JP2019043697A - 長尺部品の整列方法及びトレイ - Google Patents

Abstract

【課題】向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させる。
【解決手段】本実施形態に係る長尺部品の整列方法では、移載先トレイ７０に設けられた仮置き面７８に、複数の長尺部品６０を側面６０Ａが横向きの状態でそれぞれ仮置きする。次いで、移載先トレイ７０を傾斜させることにより、仮置き面７８に隣接して一段高く設けられた段差面８０の端側の角部８８を支点として、複数の長尺部品６０を側面６０Ａが下向きになるように軸方向周りに回転させる。そして、段差面８０に対する仮置き面７８と反対側に段差面８０と隣接して設けられた収容凹部８４の内側に、側面６０Ａが下向きのまま、複数の長尺部品６０をそれぞれ落下させる。
【選択図】図２１

Description

本願の開示する技術は、長尺部品の整列方法及びトレイに関する。

従来、複数の部品をトレイに整列させる部品の整列方法が種々考案されている（例えば、特許文献１、２参照）。

特開平２−１４４３１８号公報 特開平６−５６２５５号公報

複数の部品としての複数の長尺部品をトレイに整列させる長尺部品の整列方法では、向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させたい場合がある。

本願の開示する技術は、一つの側面として、向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させることができるようにすることを目的とする。

本願の開示する技術の一観点によれば、以下の長尺部品の整列方法が提供される。すなわち、この長尺部品の整列方法では、トレイに設けられた仮置き面に、複数の長尺部品を側面が横向きの状態でそれぞれ仮置きする。次いで、トレイを傾斜させることにより、仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面の端側の角部を支点として、複数の長尺部品を側面が下向きになるように軸方向周りに回転させる。そして、段差面に対する仮置き面と反対側に段差面と隣接して設けられた収容凹部の内側に、側面が下向きのまま、複数の長尺部品をそれぞれ落下させる。

本願の開示する技術によれば、向きを揃えて複数の長尺部品を一括して整列させることができる。

本実施形態における治具及び移載元トレイの斜視図である。 図１に示される移載元トレイの斜視図であって、移載元トレイに複数の長尺部品が収容された状態を示す図である。 図２に対応する移載元トレイの二面図（平面図及び縦断面図）である。 図２、図３に示される長尺部品の斜視図である。 本実施形態における移載先トレイの斜視図であって、移載先トレイに複数の長尺部品が整列された状態を示す図である。 図５に対応する移載先トレイの二面図（平面図及び縦断面図）である。 図６に示される移載先トレイ単体の二面図（平面図及び縦断面図）である。 図６に示される長尺部品と移載先トレイの収容凹部との形状を比較する説明図である。 本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載元トレイ組付工程」を治具の斜視図にて説明する図である。 本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を治具の斜視図にて説明する図である。 本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「トレイ重ね合わせ工程」を治具の斜視図にて説明する図である。 本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を治具の斜視図にて説明する図である。 本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「上下反転・傾斜工程」を治具の斜視図にて説明する図である。 本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「長尺部品整列工程」を治具の斜視図にて説明する図である。 図１０に示される「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイの斜視図及び拡大平面図にて説明する図である。 図１０に示される「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイの縦断面図にて説明する図である。 図１１に示される「トレイ重ね合わせ工程」を移載元トレイ及び移載先トレイの二面図（平面図及び縦断面図）にて説明する図である。 図１２に示される「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ及び移載先トレイの斜視図及び拡大平面図にて示す図である。 図１２に示される「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ及び移載先トレイの二面図（平面図及び縦断面図）にて説明する図である。 図１３に示される「上下反転・傾斜工程」を移載元トレイ及び移載先トレイの縦断面図にて説明する図である 図１４に示される「長尺部品整列工程」の前半を移載先トレイの縦断面図にて説明する図である。 図１４に示される「長尺部品整列工程」の後半を移載先トレイの縦断面図にて説明する図である。

例えば、光学部品である長尺部品の製造方法では、長尺部品の側面にスパッタ成膜を施す工程が含まれることがある。この工程に際し、移載元トレイから複数の長尺部品を一つずつピンセットで取り出して移載先トレイに移し変えて整列させる場合には、長尺部品の移動中に長尺部品が落下して損傷し、歩留まりが低下する虞がある。

そこで、移載元トレイの上に移載先トレイを重ね合わせ、移載元トレイ及び移載先トレイを上下反転させて、複数の長尺部品を一括して移載先トレイに移し変えて整列させる方法が検討される。

