JP2019032192A - 検査用データ生成装置、検査システムおよび検査用データ生成処理用プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】各種不良が生じ得る検査対象の良否を的確に判別可能な検査用データを提供する。【解決手段】処理部２３が、データ生成処理において、良品試料Ｘａに関する各測定値ａ０を一階微分した演算値ａ１および二階微分した演算値ａ２を導出すると共に、不良品試料Ｘｂに関する各測定値ｂ０を一階微分した演算値ｂ１および二階微分した演算値ｂ２を導出する第１の処理と、各測定値ａ０および各演算値ａ１，ａ２に基づいて被判別値Ａ０，Ａ１，Ａ２を演算すると共に、各測定値ｂ０および各演算値ｂ１，ｂ２に基づいて被判別値Ｂ０，Ｂ１，Ｂ２を演算する第２の処理とを実行し、被判別値Ａ０，Ｂ０との相違の度合、被判別値Ａ１，Ｂ１との相違の度合、および被判別値Ａ２，Ｂ２との相違の度合に基づいて良否判別条件の１つを規定して検査用データＤｉを生成する。【選択図】図１

Description

本発明は、検査対象と同種の良品の試料についての測定値データ、および検査対象と同種の不良品の試料についての測定値データに基づき、検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを生成する技術に関するものである。

例えば、下記の特許文献には、電動機や発電機などの回転機における巻線の良否を診断可能に構成された巻線診断システム（以下、単に「診断システム」ともいう）の発明が開示されている。この診断システムによる巻線の良否診断に際しては、まず、診断対象の巻線に対してインパルス電圧発生回路からインパルス電圧を印加すると共に、巻線における両端間の電圧値を所定のサンプリング周期でサンプリング（測定）する。これにより、巻線の状態に応じた減衰振動波形が観測される。なお、実際には、回転子を所定の角度ずつ回転させて同様の処理繰り返し行うが、背景技術についての理解を容易とするために、回転子の回転に関する説明を省略する。

次いで、巻線およびインパルス電圧発生回路から構成される回路における等価回路定数のレジスタンスをＲとし、インダクタンスをＬとし、キャパシタンスをＣとし、かつ巻線およびインパルス電圧発生回路から構成される回路をＲＬＣの直列回路と見なして、その直列回路における各等価回路定数の乗算値ＬＣおよびＲＣ（以下「ＬＣ値」、「ＲＣ値」ともいう）を擬似逆行列を用いて算出する。この際には、上記の測定処理によって得られた測定値（電圧値）が最小となる時点、または、測定値のゼロクロス時（電圧値が０Ｖとなった時点）をサンプリング開始の基準（ＬＣ値およびＲＣ値を算出する測定値範囲の始点）とし、かつ電圧波形の半周期以上の予め規定された数（一例として、１０点以上の）測定値を用いてＬＣ値およびＲＣ値を算出する。

この後、算出したＬＣ値と良品のＬＣ値との相違、および算出したＲＣ値と良品のＲＣ値との相違に基づいて検査対象の巻線が良品か不良品かが診断される。

特許５７２１５８１号公報（第８−１３頁、第１−１８図）

ところが、上記の特許文献に開示の診断システムの構成には、以下のような問題点が存在する。具体的には、上記特許文献に開示の診断システムでは、巻線の両端間にインパルス電圧を印加して両端間の電圧値をサンプリング（測定）し、観測される減衰振動波形のうちの予め規定された時点の測定値（最小値、またはゼロクロス時の測定値）を始点とする予め規定された数（電圧波形の半周期以上の１０点以上）の測定値を対象として演算したＬＣ値およびＲＣ値に基づいて巻線の良否が診断される構成が採用されている。

一方、出願人は、上記の診断システムによる良否診断の手順と同様の手順に従って巻線部品（巻線）の良否の検査を試みたところ、巻線部品の種類や、巻線部品に生じている不良の種類によっては、その巻線が良品であるか不良品であるかの判別が困難となることがあることを見出した。この場合、上記の特許文献に開示の診断システムによる良品診断手順や、出願人が試みた良否検査手順では、巻線部品の状態に応じて（すなわち、巻線部品が良品であるか不良品であるかに応じて）インパルス電圧を印加した際の減衰振動波形に差異が生じる現象を利用している。そこで、出願人は、各種の不良が生じている巻線部品を対象としてインパルス電圧印加後の減衰振動波形を観察したところ、巻線部品の種類や、巻線部品に生じている不良の種類によっては、不良品の減衰振動波形と良品の減衰振動波形との相違の度合いが非常に低くなる（両波形が殆ど同じ形状となる）ことがあるのを見出した。

このような場合には、不良品についての測定値に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値と、良品についての測定値に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値とが同程度の値となる。したがって、上記の特許文献に開示の診断システムの構成では、検査対象の巻線部品についての測定処理時に、ノイズ等の影響による僅かな測定誤差が生じたときに、不良品であるにも拘わらず良品についての測定値に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値と同程度のＬＣ値やＲＣ値が演算されたり、良品であるにも拘わらず不良品についての測定値に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値と同程度のＬＣ値やＲＣ値が演算されたりすることがある。このため、巻線部品の種類や、巻線部品に生じている不良の種類によっては、巻線部品の良否を正しく判定するのが非常に困難となっている。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、各種の不良が生じ得る検査対象の良否を的確に判別可能な検査用データを提供し得る検査用データ生成装置および検査用データ生成処理用プログラム、並びに、そのような検査用データに基づく検査対象の検査を実行し得る検査システムを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の検査用データ生成装置は、検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮａ回（Ｎａは、２以上の自然数）の測定処理Ａによって当該予め規定された時間分の複数の測定値ａ０がそれぞれ記録されたＮａ個の測定値データＡと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記測定処理Ａと同じ測定条件で行なわれたＮｂ回（Ｎｂは、２以上の自然数）の測定処理Ｂによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｂ０がそれぞれ記録されたＮｂ個の測定値データＢとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記測定処理Ａおよび前記測定処理Ｂと同じ測定条件で行なわれるＮｃ回（Ｎｃは、２以上の自然数）の測定処理Ｃによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｃ０がそれぞれ記録されるＮｃ個の測定値データＣに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各測定値データＡおよび前記各測定値データＢに基づいて生成するデータ生成処理を実行する処理部を備え、前記処理部は、前記データ生成処理において、前記各測定値ａ０を一階微分した複数の演算値ａ１、および当該各測定値ａ０を二階微分した複数の演算値ａ２を前記各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、前記各測定値ｂ０を一階微分した複数の演算値ｂ１、および当該各測定値ｂ０を二階微分した複数の演算値ｂ２を前記各測定値データＢ毎にそれぞれ導出する第１の処理と、予め規定された測定値範囲内の前記各測定値ａ０、当該測定値範囲に対応する演算値範囲内の前記各演算値ａ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ａ１に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、前記測定値範囲内の前記各測定値ｂ０、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する第２の処理とを実行し、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合に基づいて前記良否判別条件の１つを規定して前記検査用データを生成する。

また、請求項２記載の検査用データ生成装置は、請求項１記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記データ生成処理において、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合が、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合よりも高いときには、前記各測定値データＣにおける前記測定値範囲内の前記各測定値ｃ０、当該測定値範囲内の当該各測定値ｃ０を一階微分した複数の演算値ｃ１、および当該測定値範囲内の当該各測定値ｃ０を二階微分した複数の演算値ｃ２に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ０を演算して当該被判別値Ｃ０に基づいて前記検査対象の良否を判別するとの条件を前記良否判別条件の１つとして規定し、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合が、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合よりも高いときには、前記各演算値ｃ１に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ１を演算して当該被判別値Ｃ１に基づいて前記検査対象の良否を判別するとの条件を前記良否判別条件の１つとして規定し、前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合が、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、および前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合よりも高いときには、前記各演算値ｃ２に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ２を演算して当該被判別値Ｃ２に基づいて前記検査対象の良否を判別するとの条件を前記良否判別条件の１つとして規定して前記検査用データを生成する。

また、請求項３記載の検査用データ生成装置は、請求項１または２記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記データ生成処理において、前記検査対象の検査時に前記測定値データＣに記録されている前記各測定値ｃ０のうちのいずれの当該測定値ｃ０から他のいずれの当該測定値ｃ０までの当該各測定値ｃ０を前記測定値範囲内の測定値ｃ０とすべきかを特定可能な対象測定値範囲を前記良否判別条件の他の１つとして規定するときに、前記対象測定値範囲の始点に対応する前記測定値ａ０および前記測定値ｂ０と当該対象測定値範囲の終点に対応する前記測定値ａ０および前記測定値ｂ０との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（Ｍは、２以上の自然数）の仮範囲を規定し、当該各仮範囲を前記測定値範囲として前記第１の処理および前記第２の処理を当該Ｍ種類の仮範囲毎にそれぞれ実行すると共に、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合を前記Ｍ種類の仮範囲毎にそれぞれ特定して、当該相違の度合いが予め規定された条件を満たす関係となる当該仮範囲を特定する第３の処理を実行し、特定した前記仮範囲を前記対象測定値範囲として前記検査用データを生成する。

さらに、請求項４記載の検査用データ生成装置は、請求項３記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記第３の処理において、前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の前記被判別値Ａ０のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎａ個の被判別値Ａ０のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の前記被判別値Ｂ０毎に、前記良品最小値よりも小さい当該被判別値Ｂ０については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該被判別値Ｂ０については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎｂ個の被判別値Ｂ０の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する処理と、前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の前記被判別値Ａ１のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎａ個の被判別値Ａ１のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の前記被判別値Ｂ１毎に、前記良品最小値よりも小さい当該被判別値Ｂ１については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該被判別値Ｂ１については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎｂ個の被判別値Ｂ１の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する処理と、前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の前記被判別値Ａ２のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎａ個の被判別値Ａ２のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の前記被判別値Ｂ２毎に、前記良品最小値よりも小さい当該被判別値Ｂ２については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該被判別値Ｂ２については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎｂ個の被判別値Ｂ２の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する処理とを実行する。

また、請求項５記載の検査用データ生成装置は、請求項４記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記第３の処理において、前記合計値を前記良品最小値と前記良品最大値との差で除した値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する。

さらに、請求項６記載の検査用データ生成装置は、請求項３から５のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記第３の処理において、Ｎａ個の前記被判別値Ａ０の分布とＮｂ個の前記被判別値Ｂ０の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の前記仮範囲毎にそれぞれ数値化し、Ｎａ個の前記被判別値Ａ１の分布とＮｂ個の前記被判別値Ｂ１の分布との相違の度合いを当該予め規定された基準に従って当該Ｍ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、かつＮａ個の前記被判別値Ａ２の分布とＮｂ個の前記被判別値Ｂ２の分布との相違の度合いを当該予め規定された基準に従って当該Ｍ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、当該数値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

また、請求項７記載の検査用データ生成装置は、請求項６記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記第３の処理において、前記Ｍ種類の仮範囲のうちの１つを対象として、対象の当該仮範囲における前記始点に対応する測定値ａ０との相違量がＬａサンプリング周期以下（Ｌａは、自然数）の前記測定値ａ０を始点とする前記仮範囲であって、かつ当該対象の仮範囲における前記終点に対応する測定値ａ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下（Ｌｂは、自然数）の前記測定値ａ０を終点とする当該仮範囲の前記数値と、当該対象の仮範囲における前記始点に対応する測定値ｂ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の前記測定値ｂ０を始点とする前記仮範囲であって、かつ当該対象の仮範囲における前記終点に対応する測定値ｂ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の前記測定値ｂ０を終点とする当該仮範囲の前記数値とをそれぞれ特定し、特定した当該各数値のうちの最小値を前記対象の仮範囲に関連付ける処理を当該Ｍ個の仮範囲をそれぞれ前記対象の仮範囲として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい前記仮範囲ほど前記予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして当該予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

さらに、請求項８記載の検査用データ生成装置は、請求項３から７のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記予め規定された時間内に前記測定値ａ０が予め規定されたしきい値を超える状態および当該予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する前記各測定値データＡ、および当該予め規定された時間内に前記測定値ｂ０が前記予め規定されたしきい値を超える状態および当該予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する前記各測定値データＢを取得すると共に、前記データ生成処理において、前記予め規定された時間分の前記各測定値ａ０のうちのＫ回目（Ｋは、自然数）に前記予め規定されたしきい値を超えた当該測定値ａ０、および前記予め規定された時間分の前記各測定値ｂ０のうちのＫ回目に当該予め規定されたしきい値を超えた当該測定値ｂ０と、前記予め規定された時間分の前記各測定値ａ０のうちのＫ回目に前記予め規定されたしきい値を下回った当該測定値ａ０、および前記予め規定された時間分の前記各測定値ｂ０のうちのＫ回目に当該予め規定されたしきい値を下回った当該測定値ｂ０とのいずれか予め規定された一方を基準として前記Ｍ種類の仮範囲を規定する。

また、請求項９記載の検査用データ生成装置は、請求項３から８のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記第３の処理によって特定した前記対象測定値範囲を報知する特定結果報知処理を実行する。

さらに、請求項１０記載の検査用データ生成装置は、請求項９記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定結果報知処理において、少なくとも前記各測定値データＡ、前記測定値データＢおよび前記測定値データＣのうちの少なくとも１つに基づく波形を表示装置に表示させると共に、前記対象測定値範囲を前記波形に対応させて表示させることで報知する。

また、請求項１１記載の検査用データ生成装置は、請求項１から１０のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記測定値データＡに記録されている各測定値ａ０をＪ１個おき（Ｊ１は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値ａ０、当該抽出した各測定値ａ０に対応する前記各演算値ａ１、および当該抽出した各測定値ａ０に対応する前記各演算値ａ２を使用して前記被判別値Ａ０、前記被判別値Ａ１および前記被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、前記測定値データＢに記録されている各測定値ｂ０をＪ２個おき（Ｊ２は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値ｂ０、当該抽出した各測定値ｂ０に対応する前記各演算値ｂ１、および当該抽出した各測定値ｂ０に対応する前記各演算値ｂ２を使用して前記被判別値Ｂ０、前記被判別値Ｂ１および前記被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する。

また、請求項１２記載の検査システムは、請求項１から１１のいずれかに記載の検査用データ生成装置と、前記測定処理Ａを実行して前記測定値データＡを生成し、かつ前記測定処理Ｂを実行して前記測定値データＢを生成すると共に、前記測定処理Ｃを実行して前記測定値データＣを生成可能に構成された測定装置と、前記検査用データ生成装置によって生成された検査用データ、および前記測定装置によって生成された前記測定値データＣに基づいて前記検査対象の良否を検査する検査装置とを備えて当該検査対象の良否を検査可能に構成されている。

また、請求項１３記載の検査用データ生成処理用プログラムは、検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮａ回（Ｎａは、２以上の自然数）の測定処理Ａによって当該予め規定された時間分の複数の測定値ａ０がそれぞれ記録されたＮａ個の測定値データＡと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記測定処理Ａと同じ測定条件で行なわれたＮｂ回（Ｎｂは、２以上の自然数）の測定処理Ｂによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｂ０がそれぞれ記録されたＮｂ個の測定値データＢとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記測定処理Ａおよび前記測定処理Ｂと同じ測定条件で行なわれるＮｃ回（Ｎｃは、２以上の自然数）の測定処理Ｃによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｃ０がそれぞれ記録されるＮｃ個の測定値データＣに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各測定値データＡおよび前記各測定値データＢに基づいて生成するデータ生成処理を検査用データ生成装置の処理部に実行させると共に、前記データ生成処理において、前記各測定値ａ０を一階微分した複数の演算値ａ１、および当該各測定値ａ０を二階微分した複数の演算値ａ２を前記各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、前記各測定値ｂ０を一階微分した複数の演算値ｂ１、および当該各測定値ｂ０を二階微分した複数の演算値ｂ２を前記各測定値データＢ毎にそれぞれ導出する第１の処理と、予め規定された測定値範囲内の前記各測定値ａ０、当該測定値範囲に対応する演算値範囲内の前記各演算値ａ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ａ１に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、前記測定値範囲内の前記各測定値ｂ０、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する第２の処理とを実行し、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合に基づいて前記良否判別条件の１つを規定して前記検査用データを生成する処理を前記処理部に実行させる。

