JP2019032191A - 検査用データ生成装置、検査システムおよび検査用データ生成処理用プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】各種不良が生じ得る検査対象の良否を的確に判別可能な検査用データを提供する。【解決手段】検査対象の検査時に測定値データ内のいずれの測定値からいずれの測定値までの各測定値に基づいて良否を判別すべきかを特定可能な対象測定値範囲を良否判別条件の１つとして規定するときに、対象測定値範囲の始点（時点ｔ１，ｔ１ａ等）に対応する測定値と終点（時点ｔ２，ｔ２ａ等）に対応する測定値との組合せを異ならせた複数種類の仮範囲を規定し、各良品試料についての測定値データ毎に各仮範囲内の各測定値に基づいて良否判別用の第１の被判別値を演算し、不良品試料についての各第２の測定値データ毎に各仮範囲内の各測定値に基づいて良否判別用の第２の被判別値を演算し、第１の被判別値と第２の被判別値とが規定条件を満たす関係となる仮範囲を特定して対象測定値範囲とする。【選択図】図２

Description

本発明は、検査対象と同種の良品の試料についての測定値データ、および検査対象と同種の不良品の試料についての測定値データに基づき、検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを生成する技術に関するものである。

例えば、下記の特許文献には、電動機や発電機などの回転機における巻線の良否を診断可能に構成された巻線診断システム（以下、単に「診断システム」ともいう）の発明が開示されている。この診断システムによる巻線の良否診断に際しては、まず、診断対象の巻線に対してインパルス電圧発生回路からインパルス電圧を印加すると共に、巻線における両端間の電圧値を所定のサンプリング周期でサンプリング（測定）する。これにより、巻線の状態に応じた減衰振動波形が観測される。なお、実際には、回転子を所定の角度ずつ回転させて同様の処理繰り返し行うが、背景技術についての理解を容易とするために、回転子の回転に関する説明を省略する。

次いで、巻線およびインパルス電圧発生回路から構成される回路における等価回路定数のレジスタンスをＲとし、インダクタンスをＬとし、キャパシタンスをＣとし、かつ巻線およびインパルス電圧発生回路から構成される回路をＲＬＣの直列回路と見なして、その直列回路における各等価回路定数の乗算値ＬＣおよびＲＣ（以下「ＬＣ値」、「ＲＣ値」ともいう）を擬似逆行列を用いて算出する。この際には、上記の測定処理によって得られた測定値（電圧値）が最小となる時点、または、測定値のゼロクロス時（電圧値が０Ｖとなった時点）をサンプリング開始の基準（ＬＣ値およびＲＣ値を算出する測定値範囲の始点）とし、かつ電圧波形の半周期以上の予め規定された数（一例として、１０点以上の）測定値を用いてＬＣ値およびＲＣ値を算出する。

この後、算出したＬＣ値と良品のＬＣ値との相違、および算出したＲＣ値と良品のＲＣ値との相違に基づいて検査対象の巻線が良品か不良品かが診断される。

特許５７２１５８１号公報（第８−１３頁、第１−１８図）

ところが、上記の特許文献に開示の診断システムの構成には、以下のような問題点が存在する。具体的には、上記特許文献に開示の診断システムでは、巻線の両端間にインパルス電圧を印加して両端間の電圧値をサンプリング（測定）し、観測される減衰振動波形のうちの予め規定された時点の測定値（最小値、またはゼロクロス時の測定値）を始点とする予め規定された数（電圧波形の半周期以上の１０点以上）の測定値を対象として演算したＬＣ値およびＲＣ値に基づいて巻線の良否が診断される構成が採用されている。

一方、出願人は、上記の診断システムによる良否診断の手順と同様の手順に従って巻線部品（巻線）の良否の検査を試みたところ、巻線部品の種類や、巻線部品に生じている不良の種類によっては、その巻線が良品であるか不良品であるかの判別が困難となることがあることを見出した。この場合、上記の特許文献に開示の診断システムによる良品診断手順や、出願人が試みた良否検査手順では、巻線部品の状態に応じて（すなわち、巻線部品が良品であるか不良品であるかに応じて）インパルス電圧を印加した際の減衰振動波形に差異が生じる現象を利用している。そこで、出願人は、各種の不良が生じている巻線部品を対象としてインパルス電圧印加後の減衰振動波形を観察したところ、不良品の減衰振動波形と良品の減衰振動波形とが相違する状態となるタイミングが、巻線部品の種類や、巻線部品に生じている不良の種類によって大きく相違することを見出した。

具体的には、不良品から得られた減衰振動波形は、インパルス電圧の印加を終了してから振動波形が十分に減衰するまで、良品の減衰振動波形と大きく相違する状態となるものだけではない。例えば、インパルス電圧の印加を終了した直後には、不良品の減衰振動波形が良品の減衰振動波形とほぼ同様の状態であるものの、印加を終了してからある程度の時間が経過したときに不良品の減衰振動波形が良品の減衰振動波形とは大きく相違する状態となることがあり、両波形が相違する状態となるタイミングについては様々である。

このため、診断対象（検査対象）に生じている不良の種類によらず、常に、予め規定された時点の測定値（例えば、最小値）を始点とする予め規定された数（例えば、振動波形の半周期に相当する数）の測定値に基づいてＬＣ値やＲＣ値を演算する上記の診断システムの構成では、不良品の減衰振動波形における上記の始点（最小値）から規定数（半周期分）の範囲内の測定値の大半が良品の減衰振動波形の測定値と大きく相違するタイプの不良については、その範囲内の測定値に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値に基づいて巻線部品の良否を的確に判別することができるものの、不良品の減衰振動波形における上記の始点（最小値）から規定数（半周期分）の範囲内の測定値の大半が良品の減衰振動波形の測定値と同様となるタイプ（例えば、振動波形の半周期よりも後のタイミングで良品の減衰振動波形と大きく異なる測定値となるタイプ）の不良については、その範囲内の測定値に基づいて演算されるＬＣ値やＲＣ値が良品についてのＬＣ値やＲＣ値と同様の値となるため、検査対象の巻線部品が良品であるか不良品であるかの判別が非常に困難となる。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、各種の不良が生じ得る検査対象の良否を的確に判別可能な検査用データを提供し得る検査用データ生成装置および検査用データ生成処理用プログラム、並びに、そのような検査用データに基づく検査対象の検査を実行し得る検査システムを提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の検査用データ生成装置は、検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮ１回（Ｎ１は、２以上の自然数）の第１の測定処理によって当該予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ１個の第１の測定値データと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記第１の測定処理と同じ測定条件で行なわれたＮ２回（Ｎ２は、２以上の自然数）の第２の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ２個の第２の測定値データとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記第１の測定処理および前記第２の測定処理と同じ測定条件で行なわれるＮ３回（Ｎ３は、２以上の自然数）の第３の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されるＮ３個の第３の測定値データに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各第１の測定値データおよび前記各第２の測定値データに基づいて生成するデータ生成処理を実行する処理部を備え、前記処理部は、前記データ生成処理において、前記検査対象の検査時に前記第３の測定値データに記録されている前記各測定値のうちのいずれの当該測定値から他のいずれの当該測定値までの当該各測定値に基づいて当該検査対象の良否を判別すべきかを特定可能な対象測定値範囲を前記良否判別条件の１つとして規定するときに、当該対象測定値範囲の始点に対応する前記測定値と当該対象測定値範囲の終点に対応する前記測定値との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（Ｍは、２以上の自然数）の仮範囲を規定し、かつ前記各第１の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第１の被判別値をそれぞれ演算する第１の演算処理と、前記各第２の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第２の被判別値をそれぞれ演算する第２の演算処理とを実行すると共に、前記第１の被判別値と前記第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する特定処理を実行し、特定した前記仮範囲を前記対象測定値範囲として前記検査用データを生成する。

また、請求項２記載の検査用データ生成装置は、請求項１記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定処理において、前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎ１個の前記第１の被判別値のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎ１個の第１の被判別値のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎ２個の前記第２の被判別値毎に、前記良品最小値よりも小さい当該第２の被判別値については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該第２の被判別値については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎ２個の第２の被判別値の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する。

さらに、請求項３記載の検査用データ生成装置は、請求項２記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定処理において、前記合計値を前記良品最小値と前記良品最大値との差で除した値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する。

また、請求項４記載の検査用データ生成装置は、請求項１から３のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定処理において、Ｎ１個の前記第１の被判別値の分布とＮ２個の前記第２の被判別値の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の前記仮範囲毎にそれぞれ数値化し、当該数値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

さらに、請求項５記載の検査用データ生成装置は、請求項４記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定処理において、前記Ｍ種類の仮範囲のうちの１つを対象として、対象の当該仮範囲における前記始点に対応する測定値との相違量がＬａサンプリング周期以下（Ｌａは、自然数）の前記測定値を始点とする前記仮範囲であって、かつ当該対象の仮範囲における前記終点に対応する測定値との相違量がＬｂサンプリング周期以下（Ｌｂは、自然数）の前記測定値を終点とする当該仮範囲の前記数値をそれぞれ特定し、特定した当該各数値のうちの最小値を前記対象の仮範囲に関連付ける処理を当該Ｍ個の仮範囲をそれぞれ前記対象の仮範囲として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい前記仮範囲ほど前記予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして当該予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

また、請求項６記載の検査用データ生成装置は、請求項１から５のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記予め規定された時間内に前記測定値が予め規定されたしきい値を超える状態および当該予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する前記各第１の測定値データおよび前記各第２の測定値データを取得すると共に、前記データ生成処理において、前記予め規定された時間分の前記各測定値のうちのＫ回目（Ｋは、自然数）に前記予め規定されたしきい値を超えた当該測定値、およびＫ回目に当該予め規定されたしきい値を下回った当該測定値のいずれか予め規定された一方を基準として前記Ｍ種類の仮範囲を規定する。

