JP2019042901A - 加工装置及びそれを用いた加工方法 - Google Patents

Abstract

【課題】加工装置を研削加工とホーニング加工とを１台で行うことができ、かつ小型で複雑な構成を要しないものにする。
【解決手段】研削砥石６５を有する研削加工ユニット６と、ホーニング砥石７５を有するホーニング加工ユニット７とが並列して設けられ、Ｚ方向に移動可能なツールテーブル４１を備える。また、ワークＷを回転可能に支持して、研削加工位置とホーニング加工位置とに位置付けられるようＸ方向にワークＷを送るワークテーブル５２を備える。ワークＷ及び研削砥石６５を回転させて研削加工した後、ホーニング加工位置にワークＷを送り、ワークＷを回転させるとともに、ホーニング砥石７５をワークＷとは逆方向に回転させつつ拡径させてホーニング加工する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークに形成された円筒内面を加工する加工装置及びそれを用いた加工方法に関するものである。

従来より、例えば、コンプレッサの軸受や油圧部品、燃料噴射ノズル等、高精度な加工が要求される円筒状のワークにおいて、その円筒内面に対して加工を施す際に、研削専用の研削加工装置と、仕上げとしてホーニング加工専用のホーニング加工装置とを設け、これら２台の装置間をローダやロボット等で接続して、ワークをそれぞれの装置に送って加工することが知られている。しかし、２台の装置を別々に設けるために、広いスペースを要するとともに、設備コストが高くなる。さらに、研削加工装置とホーニング加工装置とにワークを移載して位置決めを行う時間を要し、時間的なロスが問題となる。

そこで、例えば特許文献１に示されるように、研削加工装置とホーニング加工装置とを備えた加工装置が提案されている。具体的には、１２０°間隔で放射状に延びる３本のアームを有する回転板を備える。これらのアームの先端位置に対応するように、研削盤（研削加工ユニット）、ホーニング盤（ホーニング加工ユニット）及びワーク交換部が配置される。そして、これらのアームの先端で加工済みのワークを把持して１２０°旋回させてワークを送り、研削盤、ホーニング盤、ワーク交換部それぞれに位置付けられたワークに対して作業を行うものとなっている。ホーニング盤においては、ワーク内に進入させたホーニング砥石を回転させてホーニング加工を行う。

そして、極小径のワークの円筒内面をホーニング加工する場合においては、ワークの内径に合わせて極細のホーニング砥石や砥石軸が用いられており、加工精度を確保するためには、大径のワーク加工時と同じ周速を維持してホーニング加工する必要がある。そのために、ホーニング砥石及び砥石軸を高速回転させることが求められている。

特開２０００−１２７０３９号公報

しかし、上記従来の特許文献１のものでは、３本のアームの先端でワークを把持して１２０°ずつ旋回させた後、研削盤、ホーニング盤、ワーク交換部それぞれにワークを位置付けて作業を行うため、構造の複雑化や設備の大型化を招来し、コスト的にも不利となる。

また、上記特許文献１のものを極小径のワークのホーニング加工に適用した場合、大径のワークの加工時と同じ周速を維持するためにホーニング砥石や砥石軸を高速回転させる必要があるところ、これら自体の高速回転には限度があり、高精度なホーニング加工ができないおそれがある。

本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、加工装置を１台で研削加工とホーニング加工とを行うことができ、さらにワークの円筒内面を高精度にホーニング加工できるものにすることにある。

上記の目的を達成するために、この発明では、１台の加工装置に研削加工ユニット及びホーニング加工ユニットを並列して設け、回転するワークをそれぞれに対応する位置に移動させるようにして、且つ回転するワークと逆方向にホーニング砥石を回転させる構成とした。