請求項１記載の検査用データ生成装置では、処理部が、検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを生成するデータ生成処理において、良品の試料についての各測定値ａ０を一階微分した複数の演算値ａ１、および各測定値ａ０を二階微分した複数の演算値ａ２を各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、不良品の試料についての各測定値ｂ０を一階微分した複数の演算値ｂ１、および各測定値ｂ０を二階微分した複数の演算値ｂ２を各測定値データＢ毎にそれぞれ導出する第１の処理と、各測定値ａ０、各演算値ａ１および各演算値ａ２に基づいて対応する各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ０をそれぞれ演算し、各演算値ａ１に基づいて対応する各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ１をそれぞれ演算し、かつ各演算値ａ２に基づいて対応する各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、各測定値ｂ０、各演算値ｂ１および各演算値ｂ２に基づいて対応する各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ０をそれぞれ演算し、各演算値ｂ１に基づいて対応する各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ１をそれぞれ演算し、かつ各演算値ｂ２に基づいて対応する各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する第２の処理とを実行し、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合、被判別値Ａ１と被判別値Ｂ１との相違の度合、および被判別値Ａ２と被判別値Ｂ２との相違の度合に基づいて良否判別条件の１つを規定して検査用データを生成する。

また、請求項２記載の検査用データ生成装置では、処理部が、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合が、被判別値Ａ１と被判別値Ｂ１との相違の度合、および被判別値Ａ２と被判別値Ｂ２との相違の度合よりも高いときには、各測定値データＣにおける測定値範囲内の各測定値ｃ０、測定値範囲内の各測定値ｃ０を一階微分した複数の演算値ｃ１、および測定値範囲内の各測定値ｃ０を二階微分した複数の演算値ｃ２に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ０を演算して被判別値Ｃ０に基づいて検査対象の良否を判別するとの条件を良否判別条件の１つとして規定し、被判別値Ａ１と被判別値Ｂ１との相違の度合が、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合、および被判別値Ａ２と被判別値Ｂ２との相違の度合よりも高いときには、各演算値ｃ１に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ１を演算して被判別値Ｃ１に基づいて検査対象の良否を判別するとの条件を良否判別条件の１つとして規定し、被判別値Ａ２と被判別値Ｂ２との相違の度合が、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合、および被判別値Ａ１と被判別値Ｂ１との相違の度合よりも高いときには、各演算値ｃ２に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ２を演算して被判別値Ｃ２に基づいて検査対象の良否を判別するとの条件を良否判別条件の１つとして規定して検査用データを生成する。

また、請求項１２記載の検査システムでは、データ生成処理を実行する検査用データ生成装置と、良品の試料、不良品の試料および検査対象についての測定処理を実行して測定値データＡ、測定値データＢおよび測定値データＣを生成する測定装置と、検査用データおよび測定値データＣに基づいて検査対象の良否を検査する検査装置とを備えて検査対象の良否を検査可能に構成されている。さらに、請求項１３記載の検査用データ生成処理用プログラムでは、上記のデータ生成処理を検査用データ生成装置の処理部に実行させる。

したがって、請求項１，２記載の検査用データ生成装置、請求項１２記載の検査システム、および請求項１３記載の検査用データ生成処理用プログラムによれば、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合いが十分に高くなるような種類の不良が生じ得る検査対象については、検査対象についての測定値データＣにおける各測定値ｃ０に基づいて被判別値Ｃ０を演算して良否を判別するとの良否判別条件が規定された検査用データが生成され、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合いがそれほど高くならない種類の不良が生じ得る検査対象については、検査対象についての測定値データＣにおける各測定値ｃ０を一階微分した演算値ｃ１に基づいて演算される被判別値Ｃ１や、検査対象についての測定値データＣにおける各測定値ｃ０を二階微分した演算値ｃ２に基づいて演算される被判別値Ｃ２に基づいて良否を判別するとの良否判別条件が規定された検査用データが生成されるため、この検査用データに基づいて検査を実行することで、各種の検査対象の良品を的確に判別することができる。

請求項３記載の検査用データ生成装置では、処理部が、データ生成処理において、検査対象の検査時に測定値データＣに記録されている各測定値ｃ０のうちのいずれの測定値ｃ０から他のいずれの測定値ｃ０までの各測定値ｃ０を測定値範囲内の測定値ｃ０とすべきかを特定可能な対象測定値範囲を良否判別条件の他の１つとして規定するときに、対象測定値範囲の始点に対応する測定値ａ０および測定値ｂ０と対象測定値範囲の終点に対応する測定値ａ０および測定値ｂ０との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類の仮範囲を規定し、各仮範囲を測定値範囲として第１の処理および第２の処理をＭ種類の仮範囲毎にそれぞれ実行すると共に、被判別値Ａ０と被判別値Ｂ０との相違の度合、被判別値Ａ１と被判別値Ｂ１との相違の度合、および被判別値Ａ２と被判別値Ｂ２との相違の度合をＭ種類の仮範囲毎にそれぞれ特定して、相違の度合いが予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する第３の処理を実行し、特定した仮範囲を対象測定値範囲として検査用データを生成する。

したがって、請求項３記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、検査対象の種類や、測定環境の相違に応じて、検査対象についての測定値データＣに記録されている各測定値ｃ０のうちから、良品の試料についての被判別値Ａ０、被判別値Ａ１または被判別値Ａ２と、不良品の試料についての被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１または被判別値Ｂ２とが大きく相違する関係となる対象測定値範囲が自動的に特定されて検査用データが生成されるため、この検査用データに基づいて検査対象を検査することによって各種の不良が生じ得る検査対象の良否を的確に判別することができる。

請求項４記載の検査用データ生成装置では、処理部が、第３の処理において、Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の被判別値Ａ０のうちの最小値である良品最小値、およびＮａ個の被判別値Ａ０のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の被判別値Ｂ０毎に、良品最小値よりも小さい被判別値Ｂ０については良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ良品最大値よりも大きい被判別値Ｂ０については良品最大値との差を不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、Ｎｂ個の被判別値Ｂ０の各不良度合値の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する処理と、Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の被判別値Ａ１のうちの最小値である良品最小値、およびＮａ個の被判別値Ａ１のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の被判別値Ｂ１毎に、良品最小値よりも小さい被判別値Ｂ１については良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ良品最大値よりも大きい被判別値Ｂ１については良品最大値との差を不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、Ｎｂ個の被判別値Ｂ１の各不良度合値の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する処理と、Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の被判別値Ａ２のうちの最小値である良品最小値、およびＮａ個の被判別値Ａ２のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の被判別値Ｂ２毎に、良品最小値よりも小さい被判別値Ｂ２については良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ良品最大値よりも大きい被判別値Ｂ２については良品最大値との差を不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、Ｎｂ個の被判別値Ｂ２の各不良度合値の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する処理とを実行する。

したがって、請求項４記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、良品の試料においても生じ得る被判別値のばらつきの影響を排除することができるため、対象測定値範囲に相応しい仮範囲を好適に特定して検査用データを生成することができる。

請求項５記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、第３の処理において、合計値を良品最小値と良品最大値との差で除した値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定することにより、良品最小値や良品最大値との差が同程度の被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２となる仮範囲に関し、良品最小値と良品最大値との差が大きい仮範囲（良品の試料についての被判別値Ａ０、被判別値Ａ１および被判別値Ａ２のばらつきが大きい仮範囲）よりも、良品最小値と良品最大値との差が小さい仮範囲（良品の試料についての被判別値Ａ０、被判別値Ａ１および被判別値Ａ２のばらつきが小さい仮範囲）の方が大きな値が演算されるため、良品の試料についての被判別値Ａ０、被判別値Ａ１および被判別値Ａ２のばらつきの範囲に対する差が大きい被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２が演算され得る仮範囲、すなわち、検査対象の良否を一層確実に判別し得る仮範囲を好適に特定して検査用データを生成することができる。

請求項６記載の検査用データ生成装置では、処理部が、第３の処理において、Ｎａ個の被判別値Ａ０の分布とＮｂ個の被判別値Ｂ０の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、Ｎａ個の被判別値Ａ１の分布とＮｂ個の被判別値Ｂ１の分布との相違の度合いを予め規定された基準に従ってＭ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、かつＮａ個の被判別値Ａ２の分布とＮｂ個の被判別値Ｂ２の分布との相違の度合いを予め規定された基準に従ってＭ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、数値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

したがって、請求項６記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、良品の試料についての被判別値Ａ０、被判別値Ａ１および被判別値Ａ２の分布と、不良品の試料についての被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２の分布とが大きい仮範囲を的確に特定することができる。

請求項７記載の検査用データ生成装置では、処理部が、第３の処理において、Ｍ種類の仮範囲のうちの１つを対象として、対象の仮範囲における始点に対応する測定値ａ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の測定値ａ０を始点とする仮範囲であって、かつ対象の仮範囲における終点に対応する測定値ａ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の測定値ａ０を終点とする仮範囲の数値と、対象の仮範囲における始点に対応する測定値ｂ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の測定値ｂ０を始点とする仮範囲であって、かつ対象の仮範囲における終点に対応する測定値ｂ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の測定値ｂ０を終点とする仮範囲の数値とをそれぞれ特定し、特定した各数値のうちの最小値を対象の仮範囲に関連付ける処理をＭ個の仮範囲をそれぞれ対象の仮範囲として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい仮範囲ほど予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

したがって、請求項７記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、不良品の試料についての測定処理Ｂ時に突発的に生じた測定値のずれに起因して被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２が大きくなったような仮範囲が対象測定値範囲として特定される事態を招くことなく、その始点や終点が同様の仮範囲においても被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２が十分に大きな値となる仮範囲、すなわち、不良品の試料に生じている定常的な不良の影響で良品の試料についての測定値とは異なる値となる測定値を含んでいる仮範囲を対象測定値範囲として特定して検査用データを生成することができる。

請求項８記載の検査用データ生成装置では、処理部が、予め規定された時間内に測定値ａ０が予め規定されたしきい値を超える状態および予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する各測定値データＡ、および予め規定された時間内に測定値ｂ０が予め規定されたしきい値を超える状態および予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する各測定値データＢを取得すると共に、データ生成処理において、予め規定された時間分の各測定値ａ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値ａ０、および予め規定された時間分の各測定値ｂ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値ｂ０と、予め規定された時間分の各測定値ａ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値ａ０、および予め規定された時間分の各測定値ｂ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値ｂ０とのいずれか予め規定された一方を基準としてＭ種類の仮範囲を規定する。

したがって、請求項８記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、良品の試料についての測定処理Ａ時や、不良品の試料についての測定処理Ｂ時に測定値データＡや測定値データＢの始点に僅かなずれが生じた場合であっても、すべての測定値データにおいて、同じ基準を満たす測定値（Ｋ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値ａ０，ｂ０、または、Ｋ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値ａ０，ｂ０）を基準として仮範囲の始点を特定することができるため、測定値データＡおよび測定値データＢにおける始点の僅かなずれの影響を排除して、対象測定値範囲に相応しい仮範囲を特定することができる。

請求項９記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、第３の処理によって特定した対象測定値範囲を報知する特定結果報知処理を実行することにより、どのような範囲に含まれる測定値を対象として検査対象の良否が検査されるかを利用者に対して確実かつ容易に認識させることができる。

請求項１０記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、特定結果報知処理において、少なくとも各測定値データＡ、測定値データＢおよび測定値データＣのうちの少なくとも１つに基づく波形を表示装置に表示させると共に、対象測定値範囲を波形に対応させて表示させることで報知することにより、どのような範囲に含まれる測定値を対象として検査対象の良否が検査されるかを利用者に対して一層容易に認識させることができる。

請求項１１記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、測定値データＡに記録されている各測定値ａ０をＪ１個おきに抽出し、抽出した各測定値ａ０、抽出した各測定値ａ０に対応する各演算値ａ１、および抽出した各測定値ａ０に対応する各演算値ａ２を使用して被判別値Ａ０、被判別値Ａ１および被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、測定値データＢに記録されている各測定値ｂ０をＪ２個おきに抽出し、抽出した各測定値ｂ０、抽出した各測定値ｂ０に対応する各演算値ｂ１、および抽出した各測定値ｂ０に対応する各演算値ｂ２を使用して被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２をそれぞれ演算することにより、仮範囲に含まれるすべての測定値を対象として被判別値Ａ０、被判別値Ａ１および被判別値Ａ２や被判別値Ｂ０、被判別値Ｂ１および被判別値Ｂ２を演算する場合と比較して、演算対象の測定値の数が少なくて済む分だけ、処理部にかかる負担や、演算結果を一時的に記憶するメモリの容量を十分に小さくすることができる。

検査システム１の構成を示す構成図である。 検査対象にインパルス電圧を印加したときに測定される減衰振動波形の一例について説明するための説明図である。 測定値Ｄ０の波形Ｗ０の一例について説明するための説明図である。 演算値Ｄ１の波形Ｗ１の一例について説明するための説明図である。 演算値Ｄ２の波形Ｗ２の一例について説明するための説明図である。 測定値Ｄ０ｆの波形Ｗ０ｆの一例について説明するための説明図である。 演算値Ｄ１ｆの波形Ｗ１ｆの一例について説明するための説明図である。 演算値Ｄ２ｆの波形Ｗ２ｆの一例について説明するための説明図である。 検査システム１におけるデータ処理装置３の表示部２２に表示される特定結果表示３１の一例を示す表示画面図である。 良品試料Ｘａについての測定値に基づいて演算されるＬＣ値（ＲＣ値）、および不良品試料Ｘｂについての測定値に基づいて演算されるＬＣ値（ＲＣ値）の一例について説明するための説明図である。 良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）の分布と、不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の一例について説明するための説明図である。 良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）の分布と、不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の他の一例について説明するための説明図である。 検査対象値範囲の種類と、良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）および不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の数値化について説明するための説明図である。 検査対象値範囲の種類と、良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）および不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の数値化について説明するための他の説明図である。 検査システム１におけるデータ処理装置３の表示部２２に表示される測定結果表示画面４０の一例を示す表示画面図である。

以下、検査用データ生成装置、検査システムおよび検査用データ生成処理用プログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、検査システム１の構成について説明する。図１に示す検査システム１は、「測定装置」、「検査用データ生成装置」および「検査装置」を一体的に備えた「検査システム」の一例である「インパルス試験システム」であって、測定装置２およびデータ処理装置３を備えて検査対象Ｘ（「検査対象」の一例）の良否を検査することができるように構成されている。この場合、検査対象Ｘは、「検査対象」の一例であって、本例では、一例として巻線部品（コイル）を検査対象Ｘとして良否を検査する例について説明する。なお、この検査対象Ｘについては、検査対象Ｘと同種の（同じ型式製品の）巻線部品である良品試料Ｘａ（「良品の試料」の一例）、および検査対象Ｘと同種の（同じ型式製品の）巻線部品である不良品試料Ｘｂ（「不良品の試料」の一例）がそれぞれ用意されているものとする。

