JP2006192688A - 成膜装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 プレートに膜を密着して形成することができる成膜装置を提供する。
【解決手段】 ノズルプレート１３に形成される撥液膜の原料である撥液膜原料ＬＦを貯留する貯留槽２３までに至る案内経路に、ノズルプレート１３を活性化する活性化手段として紫外線ランプ２４を備えた。
【選択図】 図４

Description

本発明は、成膜装置に関するものである。

圧電効果などを利用して機能液を小さな粒状（所謂、液滴）に形成してターゲットに飛翔させることにより、ターゲットにパターンなどの画像を形成したり、飛翔させた機能液自体でターゲット上に構造物を形成したりする液滴吐出装置が知られている。この液滴吐出装置は、液滴吐出ノズルを形成したノズルを形成したノズルプレートと、該ノズルプレートに形成した液滴吐出ノズルに機能液を導く流路と、該流路中の機能液に対して吐出のためのエネルギーを付与する、例えば圧電素子（ピエゾ素子）といった電子素子と、を有する液滴吐出ヘッドを備えている。

この種の液滴吐出ヘッドを構成する液滴吐出ノズルプレートは、ステンレスといた金属製のプレートで形成されている。そして、そのプレートに形成した複数の液滴吐出ノズルは、０．３mm程度のピッチで、径が０．０３mm程度の微小な孔であって、例えばプレス加工等によって形成されている。そして、そのノズルプレートを別途形成された前記流路や圧電素子（ピエゾ素子）といった電子素子を備えた構造体に取り付けることで製造されるようになっている（例えば、特許文献１）。

ところで、液滴吐出ヘッドを駆動させてターゲットに対して液滴を飛翔させると、ターゲット上に付着するとともにその一部は跳ね返って液滴吐出ヘッドのプレートに付着する場合がある。そして、跳ね返った液滴がノズルに付着し乾燥して固着すると、機能液のメニスカス面が形成される位置や該メニスカス面の形状が不安定となり、液滴吐出ヘッドの液滴の飛翔特性が劣化してしまう。さらに、場合によっては、乾燥した液滴によってノズルが目詰まりを起こして液滴が吐出されない場合が生じてしまう。そこで、ノズルプレートを撥液化することで、ターゲット上から跳ね返ってきた液滴がノズルプレートに付着するのを防止するようにしている。これは、ノズルプレートにノズルとなる孔を形成した後に、該ノズルプレート上に付着した塵や有機物等を除去して表面を活性化し、その後、ディップコータにプレートを取り付け、撥液膜原料に浸漬させることで行われる。
特開平１０−２２６０７０号公報

しかしながら、上記のように、ノズルプレートを活性化する工程と、その後に行われるディップコータによる撥液膜原料を付着する工程とが異なった装置で行われる。このため、ノズルプレートを活性化しても、該ノズルプレートをディップコータに移して取り付ける間に塵や有機物等が付着してしまう場合がある。このため、撥液膜原料がノズルプレートに密着して付着しない場合がある。また、塵や有機物等が付着した部分と、そうでない部分とで撥液膜原料の付着ムラが生じてしまう場合がある。その結果、撥液効果が十分に発揮されないという問題があった。

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、膜原料をプレートに密着して付着させることで、プレートに膜を密着して形成することができる成膜装置を提供することにある。

本発明のプレートの表面に膜を形成する成膜装置において、前記プレートの表面に形成
される膜の膜原料を貯留する貯留槽と、前記プレートを前記貯留槽に貯留した膜原料に浸漬するために前記プレートを前記貯留槽に案内する案内手段と、前記プレートを前記案内手段による前記貯留槽への案内途中において、前記プレートの表面を活性化する活性化手段とを備えている。

これによれば、案内手段によって案内されたプレートは、貯留槽に案内される途中で、その表面が活性化される。そして、表面が活性化されたプレートは、案内手段に支持された状態のまま貯留槽に至るまで案内されて同プレート表面に膜原料が付着される。つまり、本発明の成膜装置は、貯留槽にプレートを案内する案内手段とプレート表面を活性化する活性化手段とが一体化されている。このため、プレートの表面を最も活性な状態にさせたまま、同プレート表面に膜原料を付着させることが可能となる。この結果、膜原料のプレートに対する密着性を向上させることができる。

