JP2019056648A

JP2019056648A - 回転角検出装置

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Publication number: JP2019056648A
Application number: JP2017181782A
Authority: JP
Inventors: 木村　誠; Makoto Kimura; 誠木村; 拓朗金澤; Takuro Kanazawa; 彬三間; Akira Mima
Original assignee: Hitachi Automotive Systems Ltd
Current assignee: Hitachi Astemo Ltd
Priority date: 2017-09-21
Filing date: 2017-09-21
Publication date: 2019-04-11
Anticipated expiration: 2037-09-21
Also published as: US20200220434A1; WO2019058961A1; CN111133278A; JP6847493B2

Abstract

【課題】磁気遮蔽部材を取り付けた後であっても、磁気センサを検査できる回転角検出装置を提供する。【解決手段】シールド部材４７の第１の壁部５０および第２の壁部５１は、モータシャフトの回転軸線に直交する平面上において、第１の磁気センサ１７Ａとオーバーラップする領域を除く領域であって、第１の磁気センサ１７Ａに対し回転軸線の径方向外側に設けられている。【選択図】図５

Description

本発明は、回転角検出装置に関する。

特許文献１には、モータの回転角を検出する磁気センサの周囲が磁気遮蔽部材で覆われた回転角検出装置が開示されている。

国際公開第２014/054098号

しかしながら、上記従来の回転角検出装置にあっては、磁気センサ全体が磁気遮蔽部材で覆われているため、磁気遮蔽部材の取り付け後、磁気センサの実装状態等を検査できないという問題があった。
本発明の目的の一つは、磁気遮蔽部材を取り付けた後であっても、磁気センサを検査できる回転角検出装置を提供することにある。

本発明の一実施形態における回転角検出装置では、磁気遮蔽部は、回転部材の回転軸線に直交する平面上において、第１の磁気センサとオーバーラップする領域を除く領域であって、第１の磁気センサに対し回転部材の回転軸線の径方向の外側に設けられている。

よって、磁気遮蔽部材を取り付けた後であっても、磁気センサを検査できる。

実施形態１の電動パワーステアリング装置の構成図である。電動パワーステアリング装置の制御系の構成図である。モータユニットの要部縦断面図である。実施形態１のシールド部材47およびチョークコイル40をＺ軸正方向側から見た図である。実施形態１のシールド部材47のＺ軸正方向側斜視図である。実施形態２の第１シールド部材60および第２シールド部材61のＺ軸正方向側斜視図である。

〔実施形態１〕
図１は、実施形態１の電動パワーステアリング装置の構成図である。
操舵機構1は、ステアリングホイール2の回転に伴い前輪3,3を転舵させるもので、ラック＆ピニオン式のステアリングギア4を有する。ステアリングギア4のピニオンギア5は、ステアリングシャフト6を介してステアリングホイール2と連結されている。ステアリングギア4のラックギア7は、ラック軸8に形成されている。ラック軸8の両端は、タイロッド9,9を介して前輪3,3と連結されている。ステアリングシャフト6には、減速機10を介して電動モータ11が連結されている。

減速機10は、ウォーム12とウォームホイール13とで構成されている。ウォーム12は電動モータ11のモータシャフト（回転部材）14と一体に回転する。モータシャフト14からの回転トルクは、減速機10を介してステアリングシャフト6に伝達される。ステアリングシャフト6には、操舵トルクを検出するトルクセンサ15が取り付けられている。電動モータ11は、ECU16および回転角センサ（回転角検出装置）17と一体である。回転角センサ17は、電動モータ11のモータ回転角を検出する。ECU16は、操舵トルクおよびモータ回転角に加え、車速センサ18により検出された車速に基づき、電動モータ11の駆動電流を制御し、操舵機構1に操舵補助力を付与する。

図２は、電動パワーステアリング装置の制御系の構成図である。
電動モータ11は、三相巻線により構成されるステータを２組（第１巻線組11a、第２巻線組11b）有する二重三相モータである。第１巻線組11aのみを通電したときの最大モータ出力と第２巻線組11bのみを通電したときの最大モータ出力は同一である。電動モータ11は、インバータ19からの電流に応じてアシストトルク（モータトルク）を発生する。ECU16は、第１巻線組11aへ電流を供給する第１系統と、第２巻線組11bへ電流を供給する第２系統とで２系統化している。以下の説明では、両系統を区別する場合、第１系統に対応する部位には符号の末尾にaを付記し、第２系統に対応する部位には符号の末尾にbを付記する。

ECU16は、制御基板21およびパワー系基板22を有する。制御基板21は、エポキシ樹脂基材等の非金属基材を用いたプリント基板からなり、MCU23、プリドライバ24等の制御系電子部品が両面に実装されている。パワー系基板22は、エポキシ樹脂基材等の非金属基材、もしくは熱伝達性に優れた金属ベースのプリント基板からなり、インバータ19がパワー系基板22に接続されている。MCU23は、アシスト制御のための演算、モータ電流のコントロール、機能構成要素の異常検出、安全状態への移行処理を行う。プリドライバ24は、MCU23からの指令に基づいて、インバータ19の駆動素子を駆動する。インバータ19は、強電バッテリ25からの直流電力を交流電力に変換し、電動モータ11の巻線組へ供給する。

トルクセンサ15は、例えば磁歪式であり、それぞれ２つのホールICを有する。トルクセンサ15の出力は、MCU23に入力される。回転角センサ17は２つの磁気検出素子17a,17bを有する。両磁気検出素子17a,17bの出力は両MCU23に入力される。パワーサプライ26は、トルクセンサ15の電源を作成して供給する。パワーサプライ27は、MPU23の電源を作成して供給する。パワーサプライ28は、回転角センサ17の電源を作成して供給する。各パワーサプライ26,27,28は、弱電バッテリまたはイグニッションラインと接続されている。強電バッテリ25からインバータ19への電源ライン上には、リレー29が設置されている。リレードライバ30,31は、MCU23からの指令に基づいて、リレー29を駆動する。巻線組11a,11bは、リレー33と接続されている。リレードライバ32は、MCU23からの指令に基づいて、リレー33を駆動する。

