JP3166081U - 定量ポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】使用者が所望する一定量の液体を吐出することができ、ピストンの往復移動に抵抗がなく、定量ポンプ内で発生する塵埃を所定の場所に排出したり、定量ポンプ内に不活性ガスを供給したりすることができる定量ポンプを提供する。【解決手段】定量ポンプは、出力軸を有するモータ11と、出力軸に連結される送りねじ機構14、15aと、送りねじ機構14、15aに結合され、出力軸と同方向に配設されるピストン31と、モータ11および送りねじ機構14、15aのうち少なくとも何れかを収容するケース19、20と、を備え、ケース19、20には、ケース19、20の内部と外部とを連通させる排気ポート21を有する。【選択図】図2
Description
本考案は、吸引ポートから吸引した液体を吐出ポートから一定量、吐出する定量ポンプに関するものである。
従来から定量ポンプとしてプランジャーポンプが知られている。特許文献1に開示されている送液用プランジャーポンプは、シリンダ内のプランジャーロッドがモータの回転によって、シャフト及びリンクを介して、往復移動可能に設けられている。プランジャーロッドの先端が流路内から引き抜かれる方向に移動すると、流路内では吸引力が生じることで、吸込口から流路内に液体が流入する。一方、プランジャーロッドの先端が流路内に押し込まれる方向に移動すると、流路内に流入された液体が吐出口から吐出される。プランジャーロッドが一定のストロークで往復移動することで、常に一定量の液体が流路内に流入し、流入した一定量の液体が吐出口から吐出される。
しかしながら、上述した従来の定量ポンプでは、吐出させる液体の量を変更したい場合であっても、プランジャーロッドはシャフト及びリンクを介して往復移動させるために、プランジャーロッドのストロークを変更するのが困難である。すなわち、プランジャーロッドのストロークを変更しようとすると、シャフト及びリンクの長さを変更しなければならず、段取りや調整に時間と手間がかかるという問題を有している。
また、上述した定量ポンプでは、シリンダの後部が開口している構造であるために、プランジャーロッドが往復移動するときなどに発生する塵埃がシリンダの後部から排出されてしまう。したがって、クリーンルームなどの塵埃を嫌う環境下では使用することが困難である。一方、シリンダの開口を閉塞してしまうと、シリンダ内部が密封されてプランジャーロッドの往復移動に抵抗が生じてしまうという問題を有している。また、定量ポンプ内に不活性ガスを供給したい場合に、シリンダの開口を閉塞してしまうと、不活性ガスを供給することができないという問題を有している。
さらに、上述した定量ポンプでは、プランジャーロッドの軸線とシリンダの軸線との芯合わせを正確に行うのが困難である。プランジャーロッドの軸線とシリンダとの軸線とが偏芯してしまうと、両者の間に隙間が生じたり、逆に両者の間に摩擦が生じたりする問題を有している。
さらに、上述した定量ポンプでは、プランジャーロッドの軸線とシリンダの軸線との芯合わせを正確に行うのが困難である。プランジャーロッドの軸線とシリンダとの軸線とが偏芯してしまうと、両者の間に隙間が生じたり、逆に両者の間に摩擦が生じたりする問題を有している。
本考案は、上述したような問題点に鑑みてなされたものであり、使用者が所望する一定量の液体を吐出することができる定量ポンプにおいて、ピストンの往復移動に抵抗がなく、定量ポンプ内で発生する塵埃を所定の場所に排出したり、定量ポンプ内に不活性ガスを供給したりすることができる定量ポンプを提供する。また、本考案は、シリンダとピストンとの間の芯合わせを容易に行うことができる定量ポンプを提供する。
本考案の定量ポンプは、出力軸を有するモータと、前記出力軸に連結される送りねじ機構と、前記送りねじ機構に結合され、前記出力軸と同方向に配設されるピストンと、前記モータおよび前記送りねじ機構のうち少なくとも何れかを収容するケースと、を備え、前記ケースには、前記ケースの内部と外部とを連通させるポートを有することを特徴とする。
また、本考案の定量ポンプは、前記ピストンと前記送りねじ機構とを結合する、止めねじを有する継手を備え、前記止めねじは、前記ピストンに形成された溝部に係合し、転動自在な球を有することを特徴とする。
また、本考案の定量ポンプは、前記ピストンと前記送りねじ機構とを結合する、止めねじを有する継手を備え、前記止めねじは、前記ピストンに形成された溝部に係合し、転動自在な球を有することを特徴とする。
