JP2019150817A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019150817A5 JP2019150817A5 JP2019017046A JP2019017046A JP2019150817A5 JP 2019150817 A5 JP2019150817 A5 JP 2019150817A5 JP 2019017046 A JP2019017046 A JP 2019017046A JP 2019017046 A JP2019017046 A JP 2019017046A JP 2019150817 A5 JP2019150817 A5 JP 2019150817A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- inkjet
- inkjet head
- viewed
- surrounding portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 29
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims 1
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
Description
本発明は、機能素子の材料を含むインクを基体表面に塗布するインクジェット装置であって、前記インクを吐出するノズルを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドと前記基体表面の相対位置を制御する走査機構と、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドが前記走査機構により移動する範囲を囲み、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記ノズルが配置された高さを含む所定の範囲を囲む包囲部と、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲へ液体を供給する液体供給系と、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲に設けられ、前記液体供給系から供給された液体の蒸気を前記包囲部が囲む範囲に供給する蒸気供給部と、を有する、ことを特徴とするインクジェット装置である。
Claims (19)
- 機能素子の材料を含むインクを基体表面に塗布するインクジェット装置であって、
前記インクを吐出するノズルを有するインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドと前記基体表面の相対位置を制御する走査機構と、
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドが前記走査機構により移動する範囲を囲み、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記ノズルが配置された高さを含む所定の範囲を囲む包囲部と、
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲へ液体を供給する液体供給系と、
前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部に囲まれた範囲に設けられ、前記液体供給系から供給された液体の蒸気を前記包囲部が囲む範囲に供給する蒸気供給部と、を有する、
ことを特徴とするインクジェット装置。 - 前記包囲部は、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドが前記走査機構により移動する範囲と、前記インクジェット装置の外装カバーとの間に設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット装置。 - 前記液体供給系は前記液体を貯留するタンクを含み、前記インクジェット装置の外装カバーと前記インクジェットヘッドとの間に前記タンクが設けられている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット装置。 - 前記蒸気の密度は空気の密度よりも大きく、かつ、前記包囲部は、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドのノズル面が配置された高さよりも低い範囲を囲んでいる、
または、
前記蒸気の密度は空気の密度よりも小さく、かつ、前記包囲部は、前記基体表面を側面視する方向で視たとき、前記インクジェットヘッドのノズル面が配置された高さよりも高い範囲を囲んでいる、
ことを特徴とする請求項1乃至3の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記蒸気の密度が空気の密度よりも大きく、前記基体表面を前記インクジェットヘッドよりも鉛直方向の下側に配置し、前記インクジェットヘッドは鉛直方向下側に向けてインクを吐出する、
ことを特徴とする請求項1乃至3の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記蒸気の密度が空気の密度よりも小さく、前記基体表面を前記インクジェットヘッドよりも鉛直方向の上側に配置し、前記インクジェットヘッドは鉛直方向上側に向けてインクを吐出する、
ことを特徴とする請求項1乃至3の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記基体がセットされる基台を有し、
前記蒸気供給部は、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記基台と前記包囲部の間、前記基体表面の外側または前記基体表面の周囲に配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至6の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記蒸気供給部は、前記液体で湿潤した多孔質体を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至7の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記蒸気供給部は、前記液体を貯留するプールを有する、
ことを特徴とする請求項1乃至7の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記蒸気供給部は、前記液体のミストを噴霧する噴霧器を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至7の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記液体は、前記インクに含まれる溶媒の成分と同一材料を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至10の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記走査機構は、前記インクジェットヘッドと前記基体表面とを主走査方向に相対的に往復移動させ、前記往復移動の往路と復路の切り替え時に、前記インクジェットヘッドと前記基体表面とが副走査方向に相対的に移動させる、
ことを特徴とする請求項1乃至11の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部で囲まれた範囲に、前記インクジェットヘッドのノズル面をクリーニングするクリーニング部材が配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至12の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記包囲部で囲まれた範囲に、前記蒸気の濃度を計測する計測手段を有し、
前記計測手段の計測結果に応じて、前記蒸気供給部が供給する蒸気の量を制御する、
ことを特徴とする請求項1乃至13の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置。 - 前記計測手段は、前記走査機構により移動する前記インクジェットヘッドに連れ動くように前記走査機構に支持されている、