図３は、モータユニットの要部縦断面である。
実施形態１のモータユニットは、電動モータ11、制御基板21およびパワー系基板22が１つのハウジング34に収容された機電一体型のモータユニットである。ハウジング34は、例えばアルミニウム合金のダイキャスト等により略円筒状に形成されている。ハウジング34の中心には、モータシャフト14が回転可能に収容されている。以下、モータシャフト14の回転軸線Oに沿う方向にＺ軸を設定し、Ｚ軸方向のうち図３の紙面下方から上方へ向かう方向をＺ軸正方向とする。また、回転軸線Oの放射方向を径方向、回転軸線O周りの方向を周方向とする。制御基板21およびパワー系基板22は、モータシャフト14よりもＺ軸正方向側の基板収容部35に設置されている。なお、基板収容部35のＺ軸負方向側は、電動モータ11が設置されたモータ収容部36である。制御基板21はパワー系基板22よりもＺ軸正方向側に配置されている。

制御基板21およびパワー系基板22は、ハウジング34に固定された図外の支持部材を介してハウジング34に固定されている。制御基板21およびパワー系基板22間は、バスバー37により電気的に接続されている。制御基板21およびパワー系基板22には、コネクタ部38を介して電力が供給される。パワー系基板22においてＺ軸正方向側の面を第１の面22a、Ｚ軸負方向側の面を第２の面22bとしたとき、第１の面22aには第１のパッケージ39aが実装され、第２の面22bには第２のパッケージ39bが実装されている。第１のパッケージ39aは回転角センサ17の第１の磁気検出素子17aを収容し、第２のパッケージ39bは回転角センサ17の第２の磁気検出素子17bを収容する。パッケージ39は、扁平な直方体状に形成されている。

図４および図５に示すように、第１のパッケージ39aは、複数のリードフレーム39a1を有する。リードフレーム39a1は、第１の磁気検出素子17aを支持し、第１の面22aに設けられた配線と接続する。リードフレーム39a1は、Ｚ軸と直交する方向に延びる形状を有する。図示は省略したが、第２のパッケージ39bも複数のリードフレームを有する。以下、リードフレーム39a1が延びる方向にＸ軸を設定し、Ｘ軸方向のうち図４の紙面上方から下方へ向かう方向をＸ軸正方向とする。また、Ｚ軸とＸ軸の両方に直交する方向にＹ軸を設定し、Ｙ軸のうち図４の紙面左方から右方へ向かう方向をＹ軸正方向とする。

第１の面22aには、コモンモードチョークコイル（以下、チョークコイル）40が実装されている。チョークコイル40は、強電バッテリ25および巻線組11a,11b間の電源ライン上に設置され、電源ラインから侵入するノイズやインバータ19のスイッチング等により発生するノイズを平滑化するノイズフィルタである。図４に示すように、第１のチョークコイル（第１のノイズフィルタ）40aは、Ｙ軸方向において、第１の磁気センサ17AよりもＹ軸負方向側に位置する。第２のチョークコイル（第２のノイズフィルタ）40bは、Ｙ軸方向において、第１の磁気センサ17AよりもＹ軸正方向側に位置する。第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bは、Ｚ軸方向から見たとき、回転軸線O上の点、すなわちモータシャフト14の回転中心を対称点として、互いに点対称となる位置に設置されている。第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bは、Ｚ軸正方向側から見たとき、図４の矢印の方向（左回り）に磁界を発生するよう、内部を流れる電流の向きが設定されている。

モータシャフト14の回転軸線Oは、回転角センサ17（パッケージ39a,39b）の中心を通過する。つまり、Ｚ軸方向において、パッケージ39a,39bは回転軸線Oとオーバーラップする。なお、磁気検出素子17a,17bは回転軸線Oとオーバーラップしていなくてもよい。回転角センサ17は、モータシャフト14と一体に回転するマグネット41とＺ軸方向に対向する位置に設けられている。回転角センサ17は、マグネット41の磁界の大きさまたは方向の変化を検出することにより、モータロータ（不図示）の回転角を検出する磁気センサである。以下、回転角センサ17を磁気センサ17という。また、第１のパッケージ39aおよび第１の磁気検出素子17aを第１の磁気センサ17A、第２のパッケージ39bおよび第２の磁気検出素子17bを第２の磁気センサ17Bという。

マグネット41は、モータシャフト14の回転軸線Oを挟んで対向する位置にＮ極とＳ極を有する両面４極の円柱型磁石である。マグネット41のＮ極およびＳ極は、例えば、着磁ヨークを用い、回転軸線Oの方向に発生する磁界により着磁されることによって形成されている。つまり、マグネット41は面方向に着磁（面着磁）されている。マグネット41は、Ｚ軸正方向側に第１Ｎ極42および第１Ｓ極43が着磁され、Ｚ軸負方向側に第２Ｎ極44および第２Ｓ極45が着磁されている。第２Ｎ極44は第１Ｓ極43のＺ軸負方向側に位置し、第２Ｓ極45は第１Ｎ極42のＺ軸負方向側に位置する。マグネット41は、マグネットホルダ46に固定されている。マグネットホルダ46は、モータシャフト14と同一の鉄系材料を用いて円筒状に形成されている。

パワー系基板22の第１の面22aには、磁気遮蔽部材であるシールド部材47が半田付けにより固定されている。図４は実施形態１のシールド部材47およびチョークコイル40をＺ軸正方向側から見た図、図５は実施形態１のシールド部材47のＺ軸正方向側斜視図である。シールド部材47は、鉄系材料で形成された平板状のワークをプレス加工（打ち抜き加工、曲げ加工）して形成されている。シールド部材47は、半田付けの濡れ性向上を狙いとし、パワー系基板22よりも濡れ性の高い材料によりメッキ処理が施されている。シールド部材47は、Ｚ軸方向から見たとき、略ロ字状に形成され、第１の面22aの面上において、第１の磁気センサ17Aを包囲する。シールド部材47は、Ｚ軸方向から見たとき、回転軸線O上の点、すなわちモータシャフト14の回転中心を対称点とする点対称、つまり２回対称な形状を有する。