さらに、請求項７記載の検査用データ生成装置は、請求項１から６のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記第１の測定値データに記録されている各測定値をＪ１個おき（Ｊ１は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値に基づいて前記第１の被判別値を演算すると共に、前記第２の測定値データに記録されている各測定値をＪ２個おき（Ｊ２は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値に基づいて前記第２の被判別値を演算する。

また、請求項８記載の検査用データ生成装置は、請求項１から７のいずれかに記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定処理によって特定した前記対象測定値範囲を報知する特定結果報知処理を実行する。

さらに、請求項９記載の検査用データ生成装置は、請求項８記載の検査用データ生成装置において、前記処理部は、前記特定結果報知処理において、少なくとも前記各第１の測定値データ、前記第２の測定値データおよび前記第３の測定値データのうちの少なくとも１つの波形を表示装置に表示させると共に、前記対象測定値範囲を前記波形に対応させて表示させることで報知する。

また、請求項１０記載の検査システムは、請求項１から９のいずれかに記載の検査用データ生成装置と、前記第１の測定処理を実行して前記第１の測定値データを生成し、かつ前記第２の測定処理を実行して前記第２の測定値データを生成すると共に、前記第３の測定処理を実行して前記第３の測定値データを生成可能に構成された測定装置と、前記検査用データ生成装置によって生成された検査用データ、および前記測定装置によって生成された前記第３の測定値データに基づいて前記検査対象の良否を検査する検査装置とを備えて当該検査対象の良否を検査可能に構成されている。

また、請求項１１記載の検査用データ生成処理用プログラムは、検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮ１回（Ｎ１は、２以上の自然数）の第１の測定処理によって当該予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ１個の第１の測定値データと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記第１の測定処理と同じ測定条件で行なわれたＮ２回（Ｎ２は、２以上の自然数）の第２の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ２個の第２の測定値データとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記第１の測定処理および前記第２の測定処理と同じ測定条件で行なわれるＮ３回（Ｎ３は、２以上の自然数）の第３の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されるＮ３個の第３の測定値データに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各第１の測定値データおよび前記各第２の測定値データに基づいて生成するデータ生成処理を検査用データ生成装置の処理部に実行させると共に、前記データ生成処理において、前記検査対象の検査時に前記第３の測定値データに記録されている前記各測定値のうちのいずれの当該測定値から他のいずれの当該測定値までの当該各測定値に基づいて当該検査対象の良否を判別すべきかを特定可能な対象測定値範囲を前記良否判別条件の１つとして規定するときに、当該対象測定値範囲の始点に対応する前記測定値と当該対象測定値範囲の終点に対応する前記測定値との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（Ｍは、２以上の自然数）の仮範囲を規定し、かつ前記各第１の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第１の被判別値をそれぞれ演算する第１の演算処理と、前記各第２の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第２の被判別値をそれぞれ演算する第２の演算処理とを実行すると共に、前記第１の被判別値と前記第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する特定処理を実行し、特定した前記仮範囲を前記対象測定値範囲として前記検査用データを生成する処理を前記処理部に実行させる。

請求項１記載の検査用データ生成装置では、処理部が、検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを生成するデータ生成処理において、検査対象の検査時に第３の測定値データに記録されている各測定値のうちのいずれの測定値から他のいずれの測定値までの各測定値に基づいて検査対象の良否を判別すべきかを特定可能な対象測定値範囲を良否判別条件の１つとして規定するときに、対象測定値範囲の始点に対応する測定値と対象測定値範囲の終点に対応する測定値との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類の仮範囲を規定し、かつ各第１の測定値データ毎に各仮範囲内の各測定値に基づいて良否判別用の第１の被判別値をそれぞれ演算する第１の演算処理と、各第２の測定値データ毎に各仮範囲内の各測定値に基づいて良否判別用の第２の被判別値をそれぞれ演算する第２の演算処理とを実行すると共に、第１の被判別値と第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する特定処理を実行し、特定した仮範囲を対象測定値範囲として検査用データを生成する。

また、請求項１０記載の検査システムは、データ生成処理を実行する検査用データ生成装置と、良品の試料、不良品の試料および検査対象についての測定処理を実行して第１の測定値データ、第２の測定値データおよび第３の測定値データを生成する測定装置と、検査用データおよび第３の測定値データに基づいて検査対象の良否を検査する検査装置とを備えて検査対象の良否を検査可能に構成されている。さらに、請求項１１記載の検査用データ生成処理用プログラムでは、上記のデータ生成処理を検査用データ生成装置の処理部に実行させる。

したがって、請求項１記載の検査用データ生成装置、請求項１０記載の検査システム、および請求項１１記載の検査用データ生成処理用プログラムによれば、検査対象の種類や、測定環境の相違に応じて、検査対象についての第３の測定値データに記録されている各測定値のうちから、良品の試料についての第１の被判別値と、不良品の試料についての第２の被判別値とが大きく相違する関係となる対象測定値範囲が自動的に特定されて検査用データが生成されるため、この検査用データに基づいて検査対象を検査することによって各種の不良が生じ得る検査対象の良否を的確に判別することができる。

請求項２記載の検査用データ生成装置では、処理部が、特定処理において、Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎ１個の第１の被判別値のうちの最小値である良品最小値、およびＮ１個の第１の被判別値のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎ２個の第２の被判別値毎に、良品最小値よりも小さい第２の被判別値については良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ良品最大値よりも大きい第２の被判別値については良品最大値との差を不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、Ｎ２個の第２の被判別値の各不良度合値の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

したがって、請求項２記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、良品の試料においても生じ得る被判別値のばらつきの影響を排除することができるため、対象測定値範囲に相応しい仮範囲を好適に特定して検査用データを生成することができる。

請求項３記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、特定処理において、合計値を良品最小値と良品最大値との差で除した値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定することにより、良品最小値や良品最大値との差が同程度の第２の被判別値となる仮範囲に関し、良品最小値と良品最大値との差が大きい仮範囲（良品の試料についての第１の被判別値のばらつきが大きい仮範囲）よりも、良品最小値と良品最大値との差が小さい仮範囲（良品の試料についての第１の被判別値のばらつきが小さい仮範囲）の方が大きな値が演算されるため、良品の試料についての第１の被判別値のばらつきの範囲に対する差が大きい第２の被判別値が演算され得る仮範囲、すなわち、検査対象の良否を一層確実に判別し得る仮範囲を好適に特定して検査用データを生成することができる。

請求項４記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、特定処理において、Ｎ１個の第１の被判別値の分布とＮ２個の第２の被判別値の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の仮範囲毎にそれぞれ数値化し、数値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定することにより、良品の試料についての第１の被判別値の分布と、不良品の試料についての第２の被判別値の分布とが大きい仮範囲を的確に特定することができる。

請求項５記載の検査用データ生成装置では、処理部が、特定処理において、Ｍ種類の仮範囲のうちの１つを対象として、対象の仮範囲における始点に対応する測定値との相違量がＬａサンプリング周期以下の測定値を始点とする仮範囲であって、かつ対象の仮範囲における終点に対応する測定値との相違量がＬｂサンプリング周期以下の測定値を終点とする仮範囲の数値をそれぞれ特定し、特定した各数値のうちの最小値を対象の仮範囲に関連付ける処理をＭ個の仮範囲をそれぞれ対象の仮範囲として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい仮範囲ほど予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する。

したがって、請求項５記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、不良品の試料についての第２の測定処理時に突発的に生じた測定値のずれに起因して第２の被判別値が大きくなったような仮範囲が対象測定値範囲として特定される事態を招くことなく、その始点や終点が同様の仮範囲においても第２の被判別値が十分に大きな値となる仮範囲、すなわち、不良品の試料に生じている定常的な不良の影響で良品の試料についての測定値とは異なる値となる測定値を含んでいる仮範囲を対象測定値範囲として特定して検査用データを生成することができる。

請求項６記載の検査用データ生成装置では、処理部が、予め規定された時間内に測定値が予め規定されたしきい値を超える状態および予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する各第１の測定値データおよび各第２の測定値データを取得すると共に、データ生成処理において、予め規定された時間分の各測定値のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値、およびＫ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値のいずれか予め規定された一方を基準としてＭ種類の仮範囲を規定する。

したがって、請求項６記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、良品の試料についての第１の測定処理時や、不良品の試料についての第２の測定処理時に第１の測定値データや第２の測定値データの始点に僅かなずれが生じた場合であっても、すべての測定値データにおいて、同じ基準を満たす測定値（Ｋ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値、または、Ｋ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値）を基準として仮範囲の始点を特定することができるため、測定値データの始点の僅かなずれの影響を排除して、対象測定値範囲に相応しい仮範囲を特定することができる。

請求項７記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、第１の測定値データに記録されている各測定値をＪ１個おきに抽出し、抽出した各測定値に基づいて第１の被判別値を演算すると共に、第２の測定値データに記録されている各測定値をＪ２個おきに抽出し、抽出した各測定値に基づいて第２の被判別値を演算することにより、仮範囲に含まれるすべての測定値を対象として第１の被判別値や第２の被判別値を演算する場合と比較して、演算対象の測定値の数が少なくて済む分だけ、処理部にかかる負担や、演算結果を一時的に記憶するメモリの容量を十分に小さくすることができる。

請求項８記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、特定処理によって特定した対象測定値範囲を報知する特定結果報知処理を実行することにより、どのような範囲に含まれる測定値を対象として検査対象の良否が検査されるかを利用者に対して確実かつ容易に認識させることができる。

請求項９記載の検査用データ生成装置、そのような検査用データ生成装置を備えた検査システム、およびそのような処理を実行させる検査用データ生成処理用プログラムによれば、処理部が、特定結果報知処理において、少なくとも各第１の測定値データ、第２の測定値データおよび第３の測定値データのうちの少なくとも１つの波形を表示装置に表示させると共に、対象測定値範囲を波形に対応させて表示させて報知することにより、どのような範囲に含まれる測定値を対象として検査対象の良否が検査されるかを利用者に対して一層容易に認識させることができる。