測定装置２は、「測定装置」に相当し、一例として、データ処理装置３の制御に従い、検査対象Ｘ、良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂを対象とする各種の測定処理を実行可能に構成されている。具体的には、測定装置２は、測定信号発生部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、処理部１３および記憶部１４などを備えている。測定信号発生部１１は、処理部１３の制御に従って測定対象（検査対象Ｘ、良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂなど）の両端間に測定信号としてのインパルス電圧を印加する。Ａ／Ｄ変換部１２は、一例として、処理部１３の制御に従い、指定された周期（サンプリング周期：測定周期）で測定対象の両端間の電圧値をＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄ０（サンプリング値）を処理部１３に順次出力する。

処理部１３は、測定装置２を総括的に制御する。具体的には、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して測定対象にインパルス電圧を印加させると共に、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して任意の周期で電圧値のＡ／Ｄ変換処理（サンプリング処理）を実行させる。また、処理部１３は、Ａ／Ｄ変換部１２から出力される測定値Ｄ０を記憶部１４に記憶させ、かつ測定値Ｄ０に基づいて測定値データＤｍを生成して記憶部１４に記憶させると共に、生成した測定値データＤｍをデータ処理装置３に出力する。記憶部１４は、処理部１３の動作プログラムのデータや、上記の測定値Ｄ０および測定値データＤｍなどを記憶する。なお、実際の測定装置２には、測定装置２の動作条件を指示するための各種の操作スイッチや、測定条件の設定画面および測定値の表示画面などを表示する表示部を備えて構成されているが、これらについての図示および説明を省略する。

一方、データ処理装置３は、「検査用データ生成装置」に相当し、測定装置２から出力される良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍに基づき、検査対象Ｘについての検査を行うための検査用データＤｉを生成する。また、データ処理装置３は、「検査装置」に相当し、生成した検査用データＤｉ、および測定装置２から出力される検査対象Ｘについての測定値データＤｍに基づき、検査対象Ｘの良否を検査する。この場合、本例の検査システム１では、一例として、「検査用データ生成処理用プログラム」に相当するプログラムデータＤｐが既存のパーソナルコンピュータにインストールされてデータ処理装置３が構成されている。

具体的には、このデータ処理装置３は、操作部２１、表示部２２、処理部２３および記憶部２４を備えている。操作部２１は、キーボード、およびマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスを備え（図示せず）、これらに対する操作に応じた操作信号を処理部２３に出力する。表示部２２は、「表示装置」の一例であって、処理部２３の制御に従い、図９に示す特定結果表示３１や、図１５に示す測定結果表示画面４０などの各種の表示画面を表示する。

処理部２３は、「処理部」の一例であって、データ処理装置３を総括的に制御する。具体的には、処理部２３は、後述するようにプログラムデータＤｐに従い、測定装置２を制御して良品試料Ｘａを対象とする測定処理（「測定処理Ａ」の一例）、および不良品試料Ｘｂを対象とする測定処理（「測定処理Ｂ」の一例）を実行させると共に、測定装置２から出力される測定値データＤｍに基づいて検査用データＤｉを生成する処理（「データ生成処理」の一例）を実行する。なお、検査用データＤｉの生成処理については、後に詳細に説明する。

また、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、測定装置２を制御して検査対象Ｘを対象とする測定処理（「測定処理Ｃ」の一例）を実行させると共に、生成した検査用データＤｉ、および検査システム１から出力される測定値データＤｍに基づいて検査対象Ｘの良否を検査する検査処理を実行する。なお、この検査処理についても、後に詳細に説明する。記憶部２４は、プログラムデータＤｐ（処理部２３の動作プログラムのデータ）や、検査システム１から出力される測定値データＤｍ、処理部２３によって生成される演算値データＤｃ１，Ｄｃ２および検査用データＤｉなどを記憶する。

次に、検査システム１による検査対象Ｘの検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、データ処理装置３にプログラムデータＤｐをインストールする作業や、測定装置２とデータ処理装置３とを接続する作業については既に完了しているものとする。

検査対象Ｘを検査するための検査用データＤｉの生成に際しては、まず、良品試料Ｘａを対象とする測定処理によって測定値データＤｍを得ると共に、不良品試料Ｘｂを対象とする測定処理によって測定値データＤｍを得る。この際には、良品試料Ｘａを対象とする複数回の測定処理を実行して複数の測定値データＤｍを得ると共に、不良品試料Ｘｂを対象とする複数回の測定処理を実行して複数の測定値データＤｍを得ることにより、後に、これらの測定値データＤｍに基づいて検査用データＤｉを生成する際に、検査対象Ｘの検査時に行なわれる測定処理においても生じ得る測定値Ｄ０のばらつきの程度を反映した検査用データＤｉを生成することが可能となる。

具体的には、まず、データ処理装置３の操作部２１を操作して検査用データＤｉの生成処理の開始を指示する。この際に、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、一例として「良品の試料をセットして下さい。」とのメッセージを表示部２２に表示させる。これに応じて、利用者は、測定装置２（測定信号発生部１１およびＡ／Ｄ変換部１２）を良品試料Ｘａに接続する。次いで、データ処理装置３の処理部２３がプログラムデータＤｐに従って測定装置２を制御することにより、一例として、良品試料Ｘａについての３０回（Ｎａ＝３０回の例）の測定処理（「測定処理Ａ」の一例）を実行させる。

この際に、測定装置２では、処理部１３が、まず、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して処理部２３から指示されたサンプリング周期（「予め規定されたサンプリング周期」の一例）での電圧値のサンプリング（測定）を開始させる。これにより、Ａ／Ｄ変換部１２から良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０（良品試料Ｘａの両端間の電圧値：「測定値ａ０」の一例）が順次出力されて記憶部１４に記憶される。また、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して良品試料Ｘａにインパルス電圧を印加させる。この際には、良品試料Ｘａの両端間の測定値Ｄ０（電圧値）が、図２に示す減衰振動波形のように変化する。

次いで、処理部１３は、一例として、良品試料Ｘａに対するインパルス電圧の印加を開始させる直前の時点ｔｓから、処理部２３によって指示された時間ＴＡが経過した時点ｔｅにおいて、この時間ＴＡ内にＡ／Ｄ変換部１２から出力された複数の測定値Ｄ０，Ｄ０・・を記録して測定値データＤｍ（「測定処理Ａによって予め規定された時間分の複数の測定値ａ０がそれぞれ記録されたＮａ個の測定値データＡ」のうちの１個の一例）を生成し、生成した測定値データＤｍを記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、生成した測定値データＤｍをデータ処理装置３に出力する。これにより、Ｎａ＝３０回の測定処理のうちの１回が完了する。

この場合、上記の時間ＴＡは、インパルス電圧の印加を完了した後に良品試料Ｘａの両端間に生じる減衰振動が十分に減衰する時間であって、検査対象Ｘ（良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂ）の種類（型式）に応じて予め規定されている。また、本例の検査システム１では、一例として、データ処理装置３から測定装置２に対して「測定値データＤｍを構成する測定値Ｄ０の数」の提示によって上記の時間ＴＡが指示される構成が採用されている。

一方、データ処理装置３では、処理部２３が、測定装置２から出力された測定値データＤｍを良品試料Ｘａについてのデータの１つとして記憶部２４に記憶させる。この後、測定装置２では、処理部１３がＮａ＝３０回の測定処理のうちの２回目以降の測定処理を順次実行する。これにより、測定装置２から出力された良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍがデータ処理装置３の記憶部２４に記憶された状態となる（「予め規定された時間（本例では、時間ＴＡ）内に測定値ａ０が予め規定されたしきい値（一例として、０Ｖ）を超える状態、および予め規定されたしきい値（０Ｖ）を下回る状態に周期的に変化するＮａ個の測定値データＡを取得する」との処理が完了した状態の一例）。

また、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍの記憶が完了したときに、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、一例として「良品の試料に代えて不良品の試料をセットして下さい。」とのメッセージを表示部２２に表示させる。これに応じて、利用者は、測定装置２（測定信号発生部１１およびＡ／Ｄ変換部１２）を不良品試料Ｘｂに接続する。次いで、データ処理装置３の処理部２３がプログラムデータＤｐに従って測定装置２を制御することにより、一例として、不良品試料Ｘｂについての３０回（Ｎｂ＝３０回の例）の測定処理（「測定処理Ｂ」の一例）を実行させる。

なお、詳細な説明を省略するが、不良品試料Ｘｂを対象とするＮｂ＝３０回の測定処理については、上記の良品試料Ｘａを対象とするＮａ＝３０回の測定処理と同様の測定条件下で実行される。これにより、Ｎｂ＝３０個の不良品試料Ｘｂについての測定値Ｄ０（不良品試料Ｘｂの両端間の電圧値：「測定値ｂ０」の一例）がそれぞれ記録されたＮｂ＝３０個の測定値データＤｍ（「測定値データＢ」の一例）がデータ処理装置３の記憶部２４に記憶された状態となる（「予め規定された時間（本例では、時間ＴＡ）内に測定値ｂ０が予め規定されたしきい値（本例では、０Ｖ）を超える状態、および予め規定されたしきい値（０Ｖ）を下回る状態に周期的に変化するＮｂ個の測定値データＢを取得する」との処理が完了した状態の一例）。

また、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍ、および不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍの記憶（取得）が完了したときに、検査対象Ｘの良否を検査するための検査用データＤｉの生成処理（「データ生成処理」の一例）を開始する。

この場合、本例の検査システム１（データ処理装置３）では、データ処理装置３の処理部２３が、プログラムデータＤｐに従い、取得した上記のＮａ＝３０個の測定値データＤｍおよびＮｂ＝３０個の測定値データＤｍに基づき、検査対象Ｘの検査時に良品試料Ｘａについての上記の各測定処理（測定処理Ａ）や不良品試料Ｘｂについての上記の各測定処理（測定処理Ｂ）と同じ測定条件で行なわれる検査対象Ｘについての５回（Ｎｃ＝５回の例）の測定処理（測定処理Ｃ）によって上記の時間ＴＡ（予め規定された時間）分の複数の測定値Ｄ０（「測定値ｃ０」の一例）がそれぞれ記録されるＮｃ＝５個の測定値データＤｍ（「測定値データＣ」の一例）に基づく検査対象Ｘの良否判別の条件を特定可能な検査用データＤｉを生成する構成が採用されている。

具体的には、本例の検査システム１（データ処理装置３）では、処理部２３が、プログラムデータＤｐに従って良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍや不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍを解析することにより、検査対象Ｘの検査に際して、検査対象Ｘについての測定値データＤｍに記録される各測定値Ｄ０、測定値Ｄ０を一階微分した演算値Ｄ１、および測定値Ｄ０を二階微分した演算値Ｄ２を使用して演算されるＬＣ値およびＲＣ値に基づいて検査対象Ｘを検査する方法と、演算値Ｄ１を使用して演算されるＬＣ値およびＲＣ値（一階微分成分に基づいて演算される乗算値）に基づいて検査対象Ｘを検査する方法と、演算値Ｄ２を使用して演算されるＬＣ値およびＲＣ値（二階微分成分に基づいて演算される乗算値）に基づいて検査対象Ｘを検査する方法とのいずれを採用するかや、検査対象Ｘの検査に際してＬＣ値およびＲＣ値の演算に先立って各測定値Ｄ０を対象とするフィルタリング処理を行うか否かなどを「良否判別条件」の１つとして規定する。なお、演算値Ｄ１，Ｄ２の算出、ＬＣ値やＲＣ値の算出、およびフィルタリング処理の内容等については、後に詳細に説明する。

また、本例の検査システム１（データ処理装置３）では、処理部２３が、プログラムデータＤｐに従って良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍや不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍを解析することにより、検査対象Ｘの検査に際して、検査対象Ｘについての測定値データＤｍに記録される各測定値Ｄ０・Ｄ０・・のうちのいずれの測定値Ｄ０から他のいずれの測定値Ｄ０までの各測定値Ｄ０，Ｄ０・・を「予め規定された測定値範囲」内の測定値Ｄ０とすべきかを特定可能な「対象測定値範囲」を「良否判別条件」の他の１つとして規定する。なお、この「対象測定値範囲」を特定するための各処理についても後に詳細に説明する。

この検査用データＤｉの生成処理において、処理部２３は、まず、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍ毎に、各測定値Ｄ０（「測定値ａ０」の一例）を一階微分した複数の演算値Ｄ１（「演算値ａ１」の一例）、および各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２（「演算値ａ２」の一例）を前記各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍ毎に、各測定値Ｄ０（「測定値ｂ０」の一例）を一階微分した複数の演算値Ｄ１（「演算値ｂ１」の一例）、および各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２（「演算値ｂ２」の一例）をそれぞれ導出する（「第１の処理」の一例）。

この場合、一例として、良品試料Ｘａについてのいずれかの測定値データＤｍにおける各測定値Ｄ０の波形が図３に示す波形Ｗ０（以下、「電圧波形Ｗ０」ともいう）のときに、各演算値Ｄ１の波形は、図４に示す波形Ｗ１（以下、「一階微分波形Ｗ１」ともいう）のようになり、各演算値Ｄ２の波形は、図５に示す波形Ｗ２（以下、「二階微分波形Ｗ２」ともいう）のようになる。

また、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍ毎に、各測定値Ｄ０を対象とするフィルタリング処理を実行し、フィルタリング処理後の各測定値Ｄ０（「測定値ａ０」の他の一例）を一階微分した複数の演算値Ｄ１（「演算値ａ１」の他の一例）、およびフィルタリング処理後の各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２（「演算値ａ２」の他の一例）を前記各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍ毎に、各測定値Ｄ０を対象とするフィルタリング処理を実行し、フィルタリング処理後の各測定値Ｄ０（「測定値ｂ０」の他の一例）を一階微分した複数の演算値Ｄ１（「演算値ｂ１」の他の一例）、およびフィルタリング処理後の各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２（「演算値ｂ２」の他の一例）をそれぞれ導出する（「第１の処理」の他の一例）。

具体的には、処理部２３は、まず、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍ、および不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍの６０個の測定値データＤｍについて、予め規定されたしきい値を下回る測定値Ｄ０をしきい値と同値に変換するフィルタリング処理（ローパスフィルタを用いたフィルタリング）を実行する。なお、以下の説明においては、フィルタリング処理を行っていない測定値データＤｍと区別するために、フィルタリング処理後の測定値データＤｍを測定値データＤｍｆともいう。また、測定値データＤｍの各測定値Ｄ０と区別するために、測定値データＤｍｆの各測定値Ｄ０を測定値Ｄ０ｆともいう。

次いで、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍｆ毎に、各測定値Ｄ０ｆを一階微分した複数の演算値Ｄ１を導出して演算値データＤｃ１を生成すると共に、各測定値Ｄ０ｆを二階微分した複数の演算値Ｄ２を導出して演算値データＤｃ２を生成する。同様にして、処理部２３は、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍｆ毎に、各測定値Ｄ０ｆを一階微分した複数の演算値Ｄ１を導出して演算値データＤｃ１を生成すると共に、各測定値Ｄ０ｆを二階微分した複数の演算値Ｄ２を導出して演算値データＤｃ２を生成する。

