JP2019140552A - パッケージ及び水晶デバイス - Google Patents
パッケージ及び水晶デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019140552A JP2019140552A JP2018022884A JP2018022884A JP2019140552A JP 2019140552 A JP2019140552 A JP 2019140552A JP 2018022884 A JP2018022884 A JP 2018022884A JP 2018022884 A JP2018022884 A JP 2018022884A JP 2019140552 A JP2019140552 A JP 2019140552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- package
- vibrating piece
- bank portion
- crystal vibrating
- bonding pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【課題】 水晶振動片の自由端が水平方向に向くとともに、耐衝撃性を向上させたパッケージを提供する。【解決手段】励振電極(131)から引き出された引出電極(132)を含み且つ所定方向に伸びる水晶振動片(130)が載置される載置面を有するパッケージ(120)である。そしてパッケージの載置面は、引出電極に対応する位置に水晶振動片に電気信号を伝えるとともに水晶振動片を接合する所定高さの接合パッド(128)と、接合パッドの所定方向の位置に、所定方向と交差する方向に伸び且つ接合パッドの所定高さと同等以下の高さの堤部(129)と、を備える。【選択図】 図3
Description
本発明は、パッケージ及びそのパッケージを有する水晶デバイスに関し、特に耐衝撃性の向上を図ることができるパッケージ及び水晶デバイスに関する。
水晶デバイスは、その内部に導電性接着剤を介して水晶振動片の一端を固定している。水晶振動片の他端は、固定されておらず自由端であり、いわゆる片持ち状態である。水晶デバイスに衝撃が加わると、自由端である他端は上下に大きく揺れてしまい、他端がパッケージの内底面に衝突してしまう場合がある。
このため、特許文献1に開示される水晶デバイスは、パッケージの内底面に突堤を形成して、水晶振動片の自由端を斜め上方に向くようにしている。
しかし、特許文献1で開示されるパッケージは、水晶振動片の自由端を斜め上方に向くようにするため、セラミックパッケージの高さを低くすることができない。また、水晶振動片をパッケージ内に固定する接着強度をできるだけ高める必要性があった。
そこで、本発明は、水晶振動片をパッケージ内に固定する接着強度を高め、水晶振動片の自由端を水平方向に向くようにして、耐衝撃性を向上させたパッケージ及び水晶振動子を提供することを目的とする。
本実施形態は、励振電極から引き出された引出電極を含み且つ所定方向に伸びる水晶振動片が載置される載置面を有するパッケージである。そしてパッケージの載置面は、引出電極に対応する位置に水晶振動片に電気信号を伝えるとともに水晶振動片を接合する所定高さの接合パッドと、接合パッドの所定方向の位置に、所定方向と交差する方向に伸び且つ接合パッドの所定高さと同等以下の高さの堤部と、を備える。
また堤部は、励振電極の側の第1堤部と励振電極の反対側の第2堤部とを含んでもよい。
さらに第1堤部と第2堤部との高さが異なってもよい。
さらに堤部は、接合パッドと同じ材料で形成されてもよい。
さらに第1堤部と第2堤部との高さが異なってもよい。
さらに堤部は、接合パッドと同じ材料で形成されてもよい。
本実施形態の水晶デバイスは、上述した実施形態のパッケージと、励振電極から引き出された引出電極を含み且つ所定方向に伸びる水晶振動片と、を備え、パッケージと水晶振動片とが導電性接着剤で接合されている。
本発明のパッケージは、水晶振動片の自由端が一定の高さに保たれ水晶振動片をパッケージ内に固定する接着強度を高め、水晶デバイスの耐衝撃性を向上させる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明の範囲は以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
本実施形態では、水晶振動片130には例えばATカットの水晶板が用いられる。ATカットの水晶振動片は、水晶のY面(XZ面)を水晶のX軸を回転中心として−Y軸方向に35度程度回転させたY′面を主面とする水晶片である。以下の説明では、ATカットの水晶板の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、水晶デバイス100においては水晶デバイス100の長辺方向をX軸方向、水晶デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。以下、第1実施形態から第3実施形態において同様である。
(第1実施形態)
<水晶デバイス100の構成>
