JP2019019053A - Ceramic lattice body - Google Patents

Ceramic lattice body Download PDF

Info

Publication number
JP2019019053A
JP2019019053A JP2018179210A JP2018179210A JP2019019053A JP 2019019053 A JP2019019053 A JP 2019019053A JP 2018179210 A JP2018179210 A JP 2018179210A JP 2018179210 A JP2018179210 A JP 2018179210A JP 2019019053 A JP2019019053 A JP 2019019053A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
lattice body
filament
linear
linear portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018179210A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6608499B2 (en
Inventor
哲宗 黒村
Tetsumune Kuromura
哲宗 黒村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsui Mining and Smelting Co Ltd filed Critical Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
Priority to JP2018179210A priority Critical patent/JP6608499B2/en
Publication of JP2019019053A publication Critical patent/JP2019019053A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6608499B2 publication Critical patent/JP6608499B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Furnace Charging Or Discharging (AREA)

Abstract

To provide a ceramic lattice body having high strength and excellent in spalling resistance.SOLUTION: A ceramic lattice body 1 comprises a plurality of first rod parts 10 and a plurality of second rod parts 20. The first rod part 10 is of a cross section having a shape constituted of a straight line part 10A and a convex curve part 10B with its two end parts each constituting either end part of the straight line part 10A respectively, at any portion thereof other than the intersection parts 2. The second rod part 20 is of a cross section having a circular or elliptical shape at any portion thereof other than the intersection parts 2. The projection image in plane view of the second rod part 20 is of a curved shape outwardly swelling in the width direction at each of the intersection parts 2, and thereby the width of the projected image at each of the intersection parts 2 is made greater than that of the projection image at any portion thereof other than the intersection parts 2.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明はセラミックス製の格子体に関する。   The present invention relates to a ceramic lattice.

セラミックス製の電子部品やガラスを焼成するときには、被焼成物を棚板や敷板などとも呼ばれるセッター上に載置して焼成を行うことが一般的である。被焼成物の脱脂・焼成時間を短くして、単位時間当たりの製造個数を増加させるためには、焼成工程を急熱及び急冷することが必要であるところ、従来のセラミックス製セッターはこれを急熱及び/又は急冷すると、割れ等の欠陥が生じやすくなる。また、繰り返しの使用によっても割れ等の欠陥が生じやすくなる。また、金属製セッターを用いた場合には、酸化雰囲気では使用できないという問題や、1200℃以上の高温領域では、繰り返し使用すると、大きく変形するという問題が指摘されている。   When firing ceramic electronic parts or glass, firing is generally performed by placing an object to be fired on a setter called a shelf board or a floor board. In order to shorten the degreasing and firing time of the material to be fired and increase the number of products manufactured per unit time, it is necessary to rapidly heat and cool the firing process. When heated and / or rapidly cooled, defects such as cracks are likely to occur. Moreover, it becomes easy to produce defects, such as a crack, by repeated use. In addition, it has been pointed out that when a metal setter is used, it cannot be used in an oxidizing atmosphere, and when it is repeatedly used in a high temperature region of 1200 ° C. or more, it is greatly deformed.

セラミックス製セッターに関する従来の技術としては、例えば窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスより作られ、且つ表裏を貫通する多数の穴を持つ多孔板からなる加熱成型加工用セッターが知られている(特許文献1参照)。同文献によれば、セラミックスとして窒化アルミニウムを用いることで、その使用可能な最高温度がアルミナやマグネシアに代表される酸化物セラミックスに比べて高く、且つ熱伝導率も大きいので、急熱や急冷の熱ショックに対して抵抗力が大きくなるとされている。   As a conventional technology related to ceramic setters, for example, a heat setter setter made of a perforated plate made of ceramics mainly composed of aluminum nitride and having a large number of holes penetrating the front and back is known (Patent Literature). 1). According to this document, by using aluminum nitride as ceramics, the maximum usable temperature is higher than that of oxide ceramics typified by alumina and magnesia, and the thermal conductivity is large. The resistance to heat shock is said to increase.

特許文献2には、被焼成物を載置する表面側、及び裏面側に少なくとも凹凸形状が付与されているとともに、開口部が形成されているセラミック焼成用窯道具板が記載されている。同文献には、この窯道具板によれば、熱容量の低減化とコスト削減化を図ることができ、焼成物との接触面積が減少することで、ガスの抜けが良化し、更に雰囲気の均一化によって被焼成体が均一に製造できると記載されている。   Patent Document 2 describes a ceramic firing kiln tool plate that is provided with at least uneven shapes on the front surface side and back surface side on which the object to be fired is placed, and in which an opening is formed. According to this document, according to this kiln tool plate, the heat capacity can be reduced and the cost can be reduced, and the contact area with the fired product is reduced, so that the escape of gas is improved and the atmosphere is uniform. It describes that a to-be-fired body can be manufactured uniformly by conversion.

