JP2019152634A - パターン検査方法及びパターン検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態のパターン検査方法は、パターンが形成された基板に電子ビームを照射し、パターンの2次電子像である検査画像を取得し、検査画像の、第1の閾値と所定の検知幅の半分の差以下の画素値と、第1の閾値と所定の検知幅の半分の和以上の画素値を未処理とし、第1の閾値と所定の検知幅の半分の差以下の画素値と、第1の閾値と所定の検知幅の半分の和以上の画素値を未処理とした、検査画像の参照画像と、検査画像の差分画像を取得し、差分画像に基づいて検査を行う。
22 穴
27 領域
28,36 画素
29 グリッド
30,330 検査領域
31 走査領域
32 ストライプ領域
33 トラッキング領域
34 照射領域
35 フレーム領域
50,52 記憶装置
56 分割部
58 位置合わせ部
60 比較部
100 検査装置
101 基板
102 電子ビームカラム
103 検査室
106 検出回路
107 位置回路
108 比較回路
109 記憶装置
110 制御計算機
111 展開回路
112 参照回路
114 ステージ制御回路
117 モニタ
118 メモリ
119 プリンタ
122 レーザ測長システム
120 バス
123 ストライプパターンメモリ
124 レンズ制御回路
126 ブランキング制御回路
128 偏向制御回路
130 閾値保存部
132 画素値加工回路
134 差分画像取得回路
136 画素値総和計算回路
138 閾値変化回路
140 画素値変換回路
142 差分画像検査回路
150 光学画像取得部
160 制御系回路
200 電子ビーム
201 電子銃
202 照明レンズ
203 成形アパーチャアレイ基板
205 縮小レンズ
206 制限アパーチャ基板
207 対物レンズ
208 主偏向器
209 副偏向器
212 一括ブランキング偏向器
214 ビームセパレーター
216 ミラー
222 マルチ検出器
224,226 投影レンズ
228 偏向器
300 マルチ2次電子
332 チップ
A1 第1の拡散領域
A2 第2の拡散領域
Claims (5)
- パターンが形成された基板に電子ビームを照射し、
前記パターンの2次電子像である検査画像を取得し、
前記検査画像の、第1の閾値と所定の検知幅の半分の差以下の画素値と、前記第1の閾値と前記所定の検知幅の半分の和以上の画素値を未処理とし、
前記第1の閾値と前記所定の検知幅の半分の差以下の画素値と、前記第1の閾値と前記所定の検知幅の半分の和以上の画素値を未処理とした、前記検査画像の参照画像と、前記検査画像の差分画像を取得し、
前記差分画像に基づいて検査を行うパターン検査方法。 - 前記差分画像が第2の閾値以上の画素値を有する場合、前記パターンは欠陥を有すると判定する請求項1記載のパターン検査方法。
- 前記画素値の総和に基づいて前記第1の閾値と前記所定の検知幅を変化させる請求項1又は請求項2記載のパターン検査方法。
- パターンが形成された基板に電子ビームを照射し、前記パターンの2次電子像である検査画像を取得する画像取得機構と、
第1の閾値と第2の閾値を保存する閾値保存部と、
前記検査画像の、前記第1の閾値と所定の検知幅の半分の差以下の画素値と、前記第1の閾値と前記所定の検知幅の半分の和以上の画素値を未処理とする画素値加工回路と、
前記第1の閾値と前記所定の検知幅の半分の差以下の画素値と、前記第1の閾値と前記所定の検知幅の半分の和以上の画素値を未処理とした、前記検査画像の参照画像と、前記検査画像の差分画像を取得する差分画像取得回路と、
前記差分画像に基づいて検査を行う差分画像検査回路と、
を備えるパターン検査装置。 - 前記画素値の総和を計算する画素値総和計算回路と、前記第1の閾値と前記所定の検知幅を変化させる閾値変化回路と、をさらに備える請求項4記載のパターン検査装置。
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