シールド部材47は、基部48,49、第１の壁部50、第２の壁部51、第１の屈曲部52,53および第２の屈曲部54,55を有する。
基部48は、第１の磁気センサ17AのＸ軸正方向側をＹ軸方向に延びる。基部48の高さ（Ｚ軸方向の寸法）は、第１のパッケージ39aの厚さ（Ｚ軸方向の寸法）および複数のリードフレーム39a1の高さ（Ｚ軸方向の寸法）よりも小さい。基部48の裏面（Ｚ軸負方向側面）は、第１の面22aに対し平行な第１半田付け面48aである。第１半田付け面48aは、第１の面22aに半田付けされている。第１半田付け面48aは、パワー系基板22に対し絶縁されている。
基部49は、第１の磁気センサ17AのＸ軸負方向側をＹ軸方向に延びる。基部49の高さは、第１のパッケージ39aの厚さおよび複数のリードフレーム39a1の高さよりも小さい。基部49の裏面は、第１の面22aに対し平行な第２半田付け面49aである。第２半田付け面49aは、第１の面22aに半田付けされている。第２半田付け面49aは、パワー系基板22に対し絶縁されている。

第１の壁部50は、磁気遮蔽部であり、第１の磁気センサ17AのＹ軸負方向側をＸ軸方向に延びる。第１の壁部50は、第１の面22aからＺ軸正方向側に立ち上がる。つまり、第１の壁部50は、第１の面22aに対し直角に傾斜している。第１の壁部50のＸ軸正方向端は、基部48のＹ軸負方向端と第１の屈曲部52を介して繋がっている。第１の壁部50のＸ軸負方向端は、基部49のＹ軸負方向端と第１の屈曲部53を介して繋がっている。つまり、第１の壁部50は、ワークを折り曲げ線に沿って曲げ加工することにより形成されている。第１の屈曲部52,53は、折り曲げ線の方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。第１の壁部50のＺ軸負方向端において、第１の屈曲部52,53を除く部分は、第１の面22aから離間している。第１の壁部50の高さ（Ｚ軸方向の寸法）は、第１パッケージ39aの厚さ（Ｚ軸方向の寸法）よりも大きい。また、第１の壁部50の高さは、自動光学検査装置で第１の磁気センサ17Aを認識可能な高さに設定されている。自動光学検査装置は、シールド部材47の径方向外側であって、パワー系基板22よりもＺ軸正方向側の位置から第１の磁気センサ17Aの実装状態（半田状態、実装位置等）を認識する。このため、第１の壁部50および第２の壁部51の高さは、自動光学検査装置と第１の磁気センサ17Aとの間を遮らない高さにする必要がある。

第１の壁部50は、溝部50a,50bを有する。溝部50aは、第１の屈曲部52とＸ軸方向に隣接し、溝部50bは、第１の屈曲部53とＸ軸方向に隣接する。溝部50a,50bは、第１の壁部50のＺ軸負方向端からＺ軸正方向側へ延びる。つまり、溝部50a,50bは、第１の屈曲部52,53の折り曲げ線の方向（Ｘ軸方向）に対し直角方向（Ｚ軸方向）に延びる。第１の壁部50は、突出部50c,50dを有する。突出部50c,50dは、溝部50a,50bのＺ軸正方向側に設けられ、Ｚ軸正方向側へ向かって突出する略円弧状に形成されている。突出部50cは、リードフレーム39a1を含む第１パッケージ39aのＸ軸正方向端よりもＸ軸正方向側に位置する。突出部50dは、リードフレーム39a1を含む第１パッケージ39aのＸ軸負方向端よりもＸ軸負方向側に位置する。つまり、突出部50c,50dは、Ｘ軸方向において、第１の磁気センサ17Aとオーバーラップしない。

第２の壁部51は、磁気遮蔽部であり、第１の磁気センサ17AのＹ軸正方向側をＸ軸方向に延びる。第２の壁部51は、第１の面22aからＺ軸正方向側に立ち上がる。つまり、第２の壁部51は、第１の面22aに対し直角に傾斜している。第２の壁部51のＸ軸正方向端は、基部48のＹ軸正方向端と第２の屈曲部54を介して繋がっている。第２の壁部51のＸ軸負方向端は、基部49のＹ軸正方向端と第２の屈曲部55を介して繋がっている。つまり、第２の壁部51は、ワークを折り曲げ線に沿って曲げ加工することにより形成されている。第２の屈曲部54,55は、折り曲げ線の方向（Ｘ軸方向）に沿って延びる。第２の壁部51のＺ軸負方向端において、第２の屈曲部54,55を除く部分は、第１の面22aから離間している。第２の壁部51の高さ（Ｚ軸方向の寸法）は、第１パッケージ39aの厚さ（Ｚ軸方向の寸法）よりも大きい。また、第２の壁部51の高さは、自動光学検査装置で第１の磁気センサ17Aを認識可能な高さに設定されている。

第２の壁部51は、溝部51a,51bを有する。溝部51aは、第２の屈曲部54とＸ軸方向に隣接し、溝部51bは、第２の屈曲部55とＸ軸方向に隣接する。溝部51a,51bは、第２の壁部51のＺ軸負方向端からＺ軸正方向側へ延びる。つまり、溝部51a,51bは、第２の屈曲部54,55の折り曲げ線の方向（Ｘ軸方向）に対し直角方向（Ｚ軸方向）に延びる。第２の壁部51は、突出部51c,51dを有する。突出部51c,51dは、溝部51a,51bのＺ軸正方向側に設けられ、Ｚ軸正方向側へ向かって突出する略円弧状に形成されている。突出部51cは、リードフレーム39a1を含む第１パッケージ39aのＸ軸正方向端よりもＸ軸正方向側に位置する。突出部51dは、リードフレーム39a1を含む第１パッケージ39aのＸ軸負方向端よりもＸ軸負方向側に位置する。つまり、突出部51c,51dは、Ｘ軸方向において、第１の磁気センサ17Aとオーバーラップしない。

