JP2019117236A - 曲げ導波路から放射される光による損失を抑制可能な光回路及びそれを用いたモニタリング機能付き光源 - Google Patents

曲げ導波路から放射される光による損失を抑制可能な光回路及びそれを用いたモニタリング機能付き光源 Download PDF

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【課題】曲げ導波路から放射される光による損失を抑制可能な光回路及びそれを用いたモニタリング機能付き光源を提供すること。【解決手段】本発明に係る光回路は、曲げ導波路部分を有する光導波用コア層と、前記曲げ導波路部分の動径方向に前記曲げ導波路部分と同心円上に配置された光反射用コア層と、前記光導波用コア層及び前記光反射用コア層の少なくとも側面を覆うクラッド層と、を備え、前記曲げ導波路部分は、前記曲げ導波路部分において光が放射されないための最も小さい曲げ半径である最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径を有し、前記光反射用コア層は、前記曲げ導波路部分から放射された光を反射して前記曲げ導波路部分に再結合させるように構成されていることを特徴とする。【選択図】図2

Description

本発明は、光回路に関し、より詳細には、曲げ導波路から放射される光による損失を抑制可能な光回路及びそれを用いたモニタリング機能付き光源に関する。
光を用いた情報処理分野や光通信分野では、導波路を用いたフィルタやスイッチが研究開発されている(例えば、非特許文献1及び2参照)。例えば、石英系平面光波回路(Planar lightwave circuit:PLC)では、Siなどの平面状の基板に、フォトリソグラフィなどによるパターニングや反応性イオンエッチング加工によりコアを作製し、コアよりも屈折率の低いクラッドでコアの周りを埋め込むことにより導波路を形成する。
PLCは、複数の基本的な光回路(例えば、方向性結合器、マッハ・ツェンダ干渉計など)を組み合わせることで各種の機能を実現することができ、光通信分野で広く適用されている。他にも、近年、PLCは可視光域でも透明な特性を有するため、PLCを用いた小型なRGBカプラがピコプロジェクタや眼鏡端末用途に注目されている(例えば、非特許文献1参照)。
図1は、PLCを用いたRGBカプラを有するモニタリング機能付き光源を例示する。図1には、赤色光R、緑色光G、青色光Bの各色の光をそれぞれ出力する第1乃至第3のレーザダイオード(以下、LD)101乃至103と、PLC型のRGBカプラ20と、RGBカプラ20に光学的に接続され、RGBカプラ20から出射した光をモニタリングするためのフォトダイオード(以下、PD)30と、を備えたモニタリング機能付き光源が示されている。
PLC型のRGBカプラ20は、第1乃至第3のLD101乃至103と光学的に接続された第1乃至第3の入力導波路211乃至213と、第1乃至第3のLD101乃至103から第1乃至第3の入力導波路211乃至213を介して入力した光を合波する合波部22と、合波部22で合波された光を2分岐する分岐部23と、分岐部23で分岐された光の一方を出力する出力導波路24と、分岐部23で分岐された光の他方をPD30に出力するモニタリング用導波路25と、を含む。
第1乃至第3の入力導波路211乃至213を伝搬する光を合波部22で合波するために、図1に示されるように、第1及び第3の入力導波路211及び213並びに合波部22の間に光路変換用の曲げ導波路部分31が形成されている。また、PD30をLD10の出射面と対向するように配置するとPD30に迷光が入射してしまい、正確なモニタ値が取れない可能性があるため、分岐部23及びモニタリング用導波路25の間に90°光路変換の曲げ導波路部分32が形成されている。さらに、LD10の出射面の中心線上に出力導波路24の出射端を配置すると迷光が入射してしまい、出力光に影響を与えるため、出力導波路24に光路変換用の曲げ導波路部分33が形成されている。
図1に示すように、RGBカプラ20では、入力導波路21、合波部22、分岐部23、出力導波路24、モニタリング用導波路25において、光路変換のために曲げ導波路が必要となる場合がある。また、光通信用PLCにおいても、同様に、90°以上の曲げ導波路を使用することが頻繁に存在する。
A. Nakao, R. Morimoto, Y. Kato, Y. Kakinoki, K. Ogawa and T. Katsuyama, "Integrated waveguide-type red-green-blue beam combiners for compact projection-type displays", Optics Communications 330 (1014) 45-48 M. Popovic, et al., "Air Trenches for Sharp Silica Waveguide Bends", J. Lightwave Technol., vol. 20, no. 9 pp. 1762-1772, Sep 2002.
