JP2019050306A - 液浸冷却装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】液浸槽冷却液を循環させるポンプ及び配管が不要な液浸冷却装置を提供する。【解決手段】液浸冷却装置10は、電子機器13及び二次冷媒17を格納し、電子機器を二次冷媒に浸し液冷する液浸槽12と、液浸槽及び一次冷媒16を格納し、液浸槽を一次冷媒に浸し液冷する筐体11と、液浸槽を回転させる駆動部18と、を備え、液浸槽は、筐体内において回転可能に取付けられるとともに、電子機器が格納される側の内面と内面の反対側の外面とのそれぞれに凸部を有する。それにより、二次冷媒から一次冷媒に伝熱するようになり、一次冷媒を循環させるポンプ及び配管が不要になる。【選択図】図3

Description

本出願は液浸冷却装置に関する。
データセンタの構築では、使用されるサーバ等の電子機器、例えばInformation and Communication Technology 機器(以下、ICT機器)の導入から運用までのトータルコストの削減が求められている。具体的には、ICT機器等の電子機器の高集積化、冷却機器の最小又は最適化による設置コストの削減、電子機器の高効率な排熱による運用コスト及び冷却コストの削減が行われている。これらに対処するため、電子機器の冷却方法として、液浸用冷却液が格納された液浸槽に電子機器を浸し、液浸用冷却液を用いて直接電子機器を冷却する方法(液浸冷却)がある(例えば、特許文献1を参照)。
特開平4−372159号公報
電子機器により高温になった液浸槽冷却液は、再度冷却に用いるために、冷却液ポンプによりクーリングタワー又は熱交換器に送られる。クーリングタワー又は熱交換器では、一次冷却系冷媒と液浸槽冷却液とが熱交換することで、液浸槽冷却液が冷却される。クーリングタワー又は熱交換器により冷却された液浸槽冷却液は再度液浸槽に戻され、電子機器の冷却に利用される。
しかしながら、液浸槽冷却液を用いた液浸冷却システムは、液浸槽冷却液に対応した冷却液ポンプ、熱交換器及び配管等として、一般的な水用の機器を使用することができず設置コストが増加する。また、冷却液ポンプ及び熱交換器は液浸槽の近くに設置されるため、それらの設置場所が屋内に別途確保されなくてはならない。
一つの側面では、本発明は、電子機器を液冷する液浸用冷却液を循環させるポンプ及び配管が不要な液浸冷却装置を提案することを目的とする。
1つの形態によれば、電子機器及び二次冷媒を格納し、電子機器を二次冷媒に浸し液冷する液浸槽と、液浸槽及び一次冷媒を格納し、液浸槽を一次冷媒に浸し液冷する筐体と、液浸槽を回転させる駆動部と、を備え、液浸槽は、筐体内において回転可能に取付けられるとともに、電子機器が格納される側の内面と内面の反対側の外面とのそれぞれに凸部を有する、液浸冷却装置が提供される。
一つの側面では、電子機器を液冷する液浸用冷却液を循環させるポンプ及び配管が不要な液浸冷却装置が提案される。
第1の比較技術である液浸冷却システムの構成を示す図である。 第2の比較技術である液浸冷却システムの構成を示す図である。 (a)は開示する液浸冷却装置を有する液浸冷却システムの構成を示す図であり、電子機器が液浸槽に格納されている状態を示す図、(b)は、液浸冷却装置の分解斜視図である。 液浸冷却装置を示す図であり、(a)は上面図、(b)は前面図、(c)は側面図である。 (a)は液浸冷却装置の開閉蓋を開けた状態を示す上面図であり、(b)は図5(a)のB−B線に沿った液浸冷却装置の断面図である。 (a)は液浸槽の側面図であり、(b)は図6(a)のB−B線に沿った液浸槽の断面図で、(c)は液浸槽の他の例を示す断面図である。 (a)は、液浸槽の駆動機構を示す図5の一部を拡大した拡大図であり、(b)は、図7(a)のB−B線に沿った駆動機構の断面図である。
以下、添付図面を用いて本出願の実施の形態を、具体的な実施例に基づいて詳細に説明する。また、以下の実施の形態において同一又は類似の要素には共通の参照符号を付けて示し、理解を容易にするために、これらの図面は縮尺を適宜変更している。
最初に、本発明による液浸冷却装置及びそれを備える液浸冷却システムの理解を容易にするために、比較技術である液浸冷却システムについて図1及び図2を用いて説明する。
