JP2019031424A - 無鉛圧電磁器組成物、圧電素子および圧電素子利用装置 - Google Patents
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本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであって、圧電特性の良好な無鉛圧電磁器組成物、これを用いた圧電素子、さらにこれを用いた圧電素子利用装置を提供する。
この無鉛圧電磁器組成物によれば、圧電特性を有さないスピネル化合物で構成される第2結晶相を主とする副相が、空孔を充填するので0.1%以下の低い空孔率の緻密な組成物となり、主相をなす第1結晶相の構造を安定化するので、圧電定数d33や電気機械結合係数Krなどの圧電特性に優れた無鉛圧電磁器組成物を提供することができる。
しかも、この無鉛圧電磁器組成物では、この副相は、平均粒径がD50≧20μmの、大きな粒径を有して主相内に散点状に分散して配置されている。これにより、さらに無鉛圧電磁器組成物の圧電特性が良好になっている。粒径の増大と共に副相同士の間隔も広くなり、副相を含まない(圧電性を有する第1結晶相で構成された)主相の領域が広くなるためと考えられる。
また、ペロブスカイトのBサイトには、金属元素M1及びM2の少なくともいずれかを含む(f+g=1)。金属元素M2は、Nb,Ti,Zrのうちの少なくともNbを含む一種以上である。Nbを含むニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物は、Nbを含まずタンタルを含むタンタル酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物に比べて、キュリー温度(Tc)が高い無鉛圧電磁器組成物を提供することができる点で好ましい。
さらに、金属元素M3は、Fe,Co,Znの一種以上である。
加えて、酸素の係数3+hのうち、係数hは、通常3である酸素の係数に対し、酸素の欠損あるいは過剰を示す正または負の値である。
このようなニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物としては、例えば、組成式(K0.5Na0.5)NbO3,(K0.45Na0.45Li0.1)(Nb0.9Ti0.1)O2.95,(K0.5Na0.4Ba0.1)NbO3.05で表されるものが挙げられる。
具体的には、ニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物のAサイトには、アルカリ金属のK,Na,Liの少なくともいずれかを含み(a+b+cはゼロでなく)、KとNaの係数a,bは、典型的には0<a≦0.6及び0<b≦0.6である。Liの係数cは、ゼロでも良いが、0<c≦0.2が好ましく、0<c≦0.1が更に好ましい。
金属元素M1(具体的にはCa,Baの1種以上)の係数dは、ゼロでも良いが、0<d≦0.2が好ましく、0<d≦0.1が更に好ましい。
Aサイト全体に対する係数eは、0.80≦e≦1.10であり、0.84≦e≦1.08が好ましく、0.88≦e≦1.07がさらに好ましい。
酸素の係数(3+h)は、第1結晶相がペロブスカイト酸化物を構成する値を取り得る。係数hの典型的な値は、h=0であり、0≦h≦0.1が好ましい。なお、係数hの値は、第1結晶相の組成の電気的な中性条件から算出することができる。但し、第1結晶相の組成としては、電気的な中性条件からやや外れた組成も許容できる。
ニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物として、特に、組成式(KaNabLicCad1Bad2)e(Nbf1,Tif2,Zrf3)O3+hであり、KとNaとNbとを主な金属成分とするものは、圧電特性と、電気特性と、絶縁性と、高温耐久性とに優れ、また、−50℃〜+150℃の間において急激な特性の変動がない無鉛圧電磁器組成物を提供することができる。
ステップS6では、仮焼(大気雰囲気下600℃〜1200℃で1〜10時間)して、混合仮焼粉末を作製する。
なお、ステップS5における第1仮焼粉末と第2仮焼粉末との混合割合は、最終的に得たい無鉛圧電磁器組成物(圧電素子本体)における、副相の割合を考慮して決定するとよい。
かくして、分極された圧電素子本体を有する圧電素子が完成する。