具体的には、第１の発明では、ワークに形成された円筒内面を加工する加工装置が前提である。そして、ワークに形成された円筒内面を加工する加工装置において、
研削砥石を有する研削加工ユニット及びホーニング砥石を有するホーニング加工ユニットが並列して設けられたツールテーブルと上記ホーニング加工ユニットに設けられ、上記ホーニング砥石を回転させるホーニング砥石回転機構と、上記ワークを回転可能に支持するワークテーブルと、上記ワークテーブルに支持された上記ワークに対して、上記研削砥石及び上記ホーニング砥石を進退させるように上記ツールテーブルを移動させるツールテーブル移動機構と、上記研削加工ユニット及び上記ホーニング加工ユニットの並列方向に上記ワークテーブルを移動させて上記ワークを送るワーク送り機構と、少なくとも上記ツールテーブル移動機構、上記ワーク送り機構及び上記ホーニング砥石回転機構を制御する制御装置とを備え、上記制御装置は、上記ワーク及び上記研削砥石を回転させて上記ワークの上記円筒内面を研削加工した後、上記ワークテーブルを移動させて上記ホーニング加工ユニットに対応する位置に上記ワークを送り、該ワークを回転させるとともに上記ホーニング砥石を上記ワークとは逆方向に回転させて上記ワークの上記円筒内面をホーニング加工するように構成されている。

この第１の発明では、ワークに対して進退するように設けられたツールテーブルに、研削加工ユニット及びホーニング加工ユニットが並設されている。そしてその並列方向に、ワークを支持するワークテーブルが移動する。よって、回転するワークに対してツールテーブルを進退させて研削加工を行った後、ワークをホーニング加工ユニットに送って、回転するワークに対してツールテーブルを進退させて、ホーニング加工を行うことができる。よって、複雑な構成を要することなく、１台の加工装置でワークに研削加工及びホーニング加工を施すことができ、作業効率が向上する。また、加工装置の小型化やコスト削減に貢献する。さらに、ワークの回転とは逆方向にホーニング砥石を回転させることで、ワークの円筒内面に対するホーニング砥石の周速度を相対的に上げることができるので、高精度なホーニング加工が可能となる。

第２の発明では、第１の発明において、上記ワークテーブルに対して上記ワークを回転可能に支持するワーク回転機構を備え、上記ワーク送り機構は、上記ワーク回転機構によって上記ワークを回転させた状態で、該ワークを上記研削加工ユニットに対応する位置から上記ホーニング加工ユニットに対応する位置に送るように上記ワークテーブルを移動させるよう、設けられている。

この第２の発明では、ワークを研削加工ユニットに対応する位置からホーニング加工ユニットに対応する位置に送るまでの間、ワークを回転した状態とすることができる。よって、ワークの研削加工後、ワークをホーニング加工ユニットに送ってホーニング加工がなされるまでの間に、ワークの回転数を調整することができるので、加工のサイクルタイムを短縮することができる。

第３の発明では、第１の発明において、上記ワークテーブルに対して上記ワークを回転可能に保持する主軸及び該主軸を回転させるワーク回転機構を備え、上記主軸は、該主軸の回転中心軸と上記ワークの回転中心軸とが一致した状態で上記ワークを保持するようになっており、上記ワーク送り機構は、上記主軸の回転中心軸が、上記ホーニング砥石の拡径中心軸と一致する位置に上記ワークテーブルを移動させるようになっている。

この第３の発明では、主軸とワークの回転中心軸が一致した状態で保持されているので、主軸とホーニング砥石の拡径中心軸とを一致させることで、ワークの回転中心軸とホーニング砥石の拡径中心軸とを一致させることができる。よって、ホーニング加工の際の位置合わせが容易であり、サイクルタイムの短縮化や作業効率の向上に有用である。

第４の発明では、第１から第３のいずれか１つの加工装置を用いた加工方法において、上記研削砥石を上記ワークの上記円筒内面側に進入させて、上記ワーク及び上記研削砥石を回転させて上記ワークの上記円筒内面を研削加工した後、上記ワークを回転させたままの状態で上記ワークを上記ホーニング加工ユニットに対応する位置に送り、上記ホーニング砥石を上記ワークの上記円筒内面側に進入させて、上記ワークを回転させるとともに上記ホーニング砥石を上記ワークとは逆方向に回転させて、上記ワークの上記円筒内面をホーニング加工する。

