JP2019147979A - 金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法及び金属めっき構造体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】貫通孔等の孔を表面に有する非導電性基材の該孔の内壁面に、その上に形成される金属膜等の膜との密着性を容易に向上できる金属酸化物膜を形成することができる、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法及び金属めっき構造体の製造方法を提供する。【解決手段】表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも孔の内壁面に金属酸化物膜を形成する、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法であって、金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、塗布膜を焼成して金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、塗布膜焼成工程後の非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程とを有する。【選択図】なし
Description
本発明は、貫通孔等の孔を表面に有する非導電性基材を用いた、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法及び金属めっき構造体の製造方法に関する。
従来より、液晶ディスプレイ、半導体装置等の電子機器等には、ガラス等の非導電性基材が用いられている。この非導電性基材は、例えば、表面に金属酸化物膜を介してめっき処理により金属膜を形成することで、非導電性基材の表面を改質し金属化して使用される(特許文献1参照)。
このような非導電性基材が、ガラス貫通配線基板(TGV:Through Glass Via)等の表面に孔を有する基材であって該孔の内壁面に上記金属酸化物膜及び金属膜を設ける場合、孔の内壁面に設けた金属酸化物膜と金属膜との密着性が不十分になる場合があるという問題があった。
なお、このような孔の内壁面に設けた金属酸化物膜と金属膜との密着性が不十分になるという問題は、非導電性基板表面の金属酸化物膜表面にめっき処理により金属膜を設ける場合に限らず、金属酸化物膜表面にめっき処理以外の方法により金属膜を設ける場合や、金属酸化物膜表面に金属以外の膜を設ける場合においても、同様に存在する。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、貫通孔等の孔を表面に有する非導電性基材の該孔の内壁面に、その上に形成される金属膜等の膜との密着性を容易に向上できる金属酸化物膜を形成することができる、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法及び金属めっき構造体の製造方法を提供することを目的とする。
本発明者らは、上述した課題を解決するために鋭意検討を重ねた。その結果、貫通孔等の孔を表面に有する非導電性基材の表面に、金属酸化物や金属酸化物前駆体と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を用いて浸漬法等の塗布法により塗布膜を形成した後に焼成して金属酸化物膜を得てこの上に金属膜等の膜を形成する場合に上記密着性が不十分になるという問題が生じること、及び、焼成して金属酸化物膜を得た後であって金属膜を形成する前に、純水中等で非導電性基材に超音波を付与するという簡便な方法により、金属酸化物膜とその表面に形成される金属膜等の膜との密着性が著しく向上することを知見し、さらに検討を重ねることにより、本発明を完成させた。すなわち、本発明は、以下のものを提供する。
(1)本発明の第1の発明は、表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも前記孔の内壁面に金属酸化物膜を形成する、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法であって、金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも前記孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、前記塗布膜を焼成して前記金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、前記塗布膜焼成工程後の前記非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程と、を有する金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法である。
(2)本発明の第2の発明は、前記塗布膜形成工程における塗布は、前記非導電性基材を前記金属酸化物膜形成用塗布剤に浸漬することにより行う、第1の発明に記載の金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法である。
