JP2019023469A - 真空ポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】真空ポンプであって、経済的な製造によって際立っているものを提供する。【解決手段】真空空間１２４内に配置されたモーターローターを取り囲むモーターステーター９２を有する真空ポンプにおいて、モーターステーターを配するモーターキャリア８２が設けられ、その外側が部分的に圧力室１２６に隣接し、圧力室の方に向けられた接続開口部１１４は、接続基盤１１６によって真空密に密閉されており、またモーターステーターを部分的に取り囲むキャスティングコンパウンド１２２を有し、少なくとも一つの電気的な接続配線１２０が設けられ、この接続配線がキャスティングコンパウンドを通って延び、その一方の端部がモーターステーターに接続されており、他方の端部が接続基盤のキャスティングコンパウンドの方の側に接続され、少なくとも一つの電気的な供給配線１３０が圧力室を通って延び、その一方の端部が接続基盤の圧力室の方の側に接続されている。【選択図】図３

Description

本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプであって、真空空間、真空空間内に配置されたモーターローター、及びモーターローターを取り囲むモーターステーターを有するものに関する。

そのような真空ポンプは基本的に公知である。モーターステーターに電気的エネルギーを供給するために、三つの供給配線が設けられている。これらは、モーターステーターをモーター制御基盤と接続する。供給配線は、真空ポンプの運転中真空となっている真空ポンプの領域内に伸びているので、供給配線はモーター制御基盤にはんだ付けされており、そしてモーター制御基盤でのはんだ箇所は、誘電的キャスティングコンパウンド中にキャスティングされており、これによって所定のガス環境、特にアルゴン化において電気的なスパーク（独語：Ｕｅｂｅｒｓｃｈｌａｅｇｅｎ）が発生しない。

モーター制御基盤上でのはんだ箇所のキャスティングは、キャスティングコンパウンドの硬化に時間がかかるという点で不利である。使用されるキャスティングコンパウンドの形式に応じて硬化は、多くて二日ほど必要となり得る。連続するテストにおいて、キャスティングが密に行われていないことがわかると、供給配線は切断され、そしてモーター制御基盤は、廃棄されなければならない。これはコストと時間がかかる。新たなモーター制御基盤が必要であり、キャスティングは更に二日必要となるからである。

欧州特許出願公開第 ３ ０７０ ３３５ Ａ１号 欧州特許出願公開第ＥＰ ２ ７４０ ９５６ Ａ２号 欧州特許出願公開第ＥＰ ２ ０６０ ７９４ Ａ２号 欧州特許出願公開第ＥＰ ２ ８０１ ７２５ Ａ２号 欧州特許出願公開第ＥＰ １ ８４３ ０４３ Ａ２号

本発明の課題は、冒頭に記載した形式の真空ポンプであって、経済的な製造によって際立っているものを完成することである。

この課題の解決の為、請求項１に記載の特徴を有する真空ポンプが設けられている。

発明に係る真空ポンプは、特に、モーターステーターを配するモーターキャリアを有し、その外側が部分的に圧力室に隣接しており、圧力室は、圧力室の方に向けられた接続開口部を有し、この接続開口部は、接続基盤によって真空密に密閉されており、そしてこれは、モーターステーターを部分的に取り囲むキャスティングコンパウンドを有し、少なくとも一つの電気的な接続配線を有し、この接続配線は、キャスティングコンパウンドを通って延び、その一方の端部は、モーターステーターに接続されており、そしてその他方の端部は、基板のキャスティングコンパウンドの方の側に接続されており、そして少なくとも一つの電気的な供給配線を有し、この供給配線が、圧力室を通って延びており、そしてその一方の端部が、基板の圧力室の方の側に接続されている。

本発明は、モーターステーターを、貫通する電源供給配線によって直接モーター制御部に接続するのではなく、間接的に、つまり接続配線、接続基盤及び供給配線を介して接続するという一般的思想に基礎をおいている。これは、モーターステーターが、接続基盤への接続及びモーターキャリア内でのキャスティングの後、真空ポンプ内に組み込まれる前に試験を行われることが可能であるというメリットを有する。この予組立状態でのキャスティングが、シールされていないと判明し、これが電気的なスパークを引き起こすとであろうとき、この欠陥を有するアッセンブリは、簡単に欠陥を有さないアッセンブリで置き換えられることが可能である。その際、真空ポンプ全体の組立が遅れることは無い。