しかしながら、長尺部品の上面が微細構造面である場合、長尺部品の上面をピンセットで触れることはできない。そのため、長尺部品の上面を上向き又は下向きにする必要があり、移載元トレイには複数の長尺部品が側面を横向きにして収容される。

したがって、移載元トレイ及び移載先トレイを上下反転させるだけでは、側面を下向きに揃えた状態で複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させることはできない。このため、側面を下向きに揃えた状態で複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させることが望まれる。

以下、本願の開示する技術の一実施形態として、側面を下向きに揃えた状態で複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させることができる長尺部品の整列方法を説明する。なお、本実施形態では、一例として、長尺部品の側面にスパッタ成膜を施す工程に際し、複数の長尺部品を移載先トレイに一括して整列させる長尺部品の整列方法を説明する。

（治具１０及び移載元トレイ４０）
図１は、本実施形態における治具１０及び移載元トレイ４０の斜視図である。図１に示されるように、本実施形態に係る長尺部品の整列方法には、治具１０及び移載元トレイ４０が使用される。

治具１０は、土台１２と、複数の脚部１４と、支持部１６と、可動部１８と、回転部２０とを有する。土台１２は、四角板状に形成されている。複数の脚部１４は、土台１２の四隅に配置され、土台１２の裏側に向けて延びている。複数の脚部１４によって支持されることにより、土台１２は、水平に配置される。

支持部１６は、土台１２の表側に設けられている。可動部１８の一端部１８Ａは、水平方向に延びる第一回転軸２２によって支持部１６に回転可能に連結されており、これにより、可動部１８は、支持部１６に対して第一回転軸２２の軸方向回りに回転可能に支持されている。

土台１２には、可動部１８の他端部１８Ｂが下側に移動するように可動部１８が傾斜した場合に可動部１８が挿入される開口２４が形成されている。図１では、可動部１８と土台１２との間にストッパ部材２６が介在されることにより、可動部１８は、土台１２の上方に配置され、水平に保たれている。可動部１８の他端部１８Ｂには、可動部１８を傾斜させるための傾斜ツマミ２８が設けられている。

回転部２０の一端部２０Ａ及び他端部２０Ｂは、水平方向に延びる一対の第二回転軸３０によって可動部１８に回転可能に連結されており、これにより、回転部２０は、可動部１８に対して一対の第二回転軸３０の軸方向回りに回転可能に支持されている。一対の第二回転軸３０は、同軸上に配置されている。一対の第二回転軸３０の軸方向は、平面視で第一回転軸２２の軸方向と直交する。一方の第二回転軸３０には、回転部２０を回転させるための回転ツマミ３２が一体に設けられている。

回転部２０は、より具体的には、一対の第二回転軸３０の軸方向を長手方向とする長方形の枠体より形成されている。この回転部２０には、一例として、二つの移載元トレイ４０を一対の第二回転軸３０の軸方向に並べて取り付けることができるようになっている。回転部２０には、後述する移載先トレイ７０（図１１参照）を固定するための複数の固定部３４が設けられている。

（移載元トレイ４０及び複数の長尺部品６０）
図２は、図１に示される移載元トレイ４０の斜視図であって、移載元トレイ４０に複数の長尺部品６０が収容された状態を示す図であり、図３は、図２に対応する移載元トレイ４０の二面図（平面図及び縦断面図）である。

図２、図３に示されるように、移載元トレイ４０は、概略平盤状に形成されている。この移載元トレイ４０は、より具体的には、板状のベース部４２と、このベース部４２の表側に突出する凸部４４とを有する。凸部４４には、複数の長尺部品６０が収容される複数の溝４６が並列して設けられている。

溝４６の長手方向の一端部４６Ａ及び他端部４６Ｂは、平面視で円弧状に形成されており、閉塞されている。溝４６の長手方向の一端部と他端部との間には、平面視で直線状に延びる一対の側面部４６Ｃ、４６Ｄが形成されている。

溝４６において、一方の側面部４６Ｃと一端部４６Ａとの接続部４６Ｅは、一方の側面部４６Ｃとで第一突き当て部４８を形成している。この第一突き当て部４８は、長尺部品６０を、移載元トレイ４０に対して矢印Ｘ１側及び矢印Ｙ１側に位置決めするものである。矢印Ｘ１側は、複数の長尺部品６０の並列方向の一方側に相当し、矢印Ｙ１側は、長尺部品６０の軸方向の一方側に相当する。