本考案によれば、使用者が所望する一定量の液体を吐出することができる。また、ピストンの往復移動に抵抗がなく、定量ポンプ内で発生する塵埃を所定の場所に排出したり、定量ポンプ内に不活性ガスを供給したりすることができる。さらに、シリンダとピストンとの間の芯合わせを容易に行うことができる。
以下、本考案に係る実施形態について図面を参照して説明する。
図1は本実施形態に係る定量ポンプの一部分解斜視図である。図2は定量ポンプの断面図である。なお、各図では、必要に応じて定量ポンプの前方をFr、後方をRrで示している。
図1および図2に示す定量ポンプ1は、駆動部10、ジョイント部30およびポンプヘッド40から構成され、図示しない制御装置によって制御される。
図1は本実施形態に係る定量ポンプの一部分解斜視図である。図2は定量ポンプの断面図である。なお、各図では、必要に応じて定量ポンプの前方をFr、後方をRrで示している。
図1および図2に示す定量ポンプ1は、駆動部10、ジョイント部30およびポンプヘッド40から構成され、図示しない制御装置によって制御される。
まず、駆動部10について説明する。
図2に示すように、駆動部10は、モータ11、送りねじ部14、シリンダロッド15、モータケース19、シリンダケース20、ハウジング17、外装カバー22などを備えている。
モータ11は、出力軸12が水平方向に延出して設けられている。モータ11は、数値制御によって位置決めできるモータであって、例えばステッピングモータが用いられる。モータ11は、アルミニウム製のモータケース19内に収容され、防塵性および防滴性が向上されている。モータ11の出力軸12は、並列に配置された2つのベアリング13によって支持されている。出力軸12の前方には、送りねじ部14が結合されている。
図2に示すように、駆動部10は、モータ11、送りねじ部14、シリンダロッド15、モータケース19、シリンダケース20、ハウジング17、外装カバー22などを備えている。
モータ11は、出力軸12が水平方向に延出して設けられている。モータ11は、数値制御によって位置決めできるモータであって、例えばステッピングモータが用いられる。モータ11は、アルミニウム製のモータケース19内に収容され、防塵性および防滴性が向上されている。モータ11の出力軸12は、並列に配置された2つのベアリング13によって支持されている。出力軸12の前方には、送りねじ部14が結合されている。
シリンダロッド15は、シリンダケース20内を長手方向に移動可能に配設されている。シリンダロッド15は、シリンダケース20の前側であって、内周に配置されたガイド部16に案内されながら、移動する。シリンダロッド15内には、上述した送りねじ部14と螺合する雌ネジ部15aが形成されている。送りねじ部14とシリンダロッド15の雌ネジ部15aとにより送りねじ機構が構成される。
モータ11の駆動によって送りねじ部14が、一方方向に回転することでシリンダロッド15がポンプヘッド40側に前進し、他方方向に回転することでシリンダロッド15がモータ11側に後退する。
モータ11の駆動によって送りねじ部14が、一方方向に回転することでシリンダロッド15がポンプヘッド40側に前進し、他方方向に回転することでシリンダロッド15がモータ11側に後退する。
シリンダケース20の上部には、ケース側ポート21が配設されている。ケース側ポート21は、シリンダケース20内と連通している。
また、シリンダケース20には、ガイド部16を介してハウジング17が結合されている。ハウジング17内には挿通孔17aが形成され、その挿通孔17aをシリンダロッド15が挿通している。ハウジング17の内周面には、Oリング18が嵌め込まれている。Oリング18は、ポンプヘッド40側から漏洩してきた液体がシリンダケース20内に浸入するのを防止する。
また、シリンダケース20には、ガイド部16を介してハウジング17が結合されている。ハウジング17内には挿通孔17aが形成され、その挿通孔17aをシリンダロッド15が挿通している。ハウジング17の内周面には、Oリング18が嵌め込まれている。Oリング18は、ポンプヘッド40側から漏洩してきた液体がシリンダケース20内に浸入するのを防止する。
また、シリンダケース20、モータケース19およびハウジング17は、ステンレスで形成された外装カバー22によって覆われている。図1に示すように、外装カバー22は、アッパカバー22aとロアカバー22bとがビスなどで結合されて構成される。アッパカバー22aとロアカバー22bとが重なり合う位置にはパッキン23が介在し、外装カバー22の密閉性を向上させている。また、アッパカバー22aには、ケース側ポート21からチューブ24を介して接続されるカバー側ポート25が配設されている。カバー側ポート25には図示しないチューブが接続され、例えばクリーンルームの外部と繋がっている。
