JP2019096175A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オペレータに煩わしい作業を生じさせることなく、機密情報の取り扱いに適した加工装置を提供すること。【解決手段】被加工物を加工する加工装置（１０）であって、被加工物を加工する切削手段（１４）と、加工に関する設定画面を備えるタッチパネル（１２）と、加工手段及びタッチパネルを制御する制御手段（２１）とを備え、制御手段は、操作者のユーザ端末と近接無線通信で接続してユーザ端末と通信する通信制御部（２２）と、設定画面の表示を制御する表示制御部（２３）とを備え、近接無線通信の通信エリアにユーザ端末（３０）がいる間だけ表示制御部はユーザ端末の各種情報を設定画面に表示する構成にした。【選択図】図３

Description

本発明は、表示手段を備えた加工装置に関する。

従来、半導体ウェーハ等の被加工物は、切削装置、研削装置、研磨装置、レーザ加工装置等の加工装置によって各種加工が施されている。これら加工装置においては、加工ユニットの加工条件等の操作指令を受け付けるタッチパネル式の表示モニタを備え、表示モニタを入力手段及び表示手段に兼用したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の加工装置では、表示モニタに加工条件の設定画面が表示され、設定画面がタッチされた各種パラメータ等が入力されることで、加工装置に対して加工条件が反映される。

上述の表示モニタでは、加工装置や加工に対する知識が乏しいオペレータは加工条件等の機密情報を誤入力するおそれがある。そこで、加工装置のオペレータを多く抱える量産工場等では、オペレータをレベル分けしてレベルに応じて加工条件の入力を規制する運用が提案されている（例えば、特許文献２参照）。この場合、加工装置や被加工物に影響を及ぼすような情報の設定画面では入力にロックがかかるようにし、オペレータのレベルに応じて個別に付与されたパスワード等が加工装置の読取装置で読み取られることで設定画面のロックが解除される。

特開２０１２−０００７０１号公報 特開２０１４−０１０７４５号公報

しかしながら、特許文献２に記載の加工装置では、オペレータのパスワード等を読取端末で読み取ってロックを解除しなければならず、オペレータの解除作業が煩わしいものになっていた。例えば、オペレータの両手が塞がっている場合には、解除作業を行うことができず、作業効率が悪いという問題があった。

本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、オペレータに煩わしい作業を生じさせることなく、機密情報の取り扱いに適した加工装置を提供することを目的の１つとする。

本発明の一態様の加工装置は、被加工物を加工する加工装置であって、被加工物を加工する加工手段と、加工に関する設定画面を備える表示手段と、該加工手段及び該表示手段を制御する制御手段とを備え、該制御手段は、操作者のユーザ端末と近接無線通信で接続して該ユーザ端末と通信する通信制御部と、該設定画面の表示を制御する表示制御部とを備え、該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末がいる間だけ該表示制御部は該ユーザ端末の各種情報を該設定画面に表示し、入力を許容すること、を特徴とする。

この構成によれば、加工装置の通信エリアにユーザ端末が入ることで、設定画面へのアクセスが許可されるため、操作者に煩わしい作業が生じることがない。また、加工装置の通信エリアにユーザ端末がいるときだけ、ユーザ端末の各種情報が設定画面に表示され、ユーザ端末が通信エリア外にあるときは各種情報が設定画面に表示されることがない。操作者が加工装置から離れた時点で設定画面から各種情報が消えるため、他の操作者が設定画面に不正アクセスしても各種情報が閲覧されることが防止される。このように、機密情報の取り扱いが容易になると共に、操作者に煩わしい作業を生じさせることなく作業の効率化を図ることができる。

本発明の一態様の加工装置において、該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末が所定時間留まっている場合に、該ユーザ端末が該通信エリアにいる間だけ該表示制御部は該各種情報を該設定画面に表示し、入力を許容する。

本発明の一態様の加工装置において、操作者による所定のアクションを検知する検知手段を備え、該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末が入り且つ該検知手段が該操作者の所定のアクションを検知した場合に、該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末がいる間だけ該表示制御部は該各種情報を該設定画面に表示し、入力を許容する。

本発明の一態様の加工装置において、該ユーザ端末は、該設定画面に表示させる加工条件を含む該各種情報が格納された情報格納部を備え、該通信エリアに該ユーザ端末がいる間又は加工動作の間、該表示制御部が当該ユーザ端末の該情報格納部に格納された該各種情報を該設定画面に表示させる。

本発明の一態様の加工装置において、該制御手段は、更に該ユーザ端末を管理する管理部を備え、該管理部は、アクセス可能なユーザ端末にアクセス権を関連付けて管理しており、該表示制御部が、該アクセス権に応じた設定画面で該ユーザ端末の該各種情報を表示させる。

本発明の一態様の加工装置において、該制御手段は、該ユーザ端末にデータをバックアップする。

本発明によれば、加工装置の通信エリアにユーザ端末がいるときだけ、ユーザ端末の各種情報が設定画面に表示されることで、機密情報の取り扱いが容易になると共に、操作者に煩わしい作業を生じさせることなく作業の効率化を図ることができる。

本実施の形態の切削装置の正面模式図である。 比較例の操作画面の表示例を示す図である。 本実施の形態のタッチパネルの断面模式図である。 本実施の形態の自動ログインの説明図である。 本実施の形態の加工装置の動作の一例を示す説明図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態の切削装置について説明する。図１は、本実施の形態の切削装置の正面模式図である。図２は、比較例の操作画面の表示例を示す図である。なお、本実施の形態では、加工装置として切削装置を例示して説明するが、加工装置はタッチパネルを備えていれば、特に限定されない。

加工装置１０の筐体外面１１には、表示手段として操作者の操作を受け付けるタッチパネル１２が設けられており、タッチパネル１２によって各種加工条件が設定される。タッチパネル１２には設定画面が表示されており、設定画面には各種加工条件が入力される。筐体内部には、被加工物Ｗを保持するチャックテーブル１３と、被加工物Ｗを加工する加工手段として切削手段１４とが設けられている。加工装置１０の筐体内部に被加工物Ｗが取り込まれると、チャックテーブル１３上に保持された被加工物Ｗが切削手段１４によって分割予定ラインに沿って切削される。

図２の比較例に示すように、一般的な加工装置４０では、タッチパネル４１にログイン画面が表示されており、ログイン画面でユーザＩＤとパスワードの入力を受け付けている。操作者のログインによって設定画面へのアクセスが許容され、設定画面で加工条件（デバイスデータ）の入力、閲覧、編集等が実施される。設定画面で加工条件が設定されると、加工装置４０のメモリに加工条件が記憶されて、メモリから加工条件を読み出すことが可能になっている。このように、通常は加工装置４０で加工条件等の機密情報が管理され、パスワードで加工装置４０のセキリュティを確保している。

昨今ではパスワード漏洩が問題になっており、不正ログインによって第三者に加工装置４０内の機密情報が盗み見されるおそれがある。加工条件の編集、閲覧時には加工装置４０まで操作者が移動しなければならないため、加工条件のパラメータを自由に検討することができない。加工装置４０にログインするために、タッチパネル４１のログイン画面でユーザＩＤとパスワードを入力しなければならず、操作者にとって煩わしい作業になっていた。このように、加工装置では、機密情報のセキュリティを確保しつつ、操作者の作業効率化が求められている。

そこで、本実施の形態では、操作者のユーザ端末３０と加工装置１０を近接無線通信で接続し（図３参照）、加工装置１０の通信エリアにユーザ端末３０がいるときだけ、ユーザ端末３０の各種情報を設定画面に表示させている。ユーザ端末３０で加工条件等の機密情報を管理することで、不正ログインによって第三者が加工装置１０にアクセスしても機密情報が盗み見されることがない。ユーザ端末３０に加工条件が記憶されているため、場所や時間に関わらず加工条件のパラメータを検討することができる。さらに、近接無線通信を利用した自動ログインによって操作者の作業の効率化が図られている。

以下、図３を参照して、本実施の形態の通信システムについて説明する。図３は、本実施の形態の通信システムのブロック図である。なお、通信システムは図３に限定されるものではなく、加工装置及びユーザ端末が通常備える構成については備えているものとする。

加工装置１０には、上記したように加工手段として切削手段１４が設けられると共に、入力手段及び表示手段としてタッチパネル１２が設けられている。タッチパネル１２には、操作者のアクセス権に応じて加工に関する設定画面が表示される。設定画面は、アクセス権に応じたオペレート画面、メンテナンス画面等が含まれる。タッチパネル１２及び切削手段１４には、タッチパネル１２のパネル操作に応じて切削手段１４を制御する制御手段２１が接続されている。タッチパネル１２で加工条件等の各種情報が入力されると、加工装置１０のメモリに一時的に各種情報が記憶される。

制御手段２１には、操作者のユーザ端末３０と近接無線通信で接続してユーザ端末３０と通信する通信制御部２２と、タッチパネル１２の設定画面の表示を制御する表示制御部２３とが設けられている。通信制御部２２には通信手段２４が接続されており、通信制御部２２で通信手段２４の通信処理を制御している。通信手段２４は、アンテナ、変復調回路、増幅器等を備えており、近接無線通信の通信方式に従った変復調、符号化、復号化等の信号処理を実施する。本実施の形態では、近接無線通信として、例えばＢｌｕｅｔｏｏｔｈ（登録商標）が採用されて、ペアリングされたユーザ端末３０だけが加工装置１０にアクセス可能になっている。なお、ペアリングとは、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ機器（機器情報）を相互に登録して、登録機器に対する接続を許可する処理を示している。

また、通信制御部２２は、定期的に通信エリアを監視しており、通信エリアで加工装置１０にアクセス可能なユーザ端末３０の有無を検出している。通信制御部２２が通信エリアでユーザ端末３０を検出すると、ユーザ端末３０に対して後述する自動ログイン処理が実施され、通信制御部２２が通信エリアでユーザ端末３０を見失うと、ユーザ端末３０に対してログアウト処理が実施される。表示制御部２３は、ユーザ端末３０でログインすると、タッチパネル１２に対してユーザ端末３０のアクセス権に応じた設定画面を表示させる。すなわち、タッチパネル１２には操作者のアクセス権のレベルに応じて設定画面の表示が規制される。

この場合、制御手段２１にはユーザ端末３０を管理する管理部２５が設けられており、管理部２５で加工装置１０にアクセス可能なユーザ端末３０にアクセス権が関連付けて管理されている。より詳細には、管理部２５では、ユーザ端末３０のユーザＩＤ又は機器情報等の識別情報毎に、操作者のレベルに応じたアクセス権が管理されている。表示制御部２３は、ログイン後のユーザ端末３０の識別情報からアクセス権を読み出して、アクセス権によって一部の設定画面の表示を規制している。操作者に必要な設定画面だけを表示させることで、知識に乏しい作業者によって設定が書き換えられることがない。

制御手段２１には、操作者の自動ログインを制御する認証部２６が設けられている。認証部２６は、通信エリアのユーザ端末３０からユーザＩＤ及びパスワードを受信して、加工装置１０内のデータベースを参照してユーザ端末３０を認証している。ユーザＩＤやパスワードの入力することなく、近接無線通信によって加工装置１０にログインできるため、操作者のログイン作業が簡略化されて作業効率が向上されている。なお、ペアリングによってユーザ端末３０の機器情報が加工装置１０に登録されていれば、ユーザＩＤ及びパスワードを用いた認証を省略してログインしてもよい。

認証部２６は、通信エリアに一定時間留まったユーザ端末３０を認証してログインさせてもよい。これにより、単に加工装置１０の近辺を通過したユーザ端末３０（操作者）をログインさせることがない。また、加工装置１０に操作者による所定のアクションを検知する検知手段２７を設けて、検知手段２７で所定のアクションを検知したときにユーザ端末３０を認証してログインさせてもよい。所定のアクションは、加工装置１０の近辺にユーザ端末３０が留まっていることを検出可能であればよく、例えば、加工装置１０の筐体に対する操作者の接触、タッチパネル１２のタッチ、加工装置１０に対する呼びかけ等でもよい。よって、検知手段２７は、接触検知、音声検知が可能なセンサで構成される。

一方で、ユーザ端末３０には情報格納部３１に格納された各種情報を表示する表示手段３２が設けられている。各種情報には、例えば、加工条件のパラメータが含まれているため、ユーザ端末３０の表示手段３２でパラメータを確認することができる。このため、作業者はユーザ端末３０を持っていれば、場所や時間を選ばすに加工条件のパラメータを検討することができる。ユーザ端末３０の通信手段３３は、アンテナ、変復調回路、増幅器等を備えており、近接無線通信の通信方式に従った変復調、符号化、復号化等の信号処理を実施する。また、ユーザ端末３０には、端末各部の各種処理を統括制御する制御手段３４が設けられている。

この通信システムでは、近接無線通信の通信エリアにユーザ端末３０がいる間だけ、加工装置１０の表示制御部２３がユーザ端末３０の各種情報をタッチパネル１２の設定画面に表示させて、設定画面への入力を許容している。より詳細には、ユーザ端末３０が加工装置１０の通信エリアに入ってログインすると、ユーザ端末３０から加工装置１０に情報格納部３１内の各種情報が送信されて、加工装置１０のメモリに一時的にユーザ端末３０の各種情報が書き込まれる。これにより、加工装置１０のタッチパネル１２には、ユーザ端末３０の各種情報が反映された設定画面が表示される。

ユーザ端末３０が加工装置１０の通信エリアから離れてログアウトすると、加工装置１０のタッチパネル１２から設定画面が消えて、加工装置１０のメモリからユーザ端末３０の各種情報が消去される。各種情報が加工条件である場合には、加工装置１０の加工動作中に加工条件が加工装置１０のメモリから消去されることはないが、加工動作が完了した時点で加工条件がメモリから消去される。加工装置１０にユーザ端末３０の各種情報が残らないため、不正ログインによって第三者が加工装置１０にアクセスしてもユーザ端末３０の各種情報が盗み見されることがない。また、加工装置１０の制御手段２１は、メモリからユーザ端末３０の各種情報を消去する際に、各種条件を含むデータをユーザ端末３０にバックアップしている。

このように、加工装置１０側で加工条件等の機密情報を管理する代わりに、ユーザ端末３０側で加工条件等の機密情報を管理している。ユーザ端末３０で加工条件を管理することで、加工装置１０での加工条件の漏洩を防止すると共に、ユーザ端末３０を携帯しながら場所や時間に関わらず加工条件のパラメータを検討することができる。なお、加工装置１０の制御手段２１及びユーザ端末３０の制御手段３４は、各種処理を実行するプロセッサやメモリ等により構成されている。メモリは、用途に応じてＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）等の一つ又は複数の記憶媒体で構成される。メモリには、例えば、駆動制御用の各種プログラムが記憶されている。

ここで、図４を参照して、本実施の形態の自動ログインについて説明する。図４は、本実施の形態の自動ログインの説明図である。ここでは、加工装置と複数のユーザ端末が事前にペアリングされているものとする。

図４Ａに示すように、ユーザ端末３０Ａを持った操作者Ａが加工装置１０の通信エリア１９に入ると、加工装置１０によって操作者Ａが自動ログインされる。加工装置１０の設定画面にはユーザ端末３０Ａに格納された加工条件等の各種情報が表示され、操作者Ａの操作によって加工装置１０の加工動作が開始される。通信エリア１９にユーザ端末３０Ａがいる間又は加工動作の間だけ、加工装置１０の表示制御部２３（図３参照）がユーザ端末３０Ａの情報格納部３１（図３参照）に格納された各種情報を加工装置１０の設定画面に表示させている。

加工装置１０に操作者Ａがログインするつもりが無くても、加工装置１０の近傍を操作者Ａが通り過ぎるたびに自動ログインされるおそれがある。この場合、加工装置１０の通信エリア１９を数十ｃｍに設定しておくことで、意図しない自動ログインを防止してもよい。また、上記したように通信エリア１９に所定時間留まったユーザ端末３０Ａ（操作者Ａ）だけを自動ログインするようにしてもよい。通信エリア１９にユーザ端末３０Ａが所定時間留まっている場合に、ユーザ端末３０Ａが通信エリア１９にいる間だけ、表示制御部２３（図３参照）がユーザ端末３０Ａの各種情報を設定画面に表示させる。

さらに、上記したように通信エリア１９で操作者が加工装置１０に所定のアクションを起こした場合に自動ログインするようにしてもよい。ユーザ端末３０Ａが通信エリア１９に入り、且つ加工装置１０の検知手段２７（図３参照）が操作者の所定のアクションを検知した場合に、通信エリア１９にユーザ端末３０Ａがいる間だけ、表示制御部２３（図３参照）がユーザ端末３０Ａの各種情報を設定画面に表示させる。なお、ユーザ端末３０Ａが加工装置１０に意図せずにログインしたとしても、加工装置１０からユーザ端末３０Ａが離れれば即座にログアウトされるため特に問題になることはない。

図４Ｂに示すように、加工装置１０に操作者Ａがログインしている状態では、加工装置１０の管理リストには、優先順位の１位にユーザＩＤ「０００Ａ」、アクセス権のレベル「Ｌｖ１」、ステータス情報「ログイン中」が設定されている。この状態で、操作者Ｂがユーザ端末３０Ｂを持って加工装置１０の通信エリア１９に入ると、操作者Ｂの自動ログインが拒否されて、優先順位の２位にユーザＩＤ「０００Ｂ」、アクセス権のレベル「Ｌｖ１」、ステータス情報「待機中」が設定される。このように、先にログインした操作者がいる場合には、後から通信エリア１９に入った操作者は無視される。

図４Ｃに示すように、アクセス権のレベルが高い操作者Ｃがユーザ端末３０Ｃを持って加工装置１０の通信エリア１９に入ると、操作者Ａがログイン中のため、操作者Ｃの自動ログインが拒否される。このとき、操作者Ｂよりも操作者Ｃのアクセス権のレベルが高いため、操作者Ｂよりも操作者Ｃの優先順位が高く設定される。よって、管理リストの優先順位の２位にユーザＩＤ「０００Ｃ」、アクセス権のレベル「Ｌｖ２」、ステータス情報「待機中」が設定され、優先順位の３位にユーザＩＤ「０００Ｂ」、アクセス権のレベル「Ｌｖ１」、ステータス情報「待機中」が設定される。

図４Ｄに示すように、操作者Ａが加工装置１０からログアウトすると、優先順位の２位の操作者Ｃが繰り上げられてログインされる。よって、管理リストが書き換えられて、優先順位の１位にユーザＩＤ「０００Ｃ」、アクセス権のレベル「Ｌｖ２」、ステータス情報「ログイン中」が設定され、優先順位の２位にユーザＩＤ「０００Ｂ」、アクセス権のレベル「Ｌｖ１」、ステータス情報「待機中」が設定される。このように、複数の操作者で加工装置１０に対するログインが重なる場合には、アクセス権のレベルが高い操作者が優先的にログインされる。

なお、通信エリア１９からユーザ端末３０Ａが離れたときに操作者が自動ログアウトされる構成に限らず、操作者Ａの操作によって手動ログアウトされてもよい。通信エリア１９で手動ログアウトした場合には、加工装置１０の通信エリア１９に操作者Ａが留まっていても自動ログインすることはない。操作者Ａが通信エリア１９にユーザ端末３０Ａを持って入り直すか、加工装置１０に対して上記の所定のアクションを起こすことで再ログインすることができる。

また、操作者Ａが通信エリア１９から離れたとしても、加工装置１０の加工動作中には他の操作者Ｂ、Ｃによる加工装置１０への自動ログインが許可されることがない。ただし、加工装置１０の加工動作中にエラーが発生した場合には、加工装置１０の加工動作が一時的に停止されるため、操作者Ａが自動ログアウトされて他の操作者Ｂ、Ｃの自動ログインが許容されてもよい。これにより、操作者Ａが加工装置１０から離れている間にエラーが生じていても、加工装置１０に操作者Ｂ、Ｃをログインさせることで、操作者Ｂ、Ｃにエラーを対処させて加工装置１０を早急に復帰させることができる。

また、加工装置１０の加工動作中にエラーが発生してアシストが必要な場合には、ユーザ権限で対応可能な操作や表示内容を制限してもよい。例えば、オートセットアップのエラーが生じた場合に、オートセットアップパスというエラーリカバリ項目を画面に表示させないようにする。これにより、操作者が安易にエラーリカバリ項目を選択することを制限することができる。

図５を参照して、加工装置における自動ログインから加工動作の完了までの動作の流れについて説明する。図５は、本実施の形態の加工装置の動作の一例を示す説明図である。

図５に示すように、操作者Ｘがユーザ端末３０Ｘを持って加工装置１０に近づくと、ユーザ端末３０Ｘから加工装置１０に操作者Ｘの識別情報としてユーザＩＤ及びパスワード、又は機器情報が通知されて、操作者Ｘが加工装置１０に自動ログインする（ステップＳ０１）。次に、表示制御部２３（図３参照）によって管理部２５（図３参照）から操作者Ｘのアクセス権が取得されて、アクセス権に応じた設定画面がタッチパネル１２に表示される（ステップＳ０２）。次に、ユーザ端末３０から各種情報として加工条件が加工装置１０に送信され、表示制御部２３によって加工装置１０の設定画面に加工条件が表示される（ステップＳ０３）。

次に、操作者Ｘの操作によって加工装置１０の加工動作が開始され（ステップＳ０４）、操作者Ｘがユーザ端末３０Ｘを持って加工装置１０の通信エリアから離れると、表示制御部２３によってタッチパネル１２から設定画面が消される（ステップＳ０５）。操作者Ｘが加工装置１０から離れている間に加工装置１０にエラーが生じると、操作者Ｘが自動ログアウトされて他の操作者のログインが許容される（ステップＳ０６）。操作者Ｙがユーザ端末３０Ｙを持って加工装置１０に近づくと、ユーザ端末３０Ｘから加工装置１０に操作者Ｙの識別情報が通知されて操作者Ｙが加工装置１０に自動ログインする（ステップＳ０７）。

次に、表示制御部２３によって管理部２５から操作者Ｙのアクセス権が取得されて、アクセス権に応じた設定画面がタッチパネル１２に表示される（ステップＳ０８）。この場合、タッチパネル１２にオペレート画面が表示されて、操作者Ｙによって加工装置１０のエラーが対処される（ステップＳ０９）。加工装置１０の加工動作が完了すると、加工装置１０のメモリにはログ情報を残して加工条件が自動削除される（ステップＳ１０）。なお、ログ情報には、ログイン時刻、加工開始時刻、エラー発生時刻、操作者のユーザＩＤ等の各種稼働ログが含まれている。このように、加工装置１０から加工条件等の機密情報が削除されてログ情報だけが残される。

以上のように、本実施の形態の加工装置１０によれば、加工装置１０の通信エリアにユーザ端末３０が入ることで、設定画面へのアクセスが許可されるため、操作者に煩わしい作業が生じることがない。また、加工装置１０の通信エリアにユーザ端末３０がいるときだけ、ユーザ端末３０の各種情報が設定画面に表示され、ユーザ端末３０が通信エリア外にあるときは各種情報が設定画面に表示されることがない。操作者が加工装置１０から離れた時点で設定画面から各種情報が消えるため、他の操作者が設定画面に不正アクセスしても各種情報が閲覧されることが防止される。このように、機密情報の取り扱いが容易になると共に、操作者に煩わしい作業を生じさせることなく作業の効率化を図ることができる。

なお、本実施の形態では、近接無線通信としてＢｌｕｅｔｏｏｔｈを例示して説明したが、この構成に限定されない。近距離無線通信は、加工装置の近辺で通信可能な通信規格であればよく、例えば、数メートル程度の通信エリアの通信規格、さらに数ｃｍから１メートル程度の短距離の通信エリアの各種通信規格が用いられてもよい。

また、本実施の形態では、ユーザ端末は、加工装置に近接無線通信可能な端末であればよく、例えば、スマートフォン等の携帯電話、タブレット型端末、ＰＤＡ（Personal Digital Assistant）、ノート型ＰＣで構成される。

また、本実施の形態では、認証部がユーザＩＤ及びパスワードで操作者を認証する構成にしたが、この構成に限定されない。認証部は、操作者を認証可能であればよく、指紋、声紋、網膜、顔等の生体情報を用いた生体認証を用いて認証してもよい。

また、本実施の形態では、管理部でユーザ端末にアクセス権を関連付けて管理する構成にしたが、この構成に限定されない。加工装置は、ユーザ端末毎にアクセス権を設定していなくてもよい。

また、本実施の形態では、加工装置の制御手段がユーザ端末にデータをバックアップする構成にしたが、この構成に限定されない。加工装置の制御手段はユーザ端末にデータをバックアップしなくてもよい。

また、本実施の形態では、ログイン中の操作者が加工装置の通信エリアから外れると、表示手段から設定画面を消す構成にしたが、この構成に限定されない。加工動作の間は、加工条件等の各種情報を設定画面に表示させてもよい。また、加工動作中であっても、権限の無い操作者には、機密に関するパラメータを設定画面に表示しないようにすることも可能である。

また、本実施の形態では、表示手段として入力機能を備えたタッチパネルを例示したが、この構成に限定されない。表示手段は入力機能を備えない表示モニタで構成されてもよい。

また、本実施の形態では、加工装置としてワークを切削する切削装置を例示して説明したが、この構成に限定されない。本発明は、タッチパネルを備えた他の加工装置に適用可能である。例えば、研削装置、研磨装置、レーザ加工装置、プラズマエッチング装置、エッジトリミング装置、エキスパンド装置、ブレーキング装置、及びこれらを組み合わせたクラスター装置等の他の加工装置に適用されてもよい。したがって、加工手段は、研削加工、研磨加工、レーザ加工、エッチング加工、エキスパンド加工、ブレーキング加工等で被加工物を加工するものである。

また、被加工物として、加工の種類に応じて、半導体基板、無機材料基板、パッケージ基板等の各種ワークが用いられてもよい。半導体基板としては、シリコン、ヒ化ガリウム、窒化ガリウム、シリコンカーバイド等の各種基板が用いられてもよい。無機材料基板としては、サファイア、セラミックス、ガラス等の各種基板が用いられてもよい。半導体基板及び無機材料基板はデバイスが形成されていてもよいし、デバイスが形成されていなくてもよい。パッケージ基板としては、ＣＳＰ（Chip Size Package）、ＷＬＣＳＰ（Wafer Level Chip Size Package）、ＥＭＩ（Electro Magnetic Interference）、ＳＩＰ（System In Package）、ＦＯＷＬＰ（Fan Out Wafer Level Package）用の各種基板が用いられてもよい。また、ワークとして、デバイス形成後又はデバイス形成前のリチウムタンタレート、リチウムナイオベート、さらに生セラミックス、圧電素子が用いられてもよい。

