JP2019134678A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019134678A JP2019134678A JP2019082681A JP2019082681A JP2019134678A JP 2019134678 A JP2019134678 A JP 2019134678A JP 2019082681 A JP2019082681 A JP 2019082681A JP 2019082681 A JP2019082681 A JP 2019082681A JP 2019134678 A JP2019134678 A JP 2019134678A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- output
- driven
- rod
- cam plate
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 25
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 23
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 21
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 21
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 18
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
Description
上記アクチュエータにおいて、前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される一対の軸受用支柱と、各軸受用支柱に固定される軸受と、前記2本のロッドの一方に連結される第1カム板と、前記2本のロッドの他方に連結される第2カム板と、を備え、前記第1カム板及び前記第2カム板それぞれは、各軸受に摺接するカム溝を有し、各軸受を介して前記出力回転体に接続されているとよい。
以下、アクチュエータをストッパ装置の一種であるエスケープメント装置に具体化した第1の実施形態を図1〜図9にしたがって説明する。
モータ用防水コネクタ15b及びセンサ用コネクタ15cは、図示しない専用コントローラに接続されている。専用コントローラ内のCPUには、図6の動作をするための制御プログラムが内蔵されている。電動機19が外力により停止した場合など、異常を検出した場合は、専用コントローラから上位制御装置へ異常信号を発信する。上位制御装置からの動作開始信号SG1,SG2を専用コントローラが受けることにより以下のように電動機19を制御する。
図7に示すように、第1投光部33aから出射された光が第1遮光部31bに遮光されており、第2投光部34aから出射された光が第2受光部34bに受光されている状態で、電動機19の駆動制御に用いられる動作開始信号SG1がLOWになったとする。すると、電動機19が駆動して、出力軸19aが、電動機19の出力軸19a側から見て時計回りに一定の速度で回転する。そして、出力回転体21が出力軸19aと一体的に時計回りへ回転し、各軸受用支柱22,23が出力回転体21の回転に伴い出力軸19aの周囲を移動する。すると、軸受24とカム溝26aとが摺接しながら第1ロッド12が第1カム板26を介して本体ハウジング14に対して突出方向に移動し、軸受25とカム溝27aとが摺接しながら第2ロッド13が第2カム板27を介して本体ハウジング14に対して没入方向に移動する。
(1)電動機19の駆動による出力軸19aの回転運動を変換機構20によって第1ロッド12及び第2ロッド13の往復直線運動に変換することにより、第1ロッド12及び第2ロッド13が本体ハウジング14に対して出没方向に移動する。よって、例えば、従来技術のエスケープメント装置のように、各シリンダ室に対する流体の給排によって、二つのロッドの動作を制御する構成のように、各シリンダ室に供給される流体がハウジングから外部へ洩れないようにするためのシール構造を必要とせず、耐久性に優れる。また、第1貫通孔16aを介した第1ロッド12の突出量と第2貫通孔16bを介した第2ロッド13の没入量とが同じである。このため、第1ロッド12及び第2ロッド13における本体ハウジング14に対する出没動作が行われても、モータハウジング15の内部及び空間14kの容積変化が無く、モータハウジング15の内部及び空間14kの圧力の変化が無い。よって、モータハウジング15の内部及び空間14kとハウジング11の外部との間での流体の出入りが生じないため、塵埃等が発生する悪環境下でエスケープメント装置10が使用されても、ハウジング11の外部の塵埃等がハウジング11内に引き込まれることが抑制される。したがって、塵埃等が電動機19の駆動に悪影響を及ぼすことが回避され、塵埃等が発生する悪環境下であっても安定した動作を行うことができる。
以下、アクチュエータをストッパ装置の一種であるエスケープメント装置に具体化した第2の実施形態を図10〜図14にしたがって説明する。なお、以下に説明する実施形態では、既に説明した第1の実施形態と同一構成について同一符号を付すなどして、その重複する説明を省略又は簡略する。第2の実施形態では、第1の実施形態に比べて、第1ロッド12の先端と第2ロッド13の先端との間の幅が大きい。