次に、ジョイント部30について説明する。
シリンダロッド15の先端には、ピストン31と接続するための継手32が結合されている。具体的には、シリンダロッド15の先端に形成された雄ネジ部15bと継手32に形成された雌ネジ部32aとを螺合させることで、シリンダロッド15と継手32とが結合される。雌ネジ部32aと雄ネジ部15bとの螺合位置を調整することで、シリンダロッド15と継手32との間の距離を調整することができる。
シリンダロッド15の先端には、ピストン31と接続するための継手32が結合されている。具体的には、シリンダロッド15の先端に形成された雄ネジ部15bと継手32に形成された雌ネジ部32aとを螺合させることで、シリンダロッド15と継手32とが結合される。雌ネジ部32aと雄ネジ部15bとの螺合位置を調整することで、シリンダロッド15と継手32との間の距離を調整することができる。
継手32の先端には、スリーブ33内を摺動するピストン31が結合されている。ここで、継手32とピストン31との結合方法について図3を参照して詳細に説明する。図3は、図2の一部を拡大した拡大断面図である。
ピストン31は、スリーブ33内を摺動する平板状のピストン本体部31aと、ピストン本体部31aからモータ11側に延出する細長状のロッド部31bとを有している。ピストン本体部31aの外周には、Oリング34が嵌め込まれている。また、ロッド部31bには、周方向に沿って溝31cが形成されている。溝31c内の両側面は、ピストン31の軸線に向かうにしたがって、互いに近接する方向に傾斜して形成されている。
ピストン31は、スリーブ33内を摺動する平板状のピストン本体部31aと、ピストン本体部31aからモータ11側に延出する細長状のロッド部31bとを有している。ピストン本体部31aの外周には、Oリング34が嵌め込まれている。また、ロッド部31bには、周方向に沿って溝31cが形成されている。溝31c内の両側面は、ピストン31の軸線に向かうにしたがって、互いに近接する方向に傾斜して形成されている。
一方、継手32には、ピストン31のロッド部31bが挿入される挿入孔32bと、この挿入孔32bに対して直交する方向で、挿入孔32bと連通する止めねじ孔32cとが形成されている。止めねじ孔32cには、先端に例えば鋼球などの球35aが転動自在に配設される止めねじ35が螺合される。
継手32とピストン31とを結合する場合、ピストン31のロッド部31bを継手32の挿入孔32bに挿入した状態で、止めねじ35を継手32の止めねじ孔32cに螺合する。すると、止めねじ35の球35aがロッド部31bの溝31cに係止することから、継手32とピストン31とを抜けないように結合することができる。このとき、溝31cの両側面は傾斜して形成されていることから、球35aは溝31cの両側面に案内されながら押し込まれる。また、球35aは溝31cの両側面の2点で接する点接触した状態で結合される。したがって、ピストン31は、ロッド部31bの基端(後端)を中心にしてピストン本体部31aが可動できる。すなわち、スリーブ33の軸線とピストン本体部31aの軸線とがずれていても、ピストン31はロッド部31bの基端を中心にして可動し、スリーブ33の軸線とピストン本体部31aの軸線とが一致するように芯合わせを自ら行う。
また、ジョイント部30には、複数(4つ)の連結ロッド36がピストン31のロッド部31bと平行に配設されている。連結ロッド36は、ハウジング17に結合された中間ケース37に螺合されている。これらの連結ロッド36は、ポンプヘッド40を中間ケース37から所定の距離を隔てて取り付ける役割を有している。
図4は、図3に示すI−I線の断面図である。図4に示すように、4つの連結ロッド36それぞれは、ピストン31の軸線から等間隔Lであって、隣り合う連結ロッド36同士の間隔が同じ角度(90度)に配設されている。
図4は、図3に示すI−I線の断面図である。図4に示すように、4つの連結ロッド36それぞれは、ピストン31の軸線から等間隔Lであって、隣り合う連結ロッド36同士の間隔が同じ角度(90度)に配設されている。
また、ジョイント部30には、スリーブ33、連結ロッド36および継手32を含めて、その周囲を覆うカバー38が取り付けられている。したがって、ジョイント部30内に塵埃が侵入するのを防止することができる。
次に、ポンプヘッド40について説明する。
ポンプヘッド40は、連結ロッド36を介してジョイント部30に結合されている。ポンプヘッド40の上側面および下側面には、吸引ポート41と吐出ポート42とが配設されている。吸引ポート41および吐出ポート42は、スリーブ33を介して連通している。