接続基盤は、真空展開部として作用するので、特に、供給配線は圧力室を通って延びており、この中は例えば周囲圧力となっていることが可能である。これによって、供給配線を、電気的なスパークの危険性無く、取り外し可能にモーター制御部に、特にモーター制御基板につなぐことが可能である。モーター制御基板は、簡単にモーターステーターと接続されることが可能であり、モーターキャリアと、その中にキャスティングされるモーターステーターを有するアッセンブリが交換され、及び／又はモーターステーターが新たに（再度）キャスティングされる必要があるときでも廃棄される必要が無く、このことは最終的には、真空ポンプ組立の際の高いフレキシビリティと、真空ポンプの経済的な製造に貢献する。

本発明の有利な形態は、下位の請求項、明細書及び図面に見て取ることができる。

一つの実施形に従い、少なくとも一つの接続配線、及び／又は少なくとも一つの供給配線が取り外し可能に接続基盤に接続されており、特に接続基盤にはんだ付けされている。しかしまた、代替的に少なくとも一つの接続配線、及び／又は、少なくとも一つの供給配線が、接続基盤に取外し可能に接続されており、特にコネクター接続部によって接続されていることが可能である。

有利には、少なくとも一つの電気的な供給配線の他方の端部が、モーター制御部、特にモーター制御基板に接続されている。例えば、少なくとも一つの電気的な供給配線の他方の端部は、取り外し可能にモーター制御基板に接続、特にはんだ付けされていることが可能である。代替として、少なくとも一つの電気的な供給配線の他方の端部は、モーター制御基板に、特にコネクター接続部によって接続されていることが可能である。

別の実施形に従い、接続基盤は、モーターキャリアの外側に取り付けられている。その際、接続基盤は、モーターキャリアの軸方向に延びる壁部部分に、又はモーターキャリアの半径方向に延びる壁部部分に取り付けられていることが可能である。この意味で、「軸方向」の向きは、モーターローターの回転軸によって定義されている。「半径方向」の向きは、相応して、モーターローターの回転軸に直角に向けられている。

特に簡単な組立の為に、接続基盤は、壁部部分にねじ留めされていることが可能である。

好ましくは、シール要素は、接続基盤と壁部部分の間に設けられている。特にこれは、接続開口部を完全に取り囲んでいる。これは、真空空間を圧力室から、特に信頼性の高く分離することに貢献している。

別の実施形に従い、モーターキャリアは、軸方向に延びる、特に中空シリンダー状の外装壁部と、半径方向に延びる正面壁部を有する。この中に貫通穴が形成されている。この貫通穴は真空空間の部分である。

モーターステーターの腐食に対する保護の為に、及び不所望な電気的なスパークに対する保護の為に、モーターステーターは、真空空間を画成する内側を除いて、理想的には完全にキャスティングコンパウンドによって取り囲まれている。

好ましくは、モーターステーターと、モーターキャリアの壁部とによって定義される中間空間は、完全にキャスティングコンパウンドによって満たされている。これは、特に簡単なモーターキャリア及びモーターステーターを有するアッセンブリーの製造を可能とする。モーターキャリアが、モーターステーター挿入の後、キャスティングコンパウンドによって満たされることだけが必要だからである。

その上、モーターキャリアと、モーターキャリアに付設されるラビリンスシールが独立した部材として形成されていると、真空ポンプ組立の際の更に高い柔軟性に貢献する。特にこれは、真空ポンプの内部における、モーターキャリアと無関係の、よって正確なラビリンスシール要素の整向を可能とする。

その際、モーターキャリア、特にモーターキャリアの正面壁部が、ラビリンスシール要素の中へと挿入されていることが可能である。

別の実施形に従い、切欠き部がラビリンスシール要素内に形成されている。これは、圧力室と連通している。特に、接続基盤がモーターキャリアの正面壁部に取り付けられているとき、この切欠き部は、接続基盤によって制限されていることが可能である。これによって、供給配線を、いわば軸方向で接続基盤に接続することが可能となる。

真空空間を取り巻く少なくとも一つのシール要素が、ラビリンスシール要素とモーターキャリアの間の切欠き部の領域に設けられていると、真空空間を圧力室からより良好に分離するのに貢献する。

同じ理由から、好ましくは、真空空間を取り巻く少なくとも一つのシール要素が、モーターキャリアと、真空ポンプの下部分との間に設けられている。

本発明を、以下に図面に基づき例示的に説明する。

先行技術に従う真空ポンプの斜視図 図１の真空ポンプの断面図 発明に係る真空ポンプの第一の実施形の下側の部分の断面図 発明に係る真空ポンプの第二の実施形の下側の部分の断面図

図１及び２に示される真空ポンプ１０は、インレットフランジ１２に取り囲まれたポンプインレット１４と、ポンプインレット１４に及ぶガスをハウジング１６の下部分９０に設けられるポンプアウトレット７４へと搬送するための、ハウジング１６内の複数のポンプ段を有する。下部分９０とハウジング１６の間にはシール８１が設けられている。真空ポンプ１０は、ハウジング１６内、又は下部分９０内にモーターステーター９２とモーターローター９３を有する。モーターローター９３は、回転軸１８を中心として回転可能に支承されたローターシャフト２０を有する。

