JP2019053277A - 交替ビーム密度プロファイルを有する近接場ビーム密度分布のための光学モジュールシステム - Google Patents
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Abstract
Description
1.1 位相板
1.2 集束レンズ
2 ハウジング
2.1、2.3 第1、第2の細目ねじ
2.2、2.4 第1、第2のストッパ
2.2.1、2.4.1 ストッパ面
10 ビームエキスパンダ、光学素子
10.1、10.2 第1、第2の光学面
20 ファイバコリメータ、光学素子
20.2 収束レンズ
20.3 マウント
20.3.4 細目ねじ
20.4 ファイバレセプタクル
20.4.2 細目ねじ
20.4.3 ファイバカップリング
20.4.5 偏心レセプタクル
20.4.6 固定ストッパ
20.5 固定ねじ
20.5.2 ねじヘッド
20.6 調整外枠
20.6.2 長手方向に移動可能な固定半外枠
20.6.2.2 固定スロット
30 ねじ付きアダプタ
30.1、30.3 第1、第2の細目ねじ
30.2、30.4 第1、第2のストッパ
102 コリメータハウジング
102.3 出口側の細目ねじ
102.4 出口側のストッパ
x 距離
y プロファイル方向
A 出口
AS 出力ビーム束
E 入口
ES 入力ビーム束
F 焦点
f 焦点距離
L 長手方向軸
LS ビーム密度分布の縦断面
X 光軸
TP’ 、TP、TP’’ 第1、第2、第3のトップハットプロファイル
DP ドーナツプロファイル
BP ビームウエストプロファイル
Claims (9)
- モジュールシステムであって、光学素子(1.1、1.2、10)として、
少なくとも1つの位相板(1.1)と、
少なくとも1つの非球面集束レンズ(1.2)と、
光軸(X)に対してコリメートされた同じ波長の単色光のビーム束の直径の回折限界変化のための少なくとも1つのビームエキスパンダ(10)と、を備え、
前記位相板、前記非球面集束レンズ、および前記ビームエキスパンダは、それぞれ、前記光軸(X)と同軸に配置された管状のハウジング(2)内に装着され、
前記光軸(X)と同心に、環状の第1のストッパ(2.2)および第1の細目ねじ(2.1)が前記ハウジング(2)の第1の端部に配置され、かつ、環状の第2ストッパ(2.4)および第2の細目ねじ(2.3)が前記ハウジング(2)の第2の端部に形成され、配置されていることで、
第1の光学素子(1、10)の前記ハウジング(2)の前記第2のストッパ(2.4)が第2の光学素子(1、10)の前記ハウジング(2)の前記第1のストッパ(2.2)に接触し配向して前記第1および第2の光学素子(1、10)の光軸(X)が回折限界発散内で互いに整列される停止位置にまで、装着された前記第1の光学素子(1、10)の前記第2の細目ねじ(2.3)は、前記第2の光学素子(1、10)の前記第1の細目ねじ(2.1)にねじ込まれるようになっており、
少なくとも1つの装着された前記位相板(1.1)が、光路の下流に配置された非球面集束レンズ(1.2)と共に集束ビームシェイパ(1)を形成するように設置されており、前記集束ビームシェイパは、一波長とガウスプロファイルを有する入力ビーム密度分布とを含む前記光軸(X)に対してコリメートされた光を、少なくとも1つの像平面(B2−B5)において交替ビーム密度プロファイル(TP、TP’、TP"、DP、BP)を有する出力ビーム密度分布(LS)に変換するためのものである、
ことを特徴とするモジュールシステム。 - 集束ビームシェイパ(1)の光路内の配置のための少なくとも1つのビームエキスパンダ(10)が、装着された位相板(1.1)と集束非球面レンズ(1.2)との間に配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載のモジュールシステム。
- ハウジング(2)内に装着された焦点距離(f)の異なる集束レンズ(1.2)を、位相板(1.1)と交換可能に組み合わせて、集束ビームシェイパ(1)を形成することができる、ことを特徴とする請求項1または2に記載のモジュールシステム。
- 光ファイバから同じ波長の単色光を供給するための入口(E)および前記光軸(X)に沿ってコリメートされた光を出力するための出口(A)を有し、コリメータハウジング(102)内に装着された少なくとも1つのファイバコリメータ(20)を光学素子としてさらに備え、
前記ファイバコリメータ(20)の前記出口(A)において前記光軸と同心に、出口側のストッパ(102.4)および出口側の細目ねじ(102.3)が配置されていることで、
前記ファイバコリメータ(20)の前記出口側のストッパ(102.4)が第2の光学素子(1、10)の前記第1のストッパ(2.2)に接触し配向して前記ファイバコリメータ(20)と前記第2の光学素子(1、10)との光軸(X)が回折限界発散内で互いに整列される停止位置にまで、前記ファイバコリメータ(20)の前記出口側の細目ねじ(102.3)は、ハウジング(2)内に装着された前記第2の光学素子(1、10)の前記第1の細目ねじ(2.1)にねじ込まれるようになっている、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のモジュールシステム。 - 第1のビームエキスパンダ(10)は1.5の倍率を有し、第2のビームエキスパンダ(10)は1.75の倍率を有し、第3のビームエキスパンダ(10)は2.0の倍率を有する、ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のモジュールシステム。
- 光学素子(1、10、20)のセットを複数備え、光学素子(1、10、20)のセットの1つは、供給される単色光の波長のために設けられる、ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のモジュールシステム。
- 少なくとも1つのねじ付きアダプタ(30)をさらに備え、
前記ねじ付きアダプタは、長手方向軸(L)に対して同心にかつ垂直に配置された第1のストッパ(30.2)と、第1の細目ねじ(30.1)と、前記長手方向軸(L)に沿って反対側の第2のストッパ(30.4)と、第2の細目ねじ(30.3)と、を有し、
前記ねじ付きアダプタ(30)のストッパ(30.2、30.4)が、装着された光学素子(1、10)のストッパ(2.2、2.4)に接触し配向して前記ねじ付きアダプタ(30)の前記長手方向軸(L)が装着された前記光学素子(1、10)の回折限界発散内で前記光学素子(1、10)の光軸(X)と整列される停止位置にまで、前記ねじ付きアダプタ(30)の前記細目ねじ(30.1、30.3)は、装着された前記光学素子(1、10)のハウジング(2)の細目ねじ(2.1、2.3)にねじ込まれるようになっている、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のモジュールシステム。 - 少なくとも1つのねじ付きアダプタ(30)が、前記少なくとも1つのビームエキスパンダ(10)のビーム方向の反転のために設けられている、ことを特徴とする請求項7に記載のモジュールシステム。
- 少なくとも1つの集束レンズ(1.2)が、集束非球面レンズ(1.2)として設計されている、ことを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のモジュールシステム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102532094B1 (ko) * | 2023-02-21 | 2023-05-12 | 주식회사 브이엘 | 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05326716A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-12-10 | General Scanning Inc | 位相板調節式レーザビームによる集積回路接続パスの切断方法及び装置 |
JPH06235847A (ja) * | 1992-12-31 | 1994-08-23 | Eastman Kodak Co | 光ファイバの反射光学結合装置及び方法 |
JPH10282363A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Nippon Steel Corp | 光ファイバ導光器 |
JP2001121282A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP2002098930A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Nec Corp | レーザ加工機 |