また、プレートが案内されながらプレート表面全体を活性化するので、プレートの表面は、ムラなく均一に活性化される。従って、プレート表面内における膜原料の付着量を均一にすることができる。この結果、プレート表面の膜原料の量が均一になる。

この成膜装置において、前記プレートは、液滴吐出装置に設けられ、液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートであってもよい。
これによれば、液滴吐出装置に設けられ、液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートにおいて、そのノズルプレートの表面を最も活性な状態にさせたまま、同ノズルプレート表面に膜原料を付着させることが可能となる。この結果、膜原料のノズルプレートに対する密着性を向上させることができる。

また、ノズルプレートが案内されながら該ノズルプレート表面全体を活性化するので、ノズルプレートの表面は、ムラなく均一に活性化される。従って、ノズルプレート表面内における膜原料の付着量を均一にすることができる。

この成膜装置において、前記ノズルプレートの表面に形成される膜は、該ノズルプレートの表面を撥液化する撥液膜であり、前記貯留槽は、前記ノズルプレートの表面を撥液化する撥液膜原料を貯留するものであってもよい。

これによれば、液滴吐出装置に設けられ、液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートにおいて、そのノズルプレートの表面を最も活性な状態にさせたまま、同ノズルプレート表面に撥液膜原料を付着させることが可能となる。この結果、撥液膜原料のノズルプレートに対する密着性を向上させることができる。

また、ノズルプレートが案内されながら該ノズルプレート表面全体を活性化するので、ノズルプレートの表面は、ムラなく均一に活性化される。従って、ノズルプレート表面内における撥液膜原料の付着量を均一にすることができる。この結果、プレート表面の撥液膜原料の量が均一になる。

この成膜装置において、前記活性化手段は、紫外線発生手段であってもよい。
これによれば、プレートに付着した有機物を除去される。その結果、有機物によって付着力を阻害されることなく膜原料を密着して付着させることができる。

この成膜装置において、前記プレートを前記案内手段によって前記貯留槽に案内する経路に、該経路にドライエアまたは不活性ガスを供給するガス供給手段を備えてもよい。
これによれば、活性化手段によって表面が活性化されたプレートには、たとえば大気中の水蒸気や塵が付着しない。従って、プレートの表面を最も活性な状態を確実に保持した
まま、同プレート表面に撥液膜原料を付着させることが可能となる。

この成膜装置において、前記膜原料は、シランカップリング剤で構成されていてもよい。
これによれば、プレート表面を確実に撥液化させることができる。

この成膜装置において、前記活性化手段と前記貯留槽との間隔は、前記ノズルプレートの長さよりも離間して備えられてもよい。
これによれば、活性化手段によって表面が活性化されたプレートに撥液膜原料を付着させた後に、所定の位置に付着した撥液膜原料のみを残して他の位置に付着した撥液膜原料を除去する場合、その作業を同じ装置にて容易に行うことができる。

以下、本発明の実施形態に係るノズルプレートの表面に撥液膜を形成する成膜装置について図面を参照して説明する。まず、本発明のノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドについて説明し、続いて、液滴吐出ヘッドの成膜装置及びその成膜装置を用いたノズルプレートの撥液膜の形成方法について説明する。

図１は、ノズルプレートを備えた液滴吐出ヘッドの一部断面斜視図である。この液滴吐出ヘッドは、本実施形態では、液滴吐出装置としてのインクジェットプリンタのインクジェットヘッドとして使用されるものである。

図１に示すように、液滴吐出ヘッド１０は、枠体１１Ａと、収容ケース１１Ｂと、枠体１１Ａと収容ケース１１Ｂとで挟まれて固定された振動板１２と、枠体１１Ａの下面に固着されたプレートとしてのノズルプレート１３と、収容ケース１１Ｂに収容支持された圧電素子（ピエゾ素子）１４とを有する。振動板１２は、可撓性を有するフィルムであって、例えば本実施形態では有機化合物で構成されている。また、ノズルプレート１３は、ステンレス製であって、図２に示すように、複数のノズルＮＺが形成されている。

