to as “resin composition”, it refers to the resin composition according to the second invention.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(a)エポキシ樹脂(以下、「(a)成分」ともいう)、(b)シアネート樹脂(以下、「(b)成分」ともいう)、(c)活性エステル硬化剤(以下、「(c)成分」ともいう)、(d)リン系硬化促進剤(以下、「(d)成分」ともいう)及び(e)無機充填材(以下、「(e)成分」ともいう)を含有する樹脂組成物である。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention comprises (a) an epoxy resin (hereinafter also referred to as “component (a)”), (b) a cyanate resin (hereinafter also referred to as “component (b)”), and (c) active ester curing. Agent (hereinafter also referred to as “component (c)”), (d) a phosphorus-based curing accelerator (hereinafter also referred to as “component (d)”), and (e) an inorganic filler (hereinafter referred to as “component (e)”). It is also a resin composition containing.

<(a)エポキシ樹脂>
(a)エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、例えば、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂が好ましく挙げられる。
(a)エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールSノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、アントラセンノボラック型エポキシ樹脂、アラルキル型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、tert−ブチル−カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂を含む)、フルオレン型エポキシ樹脂、キサンテン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
これらの中でも、得られる層間絶縁層のリフロー耐熱性が優れる観点から、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格を含有するノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。これらは、得られる層間絶縁層用樹脂フィルムの取り扱い性の観点から、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂等の液状エポキシ樹脂と混合して用いてもよい。
<(A) Epoxy resin>
(A) Although it does not specifically limit as an epoxy resin, For example, the epoxy resin which has a 2 or more epoxy group in 1 molecule is mentioned preferably.
(A) As an epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, Bisphenol A novolac type epoxy resin, bisphenol S novolac type epoxy resin, dicyclopentadiene novolac type epoxy resin, anthracene novolac type epoxy resin, aralkyl type epoxy resin, aralkyl novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type Epoxy resins (including naphthol novolac type epoxy resins), fluorene type epoxy resins, xanthene type epoxy resins, anthraces Type epoxy resins. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.
Among these, a cresol novolac type epoxy resin and a novolak type epoxy resin containing a naphthalene skeleton are preferable from the viewpoint of excellent reflow heat resistance of the obtained interlayer insulating layer. These may be used by mixing with a liquid epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin or bisphenol F type epoxy resin from the viewpoint of the handleability of the resulting resin film for an interlayer insulating layer.

また、優れたスミア加工性を得る観点からは、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂が好ましい。さらに、耐熱性とスミア除去性とを両立する観点からは、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂とビフェニル骨格を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂とを併用することが好ましい。   Moreover, from the viewpoint of obtaining excellent smear processability, a cresol novolac type epoxy resin and a phenol novolac type epoxy resin are preferable. Furthermore, from the viewpoint of achieving both heat resistance and smear removability, it is preferable to use an aralkyl novolac epoxy resin and an aralkyl novolac epoxy resin having a biphenyl skeleton in combination.

(a)エポキシ樹脂としては、市販品を用いてもよい。市販品の(a)エポキシ樹脂としては、「NC−3000−H」、「NC−3000−L」、「NC−3100」、「NC−3000」(以上、日本化薬株式会社製、商品名、ビフェニル骨格を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂)、「NC−7000−L」(日本化薬株式会社製、商品名、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂)、「エピクロン(登録商標)N673」(DIC株式会社製、商品名、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂)、「エピクロン(登録商標)840S」(DIC株式会社製、商品名、液状ビスフェノールA型エポキ樹脂)等が挙げられる。   (A) A commercially available product may be used as the epoxy resin. Commercially available (a) epoxy resins include “NC-3000-H”, “NC-3000-L”, “NC-3100”, “NC-3000” (Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name) , Aralkyl novolak type epoxy resin having a biphenyl skeleton), “NC-7000-L” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, naphthol novolak type epoxy resin), “Epicron (registered trademark) N673” (made by DIC Corporation) , Trade name, cresol novolac type epoxy resin), “Epiclon (registered trademark) 840S” (manufactured by DIC Corporation, trade name, liquid bisphenol A type epoxy resin) and the like.

(a)エポキシ樹脂のエポキシ当量は、表面粗さが小さく、めっき法によって形成した導体層との接着強度に優れる層間絶縁層を得る観点から、150〜500g/eqであることが好ましく、150〜400g/eqであることがより好ましく、200〜300g/eqであることがさらに好ましい。
ここで、エポキシ当量は、エポキシ基あたりの樹脂の質量(g/eq)であり、JIS K 7236に規定された方法に従って測定することができる。具体的には、株式会社三菱化学アナリテック製の自動滴定装置「GT−200型」を用いて、200mlビーカーにエポキシ樹脂2gを秤量し、メチルエチルケトン90mlを滴下し、超音波洗浄器溶解後、氷酢酸10ml及び臭化セチルトリメチルアンモニウム1.5gを添加し、0.1mol/Lの過塩素酸/酢酸溶液で滴定することにより求められる。
(A) The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 150 to 500 g / eq from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a small surface roughness and excellent adhesion strength with a conductor layer formed by plating. More preferably, it is 400 g / eq, and it is further more preferable that it is 200-300 g / eq.
Here, the epoxy equivalent is the mass of the resin per epoxy group (g / eq), and can be measured according to the method defined in JIS K 7236. Specifically, using an automatic titration device “GT-200 type” manufactured by Mitsubishi Chemical Analytech Co., Ltd., 2 g of epoxy resin was weighed into a 200 ml beaker, 90 ml of methyl ethyl ketone was dropped, dissolved in an ultrasonic cleaner, iced It is obtained by adding 10 ml of acetic acid and 1.5 g of cetyltrimethylammonium bromide and titrating with a 0.1 mol / L perchloric acid / acetic acid solution.

本発明の樹脂組成物中における(a)エポキシ樹脂の含有量は、スミア除去性、誘電正接及び耐熱性の観点から、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、5〜60質量部であることが好ましく、5〜25質量部であることがより好ましく、7〜20質量部であることがさらに好ましく、8〜18質量部であることが特に好ましい。
ここで、本明細書において、「固形分換算」とは、有機溶剤等の揮発性成分を除いた不揮発分のみを基準とすることを意味する。つまり、固形分換算100質量部とは、不揮発分100質量部相当を意味する。
The content of the epoxy resin (a) in the resin composition of the present invention is 5 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition from the viewpoint of smear removability, dielectric loss tangent and heat resistance. It is preferable that it is 5-25 mass parts, It is more preferable that it is 7-20 mass parts, It is especially preferable that it is 8-18 mass parts.
Here, in this specification, “in terms of solid content” means that only non-volatile content excluding volatile components such as organic solvents is used as a reference. That is, 100 mass parts in terms of solid content means equivalent to 100 mass parts of nonvolatile content.

<(b)シアネート樹脂>
(b)シアネート樹脂としては、特に限定されないが、1分子中に2個以上のシアナト基を有するシアネート樹脂が好ましく挙げられる。
(b)シアネート樹脂としては、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、ビス(4−シアナトフェニル)エタン、ビス(3,5−ジメチル−4−シアナトフェニル)メタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン等のビスフェノール型シアネート樹脂;フェノール付加ジシクロペンタジエン重合体のシアネートエステル化合物等のジシクロペンタジエン型シアネート樹脂;フェノールノボラック型シアネートエステル化合物、クレゾールノボラック型シアネートエステル化合物等のノボラック型シアネート樹脂;α,α’−ビス(4−シアナトフェニル)−m−ジイソプロピルベンゼン;これらのシアネート樹脂のプレポリマー(以下、「シアネートプレポリマー」ともいう)などが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
これらの中でも、入手し易く、得られる層間絶縁層の誘電特性及び耐熱性に優れる観点から、下記一般式(III)で表されるシアネート樹脂、下記一般式(IV)で表されるシアネート樹脂及びこれらのプレポリマーが好ましい。
<(B) Cyanate resin>
(B) Although it does not specifically limit as cyanate resin, The cyanate resin which has a 2 or more cyanato group in 1 molecule is mentioned preferably.
(B) Examples of cyanate resin include 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, bis (4-cyanatophenyl) ethane, bis (3,5-dimethyl-4-cyanatophenyl) methane, Bisphenol type cyanate resin such as 2-bis (4-cyanatophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane; dicyclopentadiene type such as cyanate ester compound of phenol-added dicyclopentadiene polymer Cyanate resins; novolak-type cyanate resins such as phenol novolac-type cyanate ester compounds and cresol novolak-type cyanate ester compounds; α, α′-bis (4-cyanatophenyl) -m-diisopropylbenzene; prepolymers of these cyanate resins ( Hereinafter also referred to as “cyanate prepolymer”) Etc., and the like. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.
Among these, the cyanate resin represented by the following general formula (III), the cyanate resin represented by the following general formula (IV), and the viewpoint of being easily available and having excellent dielectric properties and heat resistance of the obtained interlayer insulating layer; These prepolymers are preferred.

一般式(III)中、Rは、ハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルキレン基、硫黄原子、下記一般式(III−1)又は下記一般式(III−2)で表される2価の基を示す。R及びRは水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示す。複数のR同士又はR同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。 In the general formula (III), R 7 is an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a halogen atom, a sulfur atom, the following general formula (III-1) or the following general formula (III-2). The divalent group represented is shown. R 8 and R 9 represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms. A plurality of R 8 or R 9 may be the same or different.

一般式(III−1)中、R10は炭素数1〜3のアルキレン基を示す。複数のR10同士は、同一であっても異なっていてもよい。 In General Formula (III-1), R 10 represents an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms. The plurality of R 10 may be the same or different.

一般式(IV)中、R11は、水素原子又はハロゲン原子で置換されていてもよい炭素数1〜3のアルキル基を示す。nは1以上の整数を示す。複数のR11同士は、同一であっても異なっていてもよい。
nは、取り扱い性の観点から、1〜15であることが好ましく、1〜10であることがより好ましく、1〜5であることがさらに好ましい。
In the general formula (IV), R 11 represents an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms which may be substituted with a hydrogen atom or a halogen atom. n represents an integer of 1 or more. The plurality of R 11 may be the same or different.
From the viewpoint of handleability, n is preferably 1-15, more preferably 1-10, and even more preferably 1-5.

前記一般式(III)中、Rで表される炭素数1〜3のアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、1,2−プロピレン基、1,3−プロピレン基、2,2−プロピレン基(−C(CH−)等が挙げられる。これらの中でも、表面粗さが小さく、めっき法によって形成した導体層との接着強度に優れる層間絶縁層を得る観点から、メチレン基又は2,2−プロピレン基(−C(CH−)が好ましく、2,2−プロピレン基(−C(CH−)がより好ましい。
前記炭素数1〜3のアルキレン基を置換するハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。
前記一般式(III−1)中、R10で表される炭素数1〜3のアルキレン基としては、メチレン基、エチレン基、1,2−プロピレン基、1,3−プロピレン基、2,2−プロピレン基(−C(CH−)等が挙げられる。
これらのRで表される基の中でも、表面粗さが小さく、めっき法によって形成した導体層との接着強度に優れる層間絶縁層を得る観点から、メチレン基又は2,2−プロピレン基(−C(CH−)が好ましく、2,2−プロピレン基(−C(CH−)がより好ましい。
前記一般式(III)中、R又はRで表される炭素数1〜4のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等が挙げられる。
In the general formula (III), the alkylene group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 7, a methylene group, an ethylene group, 1,2-propylene group, 1,3-propylene, 2,2-propylene Group (—C (CH 3 ) 2 —) and the like. Among these, a methylene group or a 2,2-propylene group (—C (CH 3 ) 2 —) is used from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a small surface roughness and excellent adhesion strength with a conductor layer formed by plating. Are preferred, and 2,2-propylene group (—C (CH 3 ) 2 —) is more preferred.
Examples of the halogen atom that substitutes for the alkylene group having 1 to 3 carbon atoms include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.
In the general formula (III-1), the alkylene group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 10 includes a methylene group, an ethylene group, a 1,2-propylene group, a 1,3-propylene group, 2,2 - propylene (-C (CH 3) 2 - ) and the like.
Among these groups represented by R 7 , from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a small surface roughness and excellent adhesion strength with a conductor layer formed by plating, a methylene group or a 2,2-propylene group (- C (CH 3 ) 2 —) is preferable, and a 2,2-propylene group (—C (CH 3 ) 2 —) is more preferable.
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 8 or R 9 in the general formula (III) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group.

前記一般式(IV)中、R11で表される炭素数1〜3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基等が挙げられる。
前記炭素数1〜3のアルキル基を置換するハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等が挙げられる。
In the general formula (IV), examples of the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 11 include a methyl group, an ethyl group, and a propyl group.
Examples of the halogen atom that substitutes the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom.

前記シアネートプレポリマーとは、(b)シアネート樹脂同士が環化反応によりトリアジン環を形成したポリマーをいい、主にシアネートエステル化合物の3、5、7、9、11量体等が挙げられる。このシアネートプレポリマーにおいて、シアナト基の転化率は、特に限定されないが、有機溶媒に対する良好な溶解性を得る観点から、30〜90質量%であることが好ましく、35〜85質量%であることがより好ましく、40〜80質量%であることがさらに好ましい。
シアネートプレポリマーとしては、前記一般式(III)で表されるシアネート樹脂のプレポリマー、前記一般式(IV)で表されるシアネート樹脂のプレポリマー等が挙げられる。これらの中でも、表面粗さが小さく、めっき法によって形成した導体層との接着強度に優れる層間絶縁層を得る観点から、1分子中に2個のシアナト基を有するジシアネート化合物のプレポリマーであることが好ましく、前記一般式(III)で表されるシアネート樹脂のプレポリマーであることがより好ましく、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパンの少なくとも一部がトリアジン化されて3量体となったプレポリマー(下記式(V)参照)であることがさらに好ましい。
The cyanate prepolymer refers to (b) a polymer in which cyanate resins form a triazine ring by a cyclization reaction, and examples thereof include 3, 5, 7, 9, 11 mer of cyanate ester compounds. In this cyanate prepolymer, the conversion rate of the cyanate group is not particularly limited, but is preferably 30 to 90% by mass and preferably 35 to 85% by mass from the viewpoint of obtaining good solubility in an organic solvent. More preferably, it is more preferable that it is 40-80 mass%.
Examples of the cyanate prepolymer include a prepolymer of a cyanate resin represented by the general formula (III), a prepolymer of a cyanate resin represented by the general formula (IV), and the like. Among these, it is a prepolymer of a dicyanate compound having two cyanate groups in one molecule from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a small surface roughness and excellent adhesion strength with a conductor layer formed by plating. It is more preferable that it is a prepolymer of a cyanate resin represented by the general formula (III), and at least a part of 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane is triazine and trimerized. It is more preferable that it is a prepolymer (see the following formula (V)).

シアネートプレポリマーの重量平均分子量(Mw)は、特に限定されないが、有機溶媒に対する溶解性及び作業性の観点から、500〜100000であることが好ましく、600〜50000であることがより好ましく、2000〜40000であることがさらに好ましく、3000〜30000であることが特に好ましい。シアネートプレポリマーの重量平均分子量(Mw)が500以上であれば、シアネートプレポリマーの結晶化が抑制され、有機溶媒に対する溶解性が良好になる傾向にあり、また、100000以下であれば、粘度の増大が抑制され、作業性に優れる傾向にある。
なお、重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)(東ソー株式会社製)により、標準ポリスチレンの検量線を用いて測定したものであり、詳細には、実施例に記載の方法に従って測定したものである。
The weight average molecular weight (Mw) of the cyanate prepolymer is not particularly limited, but is preferably 500 to 100,000, more preferably 600 to 50,000 from the viewpoints of solubility in an organic solvent and workability, and 2000 to It is more preferable that it is 40000, and it is especially preferable that it is 3000-30000. If the weight average molecular weight (Mw) of the cyanate prepolymer is 500 or more, the crystallization of the cyanate prepolymer tends to be suppressed and the solubility in an organic solvent tends to be good. The increase is suppressed and the workability tends to be excellent.
The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC) (manufactured by Tosoh Corporation) using a standard polystyrene calibration curve. For details, the method described in Examples According to the measurement.

シアネートプレポリマーは、単官能フェノール化合物の存在下で前記シアネート樹脂をプレポリマー化したものであってもよい。シアネートプレポリマーを製造する際に、単官能フェノール化合物を配合することにより、得られる硬化物中の未反応のシアナト基を減少させることができるため、耐湿性及び電気特性が優れる傾向にある。
単官能フェノール化合物としては、p−ノニルフェノール、p−tert−ブチルフェノール、p−tert−アミルフェノール、p−tert−オクチルフェノール等のアルキル基置換フェノール系化合物;p−(α−クミル)フェノール、モノ−、ジ−又はトリ−(α−メチルベンジル)フェノール等の下記一般式(VI)で表されるフェノール系化合物などが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
The cyanate prepolymer may be obtained by prepolymerizing the cyanate resin in the presence of a monofunctional phenol compound. When a cyanate prepolymer is produced, unreacted cyanato groups in the resulting cured product can be reduced by blending a monofunctional phenol compound, and thus moisture resistance and electrical characteristics tend to be excellent.
Examples of monofunctional phenolic compounds include alkyl group-substituted phenolic compounds such as p-nonylphenol, p-tert-butylphenol, p-tert-amylphenol, and p-tert-octylphenol; p- (α-cumyl) phenol, mono-, Examples thereof include phenolic compounds represented by the following general formula (VI) such as di- or tri- (α-methylbenzyl) phenol. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

一般式(VI)中、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子又はメチル基を示し、mは1〜3の整数を示す。mが2又は3の整数の場合、複数のR同士又はR同士は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。 In general formula (VI), R a and R b each independently represent a hydrogen atom or a methyl group, and m represents an integer of 1 to 3. When m is an integer of 2 or 3, a plurality of R a or R b may be the same or different from each other.

単官能フェノール化合物の配合量は、得られる層間絶縁層の誘電特性及び耐湿性の観点から、単官能フェノール化合物が有するフェノール性水酸基と、(b)シアネート樹脂に含まれるシアナト基との当量比(水酸基/シアナト基)が、0.01〜0.30になる量とすることが好ましく、0.01〜0.20になる量とすることがより好ましく、0.01〜0.15になる量とすることがさらに好ましい。単官能フェノール化合物の配合量が上記範囲内であると、特に高周波数帯域での誘電正接が十分低いものが得られる傾向にあることに加えて、良好な耐湿性が得られる傾向にある。   The compounding amount of the monofunctional phenol compound is the equivalent ratio between the phenolic hydroxyl group of the monofunctional phenol compound and the cyanate group contained in the (b) cyanate resin from the viewpoint of the dielectric properties and moisture resistance of the resulting interlayer insulating layer. (Hydroxyl group / cyanato group) is preferably in an amount of 0.01 to 0.30, more preferably in an amount of 0.01 to 0.20, and an amount of 0.01 to 0.15. More preferably. When the blending amount of the monofunctional phenol compound is within the above range, in addition to a tendency that a dielectric loss tangent is sufficiently low particularly in a high frequency band, good moisture resistance tends to be obtained.

シアネートプレポリマーの製造方法としては、特に制限はなく、公知の製造方法を適用することができる。
シアネートプレポリマーは、例えば、前記ジシアネート化合物と前記単官能フェノール化合物とを反応することにより、好適に製造することができる。ジシアネート化合物と単官能フェノール化合物との反応により、−O−C(=NH)−O−で表される基を有する化合物(つまりイミノカーボネート)が形成され、さらに該イミノカーボネート同士が反応するか、又は該イミノカーボネートとジシアネート化合物とが反応することにより、単官能フェノール化合物が脱離する一方で、トリアジン環を有するシアネートプレポリマーが得られる。前記反応は、例えば、前記ジシアネート化合物と前記単官能フェノール化合物とを、トルエン等の溶媒の存在下で混合して溶解し、80〜120℃に保持しながら、必要に応じてナフテン酸亜鉛等の反応促進剤を添加して行うことができる。
There is no restriction | limiting in particular as a manufacturing method of cyanate prepolymer, A well-known manufacturing method is applicable.
A cyanate prepolymer can be suitably produced by, for example, reacting the dicyanate compound and the monofunctional phenol compound. By the reaction of the dicyanate compound and the monofunctional phenol compound, a compound having a group represented by —O—C (═NH) —O— (that is, imino carbonate) is formed, and the imino carbonate further reacts with each other. Alternatively, by reacting the imino carbonate and the dicyanate compound, a monofunctional phenol compound is eliminated while a cyanate prepolymer having a triazine ring is obtained. In the reaction, for example, the dicyanate compound and the monofunctional phenol compound are mixed and dissolved in the presence of a solvent such as toluene, and maintained at 80 to 120 ° C., and if necessary, such as zinc naphthenate. It can be carried out by adding a reaction accelerator.

(b)シアネート樹脂としては、市販品を用いてもよい。市販品の(b)シアネート樹脂としては、ビスフェノール型のシアネート樹脂、ノボラック型のシアネート樹脂、これらのシアネート樹脂の一部又は全部がトリアジン化され3量体となったプレポリマー等が挙げられる。
ビスフェノールA型(2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン型)のシアネート樹脂の市販品としては、「プリマセット(Primaset)BADCy」(ロンザ社製、商品名)、「アロシー(Arocy)B−10」(ハンツマン社製、商品名)等を用いてもよい。また、ビスフェノールE型(1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エタン型)のシアネート樹脂の市販品としては、「アロシー(Arocy)L10」(ハンツマン社製、商品名)、「プリマセット(Primaset)LECy」(ロンザ社製、商品名)等を用いてもよく、2,2’−ビス(4−シアネート−3,5−メチルフェニル)エタン型のシアネート樹脂の市販品としては、「プリマセット(Primaset)METHYLCy」(ロンザ社製)等を用いてもよい。
ノボラック型のシアネート樹脂の市販品としては、フェノールノボラック型のシアネート樹脂である「プリマセット(Primaset)PT30」(ロンザ社製、商品名)等を用いてもよい。
シアネート樹脂のプレポリマーの市販品としては、ビスフェノールA型のシアネート樹脂をプレポリマー化した「プリマセット(Primaset)BA200」(ロンザ社製、商品名)、「プリマセット(Primaset)BA230S」(ロンザ社製、商品名)等を用いてもよく、「プリマセット(Primaset)BA3000」等を用いてもよい。
他に、「アロシー(Arocy)XU−371」(ハンツマン社製、商品名)、ジシクロペンタジエン構造を含有したシアネート樹脂である「アロシー(Arocy)XP71787.02L」(ハンツマン社製、商品名)、「プリマセット(Primaset)DT−4000」(ロンザ社製、商品名)、「プリマセット(Primaset)DT―7000」(ロンザ社製、商品名)等を用いてもよい。
(B) As cyanate resin, you may use a commercial item. Examples of commercially available (b) cyanate resins include bisphenol-type cyanate resins, novolac-type cyanate resins, and prepolymers in which some or all of these cyanate resins are triazines to form trimers.
Commercial products of bisphenol A type (2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane type) cyanate resin include “Primaset BADCy” (trade name, manufactured by Lonza), “Arocy B”. -10 "(trade name, manufactured by Huntsman) may be used. Commercially available products of bisphenol E type (1,1-bis (4-hydroxyphenyl) ethane type) cyanate resin include “Arocy L10” (trade name, manufactured by Huntsman), “Primaset”. ) LECy "(product name, manufactured by Lonza) or the like, and 2,2'-bis (4-cyanate-3,5-methylphenyl) ethane type cyanate resin commercially available (Primase) METHYLCy "(manufactured by Lonza) or the like may be used.
As a commercial product of the novolak-type cyanate resin, “Primaset PT30” (trade name, manufactured by Lonza), which is a phenol novolac-type cyanate resin, may be used.
Commercial products of cyanate resin prepolymers include “Primaset BA200” (trade name, made by Lonza) and “Primaset BA230S” (Lonza), which are prepolymers of bisphenol A type cyanate resin. Manufactured, trade name), etc., or “Primase BA3000” may be used.
In addition, “Arocy XU-371” (trade name, manufactured by Huntsman), “Arocy XP71787.02L” (trade name, manufactured by Huntsman), which is a cyanate resin containing a dicyclopentadiene structure, “Primaset DT-4000” (trade name, manufactured by Lonza), “Primaset DT-7000” (trade name, manufactured by Lonza) or the like may be used.