この第４の発明では、研削加工後のワークを回転させたままの状態で、ホーニング加工ユニットに対応する位置に送ることができる。そして、ホーニング砥石をワークの上記円筒内面側に進入させて拡径させるとともに回転しているワークとは逆方向にホーニング砥石を回転させることで、ワークの円筒内面に対するホーニング砥石の周速度を相対的に上げることができ、高精度なホーニング加工が可能となる。

以上説明したように、本発明によると、ワーク及び研削砥石を回転させてワークの円筒内面を研削加工した後、ワークテーブルを移動させてホーニング加工ユニットに対応する位置にワークを送り、このワークを回転させるとともにホーニング砥石を拡径させてワークの円筒内面をホーニング加工するようにしたことにより、加工装置を、１台で研削加工とホーニング加工とを行うことができ、かつ小型で複雑な構成を要しないものにすることができる。さらに、ワークとホーニング砥石とを互いに逆方向に回転させることでワークの円筒内面に対するホーニング砥石の周速度が相対的に上がり、高精度なホーニング加工が可能となる。

図１は、本発明の実施形態に係る加工装置の概略斜視図である。 図２は、本発明の実施形態に係る加工装置の概略斜視図である。 図３は、本発明の実施形態に係る加工装置によるホーニング加工の作業状態を説明するための概略断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものでは全くない。

本発明の加工装置１による被加工物であるワークＷは、円筒状からなり、本発明の加工装置１においては、その円筒内面Ｗ１に加工を施す。本実施形態においては、特に、例えばワークＷの内径の直径が５ｍｍといった極小径のワークＷを加工する場合を例に挙げて説明する。

図１及び図２に示すように、加工装置１は、直方体形状のベッド２とベッド２の後方側に側方に立設された直方体形状のコラム３とを備え、ベッド２とコラム３とで側面視略Ｌ字形状をなすように構成されている。コラム３の前側には、後述するツールテーブル４１がスライド可能に取付けられるツールガイド３１が設けられている。

なお、以下においては、コラム３の正面側（図１における紙面手前側）を前側、背面側を後側、上下をそのまま上側、下側と称し、正面を向いた加工装置１から見た右側（図１における紙面左側）及び左側（図１における紙面右側）をそれぞれ右側、左側と称す。また、左右方向をＸ方向、前後方向をＹ方向、上下方向をＺ方向と称す。

また、加工装置１は、コラム３の前側に設けられ、ワークＷの円筒内面Ｗ１を加工する加工部４と、ベッド２上に設置され、ワークＷを支持するワーク支持部５と、を備える。

次に、加工装置１の詳細構造を以下にて説明する。

ワーク支持部５は、ベッド２の上面側に固定されたスライドレール部５１と、スライドレール部５１にＸ方向にスライド可能に取付けられたワークテーブル５２と、ワークテーブル５２の上面側に、ワークＷを保持する主軸５３と、主軸５３を支持する主軸台５４と、を有する。ワークＷは、例えば磁石やチャック等で、主軸５３に、Ｚ方向に延びる軸（以下、Ｚ軸と称す）を回転中心軸として矢印で示す方向（図１において、上方からの平面視で反時計回り方向）に回転可能に保持される。

ワーク送り機構を構成するＸ軸モータ５６、ワーク回転機構を構成する主軸回転モータ５７及び加工装置１の全体を制御する制御装置５８が、ベッド２の内部に設けられている。

ワークテーブル５２は、Ｘ軸モータ５６の作動により、Ｘ方向へスライド可能にスライドレール部５１に取付けられている。具体的には、後述する研削加工ユニット６によってワークＷの円筒内面Ｗ１が研削加工される内面研削位置から、後述するホーニング加工ユニット７によってワークＷの円筒内面Ｗ１がホーニング加工されるホーニング位置に、ワークＷを送るようにＸ方向へ移動する。また、主軸５３は、主軸回転モータ５７の作動により、Ｚ軸を回転中心軸として、矢印で示す方向、すなわちワークＷと同方向に回転可能に、主軸台５４を介してワークテーブル５２に支持されている。