枠体１１Ａは、機能液Ｌを貯留する図示しないタンクに連通されている。そして、枠体１１Ａには、前記タンク内の機能液ＬをノズルＮＺに導く流路１５と、該機能液Ｌを一時的に保持する保持室１６が形成されている。そして、前記タンクから供給された機能液Ｌは流路１５を介して保持室１６に一時的に保持されるようになっている。一方、収容ケース１１Ｂには、圧電素子１４及び該圧電素子１４に駆動電圧を供給する電力供給部１４ａが支持されている。この圧電素子１４は、保持室１６中の機能液Ｌに対して吐出のためのエネルギーを付与するものである。

また、ノズルプレート１３に形成した各ノズルＮＺは、一つの保持室１６に対応して形成されている。各ノズルＮＺは、テーパ状の第１孔部１７と、該孔部１７に連結した円柱状の第２孔部１８とから構成されている。さらに、圧電素子１４は、一つの保持室１６に対して一つずつ、その基部側を収容ケース１１Ｂに支持固定して、先端側を振動板１２に固定して設けてある。

このように構成された液滴吐出ヘッド１０は、電力供給部１４ａから圧電素子１４に所定の波形の駆動電圧が印加されると、それまで伸びていた圧電素子１４が縮んでもとの状態に戻るように歪み、それに伴って、振動板１２が変形する。すると、流路１５内の機能液Ｌが保持室１６に吸引される。続いて、圧電素子１４が伸びるように歪むと、振動板１２が圧電素子１４によって押されて変形する。このときに、保持室１６内の機能液Ｌのうち、例えば、数１０ピコリットルの機能液Ｌが、ノズルＮＺを通ることで符号１９で示す粒状に形成されて噴出され、ターゲットＴ上に付着される。このようにして、ノズルプレ
ート１３の下方にあるターゲットＴ上に所望の画像等を形成する。

図２は、上記のように構成された液滴吐出ヘッド１０をターゲットＴ側からみたときのノズルプレート１３の上面図である。図１及び図２に示すように、ノズルプレート１３は、そのターゲットＴ側の一側面１３ａ全面にのみ撥液膜Ｆが密着して形成されている。この撥液膜Ｆは、後記する成膜装置２０を使用することで形成された撥液膜である。

従って、液滴吐出ヘッド１０を駆動させて、そのノズルＮＺからターゲットＴに対して機能液Ｌの液滴１９を飛翔させると、ターゲットＴ上に付着した液滴１９の一部が同ターゲットＴにて跳ね返ってノズルプレート１３に付着する場合がある。このとき、ノズルプレート１３上には撥液膜Ｆが密着して形成されているので、付着した液滴１９は弾かれて直ちに同ノズルプレート１３から離脱する。この結果、液滴１９によってノズルプレート１３が汚染されることを確実に防止することができる。

また、撥液膜Ｆは、ノズルＮＺを構成するテーパ状の第１孔部１７及び円柱状の第２孔部１８には形成されていない。従って、ノズルＮＺ内の機能液Ｌは、孔部１７，１８の側壁に沿って浸出される。つまり、ノズルＮＺ内の濡れ性は高いままである。この結果、ノズルＮＺ内に形成される機能液Ｌのメニスカス面は、その中心部が保持室１６側に向かって窪んだ凹状の形状を成したものとなる。この結果、ノズルＮＺは、飛翔ばらつきが小さな制御性の良好なものとなる。

次に、ノズルプレート１３に撥液膜Ｆを形成するための成膜装置について説明する。
図３は、本実施形態に係るノズルプレート１３の成膜装置の概略構成図である。
図３において、ノズルプレート１３の成膜装置２０は、支持アーム２１と、昇降装置２２と、貯留槽２３と、活性化手段としての紫外線ランプ２４と、ガス供給部２５とを備えている。

支持アーム２１は、その下端にノズルプレート１３を把持する把持機構２１ａを備えている。把持機構２１ａは、ノズルプレート１３の一端を把持して固定することが可能となっている。昇降装置２２は、支持アーム２１を図３中Ｙ矢印方向または反Ｙ矢印方向（上方向または下方向）に移動させ、把持機構２１ａに把持したノズルプレート１３を上下方向に案内する。貯留槽２３は、膜原料としての撥液膜原料ＬＦを貯留するものである。この撥液膜原料ＬＦは、本実施形態では、シランカップリング剤で構成されている。