本発明の樹脂組成物中における(b)シアネート樹脂の含有量は、得られる層間絶縁層の誘電正接及び耐熱性の観点から、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、2〜50質量部であることが好ましく、5〜40質量部であることがより好ましく、10〜30質量部であることがさらに好ましい。   The content of the (b) cyanate resin in the resin composition of the present invention is 2 to 50 with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition from the viewpoint of the dielectric loss tangent and heat resistance of the obtained interlayer insulating layer. It is preferable that it is a mass part, It is more preferable that it is 5-40 mass parts, It is further more preferable that it is 10-30 mass parts.

本発明の樹脂組成物中における、(a)エポキシ樹脂と(b)シアネート樹脂との質量比[(a)/(b)]は、得られる層間絶縁層の誘電正接及び耐熱性の観点から、0.1〜5であることが好ましく、0.3〜2であることがより好ましく、0.4〜1であることがさらに好ましい。   In the resin composition of the present invention, the mass ratio [(a) / (b)] of (a) the epoxy resin and (b) the cyanate resin is from the viewpoint of the dielectric loss tangent and heat resistance of the resulting interlayer insulating layer. It is preferably 0.1 to 5, more preferably 0.3 to 2, and still more preferably 0.4 to 1.

<(c)活性エステル硬化剤>
(c)活性エステル硬化剤は、エポキシ樹脂の硬化剤として機能し、活性エステルを有するものであれば特に制限はない。
<(C) Active ester curing agent>
(C) There is no restriction | limiting in particular if an active ester hardening | curing agent functions as a hardening | curing agent of an epoxy resin, and has an active ester.

(c)活性エステル硬化剤としては、フェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N−ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ類のエステル化合物等の反応性の高いエステル基を有し、エポキシ樹脂の硬化作用を有する化合物等を用いることができる。   (C) As an active ester curing agent, it has a highly reactive ester group such as phenol ester, thiophenol ester, N-hydroxyamine ester, heterocyclic hydroxy ester compound, and curing action of epoxy resin. A compound or the like having can be used.

(c)活性エステル硬化剤としては、1分子中に2個以上の活性エステル基を有する化合物が好ましく、多価カルボン酸を有する化合物とフェノール性水酸基を有する芳香族化合物とから得られる1分子中に2個以上の活性エステル基を有する芳香族化合物がより好ましく、少なくとも2個以上のカルボン酸を1分子中に有する化合物と、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物とから得られる芳香族化合物であり、かつ該芳香族化合物の分子中に2個以上のエステル基を有する芳香族化合物がさらに好ましい。また、(c)活性エステル硬化剤には、直鎖状又は多分岐状高分子が含まれていてもよい。
前記少なくとも2個以上のカルボン酸を1分子中に有する化合物が、脂肪族鎖を含む化合物であれば、(a)エポキシ樹脂及び(b)シアネート樹脂との相溶性を高くすることができ、芳香族環を有する化合物であれば、耐熱性を高くすることができる。特に耐熱性等の観点から、(c)活性エステル硬化剤は、カルボン酸化合物とフェノール化合物又はナフトール化合物とから得られる活性エステル化合物が好ましい。
(C) The active ester curing agent is preferably a compound having two or more active ester groups in one molecule, and in one molecule obtained from a compound having a polyvalent carboxylic acid and an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group. An aromatic compound having two or more active ester groups is more preferable, and is an aromatic compound obtained from a compound having at least two or more carboxylic acids in one molecule and an aromatic compound having a phenolic hydroxyl group. An aromatic compound having two or more ester groups in the molecule of the aromatic compound is more preferable. Further, (c) the active ester curing agent may contain a linear or multi-branched polymer.
If the compound having at least two or more carboxylic acids in one molecule is a compound containing an aliphatic chain, the compatibility with (a) the epoxy resin and (b) the cyanate resin can be increased. If it is a compound which has a group ring, heat resistance can be made high. In particular, from the viewpoint of heat resistance and the like, (c) the active ester curing agent is preferably an active ester compound obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound or a naphthol compound.

カルボン酸化合物としては、安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性の観点から、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸が好ましく、イソフタル酸、テレフタル酸がより好ましい。
チオカルボン酸化合物としては、チオ酢酸、チオ安息香酸等が挙げられる。
Examples of the carboxylic acid compound include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Among these, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid and terephthalic acid are preferable from the viewpoint of heat resistance, and isophthalic acid and terephthalic acid are more preferable.
Examples of the thiocarboxylic acid compound include thioacetic acid and thiobenzoic acid.

フェノール化合物又はナフトール化合物としては、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、p−クレゾール、カテコール、α−ナフトール、β−ナフトール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラック等が挙げられる。これらの中でも、耐熱性及び溶解性の観点から、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、カテコール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックが好ましく、カテコール、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックがより好ましく、1,5−ジヒドロキシナフタレン、1,6−ジヒドロキシナフタレン、2,6−ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックがさらに好ましく、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックが特に好ましく、ジシクロペンタジエニルジフェノール、フェノールノボラックが極めて好ましく、ジシクロペンタジエニルジフェノールが最も好ましい。
チオール化合物としては、ベンゼンジチオール、トリアジンジチオール等が挙げられる。
Examples of the phenol compound or naphthol compound include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol , Dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac and the like. Among these, from the viewpoint of heat resistance and solubility, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, catechol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6- Dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac are preferred, catechol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1, 6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzo More preferred are enone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadienyl diphenol, phenol novolac, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetra Hydroxybenzophenone, dicyclopentadienyl diphenol, and phenol novolac are more preferable, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, dicyclopentadienyl diphenol, and phenol novolac are particularly preferable, dicyclopentadienyl diphenol, Phenol novolac is highly preferred and dicyclopentadienyl diphenol is most preferred.
Examples of the thiol compound include benzenedithiol and triazinedithiol.

(c)活性エステル硬化剤としては、特開2004−277460号公報に開示されている活性エステル硬化剤を用いてもよく、また、市販品を用いることもできる。
市販品の(c)活性エステル硬化剤としては、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含むもの、フェノールノボラックのアセチル化物、フェノールノボラックのベンゾイル化物等が挙げられ、これらの中でも、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含むものが好ましい。具体的には、ジシクロペンタジエニルジフェノール構造を含むものとして「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S−65T」、「HPC−8000−65T」(以上、DIC株式会社製、商品名、活性基当量約223g/eq)、フェノールノボラックのアセチル化物として「DC808」(三菱化学株式会社製、活性基当量約149g/eq)、フェノールノボラックのベンゾイル化物として「YLH1026」(三菱化学株式会社製、活性基当量約200g/eq)等が挙げられる。
(C) As the active ester curing agent, an active ester curing agent disclosed in JP-A-2004-277460 may be used, or a commercially available product may be used.
Examples of commercially available (c) active ester curing agents include those containing a dicyclopentadienyl diphenol structure, acetylated phenol novolacs, benzoylated phenol novolacs, and among these, dicyclopentadienyl. Those containing a diphenol structure are preferred. Specifically, “EXB9451”, “EXB9460”, “EXB9460S-65T”, “HPC-8000-65T” (above, manufactured by DIC Corporation, trade name, activity) as those containing a dicyclopentadienyl diphenol structure. Group equivalent of about 223 g / eq), acetylated product of phenol novolak “DC808” (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., active group equivalent of about 149 g / eq), and benzoylated product of phenol novolac “YLH1026” (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, active) Group equivalent of about 200 g / eq).

(c)活性エステル硬化剤は特に制限はなく、公知の方法により製造することができる。具体的には、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得ることができる。   (C) The active ester curing agent is not particularly limited and can be produced by a known method. Specifically, it can be obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and / or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and / or a thiol compound.

本発明の樹脂組成物中における、(c)活性エステル硬化剤の含有量は、得られる層間絶縁層の機械特性、硬化時間及び誘電特性の観点から、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、2〜30質量部であることが好ましく、3〜25質量部であることがより好ましく、4〜20質量部であることがさらに好ましい。   In the resin composition of the present invention, the content of the (c) active ester curing agent is 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition from the viewpoint of mechanical properties, curing time and dielectric properties of the obtained interlayer insulating layer. On the other hand, it is preferable that it is 2-30 mass parts, It is more preferable that it is 3-25 mass parts, It is further more preferable that it is 4-20 mass parts.

<(d)リン系硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、低温及び短時間で硬化を可能にする観点から、(d)リン系硬化促進剤を含有する。また、(d)リン系硬化促進剤を含有することにより、支持体付きで硬化して得られた層間絶縁層の外観及びスミア除去性が良好となる。
<(D) Phosphorous curing accelerator>
The resin composition of the present invention contains (d) a phosphorus-based curing accelerator from the viewpoint of enabling curing at a low temperature and in a short time. Moreover, the external appearance and smear removal property of the interlayer insulation layer obtained by hardening | curing with a support body become favorable by containing (d) phosphorus series hardening accelerator.

(d)リン系硬化促進剤としては、特に限定されないが、有機リン系化合物が好ましい。
有機リン系化合物としては、エチルホスフィン、プロピルホスフィン、ブチルホスフィン、フェニルホスフィン、トリメチルホスフィン、トリエチルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン/トリフェニルボラン錯体、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、リン原子に少なくとも1つのアルキル基が結合したホスフィン化合物とキノン化合物との付加反応物等が挙げられる。これらの中でも、リン原子に少なくとも1つのアルキル基が結合したホスフィン化合物とキノン化合物との付加反応物が好ましく、特開2011−179008号公報に示されているような、下記一般式(I)で表されるリン原子に1つ以上のアルキル基が結合したホスフィン化合物と、下記一般式(II)で表されるキノン化合物との付加反応物であることが好ましい。
(D) Although it does not specifically limit as a phosphorus hardening accelerator, An organic phosphorus compound is preferable.
Examples of organophosphorus compounds include ethylphosphine, propylphosphine, butylphosphine, phenylphosphine, trimethylphosphine, triethylphosphine, tributylphosphine, trioctylphosphine, triphenylphosphine, tricyclohexylphosphine, triphenylphosphine / triphenylborane complex, tetra Examples include phenylphosphonium tetraphenylborate, an addition reaction product of a phosphine compound in which at least one alkyl group is bonded to a phosphorus atom and a quinone compound. Among these, an addition reaction product of a phosphine compound and a quinone compound in which at least one alkyl group is bonded to a phosphorus atom is preferable, which is represented by the following general formula (I) as disclosed in JP2011-179008A. It is preferably an addition reaction product of a phosphine compound in which one or more alkyl groups are bonded to the phosphorus atom represented by the quinone compound represented by the following general formula (II).

一般式(I)中、Rは炭素数1〜12のアルキル基を示し、R及びRは、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜12の炭化水素基を示す。一般式(II)中、R〜Rは、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜18の炭化水素基を示し、RとRは互いに結合して環状構造となっていてもよい。 In general formula (I), R 1 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and R 2 and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms. In general formula (II), R 4 to R 6 each independently represent a hydrogen atom or a hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and R 4 and R 5 may be bonded to each other to form a cyclic structure. Good.

前記一般式(I)中のRで表される炭素数1〜12のアルキル基としては、特に制限はなく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基等の鎖状アルキル基;シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基等の環状アルキル基;ベンジル基等のアリール基置換アルキル基;メトキシ基置換アルキル基、エトキシ基置換アルキル基、ブトキシ基置換アルキル基等のアルコキシ基置換アルキル基;ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基等のアミノ基置換アルキル基;水酸基置換アルキル基などが挙げられる。
また、R及びRで表される炭素数1〜12の炭化水素基としては、特に制限はなく、炭素数1〜12の置換又は非置換の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜12の置換又は非置換の脂環式炭化水素基、炭素数1〜12の置換又は非置換の芳香族炭化水素基等が挙げられる。
炭素数1〜12の置換又は非置換の脂肪族炭化水素基としては、例えば、前記Rで表される炭素数1〜12のアルキル基と同様の基が挙げられる。
炭素数1〜12の置換又は非置換の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、これらにアルキル基、アルコキシ基、アリール基、水酸基、アミノ基、ハロゲン等が置換したものなどが挙げられる。
炭素数1〜12の置換又は非置換の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、ナフチル基等のアリール基;トリル基、ジメチルフェニル基、エチルフェニル基、ブチルフェニル基、t−ブチルフェニル基、ジメチルナフチル基等のアルキル基置換アリール基;メトキシフェニル基、エトキシフェニル基、ブトキシフェニル基、t−ブトキシフェニル基、メトキシナフチル基等のアルコキシ基置換アリール基;ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基等のアミノ基置換アリール基;ヒドロキシフェニル基、ジヒドロキシフェニル基等のハロゲン置換アリール基;フェノキシ基、クレゾキシ基等のアリーロキシ基;フェニルチオ基、トリルチオ基、ジフェニルアミノ基、これらにアミノ基、ハロゲン等が置換したものなどが挙げられる。中でも、置換又は非置換のアルキル基及びアリール基が好ましい。
The alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 1 in formula (I), is not particularly limited, methyl, ethyl, propyl, isopropyl, n- butyl group, sec- butyl Group, tert-butyl group, pentyl group, hexyl group, octyl group, decyl group, dodecyl group and other chain alkyl groups; cyclopentyl group, cyclohexyl group, cycloheptyl group, cyclopentenyl group, cyclohexenyl group and other cyclic alkyl groups An aryl group-substituted alkyl group such as a benzyl group; an alkoxy group-substituted alkyl group such as a methoxy group-substituted alkyl group, an ethoxy group-substituted alkyl group, or a butoxy group-substituted alkyl group; an amino group-substituted alkyl group such as a dimethylamino group or a diethylamino group; Examples thereof include a hydroxyl group-substituted alkyl group.
Moreover, there is no restriction | limiting in particular as a C1-C12 hydrocarbon group represented by R < 2 > and R < 3 >, C1-C12 substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group, C1-C12 Substituted or unsubstituted alicyclic hydrocarbon groups, substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon groups having 1 to 12 carbon atoms, and the like.
Examples of the substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms include the same groups as the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms represented by R 1 .
Examples of the substituted or unsubstituted alicyclic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclopentenyl group, a cyclohexenyl group, an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, and a hydroxyl group. , Amino groups, halogen-substituted and the like.
Examples of the substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms include aryl groups such as phenyl group and naphthyl group; tolyl group, dimethylphenyl group, ethylphenyl group, butylphenyl group, t-butylphenyl group, Alkyl group-substituted aryl groups such as dimethylnaphthyl group; alkoxy group-substituted aryl groups such as methoxyphenyl group, ethoxyphenyl group, butoxyphenyl group, t-butoxyphenyl group, methoxynaphthyl group; amino groups such as dimethylamino group and diethylamino group Substituted aryl groups; halogen-substituted aryl groups such as hydroxyphenyl groups and dihydroxyphenyl groups; aryloxy groups such as phenoxy groups and crezoxy groups; phenylthio groups, tolylthio groups, diphenylamino groups, and those substituted with amino groups, halogens, etc. Is mentioned. Of these, a substituted or unsubstituted alkyl group and aryl group are preferable.

前記一般式(I)で表されるホスフィン化合物としては、トリシクロヘキシルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン等のトリアルキルホスフィン;シクロヘキシルジフェニルホスフィン、ジシクロヘキシルフェニルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、ジブチルフェニルホスフィン、オクチルジフェニルホスフィン、ジオクチルフェニルホスフィン等のアルキルジフェニルホスフィン;ジアルキルフェニルホスフィンなどが挙げられるが、ワニス溶解性の観点からは、トリブチルホスフィン、トリ(p−メチルフェニル)ホスフィン、トリ(m−メチルフェニル)ホスフィン、トリ(o−メチルフェニル)ホスフィンが特に好ましい。   Examples of the phosphine compound represented by the general formula (I) include trialkylphosphine such as tricyclohexylphosphine, tributylphosphine, trioctylphosphine; cyclohexyldiphenylphosphine, dicyclohexylphenylphosphine, butyldiphenylphosphine, dibutylphenylphosphine, octyldiphenylphosphine. And alkyldiphenylphosphine such as dioctylphenylphosphine; from the viewpoint of varnish solubility, tributylphosphine, tri (p-methylphenyl) phosphine, tri (m-methylphenyl) phosphine, tri ( o-Methylphenyl) phosphine is particularly preferred.

前記一般式(II)中のR〜Rで表される炭素数1〜18の炭化水素基としては、特に制限はなく、炭素数1〜18の置換又は非置換の脂肪族炭化水素基、炭素数1〜18の置換又は非置換の脂環式炭化水素基、炭素数1〜18の置換又は非置換の芳香族炭化水素基等が挙げられる。
炭素数1〜18の置換又は非置換の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、ドデシル基等のアルキル基;アリル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシル基、n−ブトキシ基、tert−ブトキシ基等のアルコキシ基;ジメチルアミノ基、ジエチルアミノ基等のアルキルアミノ基;メチルチオ基、エチルチオ基、ブチルチオ基、ドデシルチオ基等のアルキルチオ基;アミノ基置換アルキル基、アルコキシ置換アルキル基、水酸基置換アルキル基、アリール基置換アルキル基等の置換アルキル基;アミノ基置換アルコキシ基、水酸基置換アルコキシ基、アリール基置換アルコキシ基等の置換アルコキシ基などが挙げられる。
炭素数1〜18の置換又は非置換の脂環式炭化水素基としては、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基、これらにアルキル基、アルコキシ基、アリール基、水酸基、アミノ基、ハロゲン等が置換したものなどが挙げられる。
炭素数1〜18の置換又は非置換の芳香族炭化水素基としては、フェニル基、トリル基等のアリール基;ジメチルフェニル基、エチルフェニル基、ブチルフェニル基、t−ブチルフェニル基等のアルキル基置換アリール基;メトキシフェニル基、エトキシフェニル基、ブトキシフェニル基、t−ブトキシフェニル基等のアルコキシ基置換アリール基;フェノキシ基、クレゾキシ基等のアリーロキシ基;フェニルチオ基、トリルチオ基、ジフェニルアミノ基、これらにアミノ基、ハロゲン等が置換したものなどが挙げられる。
なかでも、水素原子、置換又は非置換のアルキル基、置換又は非置換のアルコキシ基、置換又は非置換のアリーロキシ基、置換又は非置換のアリール基、置換又は非置換のアルキルチオ基及び置換又は非置換のアリールチオ基が好ましい。
The hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms represented by R 4 to R 6 in the general formula (II) is not particularly limited, and is a substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms. A substituted or unsubstituted alicyclic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, a substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms, and the like.
Examples of the substituted or unsubstituted aliphatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group, tert-butyl group, pentyl group, and hexyl. Groups, octyl groups, decyl groups, dodecyl groups and other alkyl groups; allyl groups, methoxy groups, ethoxy groups, propoxyl groups, n-butoxy groups, tert-butoxy groups and other alkoxy groups; dimethylamino groups, diethylamino groups, etc. Alkylamino group; alkylthio group such as methylthio group, ethylthio group, butylthio group, dodecylthio group; substituted alkyl group such as amino group-substituted alkyl group, alkoxy-substituted alkyl group, hydroxyl group-substituted alkyl group, aryl group-substituted alkyl group; amino group substitution Substitution of alkoxy group, hydroxyl group-substituted alkoxy group, aryl group-substituted alkoxy group, etc. Such as alkoxy group, and the like.
Examples of the substituted or unsubstituted alicyclic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, a cycloheptyl group, a cyclopentenyl group, a cyclohexenyl group, and an alkyl group, an alkoxy group, an aryl group, and a hydroxyl group. , Amino groups, halogen-substituted and the like.
Examples of the substituted or unsubstituted aromatic hydrocarbon group having 1 to 18 carbon atoms include aryl groups such as phenyl group and tolyl group; alkyl groups such as dimethylphenyl group, ethylphenyl group, butylphenyl group and t-butylphenyl group Substituted aryl group; alkoxy group substituted aryl group such as methoxyphenyl group, ethoxyphenyl group, butoxyphenyl group, t-butoxyphenyl group; aryloxy group such as phenoxy group, crezoxy group; phenylthio group, tolylthio group, diphenylamino group, etc. And those substituted with an amino group, halogen or the like.
Among them, a hydrogen atom, a substituted or unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted aryloxy group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted alkylthio group, and substituted or unsubstituted Of the arylthio group is preferred.

また、前記一般式(II)で表されるキノン化合物は、RとRが結合し環状構造となっていてもよい。RとRが結合して環状構造を形成する多環式のキノン化合物としては、特に制限はないが、置換したテトラメチレン基、テトラメチン基等が結合した下記一般式(VII)〜(IX)のいずれかで表される多環式キノン化合物等が挙げられる。 Further, the quinone compound represented by the general formula (II) may have a cyclic structure in which R 4 and R 5 are bonded. The polycyclic quinone compound in which R 4 and R 5 are bonded to form a cyclic structure is not particularly limited. ), And the like.

一般式(VII)〜(IX)中、Rは、前記一般式(II)と同様である。 In general formulas (VII) to (IX), R 6 is the same as in general formula (II).

前記一般式(II)で表されるキノン化合物の中でも、ホスフィン化合物との反応性の観点からは、1,4−ベンゾキノン及びメチル−1,4−ベンゾキノンが好ましく、吸湿時の硬化性の観点からは、2,3−ジメトキシ−1,4ベンゾキノン、2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノン、メトキシ−1,4−ベンゾキノン等のアルコキシ基置換1,4−ベンゾキノン;2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノン、2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノン、メチル−1,4−ベンゾキノン等のアルキル基置換1,4−ベンゾキノンが好ましく、保存安定性の観点からは、2,5−ジ−t−ブチル−1,4−ベンゾキノン、t−ブチル−1,4−ベンゾキノン、フェニル−1,4−ベンゾキノンが好ましい。   Among the quinone compounds represented by the general formula (II), 1,4-benzoquinone and methyl-1,4-benzoquinone are preferable from the viewpoint of reactivity with the phosphine compound, and from the viewpoint of curability during moisture absorption. Is an alkoxy group-substituted 1,4-benzoquinone such as 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone, 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone, methoxy-1,4-benzoquinone; 1,4-benzoquinone, 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, methyl-substituted 1,4-benzoquinone such as methyl-1,4-benzoquinone is preferred, and 2,5-diquinone is preferred from the viewpoint of storage stability. -T-Butyl-1,4-benzoquinone, t-butyl-1,4-benzoquinone, and phenyl-1,4-benzoquinone are preferred.

前記一般式(I)で表されるホスフィン化合物と前記一般式(II)で表されるキノン化合物との付加反応物としては、下記一般式(X)で表される化合物等が挙げられる。   Examples of the addition reaction product of the phosphine compound represented by the general formula (I) and the quinone compound represented by the general formula (II) include compounds represented by the following general formula (X).

一般式(X)中、R〜Rは、前記一般式(I)及び(II)と同様である。 In general formula (X), R 1 to R 6 are the same as those in general formulas (I) and (II).

リン原子に少なくとも1つのアルキル基が結合したホスフィン化合物とキノン化合物との付加反応物の中でも、吸湿時の硬化性の観点からは、トリシクロヘキシルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物等のトリアルキルホスフィンとキノン化合物との付加反応物が好ましい。   Among addition reaction products of a phosphine compound and a quinone compound in which at least one alkyl group is bonded to a phosphorus atom, from the viewpoint of curability during moisture absorption, an addition reaction product of tricyclohexylphosphine and 1,4-benzoquinone, Addition reaction product of cyclohexylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, Addition reaction product of tricyclohexylphosphine and 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone, Tricyclohexylphosphine and 2,5-dimethyl-1,4 -Addition reaction product of benzoquinone, addition reaction product of tricyclohexylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone, addition reaction product of tricyclohexylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone, tricyclohexylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquino Addition reaction product of tributylphosphine and 1,4-benzoquinone, addition reaction product of tributylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, tributylphosphine and 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone , An addition reaction product of tributylphosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, an addition reaction product of tributylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone, tributylphosphine and 2,3-dimethoxy -1,4-benzoquinone addition reaction product, tributylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone addition reaction product, trioctylphosphine and 1,4-benzoquinone addition reaction product, trioctylphosphine Reaction product of trioctylphosphite with methyl-1,4-benzoquinone And 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, trioctylphosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, trioctylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone Of trioctylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone, and addition reaction product of trioctylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone. An addition reaction product of an alkyl phosphine and a quinone compound is preferable.