このとき、ワークＷの回転中心軸は、主軸５３の回転中心軸と一致するように主軸５３に保持されている。よって、主軸５３及びワークＷは、回転中心軸を同じくして回転することとなる。

加工部４は、コラム３の前面側に固定されたツールガイド３１に対してＺ方向へスライド移動可能に取付けられたツールテーブル４１を備える。ツールテーブル４１には、研削加工ユニット６及びホーニング加工ユニット７が左右（Ｘ方向）に近接して、並列に設けられている。そして、ツールテーブル移動機構を構成するＺ軸モータ４２が、コラム３の内部に設けられている。

研削加工ユニット６は、ツールテーブル４１の前面側に取付けられた矩形状の内面研削本体部６１と、内面研削本体部６１のさらに前面側に取付けられた内面研削支持部６２と、内面研削支持部６２の内側に設けられたモータ６３と、モータ６３の下側に取付けられた研削砥石軸６４と、研削砥石軸６４の下端部に取付けられた研削砥石６５と、を備える。

研削砥石軸６４は、Ｚ軸を回転中心軸として矢印で示す方向（図１において、上方からの平面視で時計回り方向）に回転可能に取付けられている。モータ６３の作動により、研削砥石軸６４がＺ軸を中心に平面視で時計回りに回転し、研削砥石軸６４と一緒に研削砥石６５が回転する。研削砥石６５は円筒状からなり、その外径はワークＷの円筒の内径よりも小さくなっている。この研削砥石６５を、ワークＷの円筒内に進入させて、円筒内面Ｗ１に研削砥石６５が押し付けられつつ、ワークＷとともに回転させることによって、ワークＷの円筒内面Ｗ１が研削加工されるようになっている。このとき、ワークＷの回転方向は平面視で反時計回りであり、すなわち研削砥石軸６４及びワークＷの回転方向が互いに逆方向となるため、相対的に回転数が高まり、高精度な加工ができるようになっている。

ホーニング加工ユニット７は、ツールテーブル４１の前面側に取付けられた矩形状のホーニング本体部７１と、ホーニング本体部７１のさらに前面側に取付けられたホーニング支持部７２と、ホーニング支持部７２の内側に設けられたホーニング砥石回転機構としてのホーニング砥石回転モータ７３と、ホーニング砥石回転モータ７３の下側に取付けられたホーニング砥石軸７４と、ホーニング砥石軸７４のさらに下端部に設けられたホーニング砥石７５とを備える。

ホーニング砥石回転モータ７３によって、ホーニング砥石軸７４及びホーニング砥石７５がＺ軸を回転中心として、図２に矢印で示す方向（図２において、上方からの平面視で時計回り方向）に回転可能となっている。このとき、ワークＷの回転方向は平面視で反時計回りであり、すなわちホーニング砥石７５及びワークＷの回転方向が互いに逆方向となるため、相対的に回転数が高まり、高精度な加工ができるようになっている。

特に、本実施形態のように、極小径のワークＷを加工する場合には、ホーニング砥石軸７４が極細でホーニング砥石７５が１つのものを用いる。そして、極細のホーニング砥石軸７４は撓みやすく、それ自体を高速回転させることに限度がある。そうしたところ、本実施形態によると、ワークＷとホーニング砥石７５とを互いに逆回転させることにより、相対的に回転数を高めることができる。

制御装置５８は、加工装置１の各種機器の作動を制御するものであり、本実施形態では、例えば、ツールテーブル移動機構を構成するＺ軸モータ４２、ワーク送り機構を構成するＸ軸モータ５６、ワーク回転機構を構成する主軸回転モータ５７、ホーニング砥石回転機構を構成するホーニング砥石回転モータ７３を制御するように設けられている。