（長尺部品６０）
図４は、図２、図３に示される長尺部品６０の斜視図である。長尺部品６０は、一例として、光学部品である。この長尺部品６０は、断面四角形状の一例として、断面矩形状に形成されており、一対の側面６０Ａと、上面６０Ｂと、下面６０Ｃとを有する。長尺部品６０の上面６０Ｂは、光路や電極等が形成された微細構造面である。長尺部品６０の軸方向の両端部には、上側に突出する突出部６２が形成されている。

図２、図３に示されるように、複数の長尺部品６０は、複数の溝４６にそれぞれ収容されることにより並列して配置される。この複数の長尺部品６０の並列方向は、平面視で複数の長尺部品６０の軸方向と直交する方向である。また、複数の長尺部品６０は、一例として、上面６０Ｂが上向きの状態で移載元トレイ４０に収容される。

（移載先トレイ７０及び複数の長尺部品６０）
図５は、本実施形態における移載先トレイ７０の斜視図であって、移載先トレイ７０に複数の長尺部品６０が整列された状態を示す図である。また、図６は、図５に対応する移載先トレイ７０の二面図（平面図及び縦断面図）であり、図７は、図６に示される移載先トレイ７０単体の二面図（平面図及び縦断面図）である。

図５〜図７に示されるように、本実施形態に係る長尺部品の整列方法には、移載先トレイ７０が使用される。移載先トレイ７０には、後に詳述するように、上述の移載元トレイ４０（図２参照）から複数の長尺部品６０が移し変えられ、この複数の長尺部品６０が側面６０Ａを下向きに揃えた状態で整列される。この移載先トレイ７０における複数の長尺部品６０の整列方向は、平面視で複数の長尺部品６０の軸方向と直交する方向に相当する。移載先トレイ７０は、「トレイ」の一例であり、本実施形態では、スパッタ成膜用の治具として使用される。

この移載先トレイ７０は、上側に開口する凹部７２を有する。この凹部７２は、上述の移載元トレイ４０の凸部４４（図２、図３参照）を挿入可能な大きさ及び形状を有している。図７に示されるように、移載先トレイ７０に形成された凹部７２の底部７２Ａには、底部７２Ａの厚さ方向に貫通する開口７４が形成されている。この開口７４は、下向きとされた側面６０Ａにスパッタ成膜を施すためのものであり、側面６０Ａは、開口７４を通じて移載先トレイ７０の下側に露出される。

また、凹部７２の底部７２Ａには、複数の長尺部品６０を整列させる複数の整列部７６が設けられている。この複数の整列部７６は、より具体的には、底部７２Ａにおける開口７４を挟んだ両側にそれぞれ設けられた第一整列部７６Ａ及び第二整列部７６Ｂをそれぞれ有している。複数の整列部７６は、同一の形状である。各整列部７６は、上述の移載元トレイ４０の溝４６に挿入可能な大きさ及び形状を有する凸状に形成されている。

図６、図７に拡大して示されるように、各整列部７６は、仮置き面７８と、段差面８０と、縦面８２と、収容凹部８４と、ガイド部８６とを有する。仮置き面７８は、上側を向いており、段差面８０は、仮置き面７８に隣接して一段高く設けられている。縦面８２は、仮置き面７８と段差面８０との間に形成されており、整列部７６の高さ方向に延びている。段差面８０と縦面８２との接続部、つまり、段差面８０の端側には、直角を成す角部８８が形成されている。

収容凹部８４は、段差面８０に対する仮置き面７８と反対側に段差面８０と隣接して設けられており、上側に開口している。収容凹部８４の開口８４Ａは、段差面８０と同じ高さに形成されており、段差面８０と連続している。ガイド部８６は、収容凹部８４の開口８４Ａの周縁部における段差面８０と反対側の縁部に形成されており、収容凹部８４の開口８４Ａに対して上側に突出している。

収容凹部８４には、側面６０Ａが下向きの状態で長尺部品６０が落下して収容される。この収容凹部８４は、側面６０Ａが下向きの状態の長尺部品６０の高さ寸法Ｈよりも幅広に形成されている。後に詳述するように、仮置き面７８には、側面６０Ａが横向きの状態で長尺部品６０が仮置きされる（図２０参照）。仮置き面７８は、長尺部品６０の幅寸法Ｗよりも幅広に形成されており、仮置き面７８に対する段差面８０の高さは、長尺部品６０の高さ寸法Ｈの半分よりも低く設定されている。