また、耐リフロークラック性の観点からは、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンと2,3−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンと2,5−ジメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンとメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンと2,3−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンと2,5−ジメトキシ−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物等のアルキルジフェニルホスフィン又はジアルキルフェニルホスフィンとキノン化合物との付加反応物が好ましく、なかでも、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物等のアルキルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物がより好ましい。   From the viewpoint of reflow crack resistance, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, cyclohexyldiphenylphosphine and 2,3 -Addition reaction product of dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction of cyclohexyldiphenylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone Product, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone, butyldiphenylphosphine and , 4-benzoquinone addition reaction product, butyldiphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, butyldiphenylphosphine and 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, butyldiphenyl Addition reaction product of phosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of butyldiphenylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone, butyldiphenylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4- Addition reaction product of benzoquinone, addition reaction product of butyldiphenylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone, addition reaction product of octyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone, octyldiphenylphosphine and methyl-1 , 4-Benzoquinone addition reaction product, octyl diph Addition reaction product of nylphosphine and 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of octyldiphenylphosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, octyldiphenylphosphine and methoxy-1,4 An addition reaction product of benzoquinone, an addition reaction product of octyldiphenylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone, an addition reaction product of octyldiphenylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone, Addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and 1,4-benzoquinone, addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, addition of dicyclohexylphenylphosphine and 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone Reactant, dicyclohexylpheny Addition reaction product of ruphosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone, dicyclohexylphenylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4 An addition reaction product of benzoquinone, an addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone, an addition reaction product of dibutylphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, dibutylphenylphosphine and Addition reaction product of 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of dibutylphenylphosphine and 2,5-dimethyl-1,4-benzoquinone, dibutylphenylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone Addition reaction product, dibutylphenylphosphine And 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone addition reaction product, dibutylphenylphosphine and 2,5-dimethoxy-1,4-benzoquinone addition reaction product, dioctylphenylphosphine and 1,4-benzoquinone Addition reaction product, dioctylphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, dioctylphenylphosphine and 2,3-dimethyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, dioctylphenylphosphine and 2,5 -Addition reaction product of dimethyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of dioctylphenylphosphine and methoxy-1,4-benzoquinone, addition reaction of dioctylphenylphosphine and 2,3-dimethoxy-1,4-benzoquinone , Dioctylphenylphosphine and 2,5-dimethoxy- An addition reaction product of alkyldiphenylphosphine or dialkylphenylphosphine and a quinone compound, such as an addition reaction product of 1,4-benzoquinone, among them, an addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone, butyldiphenylphosphine An addition reaction product of alkyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone such as an addition reaction product of 1,4-benzoquinone and an addition reaction product of octyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone is more preferable.

また、保存安定性の観点からは、トリシクロヘキシルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシル−p−トリルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチル−p−トリルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチル−p−トリルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジ−p−トリルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジ−p−トリルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジ−p−トリルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシル−p−トリルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチル−p−トリルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチル−p−トリルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジ−p−トリルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジ−p−トリルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジ−p−トリルホスフィンとフェニル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物等が好ましく、なかでも、トリシクロヘキシルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジブチルフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジオクチルフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンとt−ブチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物等の少なくとも一つのアルキル基を有するホスフィン化合物とt−ブチル基を有するキノン化合物との付加反応物がより好ましい。   From the viewpoint of storage stability, addition reaction product of tricyclohexylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of tributylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, trioctylphosphine And t-butyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, dicyclohexylphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, dibutylphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone Addition reaction product, addition reaction product of dioctylphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, butyldiphenylphosphine and t-butyl- Addition reaction product with 1,4-benzoquinone, octyldiphenyl Addition reaction product of sphin and t-butyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of dicyclohexyl-p-tolylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, dibutyl-p-tolylphosphine and t-butyl- 1,4-benzoquinone addition reaction product, dioctyl-p-tolylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, cyclohexyldi-p-tolylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone An addition reaction product of butyldi-p-tolylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, an addition reaction product of octyldi-p-tolylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, Addition reaction product of tricyclohexylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, tributylphosphine and phenyl Addition reaction product of 1,4-benzoquinone, addition reaction product of trioctylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, dibutylphenylphosphine and phenyl Addition reaction product of -1,4-benzoquinone, addition reaction product of dioctylphenylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, butyldiphenylphosphine and Addition reaction product of phenyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of octyldiphenylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of dicyclohexyl-p-tolylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, Dibutyl Addition reaction product of p-tolylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, Addition reaction product of dioctyl-p-tolylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, cyclohexyldi-p-tolylphosphine and phenyl-1, Addition reaction product of 4-benzoquinone, addition reaction product of butyldi-p-tolylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of octyldi-p-tolylphosphine and phenyl-1,4-benzoquinone, etc. Among these, an addition reaction product of tricyclohexylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, an addition reaction product of tributylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, trioctylphosphine and t-butyl- Addition reaction product with 1,4-benzoquinone, dicyclohexylphenylphosphite And t-butyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, dibutylphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, dioctylphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone Addition reaction product, addition reaction product of cyclohexyldiphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of butyldiphenylphosphine and t-butyl-1,4-benzoquinone, octyldiphenylphosphine and t-butyl- An addition reaction product of a phosphine compound having at least one alkyl group and a quinone compound having a t-butyl group, such as an addition reaction product with 1,4-benzoquinone, is more preferable.

上記の中でも、ホスフィン化合物とキノン化合物との反応性の観点からは、トリシクロヘキシルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリシクロヘキシルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリブチルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、トリオクチルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、シクロヘキシルジフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ブチルジフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、オクチルジフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンと1,4−ベンゾキノンとの付加反応物、ジシクロヘキシルフェニルホスフィンとメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物等のリン原子に少なくとも一つのアルキル基が結合したホスフィン化合物と1,4−ベンゾキノン又はメチル−1,4−ベンゾキノンとの付加反応物がより好ましい。   Among the above, from the viewpoint of the reactivity between the phosphine compound and the quinone compound, an addition reaction product of tricyclohexylphosphine and 1,4-benzoquinone, an addition reaction product of tricyclohexylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, Addition reaction product of tributylphosphine and 1,4-benzoquinone, addition reaction product of tributylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of trioctylphosphine and 1,4-benzoquinone, trioctylphosphine and methyl -1,4-benzoquinone addition reaction product, cyclohexyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone addition reaction product, cyclohexyldiphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone addition reaction product, butyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone With 4-benzoquinone Reaction product, addition reaction product of butyldiphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, addition reaction product of octyldiphenylphosphine and 1,4-benzoquinone, addition reaction of octyldiphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone Phosphine compounds in which at least one alkyl group is bonded to a phosphorus atom, such as an addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and 1,4-benzoquinone, an addition reaction product of dicyclohexylphenylphosphine and methyl-1,4-benzoquinone, and the like. An addition reaction product with 1,4-benzoquinone or methyl-1,4-benzoquinone is more preferable.

リン原子に少なくとも1つのアルキル基が結合したホスフィン化合物とキノン化合物との付加反応物の製造方法としては、特に制限はないが、例えば、原料として用いられるホスフィン化合物とキノン化合物とを、両者が溶解する有機溶媒中で付加反応させた後、単離する方法が挙げられる。
リン原子に少なくとも一つのアルキル基が結合したホスフィン化合物とキノン化合物との付加反応物は、1種を単独で用いても2種以上を組み合わせて用いてもよい。
There is no particular limitation on the method for producing an addition reaction product of a phosphine compound and a quinone compound in which at least one alkyl group is bonded to a phosphorus atom. For example, a phosphine compound and a quinone compound used as raw materials are both dissolved. And an isolation method after an addition reaction in an organic solvent.
The addition reaction product of the phosphine compound and the quinone compound in which at least one alkyl group is bonded to the phosphorus atom may be used alone or in combination of two or more.

本発明の樹脂組成物中における(d)リン系硬化促進剤の含有量は、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、0.01〜0.5質量部であることが好ましく、0.015〜0.40質量部であることがより好ましく、0.02〜0.30質量部であることがさらに好ましい。(d)リン系硬化促進剤の含有量が、前記下限値以上であると、十分な硬化速度が得られ、内層パターン上の樹脂層の平坦性、支持体付きで硬化して得られた層間絶縁層の外観に優れる。また、(d)リン系硬化促進剤の含有量が、前記上限値以下であると、得られる層間絶縁層用樹脂フィルムのハンドリング及び埋め込み性が優れる。   The content of the (d) phosphorus curing accelerator in the resin composition of the present invention is preferably 0.01 to 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition, The amount is more preferably 0.015 to 0.40 parts by mass, and further preferably 0.02 to 0.30 parts by mass. (D) When the content of the phosphorus-based curing accelerator is equal to or more than the lower limit value, a sufficient curing rate can be obtained, the flatness of the resin layer on the inner layer pattern, and the interlayer obtained by curing with a support. Excellent insulation layer appearance. Moreover, the handling and embedding property of the resin film for interlayer insulation layers obtained as the content of (d) phosphorus hardening accelerator below the said upper limit is excellent.

なお、本発明の効果を阻害しない範囲で、有機金属塩、イミダゾール、アミン系硬化促進剤等の硬化促進剤を、(d)リン系硬化促進剤と併用してもよい。   In addition, a curing accelerator such as an organic metal salt, imidazole, and an amine curing accelerator may be used in combination with (d) a phosphorus curing accelerator as long as the effects of the present invention are not impaired.

<(e)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、さらに(e)無機充填材を含有する。
(e)無機充填材としては、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等が挙げられる。これらの中でも、安価である点から、シリカが好ましい。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
<(E) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention further contains (e) an inorganic filler.
(E) As inorganic fillers, silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, barium titanate Strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, calcium zirconate and the like. Among these, silica is preferable because it is inexpensive. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

(e)無機充填材は、特に限定されないが、本発明の樹脂組成物を用いて作製する層間絶縁層用樹脂フィルムのラミネート時の流動性(パターン埋め込み性)の観点から、球状であることが好ましい。
(e)無機充填材の体積平均粒径は、特に限定されないが、良好な回路基板の埋め込み性と層間及び配線間の絶縁信頼性の観点から、0.05〜3μmであることが好ましく、0.2〜3μmであることがより好ましく、0.3〜2.5μmであることがさらに好ましい。なお、使用する(e)無機充填材の体積平均粒径は1種類でもよく、異なる体積平均粒径のものを混合して使用してもよい。
体積平均粒径とは、粒子の全体積を100%として粒径による累積度数分布曲線を求めたとき、体積50%に相当する点の粒径のことであり、レーザ回折散乱法を用いた粒度分布測定装置等で測定することができる。
(E) The inorganic filler is not particularly limited, but may be spherical from the viewpoint of fluidity (pattern embedding property) at the time of laminating a resin film for an interlayer insulating layer produced using the resin composition of the present invention. preferable.
(E) The volume average particle diameter of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably 0.05 to 3 μm from the viewpoint of good circuit board embedding and insulation reliability between layers and wirings. More preferably, it is 2-3 micrometers, and it is further more preferable that it is 0.3-2.5 micrometers. In addition, the (e) inorganic filler used may have one type of volume average particle diameter, or may be used by mixing different volume average particle diameters.
The volume average particle diameter is a particle diameter at a point corresponding to a volume of 50% when a cumulative frequency distribution curve by the particle diameter is obtained with the total volume of the particles being 100%, and the particle diameter using the laser diffraction scattering method. It can be measured with a distribution measuring device or the like.

(e)無機充填材として使用するシリカとしては、市販品を用いてもよい。市販品のシリカとしては、株式会社アドマテックス製の「SO−C1」(平均粒径:0.25μm、商品名)、「SO−C2」(平均粒径:0.5μm、商品名)、「SO−C3」(平均粒径:0.9μm、商品名)、「SO−C5」(平均粒径:1.6μm、商品名)、「SO−C6」(平均粒径:2.2μm、商品名)等が挙げられる。   (E) Commercially available products may be used as the silica used as the inorganic filler. As commercially available silica, “SO-C1” (average particle size: 0.25 μm, product name), “SO-C2” (average particle size: 0.5 μm, product name) manufactured by Admatechs Co., Ltd., “ “SO-C3” (average particle size: 0.9 μm, product name), “SO-C5” (average particle size: 1.6 μm, product name), “SO-C6” (average particle size: 2.2 μm, product) Name).

(e)無機充填材としては、耐湿性を向上させる観点から、シランカップリング剤等の表面処理剤で表面処理された無機充填材を用いてもよい。
シランカップリング剤としては、アミノシランカップリング剤、ビニルシランカップリング剤、エポキシシランカップリング剤等が挙げられる。
これらの中でも、本発明の樹脂組成物を適用する層間絶縁層用樹脂フィルムの保存安定性の観点から、ビニルシランカップリング剤及びエポキシシランカップリング剤から選ばれる少なくとも1種類の表面処理を施した球状シリカを使用することが好ましい。エポキシシランカップリング剤の配合比率を多くすると、耐熱性が向上する傾向にある。
これらの表面処理を施したシリカは単独品を用いてもよく、異なるシランカップリング剤処理を施したシリカを併用してもよい。
また、これらのシリカは予め溶剤中に分散させたシリカスラリーの状態で使用してもよい。
(E) From the viewpoint of improving moisture resistance, an inorganic filler surface-treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent may be used as the inorganic filler.
Examples of the silane coupling agent include amino silane coupling agents, vinyl silane coupling agents, and epoxy silane coupling agents.
Among these, from the viewpoint of storage stability of the resin film for an interlayer insulating layer to which the resin composition of the present invention is applied, a spherical shape subjected to at least one surface treatment selected from a vinyl silane coupling agent and an epoxy silane coupling agent. It is preferred to use silica. When the compounding ratio of the epoxy silane coupling agent is increased, the heat resistance tends to be improved.
The silica which performed these surface treatments may use a single item, and may use together the silica which performed the different silane coupling agent process.
These silicas may be used in the form of a silica slurry previously dispersed in a solvent.

本発明の樹脂組成物中における(e)無機充填材の含有量は、低熱膨張性、高周波特性及び配線パターンへの埋め込み性の観点から、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、40〜85質量部であることが好ましく、50〜85質量部であることがより好ましく、55〜80質量部であることがさらに好ましい。(e)無機充填材の含有量が、40質量部以上であると、良好な低熱膨張性及び高周波特性が得られる傾向にあり、85質量部以下であると、良好な配線パターンへの埋め込み性が得られる傾向にある。   The content of the inorganic filler (e) in the resin composition of the present invention is based on 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition from the viewpoint of low thermal expansion, high frequency characteristics, and embedding in a wiring pattern. It is preferably 40 to 85 parts by mass, more preferably 50 to 85 parts by mass, and even more preferably 55 to 80 parts by mass. (E) When the content of the inorganic filler is 40 parts by mass or more, good low thermal expansibility and high-frequency characteristics tend to be obtained, and when it is 85 parts by mass or less, good embedding in a wiring pattern. Tends to be obtained.

<(f)ジシアンジアミド>
本発明の樹脂組成物は、(f)ジシアンジアミド(以下、「(f)成分」ともいう)を含有することが好ましい。(f)ジシアンジアミドは(a)エポキシ樹脂の硬化剤となる。(f)ジシアンジアミドを含有することにより、内層回路パターンと層間絶縁層との接着強度が優れる傾向にある。
(f)ジシアンジアミドは配合の容易性の観点から、予め、有機溶剤中に溶解又は分散してから配合することが好ましい。(f)ジシアンジアミドを溶解又は分散する有機溶剤としては、メチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンが好ましく、安全性の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテルがより好ましい。
本発明の樹脂組成物が(f)ジシアンジアミドを含有する場合、(f)ジシアンジアミドの含有量は、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、0.01〜0.1質量部であることが好ましい。(f)ジシアンジアミドの含有量が0.01質量部以上であると、内層回路パターンと本発明の層間絶縁層との接着強度が優れる傾向にあり、0.1質量部以下であると、(f)ジシアンジアミドの析出を抑制することができる。
<(F) Dicyandiamide>
The resin composition of the present invention preferably contains (f) dicyandiamide (hereinafter also referred to as “component (f)”). (F) Dicyandiamide is a curing agent for (a) epoxy resin. (F) By containing dicyandiamide, the adhesive strength between the inner layer circuit pattern and the interlayer insulating layer tends to be excellent.
(F) From the viewpoint of ease of blending, dicyandiamide is preferably blended after being dissolved or dispersed in an organic solvent in advance. (F) The organic solvent for dissolving or dispersing dicyandiamide is preferably methylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dimethylacetamide, or N-methyl-2-pyrrolidone, and more preferably propylene glycol monomethyl ether from the viewpoint of safety. .
When the resin composition of the present invention contains (f) dicyandiamide, the content of (f) dicyandiamide is 0.01 to 0.1 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition. It is preferable. (F) If the dicyandiamide content is 0.01 parts by mass or more, the adhesive strength between the inner layer circuit pattern and the interlayer insulating layer of the present invention tends to be excellent, and if it is 0.1 parts by mass or less, (f ) Precipitation of dicyandiamide can be suppressed.

<(g)フェノキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(g)フェノキシ樹脂(以下、「(g)成分」ともいう)を含有することが好ましい。(g)フェノキシ樹脂を含有することによって、得られる層間絶縁層と導体層との接着強度が向上する傾向にあり、また、層間絶縁層の表面の粗化形状が小さく、緻密になる傾向にある。また、無電解めっき法を用いて層間絶縁層上に導体層を形成する場合、めっきブリスターの発生が抑制されると共に、層間絶縁層とソルダーレジストとの接着強度が向上する傾向にある。
(g)フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、有機溶剤への溶解性並びに層間絶縁層の機械的強度及び耐薬品性を向上させる観点から、5000〜100000であることが好ましい。(g)フェノキシ樹脂の重量平均分子量を上記範囲内とすることにより、導体層のブリスターの発生が抑制される傾向にある。
<(G) Phenoxy resin>
The resin composition of the present invention preferably contains (g) a phenoxy resin (hereinafter also referred to as “component (g)”). (G) By containing a phenoxy resin, the adhesive strength between the obtained interlayer insulating layer and the conductor layer tends to be improved, and the roughened shape of the surface of the interlayer insulating layer tends to be small and dense. . Moreover, when forming a conductor layer on an interlayer insulation layer using an electroless plating method, generation | occurrence | production of a plating blister is suppressed and it exists in the tendency for the adhesive strength of an interlayer insulation layer and a soldering resist to improve.
(G) The weight average molecular weight of the phenoxy resin is preferably 5,000 to 100,000 from the viewpoint of improving the solubility in an organic solvent and the mechanical strength and chemical resistance of the interlayer insulating layer. (G) By making the weight average molecular weight of a phenoxy resin into the said range, it exists in the tendency for generation | occurrence | production of the blister of a conductor layer to be suppressed.

(g)フェノキシ樹脂としては、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールAF骨格、ビスフェノールトリメチルシクロヘキサン骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、トリメチルシクロヘキサン骨格、スチレンとグリシジルメタクリレートの共重合体骨格から選択される1種類以上の骨格を有するものを用いることができる。これらの中でも、層間絶縁層の耐薬品性を向上させる観点及び粗化、デスミア処理等において、酸化剤によって層間絶縁層に適度な凹凸を付与することを容易とする観点から、ビフェニル骨格を有するフェノキシ樹脂が好ましい。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。(g)フェノキシ樹脂の末端はフェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。   (G) As the phenoxy resin, bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenol AF skeleton, bisphenol trimethylcyclohexane skeleton, bisphenol acetophenone skeleton, novolak skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, Those having one or more kinds of skeletons selected from naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene skeleton, trimethylcyclohexane skeleton, and copolymer skeleton of styrene and glycidyl methacrylate can be used. Among these, from the viewpoint of improving the chemical resistance of the interlayer insulating layer and from the viewpoint of easily imparting appropriate irregularities to the interlayer insulating layer with an oxidizing agent in roughening, desmear treatment, etc., a phenoxy having a biphenyl skeleton Resins are preferred. You may use these individually or in mixture of 2 or more types. (G) The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group.

(g)フェノキシ樹脂としては、市販品を用いてもよい。市販品の(g)フェノキシ樹脂としては、ビスフェノールAF骨格含有フェノキシ樹脂である「YL7383」、「YL7384」(共に三菱化学株式会社製、商品名)、ビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂である「1256」、「4250」(共に三菱化学株式会社製、商品名)、「YP−50」(新日鐵住金化学株式会社製、商品名)、ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂である「YX8100」(三菱化学株式会社製、商品名)、ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂である「YX6954」(三菱化学株式会社製、商品名)、フルオレン骨格含有フェノキシ樹脂である「FX−293」(新日鐵住金化学株式会社製、商品名)、ビスフェノールトリメチルシクロヘキサン骨格含有フェノキシ樹脂である「YL7213」(三菱化学株式会社製、商品名)、その他、「FX−280」(新日鐵住金化学株式会社製、商品名)、「YL7553」、「YL6794」、「YL7290」、「YL7482」(以上、三菱化学株式会社製、商品名)等を用いることができる。   (G) A commercially available product may be used as the phenoxy resin. Commercially available (g) phenoxy resins include bisphenol AF skeleton-containing phenoxy resins “YL7383” and “YL7384” (both trade names manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), bisphenol A skeleton-containing phenoxy resin “1256”, "4250" (both manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., trade name), "YP-50" (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., trade name), "YX8100" (Mitsubishi Chemical Corporation) which is a phenoxy resin containing a bisphenol S skeleton Product name), “YX6954” (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.), a phenoxy resin containing bisphenolacetophenone skeleton, “FX-293” (trade name, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) Product name), phenoxy resin containing bisphenoltrimethylcyclohexane skeleton "YL7213" (trade name, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "FX-280" (trade name, manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.), "YL7553", "YL6794", "YL7290", "YL7482" ( As mentioned above, Mitsubishi Chemical Co., Ltd., a brand name) etc. can be used.

(g)フェノキシ樹脂の製造方法は特に制限はないが、例えば、トリメチルシクロヘキサン構造を含有するビスフェノール化合物又はテルペン構造を含有するビスフェノール化合物と2官能エポキシ樹脂を原料として、公知のフェノキシ樹脂の製法に準じてエポキシ基とフェノール性水酸基の当量比が約1:0.9〜1:1.1となる範囲で反応させることにより容易に製造することができる。   (G) Although there is no restriction | limiting in particular in the manufacturing method of a phenoxy resin, For example, according to the manufacturing method of a well-known phenoxy resin from the bisphenol compound containing a trimethylcyclohexane structure or the bisphenol compound containing a terpene structure, and a bifunctional epoxy resin as a raw material Thus, it can be easily produced by reacting the epoxy group and the phenolic hydroxyl group in an equivalent ratio of about 1: 0.9 to 1: 1.1.

本発明の樹脂組成物が(g)フェノキシ樹脂を含有する場合、(g)フェノキシ樹脂の含有量は、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、0.5〜20質量部が好ましく、1〜10質量部がより好ましい。(g)フェノキシ樹脂の含有量が、1質量部以上であると十分な可撓性が得られ、取り扱い性に優れると共に、めっきにより形成された導体層のピール強度が優れる傾向にあり、20質量部以下であると、ラミネートの際に十分な流動性が得られ、適切な粗度が得られる傾向にある。   When the resin composition of the present invention contains (g) phenoxy resin, the content of (g) phenoxy resin is preferably 0.5 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition. 1-10 mass parts is more preferable. (G) When the content of the phenoxy resin is 1 part by mass or more, sufficient flexibility is obtained, the handleability is excellent, and the peel strength of the conductor layer formed by plating tends to be excellent. When the content is less than or equal to part, sufficient fluidity is obtained during lamination, and an appropriate roughness tends to be obtained.