なお、以下の説明においては、測定値データＤｍに基づいて生成される演算値データＤｃ１，Ｄｃ２と区別するために、測定値データＤｍｆに基づいて生成される演算値データＤｃ１，Ｄｃ２を演算値データＤｃ１ｆ，Ｄｃ２ｆともいう。また、各測定値Ｄ０に基づいて演算される演算値Ｄ１，Ｄ２と区別するために、各測定値Ｄ０ｆに基づいて演算される演算値Ｄ１，Ｄ２を演算値Ｄ１ｆ，Ｄ２ｆともいう。

この場合、一例として、良品試料Ｘａについてのいずれかの測定値データＤｍｆにおける各測定値Ｄ０ｆの波形が図６に示す波形Ｗ０ｆ（以下、「電圧波形Ｗ０ｆ」ともいう）のときに、各演算値Ｄ１ｆの波形は、図７に示す波形Ｗ１ｆ（以下、「一階微分波形Ｗ１ｆ」ともいう）のようになり、各演算値Ｄ２ｆの波形は、図８に示す波形Ｗ２ｆ（以下、「二階微分波形Ｗ２ｆ」ともいう）のようになる。

次いで、処理部２３は、前述した「対象測定値範囲」の候補となる複数種類の「仮範囲（「Ｍ種類の仮範囲」の一例）」を規定する。この場合、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、後述するように、時間ＴＡ分の測定値Ｄ０（Ｄ０ｆ）がそれぞれ記録されている各測定値データＤｍ（Ｄｍｆ）について「仮範囲」を異ならせてＬＣ値やＲＣ値をそれぞれ演算し、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」を特定する。

また、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、時間ＴＡ分の演算値Ｄ１（Ｄ１ｆ）がそれぞれ記録されている各演算値データＤｃ１（Ｄｃ１ｆ）について「仮範囲」を異ならせてＬＣ値やＲＣ値をそれぞれ演算し、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」を特定する。

さらに、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、時間ＴＡ分の演算値Ｄ２（Ｄ２ｆ）がそれぞれ記録されている各演算値データＤｃ２（Ｄｃ２ｆ）について「仮範囲」を異ならせてＬＣ値やＲＣ値をそれぞれ演算し、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」を特定する。

したがって、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、上記の「対象測定値範囲」の始点に対応する測定値Ｄ０（Ｄ０ｆ）、演算値Ｄ１（Ｄ１ｆ）または演算値Ｄ２（Ｄ２ｆ）と、「対象測定値範囲」の終点に対応する測定値Ｄ０（Ｄ０ｆ）、演算値Ｄ１（Ｄ１ｆ）または演算値Ｄ２（Ｄ２ｆ）との組合せを異ならせた複数種類の「仮範囲」をそれぞれ規定する。

この場合、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、一例として、測定値データＤｍ（測定値Ｄ０）についてのＭ種類の「仮範囲」を規定することにより、そのＭ種類の「仮範囲」に対応して、測定値データＤｍｆ（測定値Ｄ０ｆ）についてのＭ種類の「仮範囲」、演算値データＤｃ１（演算値Ｄ１）についてのＭ種類の「仮範囲」、演算値データＤｃ１ｆ（演算値Ｄ１ｆ）についてのＭ種類の「仮範囲」、演算値データＤｃ２（演算値Ｄ２）についてのＭ種類の「仮範囲」、および演算値データＤｃ２ｆ（演算値Ｄ２ｆ）についてのＭ種類の「仮範囲」がそれぞれ規定される構成（方法）が採用されている。

また、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、一例として、測定値データＤｍに記録されている時間ＴＡ時間分の測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの最初に０Ｖを超えた測定値Ｄ０を基準の測定値Ｄ０とし（「Ｋ＝１回目に、予め規定されたしきい値としての０Ｖを超えた測定値」を基準とする処理の例）、「基準の測定値Ｄ０から○○個前（または、○○個後）」との条件を満たす測定値Ｄ０を「仮範囲」の始点とし、かつ「始点とした測定値Ｄ０から○○個後」との条件を満たす測定値Ｄ０を「仮範囲」の終点として「仮範囲」を規定する構成が採用されている。なお、上記の「しきい値」については、０Ｖ以外の任意の値を定めることができる。

具体的には、Ｍ種類の「仮範囲」の１つとしては、一例として、図２に示す基準点Ｐ０（時点ｔ０）の測定値Ｄ０を基準とし、基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ１に相当する個数分前の時点ｔ１の測定値Ｄ０をその「仮範囲」の始点Ｐ１とし、かつ始点Ｐ１の測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ２に相当する個数後の時点ｔ２の測定値Ｄ０をその「仮範囲」の終点Ｐ２とするように規定される。また、Ｍ種類の「仮範囲」の他の１つとしては、基準点Ｐ０の測定値Ｄ０を基準とし、基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ１ａに相当する個数分後の時点ｔ１ａの測定値Ｄ０をその「仮範囲」の始点Ｐ１ａとし、かつ始点Ｐ１ａの測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ２ａに相当する個数後の時点ｔ２ａの測定値Ｄ０をその「仮範囲」の終点Ｐ２ａとするように規定される。

この場合、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、後に説明するように、検査用データＤｉの生成に要する負担の軽減を目的として、例えば、測定値データＤｍに基づくＬＣ値やＲＣ値等の演算に際して、測定値データＤｍに記録されている測定値Ｄ０，Ｄ０・・を５個おき（「Ｊ１＝Ｊ２＝５個」の例）に抽出し、抽出した測定値Ｄ０，Ｄ０・・だけを使用してＬＣ値やＲＣ値を演算する構成が採用されている。

したがって、プログラムデータＤｐに従ってＭ種類の「仮範囲」を規定することにより、一例として、図１３，１４に示すように、「基準の測定値Ｄ０から２００個前の測定値Ｄ０」、「基準の測定値Ｄ０から１９５個前の測定値Ｄ０」、・・「基準の測定値Ｄ０から５９９５個後の測定値Ｄ０」および「基準の測定値Ｄ０から６，０００個後の測定値Ｄ０」との１，２４０種類の始点と、「始点から５０個後の測定値Ｄ０」、「始点から５５個後の測定値Ｄ０」、・・「始点から３，９９５個後の測定値Ｄ０」および「始点から４，０００個後の測定値Ｄ０」との７９１種類の終点の組合せからなるＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」が、測定値データＤｍ（測定値Ｄ０）に基づいてＬＣ値やＲＣ値を演算する範囲として規定される。

なお、両図では、各「仮範囲」の終点を「始点からの測定値Ｄ０の個数（対象測定値範囲の長さ）」で表している。また、詳細な説明を省略するが、測定値データＤｍ（測定値Ｄ０）についての「仮範囲」が規定されることにより、前述したように、測定値データＤｍｆ（測定値Ｄ０ｆ）についての「仮範囲」、演算値データＤｃ１（演算値Ｄ１）についての「仮範囲」、演算値データＤｃ１ｆ（演算値Ｄ１ｆ）についての「仮範囲」、演算値データＤｃ２（演算値Ｄ２）についての「仮範囲」、および演算値データＤｃ２ｆ（演算値Ｄ２ｆ）についての「仮範囲」についても同様にして規定される。

次いで、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の測定値データＤｍ毎のＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各測定値Ｄ０、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の演算値データＤｃ１毎のＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各演算値Ｄ１、および良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個の演算値データＤｃ２毎のＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各演算値Ｄ２に基づき、「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」の一例であるＬＣ値やＲＣ値をそれぞれ演算する。

具体的には、良品試料ＸａについてのＬＣ値およびＲＣ値は、疑似逆行列を用いて［数１］のように演算することができる。なお、［数１］および後に参照する他の数式における「ｖ」は、測定値Ｄ０（良品試料Ｘａの両端間の電圧値）を表し、上方に「・」を並記した「ｖ」は、演算値Ｄ１（測定値Ｄ０の一階微分値）を表し、上方に「‥」を並記した「ｖ」は、演算値Ｄ２（測定値Ｄ０の二階微分値）を表している。また、「ｖ」の右横に並記した「（１）」「（２）」・・・「（ｎ）」は、「仮範囲内の最初の値」、「仮範囲内の２番目の値」・・「仮範囲内のｎ番目（最後）の値」であることを表している。さらに、「Ｔ」は転置行列を表している。

この場合、規定された時間分の測定値Ｄ０が測定値データＤｍ内に存在しない「仮範囲」、規定された時間分の演算値Ｄ１が演算値データＤｃ１内に存在しない「仮範囲」、および規定された時間分の演算値Ｄ２が演算値データＤｃ２内に存在しない「仮範囲」が存在するときには、一例として、測定値データＤｍにおける最末尾の測定値Ｄ０を不足する測定値Ｄ０として使用し、演算値データＤｃ１における最末尾の演算値Ｄ１を不足する演算値Ｄ１として使用し、かつ演算値データＤｃ２における最末尾の演算値Ｄ２を不足する演算値Ｄ２として使用してＬＣ値やＲＣ値を演算するか、或いは、それらの「仮範囲」を後述する「対象測定値範囲」の候補から除外する。

このような演算処理を、対応する各測定値データＤｍ毎に「仮範囲」を変更してそれぞれ実行する。これにより、良品試料Ｘａについての３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＬＣ値（「良否判別用の被判別値Ａ０」の一例）、および２９，４２５，２００個のＲＣ値（「良否判別用の被判別値Ａ０」の他の一例）が演算されて、演算結果が「仮範囲」の種類に関連付けられて記憶部２４にそれぞれ記憶される。

なお、詳細な説明を省略するが、各測定値データＤｍｆ、各演算値データＤｃ１ｆおよび各演算値データＤｃ２ｆについても、各測定値データＤｍ、各演算値データＤｃ１および各演算値データＤｃ２を使用した上記の演算処理と同様の演算処理をそれぞれ実行する。これにより、良品試料Ｘａについての３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＬＣ値（「良否判別用の被判別値Ａ０」のさらに他の一例）、および２９，４２５，２００個のＲＣ値（「良否判別用の被判別値Ａ０」のさらに他の一例）が演算されて、演算結果が「仮範囲」の種類に関連付けられて記憶部２４にそれぞれ記憶される。以下、測定値データＤｍ、演算値データＤｃ１および演算値データＤｃ２に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値と区別するために、測定値データＤｍｆ、演算値データＤｃ１ｆおよび演算値データＤｃ２ｆに基づいて演算されるＬＣ値およびＲＣ値については、ＬＣｆ値およびＲＣｆ値ともいう。

この場合、上記［数１］における「φ^Ｔ」は［数２］のとおりである。

したがって、「φ^Ｔφ」は［数３］となる。

ここで、「（φ^Ｔφ）⁻」を［数４］とすると、

上記［数１］における「（φ^Ｔφ）^−１φ^Ｔ」は［数５］のように表すことができる。

したがって、上記［数１］については、［数６］のように表すことができる。

この［数６］について演算することにより、ＬＣ値およびＲＣ値を示す［数７］を導出する。

この［数７］は、上記の［数６］の成分と、測定値Ｄ０に対応する成分と、演算値Ｄ１（測定値Ｄ０の一階微分値）に対応する成分と、演算値Ｄ２（測定値Ｄ０の二階微分値）に対応する成分とで構成されている。したがって、［数７］については、変形して各成分を整理することにより［数８］のように表すことができる。

この場合、［数９］のように、［数８］における一階微分値の成分の乗算式の解（乗算値）をＬＣ１値およびＲＣ１値とし、二階微分値の成分の乗算式の解（乗算値）をＬＣ２値およびＲＣ２値とすると、ＬＣ値は、ＬＣ１値とＬＣ２値との和であり、ＲＣ値は、ＲＣ１値とＲＣ２値との和であることが理解できる。

したがって、ＬＣ値およびＲＣ値を導出するための前述した［数１］を変形した［数９］を使用して、測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０、演算値データＤｃ１に記録されている各演算値Ｄ１、および演算値データＤｃ２に記録されている各演算値Ｄ２に基づき、ＬＣ１値およびＲＣ１値（「被判別値Ａ１」の一例）や、ＬＣ２値およびＲＣ２値（「被判別値Ａ２」の一例）をそれぞれ演算する。このような演算処理を、対応する各測定値データＤｍ毎に「仮範囲」を変更してそれぞれ実行する。これにより、良品試料Ｘａについての３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＬＣ１値およびＲＣ１値や、２９，４２５，２００個のＬＣ２値およびＲＣ２値が演算されて、演算結果が「仮範囲」の種類に関連付けられて記憶部２４にそれぞれ記憶される。

なお、詳細な説明を省略するが、各測定値データＤｍｆ、各演算値データＤｃ１ｆおよび各演算値データＤｃ２ｆについても、各測定値データＤｍ、各演算値データＤｃ１および各演算値データＤｃ２を使用した上記の演算処理と同様の演算処理をそれぞれ実行する。これにより、良品試料Ｘａについての３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＬＣ１値およびＲＣ１値（「良否判別用の被判別値Ａ１」他の一例）や、２９，４２５，２００個のＬＣ２値およびＲＣ２値（「良否判別用の被判別値Ａ２」の他の一例）が演算されて、演算結果が「仮範囲」の種類に関連付けられて記憶部２４にそれぞれ記憶される。

以下、測定値データＤｍ、演算値データＤｃ１および演算値データＤｃ２に基づいて演算されるＬＣ１値およびＲＣ１値やＬＣ２値およびＲＣ２値と区別するために、測定値データＤｍｆ、演算値データＤｃ１ｆおよび演算値データＤｃ２ｆに基づいて演算されるＬＣ１値およびＲＣ１値やＬＣ２値およびＲＣ２値については、ＬＣ１ｆ値、ＲＣ１ｆ値、ＬＣ２ｆ値およびＲＣ２ｆ値ともいう。

次いで、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の測定値データＤｍ毎のＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各測定値Ｄ０、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の演算値データＤｃ１毎のＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各演算値Ｄ１、および不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個の演算値データＤｃ２毎のＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各演算値Ｄ２に基づき、「被判別値Ｂ０」の一例であるＬＣ値、ＲＣ値、ＬＣｆ値およびＲＣｆ値と、「被判別値Ｂ１」の一例であるＬＣ１値、ＲＣ１値、ＬＣ１ｆ値およびＲＣ１ｆ値と、「被判別値Ｂ２」の一例であるＬＣ２値、ＲＣ２値、ＬＣ２ｆ値およびＲＣ２ｆ値とをそれぞれ演算する。なお、不良品試料Ｘｂについての各「被判別値」の演算に関しては、良品試料Ｘａについての各「被判別値」の演算と同様のため、詳細な説明を省略する。以上により、「第２の処理」が完了する。

続いて、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、「被判別値Ａ０」と「被判別値Ｂ０」との相違の度合いが「予め規定された条件」を満たす関係となる「仮範囲」、「被判別値Ａ１」と「被判別値Ｂ１」との相違の度合いが「予め規定された条件」を満たす関係となる「仮範囲」、および「被判別値Ａ２」と「被判別値Ｂ２」との相違の度合いが「予め規定された条件」を満たす関係となる「仮範囲」をそれぞれ特定する（「第３の処理」の実行）。

具体的には、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値とが大きく相違する「仮範囲」、良品試料ＸａについてのＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ値とが大きく相違する「仮範囲」、良品試料ＸａについてのＬＣｆ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣｆ値とが大きく相違する「仮範囲」、および良品試料ＸａについてのＲＣｆ値と不良品試料ＸｂについてのＲＣｆ値とが大きく相違する「仮範囲」をそれぞれ特定する。

また、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＬＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値とが大きく相違する「仮範囲」、良品試料ＸａについてのＲＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ１値とが大きく相違する「仮範囲」、良品試料ＸａについてのＬＣ１ｆ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１ｆ値とが大きく相違する「仮範囲」、および良品試料ＸａについてのＲＣ１ｆ値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ１ｆ値とが大きく相違する「仮範囲」をそれぞれ特定する。