また、通信システムは、上記した通信システムの一例に限定されない。通信システムは、被加工物を加工する加工装置と、加工装置に近接無線通信で接続可能なユーザ端末とを備えた通信システムであって、加工装置には、被加工物を加工する加工手段と、加工に関する設定画面を表示する表示手段と、加工手段及び表示手段を制御する制御手段とを備え、制御手段は操作者のユーザ端末と近接無線通信で接続する通信制御部と、表示手段の設定画面の表示を制御する表示制御部とが設けられ、ユーザ端末には設定画面に表示させる各種情報が格納され、通信エリアにユーザ端末がいる間だけ、表示制御部がユーザ端末の各種情報を設定画面に表示させ、設定画面に対する入力を許容する構成であればよい。

また、本実施の形態及び変形例を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態及び変形例は上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

また、本実施の形態では、本発明を加工装置の機密情報の漏洩防止に適用した構成について説明したが、機密情報の漏洩防止が必要な他の装置に適用することも可能である。

以上説明したように、本発明は、オペレータに煩わしい作業を生じさせることなく、機密情報を取り扱うことができるという効果を有し、特に、加工条件を機密に取り扱う加工装置に有効である。

１０ ：加工装置
１２ ：タッチパネル（表示手段）
１４ ：切削手段（加工手段）
２１ ：制御手段
２２ ：通信制御部
２３ ：表示制御部
２５ ：管理部
２６ ：認証部
２７ ：検知手段
３０ ：ユーザ端末
３１ ：情報格納部
１９ ：通信エリア
Ｗ ：被加工物

Claims (6)

1. 被加工物を加工する加工装置であって、
   被加工物を加工する加工手段と、加工に関する設定画面を備える表示手段と、該加工手段及び該表示手段を制御する制御手段とを備え、
   該制御手段は、操作者のユーザ端末と近接無線通信で接続して該ユーザ端末と通信する通信制御部と、該設定画面の表示を制御する表示制御部とを備え、
   該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末がいる間だけ該表示制御部は該ユーザ端末の各種情報を該設定画面に表示し、入力を許容すること、を特徴とする加工装置。
2. 該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末が所定時間留まっている場合に、該ユーザ端末が該通信エリアにいる間だけ該表示制御部は該各種情報を該設定画面に表示し、入力を許容すること、を特徴とする請求項１記載の加工装置。
3. 操作者による所定のアクションを検知する検知手段を備え、
   該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末が入り且つ該検知手段が該操作者の所定のアクションを検知した場合に、該近接無線通信の通信エリアに該ユーザ端末がいる間だけ該表示制御部は該各種情報を該設定画面に表示し、入力を許容すること、を特徴とする請求項１記載の加工装置。
4. 該ユーザ端末は、該設定画面に表示させる加工条件を含む該各種情報が格納された情報格納部を備え、
   該通信エリアに該ユーザ端末がいる間又は加工動作の間、該表示制御部が当該ユーザ端末の該情報格納部に格納された該各種情報を該設定画面に表示させること、を特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載の加工装置。
5. 該制御手段は、更に該ユーザ端末を管理する管理部を備え、
   該管理部は、アクセス可能なユーザ端末にアクセス権を関連付けて管理しており、
   該表示制御部が、該アクセス権に応じた設定画面で該ユーザ端末の該各種情報を表示させることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の加工装置。
6. 該制御手段は、該ユーザ端末にデータをバックアップすることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載の加工装置。

Images