図10に示すように、変換機構40は、出力リンク支柱42に一端部が揺動可能に支持されるとともに従動リンク支柱45に他端部が揺動可能に支持されるリンク部46を備えている。さらに、変換機構40は、出力回転体41に支持される出力側軸受用支柱47と、出力側軸受用支柱47に固定されるフォロワーとしての出力側軸受48と、従動回転体44に支持される従動側軸受用支柱49と、従動側軸受用支柱49に固定されるフォロワーとしての従動側軸受50とを備えている。出力側軸受48及び従動側軸受50は、内輪、外輪及び玉を有する玉軸受である。
図13に示す状態から、電動機19が駆動して、出力軸19aが時計回りに回転すると、出力回転体41が出力軸19aと一体的に時計回りへ回転し、出力リンク支柱42が、出力回転体41の回転に伴い出力軸19aの周囲を移動し、リンク部46が出力回転体41の回転に伴い従動回転体44に向けて移動する。これにより、従動リンク支柱45が、支持軸43の周囲を出力リンク支柱42の回転位相と同じ位相位置で移動し、従動回転体44が出力回転体41と同期して回転する。
(10)第1ロッド12と第2ロッド13との間隔はワークW1のサイズに合わせる必要があるため、第1の実施形態の場合、ワークW1のサイズが大きくなると、第1カム板26及び第2カム板27の長さはワークW1のサイズに合わせて長くする必要がある。第1カム板26及び第2カム板27の長さが長くなると、軸受24,25を介してカム溝26a,27aから第1ロッド12又は第2ロッド13に加わる推力は、軸受24,25とカム溝26a,27aとの接触位置に生じる力点と第1ロッド12又は第2ロッド13のストローク中心の位置がずれる。このため、滑り軸受17a,17bに加わる力が増大し、滑り軸受17a,17bとの摩擦力が増大して第1ロッド12又は第2ロッド13の推力が減少する。また、第1ロッド12及び第2ロッド13と第1カム板26及び第2カム板27との結合部には、強い繰り返しのモーメントが働くため、第1カム板26及び第2カム板27の長さが長くなると、第1ロッド12及び第2ロッド13と第1カム板26及び第2カム板27との結合部の変形、摩耗、ねじの緩みなどにより耐久性に問題が生じる。
・上記各実施形態において、本体ハウジング14は、圧力検出用ポート14dを有していなくてもよい。
・第2の実施形態において、リンク部46が、出力リンク支柱42及び従動リンク支柱45の軸方向において出力回転体41及び従動回転体44の上部に配置されていてもよい。
・上記各実施形態において、滑り軸受17aと第1ロッド12との間にスクレーパ18aが設けられていてもよいし、滑り軸受17bと第2ロッド13との間にスクレーパ18bが設けられていてもよい。
・上記各実施形態において、電動機19の種類は特に限定されるものではなく、例えば、サーボモータであってもよい。
・上記各実施形態において、アクチュエータを、ストッパ装置以外の用途として使用してもよい。
Claims (10)
- ハウジングと、
前記ハウジングに対して出没可能な2本のロッドと、
前記ハウジングに内蔵される電動機と、
前記ハウジングに内蔵され、前記電動機の出力軸の回転運動を前記2本のロッドの往復直線運動に変換させる変換機構と、を備え、
前記ハウジングは、前記2本のロッドが貫通する二つの貫通孔を有し、
前記二つの貫通孔は互いに平行に延び、各貫通孔の軸方向の一端が前記ハウジング内に開口し、各貫通孔の軸方向の他端が前記ハウジング外に開口しており、
前記2本のロッドは共に、前記電動機と接続される各ロッドの基端が前記ハウジング内に存在し、
前記二つの貫通孔の一方で前記2本のロッドの一方が突出することに伴い、前記二つの貫通孔の他方で前記2本のロッドの他方が没入し、前記ハウジング内の圧力変化が生じないように前記二つの貫通孔の一方を介した一方のロッドの突出量と前記二つの貫通孔の他方を介した他方のロッドの没入量とが同じであることを特徴とするアクチュエータ。 - 前記各ロッドの外周面に付着した異物を掻き取るとともに、前記各貫通孔と前記各ロッドとの間をシールするスクレーパを備えたことを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される一対の軸受用支柱と、各軸受用支柱に固定される軸受と、前記2本のロッドの一方に連結される第1カム板と、前記2本のロッドの他方に連結される第2カム板と、を備え、
前記第1カム板及び前記第2カム板それぞれは、各軸受に摺接するカム溝を有し、各軸受を介して前記出力回転体に接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記2本のロッドは円柱状であり、
前記出力回転体は、前記第1カム板の一部及び前記第2カム板の一部を前記第1カム板及び前記第2カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記第1カム板を介した前記2本のロッドの一方の回転、及び前記第2カム板を介した前記2本のロッドの他方の回転を規制する一対の規制部を有していることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。 - 前記変換機構は、前記出力軸と一体的に回転する出力回転体と、前記出力回転体に支持される出力リンク支柱と、前記ハウジングに支持される支持軸と、前記支持軸に対して回転する従動回転体と、前記従動回転体に支持される従動リンク支柱と、前記出力リンク支柱に一端部が揺動可能に支持されるとともに前記従動リンク支柱に他端部が揺動可能に支持されるリンク部と、
前記出力回転体に支持される出力側軸受用支柱と、前記出力側軸受用支柱に固定される出力側軸受と、前記従動回転体に支持される従動側軸受用支柱と、前記従動側軸受用支柱に固定される従動側軸受と、2本のロッドの一方に連結される出力側カム板と、前記2本のロッドの他方に連結される従動側カム板と、を備え、