さらに、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＬＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値とが大きく相違する「仮範囲」、良品試料ＸａについてのＲＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ２値とが大きく相違する「仮範囲」、良品試料ＸａについてのＬＣ２ｆ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２ｆ値とが大きく相違する「仮範囲」、および良品試料ＸａについてのＲＣ２ｆ値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ２ｆ値とが大きく相違する「仮範囲」をそれぞれ特定する。

より具体的には、例えば、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値とが大きく相違する「仮範囲」の特定に際しては、Ｍ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」毎に、検査対象ＸについてのＮａ＝３０個のＬＣ値のうちの最小値である「良品最小値」、および検査対象ＸについてのＮａ＝３０個のＬＣ値のうちの最大値である「良品最大値」をそれぞれ特定する。この際には、一例として、いずれかの「仮範囲」における良品試料ＸａについてのＬＣ値、および不良品試料ＸｂについてのＬＣ値として、図１０に示すような値が演算されたときに、処理部２３は、同図に示すＬＣｍｉｎを良品試料Ｘａについての「良品最小値」として特定し、かつＬＣｍａｘを良品試料Ｘａについての「良品最大値」として特定する。なお、同図では、良品試料ＸａについてのＬＣ値（ＲＣ値）を「○」で表している。また、同図および後に参照する図１１，１２では、不良品試料ＸｂについてのＬＣ値（ＲＣ値）を「●」で表している。

次いで、処理部２３は、Ｎｂ＝３０個の不良品試料Ｘｂについての各ＬＣ値について、上記の「良品最小値」よりも小さいＬＣ値については、「良品最小値」との差を「不良度合値」として演算し、「良品最大値」よりも大きいＬＣ値については、「良品最大値」との差を「不良度合値」としてそれぞれ演算すると共に、「良品最小値」から「良品最大値」までの範囲内のＬＣ値については、「不良度合値」を「０」とする演算処理を各「仮範囲」毎にそれぞれ実行する。

具体的には、処理部２３は、一例として、図１０に示すように、「良品最小値」の一例であるＬＣｍｉｎよりも小さい不良品試料ＸｂについてのＬＣ値であるＬＣｄ−ａについては、ＬＣｍｉｎとの差であるＬＣｄｋ−ａを「不良度合値」として演算する。また、「良品最大値」の一例であるＬＣｍａｘよりも大きい不良品試料ＸｂについてのＬＣ値であるＬＣｄ−ｂについては、ＬＣｍａｘとの差であるＬＣｄｋ−ｂを「不良度合値」として演算する。さらに、ＬＣｍｉｎからＬＣｍａｘまでの範囲であるＬＣｌｅｎｇｔｈ内のＬＣ値であるＬＣｄ−ｃについては、「不良度合値」を「０」とする。

続いて、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、Ｎｂ＝３０個の不良品試料Ｘｂについての「不良度合値」の合計値を各「仮範囲」毎にそれぞれ演算する。この際には、図１１の左図に示すように、不良品試料Ｘｂを対象とするＮｂ＝３０回の測定処理時に良品試料ＸａについてのＬＣ値のばらつきの範囲であるＬＣｌｅｎｇｔｈとの差が小さいＬＣ値が演算される測定値Ｄ０が含まれる「仮範囲」については、たとえＮａ＝３０個のＬＣ値のうちの数個がＬＣｍａｘとの差、またはＬＣｍｉｎとの差が十分に大きな値になったとしても、「不良度合値」の合計値として小さな値が演算される。また、同図の右図に示すように、不良品試料Ｘｂを対象とするＮｂ＝３０回の測定処理時にＬＣｌｅｎｇｔｈとの差が大きいＬＣ値が演算される測定値Ｄ０が含まれる「仮範囲」については、たとえＮｂ＝３０個のＬＣ値のうちの数個がＬＣｌｅｎｇｔｈ内の値になったとしても、「不良度合値」の合計値として大きな値が演算される。

次いで、処理部２３は、上記の「不良度合値」の合計値を、ＬＣｍｉｎとＬＣｍａｘとの差であるＬＣｌｅｎｇｔｈ（良品試料ＸａについてのＬＣ値のばらつきの大きさ）で除した値（良品試料ＸａについてのＬＣ値のばらつきの大きさに対する「不良度合値」の合計値の比）を各「仮範囲」毎にそれぞれ演算し、演算結果を各「仮範囲」に関連付けて記憶部２４に記憶させる。この際には、図１２の左図および右図に示す例のように、仮に、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個のＬＣ値の各「不良度合値」の合計値が同じであったときに、左図の例のようにＬＣｌｅｎｇｔｈが広い「仮範囲」（良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０のばらつきが大きい「仮範囲」）よりも、右図の例のようにＬＣｌｅｎｇｔｈが狭い「仮範囲」（良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０のばらつきが小さい「仮範囲」）の方が、合計値をＬＣｌｅｎｇｔｈで除した値が大きな値となる。

続いて、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、演算した各「仮範囲」毎の値（合計値をＬＣｌｅｎｇｔｈで除した値）に基づき、各「仮範囲」がどの程度「対象測定値範囲」に適しているかを示す「数値」（良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値とがどの程度「予め規定された条件を満たす関係」となっているかを示す数値）をそれぞれ特定する。

具体的には、処理部２３は、まず、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個のＬＣ値の分布と、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個のＬＣ値の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる「予め規定された基準」に従って各「仮範囲」毎にそれぞれ数値化（点数化）する。これにより、図１３に示すように各「仮範囲」毎の「数値」（同図における「０．０」や「０．１」などの値）が特定される。

次いで、処理部２３は、Ｍ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」のうちの１つを対象として、対象の「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下（「Ｌａ＝５」の例）の測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ対象の「仮範囲」における終点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下（「Ｌｂ＝５」の例）の測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」（図１３において、いずれかの「仮範囲」を対象としたときに、その「仮範囲」の周囲に図示されている８個の「仮範囲」）の「数値」をそれぞれ特定し、特定した各「数値」のうちの最小値を、対象の「仮範囲」に関連付ける処理を、各「仮範囲」をそれぞれ「対象の仮範囲」として実行する。

具体的には、一例として、図１３に示す例において、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０００個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目の測定値Ｄ０まで（１，９９５個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、その「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下となる「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から１，９９５個後」から「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，００５個後」までの測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ「始点の測定値Ｄ０から１，９９０個目」から「始点の測定値Ｄ０から２，０００個目」までの測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の８個の「仮範囲」について特定された８個の「数値」のうちの最小値が、その「仮範囲」に関連付けられる「数値」として特定される。

つまり、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０００個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目の測定値Ｄ０まで（１，９９５個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、図１４に示すように、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から１，９９５個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９０個目の測定値Ｄ０まで（１，９９０個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」について特定された「１．６」との「数値」が最小値として特定されて関連付けられる。

同様にして、図１３に示す例において、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，００５個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から２，０００個目の測定値Ｄ０まで（２，０００個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、その「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下となる「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０００個後」から「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０１０個後」までの測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目」から「始点の測定値Ｄ０から２，００５個目」までの測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の８個の「仮範囲」について特定された８個の「数値」のうちの最小値が、その「仮範囲」に関連付けられる「数値」として特定される。

つまり、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，００５個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から２，０００個目の測定値Ｄ０まで（２，００００個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、図１４に示すように、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０１０個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目の測定値Ｄ０まで（１，９９５個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」について特定された「２．０」との「数値」が最小値として特定されて関連付けられる。

この場合、不良品試料Ｘｂに実際に生じている不良に起因して、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個のＬＣ値の分布と、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個のＬＣ値の分布との相違の度合いが大きくなっている「仮範囲」が存在する。そのような「仮範囲」と「始点」や「長さ（終点）」が同様の他の「仮範囲」では、良品試料ＸａについてＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合いが大きくなる傾向がある。一方、不良品試料Ｘｂに実際に生じている不良に起因するものではなく、良品試料Ｘａについての測定処理時や不良品試料Ｘｂについての測定処理時の測定誤差やノイズ等の影響や演算の性質などに起因して、良品試料ＸａについてのＮａ＝３０個のＬＣ値の分布と、不良品試料ＸｂについてのＮｂ＝３０個のＬＣ値の分布との相違の度合いが大きくなっている「仮範囲」も存在する。この場合、そのような「仮範囲」と「始点」や「長さ（終点）」が同様の他の「仮範囲」では、良品試料ＸａについてＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合いがそれほど大きくならないことがある。

したがって、上記のように、「始点」や「長さ（終点）」が同様の他の「仮範囲」についての「数値」のうちの最小値を、対象の「仮範囲」に関連付ける（対象の「仮範囲」の「数値」として置き換える）ことにより、良品試料ＸａについてＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合いが測定誤差等の影響で大きくなった「仮範囲」について、「特異な数値（実際の不良に起因して算出される数値ではない可能性が高い大きな値）」が関連付けられたままとなる事態が回避される。

このような処理をＭ＝９８０，８４０種類の各「仮範囲」毎に実行することにより、図１４に示すように、各「仮範囲」毎の「良品試料ＸａについてのＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合い」に即した「数値」が関連付けられて記憶部２４に記憶される。

また、処理部２３は、上記のように特定した「数値」に基づき、図９に示す特定結果表示３１を表示部２２に表示させる。この特定結果表示３１は、各区画（セル）が図１４の説明図における各「仮範囲」の区画（セル）に対応させられており、図１４において大きな「数値」が特定された「仮範囲」に対応する区画ほど濃い色（黒色に近い色）で、図１４において小さな「数値」が特定された「仮範囲」に対応する区画ほど薄い色（白色に近い色）で各区画（セル）が表示されている。このような特定結果表示３１を表示させることにより、どのような「仮範囲」において「良品試料ＸａについてのＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合い」が大きく相違するのかを直感的に認識させることが可能となる。

続いて、処理部２３は、関連付けられた「数値」が大きい「仮範囲」ほど、良品試料ＸａについてのＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値の分布とが大きく相違する関係（予め規定された条件を満たす関係）の度合いが大きいとして、「対象測定値範囲」の候補とする「仮範囲」を特定する。具体的には、処理部２３は、一例として、関連付けられた「数値」が最も大きい「仮範囲」を「対象測定値範囲」の候補として特定する。なお、関連付けられた「数値」が最も大きい「仮範囲」が複数存在するときには、一例として、対応するＬＣｌｅｎｇｔｈが短い「仮範囲」（すなわち、構成する測定値Ｄ０の数が少ないことでＬＣ値等の演算に要する時間が短い「仮範囲」）を優先する。

以上により、良品試料Ｘａと不良品試料ＸｂとでＬＣ値が大きく相違する「仮範囲」の特定が完了する。この後、ＬＣ値以外の各「被判別値」についても、ＬＣ値についての上記の手順と同様の手順に従い、良品試料Ｘａと不良品試料Ｘｂとで値が大きく相違する「仮範囲」をそれぞれ特定する。これにより、「第３の処理」が完了する。

次いで、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、良品試料Ｘａと不良品試料Ｘｂとで値が大きく相違する各「被判別値」毎（ＬＣ値、ＲＣ値、ＬＣ１値、ＲＣ１値、ＬＣ２値、ＲＣ２値、ＬＣｆ値、ＲＣｆ値、ＬＣ１ｆ値、ＲＣ１ｆ値、ＬＣ２ｆ値およびＲＣ２ｆ値毎）の各「仮範囲」」のなかから、検査対象Ｘの検査に際して「対象測定値範囲」とするのに適した「仮範囲」を特定する。

具体的には、一例として、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値との相違の度合いが、良品試料ＸａについてのＬＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値との相違の度合い、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値との相違の度合いよりも高いときには、「被判別値Ｃ０」としてのＬＣ値を使用し、かつ上記の「第３の処理」によって特定したＬＣ値についての「仮範囲」を「対象測定値範囲」とするとの条件を「良否判別条件」の候補として特定する。

また、良品試料ＸａについてのＬＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値との相違の度合いが、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値との相違の度合い、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値との相違の度合いよりも高いときには、「被判別値Ｃ１」としてのＬＣ１値を使用し、かつ上記の「第３の処理」によって特定したＬＣ１値についての「仮範囲」を「対象測定値範囲」とするとの条件を「良否判別条件」の候補として特定する。

さらに、良品試料ＸａについてのＬＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値との相違の度合いが、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値との相違の度合い、および良品試料ＸａについてのＬＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値との相違の度合いよりも高いときには、「被判別値Ｃ２」としてのＬＣ２値を使用し、かつ上記の「第３の処理」によって特定したＬＣ２値についての「仮範囲」を「対象測定値範囲」とするとの条件を「良否判別条件」の候補として特定する。

同様にして、良品試料Ｘａと不良品試料ＸｂとのＲＣ値、ＲＣ１値およびＲＣ２値の相違の度合いや、良品試料Ｘａと不良品試料ＸｂとのＬＣｆ値、ＬＣ１ｆ値およびＬＣ２ｆ値の相違の度合い、および良品試料Ｘａと不良品試料ＸｂとのＲＣｆ値、ＲＣ１ｆ値およびＲＣ２ｆ値の相違の度合いを比較することにより、「良否判別条件」の候補をそれぞれ特定する。

続いて、処理部２３は、特定された４つの「良否判別条件」の候補のなかから、「被判別値」の相違の度合いが最も高い候補を特定すると共に、特定した候補の「仮範囲」を「対象測定値範囲」として決定する。なお、「被判別値」の相違の度合いが最も高い候補が複数存在するときには、処理部２３は、特定した各候補のなかから「対象測定値範囲」とする候補を選択させ、選択された候補の「仮範囲」を「対象測定値範囲」として決定する。また、処理部２３は、決定した「対象測定値範囲」を特定可能な情報を記録して検査用データＤｉを生成し、生成した検査用データＤｉを検査対象Ｘの種類（型式）に関連付けて記憶部２４に記憶させる。以上により、「データ生成処理」が完了し、検査対象Ｘの良否を検査する準備が整う。

この場合、一例として、良品試料Ｘａについての測定値データＤｍにおける測定値Ｄ０が図３に示す電圧波形Ｗ０のような値のときに、測定値Ｄ０を一階微分した演算値データＤｃ１における演算値Ｄ１は図４に示す一階微分波形Ｗ１のような値となる。電圧波形Ｗ０および一階微分波形Ｗ１を比較することで理解できるように、各演算値Ｄ１では、各測定値Ｄ０における微少な変化が十分に強調されている。したがって、測定値Ｄ０に基づいて演算されるＬＣ値またはＲＣ値の良品試料Ｘａと不良品試料Ｘｂとの相違の度合いが低く、ＬＣ値やＲＣ値に基づいて検査対象Ｘの良否の判別が困難な場合であっても、演算値Ｄ１に基づいて演算されるＬＣ１値やＲＣ１に基づいて良否を判別することで検査対象Ｘを的確に検査できる可能性がある。

また、良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０や演算値データＤｃが上記の電圧波形Ｗ０や一階微分波形Ｗ１のような値のときに、測定値Ｄ０を二階微分した演算値データＤｃ２における演算値Ｄ２は図５に示す二階微分波形Ｗ２のような値となる。一階微分波形Ｗ１および二階微分波形Ｗ２を比較することで理解できるように、各演算値Ｄ２では、各測定値Ｄ０における微少な変化が各演算値Ｄ１よりも一層強調されている。したがって、演算値Ｄ１に基づいて演算されるＬＣ１値またはＲＣ１値の良品試料Ｘａと不良品試料Ｘｂとの相違の度合いが低く、ＬＣ１値やＲＣ１値に基づいて検査対象Ｘの良否の判別が困難な場合であっても、演算値Ｄ２に基づいて演算されるＬＣ２値やＲＣ２値に基づいて良否を判別することで検査対象Ｘを的確に検査できる可能性がある。