真空ポンプ１０は、ターボ分子ポンプとして形成されており、そして互いにシリアルに接続され、ポンプ効果を発する複数のターボ分子ポンプ段を有する。ターボ分子ポンプ段は、ローターシャフト２０と接続された複数のターボ分子ローターディスク２２と、軸方向においてローターディスク２２の間に配置され、かつハウジング１６内に固定された複数のターボ分子ステーターディスク２４を有する。これらは、スペーサーリング２６によって所望の軸方向間隔に互いに保持されている。ターボ分子ポンプ段によって実現されるポンプ効果を発するシステムは、よって、交互に存在するローターディスク２２とステーターディスク２４によって構築される。その際、示された構成要素の幾つかのみが、視認性上の観点から番号を付されている。ローターディスク２２とステーターディスク２４は、吸込み領域２８内に矢印３０の方向に向けられた、軸方向のポンプ作用を提供する。

真空ポンプ１０は、ターボ分子ポンプ段に対してオプション的に後配置されて、一、又は複数のそれ自体公知のホルベックポンプ段を有し得る。これらは、図示されていない。例えば、半径方向に互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続された三つのホルベックポンプ段が設けられていることが可能である。ホルベックポンプ段のローター側の部材は、その際、ローターシャフト２０と接続されるローターハブと、ローターハブに固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブを有し得る。これらは、ローター軸１８と同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の一つ、二つ、又は三つのホルベックステータースリーブが設けられていることが可能である。これは、同様に、回転軸１８に同軸に向けられており、そして半径方向において入れ子式に接続されている。ホルベックポンプ段のポンプ効果を発する表面は、其々、半径方向の狭いホルベック間隙を互いに形成しつつ向かい合った、各ホルベックロータースリーブとホルベックステータースリーブの半径方向の側面によって形成されている。その際、ポンプ効果を発する各表面、特にホルベックロータースリーブの表面はは滑らかに形成されており、そして対向するポンプ効果を発する表面、特にホルベックステータースリーブの表面は構造化されている。構造化は、回転軸１８の周りにねじ線形状に軸方向に推移する複数の溝を有するものである。これらの溝の中を、ローターの回転によってガスが搬送され、そしてこれによってポンピングが行われる。しかし、表された真空ポンプ１０においては、ホルベックポンプ段は設けられていない。

シール領域３４は、特別な、この場合非対称に形成されたステーターディスク２４によって形成される。このステーターディスクは、ローターディスク２２に対して残される中間空間を最小に保つ。第一及び第二のポンプ段の間の望まれていない逆流に対するより良好なシール性を達成するためである。

予負荷兼シールリング３２は、ハウジング１６の内壁と、ターボ分子ポンプ段の間、特に二つのスペーサーリング２６の間に配置されている。予負荷兼スペーサーリング３２は、スペーサーリング２６の公差含みの積層が、軸方向でハウジング１６と下部分９０の間で確実に予負荷を与えられることに供する。更にこれは、スペーサーリング２６の積層と、ハウジング１６の壁部の間の間隙を、望まれない逆流（予真空領域／排出領域から高真空領域／吸引領域への逆流）に対してシールする。

ハウジング１６には、フローガスインレット３６が設けられている。これを介して真空ポンプ１０はフローガスによる溢出が可能である。フローガスインレット３６は、有利には、予負荷兼スペーサーリング３２のポンプ流れ下流、又は下に位置している。接続部の高さに位置するスペーサーリング２６は、好ましくはその側面に、全周囲にわたって一つのチャネル、又は切欠き部を有するので、フローガスはまず、良好なアドミタンス（又はコンダクタンス、独語：Ｌｅｉｔｗｅｒｔ）で全リングチャネル内に分配され、そしてその後、周囲にわたって可能な限り均等に、より低めのアドミタンスでステーター積層部内の間隙、又は切欠き内へと進入し、そしてフローに対して機械的に安定的な予真空近傍のポンプ段を達成する。

下部分９０には、冷却媒体インレット３８と冷却媒体アウトレット４０が設けられている。これらの間には、少なくとも一つの冷却媒体管７６により形成される冷却媒体配管が延びている。これは、下部分９０の周りに巻き付けられ案内されている。冷却媒体インレット３８と冷却媒体アウトレット４０には、冷却媒体ポンプが接続されることが可能である。この冷却媒体ポンプによって、冷却媒体が、冷却媒体配管を通してポンピングされることが可能である。真空ポンプ１０を冷却するためである。

