JP2019150817A5

JP2019150817A5 -

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Publication number: JP2019150817A5
Application number: JP2019017046A
Authority: JP
Filing date: 2019-02-01
Publication date: 2022-02-08
Anticipated expiration: 2039-02-01

Description

本発明は、機能素子の材料を含むインクを基体表面に塗布するインクジェット装置であって、前記インクを吐出するノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドと前記基体表面の相対位置を制御する走査機構と、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドが前記走査機構により移動する範囲を囲み、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記ノズルが配置された高さを含む所定の範囲を囲む包囲部と、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲へ液体を供給する液体供給系と、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲に設けられ、前記液体供給系から供給された液体の蒸気を前記包囲部が囲む範囲に供給する蒸気供給部と、を有する、ことを特徴とするインクジェット装置である。

Claims

機能素子の材料を含むインクを基体表面に塗布するインクジェット装置であって、
前記インクを吐出するノズルを有するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドと前記基体表面の相対位置を制御する走査機構と、
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドが前記走査機構により移動する範囲を囲み、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記ノズルが配置された高さを含む所定の範囲を囲む包囲部と、
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲へ液体を供給する液体供給系と、
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲に設けられ、前記液体供給系から供給された液体の蒸気を前記包囲部が囲む範囲に供給する蒸気供給部と、を有する、
ことを特徴とするインクジェット装置。
前記包囲部は、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドが前記走査機構により移動する範囲と、前記インクジェット装置の外装カバーとの間に設けられている、
ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット装置。
前記液体供給系は前記液体を貯留するタンクを含み、前記インクジェット装置の外装カバーと前記インクジェットヘッドとの間に前記タンクが設けられている、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット装置。
前記蒸気の密度は空気の密度よりも大きく、かつ、前記包囲部は、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドのノズル面が配置された高さよりも低い範囲を囲んでいる、
または、
前記蒸気の密度は空気の密度よりも小さく、かつ、前記包囲部は、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドのノズル面が配置された高さよりも高い範囲を囲んでいる、
ことを特徴とする請求項１乃至３の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記蒸気の密度が空気の密度よりも大きく、前記基体表面を前記インクジェットヘッドよりも鉛直方向の下側に配置し、前記インクジェットヘッドは鉛直方向下側に向けてインクを吐出する、
ことを特徴とする請求項１乃至３の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記蒸気の密度が空気の密度よりも小さく、前記基体表面を前記インクジェットヘッドよりも鉛直方向の上側に配置し、前記インクジェットヘッドは鉛直方向上側に向けてインクを吐出する、
ことを特徴とする請求項１乃至３の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記基体がセットされる基台を有し、
前記蒸気供給部は、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記基台と前記包囲部の間、前記基体表面の外側または前記基体表面の周囲に配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至６の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記蒸気供給部は、前記液体で湿潤した多孔質体を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至７の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記蒸気供給部は、前記液体を貯留するプールを有する、
ことを特徴とする請求項１乃至７の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記蒸気供給部は、前記液体のミストを噴霧する噴霧器を有する、
ことを特徴とする請求項１乃至７の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記液体は、前記インクに含まれる溶媒の成分と同一材料を含む、
ことを特徴とする請求項１乃至１０の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記走査機構は、前記インクジェットヘッドと前記基体表面とを主走査方向に相対的に往復移動させ、前記往復移動の往路と復路の切り替え時に、前記インクジェットヘッドと前記基体表面とが副走査方向に相対的に移動させる、
ことを特徴とする請求項１乃至１１の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部で囲まれた範囲に、前記インクジェットヘッドのノズル面をクリーニングするクリーニング部材が配置されている、
ことを特徴とする請求項１乃至１２の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部で囲まれた範囲に、前記蒸気の濃度を計測する計測手段を有し、
前記計測手段の計測結果に応じて、前記蒸気供給部が供給する蒸気の量を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至１３の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置。
前記計測手段は、前記走査機構により移動する前記インクジェットヘッドに連れ動くように前記走査機構に支持されている、
ことを特徴とする請求項１４に記載のインクジェット装置。
前記計測手段は、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記基体表面の外側で、かつ前記包囲部に囲まれた範囲に設けられている、
ことを特徴とする請求項１４に記載のインクジェット装置。
前記計測手段は、前記インクジェットヘッドのノズル面の高さにおける雰囲気中の前記蒸気の濃度を計測する、
ことを特徴とする請求項１４乃至１６の中のいずれか１項にインクジェット装置。
請求項１乃至１７の中のいずれか１項に記載のインクジェット装置により、前記基体表面に機能素子の材料を含むインクを塗布する、
ことを特徴とする機能素子の製造方法。
前記インクは、有機ＥＬ素子の発光層または電子輸送層または電子注入層または正孔輸送層または正孔注入層または電極の材料を含むインクである、
ことを特徴とする請求項１８に記載の機能素子の製造方法。