図1は、第1の比較技術である液浸冷却システム101の構成を示す図である。液浸冷却システム101は、ICT機器113を液冷する液浸槽冷却液117が格納された液浸槽112と、液浸槽冷却液117を冷却するクーリングタワー120とを備える。液浸槽冷却液117は、例えば3M社製のフロリナート(登録商標)である。そして、液浸槽112から延び、液浸槽冷却液117がクーリングタワー120を経由して、再度、液浸槽112に戻る配管131が設けられる。ICT機器113は、実装レール114により液浸槽冷却液117に漬かるよう保持されている。液浸槽冷却液117は、液浸槽冷却液用ポンプ121によって循環される。ICT機器113から延びるケーブル等は、例えば実装レール114に沿って配置され液浸槽112のケーブル口を通り外部と接続される。液浸槽112の温まった液浸槽冷却液117(45℃以下)は、液浸槽冷却液用ポンプ121によってクーリングタワー120に送られ、クーリングタワー120内での散水及び送風ファン132によって35℃以下になるよう冷却される。図1に示すクーリングタワー120は、密閉式散水送風冷却式のものである。配管131内の液浸槽冷却液117はクーリングタワー120内で、散水により冷却されるとともに、送風ファン132によって外気があてられて冷却される(図1の矢印A)。液浸槽冷却液117により温められた空気は外部に排出される(図1の矢印B)。冷却に使用された水116は集められ、散水ポンプ133により散水用配管130を通って再度、散水に使用される。
温まった液浸槽冷却液117は、クーリングタワー120で直接、散水され排熱されるため、一次冷却系冷媒を使用する装置(チラー、冷却水用ポンプ及び熱交換器等)が不要である。しかしながら、液浸槽冷却液117を送る液浸槽冷却液用ポンプ121が停止すると、液浸槽冷却液117が環流しなくなり、液浸槽112内の液浸槽冷却液117を冷却することができなくなる。そして短時間でICT機器113の温度が上昇し、ICT機器113を用いたICTシステムの運用が停止される場合がある。また、例えば散水ポンプ133の故障によりクーリングタワー120が停止した場合でも、液浸槽冷却液117の冷却が維持できなくなり、ICTシステムの運用が停止される場合がある。また、クーリングタワー120が屋外に設置される場合がある。この場合、液浸槽112と屋外のクーリングタワー120との間の距離によって配管131が長くなり、その配管131に液浸槽冷却液117を通すために高価な液浸槽冷却液117の量が増え、コストが増加する。また、液浸槽冷却液117(例えばフロリナート(登録商標))に対応した液浸槽冷却液用ポンプ121、クーリングタワー120及び配管131を用いているため、一般的な水用の機器を使用することができずコスト増となるという課題があった。
図2を用いて比較技術である第2の液浸冷却システム201について説明する。図2は、比較技術である第2の液浸冷却システム201の構成を示す図である。図2に示す液浸冷却システム201は、図1に示す液浸冷却システム101と同様に、ICT機器213を液浸槽冷却液217で液冷する装置である。ICT機器213は、実装レール214により液浸槽212内に固定され、液浸槽冷却液217に浸されている。液浸槽212で温められた液浸槽冷却液217は、熱交換器202によって一次冷却系冷媒216と熱交換(図2の矢印B)されて冷却される。冷却された液浸槽冷却液217は、配管231を通って、再度、液浸槽212に戻る。熱交換器202は、チラー203と一次冷媒用配管230により接続されていて、熱交換により温められた一次冷却系冷媒216が、コンプレッサ232等で構成されたチラー203により外気に排熱される(図2の矢印A)。冷却された一次冷却系冷媒216は、再度、熱交換器202に送られ、液浸槽冷却液217との熱交換に使用される。熱交換器202を液浸槽212の近辺に設置することができるため、液浸槽冷却液217の配管231の長さの増加及びそれに伴う液浸槽冷却液217の増加を防ぐことができる。