冷却媒体管７６は、例えば特許文献１に従う下部分９０内の予成形された切欠き部内へと圧入されていることが可能である。管端部は、各管部分として任意の角度でポンプ１０の輪郭から外へと突き出している。例えば、カット・クランプ・スクリュー（独語：ｓｃｈｎｅｉｄ−Ｋｌｅｍｍ−Ｖｅｒｓｃｈｒａｕｂｕｎｇｅｎ）によって、又は特別なコネクター接続によってインレット３８、又はアウトレット４０に接続するためである。

管端部は、接続ブロック内に収容されていることも可能である。接続ブロックは、インレット３８またはアウトレット４０を形成し、そしてそれらの側で下部分９０に固定されている。その際、管７６と接続ブロック３８，４０の密な接続は、様々な形式で作られることが可能である。例えば、はんだ付け、溶接、クランプ／プレス／ストレッチ、又は特別なシール要素、例えば（カッティング式の）シールリング、若しくはシールバンドによってであったり、又は統合されたシールシステムを有する特別なコネクター接続によってであったりする。

冷却媒体配管が表されている。これは、インレット３８から始まって、三つの完全な渦巻き状に形成された巻き付き部（下部分９０の巻き付き部）を有し、そしてアウトレット４０のところで終了している。代替として、任意の数の巻き付き部、又は巻き付き部の任意の部分が、一回、又は複数回、異なる半径で、及び／又は回転軸１８の異なる軸方向高さで交差し、又は、その回転半径は、例えばＵ字形状の曲げによって、又は配置される複数の転向ブロック（これら転向ブロックは、接続ブロックと同様二つの管部分端部を収容し、そしてそれらの間の接続を作り上げる）によって、一回又は複数回反転することが可能である。そのような接続ブロック、及び転向ブロックは、バルブも有し得る。バルブは、冷却媒体流を調整し、又は必要に応じて遮断することができる。代替的に、任意のブロックが、別の接続部も有し得る。これにおいては、例えば追加的な、特に平行な冷却媒体トレイン、又は一若しくは複数のバルブが冷却媒体流の転向、又は分配の為、必要に応じて冷却媒体管システム（この冷却媒体システムは、バイパスとして、又は転向部としても使用されることが可能である。）の異なる分岐で存在している。

ローターシャフト２０の回転可能な支承は、ポンプアウトレット７４の領域の転がり支承部４２によって、及びポンプインレット１４の領域の永久磁石支承部４４によって行われる。

永久磁石支承部４４は、ローター側の支承半部４６とステーター側の支承半部４８を有する。これらは、其々、軸方向で互いに積層される複数の永久磁石のリング５０，５２を有する。その際、マグネットリング５０、５２は、半径方向の支承間隙５４を形成しつつ互いに向き合っている。

永久磁石支承部４４の内部には、緊急用、又は安全用支承部５６が設けられている。これは、非潤滑式の転がり支承部として形成されており、そして真空ポンプの通常の運転では非接触で空転し、そしてローターがステーターに対して半径方向に過剰に偏向したとき初めて係合するに至る。ローターに対する半径方向のストッパーを形成する為である。このストッパーは、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのを防止する。緊急用、又は安全用支承部５６は、インサートを介して独立して収容されており、よって永久磁石支承部４４と独立して交換されることが可能である。

転がり支承部４２は、リングホルダーによって保持される。リングホルダーは、自身の側では弾性的な要素によって軸方向も半径方向も非連結式に転がり支承部ホルダー内、又は転がり支承部懸架部８４内に収容される。これは、下部分９０内に確実に固定されている。機械的なストッパーは、リングホルダーと転がり支承部懸架部８４の間の可能な相対動作を制限する。

転がり支承部４２の領域には、ローターシャフト２０に円すい形のスプラッシュスクリュー５８が設けられている。スプラッシュスクリューは、転がり支承部４２の方に向かって増加する外直径を有する。スプラッシュスクリューは、潤滑媒体チャネル６０によって供給される運転媒体、特に潤滑媒体を収容し、そして転がり支承部に供給することができる。スプラッシュスクリュー５８は、好ましくは特許文献２に従い形成されていることが可能である。

運転媒体は、潤滑媒体ポンプ７８によって潤滑される。潤滑媒体ポンプ７８は、好ましくは特許文献３に従い構成されている。その際、これは、特に潤滑媒体予送りチャネルを供給する。これは、少なくとも一つのセグメントにおいて特許文献４に従いＯリングによるシールされるリングチャネルとして構成されている。