さらに、電圧波形Ｗ０および一階微分波形Ｗ１と二階微分波形Ｗ２とを比較することで理解できるように、電圧波形Ｗ０および一階微分波形Ｗ１は、良品試料Ｘａの状態に応じた減衰振動波形であるが、二階微分波形Ｗ２は全体がノイズ状の波形となっており、良品試料Ｘａの状態に応じた減衰・振動の成分が殆ど確認されない状態となっている。このため、各測定値Ｄ０（電圧波形Ｗ０）や各演算値Ｄ１（一階微分波形Ｗ１）では、「対象測定値範囲」を変更することでＬＣ値、ＬＣ１値やＲＣ値、ＲＣ１値が大きく変化する可能性があるのに対し、各演算値Ｄ２（二階微分波形Ｗ２）では、「対象測定値範囲」をどのように規定したとしても、ＬＣ２値やＲＣ２値が殆ど変わらない可能性がある。したがって、検査対象Ｘの種類によっては、測定値Ｄ０に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値、または、演算値Ｄ１に基づいて演算されるＬＣ１値やＲＣ１値に基づいて良否を判別することで的確に検査できる可能性がある。

一方、各測定値Ｄ０ｆでは、各測定値Ｄ０を対象とするフィルタリング処理により、検査対象Ｘの状態とは直接的には関係のないノイズ成分（測定環境によって変化する成分）の一部が除外される。したがって、測定環境によっては、測定値Ｄ０に基づいて演算されるＬＣ値またはＲＣ値ではノイズ等の影響によって検査対象Ｘを的確に検査するのが困難なときでも、測定値Ｄ０ｆに基づいて演算されるＬＣｆ値やＲＣｆに基づいて良否を判別することで検査対象Ｘを的確に検査できる可能性がある。

また、測定値Ｄ０ｆを一階微分した演算値データＤｃ１ｆにおける演算値Ｄ１ｆは図７に示す一階微分波形Ｗ１ｆのような値となる。この場合、前述した一階微分波形Ｗ１と一階微分波形Ｗ１ｆとを比較することで理解できるように、各演算値Ｄ１ｆでは、フィルタリング処理によってノイズ成分等が除去された測定値Ｄ０ｆに基づいて演算されたことで、各演算値Ｄ１において確認できる微少な変化が十分に小さくなっている。したがって、ノイズ等の影響によって測定値Ｄ０が微少に変化している測定環境においては、演算値Ｄ１ｆに基づいて演算されるＬＣ１ｆ値やＲＣ１ｆに基づいて良否を判別することで検査対象Ｘを的確に検査できる可能性がある。

さらに、測定値Ｄ０ｆを二階微分した演算値データＤｃ２ｆにおける演算値Ｄ２ｆは図８に示す二階微分波形Ｗ２ｆのような値となる。この場合、前述した二階微分波形Ｗ２と二階微分波形Ｗ２ｆとを比較することで理解できるように、各演算値Ｄ２ｆでは、フィルタリング処理によってノイズ成分等が除去された測定値Ｄ０ｆに基づいて演算されたことで、ノイズ成分等の影響による微少な変化が小さくなり、演算値Ｄ２（二階微分波形Ｗ２）では確認できない減衰・振動の成分が確認できる状態となっている。この結果、適当な「対象測定値範囲」を規定することにより、良品試料Ｘａと不良品試料Ｘｂとの「被判別値」の相違の度合いが十分に大きくなる可能性がある。したがって、ノイズ等の影響によって測定値Ｄ０が微少に変化している測定環境においては、演算値Ｄ２ｆに基づいて演算されるＬＣ２ｆ値やＲＣ２ｆ値に基づいて良否を判別することで検査対象Ｘを的確に検査できる可能性がある。

一方、検査システム１による検査対象Ｘの検査に際しては、データ処理装置３の処理部２３が、プログラムデータＤｐに従って測定装置２を制御して、前述した良品試料Ｘａや不良品試料Ｘｂについての測定処理時と同様の測定条件で測定処理（「測定処理Ｃ」）を実行させる。なお、検査対象Ｘを対象とする測定処理時には、前述したように、一例としてＮｃ＝５回の測定処理を実行する。これにより、検査対象ＸについてのＮｃ＝５個の測定値データＤｍ（測定値データＣ）が測定装置２から出力される。

また、処理部２３は、測定装置２から測定値データＤｍが出力される都度、その測定値データＤｍを記憶部２４に記憶させると共に、図１５に示すように、測定値データＤｍに基づく波形Ｗを表示部２２の測定結果表示画面４０に表示させる。また、処理部２３は、検査用データＤｉに記録されている「対象測定値範囲」を示す対象測定値範囲表示４１と、「対象測定値範囲」の始点を示す始点表示４２ａ、および終点を示す終点表示４２ｂとを波形Ｗに重ねて表示させる（「対象測定値範囲を測定値データＣの波形に対応させて表示させることで報知する」との「特定結果報知処理」の一例：同図に示す破線と数値の表示）。

これにより、対象測定値範囲表示４１、始点表示４２ａおよび終点表示４２ｂを見た利用者は、波形Ｗにおけるいずれの測定値Ｄ０に基づき、「被判別値」（ＬＣ値やＲＣ値、ＬＣ１値やＲＣ１値、ＬＣ２値やＲＣ２値、ＬＣｆ値やＲＣｆ値、ＬＣ１ｆ値やＲＣ１ｆ値、およびＬＣ２ｆ値やＲＣ２ｆ値など）が演算されて検査対象Ｘの良否が検査されるかを認識する。

次いで、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちから、検査用データＤｉに記録されている「対象測定値範囲」に含まれる測定値Ｄ０，Ｄ０・・を特定し、特定した測定値Ｄ０，Ｄ０・・に基づいて、ＬＣ値およびＲＣ値やＬＣｆ値およびＲＣｆ値（被判別値Ｃ０）、ＬＣ１値およびＲＣ１値やＬＣ１ｆ値およびＲＣ１ｆ値（被判別値Ｃ１）、並びにＬＣ２値およびＲＣ２値やＬＣ２ｆ値およびＲＣ２ｆ値（被判別値Ｃ２）のうちの検査用データＤｉによって指定された「被判別値」を演算する処理を、各測定値データＤｍ毎に実行する。

続いて、処理部２３は、演算した「被判別値」が、予め規定された良品範囲（一例として、「対象測定値範囲」とした「仮範囲」に対応する良品試料ＸａについてＬＣｌｅｎｇｔｈに対する±５％の範囲）内に含まれているか否かを判別する。この際に、Ｎｃ＝５個の測定値データＤｍに基づいて演算した５つの「被判別値」のすべてが良品範囲内の値のときには、処理部２３は、その検査対象Ｘを良品と判別する。また、５つの「被判別値」のうちの１つ以上が良品範囲外の値のときには、処理部２３は、その検査対象Ｘを不良品と判別する。以上により、検査対象Ｘについての良否検査が完了する。

このように、このデータ処理装置３では、処理部２３が、検査対象Ｘの「良否判別条件」を特定可能な検査用データＤｉを生成する「データ生成処理」において、良品試料Ｘａについての各測定値Ｄ０を一階微分した複数の演算値Ｄ１、および各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２を各測定値データＤｍ毎にそれぞれ導出すると共に、不良品試料Ｘｂについての各測定値Ｄ０を一階微分した複数の演算値Ｄ１、および各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２を各測定値データＤｍ毎にそれぞれ導出する「第１の処理」と、良品試料Ｘａについての各測定値Ｄ０および各演算値Ｄ１，Ｄ２に基づいて対応する各測定値データＤｍ毎に良否判別用のＬＣ値およびＲＣ値をそれぞれ演算し、良品試料Ｘａについての各演算値Ｄ１に基づいて対応する各測定値データＤｍ毎に良否判別用のＬＣ１値およびＲＣ１値をそれぞれ演算し、かつ良品試料Ｘａについての各演算値Ｄ２に基づいて対応する各測定値データＤｍ毎に良否判別用のＬＣ２値およびＲＣ２値をそれぞれ演算すると共に、不良品試料Ｘｂについての各測定値Ｄ０および各演算値Ｄ１，Ｄ２に基づいて対応する各測定値データＤｍ毎に良否判別用のＬＣ値およびＲＣ値をそれぞれ演算し、不良品試料Ｘｂについての演算値Ｄ１に基づいて対応する各測定値データＤｍ毎に良否判別用のＬＣ１値およびＲＣ１値をそれぞれ演算し、かつ不良品試料Ｘｂについての各演算値Ｄ２に基づいて対応する各測定値データＤｍ毎に良否判別用のＬＣ２値およびＲＣ２値をそれぞれ演算する「第２の処理」とを実行し、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値との相違の度合、良品試料ＸａについてのＬＣ１値やＲＣ値１と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値やＲＣ値１との相違の度合、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値やＲＣ値２と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値やＲＣ値２との相違の度合に基づいて「良否判別条件」の１つを規定して検査用データＤｉを生成する。。

具体的には、このデータ処理装置３では、処理部２３が、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値との相違の度合が、良品試料ＸａについてのＬＣ１値やＲＣ値１と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値やＲＣ値１との相違の度合、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値やＲＣ値２と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値やＲＣ値２との相違の度合よりも高いときには、検査対象Ｘについての各測定値データＤｍにおける「測定値範囲」内の各測定値Ｄ０、「測定値範囲」内の各測定値Ｄ０を一階微分した複数の演算値Ｄ１、および「測定値範囲」内の各測定値Ｄ０を二階微分した複数の演算値Ｄ２に基づいて良否判別用のＬＣ値やＲＣ値を演算してＬＣ値やＲＣ値に基づいて検査対象Ｘの良否を判別するとの条件を「良否判別条件」の１つとして規定し、良品試料ＸａについてのＬＣ１値やＲＣ値１と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値やＲＣ値１との相違の度合が、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値との相違の度合、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値やＲＣ値２と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値やＲＣ値２との相違の度合よりも高いときには、検査対象Ｘについての各演算値Ｄ１に基づいて良否判別用のＬＣ１値やＲＣ１値を演算してＬＣ１値やＲＣ１値に基づいて検査対象Ｘの良否を判別するとの条件を「良否判別条件」の１つとして規定し、良品試料ＸａについてのＬＣ２値やＲＣ値２と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値やＲＣ値２との相違の度合が、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値との相違の度合、および良品試料ＸａについてのＬＣ１値やＲＣ値１と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値やＲＣ値１との相違の度合よりも高いときには、検査対象Ｘについての各演算値Ｄ２に基づいて良否判別用のＬＣ２値やＲＣ２値を演算してＬＣ２値やＲＣ２値に基づいて検査対象Ｘの良否を判別するとの条件を「良否判別条件」の１つとして規定して検査用データＤｉを生成する。

また、この検査システム１では、良品試料Ｘａ、不良品試料Ｘｂおよび検査対象Ｘについての「測定処理Ａ」、「測定処理Ｂ」および「測定処理Ｃ」を実行して測定値データＡ、測定値データＢおよび測定値データＣを生成する測定装置２と、「データ生成処理」を実行して検査用データＤｉを生成すると共に、生成した検査用データＤｉ、および検査対象Ｘについての測定値データＤｍに基づいて検査対象Ｘの良否を検査するデータ処理装置３とを備えて検査対象Ｘの良否を検査可能に構成されている。さらに、このプログラムデータＤｐでは、上記の「データ生成処理」をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、「被判別値Ａ０」と「被判別値Ｂ０」との相違の度合いが十分に高くなるような種類の不良が生じ得る検査対象Ｘについては、検査対象Ｘについての測定値データＤｍにおける各測定値Ｄ０に基づいて「被判別値Ｃ０」を演算して良否を判別するとの「良否判別条件」が規定された検査用データＤｉが生成され、「被判別値Ａ０」と「被判別値Ｂ０」との相違の度合いがそれほど高くならない種類の不良が生じ得る検査対象Ｘについては、検査対象Ｘについての測定値データＤｍにおける各測定値Ｄ０を一階微分した演算値Ｄ１に基づいて演算される「被判別値Ｃ１」や、検査対象Ｘについての測定値データＤｍにおける各測定値Ｄ０を二階微分した演算値Ｄ２に基づいて演算される「被判別値Ｃ２」に基づいて良否を判別するとの「良否判別条件」が規定された検査用データＤｉが生成されるため、この検査用データＤｉに基づいて検査を実行することで、各種の検査対象Ｘの良品を的確に判別することができる。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「データ生成処理」において、検査対象Ｘの検査時に測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０のうちのいずれの測定値Ｄ０から他のいずれの測定値Ｄ０までの各測定値Ｄ０を「測定値範囲」内の測定値Ｄ０とすべきかを特定可能な「対象測定値範囲」を「良否判別条件」の他の１つとして規定するときに、「対象測定値範囲」の始点に対応する測定値Ｄ０と「対象測定値範囲」の終点に対応する測定値Ｄ０との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（本例では、測定値データＤｍ、演算値データＤｃ１，Ｄｃ２毎に９８０，８４０種類）の「仮範囲」を規定し、各「仮範囲」を「測定値範囲」として「第１の処理」および「第２の処理」をＭ種類の「仮範囲」毎にそれぞれ実行すると共に、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値との相違の度合、良品試料ＸａについてのＬＣ１値やＲＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値やＲＣ値１との相違の度合、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値やＲＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値やＲＣ値２との相違の度合をＭ種類の「仮範囲」毎にそれぞれ特定して、相違の度合いが予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する「第３の処理」を実行し、特定した「仮範囲」を「対象測定値範囲」として検査用データＤｉを生成する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、検査対象Ｘの種類や、測定環境の相違に応じて、検査対象Ｘについての測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちから、良品試料ＸａについてのＬＣ値、ＬＣ１値およびＬＣ２値やＲＣ値、ＲＣ１値およびＲＣ２値と、不良品試料ＸｂについてのＬＣ値、ＬＣ１値およびＬＣ２値やＲＣ値、ＲＣ１値およびＲＣ２値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」が自動的に特定されて検査用データＤｉが生成されるため、この検査用データＤｉに基づいて検査対象Ｘを検査することによって各種の不良が生じ得る検査対象Ｘの良否を的確に判別することができる。