吸引ポート41には図示しない吸引チューブが接続される。吸引チューブは、定量ポンプ1によって吸引される液体が貯留されたタンクなどと繋がっている。吸引ポート41では、吸引した液体を吸引ポート41から吐出できないような逆止弁が設けられている。
吐出ポート42には図示しない吐出チューブが接続される。吐出チューブは、容器などに繋がっている。吐出ポート42では、吐出ポート42から吐出した液体を内部に吸引できないような逆止弁が設けられている。
ポンプヘッド40は、連結ロッド36を介してジョイント部30に結合されている。ポンプヘッド40の上側面および下側面には、吸引ポート41と吐出ポート42とが配設されている。吸引ポート41および吐出ポート42は、スリーブ33を介して連通している。
吸引ポート41には図示しない吸引チューブが接続される。吸引チューブは、定量ポンプ1によって吸引される液体が貯留されたタンクなどと繋がっている。吸引ポート41では、吸引した液体を吸引ポート41から吐出できないような逆止弁が設けられている。
吐出ポート42には図示しない吐出チューブが接続される。吐出チューブは、容器などに繋がっている。吐出ポート42では、吐出ポート42から吐出した液体を内部に吸引できないような逆止弁が設けられている。
次に、上述したように構成される定量ポンプの動作について説明する。
使用者はモータ11を制御する制御装置に定量ポンプ1から吐出させる液体の量を入力する。制御装置は、入力された液体の量に基づいて、ピストン31を往復移動するときのストローク量を算出し、算出したストローク量に応じたモータ11の回転量を算出する。
使用者はモータ11を制御する制御装置に定量ポンプ1から吐出させる液体の量を入力する。制御装置は、入力された液体の量に基づいて、ピストン31を往復移動するときのストローク量を算出し、算出したストローク量に応じたモータ11の回転量を算出する。
まず、ピストン31を後退させて、吸引ポート41から液体を吸引する場合の動作について説明する。制御装置は算出した回転量にしたがってモータ11を回転させる。
すると、モータ11の出力軸12の回転に応じて、送りねじ部14が同期して回転する。送りねじ部14の回転に伴い、送りねじ部14に螺合されているシリンダロッド15が長手方向に沿って後退する。
シリンダロッド15の後退によって、シリンダロッド15に継手32を介して結合されたピストン31も後退する。ピストン31が後退することで、スリーブ33内が負圧になるために、吸引ポート41から液体が吸い上げられ、スリーブ33内に充填される。ここで、ピストン31は、制御装置によって算出されたストローク量だけ後退することから、吸引ポート41から一定量の液体が吸い上げられる。
すると、モータ11の出力軸12の回転に応じて、送りねじ部14が同期して回転する。送りねじ部14の回転に伴い、送りねじ部14に螺合されているシリンダロッド15が長手方向に沿って後退する。
シリンダロッド15の後退によって、シリンダロッド15に継手32を介して結合されたピストン31も後退する。ピストン31が後退することで、スリーブ33内が負圧になるために、吸引ポート41から液体が吸い上げられ、スリーブ33内に充填される。ここで、ピストン31は、制御装置によって算出されたストローク量だけ後退することから、吸引ポート41から一定量の液体が吸い上げられる。
次に、ピストン31を前進させて、吐出ポート42から液体を吐出する場合の動作について説明する。制御装置は算出した回転量にしたがってモータ11を逆回転させる。
すると、モータ11の出力軸12の回転に応じて、送りねじ部14が同期して回転する。送りねじ部14の回転に伴い、送りねじ部14に螺合されているシリンダロッド15が長手方向に沿って前進する。
シリンダロッド15の前進によって、シリンダロッド15に継手32を介して結合されたピストン31も前進する。ピストン31が前進することで、スリーブ33内に充填された液体が、吐出ポート42から吐出される。ここで、ピストン31は、制御装置によって算出されたストローク量だけ前進することから、吐出ポート42から一定量の液体が吐出される。
すると、モータ11の出力軸12の回転に応じて、送りねじ部14が同期して回転する。送りねじ部14の回転に伴い、送りねじ部14に螺合されているシリンダロッド15が長手方向に沿って前進する。
シリンダロッド15の前進によって、シリンダロッド15に継手32を介して結合されたピストン31も前進する。ピストン31が前進することで、スリーブ33内に充填された液体が、吐出ポート42から吐出される。ここで、ピストン31は、制御装置によって算出されたストローク量だけ前進することから、吐出ポート42から一定量の液体が吐出される。