潤滑媒体ポンプ７８によって、アクティブに調整される運転媒体供給部が実現されることが可能である。

ローターシャフト２０の回転駆動の為に、真空ポンプ１０は、電気的駆動モーター６２を有する。この駆動モーターは、モーターステーター９２とモーターローター９３を有する。モーターローターは、ローターシャフト２０に形成されるものである。制御ユニット６４は、駆動モーター６２を駆動する。電気的接続部６６を介して、真空ポンプ１０と、特に制御ユニット６４、並びに駆動モーター６２が電流を供給されることが可能である。制御ユニット６４は、ハウジング１６の下側の領域を形成し、そしてカバー８０によって覆われている。制御ユニット６４とカバー８０は、下部分９０を密閉している。実施形に応じて、制御ユニット６４、カバー８０、及び／又は下部分９０の間には、一又は複数のシール７７が周回するよう挿入されており、又は例えば流体シール媒体、接着剤若しくは特にアプリケーション可能な（独語：ａｐｐｌｉｚｉｅｒｂａｒ）成型シールによって、適当な移行部が閉じられている。メディア、及び／又は汚染物の進入に対する安全性を獲得するためである。少なくとも一つの電気的な展開部８６によって、電流はカバー８０を通ってハウジング内へと案内され、そして特に駆動モーター６２へと供給されることが可能である。

真空展開部８６は、特許文献５に従い形成されていることが可能である。その際、ここで記載された例においては、基盤は、異なる電圧電位と信号を、互いに独立的にポンプ内部から、つまり真空領域から外に向かって、つまり「環境（独語：Ａｔｍｏｓｐｈａｅｒｅ）」へと、そして特に制御ユニット６４へと案内する。

適用例に応じて、制御ユニット６４の側からも、又は駆動モーター６２の側からも、又はポンプ効果を発する構成要素の側からもハウジング１６を介して、主として望まれない熱がポンプ内へと運ばれることが可能である。冷却媒体、例えば水は、有利にはインレット３８からアウトレット４０へと流れる。というのは、制御ユニット６４がもっとも低温に保持されるべきだからである。

下部分９０の半径方向外側には、被覆８８が設けられていることが可能である。この被覆８８（この被覆は、外装状に、ポンプ１０の回転軸１８に対してスリットをあけられた薄板スリーブに沿って形成されていることが可能である）は、ポンプ１０の外観図には有利には表されていない。その下に位置する解決策をより良好に見せるためである。被覆８８は、一又は複数の視認窓、又は切り取り部を有し得る。下部分９０の任意の接続部、例えばシールガスインレット６８を、外に向かって貫通案内させる為、又は下部分９０に外れないように取り付けられているポンプ１０の型式データ（型式表示、又は印刷・刻印（独語：Ｇｒａｖｕｒ））を見えるようにするためである。

シールガスインレット６８は、フラッシュガス接続部とも称される。シールガスインレット６８を介してフラッシュガスが、モーター６２の保護の為にモーター室（モーター室内にはモーター６２が取り込まれている）内へと運ばれることが可能である。モーターの領域のシールガスインレット６８を介して中に入れられるガスは、下部分９０内に存在する構成要素を、腐食性の媒体、及び／又は堆積する媒体から保護する。これらは、適用例に応じてポンプシステム内に発生する可能性があるものである。モーターキャリア８２と下部分９０の間には、シール８３が設けられている。その結果、ラビリンスシール７２が、唯一のこされた通路として、一方ではその低いアドミタンスでもってモーター領域および転がり支承部領域内へと流れ込む媒体に対するバリアとなり、そして他方では、転がり支承部領域およびモーター領域がシールガス／不活性ガスで高い飽和状態となっていることを保証する。

ラビリンスシール７２は、モーター室を上に向かって画成するモーターキャリア８２と、下側のローターディスク２２の間に設けられている。駆動モーター６２のモーターステーター９２は、有利にはキャスティングコンパウンドによって腐食に対し保護されている。表された実施形においては、モーターステーター９２がモーターキャリア８２内にキャスティングされているので、モーターステーター９２、モーターキャリア８２、及び、モーターキャリアと一体に形成されるラビリンスシール７２のステーター側からなるユニットは、一つのステップで下部分９０に対して整向され、又はこれにセンタリングされて接続されることが可能である。

ラビリンスシール７２の半径方向外側、及びターボ分子ポンプ段の下側には、予真空領域が存在している。この中には、特にリング形状に回転軸１８の周りを周回するチャンバー７０が形成されている。このチャンバーは、図２に見られるように、基本的に長方形断面を有している。しかし、この断面形状は、単に例としてのみみなされようから、他の断面形状、例えば正方形の断面、又は円形の断面も実現されていることが可能である。チャンバー７０は、ハウジング１６内、又は下部分９０内の他の箇所に収納されていることも可能である。好ましくは、チャンバー７０は、大部分の堆積が発生する、つまり典型的には予真空領域に位置している。よって特に好ましくは、チャンバー７０は、最後のポンプ段とポンプアウトレット７４の間に位置している。