さらに、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「第３の処理」において、Ｍ種類の「仮範囲」毎に、Ｎａ個の「被判別値Ａ０（ＬＣ値やＲＣ値）」のうちの最小値である「良品最小値」、およびＮａ個の「被判別値Ａ０」のうちの最大値である「良品最大値」をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の「被判別値Ｂ０（ＬＣ値やＲＣ値）」毎に、「良品最小値」よりも小さい「被判別値Ｂ０」については「良品最小値」との差を「不良度合値」として演算し、かつ「良品最大値」よりも大きい「被判別値Ｂ０」については「良品最大値」との差を「不良度合値」としてそれぞれ演算すると共に、Ｎｂ個の「被判別値Ｂ０」の各「不良度合値」の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する処理と、Ｍ種類の「仮範囲」毎に、Ｎａ個の「被判別値Ａ１（ＬＣ１値やＲＣ１値）」のうちの最小値である「良品最小値」、およびＮａ個の「被判別値Ａ１」のうちの最大値である「良品最大値」をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の「被判別値Ｂ１（ＬＣ１値やＲＣ１値）」毎に、「良品最小値」よりも小さい「被判別値Ｂ１」については「良品最小値」との差を「不良度合値」として演算し、かつ「良品最大値」よりも大きい「被判別値Ｂ１」については「良品最大値」との差を「不良度合値」としてそれぞれ演算すると共に、Ｎｂ個の「被判別値Ｂ１」の各「不良度合値」の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する処理と、Ｍ種類の「仮範囲」毎に、Ｎａ個の「被判別値Ａ２（ＬＣ２値やＲＣ２値）」のうちの最小値である「良品最小値」、およびＮａ個の「被判別値Ａ２」のうちの最大値である「良品最大値」をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の「被判別値Ｂ２（ＬＣ２値やＲＣ２値）」毎に、「良品最小値」よりも小さい「被判別値Ｂ２」については「良品最小値」との差を「不良度合値」として演算し、かつ「良品最大値」よりも大きい「被判別値Ｂ２」については「良品最大値」との差を「不良度合値」としてそれぞれ演算すると共に、Ｎｂ個の「被判別値Ｂ２」の各「不良度合値」の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する処理とを実行する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、良品試料Ｘａにおいても生じ得る「被判別値」のばらつきの影響を排除することができるため、「対象測定値範囲」に相応しい「仮範囲」を好適に特定して検査用データＤｉを生成することができる。

また、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「第３の処理」において、合計値を「良品最小値」と「良品最大値」との差で除した値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定することにより、「良品最小値」や「良品最大値」との差が同程度の「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」となる「仮範囲」に関し、「良品最小値」と「良品最大値」との差が大きい「仮範囲」（良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」のばらつきが大きい「仮範囲」）よりも、「良品最小値」と「良品最大値」との差が小さい「仮範囲」（良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」のばらつきが小さい「仮範囲」）の方が大きな値が演算されるため、良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」のばらつきの範囲に対する差が大きい「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」が演算され得る「仮範囲」、すなわち、検査対象Ｘの良否を一層確実に判別し得る「仮範囲」を好適に特定して検査用データＤｉを生成することができる。

さらに、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「第３の処理」において、Ｎａ個の「被判別値Ａ０」の分布とＮｂ個の「被判別値Ｂ０」の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の「仮範囲」毎にそれぞれ数値化し、Ｎａ個の「被判別値Ａ１」の分布とＮｂ個の「被判別値Ｂ１」の分布との相違の度合いを予め規定された基準に従ってＭ個の「仮範囲」毎にそれぞれ数値化し、かつＮａ個の「被判別値Ａ２」の分布とＮｂ個の「被判別値Ｂ２」の分布との相違の度合いを予め規定された基準に従ってＭ個の「仮範囲」毎にそれぞれ数値化し、それらの「数値」に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」の分布と、不良品試料Ｘｂについての「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」の分布とが大きい「仮範囲」を的確に特定することができる。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「第３の処理」において、Ｍ種類の「仮範囲」のうちの１つを対象として、対象の「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ対象の「仮範囲」における終点に対応する測定値Ｄ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の良品試料Ｘａについての数値と、対象の「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ対象の「仮範囲」における終点に対応する測定値Ｄ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の不良品試料Ｘｂについての数値とをそれぞれ特定し、特定した各数値のうちの最小値を対象の「仮範囲」に関連付ける処理をＭ個の「仮範囲」をそれぞれ対象の「仮範囲」として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい「仮範囲」ほど予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、不良品試料Ｘｂについての「測定処理Ｂ」時に突発的に生じた測定値Ｄ０のずれに起因して「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」が大きくなったような「仮範囲」が「対象測定値範囲」として特定される事態を招くことなく、その始点や終点が同様の「仮範囲」においても「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」が十分に大きな値となる「仮範囲」、すなわち、不良品試料Ｘｂに生じている定常的な不良の影響で良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０とは異なる値となる測定値Ｄ０を含んでいる「仮範囲」を「対象測定値範囲」として特定して検査用データＤｉを生成することができる。

さらに、このデータ処理装置３では、処理部２３が、予め規定された時間内に測定値Ｄ０が予め規定されたしきい値を超える状態および予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する良品試料Ｘａについての測定値データＤｍおよび不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍを、取得すると共に、「データ生成処理」において、良品試料Ｘａについての予め規定された時間分の各測定値Ｄ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値Ｄ０、および不良品試料Ｘｂについての予め規定された時間分の各測定値Ｄ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値Ｄ０と、良品試料Ｘａについての予め規定された時間分の各測定値Ｄ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値Ｄ０、および不良品試料Ｘｂについての予め規定された時間分の各測定値Ｄ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値Ｄ０とのいずれか予め規定された一方を基準としてＭ種類の「仮範囲」を規定する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、良品試料Ｘａについての「測定処理Ａ」時や、不良品試料Ｘｂについての「測定処理Ｂ」時に測定値データＤｍの始点に僅かなずれが生じた場合であっても、すべての測定値データＤｍにおいて、同じ基準を満たす測定値Ｄ０（Ｋ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値Ｄ０、または、Ｋ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値Ｄ０）を基準として「仮範囲」の始点を特定することができるため、良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍにおける始点の僅かなずれの影響を排除して、「対象測定値範囲」に相応しい「仮範囲」を特定することができる。

また、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「第３の処理」によって特定した「対象測定値範囲」を報知する「特定結果報知処理」を実行することにより、どのような範囲に含まれる測定値Ｄ０を対象として検査対象Ｘの良否が検査されるかを利用者に対して確実かつ容易に認識させることができる。

さらに、このデータ処理装置３、そのようなデータ処理装置３を備えた検査システム１、およびそのような処理を実行させるプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「特定結果報知処理」において、少なくとも、良品試料Ｘａについての測定値データＤｍ、不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍ、および検査対象Ｘについての測定値データＤｍのうちの少なくとも１つに基づく波形を表示部２２に表示させると共に、「対象測定値範囲」を波形に対応させて表示させることで報知することにより、どのような範囲に含まれる測定値Ｄ０を対象として検査対象Ｘの良否が検査されるかを利用者に対して一層容易に認識させることができる。

また、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、良品試料Ｘａについての測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０をＪ１個おきに抽出し、抽出した各測定値Ｄ０、抽出した各測定値Ｄ０に対応する各演算値Ｄ１、および抽出した各測定値Ｄ０に対応する各演算値Ｄ２を使用して「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」をそれぞれ演算すると共に、不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０をＪ２個おきに抽出し、抽出した各測定値Ｄ０、抽出した各測定値Ｄ０に対応する各演算値Ｄ１、および抽出した各測定値Ｄ０に対応する各演算値Ｄ２を使用して「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」をそれぞれ演算することにより、「仮範囲」に含まれるすべての測定値Ｄ０を対象として「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」や「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」を演算する場合と比較して、演算対象の測定値Ｄ０の数が少なくて済む分だけ、処理部２３にかかる負担や、演算結果を一時的に記憶するメモリの容量を十分に小さくすることができる。

なお、「検査用データ生成装置」および「検査システム」の構成や、「検査用データ生成処理用プログラム」に記述されている処理手順は、上記の検査システム１（データ処理装置３）の構成の例や、プログラムデータＤｐの記述の例に限定されない。

例えば、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値との相違の度合い（「被判別値Ａ０」と「被判別値Ｂ０」との相違の度合）、良品試料ＸａについてのＬＣ１値やＲＣ１値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ１値やＲＣ１値との相違の度合い（「被判別値Ａ１」と「被判別値Ｂ１」との相違の度合）、および良品試料ＸａについてのＬＣ２値やＲＣ２値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ２値やＲＣ２値との相違の度合い（「被判別値Ａ２」と「被判別値Ｂ２」との相違の度合）のうちの最も高い度合いの「被判別値」に対応させて検査対象Ｘについての検査時に、ＬＣ値やＲＣ値（被判別値Ｃ０）、ＬＣ１値やＲＣ１値（被判別値Ｃ１）、およびＬＣ２値やＲＣ２値（被判別値Ｃ２）のいずれを使用するかを規定して検査用データＤｉを生成する例について説明したが、相違の度合いが２番目に高い「被判別値」を使用して検査対象Ｘを検査するとの検査用データＤｉを生成する構成・方法を採用することもできる。

また、「データ生成処理」において、良品試料Ｘａを対象とする「測定処理Ａ」の実行回数＝Ｎａと、不良品試料Ｘｂを対象とする「測定処理Ｂ」の実行回数＝Ｎｂとを同数（本例では、Ｎａ＝Ｎｂ＝３０）とした例について説明したが、各測定処理の実行回数については、３０回以外の任意の複数回とすることができ、また、「測定処理Ａ」の実行回数と「測定処理Ｂ」の実行回数とを互いに相違する回数とすることができる。

この場合、Ｎａ回の「測定処理Ａ」によって生成されるＮａ個の「測定値データＡ」については、１つの良品試料Ｘａを対象とするＮａ回の測定処理によって生成されるデータに限定されず、複数の良品試料Ｘａを対象とする合計Ｎａ回の測定処理によって生成されるデータを使用することができる。同様にして、Ｎｂ回の「測定処理Ｂ」によって生成されるＮｂ個の「測定値データＢ」については、１つの不良品試料Ｘｂを対象とするＮｂ回の測定処理によって生成されるデータに限定されず、複数の不良品試料Ｘｂを対象とする合計Ｎｂ回の測定処理によって生成されるデータを使用することができる。なお、複数の良品試料Ｘａを対象とする合計Ｎａ回の測定処理や、複数の不良品試料Ｘｂを対象とする合計Ｎｂ回の測定処理によって生成されるデータを使用する場合には、各良品試料Ｘａ毎の測定処理が複数回で、各不良品試料Ｘｂ毎の測定処理が複数回となるような処理を行うのが好ましい。

また、「データ生成処理」における「測定処理Ａ」の実行回数＝Ｎａ、および「測定処理Ｂ」の実行回数＝Ｎｂと、検査対象Ｘの検査時における「測定処理Ｃ」の実行回数＝Ｎｃとを互いに相違する数（本例では、Ｎａ＝Ｎｂ＝３０：Ｎｃ＝５）とした例について説明したが、各検査対象Ｘの検査時に行う測定処理の実行回数については、「測定処理Ａ」および「測定処理Ｂ」のいずれか（または、双方）と同じ回数とすることができる。

さらに、「データ生成処理」に際して規定する「仮範囲」の種類数は、Ｍ＝９８０，８４０種類に限定されず、Ｍ＝２種類以上の任意の複数種類を規定して「対象測定値範囲」の候補とすることができる。また、測定値データＤｍに記録されている最初の測定値Ｄ０から最後の測定値Ｄ０までを「測定値範囲」として各「被判別値」を演算する構成・方法、すなわち、「仮範囲」や「対象測定値範囲」を規定せずに「被判別値」を演算する構成・方法を採用することもできる。

また、「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」や、「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」の演算に際して、測定値データＤｍに記録されている測定値Ｄ０，Ｄ０・・からＪ１＝Ｊ２＝５個おきに測定値Ｄ０を抽出して使用する例について説明したが、「被判別値」の演算に使用する測定値Ｄ０の抽出間隔（Ｊ１の値、およびＪ１の値）については、「５」以外の任意の自然数とすることができ、また、Ｊ１の値およびＪ２の値を互いに相違する数とすることができる。さらに、「被判別値」の演算に際して、「仮範囲」内のすべての測定値Ｄ０，Ｄ０・・、または、測定値データＤｍに記録されているすべての測定値Ｄ０，Ｄ０・・を使用することもできる。

また、いずれかの「仮範囲」を対象として、始点や終点が同程度の「仮範囲」の「数値」のなかから最小値を特定する際に、対象の「仮範囲」に対して始点や終点などがＬａ＝Ｌｂ＝１サンプリング周期だけ相違する「仮範囲」を対象とする例について説明したが、この処理時におけるＬａの値およびＬｂの値については「１」以外の任意の数とすることができ、また、Ｌａ≠Ｌｂとすることもできる。

さらに、測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの最初に（Ｋ＝１回目に）「しきい値（本例では０Ｖ）」を超えた測定値Ｄ０を基準として「仮範囲」の始点を特定する例について説明したが、Ｋ回目は、１回目（最初）に限定されず、２回目以上の任意の回数とすることができる。また、測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの「Ｋ回目にしきい値」を下回った測定値Ｄ０を基準として「仮範囲」の始点を特定することもできる。この場合、Ｋ回目は、１回目（最初）に限定されず、２回目以上の任意の回数とすることができる。また、「しきい値を下回った測定値」や「しきい値を超えた測定値」に代えて、測定値データＤｍに記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの最小値または最大値を「仮範囲」の始点とすることもできる。

さらに、「良品最小値（ＬＣｍｉｎ、ＲＣｍｉｎ）」よりも小さい「被判別値Ｂ０（ＬＣ値、ＲＣ値）」については「良品最小値」との差を「不良度合値」とし、かつ「良品最大値（ＬＣｍａｘ、ＲＣｍａｘ）」よりも大きい「被判別値Ｂ０」については「良品最大値」との差を「不良度合値」とする例について説明したが、良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ０」の平均値や重心値と不良品試料Ｘｂについての「被判別値Ｂ０」との差異を「不良度合値」とすることもできる。同様にして、良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ１」の平均値や重心値と不良品試料Ｘｂについての「被判別値Ｂ１」との差異を「不良度合値」としたり、良品試料Ｘａについての「被判別値Ａ２」の平均値や重心値と不良品試料Ｘｂについての「被判別値Ｂ２」との差異を「不良度合値」としたりすることもできる。また、「不良度合値の合計値」を「良品最小値と良品最大値との差」で除した値に基づいて「予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲」を特定する例についで説明したが、「不良度合値の合計値」そのものに基づいて、条件を満たす「仮範囲」を特定することもできる。

さらに、「被判別値Ａ０」、「被判別値Ａ１」および「被判別値Ａ２」や、「被判別値Ｂ０」、「被判別値Ｂ１」および「被判別値Ｂ２」は、ＬＣ値、ＬＣ１値およびＬＣ２値やＲＣ値、ＲＣ１値およびＲＣ２値に限定されず、ＬＣ値、ＬＣ１値、ＬＣ２値、ＲＣ値、ＲＣ１値、ＲＣ２値に任意の係数を乗じた値、ＬＣ値をＲＣ値で除した値、ＬＣ１値をＲＣ１値で除した値、およびＬＣ２値をＲＣ２値で除した値などの任意の値を使用することができる。

また、測定装置２から取得した測定値データＤｍの測定値Ｄ０，Ｄ０・・をそのまま使用して「被判別値」を演算すると共に、取得した測定値データＤｍについて任意のフィルタリング処理（任意の値を下回る測定値や、任意の値を超える測定値を除外する処理）を実行し、フィルタリング処理後の測定値Ｄ０ｆを使用して各「被判別値」を演算する構成・方法を例に挙げて説明したが、測定装置２から取得した測定値データＤｍの測定値Ｄ０，Ｄ０・・をそのまま使用して「被判別値」を演算するだけで、フィルタリング処理を行わない構成・方法を採用することもできる。

また、関連付けられた「数値」が最も大きい「仮範囲」（良品試料Ｘａについての「被判別値」と不良品試料Ｘｂについての「被判別値」とが最も相違している「仮範囲」）を「対象測定値範囲」の候補として特定し、特定した「仮範囲」のなかから「対象測定値範囲」を特定する例について説明したが、「予め規定された条件を満たす関係」は、このような例に限定されず、良品試料Ｘａについての「被判別値」と不良品試料Ｘｂについての「被判別値」との相違の度合いが２番目以降の「仮範囲」を「対象測定値範囲」の候補として特定することもできる。