<(h)シロキサン骨格を有する樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(h)シロキサン骨格を有する樹脂(以下、「(h)シロキサン樹脂」ともいう)を含有することが好ましい。
(h)シロキサン樹脂は、特に限定されるものではないが、ポリシロキサン骨格を有する樹脂であることが好ましい。本発明の樹脂組成物が(h)シロキサン樹脂を含有することによって、本発明の樹脂組成物をワニス化して、層間絶縁層用樹脂フィルムを作製する際、接着補助層の上にハジキ、うねり等が発生することなく均一に塗布し易くなる。
(h)シロキサン樹脂としては、ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン、ポリエステル変性ポリジメチルシロキサン、ポリエステル変性メチルアルキルポリシロキサン、ポリエーテル変性ポリメチルアルキルシロキサン、アラルキル変性ポリメチルアルキルシロキサン、ポリエーテル変性ポリメチルアルキルシロキサン等が挙げられる。
(h)シロキサン樹脂としては市販品を使用することができる。市販品の(h)シロキサン樹脂としては、ビッグケミー・ジャパン株式会社製の「BYK−310」、「BYK−313」、「BYK−300」、「BYK−320」、「BYK−330」等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
<(H) Resin having a siloxane skeleton>
The resin composition of the present invention preferably contains (h) a resin having a siloxane skeleton (hereinafter also referred to as “(h) siloxane resin”).
(H) The siloxane resin is not particularly limited, but is preferably a resin having a polysiloxane skeleton. When the resin composition of the present invention contains (h) a siloxane resin, when the resin composition of the present invention is varnished to produce a resin film for an interlayer insulating layer, repellency, undulation, etc. It becomes easy to apply uniformly without generating.
(H) Examples of the siloxane resin include polyether-modified polydimethylsiloxane, polyester-modified polydimethylsiloxane, polyester-modified methylalkylpolysiloxane, polyether-modified polymethylalkylsiloxane, aralkyl-modified polymethylalkylsiloxane, and polyether-modified polymethylalkylsiloxane. Etc.
(H) A commercially available product can be used as the siloxane resin. Examples of commercially available (h) siloxane resins include “BYK-310”, “BYK-313”, “BYK-300”, “BYK-320”, “BYK-330” and the like manufactured by Big Chemie Japan. It is done. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

本発明の樹脂組成物が(h)シロキサン樹脂を含有する場合、(h)シロキサン樹脂の含有量は、樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、0.005〜1質量部であることが好ましく、0.01〜0.8質量部であることがより好ましく、0.02〜0.5質量部であることがさらに好ましい。(h)シロキサン樹脂の含有量が0.005質量部以上であると、塗工時にうねり等の発生を抑制し均一に塗布し易くなり、1質量部以下であると、デスミア後の粗化形状が均質となり、耐熱性も良好となる。   When the resin composition of this invention contains (h) siloxane resin, content of (h) siloxane resin is 0.005-1 mass part with respect to 100 mass parts of solid content conversion of a resin composition. It is preferably 0.01 to 0.8 parts by mass, and more preferably 0.02 to 0.5 parts by mass. (H) When the content of the siloxane resin is 0.005 parts by mass or more, the occurrence of waviness and the like during the coating is suppressed and uniform application is facilitated, and when it is 1 part by mass or less, the roughened shape after desmearing Becomes homogeneous and heat resistance is also good.

<その他の成分>
本発明の樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲で、上記各成分以外の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、例えば、上記各成分以外の樹脂成分(以下、「他の樹脂成分」ともいう)、添加剤、有機溶剤等が挙げられる。
<Other ingredients>
The resin composition of the present invention may contain components other than the above components as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of other components include resin components other than the above components (hereinafter also referred to as “other resin components”), additives, organic solvents, and the like.

(他の樹脂成分)
他の樹脂成分としては、上記各成分以外の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等が挙げられる。
他の樹脂成分である熱硬化性樹脂としては、特に限定されないが、150〜200℃で熱硬化するものが好ましい。この温度は多層プリント配線板の層間絶縁層を形成する際に、通常用いられる熱硬化温度に相当する。このような熱硬化性樹脂としては、ビスマレイミド化合物とジアミン化合物との重合物、ビスマレイミド化合物、ビスアリルナジド樹脂、ベンゾオキサジン化合物等が挙げられる。これらの中でも、ビスマレイミド化合物とジアミン化合物との重合物等が好ましい。
(Other resin components)
Examples of other resin components include thermosetting resins and thermoplastic resins other than the above components.
Although it does not specifically limit as a thermosetting resin which is another resin component, What is thermosetting at 150-200 degreeC is preferable. This temperature corresponds to a thermosetting temperature normally used when forming an interlayer insulating layer of a multilayer printed wiring board. Examples of such thermosetting resins include polymers of bismaleimide compounds and diamine compounds, bismaleimide compounds, bisallyl nazide resins, benzoxazine compounds, and the like. Among these, a polymer of a bismaleimide compound and a diamine compound is preferable.

(添加剤)
添加剤としては、オルベン、ベントン等の増粘剤;イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着付与剤;難燃剤;ゴム粒子;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオジングリーン、ジスアゾイエロー、カーボンブラック等の着色剤などが挙げられる。
(Additive)
Additives include thickeners such as olben and benton; adhesion imparting agents such as imidazole, thiazole, triazole and silane coupling agents; flame retardants; rubber particles; phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodin green, disazo Examples thereof include colorants such as yellow and carbon black.

(難燃剤)
本発明の樹脂組成物は、難燃剤を含んでいてもよい。難燃剤としては、無機難燃剤、樹脂難燃剤等が挙げられる。
無機難燃剤としては、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が挙げられる。
樹脂難燃剤としては、ハロゲン系樹脂であっても、非ハロゲン系樹脂であってもよいが、環境負荷への配慮から、非ハロゲン系樹脂が好ましい。
(Flame retardants)
The resin composition of the present invention may contain a flame retardant. Examples of the flame retardant include an inorganic flame retardant and a resin flame retardant.
Examples of the inorganic flame retardant include aluminum hydroxide and magnesium hydroxide.
The resin flame retardant may be a halogen-based resin or a non-halogen-based resin, but a non-halogen-based resin is preferable in consideration of environmental load.

(有機溶剤)
本発明の樹脂組成物は、取り扱いを容易にする観点及び後述する層間絶縁層用樹脂フィルムを形成し易くする観点から、有機溶剤を含有させてワニスの状態にしてもよい。
有機溶剤としては、特に限定されないが、アセトン、メチルエチルケトン(以下、「MEK」ともいう)、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル系溶剤;セロソルブ、ブチルカルビトール等のカルビトール系溶剤;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン等のアミド系溶剤などが挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。これらの中でも、溶解性の観点から、ケトン系溶剤が好ましく、MEK、メチルイソブチルケトンがより好ましい。
(Organic solvent)
The resin composition of the present invention may be made into a varnish state by containing an organic solvent from the viewpoint of facilitating handling and forming a resin film for an interlayer insulating layer described later.
Although it does not specifically limit as an organic solvent, Ketone type solvents, such as acetone, methyl ethyl ketone (henceforth "MEK"), methyl isobutyl ketone, cyclohexanone; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, carb Acetate solvents such as tol acetate; carbitol solvents such as cellosolve and butyl carbitol; aromatic hydrocarbon solvents such as toluene and xylene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone Can be mentioned. You may use these individually or in mixture of 2 or more types. Among these, from the viewpoint of solubility, a ketone solvent is preferable, and MEK and methyl isobutyl ketone are more preferable.

本発明の樹脂組成物は、(a)〜(e)成分、必要に応じその他の成分を混合することにより製造することができる。混合方法としては、公知の方法を適用することができ、ビーズミル等を用いて混合することができる。   The resin composition of the present invention can be produced by mixing the components (a) to (e) and, if necessary, other components. As a mixing method, a known method can be applied, and mixing can be performed using a bead mill or the like.

[層間絶縁層用樹脂フィルム]
本発明の層間絶縁層用樹脂フィルム(以下、単に「樹脂フィルム」ともいう)は、支持体、接着補助層及び層間絶縁層用樹脂組成物層をこの順に有する層間絶縁層用樹脂フィルムであって、層間絶縁層用樹脂組成物層が、本発明の樹脂組成物を含有するものである。本発明の樹脂フィルムは、ビルドアップ方式の多層プリント配線板に用いられ、平滑な層間絶縁層上に高い接着強度を有する導体層を形成することができる。なお、本発明において、「平滑」とは、表面粗さRaが0.3μm未満であることを意味する。
なお、接着補助層と層間絶縁層用樹脂組成物層との間には、明確な界面が存在せず、例えば、接着補助層の構成成分の一部が層間絶縁層用樹脂組成物層の中に流動した状態であってもよい。
[Resin film for interlayer insulation layer]
The resin film for interlayer insulation layers of the present invention (hereinafter also simply referred to as “resin film”) is a resin film for interlayer insulation layers having a support, an adhesion auxiliary layer, and a resin composition layer for interlayer insulation layers in this order. The resin composition layer for an interlayer insulating layer contains the resin composition of the present invention. The resin film of the present invention is used for a build-up multilayer printed wiring board, and can form a conductor layer having high adhesive strength on a smooth interlayer insulating layer. In the present invention, “smooth” means that the surface roughness Ra is less than 0.3 μm.
Note that there is no clear interface between the adhesion auxiliary layer and the resin composition layer for interlayer insulation layers. For example, some of the components of the adhesion auxiliary layer are contained in the resin composition layer for interlayer insulation layers. It may be in a fluidized state.

<層間絶縁層用樹脂組成物層>
層間絶縁層用樹脂組成物層は、本発明の樹脂組成物を含有するものであり、本発明の樹脂フィルムを用いて多層プリント配線板を製造する場合において、ラミネートの際に回路基板に直接接し、溶融して、配線パターンに流動して回路基板を埋め込む役割を果たす層である。また、回路基板にスルーホール、ビアホール等が存在する場合、それらの中へ流動して、該ホール内を充填する役割を果たす。
層間絶縁層用樹脂組成物層は、本発明の樹脂組成物を層形成することにより得られる。層形成は、例えば、本発明の樹脂組成物を前記有機溶剤に溶解及び/又は分散してワニスとした後、塗布及び乾燥することで行うことができる。
<Resin composition layer for interlayer insulation layer>
The resin composition layer for an interlayer insulating layer contains the resin composition of the present invention. When a multilayer printed wiring board is produced using the resin film of the present invention, the resin composition layer is in direct contact with the circuit board during lamination. It is a layer that melts and flows into the wiring pattern to embed the circuit board. Further, when there are through holes, via holes, and the like on the circuit board, they flow into them to fill the holes.
The resin composition layer for interlayer insulation layers can be obtained by layering the resin composition of the present invention. Layer formation can be performed by, for example, applying and drying the resin composition of the present invention after dissolving and / or dispersing in the organic solvent to form a varnish.

層間絶縁層用樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板に形成される導体層の厚みによって決定することができるが、導体層の厚さは、通常、5〜70μmであるため、10〜100μmであることが好ましく、多層プリント配線板の薄型化を可能とする観点からは、導体層以上の厚さを有しつつ、15〜80μmであることがより好ましく、20〜50μmであることがさらに好ましい。   Although the thickness of the resin composition layer for interlayer insulation layers can be determined by the thickness of the conductor layer formed on the printed wiring board, the thickness of the conductor layer is usually 5 to 70 μm. 100 μm is preferable, and from the viewpoint of enabling the multilayer printed wiring board to be thinned, it is more preferably 15 to 80 μm, and more preferably 20 to 50 μm while having a thickness equal to or greater than the conductor layer. Further preferred.

<接着補助層>
接着補助層は、ビルドアップ方式によって多層化された多層プリント配線板において、多層化された回路パターン同士を絶縁し、かつ平滑でめっきピール強度を高くする役割を果たす層である。
接着補助層の厚さは、平滑な表面を有し、めっき法によって形成した導体層との接着性が高い層間絶縁層を得る観点から、1〜15μmであることが好ましく、1〜10μmであることがより好ましく、1〜7μmであることがさらに好ましい。
接着補助層は、接着補助層用樹脂組成物を層形成することにより得ることができる。
<Adhesion auxiliary layer>
The adhesion auxiliary layer is a layer that insulates the multilayered circuit patterns from each other in the multilayer printed wiring board that is multilayered by the build-up method, and that plays a role of smooth and high plating peel strength.
The thickness of the adhesion auxiliary layer is preferably 1 to 15 μm from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a smooth surface and high adhesion to a conductor layer formed by plating. Is more preferable, and it is still more preferable that it is 1-7 micrometers.
The adhesion auxiliary layer can be obtained by forming a layer of the resin composition for the adhesion auxiliary layer.

(接着補助層用樹脂組成物)
接着補助層用樹脂組成物は、特に限定されるものではないが、熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。
熱硬化性樹脂として、1分子中に2個以上エポキシ基を有するエポキシ樹脂、ビスマレイミド化合物とジアミン化合物の重合物、シアネートエステル化合物、ビスマレイミド化合物、ビスアリルナジド樹脂、ベンゾオキサジン化合物等が挙げられる。これらの中でも、層間絶縁層用樹脂フィルムの保存安定性の観点から、(i)エポキシ樹脂(以下、「(i)成分」ともいう)、(j)シアネート樹脂(以下、「(j)成分」ともいう)、ビスマレイミド化合物が好ましく、(i)エポキシ樹脂及び(j)シアネート樹脂を含有することがより好ましい。
(Resin composition for adhesion auxiliary layer)
The resin composition for the adhesion auxiliary layer is not particularly limited, but preferably contains a thermosetting resin.
Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule, a polymer of a bismaleimide compound and a diamine compound, a cyanate ester compound, a bismaleimide compound, a bisallyl azide resin, and a benzoxazine compound. Among these, from the viewpoint of storage stability of the resin film for an interlayer insulating layer, (i) epoxy resin (hereinafter also referred to as “(i) component”), (j) cyanate resin (hereinafter referred to as “(j) component”). Bismaleimide compounds are also preferred, and it is more preferred to contain (i) an epoxy resin and (j) a cyanate resin.

<(i)エポキシ樹脂>
(i)エポキシ樹脂としては、特に限定されないが、本発明の樹脂組成物が含有することができる(a)エポキシ樹脂と同様のものが挙げられる。これらの中でも、得られる層間絶縁層のリフロー耐熱性が優れる観点から、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂が好ましく、ビフェニル骨格を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂がより好ましい。
ビフェニル骨格を有するアラルキルノボラック型エポキシ樹脂とは、分子中にビフェニル誘導体の芳香族環を含有するアラルキルノボラック型のエポキシ樹脂をいい、下記一般式(XI)で表される構造単位を含むエポキシ樹脂等が挙げられる。
<(I) Epoxy resin>
(I) Although it does not specifically limit as an epoxy resin, The thing similar to the (a) epoxy resin which the resin composition of this invention can contain is mentioned. Among these, from the viewpoint of excellent reflow heat resistance of the obtained interlayer insulating layer, an aralkyl novolak type epoxy resin is preferable, and an aralkyl novolak type epoxy resin having a biphenyl skeleton is more preferable.
The aralkyl novolak type epoxy resin having a biphenyl skeleton refers to an aralkyl novolak type epoxy resin containing an aromatic ring of a biphenyl derivative in the molecule, and includes an epoxy resin containing a structural unit represented by the following general formula (XI) Is mentioned.

一般式(XI)中、R12は水素原子又はメチル基を示す。 In general formula (XI), R 12 represents a hydrogen atom or a methyl group.

一般式(XI)で表される構造単位を含むエポキシ樹脂中における、一般式(XI)で表される構造単位の含有量は、デスミア後の表面粗さが小さく、めっき法によって形成した導体層との接着強度に優れる層間絶縁層を得る観点から、50〜100質量%であることが好ましく、70〜100質量%であることがより好ましく、80〜100質量%であることがさらに好ましい。
一般式(XI)で表される構造単位を含むエポキシ樹脂は、同様の観点から、下記一般式(XII)で表されるエポキシ樹脂であることが好ましい。
The content of the structural unit represented by the general formula (XI) in the epoxy resin containing the structural unit represented by the general formula (XI) has a small surface roughness after desmearing, and is a conductor layer formed by plating. From the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having excellent adhesive strength, it is preferably 50 to 100% by mass, more preferably 70 to 100% by mass, and further preferably 80 to 100% by mass.
From the same viewpoint, the epoxy resin containing the structural unit represented by the general formula (XI) is preferably an epoxy resin represented by the following general formula (XII).

一般式(XII)中、R13は水素原子又はメチル基を示し、sは1以上の整数を示す。複数のR13同士は、同一であっても異なっていてもよい。
sは、デスミア後の表面粗さを小さくする観点から、1〜20の整数であることが好ましく、1〜10の整数であることがより好ましく、1〜8の整数であることがさらに好ましい。
In general formula (XII), R 13 represents a hydrogen atom or a methyl group, and s represents an integer of 1 or more. The plurality of R 13 may be the same or different.
From the viewpoint of reducing the surface roughness after desmearing, s is preferably an integer of 1 to 20, more preferably an integer of 1 to 10, and further preferably an integer of 1 to 8.

接着補助層用樹脂組成物中における(i)エポキシ樹脂の含有量は、平滑な表面を有し、導体層との接着性が高い層間絶縁層を得る観点から、接着補助層用樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、20〜80質量部であることが好ましく、30〜70質量部であることがより好ましく、40〜60質量部であることがさらに好ましい。   The content of the (i) epoxy resin in the resin composition for the adhesion auxiliary layer is that of the resin composition for the adhesion auxiliary layer from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a smooth surface and high adhesion to the conductor layer. The amount is preferably 20 to 80 parts by mass, more preferably 30 to 70 parts by mass, and still more preferably 40 to 60 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content.

<(j)シアネート樹脂>
(j)シアネート樹脂としては、特に限定されないが、本発明の樹脂組成物が含有することができる(b)シアネート樹脂と同様のものが挙げられる。
接着補助層用樹脂組成物中における(j)シアネート樹脂の含有量は、平滑な表面を有し、導体層との接着性が高い層間絶縁層を得る観点から、接着補助層用樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、5〜50質量部であることが好ましく、10〜40質量部であることがより好ましく、20〜35質量部であることがさらに好ましい。
<(J) Cyanate resin>
(J) Although it does not specifically limit as cyanate resin, The thing similar to (b) cyanate resin which the resin composition of this invention can contain is mentioned.
The content of the (j) cyanate resin in the resin composition for an adhesion auxiliary layer is that the resin composition for the adhesion auxiliary layer has a smooth surface and is obtained from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having high adhesion to the conductor layer. The amount is preferably 5 to 50 parts by mass, more preferably 10 to 40 parts by mass, and still more preferably 20 to 35 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content.

<(k)比表面積が20m/g以上の無機充填材>
接着補助層用樹脂組成物は、(k)比表面積が20m/g以上の無機充填材(以下、単に「(k)無機充填材」又は「(k)成分」ともいう)を含有することが好ましい。
(k)無機充填材は、本発明の樹脂組成物を熱硬化して形成される層間絶縁層をレーザー加工する際に、樹脂の飛散を防止し、レーザー加工の形状を整えることを可能にする観点から重要である。また、層間絶縁層の表面を酸化剤で粗化する際に、適度な粗化面を形成し、めっきによって接着強度に優れる導体層の形成を可能にすることができる。
<(K) Inorganic filler having a specific surface area of 20 m 2 / g or more>
The resin composition for an adhesion auxiliary layer contains (k) an inorganic filler having a specific surface area of 20 m 2 / g or more (hereinafter also simply referred to as “(k) inorganic filler” or “(k) component”). Is preferred.
(K) The inorganic filler makes it possible to prevent the resin from scattering and to adjust the shape of the laser processing when laser processing the interlayer insulating layer formed by thermosetting the resin composition of the present invention. Important from the point of view. In addition, when the surface of the interlayer insulating layer is roughened with an oxidizing agent, it is possible to form an appropriate roughened surface and to form a conductor layer having excellent adhesive strength by plating.

(k)無機充填材としては、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、ホウ酸アルミニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等が挙げられる。これらの中でも、安価である点から、シリカが好ましい。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
また、(k)無機充填材は、耐湿性を向上させるために、シランカップリング剤等の表面処理剤で表面処理している無機充填材であることが好ましい。
(K) As inorganic filler, silica, alumina, barium sulfate, talc, clay, mica powder, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum borate, barium titanate Strontium titanate, calcium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, barium zirconate, calcium zirconate and the like. Among these, silica is preferable because it is inexpensive. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.
In addition, (k) the inorganic filler is preferably an inorganic filler that is surface-treated with a surface treatment agent such as a silane coupling agent in order to improve moisture resistance.

(k)無機充填材は、微細配線を形成する観点から、粒子径が小さいものが好ましい。また、同様の観点から、(k)無機充填材は、比表面積が20m/g以上であり、60〜200m/gであることが好ましく、90〜130m/gであることがより好ましい。
比表面積は、不活性気体の低温低湿物理吸着によるBET法で求めることができる。具体的には、粉体粒子表面に、窒素等の吸着占有面積が既知の分子を液体窒素温度で吸着させ、その吸着量から粉体粒子の比表面積を求めることができる。
(k)無機充填材の形状は、特に限定されず、任意の形状とすることができる。そのため、前述した適度な粗化面の形成、接着強度に優れる導体層の形成等の効果を発現させる観点から、比表面積を上記範囲に調整することが好ましく、特に、後述するヒュームドシリカ、コロイダルシリカ等は、球形でないため、比表面積の規定が重要である。
(K) The inorganic filler preferably has a small particle diameter from the viewpoint of forming fine wiring. From the same viewpoint, (k) the inorganic filler is a specific surface area of 20 m 2 / g or more, preferably 60~200m 2 / g, more preferably 90~130m 2 / g .
The specific surface area can be determined by a BET method by low-temperature low-humidity physical adsorption of an inert gas. Specifically, molecules having a known adsorption occupation area such as nitrogen are adsorbed on the surface of the powder particles at the liquid nitrogen temperature, and the specific surface area of the powder particles can be determined from the amount of adsorption.
(K) The shape of the inorganic filler is not particularly limited, and can be an arbitrary shape. Therefore, it is preferable to adjust the specific surface area to the above range from the viewpoint of expressing the effects such as the formation of the appropriate roughened surface and the formation of the conductor layer having excellent adhesive strength, and particularly, fumed silica, colloidal, which will be described later. Since silica or the like is not spherical, it is important to define the specific surface area.

(k)無機充填材としては、市販品を用いてもよく、ヒュームドシリカである「AEROSIL(アエロジル)(登録商標)R972」(日本アエロジル株式会社製、商品名、比表面積110±20m/g)及び「AEROSIL(アエロジル)(登録商標)R202」(日本アエロジル株式会社製、商品名、比表面積100±20m/g)、コロイダルシリカである「PL−1」(扶桑化学工業株式会社製、商品名、比表面積181m/g)及び「PL−7」(扶桑化学工業株式会社製、商品名、比表面積36m/g)等が挙げられる。これらの中でも、絶縁信頼性及び耐熱性の観点から、(i)エポキシ樹脂中での分散性が良好なものが好ましく、表面を疎水性化処理した日本アエロジル株式会社製の「AEROSIL(アエロジル)(登録商標)R972」(商品名)、同社製「AEROSIL(アエロジル)(登録商標)R202」等が好ましい。 (K) As an inorganic filler, a commercial item may be used, and “AEROSIL (Aerosil) (registered trademark) R972” which is fumed silica (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name, specific surface area 110 ± 20 m 2 / g) and “AEROSIL (registered trademark) R202” (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name, specific surface area 100 ± 20 m 2 / g), “PL-1” which is colloidal silica (manufactured by Fuso Chemical Industries, Ltd.) , Trade name, specific surface area 181 m 2 / g) and “PL-7” (manufactured by Fuso Chemical Industries, trade name, specific surface area 36 m 2 / g). Among these, from the viewpoint of insulation reliability and heat resistance, (i) those having good dispersibility in the epoxy resin are preferable, and “AEROSIL (Aerosil) (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) whose surface has been subjected to a hydrophobic treatment. “Registered trademark” R972 ”(trade name),“ AEROSIL (registered trademark) R202 ”manufactured by the same company, and the like are preferable.