次に、実施形態１の作用効果を説明する。
シールド部材47における第１の壁部50および第２の壁部51は、モータシャフト14の回転軸線Oに直交する平面上において、第１の磁気センサ17Aとオーバーラップする領域を除く領域であって、第１の磁気センサ17Aに対し回転軸線Oの径方向外側に設けられている。これにより、外部磁界が第１の壁部50および第２の壁部51に吸収されるため、マグネット41および第１の磁気センサ17A間の磁界に対する外部磁界の影響を抑制できる。この結果、外部磁界の影響による第１の磁気センサ17Aの精度低下を抑制できる。
また、第１の壁部50および第２の壁部51は、回転軸線Oに直交する平面上において、第１の磁気センサ17Aとオーバーラップする領域には設けられないため、シールド部材47をパワー系基板22に取り付けた後であっても、作業者の目視またはカメラ等の画像処理装置を用いて第１の磁気センサ17Aの実装状態（半田状態、実装位置等）を検査できる。ここで、第１の磁気センサ17AのＺ軸方向は解放されているが、外部磁界による検出精度への影響はほとんどない。理由は、第１の磁気センサ17A（磁気検出素子17a）はＸ軸方向およびＹ軸方向における磁界の大きさ・方向の変化を検出するためのものであって、Ｚ軸方向には感度を持たないからである。

シールド部材47は、パワー系基板22の第１の面22a上において、第１の磁気センサ17Aを包囲する形状を有する。これにより、シールド部材47内に形成される磁界が外部に漏洩し、第１の磁気センサ17A上を跨ぐように飛ぶのを抑制できる。
パワー系基板22はプリント基板であって、シールド部材47は、パワー系基板22に半田付けされている。これにより、ねじ固定等に比べ、シールド部材47を容易かつ低コストで搭載できる。
シールド部材47は、パワー系基板22の第１の面22aに対し平行な第１半田付け面48aおよび第２半田付け面49aを有し、第１半田付け面48aおよび第２半田付け面49aにおいて、第１の面22aに半田付けされている。これにより、シールド部材47をパワー系基板22に実装する際、第１半田付け面48aおよび第２半田付け面49aが吸着面となり、シールド部材47およびパワー系基板22間に高い接着性が得られる。

シールド部材47は、パワー系基板22の第１の面22aの面上において、モータシャフト14の回転軸線Oに対し、２回対照な形状を有する。これにより、パワー系基板22に対するシールド部材47の搭載方向の制約を少なくできるため、組み付け性を向上できる。
シールド部材47は、パワー系基板22よりも濡れ性の高い材料でメッキされている。これにより、シールド部材47とパワー系基板22との結合力を向上できる。
シールド部材47は、第１半田付け面48aと、第１半田付け面48aと離間して設けられた第２半田付け面49aとを有し、第１半田付け面48aと第２半田付け面49aの間の領域は、パワー系基板22と離間している。シールド部材47とパワー系基板22とが離間した領域を設けることにより、この領域にプリント配線を配置することで、プリント配線とシールド部材47との干渉を抑制できる。
シールド部材47は、パワー系基板22に対し絶縁されている。これにより、パワー系基板22上の電気回路からシールド部材47へ電流が流入することにより、シールド部材47に不要な磁界が発生するのを抑制できる。

第２の磁気センサ17Bは、パワー系基板22の第２の面22bにおいて、モータシャフト14の回転軸線Oの延長線上に設けられ、マグネット41の磁界の大きさ・方向の変化を検出する。マグネット41の回転角を検出する磁気センサを冗長化することにより、磁気センサの一方が失陥したとき他方でバックアップできる。
シールド部材47は、基部48,49、第１の壁部50、第２の壁部51、第１の屈曲部52,53および第２の屈曲部54,55を有し、第１の壁部50および第２の壁部51は、パワー系基板22の第１の面22aに対し90°傾斜しており、第１の屈曲部52,53および第２の屈曲部54,55を介してパワー系基板22と繋がっている。つまり、シールド部材47が、パワー系基板22から立ち上がっている第１の壁部50および第２の壁部51を有することにより、モータシャフト14の回転軸線Oにおける径方向外側からの外部磁界に対する磁気遮蔽効果を向上できる。

シールド部材47は、第１の壁部50および第２の壁部51に設けられた溝部50a,50bおよび溝部51a,51bを有し、溝部50a,50bおよび溝部51a,51bは、モータシャフト14の回転軸線Oの方向において、第１の壁部50および第２の壁部51のうちパワー系基板22に近い側に設けられ、第１の屈曲部52,53および第２の屈曲部54,55の折り曲げ線の方向に対し90°傾斜した方向に延びる形状を有する。これにより、第１の屈曲部52,53および第２の屈曲部54,55の折り曲げ線を挟んだ両側において、シールド部材47の折り曲げ線方向における幅の急激な変化を抑制できる。この結果、第１の屈曲部52,53および第２の屈曲部54,55における折り曲げ加工性を向上できる。
シールド部材47は、第１の壁部50および第２の壁部51に設けられた突出部50c,50dおよび突出部51c,51dを有し、突出部50c,50dおよび突出部51c,51dは、モータシャフト14の回転軸線Oの方向において、溝部50a,50bおよび溝部51a,51bの反対側に設けられ、溝部50a,50bおよび溝部51a,51bの反対側に向かって突出する形状を有する。これにより、溝部50a,50bおよび溝部51a,51bによる第１の壁部50および第２の壁部51の断面積の減少分を、突出部50c,50dおよび突出部51c,1dによって相殺できる。この結果、第１の壁部50および第２の壁部51の断面積変化を抑制できるため、磁気抵抗が均一化され、磁気遮蔽効果を向上できる。