(3)本発明の第3の発明は、前記塗布膜焼成工程では、前記塗布膜が形成された非導電性基材を、250℃以上650℃以下の焼成温度に加熱して焼成する、第1又は第2の発明に記載の金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法である。
(4)本発明の第4の発明は、前記超音波付与工程では、純水中で、周波数が20kHz以上100kHz以下の超音波を付与する、第1から第3の発明のいずれかに記載の金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法である。
(5)本発明の第5の発明は、表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも前記孔の内壁面に、金属酸化物膜を介してめっき処理により金属膜を形成する金属めっき構造体の製造方法であって、金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも前記孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、前記塗布膜を焼成して前記金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、塗布膜焼成工程後の前記非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程と、前記超音波付与工程後の前記金属酸化物膜の表面にめっき処理により金属膜を形成する金属膜形成工程と、前記金属膜を焼成する金属膜焼成工程と、を有する、金属めっき構造体の製造方法である。
本発明によれば、貫通孔等の孔を表面に有する非導電性基材の該孔の内壁面を含む表面に、その上に形成される金属膜等の膜との密着性に優れた金属酸化物膜を形成することができる。したがって、例えば金属酸化物膜からの金属膜の剥離等が抑制され、この金属めっき構造体を用いた液晶ディスプレイ、半導体装置等の電子機器は信頼性に優れたものとなる。
以下、本発明の実施形態について説明する。
本実施の形態に係る金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法は、表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも孔の内壁面に金属酸化物膜を形成する方法である。具体的には、本実施の形態に係る金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法は、金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、塗布膜を焼成して金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、塗布膜焼成工程後の非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程とを有する。そして、本実施の形態においては、超音波付与工程後の金属酸化物膜の表面にめっき処理により金属膜を形成する金属膜形成工程と、金属膜を焼成する金属膜焼成工程とをさらに有し、これにより、表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも孔の内壁面に、金属酸化物膜を介してめっき処理により金属膜が形成された金属めっき構造体を製造する。
本実施の形態に係る金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法は、表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも孔の内壁面に金属酸化物膜を形成する方法である。具体的には、本実施の形態に係る金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法は、金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、塗布膜を焼成して金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、塗布膜焼成工程後の非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程とを有する。そして、本実施の形態においては、超音波付与工程後の金属酸化物膜の表面にめっき処理により金属膜を形成する金属膜形成工程と、金属膜を焼成する金属膜焼成工程とをさらに有し、これにより、表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも孔の内壁面に、金属酸化物膜を介してめっき処理により金属膜が形成された金属めっき構造体を製造する。