しかしながら、図1に示す液浸冷却システム101と同様、液浸槽冷却液217を送る液浸槽冷却液用ポンプ221が停止することで、液浸槽冷却液217が環流しなくなると、液浸槽212内の冷却ができなくなる。そのため、短時間でICT機器213の温度が上昇し、ICTシステムの運用が停止される。また、チラー203の停止でも、熱交換されなくなり、結局、配管231の液浸槽冷却液217が冷却されず、ICT機器213の温度が短時間で上昇する。また、液浸槽冷却液217に対応した液浸槽冷却液用ポンプ221、熱交換器202及び配管231等を使用するため機器のコストが増加する。また、液浸槽冷却液用ポンプ221及び熱交換器202を液浸槽212の近辺に設置するため、別途屋内の設置場所が要求され、液浸冷却システム101が占有する面積が増えるため設置コストが増加する。
そこで、本実施形態による液浸冷却装置は、ICT機器等の電子機器及び二次冷媒を格納し筐体内で回転する液浸槽の内外面に凸部を設け、回転する液浸槽により、二次冷媒から一次冷媒に伝熱している。それにより二次冷媒を循環させるポンプと配管を不要にした。以下では、図3(a)〜図7を用いて、本出願の実施形態である液浸冷却装置10及び液浸冷却装置10を備える液浸冷却システム1について詳細に説明する。
なお、一次冷却系冷媒は、冷却システムにおいて外気等により直接冷却される冷媒で、例えば水が用いられる。本明細書では一次冷却系冷媒を「一次冷媒」と呼ぶ場合がある。また、液浸槽冷却液は、一次冷媒により冷却される冷媒で、一次冷媒より電気伝導率が低くICT機器等の電子機器を直接冷却することが可能である。液浸槽冷却液は、例えば油(PAO:ポリ-α-オレフィン系合成油)又はフロリナート(登録商標)等のフッ素系不活性液であり、本明細書では液浸槽冷却液を「二次冷媒」と呼ぶ場合がある。
図3(a)には本実施形態の液浸冷却装置10を含む液浸冷却システム1の構成が示されている。また、図3(b)には液浸冷却装置10の分解斜視図が示されている。液浸冷却システム1は、ICT機器13(電子機器の一例)を冷却する装置である。液浸冷却システム1は、液浸冷却装置10と、液浸冷却装置10から排出される一次冷却系冷媒16を冷却するチラー19を備える。一次冷却系冷媒16は一次冷媒の一例である。また、液浸冷却システム1は、一次冷却系冷媒16が通る配管30と、一次冷却系冷媒16を循環させる一次冷却系冷媒用ポンプ21とを備える。配管30は、液浸冷却装置10から延び、チラー19を経由して、再び液浸冷却装置10に戻るよう形成されている。
本実施形態の液浸冷却装置10は、ICT機器13を液冷する液浸槽冷却液17と、ICT機器13及び液浸槽冷却液17を格納する液浸槽12と、液浸槽12を冷却する一次冷却系冷媒16を備える。また、液浸冷却装置10は、液浸槽12及び一次冷却系冷媒16を格納する筐体11を備え、液浸槽12を回転させる駆動機構18(駆動部の一例)を備える。液浸槽12は、筐体11内において地面に対して垂直方向の回転軸29を中心として回転可能に取付けられている。また液浸槽12は、ICT機器13が格納される側の内面12cと内面12cの反対側の外面12bとのそれぞれに凸部35を有する(図6参照)。液浸槽冷却液17は二次冷媒の一例であり、一次冷媒である一次冷却系冷媒16により冷却される。
上述したように、筐体11とチラー19とは配管30で繋がっており、液浸槽12により温められた一次冷却系冷媒16は、筐体11からチラー19に送られる。一次冷却系冷媒16はコンプレッサ20等で構成されたチラー19により冷却され、外部に排熱される(図3の矢印A)。チラー19により冷却された一次冷却系冷媒16は、一次冷却系冷媒用ポンプ21によりチラー19から筐体11まで送られ、液浸槽12を冷却するために再利用される。なお、チラー19のコンプレッサ20は、クーリングタワーであってもよい。
液浸槽冷却液17を格納する液浸槽12は、伝熱性の良い金属(例えばステンレス等)で回転軸29を中心に回転可能なドラム形状又は円筒形状に形成された槽である。そして、図3(b)に示されるように、液浸槽12は一次冷却系冷媒16が格納された筐体11に沈められる。
ICT機器13は、筐体11に固定された実装レール14で保持される。ICT機器13は液浸槽12から独立し、液浸槽12が回転しても動かないよう固定される。ICT機器13は、表面を大きくした板状の形状で形成される。ICT機器13は、実装する位置に応じたサイズで形成されてもよい。また、ICT機器13は、異なる幅を有するICT機器13が幅方向に隣接して並べられてもよい(例えば図5(a)のICT機器13a〜13c参照)。複数枚、幅方向に隣接して並べて配置することで、より多くの数のICT機器13を実装させることが可能である。