図1(a)は、水晶デバイス100の斜視図である。水晶デバイス100は、主に、第1パッケージ120と、第1パッケージ120内に載置される水晶振動片130と、水晶振動片130を第1パッケージ120内に密封するリッド130と、により構成されている。リッド130は、第1パッケージ120に接合される。水晶デバイス100の外形は略直方体形状に形成されている。水晶デバイス100は、表面実装型の水晶デバイスであり、実装端子125がプリント基板等(不図示)にハンダで固定される。
<水晶デバイス100の構成>
図1(a)は、水晶デバイス100の斜視図である。水晶デバイス100は、主に、第1パッケージ120と、第1パッケージ120内に載置される水晶振動片130と、水晶振動片130を第1パッケージ120内に密封するリッド130と、により構成されている。リッド130は、第1パッケージ120に接合される。水晶デバイス100の外形は略直方体形状に形成されている。水晶デバイス100は、表面実装型の水晶デバイスであり、実装端子125がプリント基板等(不図示)にハンダで固定される。
図1(b)は、リッド130が取り外された水晶デバイス100の斜視図である。第1パッケージ120は例えばセラミックにより形成され、第1パッケージ120の内部には水晶振動片130を載置するための空間であるキャビティ121が形成されている。第1パッケージ120の+Y’軸側の面のキャビティ121の周囲には、リッド130に接合される接合面122が形成されている。また、第1パッケージ120の−Y’軸側の面である実装面125cには、実装端子125a及び実装端子125bが形成されている。キャビティ121内の−Y’軸側の面である底面121aには接合パッド124a,124bが形成されている。
図1(b)では、キャビティ121に形成される接合パッド124a及び第2接合パッド124b上に水晶振動片130が載置されている状態が示されている。水晶振動片130は両主面に励振電極131が形成されており、水晶振動片130の−X軸側の辺の両端に励振電極131から引出電極133が引き出されている。水晶振動片130の+Y’軸側の面に形成される励振電極131は水晶振動片130の−X軸側の辺の−Z’軸側の端に形成される引出電極133に電気的に接続される。また、水晶振動片130の−Y’軸側の面に形成される励振電極131は水晶振動片130の−X軸側の辺の+Z’軸側の端に形成される引出電極133に電気的に接続される。
<第1パッケージ>
図2(a)は、図2(b)のA−Aで示された位置における、水晶デバイス100の断面図である。水晶デバイス100において、水晶振動片130が載置されていない状態である。図2(b)は、水晶デバイス100からリッド110及び水晶振動片130を取り外した平面図である。図3(a)は、水晶振動片130が載置された水晶デバイス100の断面図である。図3(b)は、水晶デバイス100からリッド110を取り外した平面図である。図2及び図3を使って第1パッケージを説明する。
図2(a)は、図2(b)のA−Aで示された位置における、水晶デバイス100の断面図である。水晶デバイス100において、水晶振動片130が載置されていない状態である。図2(b)は、水晶デバイス100からリッド110及び水晶振動片130を取り外した平面図である。図3(a)は、水晶振動片130が載置された水晶デバイス100の断面図である。図3(b)は、水晶デバイス100からリッド110を取り外した平面図である。図2及び図3を使って第1パッケージを説明する。
第1パッケージ120は、例えばセラミックスにより形成されており、図2に示されるように、第1パッケージ120は3つの層により形成されている。第1層120aは平面状に形成されている。また、第1層120aの−Y’軸側の面は実装面126aであり、実装端子125が形成される。第1層120aの+Y’軸側には環状の第2層120bが配置される。第2層120bは環状であり環状の内側の一部に台座128及び堤部129が設けられている。そして環状の中央部はキャビティ121を形成する空間が形成されている。第2層120bの+Y’軸側には環状の第3層120cが配置される。第3層120cも環状であり、その中央部はキャビティ121を形成する空間が形成されている。また、第3層120cの+Y’軸側の面には接合面122が形成されている。接合面122は、第1パッケージ120とリッド110とが接合される面である。
図2(a)に示されるように、第1パッケージ120の実装面126a(−Y’軸側の面)に、実装端子125a,125bが形成される。実装面126aの反対側の面である底面126bに(+Y’軸側の面)に接続配線124c、124d(図2(b)を参照)が配置されている。これら接続配線124c、124dはそれぞれ実装端子125に電気的に接続されている。接合パッド124a,124bが台座128の上面(+Y’軸側の面)に形成され、接続配線124c、124dと電気的に接続されている。また接続配線124c、124dが形成されていない箇所で、台座128の+X軸側にZ’軸方向に伸びる堤部129が形成されている。この堤部129は、水晶振動片130と接合パッド124a,124bとの導電接着剤141による接着力を強化するために設けられている。台座128の平面視の形状は矩形形状であるが、この形状に限られず半円形状又は半楕円形状等でも良い。