突出部50c,50dおよび突出部51c,51dは、第１の壁部50および第２の壁部51の長手方向（Ｘ軸方向）において、第１の磁気センサ17Aとオーバーラップしない位置に設けられている。これにより、第１の磁気センサ17Aの実装状態の検査を行う際、突出部50c,50dおよび突出部51c,51dが検査を阻害するのを抑制できる。例えば、第１の磁気センサ17Aの実装状態の検査をカメラ等の画像処理装置を用いて行う場合、突出部50c,50dまたは突出部51c,51dが第１の磁気センサ17Aとカメラとの間に入り込み、画像認識が阻害されるのを抑制できる。
第１の壁部50は、モータシャフト14の回転軸線Oに直交する直交軸線の方向（Ｙ軸方向）において、第１の磁気センサ17Aに対し一方側に設けられており、第２の壁部51は、直交軸線の方向において、第１の磁気センサ17Aに対し第１の壁部50の反対側に設けられており第１の磁気センサ17Aは、複数のリードフレーム39a1を有し、複数のリードフレーム39a1は、回転軸線Oと直交軸線の両方に直交する軸線の方向に延びる形状を有する。複数のリードフレーム39a1が、第１の壁部50および第２の壁部51の無い方向に延びているため、例えば、リードフレーム39a1の実装状態の検査をカメラ等の画像処理装置で行う場合、第１の壁部50および第２の壁部51が複数のリードフレーム39a1とカメラの間に入り込み、画像認識が阻害されるのを抑制できる。

パワー系基板22に設けられた第１のチョークコイル40aと第２のチョークコイル40bを有し、第１のチョークコイル40aは、モータシャフト14の回転軸線Oに直交する直交軸線の方向（Ｙ軸方向）において、第１の壁部50に対し第１の磁気センサ17Aの反対側に設けられており、第２のチョークコイル40bは、モータシャフト14の回転軸線Oに直交する直交軸線の方向において、第２の壁部51に対し第１の磁気センサ17Aの反対側に設けられている。パワー系基板22上にノイズフィルタである第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bが設けられている場合、第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bが外部磁界の発生源となる場合がある。よって、第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bと第１の磁気センサ17Aの間に第１の壁部50および第２の壁部51をそれぞれ配置することにより、第１の磁気センサ17Aに対する第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bからの磁界の影響を抑制できる。

第１のチョークコイル40aと第２のチョークコイル40bは、第１のチョークコイル40aと第２のチョークコイル40bのそれぞれが発生する磁界の方向が、第１の磁気センサ17Aが設けられる領域において、互いに逆向きになるように設けられている。これにより、第１のチョークコイル40aと第２のチョークコイル40bが発生する磁界同士が互いに打ち消し合うため、第１の磁気センサ17Aに対する第１のチョークコイル40aおよび第２のチョークコイル40bが発生する磁界の影響を抑制できる。
第１のチョークコイル40aと第２のチョークコイル40bは、直交軸線の方向（Ｙ軸方向）において、第１の磁気センサ17Aに対し、互いに対称位置に設けられている。これにより、第１のチョークコイル40aと第２のチョークコイル40bが発生する磁界同士の打ち消し量を最適化できる。
モータシャフト14の回転軸線Oの方向における第１の壁部50および第２の壁部51の高さは、第１の磁気センサ17Aの厚さよりも大きい。これにより、回転軸線Oにおける径方向外側からの外部磁界の影響を効果的に抑制できる。
モータシャフト14の回転軸線Oの方向における第１の壁部50および第２の壁部51の高さは、自動光学検査装置で第１の磁気センサ17Aを認識可能な高さである。これにより、自動光学検査装置での検査が可能となる。

マグネット41は、モータシャフト14の回転軸線Oの方向において着磁されており、回転軸線Oの方向におけるマグネット41の一方側に第１N極42および第１S極43が着磁されており、回転軸線Oの方向におけるマグネット41の他方側であって第１N極42に対応する位置に第２S極45が着磁されており、第１S極43に対応する位置に第２N極44が着磁されている。すなわち、マグネット41がいわゆる面着磁のマグネットであるため、マグネット41が発生する磁界のうち、回転軸線Oの方向から逸れた磁束は、回転軸線Oの反対側に回り込むように形成される。よって、回転軸線Oの延長線上に設けられた第１の磁気センサ17Aに対し、効率的に磁束を発生させて、第１の磁気センサ17Aにおける磁気検出精度を向上できる。

〔実施形態２〕
次に、実施形態２を説明する。実施形態１と同じ構成には同一の符号を付して説明は省略し、実施形態１と相違する部分のみ説明する。
実施形態２の第１シールド部材60および第２シールド部材61のＺ軸正方向側斜視図である。実施形態２では、磁気遮蔽部材として２つのシールド部材60,61を有する。
第１シールド部材60は、基部48、第１の壁部501、第２の壁部511、第１の屈曲部52および第２の屈曲部54を有する。第１の壁部501は、磁気遮蔽部であり、第１の磁気センサ17AのＹ軸負方向側をＸ軸方向に延びる。第１の壁部501は、第１の面22aからＺ軸正方向側に立ち上がる。第１の壁部501は、第１の屈曲部52を介して基部48と繋がっている。第１の壁部501は、溝部50aおよび突出部50cを有する。第２の壁部511は、磁気遮蔽部であり、第１の磁気センサ17AのＹ軸正方向側をＸ軸方向に延びる。第２の壁部511は、第１の面22aからＺ軸正方向側に立ち上がる。第２の壁部511は、第２の屈曲部54を介して基部48と繋がっている。第２の壁部511は、溝部51aおよび突出部51cを有する。第１の壁部501および第２の壁部511の高さは、実施形態１の第１の壁部50と同じである。