また、収容凹部８４の長さ方向の両端部には、凹部９０が形成されている。この凹部９０は、長尺部品６０の軸方向の両端部に形成された突出部６２を挿入可能な大きさ及び形状を有している。

また、各整列部７６には、第二突き当て部５０が形成されている。第二突き当て部５０は、長尺部品６０を、移載先トレイ７０に対して矢印Ｙ２側に位置決めするものであり、仮置き面７８の矢印Ｙ２側の端部に位置し、矢印Ｙ１側を向く面で形成されている。矢印Ｙ１側は、長尺部品６０の軸方向の一方側に相当し、矢印Ｙ２側は、長尺部品６０の軸方向の他方側に相当する。

図８は、図６に示される長尺部品６０と移載先トレイ７０の収容凹部８４との形状を比較する説明図である。（Ａ）は長尺部品６０を示し、（Ｂ）は収容凹部８４を示している。図８に示されるように、長尺部品６０に形成された突出部６２の突出方向の寸法Ａは、収容凹部８４に形成された凹部９０の深さ方向の寸法Ｂよりも大きい寸法に設定されている。これにより、側面が下向きの状態で長尺部品６０が収容凹部８４に収容され、突出部６２の突端面６２Ａが凹部９０の底面９０Ａに突き当たった状態では、長尺部品６０の微細構造面である上面６０Ｂが収容凹部８４の側面８４Ｂに当たることが回避される。

次に、本実施形態に係る長尺部品の整列方法について説明する。

本実施形態に係る長尺部品の整列方法は、複数の工程を備える。この複数の工程には、「移載元トレイ組付工程」、「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」、「トレイ重ね合わせ工程」、「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」、「上下反転・傾斜工程」、及び、「長尺部品整列工程」が含まれる。以下、各工程を順に説明する。

（移載元トレイ組付工程）
図９は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載元トレイ組付工程」を治具１０の斜視図にて説明する図である。図９に示されるように、「移載元トレイ組付工程」では、二つの移載元トレイ４０が一対の第二回転軸３０の軸方向に並べられた状態で回転部２０に取り付けられる。

なお、複数の長尺部品６０は、予め移載元トレイ４０に並列した状態で収容される。この複数の長尺部品６０の並列方向は、複数の長尺部品６０の軸方向と直交する方向である。移載元トレイ４０には、例えばピンセットを用いて複数の長尺部品６０が一つずつ収容される。

ここで、長尺部品６０の上面６０Ｂは、微細構造面であるため、長尺部品６０の上面６０Ｂをピンセットで触れることはできない。そのため、長尺部品６０の上面６０Ｂを上向き又は下向きにする必要がある。本実施形態では、一例として、複数の長尺部品６０は、上面６０Ｂが上向きの状態（換言すれば、側面６０Ａが横向きの状態）で移載元トレイ４０に収容される。

（移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程）
図１０は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を治具１０の斜視図にて説明する図である。図１０に示されるように、「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」では、回転部２０と共に移載元トレイ４０が水平な状態から傾斜される。

このとき、可動部１８の他端部１８Ｂが上側に移動するように可動部１８が傾斜されると共に、回転部２０が回転されることにより、移載元トレイ４０が傾斜される。可動部１８の傾斜は、作業者が傾斜ツマミ２８を操作することにより実行され、回転部２０の回転は、作業者が回転ツマミ３２を操作することにより実行される。

図１５は、図１０に示される「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ４０の斜視図及び拡大平面図にて説明する図である。また、図１６は、図１０に示される「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ４０の縦断面図にて説明する図である。

図１５、図１６に示されるように、移載元トレイ４０が傾斜されると、溝４６に収容されている長尺部品６０が溝４６内を移動する。そして、この長尺部品６０が、溝４６における一方の側面部４６Ｃと一端部４６Ａとの接続部４６Ｅと、一方の側面部４６Ｃとによって形成された第一突き当て部４８に突き当てられる。これにより、長尺部品６０が移載元トレイ４０に対して矢印Ｘ１側及び矢印Ｙ１側に位置決めされる。矢印Ｘ１側は、複数の長尺部品６０の並列方向の一方側に相当し、矢印Ｙ１側は、長尺部品６０の軸方向の一方側に相当する。

（トレイ重ね合わせ工程）
図１１は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「トレイ重ね合わせ工程」を治具１０の斜視図にて説明する図である。図１１に示されるように、「トレイ重ね合わせ工程」では、移載元トレイ４０の上に、移載先トレイ７０が重ね合わされる。移載先トレイ７０は、複数の固定部３４によって回転部２０に固定される。

