JP2019028372A - 光接続構造 - Google Patents
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Abstract
Description
2:光導波路
2A、2C:Si光導波路
2C:SiN光導波路
3、3A、3B、3C:交差点
4A、4B:オーバーラップ領域
6:光の伝播(遷移)
Claims (10)
- 光導波路が交差する領域での光接続構造であって、
第1光導波路と、
第1光導波路と交差する第2光導波路とを含み、
第2光導波路は、第1光導波路と同一平面にあって水平方向に離間した第1領域及び第2領域と、第1光導波路と異なる平面にあって第1領域と第2領域の間に位置する第3領域とを含み、
第1領域の端部と第3領域の一方の端部、及び第2領域の端部と第3領域の他方の端部はそれぞれオーバーラップ領域を有し、
第1領域、第2領域および第3領域はオーバーラップ領域に至るテーパ領域を有し、
オーバーラップ領域の各々は、第1領域から第3領域への光遷移または第3領域から第2領域への光遷移における完全結合長に略等しい長さを有する、光接続構造。 - 前記オーバーラップ領域において、前記第2光導波路の第1領域、第2領域、及び第3領域はそれぞれ所定の一定幅を有する、請求項1に記載の光接続構造。
- 前記第2光導波路において、前記第1領域及び第2領域はシリコン光導波路からなり、前記第3領域は窒化シリコン光導波路からなり、
前記オーバーラップ領域において、前記シリコン光導波路の幅Wsi(nm)、前記窒化シリコン光導波路の幅WsiN(nm)、及び前記完全結合長の長さLc(μm)は、
Wsi=0.3×WsiN+50
LC=118×WsiN+15.5
の関係を有する、請求項1または2に記載の光接続構造。 - Wsi=160〜190nm、WsiN=350〜450nm、LC=58〜70μmである、請求項3に記載の光接続構造。
- 前記第2光導波路の前記第1領域及び前記第2領域と前記第3領域の厚さ方向での間隔は、1.5〜2.0μmの範囲にある、請求項3または4に記載の光接続構造。
- 光導波路が交差する領域での光接続構造であって、
第1光導波路と、
第1光導波路と交差する第2光導波路とを含み、
第2光導波路は、第1光導波路と同一平面にあって離間した第1領域及び第2領域と、第1光導波路と異なる平面にあって第1領域と第2領域の間にある第3領域とを含み、
第1領域及び第2領域の端部は、第1テーパ領域と一定幅領域とを有し、第3領域の両端部は、第2テーパ領域と第3テーパ領域とを有し、一定幅領域と第3テーパ領域は、オーバーラップ領域を形成し略同一の長さを有する、光接続構造。 - 光導波路が交差する領域での光接続構造であって、
第1光導波路と、
第1光導波路と交差する第2光導波路とを含み、
第2光導波路は、第1光導波路と同一平面にあって離間した第1領域及び第2領域と、第1光導波路と異なる平面にあって第1領域と第2領域の間にある第3領域とを含み、
第1領域の端部と第3領域の一方の端部、及び第2領域の端部と第3領域の他方の端部はそれぞれオーバーラップ領域を有し、
オーバーラップ領域において、第2光導波路の第1領域及び第2領域は、第1テーパ領域と、一定幅領域と、先端のテーパ領域とを有し、第3領域の両端部は、第2テーパ領域と、第3テーパ領域と、先端の一定幅領域または第4テーパ領域とを有し、
第1テーパ領域と先端の一定幅領域または第4テーパ領域、一定幅領域と第2テーパ領域、及び先端のテーパ領域と第2テーパ領域は、それぞれ略同一の長さを有する、光接続構造。 - 前記第2光導波路において、前記第1領域及び第2領域はシリコン光導波路からなり、前記第3領域は窒化シリコン光導波路からなり、+
前記オーバーラップ領域において、前記シリコン光導波路の前記一定幅領域の幅Wsi(nm)と、前記窒化シリコン光導波路の前記第3テーパ領域の先端の幅WsiN1(nm)及び後端の幅WsiN2(nm)と、前記シリコン光導波路の前記一定幅領域及び前記窒化シリコン光導波路の前記第3テーパ領域の長さLtaper(μm)は、
WsiN1=0.043Wsi 2−12.5×Wsi+1090
WsiN2=0.043Wsi 2−12.5×Wsi+1250
Ltaper=1560×Wsi−250
の関係を有する、請求項6または7に記載の光接続構造。 - Wsi=210〜230nm、WsiN1=350〜470nm、WsiN2=500〜600nm、Ltaper=80〜110μmである、請求項8に記載の光接続構造。
- 前記第2光導波路の前記第1領域及び第2領域と前記第3領域の厚さ方向での間隔は、1.5〜2.0μmの範囲にある、請求項8または9に記載の光接続構造。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023089684A1 (ja) * | 2021-11-17 | 2023-05-25 | 富士通株式会社 | 量子デバイス及び量子演算装置 |
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- 2017-08-02 JP JP2017150124A patent/JP7008316B2/ja active Active
Patent Citations (4)
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Title |
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POON, JOYCE K. S. ET AL.: "Multilayer Silicon Nitride-on-Silicon Photonic Platforms for Three-Dimensional Integrated Photonic D", 2017 75TH ANNUAL DEVICE RESEARCH CONFERENCE (DRC) CONFERENCE PAPER, vol. pp.1-2, JPN6021012874, 25 June 2017 (2017-06-25), US, ISSN: 0004640460 * |
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