第２シールド部材61は、基部49、第１の壁部502、第２の壁部512、第１の屈曲部53および第２の屈曲部55を有する。第１の壁部502は、磁気遮蔽部材であり、第１の磁気センサ17AのＹ軸負方向側をＸ軸方向に延びる。第１の壁部502は、第１の面22aからＺ軸正方向に立ち上がる。第１の壁部502は、第１の屈曲部53を介して基部49と繋がっている。第１の壁部502は、溝部50bおよび突出部50dを有する。第２の壁部512は、磁気遮蔽部材であり、第１の磁気センサ17AのＹ軸正方向側をＸ軸方向に延びる。第１の壁部502は、第１の面22aからＺ軸正方向に立ち上がる。第２の壁部512は、第２の屈曲部55（不図示）を介して基部49と繋がっている。第２の壁部512は、溝部51bおよび突出部51dを有する。第１の壁部502および第２の壁部512の高さは、実施形態１の第２の壁部51と同じである。

第１の壁部501,502および第２の壁部511,512の高さ（Ｚ軸方向の寸法）は、第１パッケージ39aの厚さ（Ｚ軸方向の寸法）よりも大きい。また、第１の壁部501,502および第２の壁部511,512の高さは、自動光学検査装置で第１の磁気センサ17Aを認識可能な高さに設定されている。
Ｘ軸方向において、第１の壁部501および第１の壁部502間の距離d1は、基部48および基部48間の距離d3よりも小さい。また、Ｘ軸方向において、第２の壁部511および第２の壁部512間の距離d2は、d1と等しい。
第１の壁部501および第１の壁部502は、パワー系基板22上のプリント配線62aを介して磁気的に接続されている。また、第２の壁部511および第２の壁部512は、パワー系基板22上のプリント配線62bを介して磁気的に接続されている。

次に、実施形態２の作用効果を説明する。
実施形態２では、磁気遮蔽部材として第１のシールド部材60および第２のシールド部材61を有し、第１のシールド部材60は、モータシャフト14の回転軸線Oに直交する直交軸線の方向（Ｘ軸方向）において、第１の磁気センサ17Aに対し一方側に設けられており、第２のシールド部材61は、第１のシールド部材60と離間しており、直交軸線の方向において、第１の磁気センサ17Aに対し第１のシールド部材60の反対側に設けられており、第１のシールド部材60と第２のシールド部材61は、直交軸線の線上における第１のシールド部材60と第２のシールド部材61との間の距離d3が、第１のシールド部材60と第２のシールド部材61との間の最短距離d1(d2)よりも長くなるように設けられている。

ここで、第１のシールド部材60と第２のシールド部材61とは、互いに離間しているため、空気を介して両者の間を磁界が飛ぶ場合がある。磁界は、磁気抵抗の小さい部材同士の間を最短距離で飛ぼうとする。そこで、第１のシールド部材60と第２のシールド部材61とを近接させた部分（第１の壁部501,502、第２の壁部511,512）を設けておくことにより、直交軸線上において第１の磁気センサ17Aを跨いで磁界が飛ぶことが抑制される。その結果、第１のシールド部材60および第２のシールド部材61間を飛ぶ磁界が、第１の磁気センサ17Aの検出磁界に対し影響を与えることを抑制できる。

パワー系基板22上にプリントされたプリント配線62a,62bは、第１のシールド部材60の第１の壁部501および第２の壁部511と、第２のシールド部材61の第１の壁部502および第２の壁部512とを磁気的に接続している。第１のシールド部材60および第２のシールド部材61間を渡る磁界は、プリント配線62a,62b上を通りやすくなっているため、第１のシールド部材60および第２のシールド部材61間を飛ぶ磁界が、第１の磁気センサ17Aの検出磁界に対し影響を与えることをさらに抑制できる。

〔他の実施形態〕
以上、本発明を実施するための実施形態を説明したが、本発明の具体的な構成は実施形態の構成に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等があっても本発明に含まれる。
マグネットは、周方向にＮ極とＳ極を１つずつ有するものであってもよいし、複数個ずつ有するものであってもよい。
ノイズフィルタとして、コモンモードチョークコイルに代えてフェライトコアを用いてもよい。
パワー系基板に対する第１の壁部および第２の壁部の傾斜角度は、直角以外の角度でもよい。

以上説明した実施形態から把握し得る技術的思想について、以下に記載する。
回転角検出装置は、その一つの態様において、回転部材の回転角を検出する回転角検出装置において、マグネットであって、前記回転部材に設けられ、前記回転部材の回転軸線の周方向に並ぶN極とS極を有する、マグネットと、基板であって、前記回転部材の回転軸線の方向において、前記マグネットと離間して設けられており、前記回転部材の回転軸線の方向の一方側に第１の面、他方側に第２の面を有する、基板と、第１の磁気センサであって、磁気検出素子と、パッケージと、を有し、前記磁気検出素子は、前記マグネットの磁界の大きさまたは方向の変化を検出するものであって、前記パッケージは、前記パッケージの内部に前記磁気検出素子を収容しており、前記基板の前記第１の面において前記回転部材の回転軸線の延長線上に設けられている、第１の磁気センサと、磁気遮蔽部材であって、磁性材料で形成されており、前記基板の前記第１の面に設けられ、磁気遮蔽部を有し、前記磁気遮蔽部は、前記回転部材の回転軸線に直交する平面上において、前記第１の磁気センサとオーバーラップする領域を除く領域であって、前記第１の磁気センサに対し前記回転部材の回転軸線の径方向の外側に設けられている、磁気遮蔽部材と、を有する。

より好ましい態様では、上記態様において、前記磁気遮蔽部材は、第１磁気遮蔽部材と、第２磁気遮蔽部材と、を有し、前記第１磁気遮蔽部材は、前記回転部材の回転軸線に直交する直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し一方側に設けられており、前記第２磁気遮蔽部材は、前記第１磁気遮蔽部材と離間しており、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し前記第１磁気遮蔽部材の反対側に設けられており、前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材は、前記直交軸線の線上における前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材との間の距離が、前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材との間の最短距離よりも長くなるように設けられている。
別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、プリント配線を有し、前記プリント配線は、前記基板上にプリントされており、前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材とを磁気的に接続している。
別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記基板の前記第１の面の面上において、前記第１の磁気センサを包囲する形状を有する。

さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記基板は、プリント基板であって、前記磁気遮蔽部材は、前記基板に半田付けされている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記基板の前記第１の面に対し平行な半田付け面を有し、前記半田付け面において、前記基板の前記第１の面に半田付けされている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記基板の前記第１の面の面上において、前記回転部材の回転軸線に対し、対称形状を有する。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記基板よりも濡れ性の高い材料でメッキされている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、第１半田付け面と、前記第１半田付け面と離間して設けられた第２半田付け面と、を有し、前記第１半田付け面と前記第２半田付け面の間の領域は、前記基板と離間している。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記基板に対し、絶縁されている。

さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記第２の磁気センサは、前記基板の前記第２の面において、前記回転部材の回転軸線の延長線上に設けられ、前記マグネットの磁界の大きさまたは方向の変化を検出するものである。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、基部と、屈曲部と、壁部と、を有し、前記壁部は、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記屈曲部を介して前記基部と繋がっている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記壁部に設けられた溝部を有し、前記溝部は、前記回転部材の回転軸線の方向において、前記壁部のうち前記基板に近い側に設けられ、前記屈曲部と隣接して配置され、かつ前記屈曲部の折り曲げ線の方向に対し傾斜した方向に延びる形状を有する。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、前記壁部に設けられた突出部を有し、前記突出部は、前記前記回転部材の回転軸線の方向において、前記溝部の反対側に設けられ、前記溝部の反対側に向かって突出する形状を有する。

さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記突出部は、前記壁部の長手方向において、前記第１の磁気センサとオーバーラップしない位置に設けられている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記磁気遮蔽部材は、基部と、第１の屈曲部と、第２の屈曲部と、第１の壁部と、第２の壁部と、を有し、前記第１の壁部は、前記回転部材の回転軸線に直交する直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し一方側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第１の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、前記第２の壁部は、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し前記第１の壁部の反対側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第２の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、前記第１の磁気センサは、複数のリードフレームを有し、前記複数のリードフレームは、前記回転部材の回転軸線と前記直交軸線の両方に直交する軸線の方向に延びる形状を有する。

さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記基板に設けられた第１のノイズフィルタと第２のノイズフィルタを有し、前記磁気遮蔽部材は、基部と、第１の屈曲部と、第２の屈曲部と、第１の壁部と、第２の壁部と、を有し、前記第１の壁部は、前記回転部材の回転軸線に直交する直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し一方側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第１の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、前記第２の壁部は、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し前記第１の壁部の反対側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第２の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、前記第１のノイズフィルタは、前記直交軸線の方向において、前記第１の壁部に対し前記第１の磁気センサの反対側に設けられており、前記第２のノイズフィルタは、前記直交軸線の方向において、前記第２の壁部に対し前記第１の磁気センサの反対側に設けられている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記第１のノイズフィルタと前記第２のノイズフィルタは、前記第１のノイズフィルタと前記第２のノイズフィルタの夫々が発生する磁界の方向が、前記第１の磁気センサが設けられる領域において、互いに逆向きになるように設けられている。

さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記第１のノイズフィルタと前記第２のノイズフィルタは、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し、互いに対称位置に設けられている。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記回転部材の回転軸線の方向における前記壁部の高さは、前記第１の磁気センサの厚さよりも大きい。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記回転部材の回転軸線の方向における前記壁部の高さは、自動光学検査装置で前記第１の磁気センサを認識可能な高さである。
さらに別の好ましい態様では、上記態様のいずれかにおいて、前記マグネットは、前記回転体の回転軸線の方向において着磁されており、前記回転体の回転軸線の方向における前記マグネットの一方側に第１N極および第１S極が着磁されており、前記回転体の回転軸線の方向における前記マグネットの他方側であって前記第１N極に対応する位置に第２S極が着磁されており、前記第１S極に対応する位置に第２N極が着磁されている。

14 モータシャフト（回転部材）
17 回転角センサ（回転角検出装置）
17A 第１の磁気センサ
17B 第２の磁気センサ
17a 第１の磁気検出素子
17b 第２の磁気検出素子
22 パワー系基板（基板）
22a 第１の面
22b 第２の面
39a 第１のパッケージ
39a1 リードフレーム
39b 第２のパッケージ
40a 第１のチョークコイル（第１のノイズフィルタ）
40b 第２のチョークコイル（第２のノイズフィルタ）
41 マグネット
47 シールド部材（磁気遮蔽部材）
48,49 基部
48a 第１半田付け面
49a 第２半田付け面
50 第１の壁部（磁気遮蔽部）
50a,50b 溝部
50c,50d 突出部
51 第２の壁部（磁気遮蔽部）
51a,51b 溝部
51c,51d 突出部
52,53 第１の屈曲部
54,55 第２の屈曲部
60 第１のシールド部材（第１磁気遮蔽部材）
61 第２のシールド部材（第２磁気遮蔽部材）
62a,62b プリント配線
O 回転軸線