本実施形態の液浸槽12は、筐体11に、地面に対して垂直方向の回転軸29を中心に回転可能に取り付けられ、液浸槽12の近辺に設けられた駆動機構18により回転する。液浸槽12を回転させることで、液浸槽12内の液浸槽冷却液17が撹拌されるとともに流動され、液浸槽冷却液17が回転軸29を中心に回転するようになる。また、液浸槽12が回転すると、液浸槽12の周囲にある一次冷却系冷媒16も撹拌されるとともに流動され、一次冷却系冷媒16は回転軸29を中心に回転する。一次冷却系冷媒16が回転することで、冷却された一次冷却系冷媒16と温められた一次冷却系冷媒16が混ざり、一次冷却系冷媒16の温度が下がる。温度が下がった一次冷却系冷媒16により液浸槽12が冷却され、液浸槽12内の液浸槽冷却液17も冷却される。冷却された液浸槽冷却液17が回転することで、液浸槽12内にあるICT機器13が冷却される。そのため、本実施形態の液浸冷却装置10では、液浸槽冷却液17を還流させるためのポンプ、及び、液浸槽冷却液17を外部に還流させるための配管は設けられなくてよい。
液浸槽冷却液17により温められた一次冷却系冷媒16は、図3に示す一次冷却系冷媒用ポンプ21により配管30を経由して筐体11からチラー19まで送られ、コンプレッサ20等で構成されたチラー19によって冷却される。チラー19は、図2に示す液浸冷却システム101で使用されるクーリングタワーであってもよい。冷却された一次冷却系冷媒16は、再び、筐体11内に戻り液浸槽12の冷却に使用される。
液浸槽12は、液浸槽12の底部12aに設けられた回転支持軸32を備える。そして、図5(b)に示されるように、筐体11内には、回転支持軸32を受ける回転軸受33が設けられ、また、回転軸受33の周囲にローラ39が設けられている。また、液浸槽12の上部が、筐体11の上部に設けられた4つの支持部40によって回転可能に支持される。
液浸槽12を格納する筐体11には、その上面に開閉蓋31が設けられている。使用者は開閉蓋31の取っ手37を用いて、図4(c)の矢印C方向に開けることができる。また、図4(c)に示されるように開閉蓋を開けたときに、開閉蓋の開けた状態を固定する固定用支持部材38が設けられている。筐体11の底部には、筐体11を支持する設置脚34が二本、設けられている。筐体11の側面には、ICT機器13から延びるケーブルを引き出すための引き出し口41が形成されている。
図6(a)及び図6(b)に示されるように、液浸槽12のICT機器13が格納される側の内面12c及び内面12cの反対側の外面12bとのそれぞれに複数の凸部35が設けられる。液浸槽12が駆動機構18により回転することで、内面12cの凸部35により液浸槽12の内部に格納された液浸槽冷却液17が撹拌され流動し、液浸槽冷却液17が回転軸29を中心に回転する。また、外面12bの凸部35により液浸槽12の外側にある一次冷却系冷媒16が撹拌され流動し、一次冷却系冷媒16が回転軸29を中心に回転する。
凸部35の例として液浸槽12の外面12bには、ICT機器13が格納される側とは反対の外側に向けて延びるヒレ状の第1撹拌フィン22(フィンの一例)が複数設けられている。また、液浸槽12の内面に、凸部35としてICT機器13が格納される側である内側に向けて延びるヒレ状の第2撹拌フィン23(フィンの一例)が複数設けられている。第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23は、それらの長辺が回転軸29に対して平行になるよう外面12b又は内面12cに設けられている。複数の第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23は、図6(b)に示されるよう、液浸槽12の外面又は内面に、等角度間隔で並ぶように沿って配置されている。図に示す等角度は45度であるが、その等角度は45度に限定されず、他の角度例えば30度又は60度であってもよい。また、図6(a)に示されるように、複数の第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23は、回転軸29に対して平行に複数個並べて配置されてもよい。