接着補助層用樹脂組成物中における(k)無機充填材の含有量は、接着補助層用樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、3〜40質量部であることが好ましく、5〜30質量部であることがより好ましく、7〜20質量部であることがさらに好ましい。(k)無機充填材の含有量が3質量部以上であると、レーザー加工の際に樹脂飛散を防止し、層間絶縁層のレーザー加工形状を整えることができ、40質量部以下であると、高いめっきピール強度を得ることが可能となる。   The content of the (k) inorganic filler in the resin composition for the adhesion auxiliary layer is preferably 3 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition for the adhesion auxiliary layer. More preferably, it is -30 mass parts, More preferably, it is 7-20 mass parts. (K) When the content of the inorganic filler is 3 parts by mass or more, resin scattering can be prevented during laser processing, and the laser processing shape of the interlayer insulating layer can be adjusted, and when it is 40 parts by mass or less, High plating peel strength can be obtained.

<(m)ポリブタジエン骨格を含有するポリアミド樹脂>
接着補助層用樹脂組成物は、(m)ポリブタジエン骨格を含有するポリアミド樹脂(以下、「(m)ポリアミド樹脂」又は「(m)成分」ともいう)を含有することが好ましい。なお、本発明において「ポリアミド樹脂」とは、主鎖中にアミド結合(−NHCO−)を有する重合体を意味するものであり、アミド結合とイミド結合とを有するポリアミドイミド樹脂であってよいが、イミド結合を有さないポリアミド樹脂であることが好ましい。
<(M) Polyamide resin containing polybutadiene skeleton>
The resin composition for an auxiliary adhesion layer preferably contains (m) a polyamide resin containing a polybutadiene skeleton (hereinafter also referred to as “(m) polyamide resin” or “(m) component”). In the present invention, the “polyamide resin” means a polymer having an amide bond (—NHCO—) in the main chain, and may be a polyamideimide resin having an amide bond and an imide bond. A polyamide resin having no imide bond is preferable.

(m)ポリアミド樹脂としては、下記一般式(XIII)で表される構造単位、下記一般式(XIV)で表される構造単位及び下記一般式(XV)で表される構造単位を含むポリアミド樹脂(以下、「変性ポリアミド樹脂」ともいう)が好ましい。   (M) The polyamide resin includes a structural unit represented by the following general formula (XIII), a structural unit represented by the following general formula (XIV), and a structural unit represented by the following general formula (XV) (Hereinafter also referred to as “modified polyamide resin”) is preferable.

一般式(XIII)〜(XV)中、a、b、c、x、y及びzは、それぞれ平均重合度であって、aは2〜10、bは0〜3、cは3〜30の整数を示し、x=1に対しy+z=2〜300((y+z)/x)であり、さらにy=1に対しz≧20(z/y)である。
R、R’及びR’’は、それぞれ独立に、芳香族ジアミン又は脂肪族ジアミンに由来する2価の基であり、R’’’は、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸又は両末端にカルボキシ基を有するオリゴマーに由来する2価の基である。
In the general formulas (XIII) to (XV), a, b, c, x, y and z are average polymerization degrees, a is 2 to 10, b is 0 to 3, and c is 3 to 30. An integer, y + z = 2 to 300 ((y + z) / x) for x = 1, and z ≧ 20 (z / y) for y = 1.
R, R ′ and R ″ are each independently a divalent group derived from an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and R ′ ″ is an aromatic dicarboxylic acid, an aliphatic dicarboxylic acid or both ends. It is a divalent group derived from an oligomer having a carboxy group.

前記変性ポリアミド樹脂の製造に用いられる芳香族ジアミンとしては、ジアミノベンゼン、ジアミノトルエン、ジアミノフェノール、ジアミノジメチルベンゼン、ジアミノメシチレン、ジアミノニトロベンゼン、ジアミノジアゾベンゼン、ジアミノナフタレン、ジアミノビフェニル、ジアミノジメトキシビフェニル、ジアミノジフェニルエーテル、ジアミノジメチルジフェニルエーテル、メチレンジアミン、メチレンビス(ジメチルアニリン)、メチレンビス(メトキシアニリン)、メチレンビス(ジメトキシアニリン)、メチレンビス(エチルアニリン)、メチレンビス(ジエチルアニリン)、メチレンビス(エトキシアニリン)、メチレンビス(ジエトキシアニリン)、イソプロピリデンジアニリン、ジアミノベンゾフェノン、ジアミノジメチルベンゾフェノン、ジアミノアントラキノン、ジアミノジフェニルチオエーテル、ジアミノジメチルジフェニルチオエーテル、ジアミノジフェニルスルホン、ジアミノジフェニルスルホキシド、ジアミノフルオレン等が挙げられる。
前記変性ポリアミド樹脂の製造に用いられる脂肪族ジアミンとしては、エチレンジアミン、プロパンジアミン、ヒドロキシプロパンジアミン、ブタンジアミン、ヘプタンジアミン、ヘキサンジアミン、ジアミノジエチルアミン、ジアミノプロピルアミン、シクロペンタンジアミン、シクロヘキサンジアミン、アザペンタンジアミン、トリアザウンデカジアミン等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
Examples of the aromatic diamine used in the production of the modified polyamide resin include diaminobenzene, diaminotoluene, diaminophenol, diaminodimethylbenzene, diaminomesitylene, diaminonitrobenzene, diaminodiazobenzene, diaminonaphthalene, diaminobiphenyl, diaminodimethoxybiphenyl, and diaminodiphenyl ether. , Diaminodimethyldiphenyl ether, methylenediamine, methylenebis (dimethylaniline), methylenebis (methoxyaniline), methylenebis (dimethoxyaniline), methylenebis (ethylaniline), methylenebis (diethylaniline), methylenebis (ethoxyaniline), methylenebis (diethoxyaniline) Isopropylidenedianiline, diaminobenzophenone, diamino Methylbenzophenone, diaminoanthraquinone, diaminodiphenyl thioether, diaminodiphenyl dimethyl diphenyl thioether, diaminodiphenyl sulfone, diaminodiphenyl sulfoxide, diaminofluorene and the like.
Aliphatic diamines used in the production of the modified polyamide resin include ethylenediamine, propanediamine, hydroxypropanediamine, butanediamine, heptanediamine, hexanediamine, diaminodiethylamine, diaminopropylamine, cyclopentanediamine, cyclohexanediamine, and azapentanediamine. , Triazaundecadiamine and the like. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

前記変性ポリアミド樹脂の製造に用いられるフェノール性水酸基含有ジカルボン酸としては、ヒドロキシイソフタル酸、ヒドロキシフタル酸、ヒドロキシテレフタル酸、ジヒドロキシイソフタル酸、ジヒドロキシテレフタル酸等が挙げられる。
前記変性ポリアミド樹脂に用いられるフェノール性水酸基を含有しないジカルボン酸としては、芳香族ジカルボン酸、脂肪族ジカルボン酸、両末端にカルボキシ基を有するオリゴマー等が挙げられる。
芳香族ジカルボン酸としては、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ビフェニルジカルボン酸、メチレン二安息香酸、チオ二安息香酸、カルボニル二安息香酸、スルホニル安息香酸、ナフタレンジカルボン酸等が挙げられる。
脂肪族ジカルボン酸としては、シュウ酸、マロン酸、メチルマロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、マレイン酸、フマル酸、りんご酸、酒石酸、(メタ)アクリロイルオキシコハク酸、ジ(メタ)アクリロイルオキシコハク酸、(メタ)アクリロイルオキシりんご酸、(メタ)アクリルアミドコハク酸、(メタ)アクリルアミドりんご酸等が挙げられる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
Examples of the phenolic hydroxyl group-containing dicarboxylic acid used for producing the modified polyamide resin include hydroxyisophthalic acid, hydroxyphthalic acid, hydroxyterephthalic acid, dihydroxyisophthalic acid, and dihydroxyterephthalic acid.
Examples of the dicarboxylic acid containing no phenolic hydroxyl group used in the modified polyamide resin include aromatic dicarboxylic acids, aliphatic dicarboxylic acids, and oligomers having carboxy groups at both ends.
Examples of the aromatic dicarboxylic acid include phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, biphenyl dicarboxylic acid, methylene dibenzoic acid, thiodibenzoic acid, carbonyl dibenzoic acid, sulfonylbenzoic acid, and naphthalenedicarboxylic acid.
Aliphatic dicarboxylic acids include oxalic acid, malonic acid, methylmalonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, maleic acid, fumaric acid, malic acid, tartaric acid, (meth) acryloyloxysuccinic acid, di (meth) acryloyl Examples include oxysuccinic acid, (meth) acryloyloxymalic acid, (meth) acrylamide succinic acid, (meth) acrylamide malic acid, and the like. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

(m)ポリアミド樹脂としては、市販品を用いてもよい。市販品の(m)ポリアミド樹脂としては、日本化薬株式会社製のポリアミド樹脂「BPAM−01」、「BPAM−155」(共に商品名)等が挙げられる。
(m)ポリアミド樹脂としては、表面粗さが小さく、めっき法によって形成した導体層との接着強度に優れる層間絶縁層を得る観点から、「BPAM−01」及び「BPAM−155」が好ましい。「BPAM−155」は、末端にアミノ基を有するゴム変性ポリアミドであり、エポキシ基との反応性を有するため、(m)ポリアミド樹脂として「BPAM−155」を含有する樹脂組成物から得られる層間絶縁層は、めっき法によって形成した導体層との接着強度により優れ、表面粗さが小さくなる傾向にある。
(M) A commercially available product may be used as the polyamide resin. Examples of commercially available (m) polyamide resins include polyamide resins “BPAM-01” and “BPAM-155” (both trade names) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
(M) As the polyamide resin, “BPAM-01” and “BPAM-155” are preferable from the viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having a small surface roughness and excellent adhesion strength with a conductor layer formed by plating. Since “BPAM-155” is a rubber-modified polyamide having an amino group at the terminal and has reactivity with an epoxy group, (m) an interlayer obtained from a resin composition containing “BPAM-155” as a polyamide resin The insulating layer is more excellent in adhesive strength with a conductor layer formed by plating, and the surface roughness tends to be reduced.

(m)ポリアミド樹脂の数平均分子量は、溶剤への溶解性と、ラミネート後の接着補助層の膜厚保持性の観点から、20000〜30000であることが好ましく、22000〜29000であることがより好ましく、24000〜28000であることがさらに好ましい。
(m)ポリアミド樹脂の重量平均分子量は、同様の観点から、100000〜140000であることが好ましく、103000〜130000であることがより好ましく、105000〜120000であることがさらに好ましい。
なお、数平均分子量及び重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)(東ソー株式会社製)により、標準ポリスチレンの検量線を用いて測定したものであり、詳細には、実施例に記載の方法に従って測定したものである。
(M) The number average molecular weight of the polyamide resin is preferably 20000 to 30000, more preferably 22000 to 29000, from the viewpoints of solubility in a solvent and film thickness retention of the adhesion auxiliary layer after lamination. Preferably, it is 24000-28000, and more preferably.
(M) From the same viewpoint, the weight average molecular weight of the polyamide resin is preferably 100,000 to 140,000, more preferably 103,000 to 130,000, and further preferably 105,000 to 120,000.
The number average molecular weight and the weight average molecular weight were measured by gel permeation chromatography (GPC) (manufactured by Tosoh Corporation) using a standard polystyrene calibration curve, and details are described in Examples. It was measured according to the method.

接着補助層用樹脂組成物中における、(m)ポリアミド樹脂の含有量は、接着補助層用樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、3〜13質量部であることが好ましく、3〜10質量部であることがより好ましく、4〜12質量部であることがさらに好ましい。(m)ポリアミド樹脂の含有量が3質量部以上であると、めっき法によって形成した導体層との接着強度が優れる傾向にあり、13質量部以下であると、酸化剤により層間絶縁層を粗化処理した際に、層間絶縁層の表面粗さが大きくなることが抑制される傾向にあり、リフロー耐熱性にも優れる傾向にある。   The content of the (m) polyamide resin in the adhesion auxiliary layer resin composition is preferably 3 to 13 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the adhesion auxiliary layer resin composition. It is more preferably 10 to 10 parts by mass, and further preferably 4 to 12 parts by mass. (M) When the content of the polyamide resin is 3 parts by mass or more, the adhesive strength with a conductor layer formed by a plating method tends to be excellent, and when it is 13 parts by mass or less, the interlayer insulating layer is roughened by an oxidizing agent. When the treatment is performed, the surface roughness of the interlayer insulating layer tends to be suppressed, and the reflow heat resistance tends to be excellent.

<(n)フェノキシ樹脂>
接着補助層用樹脂組成物は、(n)フェノキシ樹脂(以下、「(n)成分」ともいう)を含有することが好ましい。
(n)フェノキシ樹脂としては、特に限定されないが、本発明の樹脂組成物が含有することができる(g)フェノキシ樹脂と同様のものが挙げられる。
接着補助層用樹脂組成物中における、(n)フェノキシ樹脂の含有量は、平滑な表面を有し、めっき法によって形成した導体層との接着性が高い層間絶縁層を得る観点、並びにめっきブリスターの発生を抑制する観点から、接着補助層用樹脂組成物の固形分換算100質量部に対して、1〜20質量部であることが好ましく、2〜15質量部であることがより好ましく、5〜12質量部であることがさらに好ましい。
<(N) Phenoxy resin>
The resin composition for an auxiliary adhesion layer preferably contains (n) a phenoxy resin (hereinafter also referred to as “(n) component”).
(N) Although it does not specifically limit as a phenoxy resin, The thing similar to the (g) phenoxy resin which the resin composition of this invention can contain is mentioned.
The content of (n) phenoxy resin in the resin composition for the adhesion auxiliary layer has a smooth surface, a viewpoint of obtaining an interlayer insulating layer having high adhesion to a conductor layer formed by a plating method, and a plating blister From the viewpoint of suppressing the generation of the above, it is preferably 1 to 20 parts by mass, more preferably 2 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass in terms of solid content of the resin composition for the adhesion auxiliary layer. More preferably, it is -12 mass parts.

接着補助層用樹脂組成物は、本発明の効果を阻害しない範囲で、上記各成分以外の成分を含有していてもよい。その他の成分としては、本発明の樹脂組成物が含有していてもよいその他の成分と同様のものが挙げられる。   The resin composition for an adhesion auxiliary layer may contain components other than the above components as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of the other components include the same components as the other components that may be contained in the resin composition of the present invention.

接着補助層用樹脂組成物は、取り扱いを容易にする観点から、有機溶剤を含有させてワニスの状態にしてもよく、接着補助層用樹脂組成物を構成する各成分は、有機溶剤に溶解又は均一に分散するものであることが好ましい。
有機溶剤としては、特に限定されないが、本発明では、20〜30℃の常温で液体であり、樹脂を溶解する性質を有するものであれば用いることができる。また、熱硬化性樹脂等と反応しない有機溶剤であることが必要であり、フェノール性水酸基を有するクレゾール等は除かれる。
有機溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ、メチルカルビトール、ブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル等を挙げることができる。これらは単独で又は2種以上を混合して使用してもよい。
From the viewpoint of facilitating handling, the resin composition for the adhesion auxiliary layer may contain an organic solvent to be in a varnish state. Each component constituting the resin composition for the adhesion auxiliary layer is dissolved or dissolved in the organic solvent. It is preferable that it is uniformly dispersed.
Although it does not specifically limit as an organic solvent, In this invention, if it is a liquid at normal temperature of 20-30 degreeC and has a property which melt | dissolves resin, it can be used. Moreover, it is necessary to be an organic solvent which does not react with a thermosetting resin etc., and the cresol etc. which have a phenolic hydroxyl group are excluded.
Organic solvents include acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and other ketones; ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, acetate esters such as carbitol acetate; cellosolve, methyl carbitol, butyl Examples thereof include carbitols such as carbitol; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; dimethylformamide, dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, and the like. You may use these individually or in mixture of 2 or more types.

<支持体>
本発明の樹脂フィルムに用いられる支持体としては、特に限定されないが、有機樹脂フィルム、金属箔、離型紙等が挙げられる。
有機樹脂フィルムの材質としては、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル等のポリオレフィン;ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ともいう)、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル;ポリカーボネート、ポリイミドなどが挙げられる。これらの中でも、価格及び取り扱い性の観点から、PETが好ましい。
金属箔としては、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられる。支持体に銅箔を用いる場合には、銅箔をそのまま導体層とし、回路を形成することもできる。
この場合、銅箔としては、圧延銅、電解銅箔等を用いることができる。また、銅箔の厚さは、特に限定されないが、例えば、2〜36μmの厚さを有するものを使用することができる。厚さの薄い銅箔を用いる場合には、作業性を向上させる観点から、キャリア付き銅箔を使用してもよい。
<Support>
Although it does not specifically limit as a support body used for the resin film of this invention, An organic resin film, metal foil, release paper, etc. are mentioned.
Examples of the material for the organic resin film include polyolefin such as polyethylene and polyvinyl chloride; polyester such as polyethylene terephthalate (hereinafter also referred to as “PET”) and polyethylene naphthalate; polycarbonate and polyimide. Among these, PET is preferable from the viewpoints of price and handleability.
Examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil. When copper foil is used for the support, the copper foil can be used as it is as a conductor layer to form a circuit.
In this case, rolled copper, electrolytic copper foil, or the like can be used as the copper foil. Moreover, although the thickness of copper foil is not specifically limited, For example, what has a thickness of 2-36 micrometers can be used. When using thin copper foil, you may use copper foil with a carrier from a viewpoint of improving workability | operativity.

支持体には、マット処理、コロナ処理の他、離型処理を施してあってもよい。
支持体の厚さは、通常、10〜150μmであり、好ましくは25〜50μmである。支持体の厚さを10μm以上とすることにより取扱い性が容易となる。一方、支持体は、通常、最終的に剥離又は除去されるため、省エネ等の観点から150μm以下の厚さとすることが好ましい。
The support may be subjected to release treatment in addition to mat treatment and corona treatment.
The thickness of a support body is 10-150 micrometers normally, Preferably it is 25-50 micrometers. By making the thickness of the support 10 μm or more, the handleability becomes easy. On the other hand, since the support is usually finally peeled or removed, the thickness is preferably 150 μm or less from the viewpoint of energy saving or the like.

<保護フィルム>
本発明の樹脂フィルムは、保護フィルムを有していてもよい。保護フィルムは、本発明の樹脂フィルムの支持体が設けられている面とは反対側の面に設けられるものであり、樹脂フィルムへの異物等の付着及びキズ付きを防止する目的で使用される。保護フィルムは、本発明の樹脂フィルムをラミネート、熱プレス等で回路基板等に積層する前に剥離される。
保護フィルムとしては、特に限定されないが、支持体と同様の材料を用いることができる。保護フィルムの厚さは、特に限定されないが、例えば、1〜40μmの厚さを有するものを使用することができる。
<Protective film>
The resin film of the present invention may have a protective film. The protective film is provided on the surface opposite to the surface on which the resin film support of the present invention is provided, and is used for the purpose of preventing adhesion and scratches of foreign matters to the resin film. . The protective film is peeled off before laminating the resin film of the present invention on a circuit board or the like by laminating or hot pressing.
Although it does not specifically limit as a protective film, The material similar to a support body can be used. Although the thickness of a protective film is not specifically limited, For example, what has a thickness of 1-40 micrometers can be used.

<樹脂フィルムの製造方法>
本発明の樹脂フィルムの製造方法としては、例えば、支持体上にワニスの状態とした接着補助層用樹脂組成物を塗工した後、加熱、熱風吹き付け等により乾燥して、支持体上に接着補助層を形成した後、該接着補助層の上に、ワニスの状態とした本発明の樹脂組成物のワニスを塗工した後、乾燥して、層間絶縁層用樹脂組成物層を形成する方法等が挙げられる。
別の方法としては、例えば、上述の方法で支持体上に接着補助層を形成し、別途、層間絶縁層用樹脂組成物層を剥離可能なフィルムの上に形成し、支持体上に形成された接着補助層と、フィルム上に形成された層間絶縁層用樹脂組成物層とを、接着補助層が形成された面と層間絶縁層用樹脂組成物層が形成された面とが接するようにラミネートする方法等も挙げられる。この場合、層間絶縁層用樹脂組成物層を剥離可能なフィルムは、樹脂フィルムの保護フィルムとしての役割も果たすことができる。
<Method for producing resin film>
As a method for producing the resin film of the present invention, for example, after coating a resin composition for an adhesion auxiliary layer in a varnish state on a support, it is dried by heating, hot air spraying, etc., and adhered onto the support A method of forming a resin composition layer for an interlayer insulating layer after forming an auxiliary layer, coating the varnish of the resin composition of the present invention in a varnish state on the adhesion auxiliary layer, and then drying. Etc.
As another method, for example, an adhesion auxiliary layer is formed on a support by the above-described method, and a resin composition layer for an interlayer insulating layer is separately formed on a peelable film and formed on the support. The adhesion auxiliary layer and the resin composition layer for an interlayer insulating layer formed on the film are arranged such that the surface on which the adhesion auxiliary layer is formed and the surface on which the resin composition layer for the interlayer insulation layer is formed are in contact with each other. The method of laminating etc. is also mentioned. In this case, the film which can peel the resin composition layer for interlayer insulation layers can also play a role as a protective film of a resin film.

本発明の樹脂組成物及び接着補助層用樹脂組成物を塗工する方法としては、特に限定されないが、コンマコーター、バーコーター、キスコーター、ロールコーター、グラビアコーター、ダイコーター等の公知の塗工装置を用いて塗工する方法を適用することができる。塗工装置は、目標とする膜厚に応じて、適宜選択すればよい。   A method for coating the resin composition of the present invention and the resin composition for the adhesion auxiliary layer is not particularly limited, but known coating apparatuses such as a comma coater, a bar coater, a kiss coater, a roll coater, a gravure coater, and a die coater. The method of coating using can be applied. What is necessary is just to select a coating apparatus suitably according to the target film thickness.

本発明の樹脂組成物及び接着補助層用樹脂組成物を塗工した後の乾燥条件としては、特に限定されないが、得られる樹脂フィルム中の有機溶剤の含有量が、10質量%以下となるように乾燥させることが好ましく、5質量%以下となるように乾燥させることがより好ましい。乾燥条件は、本発明の樹脂組成物の温度―溶融粘度曲線にも影響を与えるため、フィルムの取り扱い性を満たすように乾燥条件を設定することが好ましい。
乾燥条件は、ワニス中の有機溶剤の量及び種類によっても異なるが、例えば、30〜80質量%の有機溶剤を含むワニスであれば、50〜150℃で3〜10分間程度乾燥させることにより、樹脂フィルムを形成することができる。
乾燥条件は、簡単な実験により適宜、好適な乾燥条件を設定することが好ましい。
また、樹脂フィルムは、ロール状に巻き取って、保存及び貯蔵することができる。
Although it does not specifically limit as drying conditions after coating the resin composition of this invention, and the resin composition for adhesion auxiliary layers, It is so that content of the organic solvent in the resin film obtained may be 10 mass% or less. It is preferable to dry so that it may become 5 mass% or less. Since the drying conditions also affect the temperature-melt viscosity curve of the resin composition of the present invention, it is preferable to set the drying conditions so as to satisfy the handleability of the film.
The drying conditions vary depending on the amount and type of the organic solvent in the varnish. For example, if the varnish contains 30 to 80% by mass of the organic solvent, by drying at 50 to 150 ° C. for about 3 to 10 minutes A resin film can be formed.
It is preferable to set suitable drying conditions as appropriate by simple experiments.
Moreover, a resin film can be wound up in roll shape and preserve | saved and stored.

[多層プリント配線板]
本発明の多層プリント配線板は、本発明の樹脂組成物又は層間絶縁層用樹脂フィルムの硬化物を含むものである。
本発明の多層プリント配線板は、例えば、本発明の樹脂フィルムを回路基板にラミネートすることにより、製造することができる。具体的には、下記工程(1)〜(6)[但し、工程(3)は任意である。]を含む製造方法により製造することができ、工程(1)、(2)又は(3)の後で支持体を剥離又は除去してもよい。
[Multilayer printed wiring board]
The multilayer printed wiring board of this invention contains the hardened | cured material of the resin composition of this invention, or the resin film for interlayer insulation layers.
The multilayer printed wiring board of the present invention can be produced, for example, by laminating the resin film of the present invention on a circuit board. Specifically, the following steps (1) to (6) [however, step (3) is arbitrary. ], And the support may be peeled off or removed after step (1), (2) or (3).