図1〜図3を用いて、本実施の形態に係る金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法について、詳細に説明する。図1〜図3は、本実施の形態に係る金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造工程の一例を示す模式的断面図である。
本実施の形態においては、図1(a)〜図1(c)に示すように、まず、表面に孔2を有する非導電性基材1に対して、金属酸化物膜形成用塗布剤12を、少なくとも孔2の内壁面3に塗布して塗布膜13を形成する(塗布膜形成工程)。
本実施の形態において金属酸化物膜を形成する非導電性基材1は、表面に孔2を有する非導電性の基材、すなわち、基材の表面に開口部がある孔2を有する非導電性の基材である。非導電性基材1としては、例えば、ガラス、セラミックス、シリコンウェハー等が挙げられる。非導電性基材1の具体的な素材としては、石英、アルミノホウ珪酸、ホウ珪酸、曹達ライム、アルミナ、窒化アルミ、β−TCP(β型リン酸三カルシウム)、チタン酸バリウム(BaTiO3)等が挙げられる。また、非導電性の基材を2枚以上積層した積層体を、非導電性基材1として用いてもよい。非導電性基材1は、加熱した水酸化ナトリウム等のアルカリ溶液に浸漬する等して洗浄して用いることが好ましい。
また、非導電性基材1が表面に有する孔2は、図1(a)に示すように非導電性基材1を貫通する貫通孔でもよく、貫通しない孔でもよい。該孔2の寸法は特に限定されず、例えば、非導電性基材1表面の開口部の面積が小さく深い穴、例えば、開口部の直径が10μm以上300μm以下、より好ましくは30μm以上100μm以下で、孔2の非導電性基材1表面からの深さが100μm以上500μm以下の孔を有する非導電性基材を用いることができる。このような基材表面の開口部の面積が小さく深い孔2を有する非導電性基材1を用いると、孔2の内壁面3に金属酸化物膜14及び金属膜23等の膜をこの順に設けた場合、金属酸化物膜14と金属膜23等の膜との密着性が不十分になる場合がある。本実施の形態においては、このように基材表面の開口部の面積が小さく深い孔2を有する非導電性基材1であっても、孔2の内壁面3に設けた金属酸化物膜14と金属膜23等との密着性を、詳しくは後述するが、優れたものとすることができる。
本実施の形態において金属酸化物膜を形成する非導電性基材の具体例としては、例えば、ガラス貫通配線基板(TGV:Through Glass-Via)等が挙げられる。
金属酸化物膜形成用塗布剤12は、金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する。金属酸化物及び金属酸化物前駆体は、形成する金属酸化物膜14を構成する金属酸化物の原料である。金属酸化物の金属としては、チタン、シリコン等が挙げられる。金属酸化物膜の金属は、複数種の金属でもよい。金属酸化物前駆体は、例えば、チタン、シリコン等の各金属の、アルコキシド、カルボン酸化合物、ジオール化合物、ポリオール化合物、ジケトン錯体、ヒドロキシケトン錯体、ヒドロキシカルボン酸錯体等の錯体、加水分解物、塩化物等が挙げられる。金属酸化物膜形成用塗布剤12中で、金属酸化物前駆体が反応して金属酸化物となって含有されていてもよい。例えば、アルコキシド等が加水分解、脱水重縮合して、溶剤に溶解又は分散していてもよい。
金属酸化物膜形成用塗布剤12が含有する溶剤は、金属酸化物や金属酸化物前駆体を溶解又は分散することができればよく、水や、水との相溶性に優れる液体との混合溶媒等の水系溶剤でも、アルコール、ケトンや、エステル等の有機溶剤でもよい。非導電性基材に対して十分な塗れ性を有する溶剤を用いることが好ましい。
水系溶剤を用いて水溶性の金属酸化物膜形成用塗布剤とする場合は、金属酸化物膜形成用塗布剤に含有させる金属酸化物前駆体は、チタン、シリコン等の各金属の、乳酸、クエン酸、EDTA等の錯体、加水分解物、塩化物等が好ましい。有機溶剤を用いる場合は、金属酸化物膜形成用塗布剤に含有させる金属酸化物前駆体は、チタン、シリコン等の各金属の、アルコキシド、ジオール化合物、錯体、ポリオール化合物、ジケトン錯体、ヒドロキシケトン錯体等が好ましい。
金属酸化物膜形成用塗布剤12は、塗布膜13の均一性を向上するために、界面活性剤(レベラー)を含有していてもよい。特に水溶性の金属酸化物膜形成用塗布剤の場合、表面張力を下げ均一な塗布膜を形成するためには界面活性剤が必要な場合がある。界面活性剤は特に限定されないが、例えば、シリコン類(信越化学工業製KP−341、KP−104)、フッ化炭素類、ポリエーテール類(Sigma−Aldrich社製Triton X−100)等が挙げられる。
また、金属酸化物膜形成用塗布剤12は、その内部における金属酸化物前駆体の重縮合反応を進め、その分子量を調整することで酸化物膜の空隙率(ポロシティー)を調整したり、金属原子をキレート化して安定化させたり、酸化物や酸化物前駆体の表面電荷の状態を調整したりするため、酸や塩基を含有してもよい。このうち、キレート剤としては、酸化物膜を構成する金属原子をキレート化させる公知の化合物を用いることができ、例えば乳酸、クエン酸、2−ヒドロキシイソブチル酸、メトキシエトキシ酢酸、3,4−ジヒドロキシ安息香酸エチル、トリエタノールアミン、3−ヒドロキシ−2−ブタノン(アセトイン)、マルトール、カテコール、2,4−ペンタンジオンが挙げられる。