Claims

回転部材の回転角を検出する回転角検出装置において、
マグネットであって、前記回転部材に設けられ、前記回転部材の回転軸線の周方向に並ぶN極とS極を有する、
マグネットと、
基板であって、前記回転部材の回転軸線の方向において、前記マグネットと離間して設けられており、前記回転部材の回転軸線の方向の一方側に第１の面、他方側に第２の面を有する、
基板と、
第１の磁気センサであって、磁気検出素子と、パッケージと、を有し、
前記磁気検出素子は、前記マグネットの磁界の大きさまたは方向の変化を検出するものであって、
前記パッケージは、前記パッケージの内部に前記磁気検出素子を収容しており、前記基板の前記第１の面において前記回転部材の回転軸線の延長線上に設けられている、
第１の磁気センサと、
磁気遮蔽部材であって、磁性材料で形成されており、前記基板の前記第１の面に設けられ、磁気遮蔽部を有し、
前記磁気遮蔽部は、前記回転部材の回転軸線に直交する平面上において、前記第１の磁気センサとオーバーラップする領域を除く領域であって、前記第１の磁気センサに対し前記回転部材の回転軸線の径方向の外側に設けられている、
磁気遮蔽部材と、
を有する回転角検出装置。
請求項１に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、第１磁気遮蔽部材と、第２磁気遮蔽部材と、を有し、
前記第１磁気遮蔽部材は、前記回転部材の回転軸線に直交する直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し一方側に設けられており、
前記第２磁気遮蔽部材は、前記第１磁気遮蔽部材と離間しており、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し前記第１磁気遮蔽部材の反対側に設けられており、
前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材は、前記直交軸線の線上における前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材との間の距離が、前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材との間の最短距離よりも長くなるように設けられている回転角検出装置。
請求項２に記載の回転角検出装置は、
プリント配線を有し、
前記プリント配線は、前記基板上にプリントされており、前記第１磁気遮蔽部材と前記第２磁気遮蔽部材とを磁気的に接続している回転角検出装置。
請求項１に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記基板の前記第１の面の面上において、前記第１の磁気センサを包囲する形状を有する回転角検出装置。
請求項１に記載の回転角検出装置において、
前記基板は、プリント基板であって、
前記磁気遮蔽部材は、前記基板に半田付けされている回転角検出装置。
請求項５に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記基板の前記第１の面に対し平行な半田付け面を有し、前記半田付け面において、前記基板の前記第１の面に半田付けされている回転角検出装置。
請求項５に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記基板の前記第１の面の面上において、前記回転部材の回転軸線に対し、対称形状を有する回転角検出装置。
請求項５に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記基板よりも濡れ性の高い材料でメッキされている回転角検出装置。
請求項５に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、第１半田付け面と、前記第１半田付け面と離間して設けられた第２半田付け面と、を有し、前記第１半田付け面と前記第２半田付け面の間の領域は、前記基板と離間している回転角検出装置。
請求項５に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記基板に対し、絶縁されている回転角検出装置。
請求項１に記載の回転角検出装置は、第２の磁気センサを有し、
前記第２の磁気センサは、前記基板の前記第２の面において、前記回転部材の回転軸線の延長線上に設けられ、前記マグネットの磁界の大きさまたは方向の変化を検出するものである回転角検出装置。
請求項１に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、基部と、屈曲部と、壁部と、を有し、
前記壁部は、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記屈曲部を介して前記基部と繋がっている回転角検出装置。
請求項１２に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記壁部に設けられた溝部を有し、
前記溝部は、前記回転部材の回転軸線の方向において、前記壁部のうち前記基板に近い側に設けられ、前記屈曲部と隣接して配置され、かつ前記屈曲部の折り曲げ線の方向に対し傾斜した方向に延びる形状を有する回転角検出装置。
請求項１３に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、前記壁部に設けられた突出部を有し、
前記突出部は、前記前記回転部材の回転軸線の方向において、前記溝部の反対側に設けられ、前記溝部の反対側に向かって突出する形状を有する回転角検出装置。
請求項１４に記載の回転角検出装置において、
前記突出部は、前記壁部の長手方向において、前記第１の磁気センサとオーバーラップしない位置に設けられている回転角検出装置。
請求項１２に記載の回転角検出装置において、
前記磁気遮蔽部材は、基部と、第１の屈曲部と、第２の屈曲部と、第１の壁部と、第２の壁部と、を有し、
前記第１の壁部は、前記回転部材の回転軸線に直交する直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し一方側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第１の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、
前記第２の壁部は、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し前記第１の壁部の反対側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第２の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、
前記第１の磁気センサは、複数のリードフレームを有し、
前記複数のリードフレームは、前記回転部材の回転軸線と前記直交軸線の両方に直交する軸線の方向に延びる形状を有する回転角検出装置。
請求項１２に記載の回転角検出装置は、
前記基板に設けられた第１のノイズフィルタと第２のノイズフィルタを有し、
前記磁気遮蔽部材は、基部と、第１の屈曲部と、第２の屈曲部と、第１の壁部と、第２の壁部と、を有し、
前記第１の壁部は、前記回転部材の回転軸線に直交する直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し一方側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第１の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、
前記第２の壁部は、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し前記第１の壁部の反対側に設けられており、前記基板の前記第１の面に対し傾斜しており、前記第２の屈曲部を介して前記基部と繋がっており、
前記第１のノイズフィルタは、前記直交軸線の方向において、前記第１の壁部に対し前記第１の磁気センサの反対側に設けられており、
前記第２のノイズフィルタは、前記直交軸線の方向において、前記第２の壁部に対し前記第１の磁気センサの反対側に設けられている回転角検出装置。
請求項１７に記載の回転角検出装置において、
前記第１のノイズフィルタと前記第２のノイズフィルタは、前記第１のノイズフィルタと前記第２のノイズフィルタの夫々が発生する磁界の方向が、前記第１の磁気センサが設けられる領域において、互いに逆向きになるように設けられている回転角検出装置。
請求項１８に記載の回転角検出装置において、
前記第１のノイズフィルタと前記第２のノイズフィルタは、前記直交軸線の方向において、前記第１の磁気センサに対し、互いに対称位置に設けられている回転角検出装置。
請求項１２に記載の回転角検出装置において、
前記回転部材の回転軸線の方向における前記壁部の高さは、前記第１の磁気センサの厚さよりも大きい回転角検出装置。
請求項２０に記載の回転角検出装置において、
前記回転部材の回転軸線の方向における前記壁部の高さは、自動光学検査装置で前記第１の磁気センサを認識可能な高さである回転角検出装置。
請求項１に記載の回転角検出装置において、
前記マグネットは、前記回転体の回転軸線の方向において着磁されており、前記回転体の回転軸線の方向における前記マグネットの一方側に第１N極および第１S極が着磁されており、前記回転体の回転軸線の方向における前記マグネットの他方側であって前記第１N極に対応する位置に第２S極が着磁されており、前記第１S極に対応する位置に第２N極が着磁されている回転角検出装置。