曲げ導波路の最小曲げ半径は、基本的にはコアとクラッドの比屈折率差Δや伝搬する光の波長で決定され、比屈折率差Δが大きいほど、及び伝搬する光の波長が短いほど、小さくなる。光回路において、最小曲げ半径Rより小さい曲げ半径で導波路を曲げると、光を導波路に閉じ込めておくことができず、動径方向に光が放射されて損失となる。このため、光回路のサイズは、最小曲げ半径に律速されることが多い。
図1に示すRGBカプラ20のように、PD30をLD10の出射面と垂直な面に配置する場合、RGBカプラにおけるLD10の出射面に平行な方向の幅は、最低でも曲げ導波路部分32の最小曲げ半径分は必要となる。また、第1及び第3の入力導波路211及び213並びに合波部22の間の曲げ導波路部分31において光路変換に必要な最小曲げ半径も、RGBカプラのサイズを律速する要因となる。
従来、光回路のコアとクラッドの比屈折率差Δを大きくすることで、曲げ導波路の最小曲げ半径を小さくする方法が用いられていた。しかしながら、比屈折率差Δを大きくすると、シングルモード条件の光回路のコアサイズも小さくなるため、加工難度が上がる、ファイバとの接続損失が増加する、といったPLC共通の課題に加え、光の閉じ込めが強くなることでエネルギー密度が高くなり、青色光によるコア損傷が発生しやすくなるといった可視光特有の課題がある。
また、PLCでは、曲げ導波路部分のクラッドを除去してエアークラッドとすることで、局所的に比屈折率差Δを高め、最小曲げ半径を小さくする方法が報告されているが(例えば、非特許文献2参照)、上述したコア損傷が発生しやすくなる点や通常の導波路作製後においてエアークラッド作製という追加の加工が必要となるなどの課題が存在する。
本発明は、上記のような課題を鑑みてなされたものであり、曲げ導波路の曲げ半径を最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径とした場合であっても、高い比屈折率差Δや導波路作製後の追加の加工を要することなく、曲げ導波路から放射される光による損失を抑制することが可能な光回路及びそれを用いたモニタリング機能付き光源を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る光回路によると、曲げ導波路部分を有する光導波用コア層と、前記曲げ導波路部分の動径方向に前記曲げ導波路部分と同心円上に配置された光反射用コア層と、前記光導波用コア層及び前記光反射用コア層の少なくとも側面を覆うクラッド層と、を備え、前記曲げ導波路部分は、前記曲げ導波路部分において光が放射されないための最も小さい曲げ半径である最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径を有し、前記光反射用コア層は、前記曲げ導波路部分から放射された光を反射して前記曲げ導波路部分に再結合させるように構成されていることを特徴とする。
本発明の一態様に係るモニタリング機能付き光源によると、請求項1乃至3のいずれかに記載の光回路と、前記光回路に光を出力する複数のレーザダイオードと、少なくとも1つのフォトダイオードと、を備えたモニタリング機能付き光源であって、前記光回路は、前記複数のレーザダイオードに光学的に接続された複数の入力導波路と、前記複数の入力導波路から出力された光を合波する合波部と、導波路を伝搬する光を分岐するための少なくとも1つの分岐部と、前記少なくとも1つの分岐部によって分岐された光を伝搬して前記少なくとも1つのフォトダイオードに出力する少なくとも1つのモニタリング用導波路と、前記合波部で合波された光を出力する出力導波路と、を含み、前記光導波用コア層及び前記クラッド層は、前記複数の入力導波路、前記少なくとも1つのモニタリング用導波路及び前記出力導波路を構成し、前記複数の入力導波路、前記少なくとも1つのモニタリング用導波路及び前記出力導波路の少なくとも1つは、前記曲げ導波路部分を有することを特徴とする。
本発明に係る光回路によると、曲げ導波路の曲げ半径を最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径とした場合であっても、高い比屈折率差Δや導波路作製後の追加の加工を要することなく、曲げ導波路から放射される光による損失を抑制することが可能であるため、光回路の更なる小型化を実現することが可能となる。
PLCを用いたRGBカプラを有するモニタリング機能付き光源を例示する。 本発明の実施例1に係る光回路を概略的に例示する図である。 本発明の実施例1に係る光回路の他の例を概略的に例示する図である。 光回路における波長−透過率特性を示すシミュレーション結果を示す図である。 本発明の実施例2に係るモニタリング機能付き光源を概略的に例示する図である。 本発明の実施例3に係るモニタリング機能付き光源を概略的に例示する図である。
