JP2019096784A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
従来の装置は、洗浄液に基板の洗浄処理時に発生した気泡が含まれており、基板の表面に酸化膜が生じてウォーターマークが発生する。
また、これら気泡は、内槽部の底面から上昇し液面の付近に浮遊し、洗浄液から引上げられた基板に気泡が付着する、あるいは、洗浄液面で気泡が破裂して基板の表面に液滴が飛散するなど洗浄後の清浄な基板が汚染される恐れがある。
従来の装置は、基板を洗浄液中より順次露出させながら、基板の乾燥を行う基板乾燥装置では、窒素ガスを媒介してイソプロピルアルコール(以下、単に「IPA」と称する)を気化させて蒸気とし、エッチング処理後に洗浄液で洗浄された基板の処理槽の上部空間内に供給されている。その後、処理槽の洗浄液を処理槽底部から排水することにより、処理槽内で基板を露出させ、処理槽の上部空間に供給されたIPA蒸気が露出された基板の表面に付着した水滴と置換されるため、基板の表面が酸素に触れて酸化すること無く、基板が乾燥される。
従来の装置は、基板が洗浄液から取り出されて乾燥時に、処理室内の雰囲気に高純度の空気を提供している。空気には酸素が含まれていることから、当該装置では被処理基板は比較的大量の酸素が存在する状況下において乾燥処理されることとなる。酸素が基板の表面の洗浄液に溶け出し、基板素材のシリコンと化学反応を起こすことで、基板にウォーターマーク等の乾燥欠陥が生じる場合がある。
10 内槽部
11 チャンバ部
110 熱源部
111 気体排出口
12 天井部
120 気体吹出口
13 第一保持部
14 第二保持部
150 基板保持搬送部
151 泡止部材
152 エアシリンダ
16 リフタ部
17 循環ユニット
170 補助槽部
171 加熱装置
172 浄化装置
18 制御部
19 基板
Claims (14)
- 基板を洗浄する洗浄液で満たされた内槽部と、内槽部の上部に連接され基板を内包する空間を有し内部に乾燥用気体を流通させるチャンバ部と、
前記基板を前記内槽部内並びにチャンバ部内で保持するとともに前記内槽部内と前記チャンバ部内に搬送する基板保持搬送部と、
前記基板が保持されたときその下方に位置し、少なくとも前記基板の上昇時に前記基板保持搬送部と連動して動き、基板の鉛直投影領域よりも広い領域をカバーする泡止部材と、
を具備することを特徴とする基板処理装置。 - 上記チャンバ部には、上下動可能な天井部が設けられ、前記天井部、基板保持搬送部及び泡止部材を一定の距離を保って連動して上下方向に移動させるリフタ部を有することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基板保持搬送部は、前記内槽部内で前記基板を保持する第一保持部と、前記チャンバ部で前記基板を保持する第二保持部とを有し、前記基板および前記第一保持部が洗浄液から出る前後近傍で、第二保持部が前記基板を持ち替えて保持する機構を有することを特徴する請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記泡止部材は、前記第一保持部とともに洗浄液面より上方に移動することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記天井部は、乾燥用気体をチャンバ部内に供給する気体吹出口を有し、チャンバ部は乾燥用気体を排出する気体排出口を有することを特徴とする請求項2ないし4のいずれかに記載の基板処理装置。
- 前記チャンバ部の気体排出口は、チャンバ部の側壁側の洗浄液面近傍に設けられていることを特徴とする請求項5に記載の基板乾燥装置。
- 前記チャンバ部の側壁は、光透過性部材で作られ、外部には基板乾燥用の熱源が設けられていることを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。
- 基板保持搬送部は、複数の基板を保持搬送でき、泡止部材は、複数の基板の鉛直投影領域を連続的にまたは個別に覆う板状部材であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の半導体処理装置。
- 洗浄液に浸漬された基板の下方を基板の鉛直投影領域よりも広い領域を有する泡止部材でカバーし基板とともに上昇させて基板を洗浄液から引き上げる引上げ工程と、
その後基板を乾燥用気体中で乾燥させる乾燥工程と
を有することを特徴とする基板処理方法。 - 前記引上げ工程は、チャンバ部内で基板を洗浄液から引上げることにより行われ、前記チャンバ部には基板と一定の間隔を保って上下動し乾燥用気体の吹出口を有する上下動可能な天井部が設けられていることを特徴とする請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記基板は、基板保持搬送部により搬送され、引上げ工程中前記基板を洗浄液中で保持する第一保持部と、乾燥工程中前記基板を乾燥用気体中で保持する第二保持部を具備し、引上げ工程から乾燥工程に移行する前後近傍において第二保持部が第一保持部の上方に移動して基板を持ち替えて保持することを特徴とする請求項9または10に記載の基板処理方法。
- 前記第二保持部は、前記基板と当接する部分が乾燥した状態で、第一保持部から基板を持ち替えて保持することを特徴とする請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記第一保持部と前記泡止部材とが、一定の距離を保って連動することを特徴とする請求項11に記載の基板処理方法。
- 乾燥用気体は、前記基板の上方から前記基板に向けて吹出され、基板の横方向から排出されることを特徴とする請求項10に記載の基板の基板処理方法。
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