検査システム１の構成を示す構成図である。 検査対象にインパルス電圧を印加したときに測定される減衰振動波形の一例について説明するための説明図である。 検査システム１におけるデータ処理装置３の表示部２２に表示される測定結果表示画面３０の一例を示す表示画面図である。 良品試料Ｘａについての測定値に基づいて演算されるＬＣ値（ＲＣ値）、および不良品試料Ｘｂについての測定値に基づいて演算されるＬＣ値（ＲＣ値）の一例について説明するための説明図である。 良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）の分布と、不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の一例について説明するための説明図である。 良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）の分布と、不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の他の一例について説明するための説明図である。 検査対象値範囲の種類と、良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）および不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の数値化について説明するための説明図である。 検査対象値範囲の種類と、良品試料ＸａのＬＣ値（ＲＣ値）および不良品試料ＸｂのＬＣ値（ＲＣ値）との関係の数値化について説明するための他の説明図である。

以下、検査用データ生成装置、検査システムおよび検査用データ生成処理用プログラムの実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、検査システム１の構成について説明する。図１に示す検査システム１は、「測定装置」、「検査用データ生成装置」および「検査装置」を一体的に備えた「検査システム」の一例である「インパルス試験システム」であって、測定装置２およびデータ処理装置３を備えて検査対象Ｘ（「検査対象」の一例）の良否を検査することができるように構成されている。この場合、検査対象Ｘは、「検査対象」の一例であって、本例では、一例として巻線部品（コイル）を検査対象Ｘとして良否を検査する例について説明する。なお、この検査対象Ｘについては、検査対象Ｘと同種の（同じ型式製品の）巻線部品である良品試料Ｘａ（「良品の試料」の一例）、および検査対象Ｘと同種の（同じ型式製品の）巻線部品である不良品試料Ｘｂ（「不良品の試料」の一例）がそれぞれ用意されているものとする。

測定装置２は、「測定装置」に相当し、一例として、データ処理装置３の制御に従い、検査対象Ｘ、良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂを対象とする各種の測定処理を実行可能に構成されている。具体的には、測定装置２は、測定信号発生部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、処理部１３および記憶部１４などを備えている。測定信号発生部１１は、処理部１３の制御に従って測定対象（検査対象Ｘ、良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂなど）の両端間に測定信号としてのインパルス電圧を印加する。Ａ／Ｄ変換部１２は、一例として、処理部１３の制御に従い、指定された周期（サンプリング周期：測定周期）で測定対象の両端間の電圧値をＡ／Ｄ変換（サンプリング：測定）して測定値Ｄ０（サンプリング値）を処理部１３に順次出力する。

処理部１３は、測定装置２を総括的に制御する。具体的には、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して測定対象にインパルス電圧を印加させると共に、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して任意の周期で電圧値のＡ／Ｄ変換処理（サンプリング処理）を実行させる。また、処理部１３は、Ａ／Ｄ変換部１２から出力される測定値Ｄ０を記憶部１４に記憶させ、かつ測定値Ｄ０に基づいて測定値データＤ１を生成して記憶部１４に記憶させると共に、生成した測定値データＤ１をデータ処理装置３に出力する。記憶部１４は、処理部１３の動作プログラムのデータや、上記の測定値Ｄ０および測定値データＤ１などを記憶する。なお、実際の測定装置２には、測定装置２の動作条件を指示するための各種の操作スイッチや、測定条件の設定画面および測定値の表示画面などを表示する表示部を備えて構成されているが、これらについての図示および説明を省略する。

一方、データ処理装置３は、「検査用データ生成装置」に相当し、測定装置２から出力される良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１に基づき、検査対象Ｘについての検査を行うための検査用データＤ２を生成する。また、データ処理装置３は、「検査装置」に相当し、生成した検査用データＤ２、および測定装置２から出力される検査対象Ｘについての測定値データＤ１に基づき、検査対象Ｘの良否を検査する。この場合、本例の検査システム１では、一例として、「検査用データ生成処理用プログラム」に相当するプログラムデータＤｐが既存のパーソナルコンピュータにインストールされてデータ処理装置３が構成されている。

具体的には、このデータ処理装置３は、操作部２１、表示部２２、処理部２３および記憶部２４を備えている。操作部２１は、キーボード、およびマウスやタッチパネルなどのポインティングデバイスを備え（図示せず）、これらに対する操作に応じた操作信号を処理部２３に出力する。表示部２２は、「表示装置」の一例であって、処理部２３の制御に従い、図３に示す測定結果表示画面３０などの各種の表示画面を表示する。

処理部２３は、「処理部」の一例であって、データ処理装置３を総括的に制御する。具体的には、処理部２３は、後述するようにプログラムデータＤｐに従い、測定装置２を制御して良品試料Ｘａを対象とする測定処理（「第１の測定処理」の一例）、および不良品試料Ｘｂを対象とする測定処理（「第２の測定処理」の一例）を実行させると共に、測定装置２から出力される測定値データＤ１に基づいて検査用データＤ２を生成する処理（「データ生成処理」の一例）を実行する。なお、検査用データＤ２の生成処理については、後に詳細に説明する。

また、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、測定装置２を制御して検査対象Ｘを対象とする測定処理（「第３の測定処理」の一例）を実行させると共に、生成した検査用データＤ２、および検査システム１から出力される測定値データＤ１に基づいて検査対象Ｘの良否を検査する検査処理を実行する。なお、この検査処理についても、後に詳細に説明する。記憶部２４は、プログラムデータＤｐ（処理部２３の動作プログラムのデータ）や、検査システム１から出力される測定値データＤ１、および処理部２３によって生成される検査用データＤ２などを記憶する。

次に、検査システム１による検査対象Ｘの検査方法について、添付図面を参照して説明する。なお、データ処理装置３にプログラムデータＤｐをインストールする作業や、測定装置２とデータ処理装置３とを接続する作業については既に完了しているものとする。

検査対象Ｘを検査するための検査用データＤ２の生成に際しては、まず、良品試料Ｘａを対象とする測定処理によって測定値データＤ１を得ると共に、不良品試料Ｘｂを対象とする測定処理によって測定値データＤ１を得る。この際には、良品試料Ｘａを対象とする複数回の測定処理を実行して複数の測定値データＤ１を得ると共に、不良品試料Ｘｂを対象とする複数回の測定処理を実行して複数の測定値データＤ１を得ることにより、後に、これらの測定値データＤ１に基づいて検査用データＤ２を生成する際に、検査対象Ｘの検査時に行なわれる測定処理においても生じ得る測定値Ｄ０のばらつきの程度を反映した検査用データＤ２を生成することが可能となる。

具体的には、まず、データ処理装置３の操作部２１を操作して検査用データＤ２の生成処理の開始を指示する。この際に、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、一例として「良品の試料をセットして下さい。」とのメッセージを表示部２２に表示させる。これに応じて、利用者は、測定装置２（測定信号発生部１１およびＡ／Ｄ変換部１２）を良品試料Ｘａに接続する。次いで、データ処理装置３の処理部２３がプログラムデータＤｐに従って測定装置２を制御することにより、一例として、良品試料Ｘａについての３０回（Ｎ１＝３０回の例）の測定処理を実行させる。

この際に、測定装置２では、処理部１３が、まず、Ａ／Ｄ変換部１２を制御して処理部２３から指示されたサンプリング周期（「予め規定されたサンプリング周期」の一例）での電圧値のサンプリング（測定）を開始させる。これにより、Ａ／Ｄ変換部１２から良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０（良品試料Ｘａの両端間の電圧値）が順次出力されて記憶部１４に記憶される。また、処理部１３は、測定信号発生部１１を制御して良品試料Ｘａにインパルス電圧を印加させる。この際には、良品試料Ｘａの両端間の測定値Ｄ０（電圧値）が、図２に示す減衰振動波形のように変化する。

次いで、処理部１３は、一例として、良品試料Ｘａに対するインパルス電圧の印加を開始させる直前の時点ｔｓから、処理部２３によって指示された時間ＴＡが経過した時点ｔｅにおいて、この時間ＴＡ内にＡ／Ｄ変換部１２から出力された複数の測定値Ｄ０，Ｄ０・・を記録して測定値データＤ１（「第１の測定処理によって予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ１個の第１の測定値データ」のうちの１個の一例）を生成し、生成した測定値データＤ１を記憶部１４に記憶させる。また、処理部１３は、生成した測定値データＤ１をデータ処理装置３に出力する。これにより、Ｎ１＝３０回の測定処理のうちの１回が完了する。

この場合、上記の時間ＴＡは、インパルス電圧の印加を完了した後に良品試料Ｘａの両端間に生じる減衰振動が十分に減衰する時間であって、検査対象Ｘ（良品試料Ｘａおよび不良品試料Ｘｂ）の種類（型式）に応じて予め規定されている。また、本例の検査システム１では、一例として、データ処理装置３から測定装置２に対して「測定値データＤ１を構成する測定値Ｄ０の数」の提示によって上記の時間ＴＡが指示される構成が採用されている。

一方、データ処理装置３では、処理部２３が、測定装置２から出力された測定値データＤ１を良品試料Ｘａについてのデータの１つとして記憶部２４に記憶させる。この後、測定装置２では、処理部１３がＮ１＝３０回の測定処理のうちの２回目以降の測定処理を順次実行する。これにより、測定装置２から出力された良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個の測定値データＤ１がデータ処理装置３の記憶部２４に記憶された状態となる（「予め規定された時間（本例では、時間ＴＡ）内に測定値が予め規定されたしきい値（一例として、０Ｖ）を超える状態、および予め規定されたしきい値（０Ｖ）を下回る状態に周期的に変化するＮ１個の第１の測定値データを取得する」との処理が完了した状態の一例）。