図１７は、図１１に示される「トレイ重ね合わせ工程」を移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０の二面図（平面図及び縦断面図）にて説明する図である。図１７に示されるように、「トレイ重ね合わせ工程」では、長尺部品６０が移載元トレイ４０に対して矢印Ｘ１側及び矢印Ｙ１側に位置決めされた状態で、移載元トレイ４０の上に移載先トレイ７０が重ね合わされる。

この「トレイ重ね合わせ工程」では、長尺部品６０が移載元トレイ４０に対して矢印Ｘ１側及び矢印Ｙ１側に位置決めされることにより、長尺部品６０が移載先トレイ７０に形成されたガイド部８６よりも仮置き面７８側（矢印Ｘ１側）に配置される。そして、これにより、壁状のガイド部８６と長尺部品６０との干渉が回避される。

（移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程）
図１２は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を治具１０の斜視図にて説明する図である。図１２に示されるように、「移載元トレイに対する長尺部品の位置決め工程」では、移載元トレイ４０（図１１参照）の上に移載先トレイ７０が重ね合わされた状態で、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が水平な状態から傾斜される。

このとき、可動部１８の他端部１８Ｂが下側に移動するように可動部１８が傾斜されると共に、回転部２０が回転されることにより、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が傾斜される。可動部１８の傾斜は、作業者が傾斜ツマミ２８を操作することにより実行され、回転部２０の回転は、作業者が回転ツマミ３２を操作することにより実行される。可動部１８の他端部１８Ｂが下側に移動するように可動部１８が傾斜される際には、ストッパ部材２６が取り除かれ、可動部１８が開口２４に挿入される。

図１８は、図１２に示される「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０の斜視図及び拡大平面図にて示す図である。また、図１９は、図１２に示される「移載先トレイに対する長尺部品の位置決め工程」を移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０の二面図（平面図及び縦断面図）にて説明する図である。

図１８に示されるように、上述の移載先トレイ７０と共に移載元トレイ４０が傾斜されると、溝４６に収容されている長尺部品６０が溝４６内を移動する。そして、この長尺部品６０が、図１９に示される第二突き当て部５０に突き当てられる。これにより、長尺部品６０が移載先トレイ７０に対して矢印Ｙ２側に位置決めされる。矢印Ｙ２側は、長尺部品６０の軸方向の他方側に相当する。

このように長尺部品６０が第二突き当て部５０に突き当てられると、図１９に示されるように、長尺部品６０が収容凹部８４の真横に位置した状態で仮置き面７８と対向する位置に位置決めされる。

なお、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が重ね合わされた状態において、溝４６の底面と仮置き面７８との間の寸法Ｇは、上面６０Ｂが上向きの状態の長尺部品６０の高さ寸法Ｈよりも僅かに大きく設定されている。この寸法Ｇは、移載元トレイ４０の上に移載先トレイ７０が重ね合わされた状態において、長尺部品６０の軸方向周りの回転（矢印Ｒ方向の回転）を移載元トレイ４０の仮置き面７８によって規制し得る程度に設定されている。

（上下反転・傾斜工程）
図１３は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「上下反転・傾斜工程」を治具１０の斜視図にて説明する図である。図１３に示されるように、「上下反転・傾斜工程」では、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が、水平な状態から１８０度回転されて上下反転され、そこからさらに３０度回転して傾斜される。このとき、回転部２０の回転及び傾斜は、作業者が回転ツマミ３２を操作することにより実行される。

図２０は、図１３に示される「上下反転・傾斜工程」を移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０の縦断面図にて説明する図である。図２０に示されるように、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が上下反転されると、側面６０Ａが横向きの状態で長尺部品６０が仮置き面７８に仮置きされる。

そして、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が上下反転されてから、さらに傾斜される。このとき、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０は、長尺部品６０が矢印Ｘ２側に移動するように傾斜される。移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０が傾斜されると、長尺部品６０が矢印Ｘ２側に移動し、移載先トレイ７０に形成された縦面８２に突き当てられる。矢印Ｘ２側は、複数の長尺部品６０の並列方向の他方側に相当する。

（長尺部品整列工程）
図１４は、本実施形態に係る長尺部品の整列方法における「長尺部品整列工程」を治具１０の斜視図にて説明する図である。図１４に示されるように、「長尺部品整列工程」では、移載先トレイ７０が傾斜された状態で、移載元トレイ４０が移載先トレイ７０から取り外される。

