JP2019083435A - 音叉型水晶素子及びその音叉型水晶素子を用いた水晶デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
延出した一対の水晶振動部と、一対の水晶振動部の主面及び側面に設けられた励振電極と、一対の水晶振動部から水晶基部にかけて設けられ励振電極と電気的に接続された引き出し電極と、引き出し電極の近傍に、水晶基部の外周縁からY′軸に沿って設けられた切欠き部と、を備えている。
110a・・・基板
110b・・・枠体
111・・・電極パッド
112・・・外部端子
117・・・封止用導体パターン
120・・・音叉型水晶素子
121・・・水晶基部
122・・・平衡部
123・・・水晶振動部
124・・・振動腕部
125、126・・・励振電極
127・・・引き出し電極
128・・・錘部
129・・・周波数調整電極
130・・・蓋体
131・・・接合部材
140・・・導電性接着剤
K1・・・第一凹部
M1・・・第一切込み部
M2・・・第二切込み部
M3・・・第三切込み部
C・・・切欠き部
G・・・溝部
R1・・・第一残渣部
R2・・・第二残渣部
S1・・・水晶基部の外側側面とつながる平面
S2・・・傾斜面
SP・・・形成面
α・・・傾斜面の角度
T・・・凸部
Claims (10)
- 結晶軸におけるXY′Z′直交座標系を有し、Z′軸に沿った方向に厚みを有する矩形状の水晶基部と、
前記水晶基部の側面よりY′軸に沿って延出した一対の水晶振動部と、
前記一対の水晶振動部の主面及び側面に設けられた励振電極と、
前記一対の水晶振動部から前記水晶基部にかけて設けられ前記励振電極と電気的に接続された引き出し電極と、
前記引き出し電極の近傍に、前記水晶基部の外周縁からY′軸に沿って設けられた切欠き部と、を備えたことを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項1記載の音叉型水晶素子であって、
前記切欠き部のY′軸方向の長さは、前記引き出し電極のY′軸方向の長さに対して、50〜80%になるように設けられていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項1記載の音叉型水晶素子であって、
前記一対の水晶振動部の間に、前記水晶基部の側面よりY′軸に沿って延出した平衡部と、を備え、
前記平衡部のX軸方向の長さの中心点は、前記一対の水晶振動部の間のX軸方向の長さの中心点を通り、Y′軸方向に平行な基準直線L1に対して、前記平衡部のX軸方向の長さの中心が+X軸方向に位置していることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項3記載の音叉型水晶素子であって、
前記平衡部は、少なくとも二つ以上の突出部によって構成されていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項4記載の音叉型水晶素子であって、
前記突出部の近傍に第一残渣部が設けられていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項1記載の音叉型水晶素子であって、
前記水晶基部の前記水晶振動部が延出されている形成面に対して、前記水晶振動部と同一方向に延出するようにして設けられた凸部を備えていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項1記載の音叉型水晶素子であって、
前記凸部が、前記水晶基部の外側側面とつながる平面と、前記平面と接続され前記形成面に向かって形成された傾斜面と、を備えていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項7記載の音叉型水晶素子であって、
前記傾斜面と、前記水晶振動部の外側側面との間に設けられた第二残渣部とを備えていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項1記載の音叉型水晶素子であって、
前記引き出し電極に設けられた溝部を備えていることを特徴とする音叉型水晶素子。 - 請求項1記載の音叉型水晶素子と、
前記音叉型水晶素子を実装するための電極パッドを有する基板と、
前記基板の上面の外周縁に沿って設けられた枠体と、
前記枠体の上面に接合された蓋体と、を備えたことを特徴とする水晶デバイス。
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JP2004289650A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
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JP2015109513A (ja) * | 2013-12-03 | 2015-06-11 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法及び圧電振動子 |
JP2017098912A (ja) * | 2015-11-28 | 2017-06-01 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 音叉型水晶素子及びその音叉型水晶素子が実装された水晶デバイス。 |
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