また、良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個の測定値データＤ１の記憶が完了したときに、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、一例として「良品の試料に代えて不良品の試料をセットして下さい。」とのメッセージを表示部２２に表示させる。これに応じて、利用者は、測定装置２（測定信号発生部１１およびＡ／Ｄ変換部１２）を不良品試料Ｘｂに接続する。次いで、データ処理装置３の処理部２３がプログラムデータＤｐに従って測定装置２を制御することにより、一例として、不良品試料Ｘｂについての３０回（Ｎ２＝３０回の例）の測定処理を実行させる。

なお、詳細な説明を省略するが、不良品試料Ｘｂを対象とするＮ２＝３０回の測定処理については、上記の良品試料Ｘａを対象とするＮ１＝３０回の測定処理と同様の測定条件下で実行される。これにより、測定装置２から出力された不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個の測定値データＤ１がデータ処理装置３の記憶部２４に記憶された状態となる（「予め規定された時間（本例では、時間ＴＡ）内に測定値が予め規定されたしきい値（本例では、０Ｖ）を超える状態、および予め規定されたしきい値（０Ｖ）を下回る状態に周期的に変化するＮ２個の第２の測定値データを取得する」との処理が完了した状態の一例）。

また、不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個の測定値データＤ１の記憶が完了したときに、処理部２３は、検査対象Ｘの良否を検査するための検査用データＤ２の生成処理（データ生成処理）を開始する。この場合、本例の検査システム１では、データ処理装置３の処理部２３が、プログラムデータＤｐに従い、取得した上記のＮ１＝３０個の測定値データＤ１およびＮ２＝３０個の測定値データＤ１に基づき、検査対象Ｘの検査時に良品試料Ｘａについての上記の各測定処理（第１の測定処理）や不良品試料Ｘｂについての上記の各測定処理（第２の測定処理）と同じ測定条件で行なわれる検査対象Ｘについての５回（Ｎ３＝５回の例）の測定処理（第３の測定処理）によって上記の時間ＴＡ（予め規定された時間）分の複数の測定値Ｄ０がそれぞれ記録されるＮ３＝５個の測定値データＤ１に基づく検査対象Ｘの良否判別の条件を特定可能な検査用データＤ２を生成する構成が採用されている。

具体的には、処理部２３は、良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個の測定値データＤ１や不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個の測定値データＤ１を解析することにより、検査対象Ｘの検査時に検査対象Ｘについての測定値データＤ１に記録される時間ＴＡ分の各測定値Ｄ０のうちのいずれの測定値Ｄ０から他のいずれの測定値Ｄ０までの測定値Ｄ０，Ｄ０・・に基づいて検査対象Ｘの良否を判別すべきかを特定可能な「対象測定値範囲」を良否判別条件の１つとして規定する。

より具体的には、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、時間ＴＡ分の測定値Ｄ０，Ｄ０・・がそれぞれ記録されている上記の各測定値データＤ１について「対象測定値範囲」とする範囲の候補である「仮範囲」を異ならせてＬＣ値をそれぞれ演算し、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」を特定すると共に、時間ＴＡ分の測定値Ｄ０，Ｄ０・・がそれぞれ記録されている上記の各測定値データＤ１について「対象測定値範囲」を異ならせてＲＣ値をそれぞれ演算し、良品試料ＸａについてのＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」を特定し、特定した「対象測定値範囲」を特定可能な情報を「良否判別条件」の１つとして記録して検査用データＤ２を生成する処理を実行する構成が採用されている。

したがって、処理部２３は、まず、プログラムデータＤｐに従い、上記の「対象測定値範囲」の始点に対応する測定値Ｄ０と「対象測定値範囲」の終点に対応する測定値Ｄ０との組合せを異ならせた複数種類の「仮範囲（「Ｍ種類の仮範囲」の一例）」を規定する。この場合、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、一例として、測定値データＤ１に記録されている時間ＴＡ時間分の測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの最初に０Ｖを超えた測定値Ｄ０を基準の測定値Ｄ０とし（「Ｋ＝１回目に、予め規定されたしきい値としての０Ｖを超えた測定値」を基準とする処理の例）、「基準の測定値Ｄ０から○○個前（または、○○個後）」との条件を満たす測定値Ｄ０を「仮範囲」の始点とし、かつ「始点とした測定値Ｄ０から○○個後」との条件を満たす測定値Ｄ０を「仮範囲」の終点として「仮範囲」を規定する構成が採用されている。なお、上記の「しきい値」については、０Ｖ以外の任意の値を定めることができる。

具体的には、Ｍ種類の「仮範囲」の１つとしては、一例として、図２に示す基準点Ｐ０（時点ｔ０）の測定値Ｄ０を基準とし、基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ１に相当する個数分前の時点ｔ１の測定値Ｄ０をその「仮範囲」の始点Ｐ１とし、かつ始点Ｐ１の測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ２に相当する個数後の時点ｔ２の測定値Ｄ０をその「仮範囲」の終点Ｐ２とするように規定される。また、Ｍ種類の「仮範囲」の他の１つとしては、基準点Ｐ０の測定値Ｄ０を基準とし、基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ１ａに相当する個数分後の時点ｔ１ａの測定値Ｄ０をその「仮範囲」の始点Ｐ１ａとし、かつ始点Ｐ１ａの測定値Ｄ０から数えて時間Ｔ２ａに相当する個数後の時点ｔ２ａの測定値Ｄ０をその「仮範囲」の終点Ｐ２ａとするように規定される。

この場合、本例のデータ処理装置３（プログラムデータＤｐ）では、後に説明するように、検査用データＤ２の生成に要する負担の軽減を目的として、測定値データＤ１に記録されている測定値Ｄ０，Ｄ０・・を５個おき（「Ｊ１＝Ｊ２＝５個」の例）に抽出し、抽出した測定値Ｄ０，Ｄ０・・に基づいて「第１の被判別値」や「第２の被判別値」を演算する構成が採用されている。

したがって、プログラムデータＤｐに従ってＭ種類の「仮範囲」を規定することにより、一例として、図７，８に示すように、「基準の測定値Ｄ０から２００個前の測定値Ｄ０」、「基準の測定値Ｄ０から１９５個前の測定値Ｄ０」、・・「基準の測定値Ｄ０から５９９５個後の測定値Ｄ０」および「基準の測定値Ｄ０から６，０００個後の測定値Ｄ０」との１，２４０種類の始点と、「始点から５０個後の測定値Ｄ０」、「始点から５５個後の測定値Ｄ０」、・・「始点から３，９９５個後の測定値Ｄ０」および「始点から４，０００個後の測定値Ｄ０」との７９１種類の終点の組合せからなるＭ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」が規定される。なお、両図では、各「仮範囲」の終点を「始点からの測定値Ｄ０の個数（対象測定値範囲の長さ）」で表している。

次いで、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個の測定値データＤ１毎に、Ｍ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各測定値Ｄ０，Ｄ０・・に基づいてＬＣ値（「良否判別用の第１の被判別値」の一例）およびＲＣ値（「良否判別用の第１の被判別値」の他の一例）をそれぞれ演算する「第１の演算処理」を実行する。これにより、良品試料Ｘａについての３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＬＣ値、および３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＲＣ値がそれぞれ演算されて、演算結果が「仮範囲」の種類に関連付けられて記憶部２４に記憶される。

この場合、ＬＣ値やＲＣ値の算出方法については、一例として、前述した特許文献に開示の手順と同様に擬似逆行列を用いて算出することができる。また、規定された時間分の測定値Ｄ０が測定値データＤ１内に存在しない「仮範囲」については、一例として、測定値データＤ１における最末尾の測定値Ｄ０を、不足する測定値Ｄ０として使用してＬＣ値やＲＣ値を演算するか、或いは、その「仮範囲」を後述する「対象測定値範囲」の候補から除外する。

同様にして、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個の測定値データＤ１毎に、Ｍ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」内の各測定値Ｄ０，Ｄ０・・に基づいてＬＣ値（「良否判別用の第２の被判別値」の一例）およびＲＣ値（「良否判別用の第２の被判別値」の他の一例）をそれぞれ演算する（「第２の演算処理」の一例）。これにより、不良品試料Ｘｂについての３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＬＣ値、および３０×９８０，８４０＝２９，４２５，２００個のＲＣ値がそれぞれ演算されて、演算結果が「仮範囲」の種類に関連付けられて記憶部２４に記憶される。

続いて、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値とが大きく相違する「仮範囲」（「第１の被判別値と第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲」の一例）、および良品試料ＸａについてのＲＣ値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ値とが大きく相違する「仮範囲」（「第１の被判別値と第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲」の他の一例）をそれぞれ特定する（「特定処理」の実行）。なお、以下の各処理については、上記の演算によって求めたＬＣ値を「第１の被判別値」および「第２の被判別値」とする処理に加えて、上記の演算によって求めたＲＣ値を「第１の被判別値」および「第２の被判別値」とする処理が実行されるが、データ処理装置３による「データ生成処理」についての理解を容易とするために、ＬＣ値についての処理を説明し、ＲＣ値についての処理に関する説明を省略する。

具体的には、処理部２３は、まず、Ｍ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」毎に、検査対象ＸについてのＮ１＝３０個のＬＣ値のうちの最小値である「良品最小値」、および検査対象ＸについてのＮ１＝３０個のＬＣ値のうちの最大値である「良品最大値」をそれぞれ特定する。この際には、一例として、いずれかの「仮範囲」における良品試料ＸａについてのＬＣ値、および不良品試料ＸｂについてのＬＣ値として、図４に示すような値が演算されたときに、処理部２３は、同図に示すＬＣｍｉｎを良品試料Ｘａについての「良品最小値」として特定し、かつＬＣｍａｘを良品試料Ｘａについての「良品最大値」として特定する。なお、同図では、良品試料ＸａについてのＬＣ値（ＲＣ値）を「○」で表している。また、同図および後に参照する図５，６では、不良品試料ＸｂについてのＬＣ値（ＲＣ値）を「●」で表している。