表されたバリエーションにおいては、チャンバー７０はポンプアウトレット７４内に開口している。よってチャンバー７０は、真空ポンプ１０によってインレット１４から搬送されるガス（このガスはポンプアウトレット７４を介してこれに接続される予真空ポンプ（図示せず）に至り得る）の吐出領域を形成する。予真空領域は、その後ガスを更に、例えば排ガスの為の配管内へと搬送する。この配管は、通常圧力下にある。

以下に、本発明に係る真空ポンプの構成を説明する。これは基本的には、図１及び２に示された真空ポンプと、下側のポンプ部分の形成のみが異なっている。

図３には、発明に係る真空ポンプの下側のポンプ部分の第一の実施形が表されている。この下側のポンプ部分もまた、下部分９０を有する。これは、駆動モーター６２を有している。駆動モーターは、モーターステーター９２を有する。このモーターステーターは、リング形状に形成されており、およびここに図示されていない、ローターシャフト２０に形成されているモーターローター９３を取り囲んでいる。モーターステーター９２は、モーターキャリア８２内に配置されている。モーターキャリアはモーターステーター９２を外から取り囲み、軸方向に延在し、かつ示された実施例においては中空シリンダー状に形成された外装壁部９４を有し、そして半径方向に延在する正面壁部９６を有する。正面壁部９６には、ローターシャフト２０の為の貫通開口部９８が形成されている。その直径は、図示された実施例ではモーターステーター９２の内直径と一致する。

正面壁部９６のカラー部分１００は、半径方向外側に向かって外装壁部９４を越えて突き出しており、そして下部分９０の上側に位置している。更に、正面壁部９６は、独立した部材として形成されるラビリンスシール要素１０２内に埋め込まれている。ラビリンスシール要素は、正面壁部９６の上側に当接し、そして正面壁部９６を半径方向外側に有するよう周回するカラー部１０４を有する。このカラー部は、下部分９０とねじ接続されている。カラー部１０４の下部分９０の方に向けられた下側には、周回する突出部１０６が設けられている。これは、下部分９０に対するラビリンスシール要素１０２の正確な向きとセンタリングの為に、下部分９０の周回する溝１０８の中に係合している。

ラビリンスシール要素１０２内にも、ローターシャフト２０の為の貫通開口部１１０が形成されている。ラビリンスシール要素１０２の貫通開口部１１０は、モーターキャリア８２の正面壁部９６の貫通開口部９８と並べられており、そしてその直径は少なくとも近似的に同じである。

ラビリンスシール１０２の上側には、貫通開口部１１０と同軸に配置され、半径方向に間隔をあけて周回する複数のシールウェブ１１２が形成されている。これらは、ラビリンスシール７２の部分である。

モーターキャリア８２の外装壁部９４内には、接続開口部１１４が形成されている。これは、外装壁部９４の外側面に配置された接続基盤１１６によって真空密に密閉されている。この為、接続基盤１１６は、外装壁部９４とねじ接続されており、そして接続開口部１１４を取り囲む第一のシールリング１１８が、接続基盤１１６と外装壁部９４の間に配置されている。

接続基盤１１６は、モーターステーター９２の電気的接触に使用される。その際、モーターステーター９２から出発する三つの接続配線１２０は、本実施例においては、接続基盤１１６にはんだ付けされている。しかしまた、基本的に、接続配線１２０を他の方法で取外し不可能に接続基盤に接続することも考え得るし、または、例えばコネクター接続部を使って取り外し可能に接続基盤１１６と接続することすら考え得る。

モーターステーター９２は、キャスティングコンパウンド１２２内に埋め込まれている。これは、モーターステーター９２によって占められるモーターキャリア８２の内部空間を、少なくとも近似的に完全に満たし、よって、接続基盤１１６において接続配線１２０とその接点も取り囲む。モーターキャリア８２内へのキャスティングコンパウンド１２２のキャスティングは、シリンダー状のキャスティングコアを使って行われる。これは、キャスティング過程の間、モーターキャリア８２の正面壁部９６の貫通開口部とモーターステーター９２を通って突き出し、そしてその直径は、モーターステーター９２の内直径と貫通開口部９８の直径に合わせられている。結果として、つまりキャスティングコンパウンド１２２、モーターステーター８２、及びモーターキャリア８２の貫通開口部９８は、ローターシャフト２０の為のチャネルを画成する。この中は、真空ポンプの運転中、真空となっており、そしてチャネルは、よって真空室１２４の部分である。