(1)本発明の樹脂フィルムを回路基板の片面又は両面にラミネートする工程[以下、ラミネート工程(1)と称する]。
(2)ラミネートされた樹脂フィルムを熱硬化し、絶縁層を形成する工程[以下、絶縁層形成工程(2)と称する]。
(3)絶縁層を形成した回路基板に穴あけする工程[以下、穴あけ工程(3)と称する]。
(4)絶縁層の表面を酸化剤によって粗化処理する工程[以下、粗化処理工程(4)と称する]。
(5)粗化された絶縁層の表面にめっきにより導体層を形成する工程[以下、導体層形成工程(5)と称する]。
(6)導体層に回路形成する工程[以下、回路形成工程(6)と称する]。
(1) A step of laminating the resin film of the present invention on one or both sides of a circuit board [hereinafter referred to as laminating step (1)].
(2) A step of thermosetting the laminated resin film to form an insulating layer [hereinafter referred to as an insulating layer forming step (2)].
(3) A step of drilling a circuit board on which an insulating layer is formed [hereinafter referred to as a drilling step (3)].
(4) A step of roughening the surface of the insulating layer with an oxidizing agent [hereinafter referred to as a roughening step (4)].
(5) A step of forming a conductor layer by plating on the surface of the roughened insulating layer [hereinafter referred to as a conductor layer forming step (5)].
(6) A step of forming a circuit on the conductor layer [hereinafter referred to as a circuit forming step (6)].

ラミネート工程(1)は、真空ラミネーターを用いて、本発明の樹脂フィルムを回路基板の片面又は両面にラミネートする工程である。真空ラミネーターとしては、市販品の真空ラミネーターを使用することができる。市販品の真空ラミネーターとしては、ニチゴー・モートン株式会社製のバキュームアップリケーター、株式会社名機製作所製の真空加圧式ラミネーター、株式会社日立製作所製のロール式ドライコーター、日立化成エレクトロニクス株式会社製の真空ラミネーター等が挙げられる。   The laminating step (1) is a step of laminating the resin film of the present invention on one or both sides of the circuit board using a vacuum laminator. A commercially available vacuum laminator can be used as the vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include vacuum applicators manufactured by Nichigo-Morton Co., Ltd., vacuum press laminators manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., roll-type dry coaters manufactured by Hitachi, Ltd., and vacuums manufactured by Hitachi Chemical Electronics Co., Ltd. Laminator etc. are mentioned.

樹脂フィルムに保護フィルムが設けられている場合には、該保護フィルムを剥離又は除去した後、樹脂フィルムの層間絶縁層用樹脂組成物層が回路基板と接するように、加圧及び加熱しながら回路基板に圧着することによりラミネートすることができる。
該ラミネートは、例えば、樹脂フィルム及び回路基板を必要に応じて予備加熱(プレヒート)してから、圧着温度(ラミネート温度)を60〜140℃、圧着圧力を0.1〜1.1MPa(9.8×10〜107.9×10N/m)、空気圧20mmHg(26.7hPa)以下の減圧下で実施することができる。また、ラミネートの方法は、バッチ式であっても、ロールでの連続式であってもよい。
When a protective film is provided on the resin film, after peeling or removing the protective film, the circuit is applied while applying pressure and heating so that the resin composition layer for the interlayer insulating layer of the resin film is in contact with the circuit board. Lamination can be achieved by pressure bonding to the substrate.
In the lamination, for example, a resin film and a circuit board are preheated (preheated) as necessary, and then a pressure bonding temperature (laminating temperature) is 60 to 140 ° C. and a pressure bonding pressure is 0.1 to 1.1 MPa (9. 8 × 10 4 to 107.9 × 10 4 N / m 2 ) and an air pressure of 20 mmHg (26.7 hPa) or less. The laminating method may be a batch method or a continuous method using a roll.

絶縁層形成工程(2)では、まず、ラミネート工程(1)で回路基板にラミネートされた樹脂フィルムを室温付近に冷却する。
支持体を剥離する場合は、剥離した後、回路基板にラミネートされた樹脂フィルムを加熱硬化させて絶縁層、つまり後に「層間絶縁層」となる絶縁層を形成する。
加熱硬化の条件は、150〜220℃で20〜80分間の範囲で選択され、より好ましくは、160〜200℃で30〜120分の範囲で選択される。離型処理の施された支持体を使用した場合には、熱硬化させた後に、支持体を剥離してもよい。
また、熱硬化は2段階に分けてもよく、150℃以下で30分間程度加熱した後、160〜200℃で30〜120分間の範囲で加熱し、硬化させてもよい。
In the insulating layer forming step (2), first, the resin film laminated on the circuit board in the laminating step (1) is cooled to around room temperature.
In the case of peeling the support, after peeling, the resin film laminated on the circuit board is heated and cured to form an insulating layer, that is, an insulating layer that later becomes an “interlayer insulating layer”.
The heat curing conditions are selected in the range of 150 to 220 ° C. for 20 to 80 minutes, and more preferably in the range of 160 to 200 ° C. for 30 to 120 minutes. When a support subjected to a release treatment is used, the support may be peeled off after thermosetting.
Further, the heat curing may be divided into two stages, and after heating for about 30 minutes at 150 ° C. or less, it may be cured by heating at 160 to 200 ° C. for 30 to 120 minutes.

上記の方法により絶縁層を形成した後、必要に応じて穴あけ工程(3)を経てもよい。穴あけ工程(3)は、回路基板及び形成された絶縁層に、ドリル、レーザー、プラズマ、これらの組み合わせ等の方法により穴あけを行い、ビアホール、スルーホール等を形成する工程である。レーザーとしては、炭酸ガスレーザー、YAGレーザー、UVレーザー、エキシマレーザー等が用いられる。
支持体はこの工程(3)の後に剥離してもよい。近年は、レーザーの強度を強くして、短時間で穴あけ加工を行うために、支持体を付けた状態で、炭酸ガスレーザーを用いて穴あけ加工を行い、穴あけの後に支持体フィルムを剥離する傾向がある。
After forming an insulating layer by said method, you may pass through a drilling process (3) as needed. The drilling step (3) is a step of drilling the circuit board and the formed insulating layer by a method such as drill, laser, plasma, or a combination thereof to form a via hole, a through hole, or the like. As the laser, a carbon dioxide laser, YAG laser, UV laser, excimer laser, or the like is used.
The support may be peeled off after this step (3). In recent years, in order to increase the intensity of the laser and perform drilling in a short time, with the support attached, there is a tendency to perform drilling using a carbon dioxide gas laser and peel the support film after drilling There is.

粗化処理工程(4)では、絶縁層の表面を酸化剤により粗化処理を行う。また、絶縁層及び回路基板にビアホール、スルーホール等が形成されている場合には、これらを形成する際に発生する、所謂「スミア」を、酸化剤によって除去してもよい。粗化処理と、スミアの除去は同時に行うことができる。
酸化剤としては、過マンガン酸塩(過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウム等)、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素、硫酸、硝酸等が挙げられる。これらの中でも、ビルドアップ工法による多層プリント配線板の製造における絶縁層の粗化に汎用されている酸化剤である、アルカリ性過マンガン酸溶液(例えば、過マンガン酸カリウム、過マンガン酸ナトリウムの水酸化ナトリウム水溶液)を用いることができる。
粗化処理により、絶縁層の表面に凹凸のアンカーが形成する。
In the roughening treatment step (4), the surface of the insulating layer is roughened with an oxidizing agent. Further, when via holes, through holes, and the like are formed in the insulating layer and the circuit board, so-called “smear” generated when these are formed may be removed by an oxidizing agent. Roughening and smear removal can be performed simultaneously.
Examples of the oxidizing agent include permanganate (potassium permanganate, sodium permanganate, etc.), dichromate, ozone, hydrogen peroxide, sulfuric acid, nitric acid and the like. Among these, an alkaline permanganate solution (for example, potassium permanganate, sodium permanganate hydroxide), which is an oxidizing agent widely used for roughening an insulating layer in the production of multilayer printed wiring boards by the build-up method. Sodium aqueous solution) can be used.
By roughening, irregular anchors are formed on the surface of the insulating layer.

導体層形成工程(5)では、粗化されて凹凸のアンカーが形成された絶縁層の表面に、めっきにより導体層を形成する。
めっき方法としては、無電解めっき法、電解めっき法等が挙げられる。めっき用の金属は、めっきに使用し得る金属であれば特に制限されない。
なお、先に導体層(配線パターン)とは逆パターンのめっきレジストを形成しておき、その後、無電解めっきのみで導体層(配線パターン)を形成する方法を採用することもできる。
導体層の形成後、150〜200℃で20〜90分間アニール処理を施してもよい。アニール処理を施すことにより、層間絶縁層と導体層との間の接着強度がさらに向上及び安定化する傾向にある。
回路形成工程(6)において、導体層をパターン加工し、回路形成する方法としては、サブトラクティブ法、セミアディティブ法(SAP:SemiAdditive Process)等の公知の方法を利用することができる。
In the conductor layer forming step (5), a conductor layer is formed by plating on the surface of the insulating layer that has been roughened and formed with uneven anchors.
Examples of the plating method include an electroless plating method and an electrolytic plating method. The metal for plating is not particularly limited as long as it can be used for plating.
It is also possible to adopt a method in which a plating resist having a pattern opposite to that of the conductor layer (wiring pattern) is formed first, and then the conductor layer (wiring pattern) is formed only by electroless plating.
After forming the conductor layer, an annealing treatment may be performed at 150 to 200 ° C. for 20 to 90 minutes. By performing the annealing treatment, the adhesive strength between the interlayer insulating layer and the conductor layer tends to be further improved and stabilized.
In the circuit forming step (6), a known method such as a subtractive method or a semi-additive process (SAP) can be used as a method for patterning the conductor layer and forming a circuit.

このようにして作製された導体層の表面を粗化してもよい。導体層の表面を粗化することにより、導体層に接する樹脂との密着性が向上する傾向にある。導体層を粗化するには、有機酸系マイクロエッチング剤である「CZ−8100」、「CZ−8101」、「CZ−5480」(全てメック株式会社製、商品名)等を用いることができる。   The surface of the conductor layer thus produced may be roughened. By roughening the surface of the conductor layer, the adhesion with the resin in contact with the conductor layer tends to be improved. In order to roughen the conductor layer, organic acid micro-etching agents “CZ-8100”, “CZ-8101”, “CZ-5480” (all trade names, manufactured by MEC Co., Ltd.) and the like can be used. .

本発明の多層プリント配線板に用いられる回路基板は、特に限定されないが、ガラスエポキシ、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化性ポリフェニレンエーテル基板等の基板の片面又は両面に、パターン加工された導体層(回路)が形成されたものが挙げられる。
また、導体層と絶縁層とが交互に層形成され、片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)を有する多層プリント配線板、上記回路基板の片面又は両面に、本発明の樹脂フィルムから形成された層間絶縁層を有し、その片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)を有するもの、本発明の樹脂フィルムを張り合わせて硬化して形成した硬化物(層構造としては、接着補助層、層間絶縁層用樹脂組成物層、層間絶縁層用樹脂組成物層、接着補助層の順番となる)の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)を有するものなども本発明における回路基板に含まれる。
層間絶縁層の回路基板への接着性の観点からは、回路基板の導体層の表面は、黒化処理等により、予め粗化処理が施されていてもよい。
The circuit board used for the multilayer printed wiring board of the present invention is not particularly limited, but on one or both sides of a substrate such as a glass epoxy, metal substrate, polyester substrate, polyimide substrate, BT resin substrate, thermosetting polyphenylene ether substrate, Examples include a conductor layer (circuit) that has been patterned.
Moreover, the multilayer printed wiring board which has the conductor layer (circuit) by which the conductor layer and the insulating layer were alternately formed, and was patterned on the single side | surface or both surfaces, from the resin film of this invention on the single side | surface or both surfaces of the said circuit board Having a formed interlayer insulation layer, having a conductor layer (circuit) patterned on one or both sides thereof, a cured product formed by laminating and curing the resin film of the present invention (as a layer structure, adhesion An auxiliary layer, a resin composition layer for an interlayer insulating layer, a resin composition layer for an interlayer insulating layer, and a bonding auxiliary layer in this order) have a conductor layer (circuit) patterned on one or both sides of the present invention. In the circuit board.
From the viewpoint of adhesion of the interlayer insulating layer to the circuit board, the surface of the conductor layer of the circuit board may be subjected to a roughening process in advance by a blackening process or the like.

[プリプレグ]
本発明の樹脂組成物を繊維基材に含浸することによって、本発明の樹脂組成物を含有するプリプレグとすることも可能である。
樹脂組成物を繊維基材に含浸する方法としては、特に限定されないが、ホットメルト法、ソルベント法等が挙げられる。
ホットメルト法は、樹脂組成物を、有機溶剤に溶解することなく、樹脂組成物との剥離性の良い塗工紙に樹脂組成物をコーティングし、それを繊維機材にラミネートする方法、又は樹脂組成物を有機溶剤に溶解することなく、ダイコーター等によってシート状補強基材に直接塗工する方法である。
ソルベント法は、樹脂組成物を有機溶剤に溶解してワニスを調製し、このワニスを繊維基材に含浸させる方法である。
含浸後の乾燥条件としては、特に限定されないが、例えば、80〜180℃の温度で1〜10分加熱乾燥し、半硬化(Bステージ化)することで、本発明の樹脂組成物を含有するプリプレグを得ることができる。
[Prepreg]
It is also possible to obtain a prepreg containing the resin composition of the present invention by impregnating the fiber base material with the resin composition of the present invention.
The method for impregnating the fiber base material with the resin composition is not particularly limited, and examples thereof include a hot melt method and a solvent method.
The hot melt method is a method in which a resin composition is coated on a coated paper having good releasability from the resin composition without dissolving the resin composition in an organic solvent, and then laminated on a textile material, or a resin composition In this method, the product is directly applied to the sheet-like reinforcing substrate by a die coater or the like without dissolving the product in an organic solvent.
The solvent method is a method in which a resin composition is dissolved in an organic solvent to prepare a varnish, and the fiber base material is impregnated with the varnish.
Although it does not specifically limit as drying conditions after an impregnation, For example, the resin composition of this invention is contained by heat-drying for 1 to 10 minutes at the temperature of 80-180 degreeC, and semi-hardening (B stage-izing). A prepreg can be obtained.

繊維基材としては、各種の電気絶縁材料用積層板に用いられている周知のものを使用することができる。
繊維基材の材質としては、Eガラス、Dガラス、Sガラス、Qガラス等の無機物繊維;ポリイミド、ポリエステル、テトラフルオロエチレン等の有機繊維;並びにそれらの混合物などが挙げられる。電気絶縁材料用以外の用途では、繊維強化基材に用いられる、炭素繊維等を用いることも可能である。
繊維基材の形状としては、織布、不織布、ロービンク、チョップドストランドマット、サーフェシングマット等の形状が挙げられる。
繊維基材の材質及び形状は、プリプレグの用途、性能等に応じて選択すればよく、必要により、単独又は2種類以上の材質及び形状を組み合わせることができる。
繊維基材の厚さとしては、0.01〜0.5mmであることが好ましく、0.01〜0.2mmであることがより好ましく、0.01〜0.1mmであることがさらに好ましい。
繊維基材は、耐熱性、耐湿性及び加工性の観点から、シランカップリング剤等で表面処理したもの又は機械的に開繊処理を施したものを用いることができる。
As a fiber base material, the well-known thing used for the laminated board for various electrical insulation materials can be used.
Examples of the material of the fiber substrate include inorganic fibers such as E glass, D glass, S glass, and Q glass; organic fibers such as polyimide, polyester, and tetrafluoroethylene; and mixtures thereof. In applications other than those for electrical insulating materials, it is also possible to use carbon fibers or the like used for fiber reinforced substrates.
Examples of the shape of the fiber base material include woven fabrics, nonwoven fabrics, robinks, chopped strand mats, and surfacing mats.
The material and shape of the fiber base material may be selected according to the use, performance, etc. of the prepreg, and can be used alone or in combination of two or more kinds of materials and shapes.
The thickness of the fiber substrate is preferably 0.01 to 0.5 mm, more preferably 0.01 to 0.2 mm, and still more preferably 0.01 to 0.1 mm.
From the viewpoint of heat resistance, moisture resistance, and processability, the fiber base material may be one that has been surface-treated with a silane coupling agent or the like or one that has been mechanically subjected to fiber opening treatment.

本発明の樹脂組成物を含有するプリプレグは、本発明の樹脂フィルムの項で説明した接着補助層を備えていてもよい。接着補助層の好適な態様及び形成方法は本発明の樹脂フィルムにおける場合と同様である。   The prepreg containing the resin composition of the present invention may include the adhesion auxiliary layer described in the section of the resin film of the present invention. The suitable aspect and formation method of an adhesion auxiliary layer are the same as the case in the resin film of this invention.

次に、プリプレグを用いて多層プリント配線板を製造する方法の一例を説明する。
回路基板にプリプレグを1枚又は必要に応じて複数枚重ね、離型フィルムを介して金属プレートで挟み、加圧及び加熱条件下で真空プレスして積層する。プリプレグを複数枚重ねる際、プリプレグが接着補助層を有する場合は、外側に接着補助層が形成されるように、積層することが好ましい。加圧及び加熱条件は、特に限定されないが、例えば、圧力5〜40kgf/cm、温度120〜200℃で20〜100分プレス積層する条件とすることができる。
また、本発明の樹脂フィルムと同様に、プリプレグを真空ラミネート法によって回路基板にラミネートした後、加熱硬化してもよい。その後、本発明の多層プリント配線板の項で記載した方法と同様の方法で、硬化したプリプレグの表面を粗化した後、導体層をめっきによって形成して、多層プリント配線板を製造することができる。
Next, an example of a method for producing a multilayer printed wiring board using a prepreg will be described.
A single prepreg or a plurality of prepregs are stacked on a circuit board, sandwiched between metal plates through a release film, and laminated by pressing under pressure and heating conditions. When stacking a plurality of prepregs, when the prepreg has an adhesion auxiliary layer, it is preferable to laminate the prepreg so that the adhesion auxiliary layer is formed on the outside. The pressurization and heating conditions are not particularly limited. For example, the press lamination can be performed at a pressure of 5 to 40 kgf / cm 2 and a temperature of 120 to 200 ° C. for 20 to 100 minutes.
Similarly to the resin film of the present invention, the prepreg may be laminated on a circuit board by a vacuum laminating method and then heat-cured. Then, after roughening the surface of the cured prepreg in the same manner as described in the section of the multilayer printed wiring board of the present invention, a conductor layer is formed by plating to produce a multilayer printed wiring board. it can.

[1]次に、第1の発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、第1の発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。 [1] Next, the first invention will be described in more detail with reference to examples. However, the first invention is not limited to these examples.

実施例1
エポキシ樹脂として、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂である「NC−3000−H」(日本化薬株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)を25.8質量部、
ノボラック型フェノール樹脂として、「PAPS−PN2」(旭有機材工業株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、Mw/Mn=1.17)を6.3質量部、
エポキシ樹脂硬化剤として、トリアジン変性フェノールノボラック樹脂である「LA−1356−60M」(DIC株式会社製、商品名、溶剤:MEK、固形分濃度60質量%)を4.9質量部、
無機充填材として、「SO−C2」(株式会社アドマテックス製、商品名、平均粒径;0.5μm)の表面をアミノシランカップリング剤で処理し、さらに、MEK中に分散させたシリカ(固形分濃度70質量%)を92.9質量部、
硬化促進剤として、2−エチル−4−メチルイミダゾールである「2E4MZ」(四国化成工業株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)を0.026質量部、
追加溶剤としてMEKを13.1質量部配合し、混合及びビーズミル分散処理を施して接着フィルム用樹脂組成物ワニス1を作製した。
上記で得られた接着フィルム用樹脂組成物ワニス1を、支持体フィルムであるPET(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名:G2、フィルム厚:50μm)上に塗布した後、乾燥して、樹脂組成物層を形成した。なお、塗工厚さは40μmとして、乾燥は、樹脂組成物層中の残留溶剤が8.0質量%になるように行った。乾燥後、樹脂組成物層面側に保護フィルムとして、ポリエチレンフィルム(タマポリ株式会社製、商品名:NF−13、厚さ:25μm)を積層した。その後、得られたフィルムをロール状に巻き取り、接着フィルム1を得た。
Example 1
As an epoxy resin, 25.8 parts by mass of “NC-3000-H” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, solid content concentration: 100% by mass), which is a biphenyl novolac type epoxy resin,
6.3 parts by mass of “PAPS-PN2” (manufactured by Asahi Organic Materials Co., Ltd., trade name, solid content concentration: 100% by mass, Mw / Mn = 1.17) as a novolak type phenolic resin,
As an epoxy resin curing agent, 4.9 parts by mass of “LA-1356-60M” (trade name, solvent: MEK, solid content concentration 60% by mass, manufactured by DIC Corporation), which is a triazine-modified phenol novolac resin,
As an inorganic filler, the surface of “SO-C2” (manufactured by Admatechs Co., Ltd., trade name, average particle size: 0.5 μm) was treated with an aminosilane coupling agent, and further silica (solid) dispersed in MEK. 92.9 parts by mass of a partial concentration of 70% by mass)
As a curing accelerator, 0.026 parts by mass of “2E4MZ” (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name, solid content concentration: 100% by mass), which is 2-ethyl-4-methylimidazole,
As an additional solvent, 13.1 parts by mass of MEK was blended and subjected to mixing and bead mill dispersion treatment to prepare a resin composition varnish 1 for an adhesive film.
The resin composition varnish 1 for an adhesive film obtained above was applied onto a support film PET (manufactured by Teijin DuPont Films, trade name: G2, film thickness: 50 μm), and then dried to obtain a resin. A composition layer was formed. The coating thickness was 40 μm and drying was performed so that the residual solvent in the resin composition layer was 8.0% by mass. After drying, a polyethylene film (manufactured by Tamapoly Co., Ltd., trade name: NF-13, thickness: 25 μm) was laminated as a protective film on the resin composition layer surface side. Then, the obtained film was wound up in roll shape and the adhesive film 1 was obtained.

実施例2〜6、8、比較例1〜6
実施例1において、原料組成、製造条件を表1に記載のとおりに変更した以外は、実施例1と同様にして、接着フィルム2〜6、8〜14を得た。
Examples 2 to 6, 8 and Comparative Examples 1 to 6
In Example 1, adhesive films 2 to 6 and 8 to 14 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the raw material composition and production conditions were changed as described in Table 1.

実施例7
支持体フィルムであるPET(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名:G2、フィルム厚:50μm)の上に、10μmの膜厚になるように、以下の手順で作製した樹脂ワニスAを塗布及び乾燥して得られた60μm厚さの支持体フィルム2を準備した。
Example 7
A resin varnish A produced by the following procedure was applied and dried on a support film PET (manufactured by Teijin DuPont Films, trade name: G2, film thickness: 50 μm) to a thickness of 10 μm. A support film 2 having a thickness of 60 μm was prepared.

上記で使用した樹脂ワニスAは、以下の手順で作製した。
エポキシ樹脂として、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂である「NC−3000−H」(日本化薬株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)を63.9質量部、
エポキシ樹脂硬化剤として、トリアジン変性フェノールノボラック樹脂である「LA−1356−60M」(DIC株式会社製、商品名、溶剤;MEK、固形分濃度60質量%)を18.0質量部、
コアシェルゴム粒子である「EXL−2655」(ローム・アンド・ハース電子材料株式会社製、商品名)を15.2質量部、
無機充填材として、ヒュームドシリカである「アエロジルR972」(日本アエロジル株式会社製、商品名、平均粒径;0.02μm、固形分濃度100質量%)を8.8質量部、
硬化促進剤として、2−エチル−4−メチルイミダゾールである「2E4MZ」(四国化成工業株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)を1.28質量部、
追加溶剤として、シクロヘキサノンを226.1質量部配合し、混合及びビーズミル分散処理を施して樹脂ワニスAを作製した。
上記で得られた樹脂ワニスAを、支持体フィルムであるPET(帝人デュポンフィルム株式会社製、商品名:G2、フィルム厚:50μm)上に、10μmの膜厚になるように塗布した後、乾燥して、フィルム厚が60μmの支持体フィルム2を得た。
The resin varnish A used above was produced by the following procedure.
As an epoxy resin, 63.9 parts by mass of “NC-3000-H” (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, solid content concentration: 100% by mass), which is a biphenyl novolac type epoxy resin,
As an epoxy resin curing agent, 18.0 parts by mass of “LA-1356-60M” (trade name, solvent; MEK, solid content concentration 60% by mass, manufactured by DIC Corporation), which is a triazine-modified phenol novolac resin,
15.2 parts by mass of “EXL-2655” (trade name, manufactured by Rohm and Haas Electronic Materials Co., Ltd.), which is a core-shell rubber particle,
As an inorganic filler, 8.8 parts by mass of fumed silica “Aerosil R972” (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name, average particle size: 0.02 μm, solid content concentration: 100% by mass),
As a curing accelerator, 1.28 parts by mass of “2E4MZ” (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name, solid concentration 100% by mass), which is 2-ethyl-4-methylimidazole,
As an additional solvent, 226.1 parts by mass of cyclohexanone was blended and subjected to mixing and bead mill dispersion treatment to prepare a resin varnish A.
The resin varnish A obtained above was applied to PET (Teijin DuPont Films, trade name: G2, film thickness: 50 μm) as a support film so as to have a film thickness of 10 μm, and then dried. Thus, a support film 2 having a film thickness of 60 μm was obtained.

