JP2019065871A - 電磁弁 - Google Patents
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- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical group [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 61
- 229920006015 heat resistant resin Polymers 0.000 claims abstract description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 40
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 40
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 36
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 10
- 239000004693 Polybenzimidazole Substances 0.000 claims description 10
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 10
- 229920002480 polybenzimidazole Polymers 0.000 claims description 10
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 10
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 10
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 9
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 claims description 5
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 4
- NJFMNPFATSYWHB-UHFFFAOYSA-N ac1l9hgr Chemical compound [Fe].[Fe] NJFMNPFATSYWHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 14
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 9
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 9
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 7
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 6
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 3
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 229910001105 martensitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 229910019589 Cr—Fe Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 229910000701 elgiloys (Co-Cr-Ni Alloy) Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 210000004907 gland Anatomy 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
- F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
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Abstract
Description
12 弁箱
13 弁体
14 ダイヤフラム
21 流路
51 プッシュピン
52 グランド
54 ヨーク
55 補助ヨーク
56 固定鉄心
57 コイル
58 ボビン
81 軸受
82 ストッパ
83 軸受
84 軸受
P1 中心軸
Claims (9)
- 流路が形成された弁箱と、前記弁箱内に固定された弁体と、前記弁体と接離可能に支持された金属製のダイヤフラムと、筒状のヨークと、前記ヨークに内蔵された固定鉄心と、前記固定鉄心を囲む位置で前記ヨークに内蔵された筒状のコイルと、前記コイルに囲まれて前記ダイヤフラムの側と前記固定鉄心の側との間を往復運動する可動鉄心と、前記可動鉄心に締結された金属製のプッシュロッドと、前記弁箱と前記ヨークとの間で連結固定されて前記プッシュロッドを挿通させる金属製のボンネットと、前記ボンネットに内蔵されて前記プッシュロッドを挿通させる押圧バネを備え、
通電時に前記コイルの電磁力によって前記可動鉄心が前記固定鉄心の側に移動し前記ダイヤフラムが前記弁体から離れて前記流路が開き、非通電時に前記押圧バネの復元力によって前記可動鉄心が前記ダイヤフラムの側に移動し前記ダイヤフラムが前記弁体と接して前記流路が閉じる構成とされ、
前記可動鉄心および前記プッシュロッドのいずれかないしは両方に、耐熱樹脂からなる環状の軸受を備えること
を特徴とする電磁弁。 - 前記軸受は、前記プッシュロッドの外周部に配設され前記ボンネットの内周部と接する構成であること
を特徴とする請求項1記載の電磁弁。 - 前記コイルは、耐熱樹脂からなる筒状のボビンと前記ボビンに巻回された巻線用電線を備え、
前記ボビンの内周部と接する位置に筒状の補助ヨークをさらに備え、
前記軸受は、前記可動鉄心の外周部に配設され前記補助ヨークの内周部と接する構成であること
を特徴とする請求項1または2記載の電磁弁。 - 前記軸受は、軸方向に切断された切断部を有すること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の電磁弁。 - 弁閉時に、前記補助ヨークと前記固定鉄心とが向かい合う側における前記可動鉄心の端面と前記補助ヨークの端面との間隔は、前記可動鉄心と前記固定鉄心とが向かい合う側における前記可動鉄心の端面と前記固定鉄心の端面との間隔よりも大きいこと
を特徴とする請求項3記載の電磁弁。 - 前記可動鉄心の外周部には前記軸受の接地部として外周溝が形成され、前記補助ヨークと前記固定鉄心とが向かい合う側における前記補助ヨークの端面と前記可動鉄心の外周部に形成された前記外周溝との間隔は、前記外周溝の軸方向の幅よりも大きいこと
を特徴とする請求項3記載の電磁弁。 - 前記プッシュロッドの外周部に、耐熱樹脂からなる環状のストッパをさらに備え、
前記ストッパは、前記通電時に前記ボンネットの段付部と接触することで前記可動鉄心と前記固定鉄心とが向かい合う側における前記可動鉄心の端面と前記固定鉄心の端面とを所定間隔に保つ寸法に形成されていること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の電磁弁。 - 前記可動鉄心および前記プッシュロッドは、テーパ比が0.05以上0.2以下のテーパによってテーパ結合されており、
前記可動鉄心と前記プッシュロッドを締結する磁性金属製のボルトをさらに備えること
を特徴とする請求項1〜7のいずれか一項記載の電磁弁。 - 前記軸受の材質は、ポリイミド(PI)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、ポリアミドイミド(PAI)、ポリベンゾイミダゾール(PBI)、ポリフェニリンサルファイド(PPS)、ポリテトラフルオロエチレン(PFA)のいずれかであること
を特徴とする請求項1〜8のいずれか一項記載の電磁弁。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017188329A JP7117836B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 電磁弁 |
PCT/JP2018/032350 WO2019065079A1 (ja) | 2017-09-28 | 2018-08-31 | 電磁弁 |
TW107133311A TW201915372A (zh) | 2017-09-28 | 2018-09-21 | 電磁閥 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017188329A JP7117836B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 電磁弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019065871A true JP2019065871A (ja) | 2019-04-25 |
JP7117836B2 JP7117836B2 (ja) | 2022-08-15 |
Family
ID=65901575
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017188329A Active JP7117836B2 (ja) | 2017-09-28 | 2017-09-28 | 電磁弁 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7117836B2 (ja) |
TW (1) | TW201915372A (ja) |
WO (1) | WO2019065079A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5071827B2 (ja) | 2008-11-27 | 2012-11-14 | シャープ株式会社 | 面光源装置 |
-
2017
- 2017-09-28 JP JP2017188329A patent/JP7117836B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-31 WO PCT/JP2018/032350 patent/WO2019065079A1/ja active Application Filing
- 2018-09-21 TW TW107133311A patent/TW201915372A/zh unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019065079A1 (ja) | 2019-04-04 |
TW201915372A (zh) | 2019-04-16 |
JP7117836B2 (ja) | 2022-08-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
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