図2(a)に示されるように、台座128のY’軸方向の高さと堤部129の高さとの違いは約10μmから15μmであり、これは接合パッド124の厚さによる違いである。また図2(b)に示されるように、台座128のX軸方向の幅L2は80μmから100μmであり、堤部129のX軸方向の幅L1は15μmから30μmである。台座128と堤部129とのX軸方向の距離L3は20μmから50μmである。つまり、堤部129の幅L1に対して、台座128の幅L2が約4倍から5倍であり、台座128と堤部129との距離L3が約1.5倍から2倍である。
図2(b)に示されるように、第1パッケージ120には、外壁の四隅から凹んだキャスタレーション127a、及び第1パッケージ120の短辺側の外壁の中央から内側に凹んだキャスタレーション127bが形成されている。
また、キャスタレーション127bは、実装端子125の一部を第1パッケージ120の側面にも形成する。水晶デバイス100は、ハンダでプリント基板等に実装される。この溶けたハンダは、水晶デバイス100の側面に形成される実装端子125にも付着する。実装端子125に付着したハンダの付き具合で、水晶デバイス100とプリント基板との接合状態を確認することができる。
第1パッケージ120に形成される接合パッド124a,124b及び実装端子125等の電極は、例えばセラミックス上に形成されたタングステン層、およびその上に形成されるニッケル層及び金層により構成できる。
<リッド>
次に、リッド110について説明する。図1(a)及び図2(a)に示されるように、リッド110は、コバール等の金属からなる平面板である。リッド110は、第1パッケージ120の+Y’軸側の面に形成されている接合面122に例えば金錫等のロー材142により接合され、第1パッケージ120のキャビティ121を密封する。
次に、リッド110について説明する。図1(a)及び図2(a)に示されるように、リッド110は、コバール等の金属からなる平面板である。リッド110は、第1パッケージ120の+Y’軸側の面に形成されている接合面122に例えば金錫等のロー材142により接合され、第1パッケージ120のキャビティ121を密封する。
<水晶振動片>
次に、図1及び図3を使って、水晶振動片130について説明する。最初に、水晶振動片130の形状について説明する。水晶振動片130は、Y’軸方向からみて短辺(Z’軸方向)と長辺(X軸方向)とを有する長方形状である。
次に、図1及び図3を使って、水晶振動片130について説明する。最初に、水晶振動片130の形状について説明する。水晶振動片130は、Y’軸方向からみて短辺(Z’軸方向)と長辺(X軸方向)とを有する長方形状である。
励振電極131a,131bが、励振部134の+Y’軸側及び−Y’軸側の主面に形成されている。また、一対の引出電極132a,132bが、−X軸側で且つ±Z軸の端部に形成されている。引出電極133aは、励振電極131aから水晶振動片130の−X軸側に引き出される。そして引出電極133aは、側面電極133cを介して水晶振動片130の底面側(−Y’軸側)の引出電極132aに接続する。引出電極133bは、励振電極131bから−X側に引き出され、側面電極133dを備えた引出電極132bに接続する。
+Y’軸側の励振電極131a、引出電極133a及び側面電極133c、133dは一体に形成されている。また、−Y’軸側の励振電極131b、引出電極133b及び引出電極132bと側面電極133c、133dとは一体に形成される構造となっている。
励振電極131a,131b、引出電極132a,132b、側面電極133c,133d及び引出電極133a,133bは、例えば水晶振動片130にクロム(Cr)層が形成され、クロム層の上に金(Au)層が形成されている。
<水晶振動片と第1パッケージとの接合>
水晶振動片130と第1パッケージ120との接合において、接合パッド124a,124bに適正量の導電性接着剤141が塗布されている。水晶振動片130の引出電極132a,132bは、導電性接着剤141の位置に配置され、水晶振動片130は、不図示の載置装置でーY’軸方向に押圧される。引出電極132a,132bは、堤部129が存在するために導電性接着剤141との接触面積を+X軸側に広げ、接合強度を高めることができる。また堤部129は、導電性接着剤141に+X軸側に裾広がりの形状部分(フィレット)141fを形成しやすくしている。なお、図2及び図3において、台座128には接合パッド124が形成されており堤部129には接合パッド124が形成されていない。このため接合パッド124の高さ(Y’軸方向)より堤部129の高さがH1だけ低くなっている。堤部129の高さが低くなっているため、フィレット141fが形成されやすい。図2,図3では、堤部129にはタングステン層又はニッケル層等の金属層が形成されていなかったが、堤部129に金属層が形成され、堤部129の高さが接合パッド124の高さと同等になってもよい。