このような金属酸化物膜形成用塗布剤12を用いて塗布膜13を形成した後に後段の塗布膜焼成工程で塗布膜13を焼成することにより、すなわち、該金属酸化物膜形成用塗布剤12を用いてゾルゲル法やMOD(Metal-Organic Decomposition)法等の化学溶液法により、金属酸化物膜14を形成することができる。
金属酸化物膜形成用塗布剤12を孔2の内壁面3等の非導電性基材1の表面に塗布して塗布膜13を形成する塗布法は特に限定されない。図1(b)及び図1(c)においては、浸漬槽11中の金属酸化物膜形成用塗布剤12に非導電性基材1を浸漬した後に浸漬槽11から引き上げることで非導電性基材1の塗布膜13を形成するディップコーティング(浸漬塗布)により塗布膜13を形成する例を示したが、スプレーコーティング、スリットコーティング、スピンコーティング等でもよい。塗布法に合わせて、金属酸化物膜形成用塗布剤12のチタンやシリオン等の金属の濃度、溶剤、界面活性剤等の添加剤を選定することで、均一に所望の膜厚の金属酸化物膜14を形成することができる。
図1(a)〜図1(c)においては、非導電性基材1の全面に塗布膜13を形成した例を示したが、少なくとも孔2の内壁面3に形成すればよい。また、孔2が未貫通孔の場合は、内壁面3の他、孔2の底面にも形成してもよい。また、孔2の開口を埋めるように塗布膜13を形成してもよい。塗布膜13を形成しない領域に、フォトレジスト等の保護膜を形成した後に、金属酸化物膜形成用塗布剤12を塗布し、その後保護膜を除去することで、所望の位置に塗布膜13、ひいては金属酸化物膜14や金属膜23を形成することができる。
次に、図1(d)に示すように、塗布膜13を焼成して金属酸化物膜14を得る(塗布膜焼成工程)。塗布膜13を焼成することにより、溶剤が除去されるとともに、金属酸化物が焼結して非導電性基材1と密着された金属酸化物膜14を形成することができる。塗布膜焼成工程の焼成温度は、所望の金属酸化物膜14を得ることができれば特に限定されないが、例えば、250℃以上650℃以下である。金属酸化物膜14の膜厚は、例えば40nm以上60nm以下である。
次に、非導電性基材1に超音波を付与する(超音波付与工程)。これにより、図1(d)に示すように、塗布膜形成工程及び塗布膜焼成工程を経た後に孔2の中及びその近傍等の金属酸化物膜14上に存在する異物15、特には、非導電性基材1の孔2の開口部近傍の金属酸化物膜14上に存在する異物15を、容易に除去することができる(図2(a)、(b))。したがって、非導電性基材1に超音波を付与することにより、異物15が無い又は低減された状態で、金属酸化物膜14表面に後段のめっき処理により金属膜23等を設けることができる。そのため、異物15によるめっき処理の阻害が抑制され、また、金属酸化物膜14と金属膜23との間に異物15が存在することを抑制することができ、さらには、金属酸化物膜14上に金属膜23を均一に形成することができる。これにより、金属酸化物膜14と金属膜23との密着性が向上した、金属酸化物膜を有する非導電性基材20を得ることができる。
詳述すると、図1(d)に示すように、金属酸化物膜形成用塗布剤12を塗布して塗布膜を形成すると、非導電性基材1の孔2の少なくとも内壁面に、過剰の金属酸化物膜形成用塗布剤12が溜まることが多い。次いで、塗布膜を焼成することで金属酸化物膜14を形成すると、非導電性基材1の孔2に溜まった過剰の金属酸化物膜形成用塗布剤12が乾燥及び焼結されることで、孔2の内壁面や底面等に形成された金属酸化物膜14の表面には異物15が形成され、この異物15が孔2の開口の少なくとも一部を埋めることがある。そのため、この異物15は、主に金属酸化物膜形成用塗布剤12に由来すると推測されるが、このほか塗布膜13の形成から焼成までの間に外部から混入するものも含まれる。なお、金属酸化物膜形成用塗布剤12を塗布する前にろ過をして微細な異物を除去した場合であっても、焼成前や焼成中に反応が生じるためか、塗布膜焼成工程後には金属酸化物膜形成用塗布剤12に由来する異物15は存在する場合が多い。本実施の形態においては、塗布膜焼成工程後に超音波を付与することにより、この異物15を除去することができる。また、図1(c)には記載していないが、塗布膜形成工程後であって塗布膜焼成工程の前にも異物15が存在する場合があり、その場合、塗布膜形成工程後に異物15を除去する操作を行うことなく孔2内やその近傍に異物15が存在する状態で塗布膜焼成工程を行っても、後述する実施例に示すように、異物15を除去することができる。
異物15を除去する方法として、例えば、塗布膜形成工程後であって塗布膜焼成工程の前に孔2内を空気等の気体を通過させることにより異物15を除去する方法が考えられる。しかしこの方法では、通過させる気体の圧力や量の調整が難しいという問題や、空気等の気体を通過させる際に他の異物が混入しやすいという問題、さらには、孔2が複数の場合は一部の孔2のみの異物15が除去され残りの孔2については異物15が除去され難いという問題がある。