次に、ホーニング加工ユニット７の詳細構造を図３に基づいて説明する。

ホーニング砥石７５は、ホーニング砥石軸７４の下端部に一体に形成された保持枠体７９と、保持枠体７９の下部に形成されたスリット７９ａから出入りする砥石片７８とを備える。

ホーニング砥石軸７４及び保持枠体７９の内部に、例えば、ＮＣ制御や油圧等によって上下（Ｚ方向）に摺動可能な駆動シャフト７６が設けられている。駆動シャフト７６の下部には、下方に向かって縮径する円錐状のテーパー部７７が上下に２つ設けられている。

砥石片７８は、ホーニング砥石７５の周方向に１つ設けられている。また、砥石片７８は、駆動シャフト７６のテーパー部７７のテーパー面７７ａに接触可能なテーパー面７８ａを備える。この砥石片７８が、保持枠体７９に形成されたスリット７９ａから出入りすることで、ホーニング砥石７５がＺ軸を中心に拡径するようになっている。以下、この拡径の中心となるＺ軸を拡径中心軸と称す。

具体的には、テーパー部７７（駆動シャフト７６）がＺ方向下方に摺動することによって、テーパー部７７に接触した砥石片７８が拡径中心軸を中心として周方向外側に飛び出して、拡径するようになっている。また、テーパー部７７がＺ方向上方に摺動することによって、テーパー部７７に接触する砥石片７８が拡径中心軸を中心として周方向内側に引っ込んで、元の径に戻るようになっている。ワークＷをホーニング加工する際には、ワークＷの円筒内に進入したホーニング砥石７５の砥石片７８が飛び出して、すなわちホーニング砥石７５が拡径してワークＷの円筒内面Ｗ１に当接した状態でホーニング砥石７５及びワークＷが回転することにより、ホーニング加工できるようになっている。

次に、ワークＷの加工方法について説明する。

ワークＷの円筒内面Ｗ１を研削加工するときには、図１に示すように、主軸５３と回転中心軸を同じくして保持されたワークＷが、研削加工ユニット６に対応する位置、すなわち研削加工ユニット６に対向する内面研削位置に位置付けられるよう、Ｘ軸モータ５６を作動させてＸ方向にワークテーブル５２を動かす。このとき、主軸５３及びワークＷは、主軸回転モータ５７の作動により回転した状態となっている。そして、ワークＷが内面研削位置にある状態で、Ｚ軸モータ４２の作動により、ツールテーブル４１をＺ軸方向に下降させる。そうすると、研削砥石６５がワークＷの円筒内面Ｗ１内に進入する。そして、モータ６３の作動により、研削砥石６５がＺ軸回りに回転しながら、回転するワークＷの円筒内面Ｗ１に押し付けられて、ワークＷの円筒内面Ｗ１を研削加工する。なお、研削砥石６５をワークＷの円筒内面Ｗ１内に進入させた後で、ワークＷをＺ軸回りに回転させるようにしてもよい。また、研削砥石６５をワークＷの円筒内面Ｗ１内に進入させた後で、研削砥石６５を回転させるようにしてもよいが、加工時間の短縮のためには、研削砥石６５を回転させながらワークＷの円筒内面Ｗ１に進入させる方が好ましい。

そして、この研削加工の後で、ワークＷの円筒内面Ｗ１をホーニング加工する。具体的には、Ｚ軸モータ４２の作動により、ツールテーブル４１をＺ軸方向に上昇させて、図１に示す状態に戻す。すなわち、研削砥石６５をワークＷの円筒内面Ｗ１から退避させる。そして、ワークＷが回転している状態のままでＸ軸モータ５６を作動させて、ワークＷが、ホーニング加工ユニット７に対応する位置、すなわちホーニング加工ユニット７に対向するホーニング加工位置に位置付けられるよう、ワークテーブル５２をＸ方向に動かす（図２）。