水晶振動片130と第1パッケージ120との接合において、接合パッド124a,124bに適正量の導電性接着剤141が塗布されている。水晶振動片130の引出電極132a,132bは、導電性接着剤141の位置に配置され、水晶振動片130は、不図示の載置装置でーY’軸方向に押圧される。引出電極132a,132bは、堤部129が存在するために導電性接着剤141との接触面積を+X軸側に広げ、接合強度を高めることができる。また堤部129は、導電性接着剤141に+X軸側に裾広がりの形状部分(フィレット)141fを形成しやすくしている。なお、図2及び図3において、台座128には接合パッド124が形成されており堤部129には接合パッド124が形成されていない。このため接合パッド124の高さ(Y’軸方向)より堤部129の高さがH1だけ低くなっている。堤部129の高さが低くなっているため、フィレット141fが形成されやすい。図2,図3では、堤部129にはタングステン層又はニッケル層等の金属層が形成されていなかったが、堤部129に金属層が形成され、堤部129の高さが接合パッド124の高さと同等になってもよい。
(第2実施形態)
<第2パッケージ>
第2実施形態の水晶デバイス200は、第1実施形態の水晶デバイス100とパッケージのみ異なり、水晶振動片及びリッドは同じである。図4(a)は、水晶振動片130が載置された水晶デバイス200の断面拡大図である。図4(b)は、水晶デバイス200からリッド及び水晶振動片130を取り外した平面図である。図5を使って第2パッケージ220を説明する。第2実施形態では、水晶デバイス100とその構成が同じ部分は水晶デバイス100と同じ符号を付している。同じ構成についてはその説明を割愛する。
<第2パッケージ>
第2実施形態の水晶デバイス200は、第1実施形態の水晶デバイス100とパッケージのみ異なり、水晶振動片及びリッドは同じである。図4(a)は、水晶振動片130が載置された水晶デバイス200の断面拡大図である。図4(b)は、水晶デバイス200からリッド及び水晶振動片130を取り外した平面図である。図5を使って第2パッケージ220を説明する。第2実施形態では、水晶デバイス100とその構成が同じ部分は水晶デバイス100と同じ符号を付している。同じ構成についてはその説明を割愛する。
第2パッケージ220は3つの層により形成されている。第1層220aは平面状に形成されている。また、第1層220aの−Y’軸側の面に実装端子125が形成される。第1層220aの+Y’軸側には環状の第2層220bが配置される。第2層220bは環状であり環状の内側の一部に台座228及び一対の堤部229が設けられている。台座228の配置位置は、第1パッケージ120の台座128の配置位置と比べて、+X軸方向にずれている。第2層220bの+Y’軸側には環状の第3層220cが配置される。
図4(a)に示されるように、第2パッケージ220の実装面(−Y’軸側の面)に、実装端子125が形成される。接合パッド124aが台座228の上面(+Y’軸側の面)に形成され、貫通電極124vによって実装端子125と電気的に接続されている。また台座228の−X軸側及び+X軸側にZ’軸方向に伸びる堤部229がそれぞれ形成されている。これら堤部229は、水晶振動片130の引出電極132と接合パッド124との接着力を強化するために設けられている。これら堤部229は、導電性接着剤141にフィレット141fを形成しやすくしている。第1実施形態と同様に、堤部229に金属層が形成され、接合パッド124aの高さと堤部229の高さとが同じになってもよい。さらに、一対の堤部229の高さが互いに異なっていても良く、例えば+X軸側の堤部229の高さが接合パッド124aの高さと同で、−X軸側の堤部229の高さが接合パッド124aより低くても良い。さらに+−X軸側の堤部229の高さが逆であっても良い。
(第3実施形態)
<第3パッケージ>
第3実施形態の水晶デバイス300は、第1実施形態の水晶デバイス100とパッケージのみ異なり、水晶振動片及びリッドは同じである。図5(a)は、水晶振動片130が載置された水晶デバイス300の断面拡大図である。図5(b)は、水晶デバイス300からリッド及び水晶振動片130を取り外した平面図である。図5を使って第3パッケージ320を説明する。第3実施形態では、水晶デバイス100とその構成が同じ部分は水晶デバイス100と同じ符号を付している。同じ構成についてはその説明を割愛する。
<第3パッケージ>
第3実施形態の水晶デバイス300は、第1実施形態の水晶デバイス100とパッケージのみ異なり、水晶振動片及びリッドは同じである。図5(a)は、水晶振動片130が載置された水晶デバイス300の断面拡大図である。図5(b)は、水晶デバイス300からリッド及び水晶振動片130を取り外した平面図である。図5を使って第3パッケージ320を説明する。第3実施形態では、水晶デバイス100とその構成が同じ部分は水晶デバイス100と同じ符号を付している。同じ構成についてはその説明を割愛する。
第3パッケージ320は2つの層により形成されている。第1層320aは平面状に形成されている。また、第1層320aの−Y’軸側の面に実装端子125が形成される。第1層320aの+Y’軸側には環状の第2層320bが配置される。第1実施形態及び第2実施形態では、パッケージは3層であったが第3実施形態では2層である点で異なり、第2層320bには台座又は堤部が形成されていない点でも異なる。