また、昇降装置２２と貯留槽２３との間には、上下両側が開口された円筒状のチャンバＣが配設されている。そのチャンバＣの内壁２６には、紫外線ランプ２４が設けられている。そして、内壁２６に紫外線ランプ２４を配設したチャンバＣ内を、前記把持機構２１ａに把持されたノズルプレート１３が上下方向に案内されるようになっている。紫外線ランプ２４は、図示しない電源装置に接続され、該電源装置から供給される電力によって点灯してチャンバＣのノズルプレート１３に対して約１００〜３８０nmの紫外線光を照射する。本実施形態の紫外線ランプ２４は、その出力が１５mW/cm²である。尚、チャンバＣと貯留槽２３との間隔Ｋは、ノズルプレート１３の長手方向の長さＳ（図２参照）と比較して十分に長くなるような位置に備えられている。

ガス供給部２５は、不活性ガスまたはドライエアをチャンバＣの中空内部に供給するためのものである。本実施形態においては、ガス供給部２５は、不活性ガスとして窒素ガスを供給するようになっている。そして、ガス供給部２５から供給された窒素ガスは、チャンバＣの下方から供給され、チャンバＣ内を通過してチャンバＣの上方から排気されるようになっている（図４参照）。

次に、このように構成されたノズルプレート１３の成膜装置２０を使用したノズルプレート１３の撥液膜Ｆの形成方法について図４〜図７に従って説明する。
先ず、図４（ａ）に示すように、ノズルＮＺが形成されたノズルプレート１３を支持アーム２１の把持機構２１ａに取り付ける。そして、ガス供給部２５を駆動させて、窒素ガス（Ｎ_２ガス）をチャンバＣの下部から供給する。すると、窒素ガス（Ｎ_２ガス）がチャンバＣの中空内部を下部から上部へと排気される。これにより、チャンバＣの中空内部の雰囲気は水蒸気や塵がなくなり、窒素雰囲気となる。さらに、図示しない前記電源装置から電力を供給して紫外線ランプ２４を点灯させる。そして、この状態で、昇降装置２２を駆動させて支持アーム２１の把持機構２１ａに把持したノズルプレート１３を図４（ａ）及び（ｂ）に示すように、チャンバＣの中空内部を下から上に案内する。このとき、例えば1分〜5分費やして中空内部を案内させることでノズルプレート１３の表面全体に紫外線を照射する。従って、紫外線ランプ２４の出力は１５mW/cm²と大きいので、例えば、ノズルＮＺを形成する際のプレス加工に用いた機械油といった有機物や塵を十分に分解・除去される。この結果、ノズルプレート１３の表面が活性化される。また、このとき、チャンバＣの中空内部には、窒素ガスが流れているので、表面が活性化されたノズルプレート１３には、たとえば大気中の水蒸気や塵が付着せず、ノズルプレート１３の表面を最も活性な状態を確実に保持される。

そして、図４（ｃ）に示すように、ノズルプレート１３が最上位に至ると、その状態を維持したまま、図５（ａ）に示すように、昇降装置２２が駆動してノズルプレート１３が図５（ａ）に示すように矢印方向（下方向）に移動する。すると、再度、ノズルプレート１３はチャンバＣの中空内部を通過して同ノズルプレート１３の表面全体に紫外線が照射される。この結果、ノズルプレート１３の表面を確実に活性な状態にされる。このとき、チャンバＣの中空内部は、窒素ガスが供給され窒素雰囲気となる。

その後、さらに、ノズルプレート１３が図５（ｂ）中矢印方向（下方向）に移動して、図６（ａ）に示すように、ノズルプレート１３が貯留槽２３内に案内される。そして、ノズルプレート１３が貯留槽２３内の撥液膜原料ＬＦ中に浸漬される。このとき、ガス供給部２５を停止させて、窒素ガス（Ｎ_２ガス）の供給を止める。

その後、さらに、ノズルプレート１３を図６（ａ）から図６（ｂ）に示す位置まで移動させて、ノズルプレート１３全体を撥液膜原料ＬＦに浸漬させる。
続いて、ノズルプレート１３を上方向に移動させることで、図７（ａ）に示す位置まで移動させて、ノズルプレート１３全体を貯留槽２３から引き上げる。すると、ノズルプレート１３表面全体に撥液膜原料ＬＦが付着する。このとき、前記したように、ノズルプレート１３の表面全体が均一に活性化されているので、撥液膜原料ＬＦがノズルプレート１３表面全体に均一に付着される。また、撥液膜原料ＬＦは、本実施形態では、シランカップリング剤で構成されているので、ノズルプレート１３の表面全体に確実に撥液膜原料ＬＦが付着される。