モーターキャリア８２と反対側の接続基盤１１６の外側は、軸方向に下部分９０を貫通して延在する圧力室１２６を画成する。この中は、真空ポンプの運転中、周囲圧力となっている。接続基盤１１６は、換言するとつまり、ここでは半径方向の真空展開部を真空空間１２４と圧力室１２６の間に形成する。

下部分９０の上側では、圧力室１２６が、モーターキャリア８２の正面壁部９６のカラー部分１００によって画成されている。下部分９０の下側では、圧力室１２６は、モーター制御基板１２８によって画成されている。このモーター制御基板は、例えば下部分９０にねじ留めされていることが可能である。モーター制御基板１２８は、電気的に、接続基盤１１６と接続されている。詳しくいうとこれは、圧力室１２６を通って延びる三つの要求配線１３０によって行われる。接続基盤１１６又はモーター制御基板１２８への供給配線１３０の接続は、其々解除不能に行われることが可能である。しかし好ましくは、少なくとも一つのコネクター接続部１３２が設けられている。これは、接続基盤１１６又はモーター制御基板１２８からの供給配線１３０の簡単な取外しを可能とする。本実施例においては、比較的短い第一の供給配線部分は、モーター制御基板１２８にはんだ付けされており、そして第一のコネクター接続部を設けられ、そして比較的長い第二の供給配線部分は、接続基盤１１６にはんだ付けされ、そして補完的な第二のコネクター接続部を設けられている。

真空空間１２４の圧力室１２６に対するより良好なシールの為に、モーターキャリア８２を取り囲む接続開口部１１４に第一のシールリング１１８に追加的に、更に別のシールリングが設けられている。第二のシールリング１３４は、モーターキャリア８２の周りを、モーターキャリア８２の外装壁部９４のショルダー部と、補完的に形成された下部分９０のショルダー部の間を推移している（伸びている）。第三のシールリング１３６は、圧力室１２６の半径方向外側を、正面壁部９６の外側の周囲に沿ってカラー部分１００及び下部分９０の間に伸びている。第四のシール銀る１３８は、これと平行に、カラー部分１００とラビリンスシール要素１０２の間に伸びている。モーターローター９３の領域におけるプロセスガスの進入を防止するためである。更に図３には、貫通開口部９８，１１０を取り囲む第五のシールリング１４０が、正面壁部９６とラビリンスシール要素１０２の間に示されている。しかしこれは、この実施形においては重複している。

図４には、発明に係る真空ポンプの下側のポンプ部分の第二の実施形が表されている。この下側のポンプ部分は、図３に示されたポンプ部分とは、基本的に、接続開口部１１４と接続基盤１１６が、ここではモーターキャリア８２の外装壁部９４にではなく、モーターキャリア８２の正面壁部９６に配置されている点のみが異なっている。接続基盤１１６は、ここではつまり軸方向の真空展開部を形成する。接続基盤１１６からモーター制御装置１２８へと分岐する供給配線１３０の為のスペースを得るため、ラビリンスシール要素１０２は、モーターキャリア８２の方の上側に、切欠き部１４２を有する。この切欠き部は、接続基盤１１６を収容し、そしてこれは、カラー部分１００の孔部１４４を介して圧力室１２６と連通している。切欠き部１４２内も、真空ポンプの運転中は周囲圧力となっており、そして五つ全てのシールリング１１８、１３４、１３６、１３８及び１４０が、圧力室１２６と真空空間１２４の間のシール機能を担う。

１０ 真空ポンプ
１２ インレットフランジ
１４ ポンプインレット
１６ ハウジング
１８ 回転軸
２０ ローターシャフト
２２ ローターディスク
２４ ステーターディスク
２６ スペーサーリング
２８ 吸込み領域
３０ 矢印
３２ 予負荷兼スペーサーリング
３４ シール領域
３６ フローガスインレット
３８ 冷却媒体インレット
４０ 冷却媒体アウトレット
４２ 転がり支承部
４４ 永久磁石支承部
４６ 支承半部
４８ 支承半部
５０ 永久磁石のリング
５２ 永久磁石のリング
５４ 支承間隙
５６ 緊急用又は安全用支承部
５８ スプラッシュスクリュー
６０ 潤滑媒体チャネル
６２ 駆動モーター
６４ 制御ユニット
６６ 電気的接続部
６８ シールガスインレット
７０ 排出領域、チャンバー
７２ ラビリンスシール
７４ ポンプアウトレット
７６ 冷却媒体管
７７ シール
７８ 潤滑媒体ポンプ
８０ カバー部
８１ シール
８２ モーターキャリア
８３ シール
８４ 転がり支承部懸架部
８６ 電気的展開部
８８ 被覆
９０ 下部分
９２ モーターステーター
９３ モーターローター
９４ 外装壁部
９６ 正面壁部
９８ 貫通開口部
１００ カラー部分
１０２ ラビリンスシール要素
１０４ カラー部
１０６ 突出部
１０８ 溝
１１０ 貫通開口部
１１２ シールウェブ
１１４ 接続開口部
１１６ 接続基盤
１１８ シールリング
１２０ 接続配線
１２２ キャスティングコンパウンド
１２４ 真空空間
１２６ 圧力室
１２８ モーター制御基盤
１３０ 供給配線
１３２ コネクター接続部
１３４ 第二のシールリング
１３６ 第三のシールリング
１３８ 第四のシールリング
１４０ 第五のシールリング
１４２ 切欠き部
１４４ 孔部