超音波付与工程は、例えば、図3(a)に示される、塗布膜焼成工程後の非導電性基材1を、純水中に浸漬して、超音波を付与する。超音波の周波数は、例えば20kHz以上100kHz以下であり、好ましくは20kHz以上45kHz以下である。また、超音波の出力は、非導電性基材1を浸漬する純水の量等の浴量にも依るが、例えば100W以上700W以下である。また、超音波を付与する時間も特に限定されず、例えば、1分〜10分程度とすることもできる。水槽に純水を貯留し、これに複数の非導電性基材1を浸漬して超音波を付与することにより、容易に同時に複数の非導電性基材1を処理することができる。
超音波付与工程の後、図3(b)に示すように、触媒21を金属酸化物膜14に付与する(触媒付与工程)。触媒21は、例えば、金属酸化物膜14表面にめっき処理により金属膜23を形成するための触媒であり、例えばパラジウム、白金等である。触媒21としては、触媒金属又はその化合物を、水溶液又は水分散液の形態で用いてもよい。特に、触媒21を水溶液の形態で用いる場合、触媒21を付与した後で、還元剤を含有する溶液を触媒21に接触させることで、触媒金属の化合物を金属状態に還元することができる。
超音波付与工程後に必要に応じて触媒付与工程を行った後に、金属酸化物膜14の表面にめっき処理により金属膜23を形成する(金属膜形成工程)。
本実施の形態においては、めっき処理として、無電解めっき処理及び電解めっき処理を順に行う。具体的には、図3(c)に示すように、まず、金属酸化物膜14の表面に無電解めっき処理により無電解めっき膜22を形成する。次に、図3(d)に示すように、この無電解めっき膜22をシード層とする電解めっき処理を行うことにより、所望の膜厚の金属膜23を形成する。
上述したように、本実施の形態においては、超音波付与工程において金属酸化物膜14上の異物15が除去された後に金属酸化物膜14上に金属膜23を形成するため、異物15によるめっき処理の阻害が抑制され、また、金属酸化物膜14と金属膜23との間に異物15が存在することを抑制することができ、さらには、金属酸化物膜14上に金属膜23を均一に形成することができる。したがって、非導電性基材1の孔2の内壁面3であっても金属酸化物膜14と金属膜23との密着性を良好にすることができる。
めっき処理の金属としては、銅、ニッケル等やこれらの複合系が挙げられる。
無電解めっき処理は、従来から公知の方法を用いることができ、例えば、銅等のめっきする金属のイオンと還元剤とを含有する無電解めっき浴に非導電性基材1を浸漬することで、金属酸化物膜14表面に無電解めっき膜22を形成することができる。
また、電解めっき処理も、従来から公知の方法を用いることができ、銅等のめっきする金属を含有する電解めっき浴に非導電性基材1を浸漬して電流を供給することで、無電解めっき膜22表面に電解めっき膜を形成することができ、無電解めっき膜22と電解めっき膜とで金属膜23となる。
金属膜形成工程後は、金属膜23を焼成する(金属膜焼成工程)。これにより、金属酸化物膜14を構成する金属酸化物と金属膜23を構成する金属とが結合し、金属めっき構造体30を製造することができる。本実施の形態においては、金属酸化物膜14と金属膜23との密着性に優れているため、金属酸化物膜14からの金属膜23の剥離等が抑制される。したがって、この金属めっき構造体30を用いた液晶ディスプレイ、半導体装置等の電子機器は信頼性に優れたものとなる。
以下、本発明について実施例を示してより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではない。
(実施例1)
図1〜図3に示す方法で、金属酸化膜を有する非導電性基材20及び金属めっき構造体30を製造した。具体的には以下の工程を順に行った。
図1〜図3に示す方法で、金属酸化膜を有する非導電性基材20及び金属めっき構造体30を製造した。具体的には以下の工程を順に行った。
<1.塗布膜形成工程>
下記の非導電性基材1を200g/LのNaOH水溶液に50℃で10分間浸漬した後、水洗し、エアーブローで乾燥した。
非導電性基材1:厚さ方向に一方の開口部の直径が80μmでもう一方の開口部の直径が40μmであるテーパ状の貫通孔(孔2)を複数有し、厚さが300μmのガラス板(ホウケイ酸)からなるTGV
下記の非導電性基材1を200g/LのNaOH水溶液に50℃で10分間浸漬した後、水洗し、エアーブローで乾燥した。
非導電性基材1:厚さ方向に一方の開口部の直径が80μmでもう一方の開口部の直径が40μmであるテーパ状の貫通孔(孔2)を複数有し、厚さが300μmのガラス板(ホウケイ酸)からなるTGV
上記で得られた非導電性基材を下記の金属酸化物膜形成用塗布剤12に浸漬し、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に厚さ300〜400nmの塗布膜13を形成した。なお、金属酸化物膜形成用塗布剤12は、0.2μmのフィルターでろ過したものを用いた。
金属酸化物膜形成用塗布剤12:
チタニウムテトライソプロポイシド・・・35mL(118mmol)
Siオリゴマーのアルコール溶液(製品名:Comp.5221、JCU株式会社製)・・・11.4mL(33mmol)