(実施例1)
図2は、本発明の実施例1に係る光回路を概略的に示す。図2には、曲げ導波路部分111を有する光導波用コア層110と、曲げ導波路部分111の動径方向(曲げ導波路部分111から光が放射される側)に曲げ導波路部分111と同心円上に配置された光反射用コア層120と、光導波用コア層110及び光反射用コア層120の少なくとも側面を覆い、光導波用コア層110及び光反射用コア層120とは異なる屈折率を有するクラッド層130を含む光回路が示されている。本実施例1に係る光回路は、例えばPLCを用いることができる。
曲げ導波路部分111は、光導波用コア層110とクラッド層130との間の比屈折率差Δ及び光導波用コア層110を伝搬する光の波長によって決定される、曲げ導波路部分111において光が放射されないための最も小さい曲げ半径である最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径を有する。その結果、光導波用コア層110では、曲げ導波路部分111において、伝搬してきた光が動径方向に放射される。ここで、曲げ導波路部分111の曲げ半径とは、曲げ導波路部分111の外径を指すものとする。
光反射用コア層120は、曲げ導波路部分111側の内側の側面121と、外側の側面122と、を有する。光反射用コア層120は、光反射用コア層120及びクラッド層130の界面における屈折率差を利用して、光導波用コア層110の曲げ導波路部分111で放射された光を内側の側面121で反射して光導波用コア層110に再結合させる。また、光反射用コア層120は、内側の側面121で反射されずに透過した光を、外側の側面122で反射して光導波用コア層110に再結合させる。光反射用コア層120は、光導波用コア層110と同一の工程において形成することができるため、光反射用コア層120を形成するために追加の加工を要しない。
以下、光導波用コア層110の曲げ導波路部分111で放射された光が最初に反射される光反射用コア層120の内側の側面121の位置についての具体的な設計方法の例を説明する。
光導波用コア層110を伝搬する光と光反射用コア層120で反射されて光導波用コア層110に再結合する光との結合損失を最小にするためには、光導波用コア層110を伝搬する光と、光反射用コア層120で反射されて光導波用コア層110に再結合する光との位相差が2πの整数倍となるように、コア/クラッド界面を配置することが好ましい。
光導波用コア層110を伝搬する光と、曲げ導波路部分111から放射後に内側の側面121によって反射されて光導波用コア層110に再結合する光との光路差は、以下の(式1)で表される。
2(n0Rtanθ−n1Rθ) (式1)
ここで、n0はクラッド層130の屈折率、n1は光導波用コア層110及び光反射用コア層120の屈折率、Rは曲げ導波路部分111の曲げ半径、θは同心円上に配置された曲げ導波路部分111及び光反射用コア層120の当該同心円の中心と、曲げ導波路部分111で光が放射される点及び放射された光が内側の側面121で反射される点とでなす角度を示す。
上記(式1)で示される光路差が波長の整数倍(位相差が2πの整数倍)となれば、光導波用コア層110を伝搬する光と光反射用コア層120で反射されて光導波用コア層110に再結合する光とが互いに強め合って結合損失が最小になるため、光導波用コア層110を伝搬する光の波長をλとし、整数をNとすると、(式1)は以下の(式2)で表される。
2(n0Rtanθ−n1Rθ)=λ・N (式2)
光導波用コア層110及び光反射用コア層120とクラッド層130との屈折率差は非常に小さいため、n0=n1と近似すると、上記(式2)から以下の(式3)が導出される。
tanθ−θ=λ/(2・R・n0) (式3)
上記(式3)において、曲げ半径R、波長λ及び屈折率n0が決定すると、θが求まる。R’を光反射用コア層120の内径とすると、求めたθを三平方の定理から以下の(式4)に代入することで、光導波用コア層110と光反射用コア層120との間のギャップGが求まる。
G=R’−R=R{(1+tan2θ)1/2−1} (式4)
これにより、曲げ導波路部分111に最も近い光反射用コア層120の内側の側面121の位置が決定される。
光反射用コア層120の外径は、光反射用コア層120の幅に基づいて決定される。光反射用コア層120の幅は、光反射用コア層120の内側の側面121の位置の決定後に、ビーム伝搬法などの解析方法を用いてその幅を変化させながら、曲げ導波路部分111を伝搬する光の強度が最大になるように決定する。