このとき、ワークＷの回転中心軸と主軸５３の回転中心軸とは一致した状態となっているため、ワークテーブル５２を、主軸５３の回転中心軸とホーニング砥石７５の拡径中心軸とが一致する位置に動かすことで、ワークＷの回転中心軸とホーニング砥石７５の拡径中心軸とが一致することとなる。よって、ホーニング加工位置へのワークＷの位置決めが容易となり、高精度かつ短時間で位置決めすることができる。

また、ワークＷが回転した状態のままでホーニング加工位置にワークを送るので、例えば、ワークＷの移動中やホーニング加工位置への位置決めの間に、ワークＷの回転数の加減の調整が可能であり、サイクルタイムを短縮できる。

そして、ワークＷがホーニング加工位置に位置付けられると、Ｚ軸モータ４２の作動により、ツールテーブル４１をＺ軸方向に下降させる。そうすると、ホーニング砥石７５がワークＷの円筒内面Ｗ１内に進入する。それから、図３に示すように、ホーニング砥石７５を拡径中心軸を中心として周方向外側に拡径させて、ワークＷの円筒内面Ｗ１に当接させる。それとともに、ホーニング砥石回転モータ７３を作動させる。そうすると、ホーニング砥石軸７４及びホーニング砥石７５が図２における平面視で時計回り方向、すなわちワークＷの回転と逆方向に回転する。このことによって、ワークＷの円筒内面Ｗ１に対するホーニング砥石７５の周速度が相対的に上がり、すなわちワークＷとホーニング砥石７５との相対回転速度が上がるので、ワークＷの円筒内面Ｗ１を高精度にホーニング加工できる。

以上述べたように、本実施形態によると、Ｚ軸モータ４２の作動によりＺ方向に往復動するツールテーブル４１に、左右に並列して研削加工ユニット６及びホーニング加工ユニット７が設けられている。そのため、１つのＺ軸モータ４２で、研削加工ユニット６とホーニング加工ユニット７とをＺ方向に往復動させることができる。また、ワークＷを回転させるようになっているため、ホーニング砥石７５をワークＷとは逆方向に回転させつつ拡径させることで、相対的な回転数が高くなり、高精度なホーニング加工を行うことができる。

特に、本実施形態のように極小径のワークＷのホーニング加工においては、精度を高めるためにこれよりも大径のワークと同じ周速度でホーニング砥石７５を回転させることが要求されるところ、従来のようにホーニング砥石側のみが回転するものでは、このような高速回転が達成できなかった。それに対して、本実施形態では、ワークＷがホーニング砥石７５とは逆方向に回転するため、相対回転速度を高速にすることが可能となり、極小径のワークＷにおいても高精度なホーニング加工を行うことができる。

このように、複雑な構造を要しないので、加工装置１の小型化及びコスト削減に有用であり、１台の加工装置１で、研削加工と高精度なホーニング加工とを行うことができる。

（その他の実施形態）
本実施形態では、ワーク支持部５のワークテーブル５２がＸ方向に移動可能で、研削加工ユニット６及びホーニング加工ユニット７がＺ方向に移動可能としているが、移動方向はこれに限られるものではない。例えば、どちらか少なくとも一方を前後方向、すなわちＹ方向に移動可能に設けてもよい。

また、本実施形態では、Ｘ方向を左右方向、Ｙ方向を前後方向、Ｚ方向を上下方向としているが、これに限られるのものではなく、例えば、Ｘ方向が上下方向となるように構成してもよい。

また、本実施形態では、研削加工が終わった後、ワークＷの回転を維持したままホーニング加工位置に送ってホーニング加工を開始するようにしているが、研削加工後からホーニング加工開始までの間に、一旦ワークＷの回転を止めてもよい。

また、本実施形態では、Ｘ軸モータ５６、主軸回転モータ５７及び制御装置５８をベッド２の内部に設けたが、設置場所はこれに限られるものではなく、外付けであってもよい。

また、本実施形態では、ツールテーブル移動機構としてＺ軸モータ、ワーク送り機構としてＸ軸モータ、ワーク回転機構として主軸回転モータ、ホーニング砥石回転機構としてホーニング砥石回転モータ７３を設けるようにしたが、それぞれを作動させる機能を果たせばよいものであり、モータに限られるものではない。