このように、本実施形態の定量ポンプ1によれば、上述したようなピストン31の後退と前進とを繰り返すことによって、定量ポンプ1では常に一定量の液体を吸引し、吐出することができる。
また、吐出させる液体の量を所望する量に変更したい場合、使用者は制御装置に吐出させる液体の量を入力すれば、再び制御装置が入力された液体の量に応じたモータの回転量を算出し、モータ11を回転させるので、吐出させたい液体の量を簡単に変更することができる。
また、吐出させる液体の量を所望する量に変更したい場合、使用者は制御装置に吐出させる液体の量を入力すれば、再び制御装置が入力された液体の量に応じたモータの回転量を算出し、モータ11を回転させるので、吐出させたい液体の量を簡単に変更することができる。
また、ピストン31と継手32とは、ピストン31のロッド部31bに形成された溝31cに対して止めねじ35の先端の球35aを係合することによって結合している。球35aと溝31cとは点接触のため、ピストン31はロッド部31bの基端を中心にしてスリーブ33の軸線とピストン本体部31aの軸線とが一致するように芯合わせを自ら行うことができる。
さらに、球35aがロッド部31bの溝31cに係合されている状態であっても、球35aは止めねじ35に対して自由に転動でき、それに伴いロッド部31bもロッド部31bの軸線に対して回転できる。したがって、ピストン31の後退と前進とを繰り返しているときに、スリーブ33とピストン31との一部に摩擦の抵抗が大きく生じる部位があったとしても、ピストン31はその抵抗が小さくなるように軸線に対して自ら回転するために、Oリング34の片減りなどを減少させることができる。
また、ピストン31の後退と前進とを繰り返すと、シリンダケース20内ではシリンダロッド15とシリンダケース20との間の摺動や送りねじ部14とシリンダロッド15内の雌ネジ部15aとの螺合などによって、塵埃が発生する。上述した定量ポンプ1では、シリンダケース20内に連通するケース側ポート21が設けられているので、シリンダケース内で発生した塵埃をケース側ポート21、チューブ24およびカバー側ポート25を通して外部に排出することができる。したがって、定量ポンプ1をクリームルームに使用する場合であっても、シリンダケース20内で発生した塵埃をケース側ポート21、チューブ24およびカバー側ポート25を通してクリームルームの外部まで排出することができる。また、密閉されたシリンダケース20内では空気が移動しにくいためにシリンダロッド15の後退と前進とに抵抗が生じてしまうが、ケース側ポート21などを介してシリンダケース20内と外部とが連通されているので、シリンダロッド15はシリンダケース20内を抵抗なく移動することができる。
なお、上述した実施形態では、シリンダケース20内に連通するケース側ポート21を設ける場合について説明したが、この場合に限られず、モータケース19内に連通する図示しないケース側ポートを設けてもよい。モータケース19内に連通するケース側ポートを設ける場合、アッパカバー22aには、ケース側ポートからチューブを介して接続される図示しないカバー側ポートを配設する。さらに、このカバー側ポートには、図示しないチューブを介して、例えば不活性ガス供給装置に接続する。このような構成にすることで、不活性ガス供給装置からカバー側ポート、チューブおよびケース側ポートを通して、モータケース19内に不活性ガスを供給することができ、モータ11の防爆効果を得ることができる。
また、上述した実施形態では、モータケース19とシリンダケース20とを別々で構成しているが、この場合に限られず、モータケース19とシリンダケース20とを一体的に構成し両者の内部空間を連通させたケースにしてもよい。この場合、ケース内に連通するケース側ポート21は、ケース内に発生した塵埃をチューブ24およびカバー側ポート25を通して外部に排出することに用いることができると共に、不活性ガス供給装置からカバー側ポート25およびチューブ24を通して、モータケース19内に不活性ガスを供給することにも用いることができる。
また、上述した実施形態では、ポンプヘッド40の上側面および下側面に、吸引ポート41と吐出ポート42とが配設する場合について説明したが、この場合に限られず、ポンプヘッド40の左右の側面に吸引ポート41と吐出ポート42とが配設することができる。
上述したように、4つの連結ロッド36それぞれは、ピストン31の軸線から等間隔Lであって、隣り合う連結ロッド36同士の間隔が同じ角度(90度)に配設されている。したがって、4つの連結ロッド36を中間ケース37から取り外し、ポンプヘッド40を左右に90度、回転して取り付けることができる。