次いで、処理部２３は、Ｎ２＝３０個の不良品試料Ｘｂについての各ＬＣ値について、上記の「良品最小値」よりも小さいＬＣ値については、「良品最小値」との差を「不良度合値」として演算し、「良品最大値」よりも大きいＬＣ値については、「良品最大値」との差を「不良度合値」としてそれぞれ演算すると共に、「良品最小値」から「良品最大値」までの範囲内のＬＣ値については、「不良度合値」を「０」とする演算処理を各「仮範囲」毎にそれぞれ実行する。

具体的には、処理部２３は、一例として、図４に示すように、「良品最小値」の一例であるＬＣｍｉｎよりも小さい不良品試料ＸｂについてのＬＣ値であるＬＣｄ−ａについては、ＬＣｍｉｎとの差であるＬＣｄｋ−ａを「不良度合値」として演算する。また、「良品最大値」の一例であるＬＣｍａｘよりも大きい不良品試料ＸｂについてのＬＣ値であるＬＣｄ−ｂについては、ＬＣｍａｘとの差であるＬＣｄｋ−ｂを「不良度合値」として演算する。さらに、ＬＣｍｉｎからＬＣｍａｘまでの範囲であるＬＣｌｅｎｇｔｈ内のＬＣ値であるＬＣｄ−ｃについては、「不良度合値」を「０」とする。

続いて、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、Ｎ２＝３０個の不良品試料Ｘｂについての「不良度合値」の合計値を各「仮範囲」毎にそれぞれ演算する。この際には、図５の左図に示すように、不良品試料Ｘｂを対象とするＮ２＝３０回の測定処理時に良品試料ＸａについてのＬＣ値のばらつきの範囲であるＬＣｌｅｎｇｔｈとの差が小さいＬＣ値が演算される測定値Ｄ０が含まれる「仮範囲」については、たとえＮ１＝３０個のＬＣ値のうちの数個がＬＣｍａｘとの差、またはＬＣｍｉｎとの差が十分に大きな値になったとしても、「不良度合値」の合計値として小さな値が演算される。また、同図の右図に示すように、不良品試料Ｘｂを対象とするＮ２＝３０回の測定処理時にＬＣｌｅｎｇｔｈとの差が大きいＬＣ値が演算される測定値Ｄ０が含まれる「仮範囲」については、たとえＮ２＝３０個のＬＣ値のうちの数個がＬＣｌｅｎｇｔｈ内の値になったとしても、「不良度合値」の合計値として大きな値が演算される。

次いで、処理部２３は、上記の「不良度合値」の合計値を、ＬＣｍｉｎとＬＣｍａｘとの差であるＬＣｌｅｎｇｔｈ（良品試料ＸａについてのＬＣ値のばらつきの大きさ）で除した値（良品試料ＸａについてのＬＣ値のばらつきの大きさに対する「不良度合値」の合計値の比）を各「仮範囲」毎にそれぞれ演算し、演算結果を各「仮範囲」に関連付けて記憶部２４に記憶させる。この際には、図６の左図および右図に示す例のように、仮に、不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個のＬＣ値の各「不良度合値」の合計値が同じであったときに、左図の例のようにＬＣｌｅｎｇｔｈが広い「仮範囲」（良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０のばらつきが大きい「仮範囲」）よりも、右図の例のようにＬＣｌｅｎｇｔｈが狭い「仮範囲」（良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０のばらつきが小さい「仮範囲」）の方が、合計値をＬＣｌｅｎｇｔｈで除した値が大きな値となる。

続いて、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、演算した各「仮範囲」毎の値（合計値をＬＣｌｅｎｇｔｈで除した値）に基づき、各「仮範囲」がどの程度「対象測定値範囲」に適しているかを示す「数値」（良品試料ＸａについてのＬＣ値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値とがどの程度「予め規定された条件を満たす関係」となっているかを示す数値）をそれぞれ特定する。

具体的には、処理部２３は、まず、良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個のＬＣ値の分布と、不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個のＬＣ値の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる「予め規定された基準」に従って各「仮範囲」毎にそれぞれ数値化（点数化）する。これにより、図７に示すように各「仮範囲」毎の「数値」（同図における「０．０」や「０．１」などの値）が特定される。

次いで、処理部２３は、Ｍ＝９８０，８４０種類の「仮範囲」のうちの１つを対象として、対象の「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下（「Ｌａ＝５」の例）の測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ対象の「仮範囲」における終点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下（「Ｌｂ＝５」の例）の測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」（図７において、いずれかの「仮範囲」を対象としたときに、その「仮範囲」の周囲に図示されている８個の「仮範囲」）の「数値」をそれぞれ特定し、特定した各「数値」のうちの最小値を、対象の「仮範囲」に関連付ける処理を、各「仮範囲」をそれぞれ「対象の仮範囲」として実行する。

具体的には、一例として、図７に示す例において、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０００個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目の測定値Ｄ０まで（１，９９５個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、その「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下となる「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から１，９９５個後」から「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，００５個後」までの測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ「始点の測定値Ｄ０から１，９９０個目」から「始点の測定値Ｄ０から２，０００個目」までの測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の８個の「仮範囲」について特定された８個の「数値」のうちの最小値が、その「仮範囲」に関連付けられる「数値」として特定される。

つまり、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０００個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目の測定値Ｄ０まで（１，９９５個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、図８に示すように、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から１，９９５個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９０個目の測定値Ｄ０まで（１，９９０個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」について特定された「１．６」との「数値」が最小値として特定されて関連付けられる。

同様にして、図７に示す例において、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，００５個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から２，０００個目の測定値Ｄ０まで（２，０００個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、その「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量が５サンプリング周期以下となる「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０００個後」から「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０１０個後」までの測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目」から「始点の測定値Ｄ０から２，００５個目」までの測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の８個の「仮範囲」について特定された８個の「数値」のうちの最小値が、その「仮範囲」に関連付けられる「数値」として特定される。

つまり、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，００５個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から２，０００個目の測定値Ｄ０まで（２，００００個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」については、図８に示すように、「始点」が「基準点Ｐ０の測定値Ｄ０から２，０１０個後の測定値Ｄ０」で、「長さ（終点）」が「始点の測定値Ｄ０から１，９９５個目の測定値Ｄ０まで（１，９９５個後の測定値Ｄ０）」の「仮範囲」について特定された「２．０」との「数値」が最小値として特定されて関連付けられる。

この場合、不良品試料Ｘｂに実際に生じている不良に起因して、良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個のＬＣ値の分布と、不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個のＬＣ値の分布との相違の度合いが大きくなっている「仮範囲」が存在する。そのような「仮範囲」と「始点」や「長さ（終点）」が同様の他の「仮範囲」では、良品試料ＸａについてＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合いが大きくなる傾向がある。一方、不良品試料Ｘｂに実際に生じている不良に起因するものではなく、良品試料Ｘａについての測定処理時や不良品試料Ｘｂについての測定処理時の測定誤差やノイズ等の影響や演算の性質などに起因して、良品試料ＸａについてのＮ１＝３０個のＬＣ値の分布と、不良品試料ＸｂについてのＮ２＝３０個のＬＣ値の分布との相違の度合いが大きくなっている「仮範囲」も存在する。この場合、そのような「仮範囲」と「始点」や「長さ（終点）」が同様の他の「仮範囲」では、良品試料ＸａについてＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合いがそれほど大きくならないことがある。

したがって、上記のように、「始点」や「長さ（終点）」が同様の他の「仮範囲」についての「数値」のうちの最小値を、対象の「仮範囲」に関連付ける（対象の「仮範囲」の「数値」として置き換える）ことにより、良品試料ＸａについてＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合いが測定誤差等の影響で大きくなった「仮範囲」について、「特異な数値（実際の不良に起因して算出される数値ではない可能性が高い大きな値）」が関連付けられたままとなる事態が回避される。

このような処理をＭ＝９８０，８４０種類の各「仮範囲」毎に実行することにより、図８に示すように、各「仮範囲」毎の「良品試料ＸａについてのＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてＬＣ値の分布との相違の度合い」に即した「数値」が関連付けられて記憶部２４に記憶される。

続いて、処理部２３は、関連付けられた「数値」が大きい「仮範囲」ほど、良品試料ＸａについてのＬＣ値の分布と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値の分布とが大きく相違する関係（予め規定された条件を満たす関係）の度合いが大きいとして、「対象測定値範囲」の候補とする「仮範囲」を特定する。具体的には、処理部２３は、一例として、関連付けられた「数値」が大きい順で、予め規定された数（一例として、３個）の「仮範囲」を「対象測定値範囲」の候補として特定する。

なお、条件を満たす「仮範囲」が、予め規定された数（本例では３個）よりも多いときには、一例として、対応するＬＣｌｅｎｇｔｈが短い「仮範囲」（すなわち、構成する測定値Ｄ０の数が少ないことでＬＣ値等の演算に要する時間が短い「仮範囲」）を優先して規定数の「仮範囲」を特定する。また、処理部２３は、特定した「仮範囲」の数が１個の場合には、その「仮範囲」を「対象測定値範囲」とし、特定した「仮範囲」の数が本例のように複数個の場合には、特定した「仮範囲」のなかから「対象測定値範囲」とする「仮範囲」を選択させ、選択された「仮範囲」を「対象測定値範囲」として決定する。

この後、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、決定した「対象測定値範囲」を特定可能な情報を記録して検査用データＤ２を生成し、生成した検査用データＤ２を検査対象Ｘの種類（型式）に関連付けて記憶部２４に記憶させる。なお、「対象測定値範囲」については、１つの「対象測定値範囲」をＬＣ値算出用およびＲＣ値算出用に共用させることもできるが、ＬＣ値算出用の「対象測定値範囲」とＲＣ値算出用の「対象測定値範囲」とを別個に決定することもできる。以上により、「データ生成処理」が完了し、検査対象Ｘの良否を検査する準備が整う。