前記出力側カム板は、前記出力側軸受に摺接する出力側カム溝を有し、前記出力側軸受を介して前記出力回転体に接続され、
前記従動側カム板は、前記従動側軸受に摺接する従動側カム溝を有し、前記従動側軸受を介して前記従動回転体に接続されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記2本のロッドは円柱状であり、
前記出力回転体は、前記出力側カム板の一部を前記出力側カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記出力側カム板を介した前記2本のロッドの一方の回転を規制する一対の出力側規制部を有し、
前記従動回転体は、前記従動側カム板の一部を前記従動側カム板の板厚方向の両側で挟み込む位置に配置され、前記従動側カム板を介した前記2本のロッドの他方の回転を規制する一対の従動側規制部を有していることを特徴とする請求項5に記載のアクチュエータ。 - 前記出力リンク支柱は、前記出力回転体の回転に伴い前記出力軸の周囲を移動し、
前記従動リンク支柱は、前記従動回転体の回転に伴い前記支持軸の周囲を前記出力リンク支柱の回転位相と同じ位相位置で移動し、
前記リンク部は、前記出力リンク支柱に回動可能に支持される第1支持部と、前記従動リンク支柱に回動可能に支持される第2支持部と、前記第1支持部と前記第2支持部とを直線的に繋ぐ連繋部と、を有し、
前記第1支持部は、前記出力リンク支柱の軸線方向において、前記出力側軸受を挟み込む前記一対の出力側規制部に挟み込まれており、
前記第2支持部は、前記従動リンク支柱の軸線方向において、前記従動側軸受を挟み込む前記一対の従動側規制部に挟み込まれており、
前記連繋部は、前記軸線方向から見たときに、前記出力リンク支柱の中心軸線と前記従動リンク支柱の中心軸線とを繋ぐ仮想直線から前記出力軸及び前記支持軸に対して離れるようにオフセットしていることを特徴とする請求項6に記載のアクチュエータ。 - 搬送路上を流れるワークの流れ方向に対して直交する方向に前記2本のロッドが出没し、
前記2本のロッドにおける前記ハウジングに対する突出量が一致したときに、前記2本のロッドの先端が、前記搬送路上を流れるワークに対して前記ワークにおける前記搬送路上の流れ方向で重なっていることを特徴とする請求項3〜請求項7のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記ハウジングは、不活性ガスを前記ハウジング内に供給するために用いられるガス供給用ポートと、前記ハウジング内の圧力を検出するために用いられる圧力検出用ポートを有することを特徴とする請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記ハウジングに内蔵され、前記突出量及び前記没入量を検出する第1光センサ及び第2光センサが、前記2本のロッドの軸方向にそれぞれ対向配置されていることを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019082681A JP6801041B2 (ja) | 2019-04-24 | 2019-04-24 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019082681A JP6801041B2 (ja) | 2019-04-24 | 2019-04-24 | アクチュエータ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016139368A Division JP6524033B2 (ja) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019134678A true JP2019134678A (ja) | 2019-08-08 |
JP6801041B2 JP6801041B2 (ja) | 2020-12-16 |
Family
ID=67546588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019082681A Active JP6801041B2 (ja) | 2019-04-24 | 2019-04-24 | アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6801041B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0423226U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-26 | ||
JPH04133627U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-12-11 | タツタ電線株式会社 | 間欠フイーダ |
JP2001116013A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Smc Corp | エスケープメントシリンダ |
JP2001235000A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-31 | Denso Corp | リンク機構 |
JP2008032335A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法 |