この製造方法によれば、ステップS1〜S4で第1,第2仮焼粉末を作製するので、第1結晶相及び第2結晶相の組成や割合を管理しやすい利点がある。
なお、図2では、円板形状の圧電素子を例示したが、円板形状の圧電素子のほか、種々の形状や構成を有する圧電素子を製造、使用可能である。また、圧電素子利用装置も、各種の圧電素子を用いた装置を製造可能である。
次いで、前述の組成式を満たす実施例に係る無鉛圧電磁器組成物からなる圧電素子について、副相の平均粒径と圧電特性及び空孔率との関係、副相と第2結晶相及び第1結晶相との関係について調査を行った。
まず前述の製造方法により、25mmφ×2.5mmtの円板状の圧電素子本体の両面全面に、それぞれAgからなる電極層を焼き付けた圧電素子(図2参照)を形成し、さらに、厚み方向に分極して実施例1〜4及び比較例の合計5種類の圧電素子を作製した。
また、Fe2O3粉末,CoO粉末,ZnO粉末,TiO2粉末を用意し、組成式(Fe,Co,Zn,Ti)O4で示される第2結晶相についても、表1に記載の量比となるように、第2原料を秤量する。そして、前述のステップS1〜S10を行う。
第1仮焼粉末の粒度D50は、堀場製作所製レーザ回折・散乱式粒子径分布測定装置(LA-950V2)を用いて、体積累積中位径を算出した(第2仮焼粉末も同様)。
さらにこの混合仮焼粉末に、分散剤、バインダ及びエタノールを加え、ボールミルで粉砕・混合してスラリーとした。その後、このスラリーを乾燥・造粒し、さらに造粒粉末をプレス型を用いて圧力20MPaで一軸プレスし、円板状(直径30mm、厚さ4mm)に成型する。その後、圧力150MPaでCIP処理を行い、得られたCIPプレス体を脱脂した後(ステップS7)、大気雰囲気下1150℃で30時間保持して焼成して、無鉛圧電磁器組成物(圧電素子本体)を得た(ステップS8)。
上述したように、実施例1〜4及び比較例の各圧電素子10は、ステップS2,S4における仮焼温度及びこれによる仮焼粉末の粒度が互いに異なっている。
この図4から理解できるように、第1仮焼粉末及び第2仮焼粉末の粒度D50を小さくした比較例では、白く見える主相(第1結晶相)及び黒く見える第2結晶相が、いずれも粒径が小さく、互いに均一に分散して配置されているように見える。一方、実施例1〜4では、白い主相内に黒色の副相が散点状に分散して配置されており、しかも、第1仮焼粉末及び第2仮焼粉末の粒度D50を大きくするほど(実施例の番号が大きくなるほど)、副相が大きく成長していることが判る。
なお、実施例3の圧電素子10においては、複数の副相粒子が集合して、1つの副相粒子群を形成しているように見えるが、次述する平均粒径の測定に当たっては、副相粒子群を1つの粒子として扱って平均粒径を得ている。
その結果を、表2に示すと共に、副相の平均粒径D50と圧電定数d33及び電気機械結合係数Krとの関係を、図5に示す。
但し、副相の平均粒径D50を、D50=160μmを超えてさらに大きくしても、圧電定数d33及び電気機械結合係数Krの増加は見込めないことも判る。
また、圧電定数d33は、INSTITUTE OF ACADEMIA AINICA社製d33メータ(ZJ-4B)を用いて、電気機械結合係数KrはKEYSIGHT社製インピーダンスアナライザ(E4990A)により測定した。
これらの結果から、比較例及び実施例1〜4のいずれの圧電素子本体11についても、空孔率が0.1%未満であり、圧電素子本体11内にほとんど空孔を含まない、緻密な無鉛圧電磁器組成物となっていることが理解できる。なお、この点は、図4及び後述する図8〜図12に示す写真においても、大きな空孔が観察されないことからも、首肯される。
空孔率(%)={(含水重量−乾燥重量)/(含水重量−水中重量)}×100
具体的には、実施例3の圧電素子本体(研磨面)のうち、主相及び副相を含む領域について、EPMAによる試料表面の元素分布を調査した。結果を、図6に示す。12枚の画像のうち、1段目の画像は、左から、調査領域の反射電子像、及び、O,Na,Kの元素分布像である。2段目の画像は、左から、Ca,Ti,Fe,Coの元素分布像である。3段目の画像は、左から、Zn,Zr,Nb,Baの元素分布像である。なお、Liは、EPMAでは測定困難であるので、調査していない。反射電子像などから理解できるように、調査領域(画像)の大半は主相であるが、中央よりも右上部分に、粒径70μm程度の略三角形状の副相(反射電子像で主相よりも黒く表示)が位置している。