一方、検査システム１による検査対象Ｘの検査に際しては、データ処理装置３の処理部２３が、プログラムデータＤｐに従って測定装置２を制御して、前述した良品試料Ｘａや不良品試料Ｘｂについての測定処理時と同様の測定条件で測定処理（「第３の測定処理」）を実行させる。なお、検査対象Ｘを対象とする測定処理時には、前述したように、一例としてＮ３＝５回の測定処理を実行する。これにより、検査対象ＸについてのＮ３＝５個の測定値データＤ１（第３の測定値データ）が測定装置２から出力される。

また、処理部２３は、測定装置２から測定値データＤ１が出力される都度、その測定値データＤ１を記憶部２４に記憶させると共に、図３に示すように、測定値データＤ１に基づく波形Ｗを表示部２２の測定結果表示画面３０に表示させる。また、処理部２３は、検査用データＤ２に記録されている「対象測定値範囲」を示す対象測定値範囲表示３１と、「対象測定値範囲」の始点を示す始点表示３２ａ、および終点を示す終点表示３２ｂとを波形Ｗに重ねて表示させる（「対象測定値範囲を第３の測定値データの波形に対応させて表示させることで報知する」との「特定結果報知処理」の一例：同図に示す破線と数値の表示）。これにより、対象測定値範囲表示３１、始点表示３２ａおよび終点表示３２ｂを見た利用者は、波形Ｗにおけるいずれの測定値Ｄ０に基づいてＬＣ値やＲＣ値が演算されて検査対象Ｘの良否が検査されるかを認識する。

次いで、処理部２３は、プログラムデータＤｐに従い、測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちから、検査用データＤ２に記録されている「対象測定値範囲」に含まれる測定値Ｄ０，Ｄ０・・を特定し、特定した測定値Ｄ０，Ｄ０・・に基づいてＬＣ値およびＲＣ値を演算する処理を、各測定値データＤ１毎に実行する。続いて、処理部２３は、演算したＬＣ値やＲＣ値が、予め規定された良品範囲（一例として、「対象測定値範囲」とした「仮範囲」に対応する良品試料ＸａについてＬＣｌｅｎｇｔｈに対する±５％の範囲）内に含まれているか否かを判別する。

この際に、Ｎ３＝５個の測定値データＤ１に基づいて演算した５つのＬＣ値のすべてが良品範囲内の値で、かつＮ３＝５個の測定値データＤ１に基づいて演算した５つのＲＣ値のすべてが良品範囲内の値のときには、処理部２３は、その検査対象Ｘを良品と判別する。また、５つのＬＣ値および５つのＲＣ値のうちの１つ以上が良品範囲外の値のときには、処理部２３は、その検査対象Ｘを不良品と判別する。以上により、検査対象Ｘについての良否検査が完了する。

このように、このデータ処理装置３では、処理部２３が、検査対象Ｘの「良否判別条件」を特定可能な検査用データＤ２を生成する「データ生成処理」において、検査対象Ｘの検査時に検査対象Ｘについての測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０のうちのいずれの測定値Ｄ０から他のいずれの測定値Ｄ０までの各測定値Ｄ０に基づいて検査対象Ｘの良否を判別すべきかを特定可能な「対象測定値範囲」を「良否判別条件」の１つとして規定するときに、「対象測定値範囲」の始点に対応する測定値Ｄ０と「対象測定値範囲」の終点に対応する測定値Ｄ０との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（本例では、９８０，８４０種類）の「仮範囲」を規定し、かつ良品試料Ｘａについての各測定値データＤ１毎に各「仮範囲」内の各測定値Ｄ０に基づいて良否判別用の「第１の被判別値（本例では、ＬＣ値およびＲＣ値）」をそれぞれ演算する「第１の演算処理」と、不良品試料Ｘｂについての各測定値データＤ１毎に各「仮範囲」内の各測定値Ｄ０に基づいて良否判別用の「第２の被判別値（本例では、ＬＣ値およびＲＣ値）」をそれぞれ演算する「第２の演算処理」とを実行すると共に、「第１の被判別値」と「第２の被判別値」とが予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する「特定処理」を実行し、特定した「仮範囲」を「対象測定値範囲」として検査用データＤ２を生成する。

また、この検査システム１は、良品試料Ｘａ、不良品試料Ｘｂおよび検査対象Ｘについての測定処理を実行して良品試料Ｘａについての測定値データＤ１、不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１および検査対象Ｘについての測定値データＤ１を生成する測定装置２と、「データ生成処理」を実行すると共に、検査用データＤ２および検査対象Ｘについての測定値データＤ１に基づいて検査対象Ｘの良否を検査するデータ処理装置３とを備えて検査対象Ｘの良否を検査可能に構成されている。さらに、このプログラムデータＤｐでは、上記の「データ生成処理」をデータ処理装置３の処理部２３に実行させる。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、検査対象Ｘの種類や、測定環境の相違に応じて、検査対象Ｘについての測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちから、良品試料ＸａについてのＬＣ値やＲＣ値と、不良品試料ＸｂについてのＬＣ値やＲＣ値とが大きく相違する関係となる「対象測定値範囲」が自動的に特定されて検査用データＤ２が生成されるため、この検査用データＤ２に基づいて検査対象Ｘを検査することによって各種の不良が生じ得る検査対象Ｘの良否を的確に判別することができる。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「特定処理」において、Ｍ種類の「仮範囲」毎に、Ｎ１個（本例では、３０個）の「第１の被判別値」のうちの最小値である「良品最小値」、およびＮ１個の「第１の被判別値」のうちの最大値である「良品最大値」をそれぞれ特定し、Ｎ２個（本例では、３０個）の「第２の被判別値」毎に、「良品最小値」よりも小さい「第２の被判別値」については「良品最小値」との差を「不良度合値」として演算し、かつ「良品最大値」よりも大きい「第２の被判別値」については「良品最大値」との差を「不良度合値」としてそれぞれ演算すると共に、Ｎ２個の「第２の被判別値」の各「不良度合値」の合計値を演算し、演算した合計値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、良品試料Ｘａにおいても生じ得る「被判別値（ＬＣ値やＲＣ値）」のばらつきの影響を排除することができるため、「対象測定値範囲」に相応しい「仮範囲」を好適に特定して検査用データＤ２を生成することができる。

さらに、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「特定処理」において、合計値を「良品最小値」と「良品最大値」との差で除した値に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定することにより、「良品最小値」や「良品最大値」との差が同程度の「第２の被判別値」となる「仮範囲」に関し、「良品最小値」と「良品最大値」との差が大きい「仮範囲」（良品試料Ｘａについての「第１の被判別値」のばらつきが大きい「仮範囲」）よりも、「良品最小値」と「良品最大値」との差が小さい「仮範囲」（良品試料Ｘａについての「第１の被判別値」のばらつきが小さい「仮範囲」）の方が大きな値が演算されるため、良品試料Ｘａについての「第１の被判別値」のばらつきの範囲に対する差が大きい「第２の被判別値」が演算され得る「仮範囲」、すなわち、検査対象Ｘの良否を一層確実に判別し得る「仮範囲」を好適に特定して検査用データＤ２を生成することができる。

また、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「特定処理」において、Ｎ１個の「第１の被判別値」の分布とＮ２個の「第２の被判別値」の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の「仮範囲」毎にそれぞれ数値化し、その「数値」に基づいて予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定することにより、良品試料Ｘａについての「第１の被判別値」の分布と、不良品試料Ｘｂについての「第２の被判別値」の分布とが大きい「仮範囲」を的確に特定することができる。

さらに、このデータ処理装置３では、処理部２３が、「特定処理」において、Ｍ種類の「仮範囲」のうちの１つを対象として、対象の「仮範囲」における始点に対応する測定値Ｄ０との相違量がＬａサンプリング周期以下の測定値Ｄ０を始点とする「仮範囲」であって、かつ対象の「仮範囲」における終点に対応する測定値Ｄ０との相違量がＬｂサンプリング周期以下の測定値Ｄ０を終点とする「仮範囲」の数値をそれぞれ特定し、特定した各数値のうちの最小値を対象の「仮範囲」に関連付ける処理をＭ個の「仮範囲」をそれぞれ対象の「仮範囲」として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい「仮範囲」ほど予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして予め規定された条件を満たす関係となる「仮範囲」を特定する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、不良品試料Ｘｂについての「第２の測定処理」時に突発的に生じた測定値Ｄ０のずれに起因して「第２の被判別値」が大きくなったような「仮範囲」が「対象測定値範囲」として特定される事態を招くことなく、その始点や終点が同様の「仮範囲」においても「第２の被判別値」が十分に大きな値となる「仮範囲」、すなわち、不良品試料Ｘｂに生じている定常的な不良の影響で良品試料Ｘａについての測定値Ｄ０とは異なる値となる測定値Ｄ０を含んでいる「仮範囲」を「対象測定値範囲」として特定して検査用データＤ２を生成することができる。

また、このデータ処理装置３では、処理部２３が、予め規定された時間内に測定値Ｄ０が予め規定されたしきい値を超える状態および予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する各良品試料Ｘａについての測定値データＤ１および各不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１を取得すると共に、「データ生成処理」において、予め規定された時間分の各測定値Ｄ０のうちのＫ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値Ｄ０、およびＫ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値Ｄ０のいずれか予め規定された一方（本例では、最初に（Ｋ＝１回目に）０Ｖを超えた測定値Ｄ０）を基準としてＭ種類の「仮範囲」を規定する。

したがって、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、良品試料Ｘａについての「第１の測定処理」時や、不良品試料Ｘｂについての「第２の測定処理」時に測定値データＤ１の始点に僅かなずれが生じた場合であっても、すべての測定値データＤ１において、同じ基準を満たす測定値Ｄ０（Ｋ回目に予め規定されたしきい値を超えた測定値Ｄ０、または、Ｋ回目に予め規定されたしきい値を下回った測定値Ｄ０）を基準として「仮範囲」の始点を特定することができるため、測定値データＤ１の始点の僅かなずれの影響を排除して、「対象測定値範囲」に相応しい「仮範囲」を特定することができる。