図に示す複数の第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23は、それぞれの列において3つ配置されているが、これは一例であり、1つであってもよく、また、各列で2つ或いは4つ以上の第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23が配置されても良い。第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23が設けられることで、一次冷却系冷媒16及び液浸槽冷却液17が撹拌される。
さらに、第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23は液浸槽12の側部の内面12c及び外面12bだけでなく底部12aにも設けられている。底部12aの第1撹拌フィン22及び第2撹拌フィン23は、それらの長辺が回転軸29を中心に放射状になるよう配置される(図6(b)参照)。底部12aに凸部35を設けることで、液浸槽12の外周部分の近くにある一次冷却系冷媒16及び液浸槽冷却液17だけでなく、回転軸29の付近にある一次冷却系冷媒16及び液浸槽冷却液17を撹拌させ回転させることが可能になる。
凸部35は、図6(b)に示されるように、液浸槽12の外面12bに側部の一部が外側に膨出するよう形成された第1膨出部24であってもよい。また凸部35は、液浸槽12の内面12cに側部の一部が内側に膨出するよう形成された第2膨出部25であってもよい。図6(b)に示される第1膨出部24及び第2膨出部25のように液浸槽12の側面が凹凸状に形成されることで液浸槽12の表面積が増え、液浸槽12からの熱が一次冷却系冷媒16に伝熱されやすくなる。また、液浸槽12の凸部35は、例えば液浸槽12の側部が外周に沿って波状に形成されることで実現されてもよい(図6(c)参照)。
図7(a)及び図7(b)に示されるように、本実施形態の駆動機構18は、モータ26と、モータ26に取付けられたギア27を備える。そして、液浸槽12の上部外周上には液浸槽回転ギア28が形成されていて、駆動機構18のギア27と咬み合い、モータ26が回転することで液浸槽12が回転する。駆動機構18は、ICT機器13を支持する実装レール14に支持される。筐体11は、上述したように液浸槽12を支持する支持部40を備えている。支持部40の先端には、回転支持ローラ42が設けられていて、液浸槽12は、回転支持ローラ42が、液浸槽の外周に当接することで回転可能に支持される。
なお、駆動機構18は、図4及び図5(a)に示されるように、二つ目の駆動機構18bがさらに設けられてもよい。二つ以上の駆動機構18、18bを設けることで、一方の駆動機構18が故障した場合であっても、他方の駆動機構18bにより液浸槽12を回転させることができる。図1又は図2に示される比較技術では、多重化する場合、別の配管及びポンプを設けていた。一方、本実施形態の液浸冷却装置10では、駆動機構18を増やすことで多重化することができるので比較的低コストで装置の信頼性及び安全性を高めることが可能である。
筐体11に格納された一次冷却系冷媒16は、液浸槽12から伝達される熱により直接温められることから、一次冷却系冷媒16の容量が大きくなるほど、温まる時間がかかる。そのため、筐体11に格納される一次冷却系冷媒16の容量を選択することにより、一次冷却系冷媒16の装置、例えば一次冷却系冷媒用ポンプ21が停止した場合の、液浸槽12の冷却を維持可能な冷却維持時間を調整することができる。
図1に示す第1の比較技術である液浸冷却システム101と、図3に示す液浸冷却システム1との液浸槽冷却維持時間の違いを以下に示す。液浸冷却システム1では、筐体11の奥行きの大きさは0.75mと一定であるが、幅方向の大きさを4パターン(1.0m、1.2m、1.4m、1.6m)のうちの一つに変更して液浸槽12の冷却維持時間を計測している。比較技術の液浸冷却システム101では、液浸槽冷却液用ポンプ121の停止後、液浸槽112内の温度が35℃から40℃になるまでの時間を計測した。本実施形態の液浸冷却システム1では、一次冷却系冷媒16の還流が停止した後、液浸槽12内の温度が35℃から40℃になるまでの時間を計測した。