図２１は、図１４に示される「長尺部品整列工程」の前半を移載先トレイ７０の縦断面図にて説明する図であり、図２２は、図１４に示される「長尺部品整列工程」の後半を移載先トレイ７０の縦断面図にて説明する図である。

図２１に示されるように、移載先トレイ７０が傾斜された状態で、移載元トレイ４０が移載先トレイ７０から取り外されると、角部８８を支点とする長尺部品６０の軸方向周りの回転が許容される。そして、側面６０Ａが下向きになるように長尺部品６０が角部８８を支点として軸方向周りに９０度回転される。

また、図２２に示されるように、移載先トレイ７０の傾斜状態が維持されると、長尺部品６０が収容凹部８４側に向けて段差面８０上を滑る。そして、長尺部品６０がガイド部８６に当接すると、側面６０Ａが下向きのまま、長尺部品６０が収容凹部８４の内側に落下する。

本実施形態では、以上の要領により、複数の長尺部品６０が側面６０Ａを下向きに揃えた状態で移載先トレイ７０に一括して整列される。複数の長尺部品６０が収容凹部８４の内側に収容された状態では、図５、図６に示されるように、移載先トレイ７０の底部７２Ａに形成された開口７４を通じて側面６０Ａが移載先トレイ７０の下側に露出される。そして、以後、この開口７４を通じて側面６０Ａにスパッタ成膜が施される。

次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。

以上詳述したように、本実施形態によれば、図２０に示されるように、移載先トレイ７０に設けられた仮置き面７８に、複数の長尺部品６０を側面６０Ａが横向きの状態でそれぞれ仮置きする。次いで、図２１に示されるように、移載先トレイ７０を傾斜させることにより、仮置き面７８に隣接して一段高く設けられた段差面８０の端側の角部８８を支点として、複数の長尺部品６０を側面６０Ａが下向きになるように軸方向周りに回転させる。そして、図２２に示されるように、段差面８０に対する仮置き面７８と反対側に段差面８０と隣接して設けられた収容凹部８４の内側に、側面６０Ａが下向きのまま、複数の長尺部品６０をそれぞれ落下させる。これにより、側面６０Ａを下向きに揃えた状態で複数の長尺部品６０を移載先トレイ７０に一括して整列させることができる。

また、図１７に示されるように、複数の長尺部品６０が収容された移載元トレイ４０の上に、移載先トレイ７０を重ね合わせる。そして、図２０に示されるように、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０を上下反転させて複数の長尺部品６０を仮置き面７８に仮置きする。これにより、複数の長尺部品６０を移載元トレイ４０から移載先トレイ７０に一括して移し変えることができる。

また、図１５、図１６に示されるように、移載元トレイ４０を傾斜させて移載元トレイ４０の第一突き当て部４８に複数の長尺部品６０を突き当てて、複数の長尺部品６０を移載元トレイ４０に対して位置決めする。そして、複数の長尺部品６０を移載元トレイ４０に対して位置決めした状態で、図１７に示されるように、移載元トレイ４０の上に移載先トレイ７０を重ね合わせる。これにより、移載先トレイ７０に形成されたガイド部８６と長尺部品６０との干渉を回避することができる。

また、移載元トレイ４０の上に移載先トレイ７０を重ね合わせた状態で、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０を傾斜させる。そして、図１８、図１９に示されるように、移載先トレイ７０の第二突き当て部５０に複数の長尺部品６０を突き当てて、長尺部品６０を収容凹部８４の真横に位置した状態で仮置き面７８と対向する位置に位置決めする。これにより、移載先トレイ７０を傾斜させたときには、角部８８を支点として長尺部品６０を軸方向周りに９０度回転させた後に、この長尺部品６０を収容凹部８４の内側に円滑に落下させることができる。

また、図２０に示されるように、移載元トレイ４０の上に移載先トレイ７０を重ね合わせた状態では、複数の長尺部品６０の軸方向周りの回転を移載元トレイ４０によって規制する。そして、図２１に示されるように、移載先トレイ７０を傾斜させると共に、移載元トレイ４０を移載先トレイ７０から取り外すことにより、角部８８を支点として、複数の長尺部品６０を軸方向周りに回転させる。これにより、移載元トレイ４０を移載先トレイ７０から取り外すまでは複数の長尺部品６０の回転を抑制することができる。