ここで、光反射用コア層120の内側の側面121の位置、すなわち光導波用コア層110と光反射用コア層120との間のギャップGをビーム伝搬法を用いて決定できることは言うまでもない。
図3は、本発明の実施例1に係る光回路の他の例を示す。図3には、光導波用コア層110の曲げ導波路部分111の動径方向に曲げ導波路部分111と同心円上に配列された複数の光反射用コア層120を設けた構成が示されている。このように、複数の光反射用コア層120を同心円上に配列することにより、曲げ導波路部分111から放射された光であって、光反射用コア層120で反射せずに透過した光を反射して曲げ導波路部分111に再結合させることが可能となる。光反射用コア層120の本数は、適宜変更可能であり、特に限定されない。
図3に示すように、光反射用コア層120の更に外側に複数の光反射用コア層120を配置する場合も同様に、例えばビーム伝搬法を用いて光反射用コア層120の位置と幅を光導波用コア層110へ再結合する反射光の強度が最大になるように内側から順次決定すればよい。
図4(a)は、光回路における波長−透過率特性を示すシミュレーション結果を示す。図4(a)では、3次元円筒座標によるビーム伝搬法を用いて、光反射用コア層を配置せず光導波用コア層のみを配置した従来の光回路と、光導波用コア層及び光反射用コア層を配置した本発明に係る光回路とおいて、光導波用コア層の曲げ半径が750μm及び1000μmの場合についてそれぞれ実施した波長−透過率特性のシミュレーション結果を示す。
図4(a)に示すシミュレーションでは、従来の光回路及び本発明に係る光回路のいずれもコア層とクラッド層の比屈折率差Δが0.75%のPLCを用い、図4(b)に示すように、本発明に係る光回路として4つの光反射用コア層1201乃至1204を動径方向に配列した、8箇所のコア/クラッド界面を有する構成を用いた。また、図4(a)に示すシミュレーションで用いた本発明の設計パラメータを以下の表1に示す。
Figure 2019117236
表1中、Rは光導波用コア層の曲げ半径、G1は光導波用コア層110と光反射用コア層1201との間のギャップ、G2は光反射用コア層1201と光反射用コア層1202との間のギャップ、G3は光反射用コア層1202と光反射用コア層1203との間のギャップ、G4は光反射用コア層1203と光反射用コア層1204との間のギャップ、W1乃至W4はそれぞれ光反射用コア層1201乃至1204の幅を示し、単位はいずれもμmである。従来の光回路における光導波路の曲げ半径は3.5μmとした。
図4に示すシミュレーション結果において波長650nmの場合で比較すると、曲げ半径が750μmの場合には本発明に係る光回路は従来の光回路に対して透過率が約40%改善しており、曲げ半径が1000μmの場合には本発明に係る光回路は従来の光回路に対して透過率が約15%改善している。
このように、本発明に係る光回路のように光反射用コア層120を配置することで損失を抑制することができるため、光導波用コア層110の曲げ半径が最小曲げ半径よりも小さい場合でも、損失を低減することが可能となることが分かる。このため、本発明によると、比屈折率差Δを維持したまま、追加工なく光回路の小型化が可能となる。
(実施例2)
図5は、本発明の実施例2に係るモニタリング機能付き光源を概略的に示す。図5には、赤色光R、緑色光G、青色光Bの各色の光をそれぞれ出力する第1乃至第3のLD2101乃至2103と、光回路220と、光回路220に光学的に接続され、光回路220から出射した光をモニタリングするためのPD230と、を備えたモニタリング機能付き光源が示されている。本実施例2では、光回路220は、PLC型のRGBカプラとした。
図5に示されるように、光回路220は、第1乃至第3のLD2101乃至2103と光学的に接続された第1乃至第3の入力導波路2211乃至2213と、第1乃至第3のLD2101乃至2103から第1乃至第3の入力導波路2211乃至2213を介して入力した光を合波する合波部222と、合波部222で合波された光を2分岐する分岐部223と、分岐部223で分岐された光の一方を出力する出力導波路224と、分岐部223で分岐された光の他方をPD230に出力するモニタリング用導波路225と、モニタリング用導波路225における90°曲げ導波路部分の近傍に設けられた光反射用コア層226と、を含む。
第1乃至第3の入力導波路2211乃至2213、出力導波路224及びモニタリング用導波路225は、実施例1で示した光導波用コア層110及びクラッド層130で構成されている。