(1)比較技術:液浸冷却システム101の構成
○液浸槽112の大きさ:幅0.6×奥0.75×液高0.9m
○液浸槽内ICT機器容積:96L
(2)本実施形態:液浸冷却システム1の構成
○液浸槽12の大きさ:直径0.75×液高0.9m
○液浸槽内ICT機器容積:96L
○筐体11(一次冷却槽)の大きさ:幅(1.0m、1.2m、1.4m、1.6mから選択)×奥0.75×液高0.9m
Figure 2019050306
液浸冷却システム1では、第1の比較技術の液浸冷却システム101に対し冷却時間を長くすることができ、一次冷却系冷媒16を格納する筐体11の大きさ(例えば幅)を変更することで、冷却維持時間を選択することができる。
また、第1の比較技術の液浸冷却システム101に対する、本実施形態の液浸冷却システム1の冷却及び電力の効率を計測した。データセンタの冷却及び電力効率として、Power Usage Effectiveness(以下、PUE:全体電力に対するICT機器のエネルギー効率)及び全体電力(消費する冷却+ICT機器の電力)で比較した結果を表2に示す。本発明の実施形態である液浸冷却システム1は、第1の比較技術の液浸冷却システム101に対し、合計電力では1.4KW(6%)低く、PUEは、0.07改善の効果があった。
Figure 2019050306
本実施形態の液浸冷却装置10によれば、液浸槽12を一次冷却系冷媒16により直接冷却することから、液浸槽冷却液17を循環させる液浸槽冷却液用のポンプが不要となる。また、液浸槽12が一次冷却系冷媒16の中で回転することで、一次冷却系冷媒16と液浸槽冷却液17とが攪拌及び流動される。液浸槽冷却液17から一次冷却系冷媒16に伝熱し、液浸槽12内のICT機器13が冷却される。また、液浸槽冷却液17に対応した冷却液ポンプ、クーリングタワー、熱交換器及び配管等をなくし、機器コストを削減することができる。
以上、本出願を特にその好ましい実施の形態を参照して詳細に説明した。
1、101、201 液浸冷却システム
10 液浸冷却装置
202 熱交換器
11 筐体
12、112、212 液浸槽
13、113、213 ICT機器(電子機器)
14、114、214 実装レール
16 一次冷却系冷媒(一次冷媒)
17、117、217 液浸槽冷却液(二次冷媒)
18 駆動機構
19、203 チラー
120 クーリングタワー
121、221 液浸槽冷却液用ポンプ
21 一次冷却系冷媒用ポンプ
22 第1撹拌フィン
23 第2撹拌フィン
24 第1膨出部
25 第2膨出部
26 モータ
27 ギア
28 液浸槽回転ギア
29 回転軸
30、131 配管
230 一次冷媒用配管
130 散水用配管
132 送風ファン
133 散水ポンプ
20、232 コンプレッサ
31 開閉蓋
32 回転支持軸
33 回転軸受
34 設置脚
35 凸部
37 取っ手
38 固定用支持部材
39 ローラ
40 支持部
41 引き出し口

Claims (5)

  1. 電子機器及び二次冷媒を格納し、前記電子機器を前記二次冷媒に浸し液冷する液浸槽と、
    前記液浸槽及び一次冷媒を格納し、前記液浸槽を前記一次冷媒に浸し液冷する筐体と、
    前記液浸槽を回転させる駆動部と、を備え、
    前記液浸槽は、前記筐体内において回転可能に取付けられるとともに、前記電子機器が格納される側の内面と前記内面の反対側の外面とのそれぞれに凸部を有する、
    液浸冷却装置。
  2. 前記凸部は、前記一次冷媒及び前記二次冷媒を撹拌するヒレ状に形成されたフィンを含む、請求項1に記載の液浸冷却装置。
  3. 前記凸部は、前記液浸槽の一部が、前記電子機器が格納される側又は前記電子機器が格納される側の反対側に膨出するよう形成された膨出部を含む、請求項1又は2に記載の液浸冷却装置。
  4. 前記液浸槽は回転軸を中心にした円筒状に形成され、前記凸部は前記液浸槽の底部において前記回転軸から放射状に配置される、請求項1から3のいずれか一項に記載の液浸冷却装置。
  5. 前記二次冷媒の電気伝導率は、前記一次冷媒の電気伝導率より低い、請求項1から4のいずれか一項に記載の液浸冷却装置。
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