JP2003220488A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-08-05 | Nec Corp | レーザ加工方法並びに加工機 |
JP2004252275A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 非球面フーリエ型ホモジナイザ光学系 |
JP2009053340A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Nikon Corp | 対物レンズ |
JP2009164034A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Shimadzu Corp | レーザ脱離イオン化方法、レーザ脱離イオン化装置、及び質量分析装置 |
US20100072180A1 (en) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | Precitec Kg | Modular laser machining system with functional module |
JP2011164182A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Alps Electric Co Ltd | 光コネクタ連結体 |
JP2012230366A (ja) * | 2011-04-14 | 2012-11-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ビームホモジナイザ光学系 |
WO2013007723A1 (en) * | 2011-07-11 | 2013-01-17 | Solneva Sa | Device and method for structuring solar modules using a laser |
JP2014206740A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 屈折式ビーム整形器 |
US9285593B1 (en) * | 2013-12-20 | 2016-03-15 | AdlOptica Optical Systems GmbH | Method and apparatus for shaping focused laser beams |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5864430A (en) * | 1996-09-10 | 1999-01-26 | Sandia Corporation | Gaussian beam profile shaping apparatus, method therefor and evaluation thereof |
DE202004013136U1 (de) * | 2004-03-11 | 2005-07-21 | Kuka Schweissanlagen Gmbh | Modulare Lichtwellenoptik |
DE202010002552U1 (de) * | 2010-02-16 | 2010-06-02 | Smie, Oliver | Interferenzfilter-System mit extrem kleiner Halbwertsbreite |
JP5848877B2 (ja) * | 2011-02-14 | 2016-01-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ光整形及び波面制御用光学系 |
DE102017205590B3 (de) | 2017-04-03 | 2017-12-14 | Asphericon Gmbh | Justierbarer Faserkollimator und Verfahren zu dessen Montage |
-
2017
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- 2018-06-25 US US16/017,136 patent/US20180372990A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05326716A (ja) * | 1991-10-22 | 1993-12-10 | General Scanning Inc | 位相板調節式レーザビームによる集積回路接続パスの切断方法及び装置 |
JPH06235847A (ja) * | 1992-12-31 | 1994-08-23 | Eastman Kodak Co | 光ファイバの反射光学結合装置及び方法 |
JPH10282363A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Nippon Steel Corp | 光ファイバ導光器 |
JP2001121282A (ja) * | 1999-10-21 | 2001-05-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
JP2002098930A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Nec Corp | レーザ加工機 |
JP2003220488A (ja) * | 2002-01-24 | 2003-08-05 | Nec Corp | レーザ加工方法並びに加工機 |
JP2004252275A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 非球面フーリエ型ホモジナイザ光学系 |
JP2009053340A (ja) * | 2007-08-24 | 2009-03-12 | Nikon Corp | 対物レンズ |
JP2009164034A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Shimadzu Corp | レーザ脱離イオン化方法、レーザ脱離イオン化装置、及び質量分析装置 |
US20100072180A1 (en) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | Precitec Kg | Modular laser machining system with functional module |
JP2011164182A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Alps Electric Co Ltd | 光コネクタ連結体 |
JP2012230366A (ja) * | 2011-04-14 | 2012-11-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ビームホモジナイザ光学系 |
WO2013007723A1 (en) * | 2011-07-11 | 2013-01-17 | Solneva Sa | Device and method for structuring solar modules using a laser |
JP2014206740A (ja) * | 2013-04-11 | 2014-10-30 | アスフェリコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 屈折式ビーム整形器 |
US9285593B1 (en) * | 2013-12-20 | 2016-03-15 | AdlOptica Optical Systems GmbH | Method and apparatus for shaping focused laser beams |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102532094B1 (ko) * | 2023-02-21 | 2023-05-12 | 주식회사 브이엘 | 이차전지 및 반도체 검사용 빔 익스팬더 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2933506T3 (es) | 2023-02-09 |
KR102061417B1 (ko) | 2019-12-31 |
US20180372990A1 (en) | 2018-12-27 |
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