また、図２１、図２２に示されるように、移載先トレイ７０の傾斜状態を維持することで、段差面８０上において複数の長尺部品６０を収容凹部８４側に向けて滑らせる。そして、複数の長尺部品６０をガイド部８６に当接させ、側面６０Ａが下向きのまま、複数の長尺部品６０を収容凹部８４の内側に落下させる。したがって、ガイド部８６で案内することにより、複数の長尺部品６０を収容凹部８４の内側に円滑に落下させることができる。

次に、本実施形態の変形例について説明する。

上記実施形態において、複数の長尺部品６０は、上面６０Ｂが上向きの状態で移載元トレイ４０に収容されているが、上面６０Ｂが下向きの状態で移載元トレイ４０に収容されても良い。

また、上記実施形態において、「上下反転・傾斜工程」では、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０を上下反転させてからさらに傾斜させ、その後に、移載元トレイ４０を移載先トレイ７０から取り外している。しかしながら、移載元トレイ４０及び移載先トレイ７０を上下反転させてから移載元トレイ４０を移載先トレイ７０から取り外し、その後に、移載先トレイ７０を傾斜させても良い。そして、これにより、角部８８を支点として、複数の長尺部品６０を軸方向周りに回転させても良い。

また、上記実施形態において、長尺部品６０は、断面四角形状の一例として、断面矩形状に形成されているが、例えば、断面台形状など、断面矩形状以外の断面四角形状でも良い。また、長尺部品６０は、一対の側面６０Ａと、上面６０Ｂと、下面６０Ｃとを有していれば、断面形状はどのような形状でも良い。さらに、一対の側面６０Ａ、上面６０Ｂ、下面６０Ｃは、平面以外に凹凸面でも良く、また、湾曲面でも良い。

また、上記実施形態において、複数の長尺部品６０は、角部８８を支点として軸方向周りに９０度回転されるが、側面６０Ａと下面６０Ｃの成す角度が９０度以外である場合には、その成す角度に応じた回転角度で回転されても良い。

また、上記実施形態において、治具１０は、手動で操作されているが、アクチュエータ等により自動で操作されても良い。

また、上記実施形態において、移載先トレイ７０は、スパッタ成膜用の治具に適用されているが、スパッタ成膜用の治具以外に適用されても良い。

また、上記実施形態において、長尺部品６０は、光学部品であるが、光学部品以外でも良い。

また、上記実施形態において、長尺部品６０の上面６０Ｂは、微細構造面であるが、微細構造面以外でも良い。

また、上記実施形態において、長尺部品の整列方法は、長尺部品６０の側面６０Ａにスパッタ成膜を施す工程に対して適用されているが、それ以外の工程に対して適用されても良い。

また、上記複数の変形例のうち組み合わせ可能な変形例は、適宜、組み合わされても良い。

以上、本願の開示する技術の一実施形態について説明したが、本願の開示する技術は、上記に限定されるものでなく、上記以外にも、その主旨を逸脱しない範囲内において種々変形して実施可能であることは勿論である。