さらに、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、良品試料Ｘａについての測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０をＪ１個おき（本例では、５個おき）に抽出し、抽出した各測定値Ｄ０に基づいて「第１の被判別値」を演算すると共に、不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０をＪ２個おき（本例では、５個おき）に抽出し、抽出した各測定値Ｄ０に基づいて「第２の被判別値」を演算することにより、「仮範囲」に含まれるすべての測定値Ｄ０，Ｄ０・・を対象として「第１の被判別値」や「第２の被判別値」を演算する場合と比較して、演算対象の測定値Ｄ０の数が少なくて済む分だけ、処理部２３にかかる負担や、演算結果を一時的に記憶するメモリの容量を十分に小さくすることができる。

また、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「特定処理」によって特定した「対象測定値範囲」を報知する「特定結果報知処理」を実行することにより、どのような範囲に含まれる測定値Ｄ０を対象として検査対象Ｘの良否が検査されるかを利用者に対して確実かつ容易に認識させることができる。

さらに、このデータ処理装置３、検査システム１およびプログラムデータＤｐによれば、処理部２３が、「特定結果報知処理」において、少なくとも各良品試料Ｘａについての測定値データＤ１、不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１および検査対象Ｘについての測定値データＤ１のうちの少なくとも１つの波形（本例では、検査対象Ｘについての測定値データＤ１に基づく波形Ｗ）を表示部２２に表示させると共に、「対象測定値範囲」を波形Ｗに対応させて表示させて報知することにより、どのような範囲に含まれる測定値Ｄ０を対象として検査対象Ｘの良否が検査されるかを利用者に対して一層容易に認識させることができる。

なお、「検査用データ生成装置」および「検査システム」の構成や、「検査用データ生成処理用プログラム」に記述されている処理手順は、上記の検査システム１（データ処理装置３）の構成の例や、プログラムデータＤｐの記述の例に限定されない。

例えば、「データ生成処理」において、良品試料Ｘａを対象とする「第１の測定処理」の実行回数＝Ｎ１と、不良品試料Ｘｂを対象とする「第２の測定処理」の実行回数＝Ｎ２とを同数（本例では、Ｎ１＝Ｎ２＝３０）とした例について説明したが、各測定処理の実行回数については、３０回以外の任意の複数回とすることができ、また、「第１の測定処理」の実行回数と「第２の測定処理」の実行回数とを互いに相違する回数とすることができる。

この場合、Ｎ１回の「第１の測定処理」によって生成されるＮ１個の「第１の測定値データ」については、１つの良品試料Ｘａを対象とするＮ１回の測定処理によって生成されるデータに限定されず、複数の良品試料Ｘａを対象とする合計Ｎ１回の測定処理によって生成されるデータを使用することができる。同様にして、Ｎ２回の「第２の測定処理」によって生成されるＮ２個の「第２の測定値データ」については、１つの不良品試料Ｘｂを対象とするＮ２回の測定処理によって生成されるデータに限定されず、複数の不良品試料Ｘｂを対象とする合計Ｎ２回の測定処理によって生成されるデータを使用することができる。なお、複数の良品試料Ｘａを対象とする合計Ｎ１回の測定処理や、複数の不良品試料Ｘｂを対象とする合計Ｎ２回の測定処理によって生成されるデータを使用する場合には、各良品試料Ｘａ毎の測定処理が複数回で、各不良品試料Ｘｂ毎の測定処理が複数回となるような処理を行うのが好ましい。

また、「データ生成処理」における「第１の測定処理」の実行回数＝Ｎ１、および「第２の測定処理」の実行回数＝Ｎ２と、検査対象Ｘの検査時における「第３の測定処理」の実行回数＝Ｎ３とを互いに相違する数（本例では、Ｎ１＝Ｎ２＝３０：Ｎ３＝５）とした例について説明したが、各検査対象Ｘの検査時に行う測定処理の実行回数については、「第１の測定処理」および「第２の測定処理」のいずれか（または、双方）と同じ回数とすることができる。

さらに、「データ生成処理」に際して規定する「仮範囲」の種類数は、Ｍ＝９８０，８４０種類に限定されず、Ｍ＝２種類以上の任意の複数種類を規定して「対象測定値範囲」の候補とすることができる。また、「第１の被判別値」および「第２の被判別値」（ＬＣ値やＲＣ値）の演算に際して、測定値データＤ１に記録されている測定値Ｄ０，Ｄ０・・からＪ１＝Ｊ２＝５個おきに測定値Ｄ０を抽出して使用する例について説明したが、「第１の被判別値」の演算に使用する測定値Ｄ０の抽出間隔（Ｊ１の値）および「第２の被判別値」の演算に使用する測定値Ｄ０の抽出間隔（Ｊ２の値）については、「５」以外の任意の自然数とすることができ、また、Ｊ１の値およびＪ２の値を互いに相違する数とすることができる。さらに、「第１の被判別値」および「第２の被判別値」の演算に際して、「仮範囲」内のすべての測定値Ｄ０，Ｄ０・・を使用することもできる。

また、いずれかの「仮範囲」を対象として、始点や終点が同程度の「仮範囲」の「数値」のなかから最小値を特定する際に、対象の「仮範囲」に対して始点や終点などがＬａ＝Ｌｂ＝１サンプリング周期だけ相違する「仮範囲」を対象とする例について説明したが、この処理時におけるＬａの値およびＬｂの値については「１」以外の任意の数とすることができ、また、Ｌａ≠Ｌｂとすることもできる。

さらに、測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの最初に（Ｋ＝１回目に）「しきい値（本例では０Ｖ）」を超えた測定値Ｄ０を基準として「仮範囲」の始点を特定する例について説明したが、Ｋ回目は、１回目（最初）に限定されず、２回目以上の任意の回数とすることができる。また、測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの「Ｋ回目にしきい値」を下回った測定値Ｄ０を基準として「仮範囲」の始点を特定することもできる。この場合、Ｋ回目は、１回目（最初）に限定されず、２回目以上の任意の回数とすることができる。また、「しきい値を下回った測定値」や「しきい値を超えた測定値」に代えて、測定値データＤ１に記録されている各測定値Ｄ０，Ｄ０・・のうちの最小値または最大値を「仮範囲」の始点とすることもできる。

さらに、「良品最小値（ＬＣｍｉｎ、ＲＣｍｉｎ）」よりも小さい「第２の被判別値（ＬＣ値、ＲＣ値）」については「良品最小値」との差を「不良度合値」とし、かつ「良品最大値（ＬＣｍａｘ、ＲＣｍａｘ）」よりも大きい「第２の被判別値」については「良品最大値」との差を「不良度合値」とする例について説明したが、良品試料ＸａについてのＬＣ値の平均値や重心値と不良品試料ＸｂについてのＬＣ値との差異を「不良度合値」としたり、良品試料ＸａについてのＲＣ値の平均値や重心値と不良品試料ＸｂについてのＲＣ値との差異を「不良度合値」としたりすることもできる。また、「不良度合値の合計値」を「良品最小値と良品最大値との差」で除した値に基づいて「予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲」を特定する例についで説明したが、「不良度合値の合計値」そのものに基づいて、条件を満たす「仮範囲」を特定することもできる。

さらに、「第１の被判別値」や「第２の被判別値」は、ＬＣ値やＲＣ値に限定されず、ＬＣ値に任意の係数を乗じた値、ＲＣ値に任意の係数を乗じた値、およびＬＣ値をＲＣ値で除した値などの任意の値を使用することができる。また、測定装置２から取得した測定値データＤ１の測定値Ｄ０，Ｄ０・・をそのまま使用して「第１の被判別値」や「第２の被判別値」を演算する例について説明したが、取得した測定値データＤ１について任意のフィルタリング処理（任意の値を下回る測定値や、任意の値を超える測定値を除外する処理）を実行し、フィルタリング処理後の値を使用して「第１の被判別値」や「第２の被判別値」を演算することもできる。この場合、条件を異ならせた複数種類のフィルタリング処理を実行し、各フィルタリング処理後の値を使用して「第１の被判別値」や「第２の被判別値」を演算することもできる。

また、関連付けられた「数値」が最も大きい「仮範囲」（「第１の被判別値」と「第２の被判別値」とが最も相違している「仮範囲」）を「対象測定値範囲」の候補として特定し、特定した「仮範囲」のなかから「対象測定値範囲」を特定する例について説明したが、「予め規定された条件を満たす関係」は、このような例に限定されず、「第１の被判別値」と「第２の被判別値」との相違の度合いが２番目以降の「仮範囲」を「対象測定値範囲」の候補として特定することもできる。

さらに、検査対象Ｘについての検査時に対象測定値範囲表示３１や始点表示３２ａおよび終点表示３２ｂを波形Ｗ（検査対象Ｘについての測定値データＤ１に基づく波形）に対応させて表示することで「対象測定値範囲」を報知する「特定結果報知処理」を例に挙げて説明したが、検査対象Ｘについての検査に先立ち、良品試料Ｘａについての測定値データＤ１や不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１に基づく波形に対応させて「対象測定値範囲」を特定させる任意の表示（対象測定値範囲表示３１や始点表示３２ａおよび終点表示３２ｂなど）を表示させる処理を「特定結果報知処理」として実行することもできる。

また、検査対象Ｘの検査時に検査対象Ｘについての測定値データＤ１に基づく波形を表示させると共に、良品試料Ｘａについての測定値データＤ１に基づく波形、および不良品試料Ｘｂについての測定値データＤ１に基づく波形の少なくとも一方を表示させて、それらの波形に対応させて「対象測定値範囲」を特定させる任意の表示を表示させる処理を「特定結果報知処理」として実行することもできる。また、「対象測定値範囲」は、対象測定値範囲表示３１や始点表示３２ａおよび終点表示３２ｂなどを表示させる処理に限定されず、「対象測定値範囲」を特定可能な情報（始点の位置や終点の位置）を音声メッセージとして出力する処理を行うこともできる。

