JP2019094562A - 成膜装置、成膜方法、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
スクしわを除去することによってマスクと基板との間の密着度を高められる成膜方法、成膜装置及び電子デバイスの製造方法を提供することを主な目的とする。
チャンバー20の内部は真空雰囲気、或いは、窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気で維持される。
X方向、Y方向、θ方向に)基板保持ユニット21またはマスク保持ユニット22を移動させるための駆動機構などが設置される。
できる。
14:搬送ロボット
20:真空チャンバー
21:基板保有支持ユニット
22:マスク保有支持ユニット
23:冷却板
24:磁力印加手段
25:マスク台
27:制御部
28:密着度測定手段
40:磁力制御部
44:回動部(ヒンジ部)
Claims (21)
- マスクを介して基板に蒸着材料を成膜するための成膜装置であって、
マスクに磁力を印加するための磁力印加手段と、
前記磁力印加手段による前記マスクと前記基板との間の密着度を測定するための密着度測定手段と、
前記密着度測定手段によって測定された前記マスクと前記基板との間の密着度情報に基づいて、前記マスクと前記基板との間の密着度を制御するための制御部
を含み、
前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力を弱めた後、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力が再印加されるように制御する
成膜装置。 - 前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力を弱めた後、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力が前記マスクの一端から再印加されるように制御する請求項1に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度が前記基準値より小さい場合、前記磁力印加手段を前記マスクから離れるように上昇させた後、前記磁力印加手段を傾斜させた状態でマスクの方に下降させるように制御する請求項2に記載の成膜装置。
- 前記磁力印加手段は平面上に配置された複数の電磁石モジュールを含み、
前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記複数の電磁石モジュールをすべてオフ(OFF)した後、前記マスクの対向する二辺のうち、一方の辺に対応する位置に配置された電磁石モジュールから他方の辺に対応する位置に配置された電磁石モジュールに向かって順次電磁石モジュールの電源をオン(ON)するように制御する
請求項2または請求項3に記載の成膜装置。 - 前記磁力印加手段は、個別に昇降可能な複数の磁石モジュールを含み、
前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記複数の磁石モジュールをすべてマスクから離れるように上昇させた後、前記マスクの対向する二辺のうち、一方の辺に対応する位置に配置された磁石モジュールから他方の辺に対応する位置に配置された磁石モジュールに向かって順次磁石モジュールをマスクの方に下降させるように制御する
請求項2または請求項3に記載の成膜装置。 - 前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記磁力印加手段の磁力を弱めた後、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力が前記マスクの中央部から再印加されるように制御する請求項1に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記磁力印加手段をマスクから離れるように上昇させた後、前記磁力印加手段がV字の形を取った状態で前記磁力印加手段を前記マスクの方に下降させ、次いで平面に戻すように制御する請求項6に記載の成膜装置。
- 前記磁力印加手段は平面上に配置された複数の電磁石モジュールを含み、
前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記複数の電磁石モジュールをすべてオフ(OFF)した後、前記マスクの中央部に対応するように配置された電磁石モジュールから前記マスクの対向する二辺に対応するように配置された電磁石モジュールに向かって行きながら電磁石モジュールを順次オン(ON)するように制御する
請求項6または請求項7に記載の成膜装置。 - 前記磁力印加手段は、個別に昇降可能な複数の磁石モジュールを含み、
前記制御部は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記複数の磁石モジュールをすべてマスクから離れるように上昇させた後、前記マスクの中央部に対応するように配置された磁石モジュールから前記マスクの対向する二辺に対応するように配置された磁石モジュールに向かって行きながら磁石モジュールを順次下降させるように制御する
請求項6または請求項7に記載の成膜装置。 - マスクを介して基板上に蒸着材料を成膜するための成膜方法であって、
成膜装置内にマスクを搬入して、マスク台上に載置する段階、
前記成膜装置内に基板を搬入して基板保持ユニット上に載置する段階、
前記マスクと前記基板の相対的な位置を調整するアライメント段階、
位置調整された前記基板を前記マスク上に載置する段階、
磁力印加手段によって前記基板を介して前記マスクに磁力を印加することで、前記基板と前記マスクを密着させる段階、
密着度測定手段によって前記マスクと前記基板との間の密着度を測定する段階、
前記密着度測定手段によって測定された密着度を予め決定された基準値と比較する段階、
測定された密着度が前記基準値より小さい場合、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力を弱めた後、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力が再印加されるように制御する段階、及び
前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値以上である場合、前記マスクを介して前記基板に対する成膜を行う段階
を含む成膜方法。 - 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力を弱めた後、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力が前記マスクの一端から再印加されるように制御する段階を含む請求項10に記載の成膜方法。
- 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度が前記基準値より小さい場合、前記磁力印加手段を前記マスクから離れるように上昇させた後、前記磁力印加手段を傾斜させた状態でマスクの方に下降するように制御する段階を含む請求項11に記載の成膜方法。
- 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、平面状に配置された複数の電磁石モジュールを含む前記磁力印加手段をオフ(OFF)した後、前記マスクの対向する二辺のうち、一方の辺に対応する位置に配置された電磁石モジュールから他方の辺に対応する位置に配置された電磁石モジュールに向かって順次電磁石モジュールの電源をオン(ON)するように制御する段階を含む請求項11または請求項12に記載の成膜方法。
- 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決め
られた基準値より小さい場合、個別的に昇降可能な複数の磁石モジュールを含む前記磁力印加手段をマスクから離れるように上昇させた後、前記マスクの対向する二辺のうち、一方の辺に対応する位置に配置された磁石モジュールから他方の辺に対応する位置に配置された磁石モジュールに向かって順次磁石モジュールをマスクの方に下降させるように制御する段階を含む請求項11または請求項12に記載の成膜方法。 - 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記磁力印加手段の磁力を弱めた後、前記マスクに対する前記磁力印加手段の磁力が前記マスクの中央部から再印加されるように制御する請求項10に記載の成膜方法。
- 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、前記磁力印加手段をマスクから離れるように上昇させた後、前記磁力印加手段がV字の形を取った状態で前記磁力印加手段を前記マスクについて下降させるように制御する段階を含む請求項15に記載の成膜方法。
- 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、平面状に配置された複数の電磁石モジュールを含む前記磁力印加手段をオフ(OFF)した後、前記マスクの中央部に対応するように配置された電磁石モジュールから前記マスクの対向する二辺に対応するように配置された電磁石モジュールに向かって行きながら電磁石モジュールを順次オン(ON)するように制御する段階を含む請求項15または請求項16に記載の成膜方法。
- 前記制御する段階は、前記密着度測定手段によって測定された密着度があらかじめ決められた基準値より小さい場合、個別的に昇降可能な複数の磁石モジュールを含む前記磁力印加手段をマスクから離れるように上昇させた後、前記マスクの中央部に対応するように配置された磁石モジュールから前記マスクの対向する二辺に対応するように配置された磁石モジュールに向かって行きながら磁石モジュールを順次下降させように制御する段階を含む請求項15または請求項16に記載の成膜方法。
- 前記密着度測定手段によって測定された密着度が前記基準値以上になる時まで、前記密着度を測定する段階、前記比較する段階、及び前記再印加されるように制御する段階を繰り返す請求項10乃至請求項18のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記密着度を測定する段階、前記比較する段階、及び前記再印加されるように制御する段階の繰り返し回数があらかじめ決められた基準回数を超える場合には、繰り返しを中止し、アラーム通知を行う請求項19に記載の成膜方法。
- 請求項10乃至請求項20のいずれか一項に記載の成膜方法を用いて電子デバイスを製造する方法。
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