次に、上記で得た支持体フィルム2上に塗布する接着フィルム用樹脂組成物ワニスを、表1に記載の原料組成、製造条件で、実施例1と同様にして作製した。
支持体フィルム2と、接着フィルム用樹脂組成物ワニスを用いて、実施例1と同様にして接着フィルム7を得た。
Next, the resin composition varnish for an adhesive film applied on the support film 2 obtained above was produced in the same manner as in Example 1 with the raw material composition and production conditions shown in Table 1.
The adhesive film 7 was obtained in the same manner as in Example 1 using the support film 2 and the resin composition varnish for adhesive film.

[評価方法]
得られた接着フィルム1〜14は以下の方法により評価した。
[Evaluation method]
The obtained adhesive films 1 to 14 were evaluated by the following methods.

(接着フィルムの取扱い性試験用試料の作製及び試験方法)
得られた接着フィルム1〜14を500mm×500mmのサイズに切断し、接着フィルムの取扱い性試験用試料1〜14を作製した。
作製した接着フィルムの取扱い性試験用試料1〜14を用いて、次の(1)〜(3)の方法により取扱い性を評価し、いずれかの試験において不良とされたものを「取扱い性不良」、いずれの試験でも不良でなかったものを「取扱い性良好」とした。
(1)接着フィルムの取扱い性試験用試料1〜14について、まず、保護フィルムを剥離した。保護フィルムを剥離する際に、塗布及び乾燥した樹脂が一部、保護フィルム側に付着したもの、又は粉落ちが発生したものを、取扱い性不良とした。
(2)フィルムの中央端2点(500mm×250mmになるように、端部の2点)を持ち、塗布及び乾燥した樹脂に割れが発生したものを、取扱い性不良とした。
(3)表面の銅箔に黒化及び還元処理を施した銅張積層板である「MCL−E−679FG(R)」(日立化成株式会社製、銅箔厚12μm、板厚0.41mm)に、バッチ式の真空加圧式ラミネーター「MVL−500」(株式会社名機製作所製、商品名)を用いてラミネートによって積層した。この際の真空度は30mmHg以下であり、温度は90℃、圧力は0.5MPaの設定とした。室温に冷却後、支持体フィルムを剥がした(接着フィルム7については、支持体フィルム2のうち、PETとその上に形成した樹脂層の間で剥がれた)。この際に、粉落ちが発生したり、PETが途中で破れた材料を取り扱い性不良とした。
(Preparation and test method for adhesive film handling test)
The obtained adhesive films 1 to 14 were cut into a size of 500 mm × 500 mm, and Samples 1 to 14 for handling test of the adhesive film were produced.
Using the samples 1 to 14 for handling test of the produced adhesive film, the handling was evaluated by the following methods (1) to (3). “Anything that was not defective in any of the tests was regarded as“ good handling ”.
(1) About the samples 1-14 for the handleability test of an adhesive film, the protective film was peeled first. When the protective film was peeled off, a part of the applied and dried resin that adhered to the protective film side or a powder that had fallen off was regarded as poor handleability.
(2) A film having two points at the center of the film (two points at the end so as to be 500 mm × 250 mm) and cracking occurred in the applied and dried resin was defined as poor handleability.
(3) "MCL-E-679FG (R)" which is a copper clad laminate obtained by blackening and reducing the surface copper foil (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., copper foil thickness 12 μm, plate thickness 0.41 mm) In addition, lamination was performed by lamination using a batch type vacuum pressure laminator “MVL-500” (trade name, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.). The degree of vacuum at this time was 30 mmHg or less, the temperature was set to 90 ° C., and the pressure was set to 0.5 MPa. After cooling to room temperature, the support film was peeled off (the adhesive film 7 was peeled between PET and the resin layer formed thereon on the support film 2). In this case, a material in which powder falling off or PET was torn in the middle was regarded as poor handleability.

(熱膨張係数測定用試料の作製及び試験方法)
得られた接着フィルム1〜14をそれぞれ200mm×200mmのサイズに切断し、保護フィルムを剥がし、18μm厚さの銅箔に、バッチ式の真空加圧式ラミネーター「MVL−500」(株式会社名機製作所製、商品名)を用いてラミネートによって積層した。この際の真空度は30mmHg以下であり、温度は90℃、圧力は0.5MPaの設定とした。
室温に冷却後、支持体フィルムを剥がし(接着フィルム7については、支持体フィルム2のうち、PETとその上に形成した樹脂層の間で剥がれた)、180℃の乾燥機中で120分間硬化した。その後、塩化第二鉄液で銅箔を除去し、幅3mm、長さ8mmに切り出したものを、熱膨張係数測定用試料1〜14とした。
(Preparation and test method of thermal expansion coefficient measurement sample)
Each of the obtained adhesive films 1 to 14 was cut into a size of 200 mm × 200 mm, the protective film was peeled off, and a batch-type vacuum pressure laminator “MVL-500” (Meiki Seisakusho Co., Ltd.) was applied to a 18 μm thick copper foil. And product name). The degree of vacuum at this time was 30 mmHg or less, the temperature was set to 90 ° C., and the pressure was set to 0.5 MPa.
After cooling to room temperature, the support film is peeled off (for the adhesive film 7, the support film 2 was peeled between PET and the resin layer formed thereon) and cured in a 180 ° C. drier for 120 minutes. did. Thereafter, the copper foil was removed with a ferric chloride solution, and samples cut into a width of 3 mm and a length of 8 mm were used as samples 1 to 14 for measuring the thermal expansion coefficient.

作製した熱膨張係数測定用試料1〜14を用いて、次の方法により熱膨張係数を測定した。
得られた熱膨張係数測定用試料1〜14をセイコーインスツル株式会社製の熱機械分析装置を用い、昇温速度10℃/分で240℃まで昇温させ、−10℃まで冷却後、昇温速度10℃/分で300℃まで昇温させた際の膨張量の変化曲線を得て、該膨張量の変化曲線の0〜150℃の平均熱膨張係数を求めた。
The thermal expansion coefficient was measured by the following method using the produced samples 1 to 14 for measuring the thermal expansion coefficient.
Using the thermomechanical analyzer manufactured by Seiko Instruments Inc., the obtained samples 1 to 14 for measuring the thermal expansion coefficient were heated to 240 ° C. at a heating rate of 10 ° C./min, cooled to −10 ° C. A change curve of the expansion amount when the temperature was raised to 300 ° C. at a temperature rate of 10 ° C./min was obtained, and an average coefficient of thermal expansion of 0 to 150 ° C. of the change curve of the expansion amount was obtained.

(埋め込み性評価基板の作製及び試験方法)
埋め込み性評価基板に使用した内層回路は次のとおりである。銅箔厚が12μm、板厚が0.15mm(銅箔厚を含む)の銅張積層板である「MCL−E−679FG(R)」(日立化成株式会社製、商品名)に直径が0.15mmのスルーホールを5mm間隔で25個×25個の群になるようにドリル穴あけ法によって作製した。次いで、デスミア及び無電解めっきを施し、電解めっきを用いてスルーホール中に電解めっきを施した。
その結果、銅厚を含む板厚が0.2mm、直径が0.1mm、5mm間隔で25個×25個のスルーホールを有する回路基板を得た。
次に、保護フィルムを剥がした接着フィルム1〜14を、樹脂組成物層が回路基板の回路面側と対向するように配置した後、バッチ式の真空ラミネーター「MVL−500」(株式会社名機製作所製、商品名)を用いてラミネートによって積層した。この際の真空度は30mmHgであり、温度は90℃、圧力は0.5MPaの設定とした。
室温に冷却後、両面に接着フィルムが付いたスルーホールを有する回路基板を1mmの厚さのアルミ板2枚で挟み、前記真空ラミネーターを用いてラミネートを行った。この際の真空度は30mmHgであり、温度は90℃、圧力は0.7MPaの設定とした。
室温に冷却後、支持体フィルムを剥がし(接着フィルム7については、支持体フィルム2のうち、PETとその上に形成した樹脂層の間で剥がれた)、180℃の乾燥機中で120分間硬化した。こうして、埋め込み性評価基板1〜14を得た。
(Preparation and test method of embedding evaluation board)
The inner layer circuit used for the embedding evaluation board is as follows. “MCL-E-679FG (R)” (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.), which is a copper clad laminate having a copper foil thickness of 12 μm and a plate thickness of 0.15 mm (including the copper foil thickness), has a diameter of 0. A 15 mm through hole was produced by a drilling method so as to be a group of 25 × 25 at 5 mm intervals. Next, desmearing and electroless plating were performed, and electrolytic plating was performed in the through holes using electrolytic plating.
As a result, a circuit board having a plate thickness including copper thickness of 0.2 mm, a diameter of 0.1 mm, and 25 × 25 through holes at intervals of 5 mm was obtained.
Next, after arranging the adhesive films 1 to 14 with the protective film peeled off so that the resin composition layer faces the circuit surface side of the circuit board, a batch-type vacuum laminator “MVL-500” (name machine Co., Ltd.) (Product name, manufactured by Seisakusho Co., Ltd.). The degree of vacuum at this time was 30 mmHg, the temperature was set to 90 ° C., and the pressure was set to 0.5 MPa.
After cooling to room temperature, a circuit board having through holes with adhesive films on both sides was sandwiched between two aluminum plates having a thickness of 1 mm, and lamination was performed using the vacuum laminator. The degree of vacuum at this time was 30 mmHg, the temperature was set to 90 ° C., and the pressure was set to 0.7 MPa.
After cooling to room temperature, the support film is peeled off (for the adhesive film 7, the support film 2 was peeled between PET and the resin layer formed thereon) and cured in a 180 ° C. drier for 120 minutes. did. Thus, embedding evaluation substrates 1 to 14 were obtained.

作製した埋め込み性評価基板1〜14を用いて、次の方法により埋め込み性を評価した。
株式会社ミツトヨ製の接触式の表面粗さ計「SV2100」(商品名)を用い、埋め込み性評価基板1〜14のスルーホール部分表面の段差を測定した。段差は、スルーホールの表面の中心部分が10個入るように測定し、10個の凹みの平均値を計算した。
Using the fabricated embedding evaluation substrates 1 to 14, embedding properties were evaluated by the following method.
Using a contact-type surface roughness meter “SV2100” (trade name) manufactured by Mitutoyo Corporation, the steps on the surface of the through-hole portions of the embedding property evaluation boards 1 to 14 were measured. The level difference was measured so that 10 central portions of the surface of the through hole could enter, and the average value of the 10 dents was calculated.

表1の成分について以下に示す。
[エポキシ樹脂]
・NC−3000−H:ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)
[ノボラック型フェノール樹脂]
・PAPS−PN2:ノボラック型フェノール樹脂(旭有機材工業株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、Mw/Mn=1.17)
・PAPS−PN3:ノボラック型フェノール樹脂(旭有機材工業株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、Mw/Mn=1.50)
・HP−850:リン酸ではなく塩酸を使用して製造したノボラック型フェノール樹脂(日立化成株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)
[トリアジン変性フェノールノボラック樹脂]
・LA−1356−60M:トリアジン変性フェノールノボラック樹脂(DIC株式会社製、商品名、溶剤;MEK、固形分濃度60質量%)
[無機充填材]
・SO−C2:株式会社アドマテックス製のシリカ「SO−C2」(商品名、平均粒径;0.5μm)の表面をアミノシランカップリング剤で処理し、さらに、MEK溶剤中に分散させたシリカ(固形分濃度70質量%)
・SO−C6:株式会社アドマテックス製のシリカ「SO−C6」(商品名、平均粒径;2.2μm)の表面をアミノシランカップリング剤で処理し、さらに、MEK溶剤中に分散させたシリカ(固形分濃度70質量%)
・アエロジルR972:ヒュームドシリカ(日本アエロジル株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、比表面積:100m/g)
[硬化促進剤]
・2E4MZ:2−エチル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%)
The ingredients in Table 1 are shown below.
[Epoxy resin]
NC-3000-H: biphenyl novolac type epoxy resin (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass)
[Novolac type phenolic resin]
PAPS-PN2: novolak type phenol resin (Asahi Organic Materials Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass, Mw / Mn = 1.17)
PAPS-PN3: Novolak type phenol resin (Asahi Organic Materials Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass, Mw / Mn = 1.50)
HP-850: Novolac-type phenolic resin manufactured using hydrochloric acid instead of phosphoric acid (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass)
[Triazine-modified phenol novolac resin]
LA-1356-60M: triazine-modified phenol novolac resin (manufactured by DIC Corporation, trade name, solvent; MEK, solid content concentration 60 mass%)
[Inorganic filler]
SO-C2: Silica “SO-C2” (trade name, average particle size: 0.5 μm) manufactured by Admatechs Co., Ltd., treated with an aminosilane coupling agent and further dispersed in a MEK solvent (Solid concentration 70% by mass)
SO-C6: Silica “SO-C6” (trade name, average particle size: 2.2 μm) manufactured by Admatechs Co., Ltd., treated with an aminosilane coupling agent and further dispersed in a MEK solvent (Solid concentration 70% by mass)
Aerosil R972: fumed silica (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass, specific surface area: 100 m 2 / g)
[Curing accelerator]
2E4MZ: 2-ethyl-4-methylimidazole (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass)

表1から、本発明の接着フィルムは、取扱い性が良好であり、本発明の接着フィルムから、熱膨張係数が低く、埋め込み性に優れる層間絶縁層が得られることが分かる。
一方、本発明の接着フィルムを用いなかった場合、取扱い性、熱膨張係数、埋め込み性のいずれかが劣っていた。
すなわち、第1の発明によれば、熱膨張係数が低く、埋め込み性に優れ、取扱い性に優れる接着フィルムを提供できることが分かる。
From Table 1, it can be seen that the adhesive film of the present invention has good handleability, and an interlayer insulating layer having a low thermal expansion coefficient and excellent embedding property can be obtained from the adhesive film of the present invention.
On the other hand, when the adhesive film of the present invention was not used, any of handleability, thermal expansion coefficient, and embeddability was inferior.
That is, according to the first invention, it can be seen that an adhesive film having a low thermal expansion coefficient, excellent embedding property, and excellent handleability can be provided.

[2]次に、第2の発明を参考例により、さらに詳細に説明するが、第2の発明は、これらの例によってなんら限定されるものではない。 [2] Next, the second invention will be described in more detail with reference examples. However, the second invention is not limited to these examples.

シアネートプレポリマーの重量平均分子量及びポリアミド樹脂の重量平均分子量及び数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により、標準ポリスチレンを用いた検量線から換算して求めた。検量線は、標準ポリスチレン:TSKgel(SuperHZ2000、SuperHZ3000[東ソー株式会社製])を用いて3次式で近似した。GPCの条件を、以下に示す。
・装置:ポンプ:880−PU[日本分光株式会社製]
RI検出器:830−RI[日本分光株式会社製]
恒温槽:860−CO[日本分光株式会社製]
オートサンプラー:AS−8020[東ソー株式会社製]
・溶離液:テトラヒドロフラン
・試料濃度:30mg/5mL
・注入量:20μL
・流量:1.00mL/分
・測定温度:40℃
The weight average molecular weight of the cyanate prepolymer and the weight average molecular weight and number average molecular weight of the polyamide resin were determined by conversion from a calibration curve using standard polystyrene by gel permeation chromatography (GPC). The calibration curve was approximated by a cubic equation using standard polystyrene: TSKgel (SuperHZ2000, SuperHZ3000 [manufactured by Tosoh Corporation]). The GPC conditions are shown below.
・ Device: Pump: 880-PU [manufactured by JASCO Corporation]
RI detector: 830-RI [manufactured by JASCO Corporation]
Thermostatic bath: 860-CO [manufactured by JASCO Corporation]
Autosampler: AS-8020 [manufactured by Tosoh Corporation]
・ Eluent: Tetrahydrofuran ・ Sample concentration: 30 mg / 5 mL
・ Injection volume: 20μL
・ Flow rate: 1.00 mL / min ・ Measurement temperature: 40 ° C.

[シアネートプレポリマーの合成]
製造例1
(シアネートプレポリマーAの合成)
ディーンスターク還流冷却器、温度計及び撹拌器を備えた5Lのセパラブルフラスコに、ビスフェノールA型の2官能のシアネート樹脂である「アロシー(AroCy)B−10」(ハンツマン社製、商品名、分子量278)を3000g、p−(α−クミル)フェノール(パラクミルフェノール)(三井化学ファイン株式会社製、商品名、分子量212)を45.8g、トルエンを1303g投入して反応溶液とした。反応溶液の昇温を開始し、反応溶液の温度が90℃になるまで撹拌した。90℃に到達した時点で、ナフテン酸亜鉛(和光純薬工業株式会社製、商品名、固形分濃度8質量%、ミネラルスピリット溶液カット品)を反応溶液に2.799g添加した。その後、さらに110℃に昇温し、110℃で180分間撹拌させた。続いて、反応溶液の固形分濃度が70質量%になるようにトルエンを追加配合することによって、トルエンに溶解したシアネートプレポリマーA(重量平均分子量:8230)(以下、単に「プレポリマーA」ともいう)を作製した。
[Synthesis of cyanate prepolymer]
Production Example 1
(Synthesis of cyanate prepolymer A)
In a 5 L separable flask equipped with a Dean-Stark reflux condenser, a thermometer, and a stirrer, “AroCy B-10”, a bisphenol A type bifunctional cyanate resin (manufactured by Huntsman, trade name, molecular weight) 278), p- (α-cumyl) phenol (paracumylphenol) (trade name, molecular weight 212, manufactured by Mitsui Chemicals Fine Co., Ltd.), 45.8 g, and 1303 g of toluene were added to obtain a reaction solution. The temperature of the reaction solution was raised and stirred until the temperature of the reaction solution reached 90 ° C. When the temperature reached 90 ° C., 2.799 g of zinc naphthenate (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., trade name, solid content concentration 8 mass%, mineral spirit solution cut product) was added to the reaction solution. Thereafter, the temperature was further raised to 110 ° C., and the mixture was stirred at 110 ° C. for 180 minutes. Subsequently, cyanate prepolymer A (weight average molecular weight: 8230) dissolved in toluene (hereinafter simply referred to as “prepolymer A”) was added by further adding toluene so that the solid content concentration of the reaction solution was 70% by mass. Said).

[支持体付き接着補助層の製造方法]
製造例2
表2に示す各成分を配合した後、樹脂成分が溶解するまで撹拌し、ビーズミル処理によって分散することによって、接着補助層用ワニスを得た。
上記で得られた接着補助層用ワニスを、厚さ38μmの離型処理されたPETフィルム上にダイコーターを用いて塗工し、130℃で2分間乾燥させることで、接着補助層の膜厚が4μmの支持体付き接着補助層を得た。使用した原料を表2に示す。
[Method for producing adhesion auxiliary layer with support]
Production Example 2
After blending each component shown in Table 2, the resin component was stirred until dissolved, and dispersed by bead mill treatment to obtain a varnish for an auxiliary adhesion layer.
The adhesion auxiliary layer varnish obtained above is coated on a 38 μm-thick release PET film using a die coater and dried at 130 ° C. for 2 minutes, whereby the film thickness of the adhesion auxiliary layer is obtained. Obtained an auxiliary adhesion layer with a support of 4 μm. The raw materials used are shown in Table 2.

接着補助層用樹脂ワニスの配合に用いた材料を下記に示す。
[(i)成分]
・NC−3000−H:ビフェニルアラルキル構造含有のノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、エポキシ当量:289g/eq)
[(j)成分]
・BA230S75:シアネート樹脂のプレポリマー「プリマセット(Primaset)BA230S75」(ロンザ社製、商品名、固形分濃度75質量%、MEKカット品)
[(k)成分]
・アエロジルR972:ヒュームドシリカ(日本アエロジル株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、比表面積:100m/g)
[(m)成分]
・BPAM−155:末端にアミノ基を有するゴム変性ポリアミド樹脂(日本化薬株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、数平均分子量:26000、重量平均分子量:110000)。なお、BPAM−155は、予めジメチルアセトアミドに固形分濃度が10質量%になるように溶解した状態で添加した。
[(n)成分]
・YX1256B40:フェノキシ樹脂(三菱化学株式会社製、商品名、固形分濃度40質量%、MEKカット品)
[硬化促進剤]
・硬化促進剤1:特開2011−179008号公報を参考にして合成したトリブチルホスフィンと1,4−ベンゾキノンの付加反応物(固形分濃度100質量%)
The materials used for blending the resin varnish for the adhesion auxiliary layer are shown below.
[(I) component]
NC-3000-H: a novolak type epoxy resin containing a biphenyl aralkyl structure (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, solid content concentration: 100% by mass, epoxy equivalent: 289 g / eq)
[(J) component]
BA230S75: Cyanate resin prepolymer “Primaset BA230S75” (Lonza, trade name, solid content 75% by mass, MEK cut product)
[(K) component]
Aerosil R972: fumed silica (manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., trade name, solid content concentration 100% by mass, specific surface area: 100 m 2 / g)
[(M) component]
BPAM-155: Rubber-modified polyamide resin having an amino group at the terminal (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, solid concentration 100 mass%, number average molecular weight: 26000, weight average molecular weight: 110000). BPAM-155 was added in a state of being dissolved in dimethylacetamide so that the solid content concentration was 10% by mass in advance.
[(N) component]
YX1256B40: Phenoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation, trade name, solid concentration 40% by mass, MEK cut product)
[Curing accelerator]
Curing accelerator 1: addition reaction product of tributylphosphine and 1,4-benzoquinone synthesized with reference to JP 2011-179008 A (solid content concentration: 100% by mass)

[層間絶縁層用樹脂フィルムの作製]
参考例1
表3に示す各成分を配合した後、樹脂成分が溶解するまで撹拌した。次いで、ビーズミル処理によって分散し、層間絶縁層用樹脂組成物ワニス1を得た。
次に、製造例2で得られた支持体付き接着補助層の接着補助層の上に、層間絶縁層用樹脂組成物ワニス1をダイコーターを用いて塗工し、100℃で1.5分間乾燥させることで、膜厚が36μmの層間絶縁層用樹脂組成物層を形成し、層間絶縁層用樹脂フィルム1を得た。
[Preparation of resin film for interlayer insulation layer]
Reference example 1
After blending each component shown in Table 3, the mixture was stirred until the resin component was dissolved. Subsequently, it disperse | distributed by the bead mill process and the resin composition varnish 1 for interlayer insulation layers was obtained.
Next, on the adhesion auxiliary layer of the adhesion auxiliary layer with support obtained in Production Example 2, the interlayer insulating layer resin composition varnish 1 was applied using a die coater, and the mixture was heated at 100 ° C. for 1.5 minutes. By drying, the resin composition layer for interlayer insulation layers whose film thickness is 36 micrometers was formed, and the resin film 1 for interlayer insulation layers was obtained.

参考例2〜10、及び比較参考例1〜5
参考例1において、層間絶縁層用樹脂組成物ワニスの組成を表3に示す組成に変更した以外は、参考例1と同様にして、層間絶縁層用樹脂フィルムを得た。
Reference Examples 2 to 10 and Comparative Reference Examples 1 to 5
A resin film for an interlayer insulating layer was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except that the composition of the resin composition varnish for the interlayer insulating layer was changed to the composition shown in Table 3 in Reference Example 1.

