CN109027161B - 一种机械式纳米级高精度直线驱动装置 - Google Patents

一种机械式纳米级高精度直线驱动装置 Download PDF

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Abstract

一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，包括减速步进电机、传动形式转换组件和传感器组件。步进电机提供动力输入，传动形式转换组件将旋转运动转换为直线运动，直线差分式传感器组件的传感器实时采集直线驱动器的输出位移信息构建闭环位置检测，从而实现纳米级高精度直线运动控制。装置中设有运动副预压消间隙措施，有效消除配合间隙以及运动磨损，确保高重复精度。装置中设计有柔性环节，提供直线输出的轴向预载，保证输出精度和稳定性。本发明相比传统直线驱动装置，结构新颖、简单紧凑，具有高精度、高稳定性及高空间环境适应性的特点。

Description

一种机械式纳米级高精度直线驱动装置
技术领域
本发明属于精密机械工程领域，涉及一种直线驱动装置。
背景技术
空间光学遥感器在轨工作过程中，由于重力、温度以及材料性质变化等原因，光学系统往往会产生离焦，特别是对于焦距较长的相机离焦现象更为明显，因此往往需要配备调焦机构补偿离焦。直线驱动装置作为调焦机构中的重要驱动部件，将电机轴的回转运动转化为被调焦组件沿光轴方向的直线运动，其精度和稳定性影响调焦的准确性，成为调焦成功与否的关键。目前调焦方案中所采用的直线驱动装置主要有两种，丝杠螺母调焦和凸轮调焦。凸轮调焦方式精度高，结构简单，但体积大，对凸轮曲线的加工要求较高。丝杠螺母调焦方式结构简单、成本低，但运动副之间存在间隙，导致存在回程误差，重复性差；且随着工作时间增长，间隙变大，会导致精度下降；丝杠轴向输出端相对输入端易有径向扰动，影响输出的稳定性。因此现有的直线致动调焦装置无论是在结构的体积和加工难度上，还是其性能的稳定性和精度上，都有待技术的提高。
发明内容
本发明的技术解决问题是：克服现有技术的不足，提供了一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，采用螺杆螺母调焦方式，结构简单紧凑，易于加工和装配，可以实现纳米级传动精度，提高输出轴的稳定性，并可解决真空环境应用时可能存在的在轨冷焊问题，适应空间在轨环境，有效提高了空间光学遥感器调焦的精度和可靠性，确保在轨图像质量。
本发明的技术解决方案是：一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，包括减速步进电机、传动形式转换组件、传感器组件；传动形式转换组件包括切口螺母、传动轴、预紧件、柔性限位机构、直线传动箱体、直线传动箱端盖、输出转接螺母和直线输出保持架；切口螺母套在减速步进电机的输出轴上且端部与减速步进电机端部固定连接；传动轴安装在切口螺母内，一端与减速步进电机的输出轴连接，另一端安装输出转接螺母，传动轴上设有轴肩，柔性限位机构安装在轴肩上并通过输出转接螺母压紧；预紧件安装在切口螺母上，用于消除切口螺母与传动轴之间的间隙；直线传动箱体一端连接减速步进电机，另一端安装直线传动箱端盖，直线输出保持架安装在直线传动箱端盖未与直线传动箱体连接的一侧，输出转接螺母从直线传动箱端盖、直线输出保持架中部伸出，柔性限位机构与直线转动箱体内壁相配合，用于限制传动轴的转动；传感器组件连接直线输出保持架，传感器组件与输出转接螺母相配合，实时测量所述直线驱动装置输出的位移量。