JP3166081U (ja) * | 2010-12-07 | 2011-02-17 | 有限会社ティ・アール・ワイ | 定量ポンプ |
JP2011226567A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Smc Corp | 流体圧シリンダに用いられる塵埃除去構造 |
JP2018011448A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | Ckd株式会社 | アクチュエータ |
-
2019
- 2019-04-24 JP JP2019082681A patent/JP6801041B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0423226U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-26 | ||
JPH04133627U (ja) * | 1991-03-29 | 1992-12-11 | タツタ電線株式会社 | 間欠フイーダ |
JP2001116013A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Smc Corp | エスケープメントシリンダ |
JP2001235000A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-31 | Denso Corp | リンク機構 |
JP2008032335A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Hitachi High-Technologies Corp | ミニエンバイロメント装置、検査装置、製造装置、及び空間の清浄化方法 |
JP2011226567A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Smc Corp | 流体圧シリンダに用いられる塵埃除去構造 |
JP3166081U (ja) * | 2010-12-07 | 2011-02-17 | 有限会社ティ・アール・ワイ | 定量ポンプ |
JP2018011448A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | Ckd株式会社 | アクチュエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6801041B2 (ja) | 2020-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2093432B1 (en) | Rotary actuator | |
EP0580319A1 (en) | Hydraulic rotary actuators for robotic applications | |
CN104440939B (zh) | 小型水下液压机械手二级驱动关节 | |
JP5851298B2 (ja) | ロータリーアクチュエータ | |
KR20160116879A (ko) | 일체형 유압 로터리 액추에이터 | |
JP2018011448A (ja) | アクチュエータ | |
KR20080008272A (ko) | 두 개의 드라이브를 구비한 셔틀 밸브 | |
US4550630A (en) | Hermetically sealed drive | |
US9726204B2 (en) | Fluid pressure actuator | |
US20090189107A1 (en) | Valve device | |
KR101659362B1 (ko) | 기어 펌프 | |
JP2019134678A (ja) | アクチュエータ | |
JPH06213212A (ja) | アクチュエータ | |
EP3872378B1 (en) | Fluid non-crossover switching valve | |
JP2001165328A (ja) | オイルシール | |
CN110346325B (zh) | 气体分析装置 | |
JP6947141B2 (ja) | プラグ組付装置 | |
CN109027161B (zh) | 一种机械式纳米级高精度直线驱动装置 | |
KR102038349B1 (ko) | 선형 모듈용 방진 장치 | |
US3695295A (en) | Rotary input/feedback mechanical servo valve | |
CN110944810A (zh) | 密封装置以及关节型机器人 | |
JPH0110448Y2 (ja) | ||
JP7365535B1 (ja) | 弁装置 | |
WO2023176633A1 (ja) | 弁装置 | |
JP2010196752A (ja) | 流体圧アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200623 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200819 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201125 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6801041 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |