JP2019095262A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
Description
感圧樹脂は、導電性粒子をシリコーンゴム等の絶縁樹脂内に分散させたものである。感圧樹脂では、圧力が加えられると、絶縁樹脂内において導電性粒子同士が接触することで、抵抗値が低下する。これにより、感圧樹脂に加えられた圧力を検知できる。
多数の薄膜トランジスタは、マトリクス状に配置されており、電極として機能する。この場合、圧力検出の高速化、低消費電力化が可能になる。
一般的に、圧力センサは、感圧層の圧力測定範囲が狭いという問題を有している。具体的には、圧力−電気抵抗特性では、圧力が低い範囲では電気抵抗の変化割合は大きいが、圧力が高い範囲では電気抵抗の変化割合が小さい。その理由は、圧力が高くなっていっても、途中から感圧層と電極との接触面積は大きくならず、つまり接触抵抗が圧力に追従しないからである。この結果、圧力が大きな範囲では、感度が不足することで圧力を正確に測定できない。
共通電極は、一面に広がって形成されている。
複数の個別電極は、共通電極に対向してマトリクス状に設けられている。
複数の薄膜トランジスタは、複数の個別電極に対応して複数の個別電極の共通電極と反対側に設けられ、1又は隣接する2以上が1つの個別電極に接続されている。
第1個別感圧層は、複数の個別電極のうちの第1電極の共通電極側の面に積層されている。
第2個別感圧層は、複数の個別電極のうちの第2電極の共通電極側の面に積層されている。
第1個別感圧層と共通電極との間の隙間は、第2個別感圧層と共通電極との隙間より短い。
第1個別感圧層は、第1部分と、第1部分より大面積であり第1部分の下に形成されて第1部分との境界付近に第1くびれ部を形成する第2部分とを有する。
圧力が大きな場合は、第1個別感圧層に加えて第2個別感圧層が共通電極と接触する。これにより、第2電極を介して第2個別感圧層の抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。なぜなら、第2個別感圧層と共通電極との隙間が長いので、電気抵抗を正確に測定可能な圧力測定範囲が第1個別感圧層のそれより高圧力側にシフトしており、つまり高圧力に対応しているからである。
なお、圧力センサは曲面に沿って装着された状態で使用されるので、共通電極は湾曲した状態で第1個別感圧層に対向している。したがって、上記の態様と異なって第1個別感圧層に第1くびれ部がない場合は、共通電極は第1個別感圧層の全体にほぼ同時に密着してしまい、そのため接触抵抗の変化が大きくならないおそれがある。一方、本態様であれば、第1個別感圧層に第1くびれ部があるので、共通電極が第1部分のみに接触する段階を確実に得ることができる。
共通電極と第1個別感圧層の接触状態の推移を詳細に説明する。圧力が大きくなるにつれ、共通電極は最初に第1個別感圧層の第1部分に接触し、次に第1部分と第2部分(ただし、第1くびれ部除く)に接触し、さらに次に第1くびれ部に接触していく。このように、第1くびれ部が埋まってく過程で、接触面積が増加する。なお、最終的には、共通電極が第1くびれ部が全て接触することもあれば、第1くびれ部の奥に空間が残った状態で終了することもある。
この場合、段数が異なる個別感圧層が設けられており、低圧力検出用の個別感圧層の段数が高圧力検出用の個別感圧層の段数より多くなっている。したがって、低圧力の測定における感圧層の接触抵抗の変化を十分に大きくできる。
押圧領域では、いずれの押圧箇所であっても第1電極と第2電極が最低押圧面積内に含まれるように並べられていてもよい。なお、「最低押圧面積」とは、予定される押圧物(例えば、指)が圧力センサを押したときに必ず押されると想定される最低限の面積である。
この圧力センサでは、押圧領域のいずれの押圧箇所が押されたとしても、第1電極によって低圧力が正確に測定され、さらに、第2電極によって高圧力が正確に測定される。
第1電極の面積は、第2電極の面積より大きくてもよい。これにより素子ごとの抵抗値の差が緩和される。
第1感圧層の感圧材料は、第2感圧層の感圧材料より抵抗値が低くてもよい。これにより素子ごとの抵抗値の差が緩和される。
共通電極は、一面に広がって形成されている。
複数の個別電極は、共通電極に対向してマトリクス状に設けられている。
複数の薄膜トランジスタは、複数の個別電極に対応して複数の個別電極の共通電極と反対側に設けられ、1又は隣接する2以上が1つの個別電極に接続される。
共通感圧層は、共通電極の複数の個別電極側の面に積層されている。
第1個別感圧層は、複数の個別電極のうちの第1電極の共通電極側の面に積層されている。
第2個別感圧層は、複数の個別電極のうちの第2電極の共通電極側の面に積層されている。
第1個別感圧層と共通感圧層との間の隙間は、第2個別感圧層と共通感圧層との隙間より短い。
第1個別感圧層は、第1部分と、第1部分より大面積であり第1部分の下に形成されて第1部分との境界付近に第1くびれ部を形成する第2部分とを有する。
圧力が大きな場合は、第1個別感圧層に加えて第2個別感圧層が共通感圧層と接触する。これにより、第2電極を介して共通感圧層及び第2個別感圧層の抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。なぜなら、第2個別感圧層と共通感圧層との隙間が長いので、電気抵抗を正確に測定可能な圧力測定範囲が第1個別感圧層のそれより高圧力側にシフトしており、つまり高圧力に対応しているからである。
なお、圧力センサは曲面に沿って装着された状態で使用されるので、共通感圧層は湾曲した状態で第1個別感圧層に対向している。したがって、上記の態様と異なって第1個別感圧層に第1くびれ部がない場合は、共通感圧層は第1個別感圧層の全体にほぼ同時に密着してしまいそのため接触抵抗の変化が大きくないおそれがある。一方、本態様であれば、第1個別感圧層に第1くびれ部があるので、共通感圧層が第1部分のみに接触する段階を確実に得ることができる。
共通感圧層と第1個別感圧層の接触状態の推移を詳細に説明する。圧力が大きくなるにつれ、共通感圧層は最初に第1個別感圧層の第1部分に接触し、次に第1部分と第2部分(ただし、第1くびれ部を除く)に接触し、さらに次に第1くびれ部に接触していく。このように、第1くびれ部が埋まってく過程で、接触面積が増加する。なお、最終的には、共通感圧層が第1くびれ部が全て接触することもあれば、第1くびれ部の奥に空間が残った状態で終了することもある。
第2個別感圧層は、第4部分と、第4部分より大面積であり第4部分の下に形成されて第4部分との境界付近に第3くびれ部を形成する第5部分を有していてもよい。
押圧領域では、いずれの押圧箇所であっても第1電極と第2電極が最低押圧面積内に含まれるように並べられていてもよい。
この圧力センサでは、押圧領域のいずれの押圧箇所が押されたとしても、第1電極によって低圧力が正確に測定され、さらに、第2電極によって高圧力が正確に測定される。
押圧領域では、いずれの押圧箇所であっても第1電極と第2電極と第3電極とが最低押圧面積内に含まれるように並べられていてもよい。
押圧領域では、いずれの押圧箇所であっても第1電極と第2電極が最低押圧面積内に含まれるように並べられていてもよい。
この圧力センサでは、押圧領域のいずれの押圧箇所が押されたとしても、第1電極によって低圧力が正確に測定され、さらに、第2電極によって高圧力が正確に測定される。
第1電極の面積は、第2電極の面積より大きくてもよい。これにより素子ごとの抵抗値の差が緩和される。
第1感圧層の感圧材料は、第2感圧層の感圧材料より抵抗値が低くてもよい。これにより素子ごとの抵抗値の差が緩和される。
(1)圧力センサの用途及び基本原理
図1を用いて、本発明に係る圧力センサの使用状況を説明する。圧力センサは、曲面に沿って装着された状態で使用されるものである。図1は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサの使用状態を示す模式的斜視図である。
図1では、圧力センサ1が圧力測定用の自転車のハンドルHに装着されている。被験者がハンドルHを握ると、圧力センサ1によって、圧力の大きさ、分布、それらの変化が測定される。
圧力センサ1は、例えば円柱状のハンドルHの周囲に巻かれた筒状であり、矩形又は帯状の部材である。図2では、圧力センサ1は、内側のシート102と、外側のシート103とを有している。内側のシート102の上面には、多数の感圧層33が形成されている。多数の感圧層33は、多数の第1感圧層33Z、第2感圧層33Y、第3感圧層33Xを含んでいる。第1感圧層33Zが最も高く、第3感圧層33Xが最も低い。多数の感圧層33の機能については後述する。なお、図2は、大まかな構成を説明するための図であり、縮尺や感圧層33の数などは実際とは異なる。
図3〜図8を用いて、第1実施形態に係る圧力センサ1を説明する。図3は、本発明の第1実施形態に係る圧力センサの概略断面図である。図4は、圧力センサの第1電極及び第1感圧層の部分概略断面図である。図5は、圧力センサの下側電極部材の概略平面図である。図6は、圧力センサの第1電極及び第1感圧層の概略平面図である。図7は、個別電極配置を示す模式平面図である。図8は、圧力センサの等価回路図である。
圧力センサ1は、上側電極部材3を有している。上側電極部材3は、押圧力が作用する平面状の部材である。上側電極部材3は、絶縁フィルム7と、その下面に全面的につまり一面に広がって又はパターニングされて形成された共通電極9とを有している。
上側電極部材3と下側電極部材5は、図4に示すように、周縁部において額縁スペーサ13によって互いに接着されている。額縁スペーサ13は額縁状に形成されており、例えば、粘着剤、両面テープからなる。
図5に示すように、複数の個別電極31及び感圧層33は、平面に全体的に敷き詰められており、例えば、マトリクス状に配置されている。マトリクス状とは、行列状に二次元配列されている状態またはそれと同様な形状をいう。電極ピッチは例えば0.3〜3.0mm、好ましくは0.3〜1.5mm、さらに好ましくは0.3〜0.7mmである。
上記形状を有することで、圧力に応じて共通電極9と感圧層33の接触面積が増加する。また、外周にいくほど感圧層33の厚みが小さくなり、抵抗値が下がる。言い替えると、低圧力のときは、感圧層33の頂点(半径方向中心)のみが共通電極9に接触しており接触面積が小さい。高圧力のときは、感圧層33の半径方向中間部又は外周部まで共通電極9が接触しており接触面積が大きい。
なお、個別電極31の外径が感圧層33の外径よりわずかに短い位置まで延びて形成されているので、以下の効果が得られる。低圧力のときは、感圧層33の導電パス(感圧層33を通る共通電極9と個別電極31との最短距離)が長くて抵抗値が高い。高圧力のときは、感圧層33の導電パスが短くて抵抗値が低い。なお、この実施形態では、個別電極31と感圧層33の平面形状がともに円であるので、導電パスの短い部分は中心から外周側に平面視円形で広がっていく。つまり、個別電極31は円周方向の各部分が、中心部から半径方向外側に延びる増感部となっている。
第3感圧層33Xと共通電極9との隙間P3が最も大きく、第1感圧層33Zと共通電極9との隙間P1が最も小さい。P1は例えばゼロである(つまり、初期状態で共通電極9と第1感圧層33Zが接触している)。
例えば、第1感圧層33Zの総厚みは50〜70μmであり、第2感圧層33Yの総厚みは30〜50μmであり、第3感圧層33Xの総厚みは5〜25μmである。
以上より、第1感圧層33Zが形成された第1電極31Zが、低圧力検出用の個別電極として機能する。第2感圧層33Yが形成された第2電極31Yが、中圧力検出用の個別電極として機能する。第3感圧層33Xが形成された第3電極31Xが、高圧力検出用の個別電極として機能する。
以上に述べたように、くびれ部とは、小面積の部分が大面積の部分の上に形成された階段構造の段差部を意味する。
圧力が大きな場合は、第1感圧層33Zに加えて第2感圧層33Yが共通電極と接触する。これにより、第2電極31Yを介して第2感圧層33Yの抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。なぜなら、第2感圧層33Yと共通電極9との隙間が長いので、電気抵抗を正確に測定可能な圧力測定範囲が第1感圧層33Zのそれより高圧力側にシフトしており、つまり高圧力に対応しているからである。
第1感圧層33Zは、第3部分33Cを有している。第3部分33Cは、第2部分33Bより大面積で第2部分33Bの下に形成されて、第2部分33Bとの境界付近に第2くびれ部52を形成している。言い換えると、第2部分33Bは、第3部分33Cの上に形成された段であり、第3部分33Cより面積が小さい部分である。以上より、第1感圧層33Zは3段構成である。より詳細には、感圧層33の各段は、滑らかな凸形状であり、平面視で円形であり、平面視で中心が一致している。
なお、圧力センサ1は曲面に沿って装着された状態で使用されるので、図34に示すように、共通電極9は湾曲した状態で第1感圧層33Zに対向している。したがって、上記の態様と異なって第1個別感圧層に第1くびれ部がない場合は、共通電極は第1個別感圧層の全体にほぼ同時に密着してしまい、そのため接触抵抗の変化が大きくならないおそれがある。一方、本態様であれば、第1感圧層33Zに第1くびれ部51があるので、共通電極9が第1部分33Aのみに接触する段階を確実に得ることができる。
第3感圧層33Xは、くびれ部を有しておらず、単純な凸形状である。つまり、第3感圧層33Xは1段構成である。
以上より、段数が異なる個別感圧層が設けられており、低圧力検出用の個別感圧層の段数が高圧力検出用の個別感圧層の段数より多くなっている。したがって、低圧力の測定における感圧層の接触抵抗の変化を十分に大きくできる。具体的には、3段の第1感圧層33Z、2段の第2感圧層33Y、及び1段の第3感圧層33Xが設けられている。
なお、上記の押圧領域は、圧力センサ1の全体であってもよいし、一部であってもよい。
共通電極9の領域が感圧層33に向かって押し下げられると、共通電極9と押し下げ領域に位置付けられている個別電極31が電気的に導通する。押し下げは、例えば、指、手の平、足裏で行えばよい。
下側電極部材5は、複数の薄膜トランジスタ30(以下、「TFT30」という)を有している。各TFT30は、個別電極31の各々に対応して設けられており、電流値検出用の電極として機能する。
TFT30は、図4に示すように、ソース電極17と、ドレイン電極19と、ゲート電極21とを有している。TFT30は、トップゲート型である。なお、ゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を構成する材料は、特に限定されない。
TFT30は、ソース電極17、ドレイン電極19及び有機半導体23を覆うように形成された第1絶縁膜25を有している。
ゲート電極21は、第1絶縁膜25の上面において有機半導体23に上方に形成されている。
TFT30は、第1絶縁膜25の上面に形成されゲート電極21を覆う第2絶縁膜27を有している。
複数の個別電極31は、第2絶縁膜27の上面に形成されている。個別電極31は、第1絶縁膜25及び第2絶縁膜27を貫通する貫通孔に形成された導電部29を介して、TFT30に接続されている。
図9〜図14を用いて、押圧動作及び圧力測定動作を説明する。図9〜図11は、圧力が作用した状態での圧力センサの第1電極及び第1感圧層の概略断面図である。図12〜図13は、圧力が作用した状態での圧力センサの概略断面図である。図14は、圧力センサの圧力と電気抵抗の関係を示すグラフである。
図14に示すように、圧力が加えられると、感圧層33の抵抗が低下する。電圧電源により一定の電圧を加えたときのソース−ドレイン間の電位差は、ドレイン電極19と直列に接続された感圧層33の抵抗値に依存する。その結果、ソース−ドレイン間の電位差が大きくなり、流れる電流量が増加する。したがって感圧層33に与える押圧力と電流量とを予め取得しておけば、信号処理装置(図示せず)は、電流量に応じた信号の変化を読み取ることで、圧力センサ1に印加される圧力量(押圧力)を検知できる。
この圧力センサ1では、圧力が低い場合は、第1電極31Zのみが共通電極9と接触する。これにより、図14に示すように、第1電極31Zを介して感圧層33の抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。
圧力が高い場合は、第1電極31Zに加えて第2電極31Yが共通電極9と接触する。これにより、図14に示すように、第2電極31Yを介して感圧層33の抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。なぜなら、第2電極31Yと共通電極9との隙間が長くなっているので、電気抵抗を正確に測定可能な圧力測定範囲が第1電極31Zのそれより高圧力側にシフトしており、つまり高圧力に対応しているからである。
この圧力センサ1では、押圧領域のいずれの押圧箇所が押されたとしても、第1電極31Zによって低圧力が正確に測定され、第2電極31Yによって中圧力が正確に測定され、第3電極31Xによって高圧力が正確に測定される。
以上に述べたように、各電極の抵抗変化の割合が十分に高い領域が荷重に応じてずらされているので、低圧力、中圧力、高圧力のいずれであっても正確に測定できる。
図3及び図9では、上側電極部材3に小さな力F1が作用しており、したがって共通電極9は第1感圧層33Zのみに接触している。より正確には、共通電極9は、第1感圧層33Zの第1部分33Aの頂点のみに当接している。
また、図12では、共通電極9は、第2感圧層33Yにも接触している。より正確には、共通電極9は、第2感圧層33Yの第4部分33Dの頂部にのみ当接している。
図13では、大きな力F3が上側電極部材3に作用しており、共通電極9は、第1くびれ部51に接触していく。このように、第1くびれ部51が埋まってく過程で、接触面積が増加する。図11及び図13では、共通電極9は第1くびれ部51の全てに接触している。ただし、第1くびれ部51の奥に空間が残った状態で終了することもある。上記の説明は第2くびれ部52でも同様である。
図13では、さらに、共通電極9は、第2感圧層33Yの第4部分33Dの大半には接触しているが、第3くびれ部53に接触していない状態である。つまり、第2感圧層33Yにおいて共通電極9が第4部分33Dの頂部のみに当接する段階から、共通電極9が第4部分33Dの大半に接触する(第3くびれ部53には接触していない)段階に移行していることが分かる。これにより、第2電極31Yに対応するTFT30からの出力によって、中圧力を正確に測定できる。
なお、押圧力がさらに大きくなると、共通電極9は、第2感圧層33Yの第4部分33Dと第5部分33Eに接触する(第3くびれ部53を除いて)段階に進み、さらに、第3くびれ部53に接触する段階に進む。
なお、図13及び図11では、共通電極9は、第3電極31Xにも接触している。
また、絶縁フィルム7と共通電極9が伸縮性を有することで、圧力がなくなったときに絶縁フィルム7と共通電極9が復元する性能が向上する。この結果、繰り返し測定の再現性が向上する。
なお、上記のように柔らかく薄い基材を上部に持ってきた場合は、共通電極9が感圧層33の外周縁まで完全に接触した場合にそれ以上接触面積は変化しなくなるので圧力測定範囲は狭くなるが、接触面積の差が大きいので圧力の分解能が大きくなる。なお、基材の厚みや硬さは、測定したい範囲に応じて適宜選択される。
絶縁フィルム7、絶縁フィルム15としては、ポリカーボネート系、ポリアミド系、若しくは、ポリエーテルケトン系などのエンジニアリングプラスチック、又は、アクリル系、ポリエチレンテレフタレート系、若しくは、ポリブチレンテレフタレート系などの樹脂フィルムを用いることができる。
共通電極9、個別電極31としては、酸化錫、酸化インジウム、酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化カドミウム、若しくは、インジウムチンオキサイド(ITO)などの金属酸化物膜、これらの金属酸化物を主体とする複合膜、又は金、銀、銅、錫、ニッケル、アルミニウム、銅合金、若しくは、パラジウムなどの金属膜によって、形成することができる。
感圧層33は、例えば感圧インキからなる。感圧インキは、外力に応じて対向する電極との接触抵抗が変化することよって圧力検出を可能にする材料である。感圧インキ層は、塗布により配置できる。感圧インキ層の塗布方法としては、スクリーン印刷、オフセット印刷、グラビア印刷、又はフレキソ印刷などの印刷法、又はディスペンサによる塗布を用いることができる。
図15〜図26を用いて、圧力センサ1の製造方法を説明する。図15〜図26は、圧力センサの製造方法を示す模式的断面図である。
図15に示すように、絶縁フィルム15の一面に、例えばスパッタリングによって電極材料37を形成する。
図16に示すように、例えばフォトリソグラフィー法によって電極材料37の一部を除去することで、フィルム露出部39を形成する。また、これにより、ソース電極17とドレイン電極19を形成する。なお、ソース電極17とドレイン電極19の形成手法は特に限定されない。
図18に示すように、ソース電極17、ドレイン電極19及び有機半導体23が形成された面を覆うように、第1絶縁膜25を形成する。
図19に示すように、第1絶縁膜25の上面において有機半導体23の上方に、ゲート電極21を形成する。ゲート電極21の形成手法は公知の技術である。
図21に示すように、第1絶縁膜25と第2絶縁膜27にレーザによってドレイン電極19に至る貫通孔を形成し、そこに導電材料を埋めることで導電部29を形成する。
図22に示すように、第1電極31Z、第2電極31Y、第3電極31Xを印刷法によって形成し、導電部29を介してTFT30と接続する。
図23に示すように、個別電極31の上に大面積の第3部分33Cを印刷法によって形成する。これは全ての感圧層に関して実行される。これにより、第3感圧層33Xが完成する。
図24に示すように、第3部分33Cの上に中面積の第2部分33Bを印刷法によって形成する。これは第1感圧層33Z及び第2感圧層33Yに関してのみ実行される。これにより、第2感圧層33Yが完成する。
図25に示すように、第2部分33Bの上に小面積の第1部分33Aを印刷法によって形成する。これは第1感圧層33Zに関してのみ実行される。これにより、第1感圧層33Zが完成する。
以上に述べたように、印刷サイズを段ごとに変更することで感圧層に段差を作っている。
以上の結果、第1感圧層33Z、第2感圧層33Y、及び第3感圧層33Xが完成する。
図26に示すように、印刷法によって共通電極9を形成する。なお、絶縁フィルム7の一面に例えばスパッタリングによって共通電極9の材料を形成し、続いてフォトリソグラフィー法によって共通電極9を形成してもよい。
最後に、上側電極部材3と下側電極部材5とを接着剤からなる額縁状の額縁スペーサ13(図4)を介して貼り合わせることで、圧力センサ1を完成させる。
第1実施形態ではTFTはトップゲート型であったが、TFTはボトムゲート型であってもよい。
図27に示すように、ソース電極17A、ドレイン電極19A及び有機半導体23Aは第1絶縁膜25Aの上に形成され、ゲート電極21Aは絶縁フィルム15Aの上に形成されている。
第1〜第2実施形態のいずれも感圧層は下側電極部材にのみ形成されていたが、感圧層は上側電極部材と下側電極部材の両方に形成されて互いに隙間を介して対向してもよい。
そのような実施形態を、図28を用いて説明する。図28は、第3実施形態に係る圧力センサの部分概略断面図である。TFTはトップゲート型である。
下側電極部材5Bにおいて、第1電極31Z、第2電極31Y及び第3電極31Xには、厚みが大きい第1感圧層33Zと、厚みが中くらいの第2感圧層33Yと、厚みが小さい第3感圧層33Xとが形成されている。
第3実施形態ではTFTはトップゲート型であったが、TFTはボトムゲート型であってもよい。
そのような実施形態を、図29を用いて説明する。図29は、第4実施形態に係る圧力センサの部分概略断面図である。なお、本実施形態はTFTの構造のみが第3実施形態と異なる。
前記実施形態では共通電極との隙間が異なる感圧層の種類の数は3であったが、2であってもよい。
そのような実施形態を、図30〜図32を用いて説明する。図30は、第5実施形態の圧力センサの基本構造を説明するための模式図である。図31は、圧力センサの概略断面図である。図32は、個別電極配置を示す模式平面図である。
図30及び図31に示すように、圧力センサ1Dにおいて、複数の感圧層33は、低圧力検出用の第1感圧層33Zと、中圧力検出用の第2感圧層33Yとを有している。つまり、第1実施形態とは異なり、高圧力検出用の第3感圧層33Xが存在しない。
図32に示すように、第1感圧層33Zと、第2感圧層33Yは、交互に並んで均等配置されている。具体的には、第1感圧層33Zと第2感圧層33Yとは、同じ種類が斜めに連続するように並んでいる。
この実施形態では押圧最低面積が2×2の領域であり、いずれの箇所を押された場合も、第1電極31Zと及び第2電極31Yがそれぞれ少なくとも2個は対応している。
この実施形態では第1感圧層33Zが3段構成であって第2感圧層33Yが2段構成であるが、この組み合わせに限定されない。例えば、第1感圧層が2段構成であって第1巻圧層が1段構成でもよい。
以下に述べるのは、上記の全ての実施形態の共通事項である。
共通電極側の構成として、共通電極のみの構成と、共通電極と感圧層との組み合わせの構成との両方を含む概念を「共通導電層」とする。
上記の概念を用いれば、隙間は、共通導電層と感圧層との間に形成されている。
この圧力センサでは、圧力が低い場合は、第1感圧層のみが共通導電層と接触する。これにより、第1電極を介して感圧層の抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。圧力が高い場合は、第1感圧層に加えて第2感圧層が共通導電層と接触する。これにより、第2電極を介して感圧層の抵抗変化(つまり、圧力)を正確に測定できる。なぜなら、第2感圧層と共通導電層との隙間が長いので、電気抵抗を正確に測定可能な圧力測定範囲が第1感圧層のそれより高圧力側にシフトしており、つまり高圧力に対応しているからである。
第1〜第5実施形態では、各個別電極に薄膜トランジスタを対応させ、さらに各薄膜トランジスタの電流を検出していた。言い換えると、1つの個別電極に1つの薄膜トランジスタが接続されていた。
しかし、1つの個別電極に複数の薄膜トランジスタを対応させ、複数の薄膜トランジスタの電流を検出するようにしてもよい。具体的には、1つの個別電極に隣接する2以上の薄膜トランジスタが接続される。これにより検出される電流値が大きくなり、さらに、回路に冗長性をもたすことができる。
図8に示す2×2の合計4個の薄膜トランジスタを1個の個別電極に対応させる場合の例を説明する。その場合は、ゲートラインG1、G2を短絡し、ソースラインS1、S2を短絡し、さらに4個のドレイン電極を短絡させて貫通孔及び導電部を介して1個の個別電極に接続する。
薄膜トランジスタの組み合わせパターンは複数可能であり、例えば、2×3、3×2、4×4、5×2でもよい。また、1つの圧力装置に複数の組み合わせパターンが存在してもよい。
前記実施形態では感圧層の高さが高くなるほど、抵抗値が高くなるという問題が生じることが想定される。つまり、同じ感圧材料で製造すれば、第1感圧層33Zの抵抗値が高く、第2感圧層33Yの抵抗値が中になり、第3感圧層33Xの抵抗値が低くなる。
上記の問題を解決又は緩和するための対策を下記に説明する。なお、説明に用いる図33〜図35は、分かりやすいように簡略化して直線のみで描いている。
第1の対策としては、図33に示すように、感圧層の高さが高いほど画素電極を広くすることで、素子ごとに抵抗値のバランスを取る。具体的には、第1電極31Zが大面積であり、第2電極31Yが中面積であり、第3電極31Xが小面積である。
第2の対策として、抵抗値の異なる感圧材料から感圧層を形成して、高さが高い感圧層ほど抵抗値が低い感圧材料を採用することが考えられる。
例えば、第3感圧層33Xに低抵抗値の感圧材料を用い、第2感圧層33Yに中抵抗値の感圧材料を用い、第1感圧層33Zに高抵抗値の感圧材料を用いる。
別の例として、図35に示すように、感圧層の複数の層のうち画素電極に近いものほど抵抗値が高い感圧材料によって形成することで、素子ごとの抵抗値差を緩和する。具体的には、第3感圧層33Xは高抵抗値の感圧材料からなり、第2感圧層33Yの第4部分33Dは中抵抗値の感圧材料からなり、第2感圧層33Yの第5部分33Eは高抵抗値の感圧材料からなり、第1感圧層33Zの第1部分33Aは低抵抗値の感圧材料からなり、第1感圧層33Zの第2部分33Bは中抵抗値の感圧材料からなり、第1感圧層33Zの第3部分33Cは高抵抗値の感圧材料からなる。
以上、本発明の複数の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態及び変形例は必要に応じて任意に組み合せ可能である。
前記実施形態では、圧力センサ1を構成する絶縁フィルム7及び絶縁フィルム15は矩形であったが、曲面に沿って装着可能であれば、平面形状は特に限定されない。例えば、圧力センサを筒状に巻いて使用する場合は長方形が基本であり、廊下の手摺などのように筒が長尺になる場合は帯状である。
前記実施形態では個別電極31と感圧層33は行と列が完全にそろったマトリクス形状であったが、全面的に敷き詰められた状態つまり広い意味でのマトリクス形状に配置されていればよい。
前記実施形態では複数の感圧層33は互いに電気的に独立していたが、複数の感圧層33は互いに接触又は連続していてもよい。
前記実施形態では第2感圧層33Yはくびれ部を有していたが、第2感圧層33Yはくびれ部を有していなくてもよい。つまり、共通電極に最も近い第1感圧層33Zのみがくびれ部を有していてもよい。
前記実施形態では第1感圧層33Zのくびれ部は2つであったが、第1感圧層のくびれ部は1つでもよい。つまり、第1感圧層は2段構成であってもよい。
前記実施形態では感圧層33の複数の段は同じ平面形状であったが、段ごとに形状が異なっていてもよい。
前記実施形態では感圧層33の複数の段同士は中心が一致していたが、段同士の中心は互いにずれていてもよい。
前記実施形態では第3感圧層33Xはくびれ部を有していなかったが、第3感圧層もくびれ部を有していてもよい。
さらに、圧力センサは、自由状態において曲面を構成するように湾曲していてもよい。
共通電極又は共通感圧層が第1感圧層33Zの各部分に接触するタイミングと、第2感圧層33Yの各部分に接触するタイミングとの関係は、前記実施形態に限定されない。さらに共通電極又は共通感圧層が第3感圧層33Xに接触するタイミングと前二者のタイミングとの関係は、前記実施形態に限定されない。
具体的には、圧力センサは、自動車ハンドルに用いられ、握り位置検出、居眠り検出などに用いられる。さらに、圧力センサは、ゴルフクラブや野球バットのようなスポーツ用品に用いられ、握り方測定に用いられる。さらに、圧力センサは、リハビリ・介護の装置に用いられ、手すりやつかみ圧測定装置などに用いられる。さらに、圧力センサは、ロボットの皮膚表面に用いられる。
3 :上側電極部材
5 :下側電極部材
7 :絶縁フィルム
9 :共通電極
11 :共通感圧層
13 :額縁スペーサ
15 :絶縁フィルム
17 :ソース電極
19 :ドレイン電極
21 :ゲート電極
23 :有機半導体
25 :第1絶縁膜
27 :第2絶縁膜
29 :導電部
30 :薄膜トランジスタ
31 :個別電極
31X :第3電極
31Y :第2電極
31Z :第1電極
33 :感圧層
33A :第1部分
33B :第2部分
33C :第3部分
33D :第4部分
33E :第5部分
33X :第3感圧層
33Y :第2感圧層