さらに、「検査システム」としての検査システム１におけるデータ処理装置３の構成要素である表示部２２に「対象測定値範囲」を特定可能な情報を表示させる例について説明したが、外部装置としての表示装置に「対象測定値範囲」を特定可能な情報を表示させることもできる。また、データ処理装置３を「検査用データ生成装置」および「検査装置」として機能させる例について説明したが、検査用データＤ２を生成する「検査用データ生成装置」と、「測定装置」からの「第３の測定値データ」および「検査用データ」に基づいて「検査対象」を検査する「検査装置」とを別個独立して備えて「検査システム」を構成することもできる。また、「検査用データ生成装置」、「測定装置」および「検査装置」を１つの装置で構成する（「検査装置」内に「検査用データ生成装置」に相当する要素、および「測定装置」に相当する要素を一体的に設ける）こともできる。

加えて、「検査対象」としての巻線部品を検査する例について説明したが、「検査システム」によって良否を検査する「検査対象」はこれに限定されず、コンデンサや抵抗体などの各種の電子部品、および回路基板上の任意の検査ポイント間を「検査対象」として検査することができる。

１ 検査システム
２ 測定装置
３ データ処理装置
１１ 測定信号発生部
１２ Ａ／Ｄ変換部
１３，２３ 処理部
１４，２４ 記憶部
２１ 操作部
２２ 表示部
３０ 測定結果表示画面
３１ 対象測定値範囲表示
３２ａ 始点表示
３２ｂ 終点表示
Ｄ０ 測定値
Ｄ１ 測定値データ
Ｄ２ 検査用データ
Ｄｐ プログラムデータ
Ｐ０ 基準点
Ｐ１，Ｐ１ａ 始点
Ｐ２，Ｐ２ａ 終点
ｔ０，ｔ１，ｔ１ａ，ｔ２，ｔ２ａ，ｔｅ，ｔｓ 時点
Ｔ１，Ｔ１ａ，Ｔ２，Ｔ２ａ，ＴＡ 時間
Ｗ 波形
Ｘ 検査対象
Ｘａ 良品試料
Ｘｂ 不良品試料

Claims (11)

1. 検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮ１回（Ｎ１は、２以上の自然数）の第１の測定処理によって当該予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ１個の第１の測定値データと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記第１の測定処理と同じ測定条件で行なわれたＮ２回（Ｎ２は、２以上の自然数）の第２の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ２個の第２の測定値データとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記第１の測定処理および前記第２の測定処理と同じ測定条件で行なわれるＮ３回（Ｎ３は、２以上の自然数）の第３の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されるＮ３個の第３の測定値データに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各第１の測定値データおよび前記各第２の測定値データに基づいて生成するデータ生成処理を実行する処理部を備え、
   前記処理部は、前記データ生成処理において、前記検査対象の検査時に前記第３の測定値データに記録されている前記各測定値のうちのいずれの当該測定値から他のいずれの当該測定値までの当該各測定値に基づいて当該検査対象の良否を判別すべきかを特定可能な対象測定値範囲を前記良否判別条件の１つとして規定するときに、当該対象測定値範囲の始点に対応する前記測定値と当該対象測定値範囲の終点に対応する前記測定値との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（Ｍは、２以上の自然数）の仮範囲を規定し、かつ前記各第１の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第１の被判別値をそれぞれ演算する第１の演算処理と、前記各第２の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第２の被判別値をそれぞれ演算する第２の演算処理とを実行すると共に、前記第１の被判別値と前記第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する特定処理を実行し、特定した前記仮範囲を前記対象測定値範囲として前記検査用データを生成する検査用データ生成装置。
2. 前記処理部は、前記特定処理において、前記Ｍ種類の仮範囲毎に、Ｎ１個の前記第１の被判別値のうちの最小値である良品最小値、および当該Ｎ１個の第１の被判別値のうちの最大値である良品最大値をそれぞれ特定し、Ｎ２個の前記第２の被判別値毎に、前記良品最小値よりも小さい当該第２の被判別値については当該良品最小値との差を不良度合値として演算し、かつ前記良品最大値よりも大きい当該第２の被判別値については当該良品最大値との差を当該不良度合値としてそれぞれ演算すると共に、当該Ｎ２個の第２の被判別値の当該各不良度合値の合計値を演算し、演算した当該合計値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する請求項１記載の検査用データ生成装置。
3. 前記処理部は、前記特定処理において、前記合計値を前記良品最小値と前記良品最大値との差で除した値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する請求項２記載の検査用データ生成装置。
4. 前記処理部は、前記特定処理において、Ｎ１個の前記第１の被判別値の分布とＮ２個の前記第２の被判別値の分布との相違の度合いを、相違の度合いが大きいほど高い数値となる予め規定された基準に従ってＭ個の前記仮範囲毎にそれぞれ数値化し、当該数値に基づいて前記予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する請求項１から３のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
5. 前記処理部は、前記特定処理において、前記Ｍ種類の仮範囲のうちの１つを対象として、対象の当該仮範囲における前記始点に対応する測定値との相違量がＬａサンプリング周期以下（Ｌａは、自然数）の前記測定値を始点とする前記仮範囲であって、かつ当該対象の仮範囲における前記終点に対応する測定値との相違量がＬｂサンプリング周期以下（Ｌｂは、自然数）の前記測定値を終点とする当該仮範囲の前記数値をそれぞれ特定し、特定した当該各数値のうちの最小値を前記対象の仮範囲に関連付ける処理を当該Ｍ個の仮範囲をそれぞれ前記対象の仮範囲として実行すると共に、関連付けられた数値が大きい前記仮範囲ほど前記予め規定された条件を満たす関係の度合いが大きいとして当該予め規定された条件を満たす関係となる仮範囲を特定する請求項４記載の検査用データ生成装置。
6. 前記処理部は、前記予め規定された時間内に前記測定値が予め規定されたしきい値を超える状態および当該予め規定されたしきい値を下回る状態に周期的に変化する前記各第１の測定値データおよび前記各第２の測定値データを取得すると共に、前記データ生成処理において、前記予め規定された時間分の前記各測定値のうちのＫ回目（Ｋは、自然数）に前記予め規定されたしきい値を超えた当該測定値、およびＫ回目に当該予め規定されたしきい値を下回った当該測定値のいずれか予め規定された一方を基準として前記Ｍ種類の仮範囲を規定する請求項１から５のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
7. 前記処理部は、前記第１の測定値データに記録されている各測定値をＪ１個おき（Ｊ１は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値に基づいて前記第１の被判別値を演算すると共に、前記第２の測定値データに記録されている各測定値をＪ２個おき（Ｊ２は、２以上の自然数）に抽出し、抽出した当該各測定値に基づいて前記第２の被判別値を演算する請求項１から６のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
8. 前記処理部は、前記特定処理によって特定した前記対象測定値範囲を報知する特定結果報知処理を実行する請求項１から７のいずれかに記載の検査用データ生成装置。
9. 前記処理部は、前記特定結果報知処理において、少なくとも前記各第１の測定値データ、前記第２の測定値データおよび前記第３の測定値データのうちの少なくとも１つの波形を表示装置に表示させると共に、前記対象測定値範囲を前記波形に対応させて表示させることで報知する請求項８記載の検査用データ生成装置。
10. 請求項１から９のいずれかに記載の検査用データ生成装置と、
    前記第１の測定処理を実行して前記第１の測定値データを生成し、かつ前記第２の測定処理を実行して前記第２の測定値データを生成すると共に、前記第３の測定処理を実行して前記第３の測定値データを生成可能に構成された測定装置と、
    前記検査用データ生成装置によって生成された検査用データ、および前記測定装置によって生成された前記第３の測定値データに基づいて前記検査対象の良否を検査する検査装置とを備えて当該検査対象の良否を検査可能に構成されている検査システム。
11. 検査対象と同種の良品の試料について予め規定されたサンプリング周期で予め規定された時間に亘って行なわれたＮ１回（Ｎ１は、２以上の自然数）の第１の測定処理によって当該予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ１個の第１の測定値データと、前記検査対象および前記良品の試料と同種の不良品の試料について前記第１の測定処理と同じ測定条件で行なわれたＮ２回（Ｎ２は、２以上の自然数）の第２の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されたＮ２個の第２の測定値データとを取得すると共に、前記検査対象の検査時に当該検査対象について前記第１の測定処理および前記第２の測定処理と同じ測定条件で行なわれるＮ３回（Ｎ３は、２以上の自然数）の第３の測定処理によって前記予め規定された時間分の複数の測定値がそれぞれ記録されるＮ３個の第３の測定値データに基づく当該検査対象の良否判別条件を特定可能な検査用データを前記各第１の測定値データおよび前記各第２の測定値データに基づいて生成するデータ生成処理を検査用データ生成装置の処理部に実行させると共に、前記データ生成処理において、前記検査対象の検査時に前記第３の測定値データに記録されている前記各測定値のうちのいずれの当該測定値から他のいずれの当該測定値までの当該各測定値に基づいて当該検査対象の良否を判別すべきかを特定可能な対象測定値範囲を前記良否判別条件の１つとして規定するときに、当該対象測定値範囲の始点に対応する前記測定値と当該対象測定値範囲の終点に対応する前記測定値との組合せを少なくとも異ならせたＭ種類（Ｍは、２以上の自然数）の仮範囲を規定し、かつ前記各第１の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第１の被判別値をそれぞれ演算する第１の演算処理と、前記各第２の測定値データ毎に前記各仮範囲内の前記各測定値に基づいて良否判別用の第２の被判別値をそれぞれ演算する第２の演算処理とを実行すると共に、前記第１の被判別値と前記第２の被判別値とが予め規定された条件を満たす関係となる前記仮範囲を特定する特定処理を実行し、特定した前記仮範囲を前記対象測定値範囲として前記検査用データを生成する処理を前記処理部に実行させる検査用データ生成処理用プログラム。

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