所述传感器组件包括传感器保持架、传感器输入轴、传感器、传感器端盖和传感器输出轴；传感器保持架安装在直线输出保持架上，传感器安装在传感器保持架内并通过传感器端盖压紧，传感器输入轴和传感器输出轴分别连接传感器的两端，传感器输入轴未与传感器连接的一端与输出转接螺母相连。
所述传感器保持架包括支撑部分和固定部分，固定部分为圆筒结构，圆筒结构内安装传感器，固定部分通过圆筒结构端部的法兰盘与支撑部分连接；支撑部分包括三个圆柱，沿圆环形的直线输出保持架周向均匀分布，安装在直线输出保持架上。
所述传感器为直线差分式传感器。
所述减速步进电机为行星齿轮减速步进电机。
所述预紧件为切口螺母预紧环或具有弹性收紧功能的弹簧，切口螺母预紧环为带有切口的环形结构。
柔性限位机构采用柔性盘，所述柔性盘为一体化结构，包括三片支撑片，三片支撑片一端相互连接，三片支撑片之间夹角均为120°，三片支撑片另一端均有凸起结构；柔性盘中心处开有通孔。
所述直线传动箱体为圆筒形结构，内壁沿直线传动箱体轴向口有三道凹槽，三道凹槽沿直线传动箱体周向均匀分布，三道凹槽分别与柔性盘的三片支撑片端部的凸起结构相配合，用于限制传动轴旋转。
所述传动形式转换组件的材料为钛合金材料；切口螺母、传动轴的表面镀MoS2涂层。
所述传感器保持架、传感器端盖的材料为钛合金，传感器输入轴和传感器输出轴的材料为不锈钢材料。
本发明与现有技术相比的优点在于：
(1)本发明设计有运动副预压消间隙措施，通过预紧环对螺纹传动件产生预紧力，有效控制防松并消除螺纹传动间隙，减小空回误差，重复精度高。
(2)本发明设计有柔性环节，通过柔性盘施加丝杠的轴向预载，保证直线输出的精度和稳定性。
(3)本发明通过对传动机构活动零件表面镀MoS2涂层，解决了直线驱动装置在空间低温真空环境中工作可能出现的机构冷焊、卡滞问题。
(4)本发明安装在直线驱动装置末端的高精度的直线差分式传感器，可实时测量直线驱动装置输出的实际位移量，通过控制系统采集直线驱动装置的位移输出构建闭环位置检测，进行高精度直线运动控制，从而实现直线驱动装置纳米级的高精度直线致动。
附图说明
图1为直线驱动装置结构示意图。
图2为直线驱动装置剖视图。
图3为切口螺母预紧环示意图。
图4为柔性盘示意图。
图5为柔性盘与传动箱体相对关系图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明。
如图1、图2所示，一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，包括减速步进电机1、传动形式转换组件2、传感器组件3；传动形式转换组件2包括切口螺母21、传动轴22、预紧件23、柔性限位机构24、直线传动箱体25、直线传动箱端盖26、输出转接螺母27和直线输出保持架28；切口螺母21套在减速步进电机1的输出轴上且端部与减速步进电机1端部固定连接；传动轴22安装在切口螺母21内，一端与减速步进电机1的输出轴连接，另一端安装输出转接螺母27，传动轴22上设有轴肩，柔性限位机构24安装在轴肩上并通过输出转接螺母27压紧；预紧件23安装在切口螺母21上，用于消除切口螺母21与传动轴22之间的间隙；直线传动箱体25一端连接减速步进电机1，另一端安装直线传动箱端盖26，直线输出保持架28安装在直线传动箱端盖26未与直线传动箱体25连接的一侧，输出转接螺母27从直线传动箱端盖26、直线输出保持架28中部伸出，柔性限位机构24与直线转动箱体25内壁相配合，用于限制传动轴22的转动；传感器组件3连接直线输出保持架28，传感器组件3与输出转接螺母27相配合，实时测量所述直线驱动装置输出的位移量。