その後、チャンバＣと貯留槽２３との間にノズルプレート１３を静止させる。この状態で、図示しないコンプレッサを駆動させてドライエアを排出するドライエアやプラズマ処理等を用いて、ノズルプレート１３表面全体に付着した撥液膜原料ＬＦのうち、ノズルＮＺを構成するテーパ状の第１孔部１７及び円柱状の第２孔部１８に付着した撥液膜原料ＬＦを除去する。また、同様にして、ノズルプレート１３の一側面１３ａに対向する側面に付着した撥液膜原料ＬＦを除去する（図７（ｂ）参照）。このとき、前記したように、チャンバＣと貯留槽２３との間隔Ｋは、ノズルプレート１３の長手方向の長さＳ（図２参照）と比較して十分に長いので、チャンバＣと貯留槽２３との間にノズルプレート１３全体を位置させることができる。この結果、前記撥液膜原料ＬＦの除去作業が容易となる。

その後、ノズルプレート１３をベイクまたは乾燥させることで撥液膜原料ＬＦ中の溶媒を蒸発させることで撥液膜Ｆを形成する。そして、別途形成した枠体１１Ａの下側面にノズルプレート１３の撥液膜Ｆが形成されていない側（ノズルプレート１３の一側面１３ａに対向する側面）を接着して、図１に示す液滴吐出ヘッド１０を製造する。

上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ノズルプレート１３に形成される撥液膜Ｆの原料である撥液膜原料ＬＦを貯留する貯留槽２３までに至る案内経路に、ノズルプレート１３を活性化する活性化手段として紫外線ランプ２４を備えた。従って、ノズルプレート１３の表面を活性化する工程と、その後に行われる撥液膜原料ＬＦを付着する工程とが一つの装置で行われる。この結果、ノズルプレート１３の表面を活性化した後、大気中の水蒸気や塵が付着せず、ノズルプレート１３の表面が活性化された状態のまま、直ちにノズルプレート１３に撥液膜原料ＬＦを付着させることができる。このため、撥液膜原料ＬＦをノズルプレート１３全体に密着して付着させることができる。この結果、ノズルプレート１３の撥液膜Ｆの撥液効果を十分に発揮させることができる。
（２）本実施形態によれば、ノズルプレート１３を活性化させる活性化手段としては、紫外線発生手段である紫外線ランプ２４を使用した。このため、ノズルプレート１３に付着した有機物や塵を除去することができる。
（３）本実施形態によれば、紫外線ランプ２４が取り付けられたチャンバＣの中空内部に、不活性ガスである窒素ガスを供給するようにした。従って、表面が活性化されたノズルプレート１３には、貯留槽２３に至るまでの途中で、たとえば大気中の水蒸気や塵が付着しない。このため、ノズルプレート１３の表面が最も活性な状態を保持したまま、同ノズルプレート１３に撥液膜原料ＬＦを付着させることができる。
（４）本実施形態によれば、撥液膜原料ＬＦとしてシランカップシング剤を用いた。従って、ノズルプレート１３表面を確実に撥液化させることができる。
（５）本実施形態によれば、チャンバＣと貯留槽２３との間隔Ｋは、ノズルプレート１３の長手方向の長さＳと比較して十分に長くなるようにした。従って、チャンバＣと貯留槽２３との間にノズルプレート１３全体を位置させることができる。この結果、エアドライヤを用いて、ノズルプレート１３表面全体に付着した撥液膜原料ＬＦのうち、ノズルＮＺを構成するテーパ状の第１孔部１７及び円柱状の第２孔部１８に付着した撥液膜原料ＬＦ、及び、ノズルプレート１３の一側面１３ａに対向する側面に付着した撥液膜原料ＬＦを除去するといった撥液膜原料ＬＦの除去作業を容易に行うことができる。

尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
○上記実施形態では、プレートとしては、液滴吐出装置としてのインクジェットプリンタに設けられたノズルプレート１３であったが、これに限定されるものではなく、液滴吐出装置以外のものに設けられるプレートであってもよい。要は、表面に膜を形成するものであれば、どんなものであってもよい。