図5に示すモニタリング機能付き光源では、LD2101乃至2103とPD230とが対向しないように、さらに出力導波路224の光出射面と90°異なる面にPD230を配置するように、モニタリング用導波路225として90°光路変換用の曲げ導波路を用いることにより、PD230への迷光の入射を減少できるため、正確なモニタリングが可能となる。
しかしながら、モニタリング用導波路225の90°曲げ導波路部分の最小曲げ半径が大きいと、90°曲げ導波路部分がチップ幅を律速し(入力部の導波路間よりも曲げ半径が大きい場合、ボトルネックとなる)、チップの大型化を招く。そこで、本実施例では、モニタリング用導波路225の90°曲げ導波路部分の近傍に光反射用コア層226を配置し、最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径でモニタリング用導波路225を曲げることで、チップの小型化が可能となる。
ただし、分岐部223直近などの導波路間の狭い部分は、光反射用コア層226が他の導波路と交差しないように、他の導波路の手前で光反射用コア層226を終端させる必要がある。
一方で、導波路を曲げるには、長い回路長が必要となり、モジュールが大型化する。また、光R、G、Bは波長450〜650nmと広帯域に渡るため、損失なく導波路を曲げることができる最少曲げ半径は色によって異なる。特に、光のしみ出しの大きい光Rは、光G及びBと比べて最少曲げ半径が大きい。そこで、出力光を出力する出射面に対向する側の面にLD2101乃至2103を設け、赤色光Rを伝搬する入力導波路2103を直線導波路とし、青色光B及び緑色光Gをそれぞれ伝搬する入力導波路2211及び2212を光路変換用の曲げ導波路として、それぞれ合波部222に接続している。
また、赤色光Rを出力するLD2103は、3つのLD2101乃至2103のうち最も端に配置され、且つ入力導波路2213の入射面に平行な方向においてPD230から最も離れた位置に配置されている。これにより、導波路の曲げ領域を光回路220の幅方向の片側に寄せつつチップの長さを最小にすることができるため、モニタリング機能付き光源の小型化を実現することが可能となる。さらに、図5に示す構成では、各LD2101乃至2103の出射面の中心線上に出力導波路224の出射面を配置しないことで、出力導波路224の出射面に迷光が入射することを減少させることが可能となる。
なお、本実施例では、1本の光反射用コア層226を設けた構成を示したが、これに限定されず、図3に示すように複数の光反射用コア層を同心円上に配置した構成としてもよい。
(実施例3)
図6は、本発明の実施例3に係るモニタリング機能付き光源を概略的に示す。図6には、赤色光R、緑色光G、青色光Bの各色の光をそれぞれ出力する第1乃至第3のLD3101乃至3103と、光回路320と、光回路320に光学的に接続され、光回路320から出射した光をモニタリングするためのPD330と、を備えたモニタリング機能付き光源が示されている。本実施例3では、光回路320は、PLC型のRGBカプラとした。
光回路320は、第1乃至第3のLD3101乃至3103と光学的に接続された第1乃至第3の入力導波路3211乃至3213と、第1乃至第3のLD3101乃至3103から第1乃至第3の入力導波路3211乃至3213を介して入力した光を合波する合波部322と、合波部322で合波された光を2分岐する分岐部323と、分岐部323で分岐された光の一方を出力する出力導波路324と、分岐部323で分岐された光の他方をPD330に出力するモニタリング用導波路325と、第1及び第3の入力導波路3211及び3213並びにモニタリング用導波路325における90°曲げ導波路部分の近傍に設けられた光反射用コア層326と、を含む。
図6に示されるように、第1及び第3の入力導波路3211及び3213と合波部322との間に光路変換用の曲げ導波路部分が形成されている。また、分岐部323とモニタリング用導波路325との間に90°光路変換の曲げ導波路部分が形成されている。
本実施例3では、入力導波路におけるピッチ変換のための曲げ導波路部分にも光反射用コア層326を配置することで、チップ長の小型化も可能となる。
ただし、合波部322や分岐部323直近などの導波路間の狭い部分は、光反射用コア層326が他の導波路と交差しないように、他の導波路の手前で光反射用コア層326を終端させる必要がある。
なお、本実施例では、各曲げ導波路部分において1本の光反射用コア層326を設けた構成を示したが、これに限定されず、図3に示すように複数の光反射用コア層を同心円上に配置した構成としてもよい。