传感器组件3包括传感器保持架31、传感器输入轴32、传感器33、传感器端盖34和传感器输出轴35；传感器保持架31安装在直线输出保持架28上，传感器33安装在传感器保持架31内并通过传感器端盖34压紧，传感器输入轴32和传感器输出轴35分别连接传感器33的两端，传感器输入轴32未与传感器33连接的一端与输出转接螺母27相连。
传感器保持架31包括支撑部分和固定部分，固定部分为圆筒结构，圆筒结构内安装传感器33，固定部分通过圆筒结构端部的法兰盘与支撑部分连接；支撑部分包括三个圆柱，沿圆环形的直线输出保持架28周向均匀分布，安装在直线输出保持架28上。
在本实施例中，传感器33为直线差分式传感器。减速步进电机1为行星齿轮减速步进电机。如图3所示，预紧件23为切口螺母预紧环，切口螺母预紧环为带有切口的环形结构。如图4、图5所示，柔性限位机构24采用柔性盘，所述柔性盘为一体化结构，包括三片支撑片，三片支撑片一端相互连接，三片支撑片之间夹角均为120°，三片支撑片另一端均有凸起结构；柔性盘中心处开有通孔、柔性盘上开有间隙。如图5所示，直线传动箱体25为圆筒形结构，内壁沿直线传动箱体25轴向口有三道凹槽，三道凹槽沿直线传动箱体25周向均匀分布，三道凹槽分别与柔性盘的三片支撑片端部的凸起结构相配合，用于限制传动轴22旋转，在限制直线驱动装置输出轴的径向运动同时可以通过间隙变形提供直线输出的轴向预载，保证输出精度和稳定性。
行星齿轮减速步进电机为标准件，传动形式转换组件2中的切口螺母21、传动轴22、切口螺母预紧环、柔性盘、直线传动箱体25、直线传动箱端盖26、输出转接螺母27和直线输出保持架28均为钛合金材料，以适应太空在轨环境，满足调焦精度和稳定性要求。传动轴22为螺纹传动轴，与切口螺母21是螺纹配合。切口螺母21的外螺纹上安装有切口螺母预紧环进行预紧，消除间隙从而达到防松的目的。
传感器组件3中的传感器33为标准件，传感器保持架31、传感器端盖34采用钛合金加工制造，传感器输入轴32和传感器输出轴35采用不锈钢材料。各零部件的数量均为一件。
直线驱动装置采用行星齿轮减速步进电机作为动力输入，行星齿轮减速步进电机的旋转运动通过行星齿轮减速器放大输出驱动力矩，利用传动形式转换组件2将行星齿轮减速器输出的旋转运动转换为直线运动，其中通过切口螺母预紧环起到消除间隙作用。传动形式转换组件2中设计有柔性盘，柔性盘在限制直线驱动装置输出轴的径向运动同时可以通过变形提供直线输出的轴向预载，保证输出精度和稳定性。该直线驱动装置可应用于地面环境下的高精度直线传动，活动件具备防冷焊，亦可用于真空复杂环境下的精密致动。
本实施例采用高精度的行星齿轮减速步进电机作为直线驱动装置的驱动源，在实际应用中包含但不限于此，能够提供步进角度可调、步距稳定的驱动电机均可应用于直线驱动装置的驱动。
本实施例采用切口螺母预紧环消除螺纹间隙，但在实际应用中预紧件23的结构形式包含但不限于此，能够提供具有弹性收紧功能的弹簧等其他形式的结构均可应用于直线驱动装置的间隙消除。
本实施例采用柔性盘施加传动轴22的轴向预载，保证直线输出的精度和稳定性，但在实际应用中柔性限位机构24的结构形式包含但不限于此，能够提供适当轴向柔性并限制径向刚度的柔性结构形式均可应用于确保直线驱动装置轴向预载。
本实施例采用高精度的直线差分式传感器实现对输出轴位移的检测，但在实际应用中检测元器件包含但不限于此，能够精确测量直线位移的传感器件均可应用于直线驱动装置的输出检测和反馈。
本实施例采用传动机构活动零件表面镀MoS2涂层，传动机构活动零件包括切口螺母21、传动轴22，但在实际应用中表面镀覆自固体润滑膜包含但不限于此，解决了直线驱动装置在空间低温真空环境中工作可能出现的机构冷焊、卡滞问题。
本发明说明书中未作详细描述的内容属本领域技术人员的公知技术。