○上記実施形態では、成膜装置２０は、ノズルプレート１３の表面に形成される膜は、該ノズルプレート１３の表面を撥液化する撥液膜Ｆを形成する場合に適応したが、そうではなく、ノズルプレート１３の表面を、例えば、親液化させる場合に適応させるようにしてもよい。この場合、貯留槽２３は、前記ノズルプレートの表面を親液化する親液膜原料を貯留するようにする。

○上記実施形態では、案内手段として支持アーム２１を使用したが、そうではなく、他のものであってもよい。要は、ノズルプレート１３に紫外線ランプ２４を照射させながら貯留槽２３に案内させることが可能であればよい。

○上記実施形態では、活性化手段としては、紫外線発生手段である紫外線ランプ２４を使用したが、これに限定されるものではなく、ノズルプレート１３を活性化させるものであればどんなものであってもよい。例えば、ノズルプレート１３を加熱するヒータであってもよい。このようにすることで、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。

○上記実施形態では、チャンバＣの中空内部に、不活性ガスである窒素ガスを供給するようにしたがこれに限定されるものではなく、例えば、ドライエアや、アルゴンガスであってもよい。このようにすることで、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。

○上記実施形態では、撥液膜原料ＬＦとしてシランカップシング剤を用いたが、これに限定されるものではなく、ノズルプレート１３に付着する機能液Ｌ（液滴１９）に対して撥液効果をもたらすものであればどんなものであってもよい。

本発明の成膜装置によって形成された撥液膜を有するノズルプレートを備えた液滴噴射ヘッドの一部断面斜視図。 ノズルプレートの上面図。 本実施形態に係る成膜装置の概略構成図。 （ａ）〜（ｃ）は、それぞれ、本実施形態に係る成膜装置を使用したノズルプレートの撥液膜の形成方法を説明するための図。 同じく、（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、成膜装置を使用したノズルプレートの撥液膜の形成方法を説明するための図。 同じく、（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、成膜装置を使用したノズルプレートの撥液膜の形成方法を説明するための図。 同じく、（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、成膜装置を使用したノズルプレートの撥液膜の形成方法を説明するための図。

符号の説明

Ｌ…機能液、ＬＦ…膜原料としての撥液膜原料、ＮＺ…ノズル、Ｔ…ターゲット、１０…液滴吐出ヘッド、１３…ノズルプレート、２０…成膜装置、２１…案内手段としての支持アーム、２２…昇降手段、２３…貯留槽、２４…活性化手段または紫外線発生手段としての紫外線ランプ、２５…ガス供給部。

Claims (7)

1. プレートの表面に膜を形成する成膜装置において、
   前記プレートの表面に形成される膜の膜原料を貯留する貯留槽と、
   前記プレートを前記貯留槽に貯留した膜原料に浸漬するために前記プレートを前記貯留槽に案内する案内手段と、
   前記プレートを前記案内手段による前記貯留槽への案内途中において、前記プレートの表面を活性化する活性化手段と
   を備えたことを特徴とする成膜装置。
2. 請求項１に記載の成膜装置において、
   前記プレートは、液滴吐出装置に設けられ、液滴を吐出するノズル孔が形成されたノズルプレートであることを特徴とする成膜装置。
3. 請求項２に記載の成膜装置において、
   前記ノズルプレートの表面に形成される膜は、該ノズルプレートの表面を撥液化する撥液膜であり、
   前記貯留槽は、前記ノズルプレートの表面を撥液化する撥液膜原料を貯留することを特徴とする成膜装置。
4. 請求項１乃至３のいずれか一つに記載の成膜装置において、
   前記活性化手段は、紫外線発生手段であることを特徴とする成膜装置。
5. 請求項１乃至４にいずれか一つに記載の成膜装置において、
   前記プレートを前記案内手段によって前記貯留槽に案内する経路に、該経路にドライエアまたは不活性ガスを供給するガス供給手段を備えていることを特徴とする成膜装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか一つに記載の成膜装置において、
   前記膜原料は、シランカップリング剤で構成されていることを特徴とする成膜装置。
7. 請求項１乃至６のいずれか一つに記載の成膜装置において、
   前記活性化手段と前記貯留槽との間隔は、前記プレートの長さよりも離間して備えられていることを特徴とする成膜装置。

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