上述したように、4つの連結ロッド36それぞれは、ピストン31の軸線から等間隔Lであって、隣り合う連結ロッド36同士の間隔が同じ角度(90度)に配設されている。したがって、4つの連結ロッド36を中間ケース37から取り外し、ポンプヘッド40を左右に90度、回転して取り付けることができる。
図5は、ポンプヘッド40を正面から見た図である。ポンプヘッド40を左右の何れかに90度、回転して取り付けることで、図5の二点鎖線で示すように、ポンプヘッド40の左右の側面に吸引ポート41と吐出ポート42とを配設することができる。したがって、液体を吸引したい場所や液体を吐出したい場所に応じて、ポンプヘッド40の向きを変更して取り付けることができる。
また、上述した定量ポンプ1では、モータ11の出力軸12に送りねじ部14を結合し、送りねじ部14とシリンダロッド15の雌ネジ部15aとを螺合する場合について説明したが、この場合に限られない。例えば、出力軸12に雌ネジ部が形成された送りねじ部を結合し、シリンダロッド15に送りねじ部の雌ネジ部に螺合する雄ネジ部を形成してもよい。
このように、本考案は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本考案の範囲内で変更等が可能である。
このように、本考案は上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本考案の範囲内で変更等が可能である。
1:定量ポンプ 10:駆動部 11:モータ 12:出力軸 13:ベアリング 14:送りねじ部 15:シリンダロッド 15a:雌ネジ部 16:ガイド部 17:ハウジング 18:Oリング 19:モータケース 20:シリンダケース 21:ケース側排気ポート 22:外装カバー 23:パッキン 24:チューブ 25:カバー側排気ポート 30:ジョイント部 31:ピストン 32:継手 33:スリーブ 34:Oリング 35:止めねじ 35a:球 36:連結ロッド 37:中間ケース 38:カバー 40:ポンプヘッド 41:吸引ポート 42:吐出ポート
Claims (2)
- 出力軸を有するモータと、
前記出力軸に連結される送りねじ機構と、
前記送りねじ機構に結合され、前記出力軸と同方向に配設されるピストンと、
前記モータおよび前記送りねじ機構のうち少なくとも何れかを収容するケースと、を備え、
前記ケースには、前記ケースの内部と外部とを連通させるポートを有することを特徴とする定量ポンプ。 - 前記ピストンと前記送りねじ機構とを結合する、止めねじを有する継手を備え、
前記止めねじは、前記ピストンに形成された溝部に係合し、転動自在な球を有することを特徴とする請求項1に記載の定量ポンプ。
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CN106930933A (zh) * | 2017-05-22 | 2017-07-07 | 德帕姆(杭州)泵业科技有限公司 | 计量泵的调量锁紧机构 |
JP2018011448A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | Ckd株式会社 | アクチュエータ |
JP2019134678A (ja) * | 2019-04-24 | 2019-08-08 | Ckd株式会社 | アクチュエータ |
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2010
- 2010-12-07 JP JP2010007975U patent/JP3166081U/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015530513A (ja) * | 2012-08-29 | 2015-10-15 | アイゼンマン ソシエタス オイロペア | 四弁高圧ポンプ |
JP2018011448A (ja) * | 2016-07-14 | 2018-01-18 | Ckd株式会社 | アクチュエータ |
CN106930933A (zh) * | 2017-05-22 | 2017-07-07 | 德帕姆(杭州)泵业科技有限公司 | 计量泵的调量锁紧机构 |
JP2019134678A (ja) * | 2019-04-24 | 2019-08-08 | Ckd株式会社 | アクチュエータ |
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