JP2019068418A - 内部静電遮蔽を有するbawフィルタ構造 - Google Patents
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Abstract
Description
以下に示される実施形態は、当業者が実施形態を実施することを可能にするための必要な情報を表し、実施形態を実施する最良の形態を例示する。添付図面を踏まえて以下の説明を読むと、当業者は、開示の概念を理解し、本明細書で特に対処されないそれらの概念の適用を認識するであろう。それらの概念及び適用が本開示及び添付の請求項の範囲内に収まることが理解されるべきである。
Claims (20)
- 内部遮蔽を有するバルク弾性波(BAW)フィルタ構造であって、
基板と、
前記基板上の複数のトランスデューサであって、前記複数のトランスデューサの各々は、底部電極、前記底部電極上の圧電層、及び前記圧電層上の上部電極を含み、前記複数のトランスデューサの各々は、BAW共振器の一部を形成し、入力ノードと出力ノードとの間に結合されたフィルタに存在し、寄生キャパシタンスを形成する電場を有する、前記複数のトランスデューサと、
前記基板と前記複数のトランスデューサの前記上部電極のうちの少なくとも1つとの間の平面静電遮蔽体であって、前記平面静電遮蔽体は、前記寄生キャパシタンスを減少させるように、接地ノードに結合されており、前記フィルタの前記寄生キャパシタンスと関連付けられた前記電場を遮断する、前記平面静電遮蔽体と、
を含む、前記BAWフィルタ構造。 - 前記平面静電遮蔽体に電気的に結合されたビアを更に含み、前記平面静電遮蔽体は、前記ビアを通じて接地されている、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記基板上に配置された反射器構造を更に含み、前記ビアは、前記反射器構造の少なくとも一部を貫通して延在する、請求項2に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記ビアは、前記圧電層の少なくとも一部を貫通して延在する、請求項2に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記基板上に配置された反射器構造を更に含み、前記反射器構造は、複数の反射器構造を含み、前記BAW共振器は、複数のBAW共振器を含み、前記複数のBAW共振器の各々は、前記複数の反射器構造のうちの少なくとも1つを含む、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記基板上に配置された反射器構造を更に含み、前記反射器構造は、複数の絶縁性反射器及び少なくとも1つの導電性反射器を含む、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記少なくとも1つの導電性反射器は、前記平面静電遮蔽体を含む、請求項6に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記少なくとも1つの導電性反射器は、複数の導電性反射器を含み、前記複数の導電反射器のうちの少なくとも1つは、前記平面静電遮蔽体を含む、請求項6に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記基板上に配置された反射器構造を更に含み、前記平面静電遮蔽体は、前記基板の上面に平行であり、
前記反射器構造の上面上にあり、
前記反射器構造の底面上にあり、または
前記反射器構造内にある、のうちの少なくとも1つである、
請求項1に記載のBAWフィルタ構造。 - 前記底部電極は、相互に物理的に分離された複数の底部電極部分を含み、前記複数の底部電極部分のうちの少なくとも1つは、前記平面静電遮蔽体を含む、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記平面静電遮蔽体は、複数の平面静電遮蔽体を含む、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 第1の平面静電遮蔽体は、第2の平面静電遮蔽体から垂直にオフセットしている、請求項11に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記平面静電遮蔽体は、遮蔽体キャパシタンスによって前記フィルタに電気的にのみ接続されている、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記平面静電遮蔽体の少なくとも一部は、前記複数のトランスデューサのうちの1つの少なくとも一部の真下に配置されている、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記平面静電遮蔽体は、前記複数のトランスデューサのうちの1つの真下に配置されていない、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- 前記平面静電遮蔽体は、前記複数のトランスデューサの隣接するペアの間に広がる、請求項1に記載のBAWフィルタ構造。
- バルク弾性波(BAW)フィルタアセンブリであって、
積層誘電体、前記積層誘電体内に少なくとも部分的に配置された接地トレース、及び前記積層誘電体内に少なくとも部分的に配置された信号トレースを含む、積層体と、
BAWフィルタ構造であって、
基板と、
前記基板上の複数のトランスデューサであって、前記複数のトランスデューサの各々は、底部電極、前記底部電極上の圧電層、及び前記圧電層上の上部電極を含み、前記複数のトランスデューサの各々は、BAW共振器の一部を形成し、入力ノードと出力ノードとの間に結合されたフィルタに存在し、寄生キャパシタンスを形成する電場を有する、前記複数のトランスデューサと、
前記基板と前記複数のトランスデューサの前記上部電極のうちの少なくとも1つとの間の平面静電遮蔽体であって、前記平面静電遮蔽体は、前記寄生キャパシタンスを減少させるように、接地ノードに結合されており、前記フィルタの前記寄生キャパシタンスと関連付けられた前記電場を遮断する、前記平面静電遮蔽体と、を含む、前記BAWフィルタ構造と、
を含み、
前記BAWフィルタ構造は、前記積層体の上部上に上下反転して配置されている、
前記BAWフィルタアセンブリ。 - 前記BAWフィルタ構造は更に、前記接地トレース及び前記平面静電遮蔽体に電気的に結合された遮蔽ピラーを含む、請求項17に記載のBAWフィルタアセンブリ。
- 前記BAWフィルタ構造は更に、前記信号トレース及び前記複数のトランスデューサのうちの少なくとも1つの前記底部電極に電気的に結合された信号ピラーを含む、請求項18に記載のBAWフィルタアセンブリ。
- 前記BAWフィルタ構造は、複数のBAWフィルタ構造を含む、請求項17に記載のBAWフィルタアセンブリ。
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