Claims (15)

1. 真空ポンプ（１０）、特にターボ分子ポンプであって、
   真空空間（１２４）を有し、
   真空空間（１２４）内に配置されたモーターローター（９３）を有し、そして、
   モーターローター（９３）を取り囲むモーターステーター（９２）を有する真空ポンプ（１０）において、
   モーターステーター（９２）を配するモーターキャリア（８２）が設けられ、その外側が部分的に圧力室（１２６）に隣接し、この圧力室は、圧力室の方に向けられた接続開口部（１１４）を有し、この接続開口部は、接続基盤（１１６）によって真空密に密閉されており、そしてこれは、モーターステーター（９２）を部分的に取り囲むキャスティングコンパウンド（１２２）を有し、
   少なくとも一つの電気的な接続配線（１２０）が設けられ、この接続配線が、キャスティングコンパウンド（１２２）を通って延びており、その一方の端部がモーターステーター（９２）に接続されており、そしてその他方の端部が接続基盤（１１６）のキャスティングコンパウンド（１２２）の方の側に接続されており、そして、
   少なくとも一つの電気的な供給配線（１３０）が設けられており、この供給配線が、圧力室（１２６）を通って延びており、そしてその一方の端部が、接続基盤（１１６）の圧力室の方の側に接続されていることを特徴とする真空ポンプ（１０）。
2. 少なくとも一つの電気的な供給配線（１３０）の他方の端部が、モーター制御部と接続されていることを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ（１０）。
3. 接続基盤（１１６）が、モーターキャリア（８２）の外側に取り付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ポンプ（１０）。
4. 接続基盤（１１６）が、モーターキャリア（８２）の軸方向に延びる壁部部分に取り付けられていることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
5. 接続基盤（１１６）が、モーターキャリア（８２）の半径方向に延びる壁部部分に取り付けられていることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
6. シール要素（１１８）が、接続基盤（１１６）と壁部部分の間に設けられており、特にこれが、接続開口部（１１４）を完全に取り囲むことを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
7. モーターキャリア（８２）が、軸方向に延びる、特に中空シリンダー状の外装壁部（９４）と、半径方向に延びる正面壁部（９６）を有し、この中に、貫通開口部（１１０）が形成されており、この貫通開口部が、真空空間（１２４）の部分であることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
8. モーターステーター（９２）が、真空空間（１２４）を画成する内部側を除いて、完全にキャスティングコンパウンド（１２２）によって取り囲まれていることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
9. モーターステーター（９２）と、モーターキャリア（８２）の壁部によって定義される中間空間が、完全にキャスティングコンパウンド（１２２）によって満たされていることを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
10. モーターキャリア（８２）と、モーターキャリア（８２）に付設されるラビリンスシール要素（１０２）が、独立した部材として形成されていることを特徴とする請求項１から９の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
11. モーターキャリア（８２）、特にモーターキャリア（８２）の正面壁部（９６）が、ラビリンスシール要素（１０２）内に挿入されていることを特徴とする請求項１から１０の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
12. 切欠き部（１４２）が、ラビリンスシール要素（１０２）内に形成されており、これが圧力室（１２６）と連通していることを特徴とする請求項１から１１の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。
13. 切欠き部（１４２）が、接続基盤（１１６）によって制限されていることを特徴とする請求項１２に記載の真空ポンプ（１０）。
14. 真空空間（１２４）を取り巻く少なくとも一つのシール要素（１３８）が、ラビリンスシール要素（１０２）とモーターキャリア（８２）の間の切欠き部の領域に設けられていることを特徴とする請求項１２または１３に記載の真空ポンプ（１０）。
15. 真空空間（１２４）を取り巻く少なくとも一つのシール要素（１３４）が、モーターキャリア（８２）と真空ポンプ（１０）の下部分（９０）の間に設けられていることを特徴とする請求項１から１４の少なくとも一項に記載の真空ポンプ（１０）。

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