上記実施例2及び3において、いくつかの例を挙げて本発明に係る光回路を利用したモニタリング機能付き光源を例示したが、R、G及びBを出力するLDの配置、入力導波路の配置、出力導波路の配置、モニタリング用導波路の配置、合波部及び分岐部の配置、曲げ導波路部分の配置、光反射用コア層の配置、光合波方法及び光分岐方法、並びに各構成要素の個数、形状その他等は、上記の例に制限されず、適宜設計変更可能である。例えば、上記実施例では、光合波部の後段に分岐部及びモニタリング用導波路を設けた構成を例示したが、光合波部の前段に分岐部及びモニタリング用導波路を設けて入力導波路を伝搬する光を分岐部及びモニタリング用導波路を介してPDによりモニタリングするように構成してもよい。

Claims (6)

  1. 曲げ導波路部分を有する光導波用コア層と、
    前記曲げ導波路部分の動径方向に前記曲げ導波路部分と同心円上に配置された光反射用コア層と、
    前記光導波用コア層及び前記光反射用コア層の少なくとも側面を覆うクラッド層と、
    を備え、
    前記曲げ導波路部分は、前記曲げ導波路部分において光が放射されないための最も小さい曲げ半径である最小曲げ半径よりも小さい曲げ半径を有し、
    前記光反射用コア層は、前記曲げ導波路部分から放射された光を反射して前記曲げ導波路部分に再結合させるように構成されていることを特徴とする光回路。
  2. Rを前記曲げ導波路部分の曲げ半径とし、θを同心円上に配置された前記曲げ導波路部分及び前記光反射用コア層の当該同心円の中心と、前記曲げ導波路部分で光が放射される点及び放射された光が前記曲げ導波路部分側の前記光反射用コア層の内側の側面で反射される点とでなす角度とすると、前記光導波用コア層と前記内側の側面との間の距離Gは、
    G=R{(1+tan2θ)1/2−1}
    で表され、
    0を前記クラッド層の屈折率とし、λを前記光導波用コア層を伝搬する光の波長とすると、
    tanθ−θ=λ/(2・R・n0
    を用いて求められることを特徴とする請求項1に記載の光回路。
  3. 前記光反射用コア層と同心円上に配列された1つ又は複数の更なる光反射用コア層をさらに備え、
    前記1つ又は複数の更なる光反射用コア層は、前記曲げ導波路部分から放射された光であって、前記光反射用コア層で反射せずに透過した光を反射して前記曲げ導波路部分に再結合させることを特徴とする請求項1又は2に記載の光回路。
  4. 請求項1乃至3のいずれかに記載の光回路と、
    前記光回路に光を出力する複数のレーザダイオードと、
    少なくとも1つのフォトダイオードと、
    を備えたモニタリング機能付き光源であって、
    前記光回路は、
    前記複数のレーザダイオードに光学的に接続された複数の入力導波路と、
    前記複数の入力導波路から出力された光を合波する合波部と、
    導波路を伝搬する光を分岐するための少なくとも1つの分岐部と、
    前記少なくとも1つの分岐部によって分岐された光を伝搬して前記少なくとも1つのフォトダイオードに出力する少なくとも1つのモニタリング用導波路と、
    前記合波部で合波された光を出力する出力導波路と、を含み、
    前記光導波用コア層及び前記クラッド層は、前記複数の入力導波路、前記少なくとも1つのモニタリング用導波路及び前記出力導波路を構成し、
    前記複数の入力導波路、前記少なくとも1つのモニタリング用導波路及び前記出力導波路の少なくとも1つは、前記曲げ導波路部分を有することを特徴とするモニタリング機能付き光源。
  5. 前記複数の入力導波路のうち、赤色光を出力するレーザダイオードに接続された入力導波路は、直線導波路であり、
    前記複数のレーザダイオードは、出力光を出力する出射面に対向する面側に設けられており、
    前記少なくとも1つのモニタリング用導波路は、90°光路変換用の曲げ導波路であり、
    前記複数の入力導波路のうち、前記赤色光を出力するレーザダイオードに接続された入力導波路を除く入力導波路は、光路変換用の曲げ導波路であり、
    前記赤色光を出力するレーザダイオードは、前記複数のレーザダイオードの最も端に配置され、且つ前記複数の入力導波路の入射面に平行な方向において前記少なくとも1つのフォトダイオードから最も離れた位置に配置され、
    前記出力導波路の出射面は、前記赤色光を出力するレーザダイオードの出射面の中心線上に配置されていないことを特徴とする請求項4に記載のモニタリング機能付き光源。
  6. 前記少なくとも1つのモニタリング用導波路の前記90°光路変換用の曲げ導波路は、前記曲げ導波路部分であることを特徴とする請求項5に記載のモニタリング機能付き光源。
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