3−ヒドロキシ−2−ブタノン(アセトイン)・・・21mL(241mmol)
エタノール・・・740mL
n-ブタノール・・・50mL
乳酸エチル・・・50mL
ブトキシエタノール・・・50mL
γ-ブチロラクトン・・・50mL
金属酸化物膜形成用塗布剤12:
チタニウムテトライソプロポイシド・・・35mL(118mmol)
Siオリゴマーのアルコール溶液(製品名:Comp.5221、JCU株式会社製)・・・11.4mL(33mmol)
3−ヒドロキシ−2−ブタノン(アセトイン)・・・21mL(241mmol)
エタノール・・・740mL
n-ブタノール・・・50mL
乳酸エチル・・・50mL
ブトキシエタノール・・・50mL
γ-ブチロラクトン・・・50mL
<2.塗布膜焼成工程>
塗布膜13が形成された非導電性基材1を、電気炉で550℃、1時間焼成することで、厚さ40〜50nmでTi及びSiの酸化物膜からなる金属酸化物膜14を形成した。このとき、金属酸化物膜14は、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に形成されていた。また、貫通孔内には異物15が存在していた。電子顕微鏡で開口部が小さい側の表面を観察した結果を図4(a)に、電子顕微鏡で断面を観察した結果を図5(a)に示す。
塗布膜13が形成された非導電性基材1を、電気炉で550℃、1時間焼成することで、厚さ40〜50nmでTi及びSiの酸化物膜からなる金属酸化物膜14を形成した。このとき、金属酸化物膜14は、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に形成されていた。また、貫通孔内には異物15が存在していた。電子顕微鏡で開口部が小さい側の表面を観察した結果を図4(a)に、電子顕微鏡で断面を観察した結果を図5(a)に示す。
<3.超音波付与工程>
塗布膜焼成工程後の非導電性基材1を、12Lの純水を貯留した水槽に浸漬し、周波数:23kHz、出力:100Wの超音波を1分間付与した。これにより、超音波付与工程前には貫通孔内に存在していた異物15が除去されていた。電子顕微鏡で開口部が小さい側の表面を観察した結果を図4(b)に、電子顕微鏡で断面を観察した結果を図5(b)に示す。
塗布膜焼成工程後の非導電性基材1を、12Lの純水を貯留した水槽に浸漬し、周波数:23kHz、出力:100Wの超音波を1分間付与した。これにより、超音波付与工程前には貫通孔内に存在していた異物15が除去されていた。電子顕微鏡で開口部が小さい側の表面を観察した結果を図4(b)に、電子顕微鏡で断面を観察した結果を図5(b)に示す。
<4.触媒付与工程>
超音波付与工程後の非導電性基材1を、触媒金属としてPdを含有する触媒溶液(JCU社製、ES−300。100mL/L)に、50℃で3分間浸漬した後、水洗した。その後、還元剤としてDMABを含有する還元処理溶液(JCU社製、ES−400)に、40℃で2分間浸漬し、乾燥した後、常温まで冷却した。これにより、金属酸化物膜14表面に触媒21としてPd粒子を付与した。
超音波付与工程後の非導電性基材1を、触媒金属としてPdを含有する触媒溶液(JCU社製、ES−300。100mL/L)に、50℃で3分間浸漬した後、水洗した。その後、還元剤としてDMABを含有する還元処理溶液(JCU社製、ES−400)に、40℃で2分間浸漬し、乾燥した後、常温まで冷却した。これにより、金属酸化物膜14表面に触媒21としてPd粒子を付与した。
<5.無電解めっき処理工程>
触媒付与工程後の非導電性基材1を、銅イオンとホルムアルデヒド(還元剤)とを含有する無電解めっき浴(JCU社製、PB−507F)に30℃で8分間浸漬し、金属酸化物膜14表面に、厚さ120μmの無電解めっき膜22を形成した。このとき、無電解めっき膜22は、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に形成されていた。
触媒付与工程後の非導電性基材1を、銅イオンとホルムアルデヒド(還元剤)とを含有する無電解めっき浴(JCU社製、PB−507F)に30℃で8分間浸漬し、金属酸化物膜14表面に、厚さ120μmの無電解めっき膜22を形成した。このとき、無電解めっき膜22は、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に形成されていた。
<6.電解めっき処理工程>
無電解めっき処理工程後の非導電性基材1を、硫酸銅を含有する電解めっき浴(JCU社製、CU BRITE 21)に浸漬し、電流密度3A/dm3で電流を供給することで、無電解めっき膜22表面に、厚さ20μmの銅からなる電解めっき膜を形成し、無電解めっき膜22と電解めっき膜で金属膜23とした。このとき、金属膜23は、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に形成されていた。
無電解めっき処理工程後の非導電性基材1を、硫酸銅を含有する電解めっき浴(JCU社製、CU BRITE 21)に浸漬し、電流密度3A/dm3で電流を供給することで、無電解めっき膜22表面に、厚さ20μmの銅からなる電解めっき膜を形成し、無電解めっき膜22と電解めっき膜で金属膜23とした。このとき、金属膜23は、非導電性基材1の孔2の内壁面3を含む全面に形成されていた。