各例で得られた樹脂フィルムを用いて、下記の方法に従って各種試験を行い、評価した。   Using the resin film obtained in each example, various tests were conducted according to the following methods and evaluated.

(支持体付き硬化後の外観評価)
支持体(PET)付き硬化後の外観評価を下記の手順で行った。
まず、各例で得られた樹脂フィルムを200mm角に切り出した後、保護フィルムを剥がし、層間絶縁層用樹脂組成物層がプリント配線板の回路面と対向するように配置した後、ラミネートを行った。
プリント配線板は35μm厚の銅層を有する銅張積層板「MCL−E−679FG」(日立化成株式会社製、商品名)に、サブトラクティブ法にて、残銅率0〜95%の任意の回路加工がされたものを使用した。
また、ラミネート装置は真空加圧式ラミネーター「MVLP−500/600IIA」(株式会社名機製作所製、商品名)を用いて行い、110℃で30秒間真空引きをした後、0.5MPaで30秒間加圧した。その後、110℃で60秒間、0.5MPaでホットプレスを行った。
次に、室温に冷却後、支持体であるPETフィルムを付けたまま、130℃で20分間、次いで、180℃で40分間、防爆乾燥機中で硬化を行い、支持体付き硬化後の外観評価基板を作製した。
外観評価は目視にて行い、評価基板の表裏において、層間絶縁層とプリント配線板との間にボイド又は剥離が見られない場合を「OK」、ボイド又は剥離が1箇所以上ある場合を「NG」とした。結果を表3に示す。
(Appearance evaluation after curing with support)
Appearance evaluation after curing with a support (PET) was performed according to the following procedure.
First, after cutting out the resin film obtained in each example into a 200 mm square, the protective film is peeled off, and the resin composition layer for the interlayer insulating layer is disposed so as to face the circuit surface of the printed wiring board, and then laminated. It was.
The printed wiring board is a copper-clad laminate “MCL-E-679FG” (trade name, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) having a copper layer with a thickness of 35 μm. A circuit processed product was used.
The laminating apparatus is a vacuum pressurizing laminator “MVLP-500 / 600IIA” (trade name, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), evacuated at 110 ° C. for 30 seconds, and then applied at 0.5 MPa for 30 seconds. Pressed. Thereafter, hot pressing was performed at 110 ° C. for 60 seconds and at 0.5 MPa.
Next, after cooling to room temperature, with the PET film as a support attached, curing was performed in an explosion-proof dryer at 130 ° C. for 20 minutes, then at 180 ° C. for 40 minutes, and appearance evaluation after curing with the support A substrate was produced.
Appearance evaluation is performed visually. “OK” indicates that no voids or peeling is observed between the interlayer insulating layer and the printed wiring board on the front and back of the evaluation board, and “NG” indicates that there is one or more voids or peeling. " The results are shown in Table 3.

(スミア除去性の評価方法)
各例で得られた樹脂フィルムについて、以下の手順(1)〜(6)に従って、スミア(樹脂残渣)除去性の評価を行った。結果を表3に示す。
(Smear removal evaluation method)
The resin film obtained in each example was evaluated for smear (resin residue) removability according to the following procedures (1) to (6). The results are shown in Table 3.

(1)回路基板の作製
ガラス布基材エポキシ樹脂の両面銅張積層板(日立化成株式会社製、商品名:MCL−E−700G(R)、銅箔の厚さ12μm、基材厚み0.4mm)の両面に、エッチングにより回路パターンを形成し、さらにメック株式会社製「メックエッチボンドC(登録商標)CZ8101」を用いて粗化処理を行った。さらに、メック株式会社製「メックエッチボンド(登録商標)CL−8301」を用いて防錆処理を行った。これにより、回路基板を作製した。
(2)樹脂フィルムの積層方法
各例で作製した樹脂フィルムから保護フィルムを剥がし、層間絶縁層用樹脂組成物層が回路基板の回路面側になるように配置して、バッチ式真空加圧ラミネーター「MVLP−500」(株式会社名機製作所製、商品名)を用いて、(1)で作製した回路基板の両面に積層した。ラミネートは30秒間減圧して、気圧を15hPa以下とした後、100℃で30秒間、圧力0.5MPaで圧着させることにより行った。
(3)層間絶縁層の形成
(2)で得られた試料を室温に冷却した後、支持体(PETフィルム)を剥離した。その後、130℃で20分間、次いで、180℃で40分間加熱し、層間絶縁層用樹脂組成物層を硬化して層間絶縁層を形成した。
(4)ビアホールの形成方法
ビアメカニクス株式会社製のCOレーザー加工機「LC−2F21B」を使用して、周波数2000kHz、パルス幅が15μs、ショット数4のバーストモードで層間絶縁層を加工して、層間絶縁層表面におけるビアホールのトップ径(直径)が70μm、層間絶縁層底面におけるビアホール底部の直径が60μmのビアホールを形成した(テーパ率(ビアボトム/ビアトップ)は約86%)。
(5)デスミア処理方法
(4)で得られた試料を、70℃に加温した膨潤液「スウェリングディップセキュリガントP」(アトテックジャパン株式会社製)に10分間浸漬処理した。次に、80℃に加温した粗化液「コンセントレートコンパクトCP」(アトテックジャパン株式会社製)に10分間浸漬処理し、引き続き、40℃に加温した中和液「リダクション セキュリガント P500」(アトテックジャパン株式会社製)に5分間浸漬処理して中和した。これによって、デスミア処理済み基板を得た。
(6)スミア除去性の評価方法
デスミア処理後のビアホール底部の周囲を走査型電子顕微鏡(SEM)(株式会社日立製作所製、商品名:S−4700)を用いて観察し、得られた画像からビアホール底部の壁面からの最大スミア長を測定した。
(1) Production of Circuit Board Double-sided copper-clad laminate of glass cloth base epoxy resin (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: MCL-E-700G (R), copper foil thickness 12 μm, base material thickness 0. 4 mm), a circuit pattern was formed by etching, and a roughening treatment was performed using “MEC Etch Bond C (registered trademark) CZ8101” manufactured by MEC Co., Ltd. Furthermore, a rust prevention treatment was performed using “MEC Etch Bond (registered trademark) CL-8301” manufactured by MEC Co., Ltd. This produced the circuit board.
(2) Laminating method of resin film The protective film is peeled off from the resin film produced in each example, and the resin composition layer for the interlayer insulating layer is disposed on the circuit surface side of the circuit board. Using “MVLP-500” (trade name, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), it was laminated on both surfaces of the circuit board produced in (1). Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 15 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. for 30 seconds at a pressure of 0.5 MPa.
(3) Formation of interlayer insulation layer After cooling the sample obtained in (2) to room temperature, the support (PET film) was peeled off. Thereafter, heating was performed at 130 ° C. for 20 minutes, and then at 180 ° C. for 40 minutes to cure the resin composition layer for an interlayer insulating layer to form an interlayer insulating layer.
(4) Via hole formation method Using a CO 2 laser processing machine “LC-2F21B” manufactured by Via Mechanics Co., Ltd., processing the interlayer insulating layer in a burst mode with a frequency of 2000 kHz, a pulse width of 15 μs, and a shot number of 4 A via hole having a via hole top diameter (diameter) of 70 μm on the surface of the interlayer insulating layer and a via hole bottom diameter of 60 μm on the bottom surface of the interlayer insulating layer was formed (taper rate (via bottom / via top) is about 86%).
(5) Desmear treatment method The sample obtained in (4) was immersed in a swelling liquid “Swelling Dip Securigant P” (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) heated to 70 ° C. for 10 minutes. Next, it was immersed for 10 minutes in the roughening solution “Concentrate Compact CP” (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) heated to 80 ° C., and subsequently neutralized “Reduction Securigant P500” (40 ° C.) ( The solution was neutralized by immersion in Atotech Japan Co., Ltd. for 5 minutes. Thus, a desmeared substrate was obtained.
(6) Evaluation method of smear removability The periphery of the via hole bottom after desmear treatment was observed using a scanning electron microscope (SEM) (manufactured by Hitachi, Ltd., trade name: S-4700), and from the obtained image The maximum smear length from the wall surface at the bottom of the via hole was measured.

(誘電正接)
各例で得られた樹脂フィルムを190℃で90分間加熱することで熱硬化させた後、支持体を剥離することによりシート状の硬化物を得た。該硬化物を、長さ80mm、幅2mmに切り出したものを評価サンプルとした。この評価サンプルについてアジレントテクノロジーズ(Agilent Technologies)社製の「HP8362B」を用い、空洞共振摂動法により、測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。結果を表3に示す。
(Dielectric loss tangent)
The resin film obtained in each example was thermally cured by heating at 190 ° C. for 90 minutes, and then the support was peeled to obtain a sheet-like cured product. A sample obtained by cutting the cured product into a length of 80 mm and a width of 2 mm was used as an evaluation sample. The dielectric loss tangent of this evaluation sample was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23 ° C. by a cavity resonance perturbation method using “HP8362B” manufactured by Agilent Technologies. The results are shown in Table 3.

(リフロー耐熱性の評価方法)
各層間絶縁層用樹脂フィルムについて、以下の手順でリフロー耐熱性の評価を行った。結果を表3に示す。
(1)回路基板の作製
ガラス布基材エポキシ樹脂の両面銅張積層板(日立化成株式会社製、商品名:MCL−E−700G(R)、銅箔の厚さ12μm、基材厚み0.4mm)の両面に、エッチングにより回路パターンを形成し、さらにメック株式会社製「メックエッチボンドC(登録商標)CZ8101」を用いて粗化処理を行った。さらに、メック株式会社製「メックエッチボンド(登録商標)CL−8301」を用いて防錆処理を行った。これにより、回路基板を作製した。なお、回路パターンの残銅率は80〜100%のものを使用した。
(2)樹脂フィルムの積層方法
各例で作製した樹脂フィルムから保護フィルムを剥がし、層間絶縁層用樹脂組成物層が回路基板の回路面側になるように配置して、バッチ式真空加圧ラミネーター「MVLP−500」(株式会社名機製作所製、商品名)を用いて、(1)で作製した回路基板の両面に積層した。ラミネートは30秒間減圧して、気圧を15hPa以下とした後、100℃で30秒間、圧力0.5MPaで圧着させることにより行った。
(3)層間絶縁層の形成
(2)で得られた試料を室温に冷却した後、支持体(PETフィルム)を付けたまま、130℃で20分間、次いで、180℃で40分間加熱し、層間絶縁層用樹脂組成物層を硬化して、層間絶縁層を形成した。硬化後、支持体を剥離した。
(4)デスミア処理方法
(3)で得られた試料を、70℃に加温した膨潤液「スウェリングディップセキュリガントP」(アトテックジャパン株式会社製)に10分間浸漬処理した。次に、80℃に加温した粗化液「コンセントレートコンパクトCP」(アトテックジャパン株式会社製)に20分間浸漬処理し、引き続き、40℃に加温した中和液「リダクション セキュリガント P500」(アトテックジャパン株式会社製)に5分間浸漬処理して中和した。
(5)無電解めっき及び電気めっき
クリーナーとして「クリーナーセキュリガント902」(アトテックジャパン株式会社製)に60℃で5分間浸漬処理し、次いで、プリディップとして「プリディップネオガントB」(アトテックジャパン株式会社製)に25℃で2分間、シーダーとして「アクチベーターネオガント834」に40℃で5分間、リデューサーとして「リデューサーネオガントWA」に30℃で5分間、無電解めっきとして「MSK−DK」に30℃で30分間浸漬処理を施し、200〜250nmの無電解めっき層を形成した。さらに硫酸銅めっき浴にて、2A/dmの電流密度にて、めっき厚み25〜30μmの電気めっき層を形成した。
次いで、得られた電気めっき後の基板を40mm角に切り出し、耐熱性評価用基板を各10枚作製した。
リフロー装置は、株式会社タムラ製作所製のエアーリフローシステム(型番:TAR−30−366PN)を用い、リフロー装置内を最大で260℃になるように設定したものを用いた。上記で得られた耐熱性評価用基板を、リフロー装置に最大で200回通し、膨れが発生するまでの通過回数を調べ、試料10枚の平均値を平均リフロー通過回数とした。
(Reflow heat resistance evaluation method)
About each resin film for interlayer insulation layers, reflow heat resistance was evaluated in the following procedures. The results are shown in Table 3.
(1) Production of Circuit Board Double-sided copper-clad laminate of glass cloth base epoxy resin (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: MCL-E-700G (R), copper foil thickness 12 μm, base material thickness 0. 4 mm), a circuit pattern was formed by etching, and a roughening treatment was performed using “MEC Etch Bond C (registered trademark) CZ8101” manufactured by MEC Co., Ltd. Furthermore, a rust prevention treatment was performed using “MEC Etch Bond (registered trademark) CL-8301” manufactured by MEC Co., Ltd. This produced the circuit board. The remaining copper ratio of the circuit pattern was 80 to 100%.
(2) Laminating method of resin film The protective film is peeled off from the resin film produced in each example, and the resin composition layer for the interlayer insulating layer is disposed on the circuit surface side of the circuit board. Using “MVLP-500” (trade name, manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.), it was laminated on both surfaces of the circuit board produced in (1). Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to a pressure of 15 hPa or less, and then pressure bonding at 100 ° C. for 30 seconds at a pressure of 0.5 MPa.
(3) Formation of interlayer insulating layer After cooling the sample obtained in (2) to room temperature, with the support (PET film) attached, it was heated at 130 ° C for 20 minutes, then at 180 ° C for 40 minutes, The resin composition layer for an interlayer insulating layer was cured to form an interlayer insulating layer. After curing, the support was peeled off.
(4) Desmear treatment method The sample obtained in (3) was immersed in a swelling solution “Swelling Dip Securigant P” (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) heated to 70 ° C. for 10 minutes. Next, it was immersed in a roughening solution “Concentrate Compact CP” (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) heated to 80 ° C. for 20 minutes, and subsequently neutralized solution “Reduction Securigant P500” (40 ° C.) ( The solution was neutralized by immersion in Atotech Japan Co., Ltd. for 5 minutes.
(5) Electroless plating and electroplating Dipping treatment at 60 ° C. for 5 minutes in “Cleaner Secure Gantt 902” (manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) as a cleaner, then “Predip Neo Gantt B” (Atotech Japan Co., Ltd.) as a pre-dip (Made by company) for 2 minutes at 25 ° C, "Activator Neo Gantt 834" as a seeder for 5 minutes at 40 ° C, "Reducer Neogant WA" as a reducer for 5 minutes at 30 ° C, "MSK-DK" as electroless plating Was subjected to an immersion treatment at 30 ° C. for 30 minutes to form an electroless plating layer having a thickness of 200 to 250 nm. Further, an electroplating layer having a plating thickness of 25 to 30 μm was formed in a copper sulfate plating bath at a current density of 2 A / dm 2 .
Next, the obtained electroplated substrate was cut into 40 mm squares, and 10 heat resistance evaluation substrates were produced.
As the reflow device, an air reflow system (model number: TAR-30-366PN) manufactured by Tamura Seisakusho Co., Ltd. was used, and the reflow device set to a maximum of 260 ° C. was used. The heat resistance evaluation substrate obtained above was passed through a reflow apparatus 200 times at maximum, and the number of passes until swelling occurred was examined, and the average value of 10 samples was taken as the average number of reflow passes.

表3の成分について以下に示す。
[(a)成分]
・N673:クレゾールノボラック型のエポキシ樹脂「エピクロン(登録商標)N673」(DIC株式会社製、商品名、エポキシ当量:210g/eq、固形分濃度100質量%)
・NC−7000−L:ナフタレン骨格を含有するノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、エポキシ当量:231g/eq)
・840S:ビスフェノールA型の液状エポキシ樹脂「エピクロン(登録商標)840S」(DIC株式会社製、商品名、固形分濃度100質量%、エポキシ当量:185g/eq)
[(b)成分]
・BA230S75:シアネート樹脂のプレポリマー(ロンザ社製、商品名、固形分濃度75質量%、MEKカット品)
・シアネートプレポリマーA:製造例1で合成したシアネートプレポリマーA(固形分濃度70質量%)
[(c)成分]
・HPC−8000−65T:活性エステル硬化剤(DIC株式会社製、商品名、活性エステル当量:223g/eq、固形分濃度65質量%、トルエンカット品)
[(d)成分]
・硬化促進剤1:特開2011−179008号公報を参考にして合成した下記式(d−1)で表されるトリブチルホスフィンと1,4−ベンゾキノンの付加反応物(固形分濃度100質量%)
The components in Table 3 are shown below.
[(A) component]
N673: Cresol novolac type epoxy resin “Epiclon (registered trademark) N673” (manufactured by DIC Corporation, trade name, epoxy equivalent: 210 g / eq, solid content concentration: 100 mass%)
NC-7000-L: Novolac type epoxy resin containing naphthalene skeleton (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade name, solid concentration 100 mass%, epoxy equivalent: 231 g / eq)
840S: Bisphenol A type liquid epoxy resin “Epiclon (registered trademark) 840S” (manufactured by DIC Corporation, trade name, solid content concentration 100 mass%, epoxy equivalent: 185 g / eq)
[Component (b)]
-BA230S75: Cyanate resin prepolymer (Lonza, trade name, solid concentration 75% by mass, MEK cut product)
Cyanate prepolymer A: Cyanate prepolymer A synthesized in Production Example 1 (solid content concentration 70% by mass)
[Component (c)]
-HPC-8000-65T: Active ester curing agent (manufactured by DIC Corporation, trade name, active ester equivalent: 223 g / eq, solid content concentration 65% by mass, toluene cut product)
[Component (d)]
Curing accelerator 1: addition reaction product of tributylphosphine represented by the following formula (d-1) and 1,4-benzoquinone synthesized with reference to JP 2011-179008 A (solid content concentration: 100% by mass)

・硬化促進剤2:特開2011−179008号公報を参考にして合成した下記式(d−2)で表されるトリス(p−メチルフェニル)ホスフィンと1,4−ベンゾキノンの付加反応物(固形分濃度100質量%)   Curing accelerator 2: Tris (p-methylphenyl) phosphine represented by the following formula (d-2) synthesized with reference to JP 2011-179008 A and an addition reaction product of 1,4-benzoquinone (solid (Minute concentration 100% by mass)

[他の硬化促進剤]
・2PZ−CN:1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール(四国化成工業株式会社製、固形分濃度100質量%)
・DMAP:N,N−ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業株式会社製、固形分濃度100質量%)
[(e)成分]
・ビニルシラン処理シリカ:ビニルシランカップリング剤処理を施した球状シリカである「SO−C2」(株式会社アドマテックス製、商品名、体積平均粒径0.5μm、固形分濃度100質量%)
・エポキシシラン処理シリカ:エポキシシランカップリング剤処理を施した球状シリカである「SO−C2」(株式会社アドマテックス製、商品名、体積平均粒径0.5μm、固形分濃度100質量%)
・アミノシラン処理シリカ:アミノシランカップリング剤処理を施した球状シリカである「SO−C2」(株式会社アドマテックス製、商品名、体積平均粒径0.5μm、固形分濃度100質量%)
[(f)成分]
・ジシアンジアミド:(日本カーバイト工業株式会社製、固形分濃度100質量%)
[(g)成分]
・YX1256B40:フェノキシ樹脂(三菱化学株式会社製、商品名、固形分濃度40質量%、MEKカット品)
[(h)成分]
・BYK330:シロキサン骨格を有する樹脂(ビックケミージャパン株式会社製、商品名、固形分濃度25質量%、キシレンカット品)
[Other curing accelerators]
2PZ-CN: 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole (manufactured by Shikoku Chemicals Co., Ltd., solid content concentration: 100% by mass)
DMAP: N, N-dimethylaminopyridine (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., solid content concentration 100% by mass)
[(E) component]
Vinyl silane-treated silica: “SO-C2” (spherical silica treated with a vinyl silane coupling agent) (manufactured by Admatechs, trade name, volume average particle size 0.5 μm, solid content concentration 100 mass%)
Epoxy silane treated silica: “SO-C2” which is spherical silica treated with an epoxy silane coupling agent (manufactured by Admatechs, trade name, volume average particle size 0.5 μm, solid content concentration 100 mass%)
Aminosilane-treated silica: “SO-C2” which is a spherical silica treated with an aminosilane coupling agent (manufactured by Admatechs, trade name, volume average particle size 0.5 μm, solid content concentration 100 mass%)
[Component (f)]
・ Dicyandiamide: (Nippon Carbite Industries, Ltd., solid content concentration: 100% by mass)
[(G) component]
YX1256B40: Phenoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation, trade name, solid concentration 40% by mass, MEK cut product)
[(H) component]
BYK330: Resin having a siloxane skeleton (manufactured by Big Chemie Japan, trade name, solid content concentration 25% by mass, xylene cut product)

表3の結果から、参考例1〜10で得られた層間絶縁層用樹脂フィルムにより形成された層間絶縁層は、支持体(PET)付きで硬化しても外観に優れており、良好なスミア除去性を示した。また、誘電正接も小さく、耐熱性についても十分であることが分かった。
一方、比較参考例1〜5で得られた層間絶縁層用樹脂フィルムにより形成された層間絶縁層は、いずれかの特性で劣っていた。
From the results of Table 3, the interlayer insulating layer formed by the resin film for interlayer insulating layers obtained in Reference Examples 1 to 10 is excellent in appearance even when cured with a support (PET), and has a good smear. It showed removability. It was also found that the dielectric loss tangent is small and the heat resistance is sufficient.
On the other hand, the interlayer insulation layer formed with the resin film for interlayer insulation layers obtained by Comparative Reference Examples 1-5 was inferior in any characteristic.

本発明の樹脂組成物により、支持体付きで硬化しても外観の良い層間絶縁層が得られ、誘電正接が低く、レーザー加工後のスミア除去性及び耐熱性に優れる層間絶縁層及び該層間絶縁層を含む多層プリント配線板が得られる。
そのため、本発明の樹脂組成物は、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ、テレビ等の電気製品、並びに自動二輪車、自動車、電車、船舶、航空機等の乗り物などに、幅広く利用可能である。
The resin composition of the present invention provides an interlayer insulating layer having a good appearance even when cured with a support, having a low dielectric loss tangent, excellent smear-removability and heat resistance after laser processing, and the interlayer insulating layer A multilayer printed wiring board including layers is obtained.
Therefore, the resin composition of the present invention can be widely used for electric products such as computers, mobile phones, digital cameras, and televisions, and vehicles such as motorcycles, automobiles, trains, ships, and airplanes.

Claims (1)

(A)重量平均分子量(Mw)と数平均分子量(Mn)との分散比(Mw/Mn)が、1.1〜1.7であるノボラック型フェノール樹脂と、
(B)エポキシ樹脂と、
(C)無機充填材と、
(D)溶剤と、
を含む樹脂組成物を、支持体フィルム上に層形成してなる樹脂組成物層を有し、
(B)エポキシ樹脂が、ビフェニル骨格を有するノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及びアラルキルノボラック型エポキシ樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種のノボラック型エポキシ樹脂であり、
(C)無機充填材の平均粒径が0.1μm以上で、その樹脂組成物層中における含有量が、樹脂固形分のうち20〜95質量%であり、
樹脂組成物層中における(D)溶剤の含有量が1〜20質量%である、多層プリント配線板用の接着フィルム。
(A) a novolak-type phenol resin having a dispersion ratio (Mw / Mn) of a weight average molecular weight (Mw) and a number average molecular weight (Mn) of 1.1 to 1.7;
(B) an epoxy resin;
(C) an inorganic filler;
(D) a solvent;
A resin composition layer formed by layering a resin composition containing
(B) the epoxy resin is at least one novolak type epoxy resin selected from the group consisting of a novolak type epoxy resin having a biphenyl skeleton, a cresol novolak type epoxy resin and an aralkyl novolak type epoxy resin;
(C) The average particle size of the inorganic filler is 0.1 μm or more, and the content in the resin composition layer is 20 to 95% by mass in the resin solid content,
The adhesive film for multilayer printed wiring boards whose content of (D) solvent in a resin composition layer is 1-20 mass%.
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