JP2019099450A - 球状窒化ケイ素粉体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
アンモニア:3SiO2(s)+6C(s)+4NH3(g)→Si3N4(s)+6CO(g)+6H2(g)
鐘賢龍などの発明者の特許である「高比表面積α相窒化ケイ素粉体の製造方法」(特許番号:I347299)では、まず、NH4NO3を酸化剤とし、また、glycine(グリシン)及びurea(尿素)を燃料とし、溶液燃焼合成法により、反応前駆物粉体(SiO2+C)を製造する。なお、反応前駆物の炭素と、二酸化ケイ素との比率が低いため、さらにショ糖を炭素源として添加する必要がある。最後に、得られた前駆物に対して、高温管状炉を用いて窒素雰囲気中で炭素熱還元窒化反応を行い、比表面積が高いα相の窒化ケイ素粉体を得ることができる。柴田耕司などの発明者の特許である「窒化ケイ素粉末の製造方法及び窒化ケイ素粉末、並びに窒化ケイ素焼結体及びそれを用いる回路基板」(特許番号:I573757)では、シリコンジイミド(silicon diimide)、シリコンテトラミド(silicon tetramide)、シリコンクロロイミド(silicon chloroimide)などの窒素含有シラン化合物を加熱分解して非晶質のSi‐N‐H系化合物を取得し、そして、連続式焼結炉に置いて流動状態で、窒素環境下で1400〜1700℃の温度で焼結プロセスを行うことで、内部酸素が少なく、且つ焼結に適した表面酸素を有する窒化ケイ素粉末を得ることができる。Crosbieの特許である「Method of making a special purity silicon nitride powder」(特許番号:US 4582696)では、オルトケイ酸テトラエチル(Tetraethyl orthosilicate)及びアンモニアを燃焼させて反応させることで非晶質のケイ素粉及びカーボンブラックを形成した後に、1300〜1500℃の窒素雰囲気下で炭素熱還元窒化反応を行い、高純度のα相の窒化ケイ素粉体を得ることができる。また、Schrollの特許である「Method for producing high〜purity silicon nitride」(特許番号:US 8697023B2)では、高純度のケイ素粉末を回転式高温管状炉に置き、窒素、アルゴン、及び水素などの3種類のガスの混合比率を調整し、1100〜1450℃で焼結プロセスを行って窒化反応を完成させることで、高純度の窒化ケイ素粉体を得ることができる。
Claims (13)
- 球状窒化ケイ素粉体を製造する方法であって、
(A)二酸化ケイ素粉体及び炭素源を提供し、前記二酸化ケイ素粉体及び前記炭素源を溶剤に分散させて溶解させ、混合スラリーを形成し;
(B)前記混合スラリーを噴霧して造粒し、球状粉体を形成し;
(C)前記球状粉体に対して窒素雰囲気下で炭化処理を行い、球状炭化粉体を形成し;
(D)前記球状炭化粉体に対して窒素雰囲気下で炭素熱還元窒化反応を行い、球状窒化ケイ素粉体を形成し;及び
(E)前記球状窒化ケイ素粉体に対して大気下で脱炭を行い、高純度の球状窒化ケイ素粉体を形成するステップを含む、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における炭素源は、ブドウ糖、ショ糖、及びフェノール樹脂のうちの1つである、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における二酸化ケイ素粉体と炭素源との重量比率は、1:1.0〜2.5である、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における二酸化ケイ素粉体とブドウ糖との重量比率は、1:2.5である、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における二酸化ケイ素粉体とショ糖との重量比率は、1:2.0である、方法。 - 請求項2に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における二酸化ケイ素粉体とフェノール樹脂との重量比率は、1:1.0である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における溶剤は、水及びアルコールのうちの1つである、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における二酸化ケイ素粉体の、前記混合スラリーにおける固形分は、10〜20wt%である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(A)における混合方法は、ボール・ミリング(ball milling)である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(C)における炭化処理の温度は、700℃〜800℃である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(D)における炭素熱還元窒化反応の温度は、1400℃〜1500℃である、方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記ステップ(E)では、前記球状窒化ケイ素粉体を回転高温炉に置き、大気下で均質脱炭プロセスを行う、方法。 - 請求項1又は12に記載の方法であって、
前記ステップ(E)における脱炭の温度は、700℃〜800℃である、方法。
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