<7.金属膜焼成工程>
電解めっき処理工程後の非導電性基材1を、窒素雰囲気下で、400℃で1時間焼成した。これにより、金属めっき構造体30を得た。
電解めっき処理工程後の非導電性基材1を、窒素雰囲気下で、400℃で1時間焼成した。これにより、金属めっき構造体30を得た。
<密着力評価>
実施例1で得られた金属めっき構造体について、24℃で相対湿度30%の環境下で、90°ピール試験を行った(JIS規格H8630)。密着力は0.7kN/mであり、優れていた。
実施例1で得られた金属めっき構造体について、24℃で相対湿度30%の環境下で、90°ピール試験を行った(JIS規格H8630)。密着力は0.7kN/mであり、優れていた。
図4及び図5に示すように、塗布膜焼成工程後であって金属膜形成工程前に超音波処工程を行うことにより、孔2内に存在していた異物15を容易に除去することができることが確認された。その結果、金属酸化物膜14と金属膜23との密着力が向上し、密着力評価結果に示すように、該密着力に優れていた。なお、上述したように、実施例1では金属酸化物膜14上の異物15が除去された状態で金属膜23が形成されるため、孔2内の内壁面3も孔2以外の非導電性基材1表面も、金属酸化物膜14と金属膜23との密着力はほぼ同じであると言える。
1 非導電性基材
2 孔
3 内壁面
11 浸漬槽
12 金属酸化物膜形成用塗布剤
13 塗布膜
14 金属酸化物膜
15 異物
20 金属酸化物膜を有する非導電性基材
21 触媒
22 無電解めっき膜
23 金属膜
30 金属めっき構造体
2 孔
3 内壁面
11 浸漬槽
12 金属酸化物膜形成用塗布剤
13 塗布膜
14 金属酸化物膜
15 異物
20 金属酸化物膜を有する非導電性基材
21 触媒
22 無電解めっき膜
23 金属膜
30 金属めっき構造体
Claims (5)
- 表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも前記孔の内壁面に金属酸化物膜を形成する、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法であって、
金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも前記孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、
前記塗布膜を焼成して前記金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、
前記塗布膜焼成工程後の前記非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程と、を有する、金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法。 - 前記塗布膜形成工程における塗布は、前記非導電性基材を前記金属酸化物膜形成用塗布剤に浸漬することにより行う、請求項1記載の金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法。
- 前記塗布膜焼成工程では、前記塗布膜が形成された非導電性基材を、250℃以上650℃以下の焼成温度に加熱して焼成する、請求項1又は2記載の金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法。
- 前記超音波付与工程では、純水中で、周波数が20kHz以上100kHz以下の超音波を付与する、請求項1から3のいずれか記載の金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法。
- 表面に孔を有する非導電性基材の少なくとも前記孔の内壁面に、金属酸化物膜を介してめっき処理により金属膜を形成する金属めっき構造体の製造方法であって、
金属酸化物及び金属酸化物前駆体から選択される少なくとも一種と溶剤とを含有する金属酸化物膜形成用塗布剤を、少なくとも前記孔の内壁面に塗布して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、
前記塗布膜を焼成して前記金属酸化物膜を得る塗布膜焼成工程と、
塗布膜焼成工程後の前記非導電性基材に超音波を付与する超音波付与工程と、
前記超音波付与工程後の前記金属酸化物膜の表面にめっき処理により金属膜を形成する金属膜形成工程と、
前記金属膜を焼成する金属膜焼成工程と、
を有する、金属めっき構造体の製造方法。
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JP2018032507A JP2019147979A (ja) | 2018-02-26 | 2018-02-26 | 金属酸化物膜を有する非導電性基材の製造方法及び金属めっき構造体の製造方法 |
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