ことを特徴とする請求項14に記載のインクジェット装置。 - 前記計測手段は、前記基体表面を平面視する方向で視たとき、前記基体表面の外側で、かつ前記包囲部に囲まれた範囲に設けられている、
ことを特徴とする請求項14に記載のインクジェット装置。 - 前記計測手段は、前記インクジェットヘッドのノズル面の高さにおける雰囲気中の前記蒸気の濃度を計測する、
ことを特徴とする請求項14乃至16の中のいずれか1項にインクジェット装置。 - 請求項1乃至17の中のいずれか1項に記載のインクジェット装置により、前記基体表面に機能素子の材料を含むインクを塗布する、
ことを特徴とする機能素子の製造方法。 - 前記インクは、有機EL素子の発光層または電子輸送層または電子注入層または正孔輸送層または正孔注入層または電極の材料を含むインクである、
ことを特徴とする請求項18に記載の機能素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2019/006255 WO2019167741A1 (ja) | 2018-02-28 | 2019-02-20 | インクジェット装置、およびそれを用いた機能素子の製造方法 |
US17/002,972 US11446941B2 (en) | 2018-02-28 | 2020-08-26 | Inkjet apparatus and method for manufacturing functional element using the same |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018035078 | 2018-02-28 | ||
JP2018035078 | 2018-02-28 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019150817A JP2019150817A (ja) | 2019-09-12 |
JP2019150817A5 true JP2019150817A5 (ja) | 2022-02-08 |
JP7237616B2 JP7237616B2 (ja) | 2023-03-13 |
Family
ID=67947653
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019017046A Active JP7237616B2 (ja) | 2018-02-28 | 2019-02-01 | インクジェット装置、およびそれを用いた機能素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11446941B2 (ja) |
JP (1) | JP7237616B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112588536B (zh) * | 2020-12-05 | 2022-08-23 | 九江福莱克斯有限公司 | 一种涂覆机的烘干机构 |
TW202348448A (zh) * | 2022-02-22 | 2023-12-16 | 美商凱特伊夫公司 | 列印頭管理配件 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6130854Y2 (ja) * | 1979-11-15 | 1986-09-09 | ||
JPS6471760A (en) * | 1987-09-11 | 1989-03-16 | Canon Kk | Liquid jet recorder |
JP3867776B2 (ja) | 2001-11-16 | 2007-01-10 | リコープリンティングシステムズ株式会社 | インクジェット装置 |
JP3901119B2 (ja) | 2003-04-04 | 2007-04-04 | セイコーエプソン株式会社 | 描画装置、有機el装置の製造方法および製造装置、並びに有機el装置および電子機器 |
JP2006260778A (ja) | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Seiko Epson Corp | 基板処理装置 |
JP5316415B2 (ja) | 2007-10-17 | 2013-10-16 | コニカミノルタ株式会社 | 薄膜形成方法及び有機エレクトロニクス素子 |
JP5073509B2 (ja) * | 2008-01-17 | 2012-11-14 | 株式会社リコー | 画像形成装置、着弾位置ずれ補正方法 |
US8322808B2 (en) * | 2008-08-21 | 2012-12-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid droplet jetting apparatus |
JP2016215096A (ja) | 2015-05-18 | 2016-12-22 | 東レエンジニアリング株式会社 | インク乾燥防止装置 |
-
2019
- 2019-02-01 JP JP2019017046A patent/JP7237616B2/ja active Active
-
2020
- 2020-08-26 US US17/002,972 patent/US11446941B2/en active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2019150817A5 (ja) | ||
KR101420012B1 (ko) | 도포방법 및 도포장치 | |
US20160271869A1 (en) | Device for printing a three-dimensional structure | |
JP5266671B2 (ja) | 液状体の吐出方法、有機el素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法 | |
KR102376975B1 (ko) | 워크피스 상에 점성 매체를 분사하기 위한 장치 및 방법 | |
JP2007244973A (ja) | 液滴噴射装置及び塗布体の製造方法 | |
TW201700307A (zh) | 防止墨水乾燥裝置 | |
JP2011251231A (ja) | インクジェットヘッドおよびそれを搭載したインクジェット装置 | |
JP7237616B2 (ja) | インクジェット装置、およびそれを用いた機能素子の製造方法 | |
US3084870A (en) | Spraying apparatus | |
JP2007516878A (ja) | 液滴射出集成体 | |
JP2013206864A (ja) | 有機el素子 | |
WO2019167741A1 (ja) | インクジェット装置、およびそれを用いた機能素子の製造方法 | |
JP4752834B2 (ja) | 重量測定方法、電気光学装置の製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP5947808B2 (ja) | インクとともにガスを噴射する手段を備えるインクジェット装置、及び関連のインクジェット方法 | |
KR20240088376A (ko) | 고정도 메니스커스압력 상태 유지기능을 갖는 잉크젯 프린터 | |
JP4667153B2 (ja) | 洗浄装置 | |
KR20240088375A (ko) | 레저버 잉크 수위 균일유지기능을 갖는 잉크젯 프린터 | |
JP2012192652A (ja) | 描画方法 | |
JP2018001663A (ja) | 液体噴射装置 | |
KR102581893B1 (ko) | 액적 토출 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
JP2017189886A (ja) | 塗布ヘッドのクリーニング装置とクリーニング方法 | |
JP2006192688A (ja) | 成膜装置 | |
CN117485024A (zh) | 基板处理装置及方法 | |
JP5741107B2 (ja) | メンテナンス装置および液体噴射装置 |