また、本実施形態では、極小径のワークＷを挙げて説明したため、ホーニング砥石７５は１つとしたが、これに限られるものではなく、極小径のワークＷよりも大径のワークにも適用できるものであり、その場合には、周方向に複数のホーニング砥石を設けたものを用いればよい。

１ 加工装置
４１ ツールテーブル
４２ Ｚ軸モータ（ツールテーブル移動機構）
５２ ワークテーブル
５３ 主軸
５６ Ｘ軸モータ（ワーク送り機構）
５７ 主軸回転モータ（ワーク回転機構）
５８ 制御装置
６ 研削加工ユニット
６５ 研削砥石
７ ホーニング加工ユニット
７３ ホーニング砥石回転モータ（ホーニング砥石回転機構）
７５ ホーニング砥石
Ｗ ワーク
Ｗ１ 円筒内面

Claims (4)

1. ワークに形成された円筒内面を加工する加工装置において、
   研削砥石を有する研削加工ユニット及びホーニング砥石を有するホーニング加工ユニットが並列して設けられたツールテーブルと、
   上記ホーニング加工ユニットに設けられ、上記ホーニング砥石を回転させるホーニング砥石回転機構と、
   上記ワークを回転可能に支持するワークテーブルと、
   上記ワークテーブルに支持された上記ワークに対して、上記研削砥石及び上記ホーニング砥石を進退させるように上記ツールテーブルを移動させるツールテーブル移動機構と、
   上記研削加工ユニット及び上記ホーニング加工ユニットの並列方向に上記ワークテーブルを移動させて上記ワークを送るワーク送り機構と、
   少なくとも上記ツールテーブル移動機構、上記ワーク送り機構及び上記ホーニング砥石回転機構を制御する制御装置とを備え、
   上記制御装置は、上記ワーク及び上記研削砥石を回転させて上記ワークの上記円筒内面を研削加工した後、上記ワークテーブルを移動させて上記ホーニング加工ユニットに対応する位置に上記ワークを送り、該ワークを回転させるとともに上記ホーニング砥石を上記ワークとは逆方向に回転させて上記ワークの上記円筒内面をホーニング加工するように構成されていることを特徴とする加工装置。
2. 請求項１において、
   上記ワークテーブルに対して上記ワークを回転可能に支持するワーク回転機構を備え、
   上記ワーク送り機構は、上記ワーク回転機構によって上記ワークを回転させた状態で、該ワークを上記研削加工ユニットに対応する位置から上記ホーニング加工ユニットに対応する位置に送るように上記ワークテーブルを移動させるよう、設けられていることを特徴とする加工装置。
3. 請求項１において、
   上記ワークテーブルに対して上記ワークを回転可能に保持する主軸及び該主軸を回転させるワーク回転機構を備え、
   上記主軸は、該主軸の回転中心軸と上記ワークの回転中心軸とが一致した状態で上記ワークを保持するようになっており、
   上記ワーク送り機構は、上記主軸の回転中心軸が、上記ホーニング砥石の拡径中心軸と一致する位置に上記ワークテーブルを移動させるようになっていることを特徴とする加工装置。
4. 請求項１から３のいずれか１つの加工装置を用いた加工方法において、
   上記研削砥石を上記ワークの上記円筒内面側に進入させて、上記ワーク及び上記研削砥石を回転させて上記ワークの上記円筒内面を研削加工した後、
   上記ワークを回転させたままの状態で上記ワークを上記ホーニング加工ユニットに対応する位置に送り、
   上記ホーニング砥石を上記ワークの上記円筒内面側に進入させて、上記ワークを回転させるとともに上記ホーニング砥石を上記ワークとは逆方向に回転させて、上記ワークの上記円筒内面をホーニング加工することを特徴とする加工装置を用いた加工方法。

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