なお、主相内に分布している、小さな黒い点は空孔あるいはくぼみである。
これらから、主相は、組成式(K,Na,Li,Ca,Ba)(Nb,Ti,Zr)O3で示されるペロブスカイト結晶を主とすると考えられる。また、副相は、組成式(Fe,Co,Zn,Ti)O4で示されるスピネル結晶が主であると考えられる。
観測されたX線の強度分布は、主相部分も副相部分も、ほぼ同様の波形を示しており、概ね、参照用(上段)のニオブ酸カリウムナトリウムK0.48Na0.52NbO3のピークプロファイルにほぼ一致している。このことから、主相部分は、ニオブ酸カリウムナトリウムK0.48Na0.52NbO3あるいはこれに近似する組成のペロブスカイト型結晶粒子が含まれていることが理解できる。
図9〜図12から理解できるように、反射電子像において、副相の部位は、やや黒く示される。さらにこの副相の部分を観察すると、やや黒く表示される部位を主とし、その中に、やや白く表示される部分が分散して配置されていることが判る。
なお、例えば、図11,図12を見ると理解できるように、やや黒く表示される部位は、二次電子像において、稜線を有しており、結晶粒子であることが判る。また、この結晶粒子の表面のみならず、破断した内部にも、反射電子像においてやや白く表示される部位が含まれていることから、副相は、その主をなす、反射電子像においてやや黒く表示される結晶粒子内にも、やや白く表示される結晶粒子が分散している構造となっていることが判る。
加えて、副相の平均粒径D50が、20μm以上である圧電素子本体(無鉛圧電磁器組成物)を用いた圧電素子(実施例1〜4)は、圧電定数d33を300pC/N以上に、また、電気機械結合係数Krを46%以上にできる。
例えば、実施例では、表1に示される組成を有する圧電素子10について、圧電定数d33及び電気機械結合係数Krが良好になることを示した。しかし、前述のように、組成式(KaNabLicM1d)e(M2fM3g)O3+hで示されるニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物からなる第1結晶相で構成された主相と、組成式(M4,Ti)O4で示されるスピネル化合物からなる第2結晶相を主とし、第1結晶相が分散した副相とを有する無鉛圧電磁器組成物においても、副相の平均粒径をD50≧20μmとすることで、副相の平均粒径がD50<20μmであるものに比して、良好な圧電定数d33及び電気機械結合係数Krを得ることができる。
TX (圧電素子本体の)厚み方向
10 圧電素子
11 圧電素子本体(無鉛圧電磁器組成物)
12,13 電極
60 圧電アクチュエータ(圧電素子,圧電素子利用装置)
61 圧電素子本体
62,63 電極層
LRX 左右方向
Claims (4)
- 組成式(KaNabLicM1d)e(M2fM3g)O3+h(但し、金属元素M1はCa,Baの一種以上、金属元素M2はNb,Ti,Zrのうちの少なくともNbを含む一種以上、金属元素M3はFe,Co,Znの一種以上であり、a+b+c+d=1であり、a+b+cはゼロでなく、eは0.80<e<1.10を満たし、f+g=1であり、hは酸素の欠損あるいは過剰を示す値)で表される、ニオブ酸アルカリ系ペロブスカイト酸化物からなる第1結晶相で構成された主相と、
上記主相内に散点状に分散して配置され、組成式(M4,Ti)O4(但し、金属元素M4は、Fe,Co,Znの一種以上)で示されるスピネル化合物からなる第2結晶相を主とし、上記第1結晶相が分散して包含され、平均粒径がD50≧20μmである副相と、を有し、
空孔率が0.1%以下である
無鉛圧電磁器組成物。 - 請求項1に記載の無鉛圧電磁器組成物であって、
前記第1結晶相は、
組成式(KaNabLicCad1Bad2)e(Nbf1,Tif2,Zrf3)O3+h(但し、a+b+c+d1+d2=1であり、eは0.80<e<1.10を満たし、f1+f2+f3=1であり、hは酸素の欠損あるいは過剰を示す値)で示され、
前記第2結晶相は、
組成式(Fe,Co,Zn,Ti)O4で示される
無鉛圧電磁器組成物。 - 請求項1または請求項2に記載の無鉛圧電磁器組成物からなり、予め定めた向きに分極された圧電素子本体と、
上記分極された圧電素子本体の表面に設けられた一対の電極層と、を備える
圧電素子。 - 請求項3に記載の圧電素子を備える
圧電素子利用装置。
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