33Z :第1感圧層
Claims (14)
- 曲面に沿って装着された状態で使用される圧力センサであって、
一面に広がって形成された共通電極と、
前記共通電極に対向してマトリクス状に設けられた複数の個別電極と、
前記複数の個別電極に対応して前記複数の個別電極の前記共通電極と反対側に設けられ、1又は隣接する2以上が1つの個別電極に接続される複数の薄膜トランジスタと、
前記複数の個別電極のうちの第1電極の前記共通電極側の面に積層された第1個別感圧層と、
前記複数の個別電極のうちの第2電極の前記共通電極側の面に積層された第2個別感圧層と、を備え、
前記第1個別感圧層と前記共通電極との間の隙間は、前記第2個別感圧層と前記共通電極との隙間より短く、
前記第1個別感圧層は、第1部分と、前記第1部分より大面積であり前記第1部分の下に形成されて前記第1部分との境界付近に第1くびれ部を形成する第2部分とを有する、
圧力センサ。 - 前記第1個別感圧層は、前記第2部分より大面積であり前記第2部分の下に形成されて前記第2部分との境界付近に第2くびれ部を形成する第3部分を有する、請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記第2個別感圧層は、第4部分と、前記第4部分より大面積であり前記第4部分の下に形成されて前記第4部分との境界付近に第3くびれ部を形成する第5部分とを有する、請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサは押圧領域を有しており、
前記押圧領域では、いずれの押圧箇所であっても前記第1電極と前記第2電極が最低押圧面積内に含まれるように並べられている、請求項1〜3のいずれかに記載の圧力センサ。 - 前記複数の個別電極のうちの第3電極の前記共通電極側の面に積層された第3個別感圧層をさらに備えており、
前記第3個別感圧層と前記共通電極との間の隙間は、前記第2個別感圧層と前記共通電極との隙間より長い、請求項1〜4のいずれかに記載の圧力センサ。 - 前記第1電極の面積は前記第2電極の面積より大きい、請求項1〜5のいずれかに記載の圧力センサ。
- 前記第1個別感圧層の感圧材料は前記第2個別感圧層の感圧材料より抵抗値が低い、請求項1〜5のいずれかに記載の圧力センサ。
- 曲面に沿って装着された状態で使用される圧力センサであって、
一面に広がって形成された共通電極と、
前記共通電極に対向してマトリクス状に設けられた複数の個別電極と、
前記複数の個別電極に対応して前記複数の個別電極の前記共通電極と反対側に設けられ、1又は隣接する2以上が1つの個別電極に接続される複数の薄膜トランジスタと、
前記共通電極の前記複数の個別電極側の面に積層された共通感圧層と、
前記複数の個別電極のうちの第1電極の前記共通電極側の面に積層された第1個別感圧層と、
前記複数の個別電極のうちの第2電極の前記共通電極側の面に積層された第2個別感圧層と、を備え、
前記第1個別感圧層と前記共通感圧層との間の隙間は、前記第2個別感圧層と前記共通感圧層との隙間より短く、
前記第1個別感圧層は、第1部分と、前記第1部分より大面積であり前記第1部分の下に形成されて前記第1部分との境界付近に第1くびれ部を形成する第2部分とを有する、
圧力センサ。 - 前記第1個別感圧層は、前記第2部分より大面積であり前記第2部分の下に形成されて前記第2部分との境界付近に第2くびれ部を形成する第3部分とを有する、請求項8に記載の圧力センサ。
- 前記第2個別感圧層は、第4部分と、前記第4部分より大面積であり前記第4部分の下に形成されて前記第4部分との境界付近に第3くびれ部を形成する第5部分とを有する、請求項9に記載の圧力センサ。
- 前記圧力センサは押圧領域を有しており、
前記押圧領域では、いずれの押圧箇所であっても前記第1電極と前記第2電極が最低押圧面積内に含まれるように並べられている、請求項8〜10のいずれかに記載の圧力センサ。 - 前記複数の個別電極のうちの第3電極の前記共通電極側の面に積層された第3個別感圧層をさらに備えており、
前記第3個別感圧層と前記共通感圧層との間の隙間は、前記第2個別感圧層と前記共通感圧層との隙間より長い、請求項8〜11のいずれかに記載の圧力センサ。 - 前記第1電極の面積は前記第2電極の面積より大きい、請求項8〜12のいずれかに記載の圧力センサ。
- 前記第1個別感圧層の感圧材料は前記第2個別感圧層の感圧材料より抵抗値が低い、請求項8〜12のいずれかに記載の圧力センサ。
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