図5(a)に示されるように、第3パッケージ320の実装面(−Y’軸側の面)に、実装端子125が形成される。接合パッド124aが台座328の上面(+Y’軸側の面)に形成され、接合パッド124aと台座328とは電気的に接続し、台座328は接続配線124dによって実装端子125と電気的に接続されている。台座328は例えば、金属であるタングステンペーストがスクリーン印刷方式などにより複数回印刷されて、所定の高さで形成される。第3実施形態では、第1実施形態及び第2実施形態と異なり、台座328と環状の第2層320bとが接している必要はない。台座328の平面視の形状はスクリーン印刷のし易さから楕円(トラック形状)であるが、この形状に限られない。
また台座328の−X軸側及び+X軸側にZ’軸方向に伸びる堤部329がそれぞれ形成されている。台座328の平面視の形状がトラック形状であることから、堤部329の+−Z’軸側の端は、トラック形状に合わせて曲がっている。堤部329も、台座328と同様に、タングステンペーストがスクリーン印刷方式などにより複数回印刷されて、所定の高さで形成される。台座328及び堤部329は、スクリーン印刷で同時に形成できる。また、台座328だけを数回余分に印刷して台座328の高さを堤部329よりも10μmから15μm高くしても良い。
これら堤部329は、水晶振動片130の引出電極132と接合パッド124との接着力を強化するために設けられている。これら堤部329は、導電性接着剤141にフィレット141fを形成しやすくしている。第1実施形態と同様に、堤部329に金属層が形成され、接合パッド124aの高さと堤部329の高さとが同じになってもよい。
<その他の台座及び堤部の形状>
図6(a)及び(b)は、第3実施形態の変形例である。2つの層によりなる第3パッケージ320に、台座及び堤部を形成した平面図である。
図6(a)及び(b)は、第3実施形態の変形例である。2つの層によりなる第3パッケージ320に、台座及び堤部を形成した平面図である。
図6(a)に描かれた、接合パッド124aは円形の台座428の上面(+Y’軸側の面)に形成され、接合パッド124aと台座428とは電気的に接続し、台座428は接続配線124dによって実装端子125と電気的に接続されている。台座428は金属層で所定の高さに形成される。また、堤部429は円形の台座428を取り囲むように平面視で環状であり、金属層で所定の高さに形成される。接続配線124dは電気的に堤部429に接続されてもよい。
図6(b)に描かれた、接合パッド124aは矩形の台座528の上面(+Y’軸側の面)に形成され、接合パッド124aと台座528とは電気的に接続し、台座528は接続配線124dによって実装端子125と電気的に接続されている。台座528は金属層で所定の高さに形成される。また、堤部529は矩形の台座528を取り囲むように平面視で環状であり、金属層で所定の高さに形成される。接続配線124dは電気的に堤部529に接続されてもよい。
以上、本発明の最適な実施形態について詳細に説明したが、当業者に明らかなように、本発明はその技術的範囲内において実施形態に様々な変更・変形を加えて実施することができる。例えば、第2実施形態では、貫通電極124vで接合パッド124aと実装端子125とを電気的に接続したが、この貫通電極を第1実施形態又は第3実施形態の接続配線に代えて適用してもよい。本実施形態の水晶振動片130はATカットの水晶板を用いたが、SCカット、BTカット等の他のカット水晶片であっても良い。さらに水晶振動片はベベル加工された水晶片であっても良い。また第1から第3実施形態では、励振部が平板上の水晶振動片を開示したが、凸形状のメサ型振動片又は凹形状の逆メサ型振動片にも適用できる。また、本実施形態は、水晶振動子以外にも、発振回路を組み込んだICなどをベース部上に配置させた水晶発振子にも適用できる。
100,200,300 … 水晶デバイス
110 … リッド
120,220,320 … パッケージ
121 … キャビティ
122 … 接合面
124a,124b … 接合パッド
124c,124d … 接続配線
125 … 実装端子
126a … 実装面
126b … 底面
127a,127b … キャスタレーション
128,228,328,428,528 … 台座
129,229,329,429,529 … 堤部
130 … 水晶振動片
131a,131b … 励振電極
132a,132b … 引出電極
133c,133d … 側面電極
141 … 導電性接着剤 141f … フィレット
142 … メタライズ層
110 … リッド
120,220,320 … パッケージ
121 … キャビティ
122 … 接合面
124a,124b … 接合パッド
124c,124d … 接続配線
125 … 実装端子
126a … 実装面
126b … 底面
127a,127b … キャスタレーション
128,228,328,428,528 … 台座
129,229,329,429,529 … 堤部
130 … 水晶振動片
131a,131b … 励振電極
132a,132b … 引出電極
133c,133d … 側面電極
141 … 導電性接着剤 141f … フィレット
142 … メタライズ層
Claims (5)
- 励振電極から引き出された引出電極を含み且つ所定方向に伸びる水晶振動片が載置される載置面を有するパッケージであって、
前記載置面は、前記引出電極に対応する位置に前記水晶振動片に電気信号を伝えるとともに前記水晶振動片を接合する所定高さの接合パッドと、