さらに、検査対象Ｘについての検査時に対象測定値範囲表示４１や始点表示４２ａおよび終点表示４２ｂを波形Ｗ（検査対象Ｘについての測定値データＤｍに基づく波形）に対応させて表示することで「対象測定値範囲」を報知する「特定結果報知処理」を例に挙げて説明したが、検査対象Ｘについての検査に先立ち、良品試料Ｘａについての測定値データＤｍや不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍに基づく波形に対応させて「対象測定値範囲」を特定させる任意の表示（対象測定値範囲表示４１や始点表示４２ａおよび終点表示４２ｂなど）を表示させる処理を「特定結果報知処理」として実行することもできる。

また、検査対象Ｘの検査時に検査対象Ｘについての測定値データＤｍに基づく波形を表示させると共に、良品試料Ｘａについての測定値データＤｍに基づく波形、および不良品試料Ｘｂについての測定値データＤｍに基づく波形の少なくとも一方を表示させて、それらの波形に対応させて「対象測定値範囲」を特定させる任意の表示を表示させる処理を「特定結果報知処理」として実行することもできる。また、「対象測定値範囲」は、対象測定値範囲表示４１や始点表示４２ａおよび終点表示４２ｂなどを表示させる処理に限定されず、「対象測定値範囲」を特定可能な情報（始点の位置や終点の位置）を音声メッセージとして出力する処理を行うこともできる。

さらに、「検査システム」としての検査システム１におけるデータ処理装置３の構成要素である表示部２２に「対象測定値範囲」を特定可能な情報を表示させる例について説明したが、外部装置としての表示装置に「対象測定値範囲」を特定可能な情報を表示させることもできる。また、データ処理装置３を「検査用データ生成装置」および「検査装置」として機能させる例について説明したが、検査用データＤｉを生成する「検査用データ生成装置」と、「測定装置」からの「測定値データＣ」および「検査用データ」に基づいて「検査対象」を検査する「検査装置」とを別個独立して備えて「検査システム」を構成することもできる。また、「検査用データ生成装置」、「測定装置」および「検査装置」を１つの装置で構成する（「検査装置」内に「検査用データ生成装置」に相当する要素、および「測定装置」に相当する要素を一体的に設ける）こともできる。

加えて、「検査対象」としての巻線部品を検査する例について説明したが、「検査システム」によって良否を検査する「検査対象」はこれに限定されず、コンデンサや抵抗体などの各種の電子部品、および回路基板上の任意の検査ポイント間を「検査対象」として検査することができる。

１ 検査システム
２ 測定装置
３ データ処理装置
１１ 測定信号発生部
１２ Ａ／Ｄ変換部
１３，２３ 処理部
１４，２４ 記憶部
２１ 操作部
２２ 表示部
３１ 特定結果表示
４０ 測定結果表示画面
４１ 対象測定値範囲表示
４２ａ 始点表示
４２ｂ 終点表示
Ｄ０ 測定値
Ｄ１，Ｄ２ 演算値
Ｄｃ１，Ｄｃ２ 演算値データ
Ｄｉ 検査用データ
Ｄｍ 測定値データ
Ｄｐ プログラムデータ
Ｐ０ 基準点
Ｐ１，Ｐ１ａ 始点ａ
Ｐ２，Ｐ２ａ 終点
ｔ０，ｔ１，ｔ１ａ，ｔ２，ｔ２ａ，ｔｅ，ｔｓ 時点
Ｔ１，Ｔ１ａ，Ｔ２，Ｔ２ａ，ＴＡ 時間
Ｗ，Ｗ０〜Ｗ２，Ｗ０ｆ〜Ｗ２ｆ 波形
Ｘ 検査対象
Ｘａ 良品試料
Ｘｂ 不良品試料

Claims (13)

1. 検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮａ回（Ｎａは、２以上の自然数）の測定処理Ａによって当該予め規定された時間分の複数の測定値ａ０がそれぞれ記録されたＮａ個の測定値データＡと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記測定処理Ａと同じ測定条件で行なわれたＮｂ回（Ｎｂは、２以上の自然数）の測定処理Ｂによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｂ０がそれぞれ記録されたＮｂ個の測定値データＢとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記測定処理Ａおよび前記測定処理Ｂと同じ測定条件で行なわれるＮｃ回（Ｎｃは、２以上の自然数）の測定処理Ｃによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｃ０がそれぞれ記録されるＮｃ個の測定値データＣに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各測定値データＡおよび前記各測定値データＢに基づいて生成するデータ生成処理を実行する処理部を備え、
   前記処理部は、前記データ生成処理において、
   前記各測定値ａ０を一階微分した複数の演算値ａ１、および当該各測定値ａ０を二階微分した複数の演算値ａ２を前記各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、前記各測定値ｂ０を一階微分した複数の演算値ｂ１、および当該各測定値ｂ０を二階微分した複数の演算値ｂ２を前記各測定値データＢ毎にそれぞれ導出する第１の処理と、
   予め規定された測定値範囲内の前記各測定値ａ０、当該測定値範囲に対応する演算値範囲内の前記各演算値ａ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ａ１に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、前記測定値範囲内の前記各測定値ｂ０、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する第２の処理とを実行し、
   前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合に基づいて前記良否判別条件の１つを規定して前記検査用データを生成する検査用データ生成装置。
2. 前記処理部は、前記データ生成処理において、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合が、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合よりも高いときには、前記各測定値データＣにおける前記測定値範囲内の前記各測定値ｃ０、当該測定値範囲内の当該各測定値ｃ０を一階微分した複数の演算値ｃ１、および当該測定値範囲内の当該各測定値ｃ０を二階微分した複数の演算値ｃ２に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ０を演算して当該被判別値Ｃ０に基づいて前記検査対象の良否を判別するとの条件を前記良否判別条件の１つとして規定し、
   前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合が、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合よりも高いときには、前記各演算値ｃ１に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ１を演算して当該被判別値Ｃ１に基づいて前記検査対象の良否を判別するとの条件を前記良否判別条件の１つとして規定し、
   前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合が、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、および前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合よりも高いときには、前記各演算値ｃ２に基づいて良否判別用の被判別値Ｃ２を演算して当該被判別値Ｃ２に基づいて前記検査対象の良否を判別するとの条件を前記良否判別条件の１つとして規定して前記検査用データを生成する請求項１記載の検査用データ生成装置。
3. 前記処理部は、前記データ生成処理において、前記検査対象の検査時に前記測定値データＣに記録されている前記各測定値ｃ０のうちのいずれの当該測定値ｃ０から他のいずれの当該測定値ｃ０までの当該各測定値ｃ０を前記測定値範囲内の測定値ｃ０とすべきかを特定可能な対象測定値範囲を前記良否判別条件の他の１つとして規定するときに、
   前記対象測定値範囲の始点に対応する前記測定値ａ０および前記測定値ｂ０と当該対象測定値範囲の終点に対応する前記測定値ａ０および前記測定値ｂ０との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（Ｍは、２以上の自然数）の仮範囲を規定し、当該各仮範囲を前記測定値範囲として前記第１の処理および前記第２の処理を当該Ｍ種類の仮範囲毎にそれぞれ実行すると共に、前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合を前記Ｍ種類の仮範囲毎にそれぞれ特定して、当該相違の度合いが予め規定された条件を満たす関係となる当該仮範囲を特定する第３の処理を実行し、
   特定した前記仮範囲を前記対象測定値範囲として前記検査用データを生成する請求項１または２記載の検査用データ生成装置。
4. 前記処理部は、前記第３の処理において、
   前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の前記被判別値Ａ０のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎａ個の被判別値Ａ０のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の前記被判別値Ｂ０毎に、前記良品最小値よりも小さい当該被判別値Ｂ０については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該被判別値Ｂ０については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎｂ個の被判別値Ｂ０の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する処理と、
   前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の前記被判別値Ａ１のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎａ個の被判別値Ａ１のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の前記被判別値Ｂ１毎に、前記良品最小値よりも小さい当該被判別値Ｂ１については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該被判別値Ｂ１については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎｂ個の被判別値Ｂ１の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する処理と、
   前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎａ個の前記被判別値Ａ２のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎａ個の被判別値Ａ２のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎｂ個の前記被判別値Ｂ２毎に、前記良品最小値よりも小さい当該被判別値Ｂ２については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該被判別値Ｂ２については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎｂ個の被判別値Ｂ２の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する処理とを実行する請求項３記載の検査用データ生成装置。
5. 前記処理部は、前記第３の処理において、前記合計値を前記良品最小値と前記良品最大値との差で除した値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する請求項４記載の検査用データ生成装置。
6. 前記処理部は、前記第３の処理において、Ｎａ個の前記被判別値Ａ０の分布とＮｂ個の前記被判別値Ｂ０の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の前記仮範囲毎にそれぞれ数値化し、Ｎａ個の前記被判別値Ａ１の分布とＮｂ個の前記被判別値Ｂ１の分布との相違の度合いを当該予め規定された基準に従って当該Ｍ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、かつＮａ個の前記被判別値Ａ２の分布とＮｂ個の前記被判別値Ｂ２の分布との相違の度合いを当該予め規定された基準に従って当該Ｍ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、当該数値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する請求項３から５のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
7. 前記処理部は、前記第３の処理において、前記Ｍ種類の仮範囲のうちの１つを対象として、対象の当該仮範囲における前記始点に対応する測定値ａ０との相違量がＬａサンプリング周期以下（Ｌａは、自然数）の前記測定値ａ０を始点とする前記仮範囲であって、かつ当該対象の仮範囲における前記終点に対応する測定値ａ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下（Ｌｂは、自然数）の前記測定値ａ０を終点とする当該仮範囲の前記数値と、当該対象の仮範囲における前記始点に対応する測定値ｂ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の前記測定値ｂ０を始点とする前記仮範囲であって、かつ当該対象の仮範囲における前記終点に対応する測定値ｂ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の前記測定値ｂ０を終点とする当該仮範囲の前記数値とをそれぞれ特定し、特定した当該各数値のうちの最小値を前記対象の仮範囲に関連付ける処理を当該Ｍ個の仮範囲をそれぞれ前記対象の仮範囲として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい前記仮範囲ほど前記予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして当該予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する請求項６記載の検査用データ生成装置。
8. 前記処理部は、前記予め規定された時間内に前記測定値ａ０が予め規定されたしきい値を超える状態および当該予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する前記各測定値データＡ、および当該予め規定された時間内に前記測定値ｂ０が前記予め規定されたしきい値を超える状態および当該予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する前記各測定値データＢを取得すると共に、前記データ生成処理において、前記予め規定された時間分の前記各測定値ａ０のうちのＫ回目（Ｋは、自然数）に前記予め規定されたしきい値を超えた当該測定値ａ０、および前記予め規定された時間分の前記各測定値ｂ０のうちのＫ回目に当該予め規定されたしきい値を超えた当該測定値ｂ０と、前記予め規定された時間分の前記各測定値ａ０のうちのＫ回目に前記予め規定されたしきい値を下回った当該測定値ａ０、および前記予め規定された時間分の前記各測定値ｂ０のうちのＫ回目に当該予め規定されたしきい値を下回った当該測定値ｂ０とのいずれか予め規定された一方を基準として前記Ｍ種類の仮範囲を規定する請求項３から７のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
9. 前記処理部は、前記第３の処理によって特定した前記対象測定値範囲を報知する特定結果報知処理を実行する請求項３から８のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
10. 前記処理部は、前記特定結果報知処理において、少なくとも前記各測定値データＡ、前記測定値データＢおよび前記測定値データＣのうちの少なくとも１つに基づく波形を表示装置に表示させると共に、前記対象測定値範囲を前記波形に対応させて表示させることで報知する請求項９記載の検査用データ生成装置。
11. 前記処理部は、前記測定値データＡに記録されている各測定値ａ０をＪ１個おき（Ｊ１は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値ａ０、当該抽出した各測定値ａ０に対応する前記各演算値ａ１、および当該抽出した各測定値ａ０に対応する前記各演算値ａ２を使用して前記被判別値Ａ０、前記被判別値Ａ１および前記被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、前記測定値データＢに記録されている各測定値ｂ０をＪ２個おき（Ｊ２は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値ｂ０、当該抽出した各測定値ｂ０に対応する前記各演算値ｂ１、および当該抽出した各測定値ｂ０に対応する前記各演算値ｂ２を使用して前記被判別値Ｂ０、前記被判別値Ｂ１および前記被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する請求項１から１０のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
12. 請求項１から１１のいずれかに記載の検査用データ生成装置と、
    前記測定処理Ａを実行して前記測定値データＡを生成し、かつ前記測定処理Ｂを実行して前記測定値データＢを生成すると共に、前記測定処理Ｃを実行して前記測定値データＣを生成可能に構成された測定装置と、
    前記検査用データ生成装置によって生成された検査用データ、および前記測定装置によって生成された前記測定値データＣに基づいて前記検査対象の良否を検査する検査装置とを備えて当該検査対象の良否を検査可能に構成されている検査システム。
13. 検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮａ回（Ｎａは、２以上の自然数）の測定処理Ａによって当該予め規定された時間分の複数の測定値ａ０がそれぞれ記録されたＮａ個の測定値データＡと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記測定処理Ａと同じ測定条件で行なわれたＮｂ回（Ｎｂは、２以上の自然数）の測定処理Ｂによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｂ０がそれぞれ記録されたＮｂ個の測定値データＢとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記測定処理Ａおよび前記測定処理Ｂと同じ測定条件で行なわれるＮｃ回（Ｎｃは、２以上の自然数）の測定処理Ｃによって前記予め規定された時間分の複数の測定値ｃ０がそれぞれ記録されるＮｃ個の測定値データＣに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各測定値データＡおよび前記各測定値データＢに基づいて生成するデータ生成処理を検査用データ生成装置の処理部に実行させると共に、
    前記データ生成処理において、
    前記各測定値ａ０を一階微分した複数の演算値ａ１、および当該各測定値ａ０を二階微分した複数の演算値ａ２を前記各測定値データＡ毎にそれぞれ導出すると共に、前記各測定値ｂ０を一階微分した複数の演算値ｂ１、および当該各測定値ｂ０を二階微分した複数の演算値ｂ２を前記各測定値データＢ毎にそれぞれ導出する第１の処理と、
    予め規定された測定値範囲内の前記各測定値ａ０、当該測定値範囲に対応する演算値範囲内の前記各演算値ａ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ａ１に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ａ２に基づいて対応する前記各測定値データＡ毎に良否判別用の被判別値Ａ２をそれぞれ演算すると共に、前記測定値範囲内の前記各測定値ｂ０、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１、および当該演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ０をそれぞれ演算し、前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ１に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ１をそれぞれ演算し、かつ前記演算値範囲内の前記各演算値ｂ２に基づいて対応する前記各測定値データＢ毎に良否判別用の被判別値Ｂ２をそれぞれ演算する第２の処理とを実行し、
    前記被判別値Ａ０と前記被判別値Ｂ０との相違の度合、前記被判別値Ａ１と前記被判別値Ｂ１との相違の度合、および前記被判別値Ａ２と前記被判別値Ｂ２との相違の度合に基づいて前記良否判別条件の１つを規定して前記検査用データを生成する処理を前記処理部に実行させる検査用データ生成処理用プログラム。

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