なお、上述の本願の開示する技術の一実施形態に関し、更に以下の付記を開示する。

（付記１）
トレイに設けられた仮置き面に、複数の長尺部品を側面が横向きの状態でそれぞれ仮置きし、
前記トレイを傾斜させることにより、前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面の端側の角部を支点として、前記複数の長尺部品を前記側面が下向きになるように軸方向周りに回転させ、
前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられた収容凹部の内側に、前記側面が下向きのまま、前記複数の長尺部品をそれぞれ落下させる、
ことを含む長尺部品の整列方法。
（付記２）
前記複数の長尺部品が収容された移載元トレイの上に、前記トレイとしての移載先トレイを重ね合わせ、
前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを上下反転させて前記複数の長尺部品を前記仮置き面に仮置きする、
付記１に記載の長尺部品の整列方法。
（付記３）
前記移載元トレイを傾斜させて前記移載元トレイの第一突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めし、
前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めした状態で、前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせ、
前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態で、前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを傾斜させて前記移載先トレイの第二突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記仮置き面と対向する位置に位置決めする、
付記２に記載の長尺部品の整列方法。
（付記４）
前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態では、前記複数の長尺部品の軸方向周りの回転を前記移載元トレイによって規制し、
前記移載先トレイを傾斜させると共に、前記移載元トレイを前記移載先トレイから取り外すことにより、前記角部を支点として、前記複数の長尺部品を軸方向周りに回転させる、
付記２又は付記３に記載の長尺部品の整列方法。
（付記５）
前記移載元トレイに前記複数の長尺部品を軸方向と直交する方向に並列して収容し、
前記移載先トレイで前記複数の長尺部品を軸方向と直交する方向に整列させる、
付記２〜付記４のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記６）
前記トレイは、スパッタ成膜用の治具である、
付記１〜付記５のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記７）
前記収容凹部の内側に前記複数の長尺部品をそれぞれ落下させることにより、前記トレイの底部に形成された開口を通じて前記側面を露出させる、
付記１〜付記６のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記８）
前記開口は、前記側面にスパッタ成膜を施すための開口である、
付記７に記載の長尺部品の整列方法。
（付記９）
前記長尺部品は、光学部品である、
付記１〜付記８のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記１０）
前記長尺部品は、断面四角形状である、
付記１〜付記９のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記１１）
前記長尺部品の上面は、微細構造面である、
付記１〜付記１０のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記１２）
前記複数の長尺部品を前記上面が上向き又は下向きの状態で前記トレイに収容する、
付記１〜付記１１のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記１３）
前記長尺部品は、断面矩形状であり、
前記トレイを傾斜させることにより、前記角部を支点として、前記複数の長尺部品を前記側面が下向きになるように軸方向周りに９０度回転させる、
付記１〜付記１２のいずれか一項に記載の長尺部品の整列方法。
（付記１４）
複数の長尺部品を整列させる複数の整列部を有するトレイであって、
前記整列部は、
上側を向く仮置き面と、
前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面と、
前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられ、上側に開口する収容凹部と、
を有する、
トレイ。
（付記１５）
前記整列部は、前記収容凹部の開口の周縁部における前記段差面と反対側の縁部に形成され、前記収容凹部の開口に対して上側に突出するガイド部をさらに有する、
付記１４に記載のトレイ。

１０ 治具
４０ 移載元トレイ
４８ 第一突き当て部
５０ 第二突き当て部
６０ 長尺部品
６０Ａ 側面
６０Ｂ 上面
６０Ｃ 下面
７０ 移載先トレイ（トレイの一例）
７６ 整列部
７８ 仮置き面
８０ 段差面
８２ 縦面
８４ 収容凹部
８４Ａ 開口
８６ ガイド部
８８ 角部

Claims (6)

1. トレイに設けられた仮置き面に、複数の長尺部品を側面が横向きの状態でそれぞれ仮置きし、
   前記トレイを傾斜させることにより、前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面の端側の角部を支点として、前記複数の長尺部品を前記側面が下向きになるように軸方向周りに回転させ、
   前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられた収容凹部の内側に、前記側面が下向きのまま、前記複数の長尺部品をそれぞれ落下させる、
   ことを含む長尺部品の整列方法。
2. 前記複数の長尺部品が収容された移載元トレイの上に、前記トレイとしての移載先トレイを重ね合わせ、
   前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを上下反転させて前記複数の長尺部品を前記仮置き面に仮置きする、
   請求項１に記載の長尺部品の整列方法。
3. 前記移載元トレイを傾斜させて前記移載元トレイの第一突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めし、
   前記複数の長尺部品を前記移載元トレイに対して位置決めした状態で、前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせ、
   前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態で、前記移載元トレイ及び前記移載先トレイを傾斜させて前記移載先トレイの第二突き当て部に前記複数の長尺部品を突き当てて、前記複数の長尺部品を前記仮置き面と対向する位置に位置決めする、
   請求項２に記載の長尺部品の整列方法。
4. 前記移載元トレイの上に前記移載先トレイを重ね合わせた状態では、前記複数の長尺部品の軸方向周りの回転を前記移載元トレイによって規制し、
   前記移載先トレイを傾斜させると共に、前記移載元トレイを前記移載先トレイから取り外すことにより、前記角部を支点として、前記複数の長尺部品を軸方向周りに回転させる、
   請求項２又は請求項３に記載の長尺部品の整列方法。
5. 複数の長尺部品を整列させる複数の整列部を有するトレイであって、
   前記整列部は、
   上側を向く仮置き面と、
   前記仮置き面に隣接して一段高く設けられた段差面と、
   前記段差面に対する前記仮置き面と反対側に前記段差面と隣接して設けられ、上側に開口する収容凹部と、
   を有する、
   トレイ。
6. 前記整列部は、前記収容凹部の開口の周縁部における前記段差面と反対側の縁部に形成され、前記収容凹部の開口に対して上側に突出するガイド部をさらに有する、
   請求項５に記載のトレイ。