Claims (10)

1.一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于：包括减速步进电机(1)、传动形式转换组件(2)、传感器组件(3)；传动形式转换组件(2)包括切口螺母(21)、传动轴(22)、预紧件(23)、柔性限位机构(24)、直线传动箱体(25)、直线传动箱端盖(26)、输出转接螺母(27)和直线输出保持架(28)；切口螺母(21)套在减速步进电机(1)的输出轴上且端部与减速步进电机(1)端部固定连接；传动轴(22)安装在切口螺母(21)内，一端与减速步进电机(1)的输出轴连接，另一端安装输出转接螺母(27)，传动轴(22)上设有轴肩，柔性限位机构(24)安装在轴肩上并通过输出转接螺母(27)压紧；预紧件(23)安装在切口螺母(21)上，用于消除切口螺母(21)与传动轴(22)之间的间隙；直线传动箱体(25)一端连接减速步进电机(1)，另一端安装直线传动箱端盖(26)，直线输出保持架(28)安装在直线传动箱端盖(26)未与直线传动箱体(25)连接的一侧，输出转接螺母(27)从直线传动箱端盖(26)、直线输出保持架(28)中部伸出，柔性限位机构(24)与直线转动箱体(25)内壁相配合，用于限制传动轴(22)的转动；传感器组件(3)连接直线输出保持架(28)，传感器组件(3)与输出转接螺母(27)相配合，实时测量所述直线驱动装置输出的位移量。
2.根据权利要求1所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述传感器组件(3)包括传感器保持架(31)、传感器输入轴(32)、传感器(33)、传感器端盖(34)和传感器输出轴(35)；传感器保持架(31)安装在直线输出保持架(28)上，传感器(33)安装在传感器保持架(31)内并通过传感器端盖(34)压紧，传感器输入轴(32)和传感器输出轴(35)分别连接传感器(33)的两端，传感器输入轴(32)未与传感器(33)连接的一端与输出转接螺母(27)相连。
3.根据权利要求2所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述传感器保持架(31)包括支撑部分和固定部分，固定部分为圆筒结构，圆筒结构内安装传感器(33)，固定部分通过圆筒结构端部的法兰盘与支撑部分连接；支撑部分包括三个圆柱，沿圆环形的直线输出保持架(28)周向均匀分布，安装在直线输出保持架(28)上。
4.根据权利要求3所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述传感器(33)为直线差分式传感器。
5.根据权利要求1或2所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述减速步进电机(1)为行星齿轮减速步进电机。
6.根据权利要求1或2所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述预紧件(23)为切口螺母预紧环或具有弹性收紧功能的弹簧，切口螺母预紧环为带有切口的环形结构。
7.根据权利要求1或2所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，柔性限位机构(24)采用柔性盘，所述柔性盘为一体化结构，包括三片支撑片，三片支撑片一端相互连接，三片支撑片之间夹角均为120°，三片支撑片另一端均有凸起结构；柔性盘中心处开有通孔。
8.根据权利要求7所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述直线传动箱体(25)为圆筒形结构，内壁沿直线传动箱体(25)轴向开有三道凹槽，三道凹槽沿直线传动箱体(25)周向均匀分布，三道凹槽分别与柔性盘的三片支撑片端部的凸起结构相配合，用于限制传动轴(22)旋转。
9.根据权利要求1所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述传动形式转换组件(2)的材料为钛合金材料；切口螺母(21)、传动轴(22)的表面镀MoS2涂层。
10.根据权利要求2所述的一种机械式纳米级高精度直线驱动装置，其特征在于，所述传感器保持架(31)、传感器端盖(34)的材料为钛合金，传感器输入轴(32)和传感器输出轴(35)的材料为不锈钢材料。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111061031B (zh) * 2019-11-26 2021-12-07 北京空间机电研究所 一种空间封闭式柔性精密调整装置及其装配方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2251567A1 (de) * 2009-05-16 2010-11-17 Robert Bosch GmbH Schmiermittelzuführung für eine Linearbewegungsvorrichtung
CN105827142A (zh) * 2016-06-06 2016-08-03 长春工业大学 非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法
CN106499785A (zh) * 2016-10-28 2017-03-15 成都福誉科技有限公司 一种高精度直线模组及其控制方法
US9618104B2 (en) * 2014-04-21 2017-04-11 Helix Linear Technologies Anti-backlash nut assembly
CN206686101U (zh) * 2017-03-02 2017-11-28 华侨大学 四足对称差动作动压电步进直线电机
CN107882943A (zh) * 2017-10-19 2018-04-06 兰州万里航空机电有限责任公司 一种直线式电动作动器
CN108225282A (zh) * 2018-01-25 2018-06-29 北京空间机电研究所 一种基于多元数据融合的遥感相机立体测绘方法和系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2251567A1 (de) * 2009-05-16 2010-11-17 Robert Bosch GmbH Schmiermittelzuführung für eine Linearbewegungsvorrichtung
US9618104B2 (en) * 2014-04-21 2017-04-11 Helix Linear Technologies Anti-backlash nut assembly
CN105827142A (zh) * 2016-06-06 2016-08-03 长春工业大学 非对称结构精密压电粘滑直线马达及其驱动方法
CN106499785A (zh) * 2016-10-28 2017-03-15 成都福誉科技有限公司 一种高精度直线模组及其控制方法
CN206686101U (zh) * 2017-03-02 2017-11-28 华侨大学 四足对称差动作动压电步进直线电机
CN107882943A (zh) * 2017-10-19 2018-04-06 兰州万里航空机电有限责任公司 一种直线式电动作动器
CN108225282A (zh) * 2018-01-25 2018-06-29 北京空间机电研究所 一种基于多元数据融合的遥感相机立体测绘方法和系统

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