前記接合パッドの前記所定方向の位置に、前記所定方向と交差する方向に伸び且つ前記接合パッドの前記所定高さと同等以下の高さの堤部と、
を備えるパッケージ。 - 前記堤部は、前記励振電極の側の第1堤部と前記励振電極の反対側の第2堤部とを含む請求項1に記載のパッケージ。
- 前記第1堤部と前記第2堤部との高さが異なる請求項2に記載のパッケージ。
- 前記堤部は、前記接合パッドと同じ材料で形成される請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のパッケージ。
- 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のパッケージと、
励振電極から引き出された引出電極を含み且つ所定方向に伸びる水晶振動片と、を備えた水晶デバイスであって、
前記パッケージと前記水晶振動片とが導電性接着剤で接合される水晶デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018022884A JP2019140552A (ja) | 2018-02-13 | 2018-02-13 | パッケージ及び水晶デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018022884A JP2019140552A (ja) | 2018-02-13 | 2018-02-13 | パッケージ及び水晶デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019140552A true JP2019140552A (ja) | 2019-08-22 |
Family
ID=67694523
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018022884A Pending JP2019140552A (ja) | 2018-02-13 | 2018-02-13 | パッケージ及び水晶デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019140552A (ja) |
-
2018
- 2018-02-13 JP JP2018022884A patent/JP2019140552A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6164326B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2013021667A (ja) | 水晶デバイス | |
JP5741578B2 (ja) | 圧電振動デバイスの封止部材、および圧電振動デバイス | |
JP5101201B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2019140552A (ja) | パッケージ及び水晶デバイス | |
JP6158505B2 (ja) | 水晶デバイス | |
JP5101093B2 (ja) | 圧電発振器及びその製造方法 | |
JP5239782B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2007184890A (ja) | 表面実装用の水晶発振器 | |
JP5171148B2 (ja) | 圧電発振器 | |
TWI595748B (zh) | 小尺寸壓電音叉共振器 | |
JP2017130827A (ja) | 圧電デバイス及びその製造方法 | |
JP2020150398A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2020145627A (ja) | パッケージ及び圧電デバイス | |
JP2019153856A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP2015142098A (ja) | 圧電デバイス用パッケージ及び圧電デバイス | |
JP5400634B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP6955471B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP2009055480A (ja) | 圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイス | |
JP2018148505A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2017200065A (ja) | 圧電振動子 | |
JP6601288B2 (ja) | 圧電発振器 | |
JP2017011552A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2019153857A (ja) | パッケージ及びその製造方法、並びに圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 | |
JP2020088411A (ja) | 圧電デバイス |