特開平6−207785号公報JP-A-6-207785 再表2009/110400号公報No. 2009/110400

しかし、前記の各特許文献に記載の技術を用いても、被焼成物の急速な加熱及び冷却を行うときに、セッターに割れ等が発生することを、満足できるレベルにまで防止することは容易でない。   However, even when the techniques described in the above patent documents are used, it is easy to prevent the setter from cracking or the like to a satisfactory level when rapidly heating and cooling the object to be fired. Not.

したがって本発明の課題は、前述した従来技術が有する種々の欠点を解消し得るセラミックス格子体を提供することにある。   Therefore, the subject of this invention is providing the ceramic lattice body which can eliminate the various fault which the prior art mentioned above has.

本発明は、一方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第1の線条部と、該第1の線条部と交差する方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第2線条部とを有するセラミックス格子体であって、
第1の線条部と第2の線条部との交差部は、いずれの該交差部においても、第1の線条部上に第2の線条部が配されており、
第1の線条部は、その断面が、前記交差部以外の部位において、直線部と、該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状を有しており、
第2の線条部は、その断面が、前記交差部以外の部位において、円形又は楕円形の形状を有しており、
第2の線条部は、その平面視での投影像が、前記交差部において、幅方向外方に向けて湾曲膨出した形状になっており、それによって前記交差部における投影像の幅が、前記交差部以外の部位における投影像の幅よりも大きくなっている、セラミックス格子体を提供するものである。
The present invention includes a plurality of first filaments made of ceramics extending in one direction, and a plurality of second filaments made of ceramics extending in a direction intersecting with the first filaments. A ceramic lattice body having
The intersection of the first filament part and the second filament part has the second filament part arranged on the first filament part in any of the intersection parts,
The first striated portion has a shape in which a cross section thereof is configured by a straight portion and a convex curved portion having both ends of the straight portion as ends in a portion other than the intersecting portion. And
The second linear portion has a circular or oval shape in cross section in a portion other than the intersecting portion,
The projected image in the plan view of the second linear portion has a shape that is curved and bulged outward in the width direction at the intersecting portion, whereby the width of the projected image at the intersecting portion is reduced. Further, the present invention provides a ceramic lattice body that is larger than the width of the projected image at a portion other than the intersection.

本発明のセラミックス格子体は、高強度で且つ耐スポーリング性に優れたものである。   The ceramic lattice of the present invention has high strength and excellent spalling resistance.

図1(a)は、本発明のセラミックス格子体の一実施形態を示す斜視図であり、図1(b)は、図1(a)に示すセラミックス格子体を反対側から見た斜視図である。Fig.1 (a) is a perspective view which shows one Embodiment of the ceramic lattice body of this invention, FIG.1 (b) is the perspective view which looked at the ceramic lattice body shown to Fig.1 (a) from the other side. is there. 図2は、図1におけるII−II線断面図である。2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. 図3は、図1におけるIII−III線断面図である。3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 図4は、図1におけるIV−IV線断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図5は、図1におけるV−V線断面図である。5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 図6は、図1に示すセラミックス格子体における第2の線条部側から見た交差部付近の投影図である。FIG. 6 is a projection view of the vicinity of the intersecting portion of the ceramic lattice body shown in FIG. 1 viewed from the second filament portion side. 図7は、図1に示すセラミックス格子体における第1の線条部側から見た交差部付近の投影図である。FIG. 7 is a projection view of the vicinity of the intersecting portion as seen from the first filament portion side in the ceramic lattice shown in FIG. 図8は、図1に示すセラミックス格子体における貫通孔の形状を示す模式図である。FIG. 8 is a schematic diagram showing the shape of the through hole in the ceramic lattice shown in FIG. 図9(a)及び図9(b)はそれぞれ、本発明のセラミックス格子体の別の実施形態を示す模式図である。9 (a) and 9 (b) are schematic views showing another embodiment of the ceramic lattice body of the present invention.

以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。図1(a)及び図1(b)には、本発明のセラミックス格子体の一実施形態が示されている。これらの図に示すセラミックス格子体(以下、単に「格子体」ともいう。)1は、一方向Xに向けて延びるセラミックス製の複数の第1の線条部10を有する。それぞれの第1の線条部10は、直線をしており互いに平行に延びている。またセラミックス格子体1は、X方向と異なる方向であるY方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第2の線条部20を有する。それぞれの第2の線条部20は、直線をしており互いに平行に延びている。X方向とY方向とは異なる方向なので、第1の線条部10と第2の線条部20とは交差している。両線条部10,20の交差角度は、セラミックス格子体10の具体的な用途に応じて設定することができる。例えば第1の線条部10に対して、第2の線条部20の交差角度を90度とすることができる。あるいは、第1の線条部10に対する第2の線条部20の交差角度を90度±10度の範囲で変更させることもできる。複数の第1の線条部10と、複数の第2の線条部20とが交差していることによって格子体1が形成される。   The present invention will be described below based on preferred embodiments with reference to the drawings. 1 (a) and 1 (b) show an embodiment of the ceramic lattice body of the present invention. A ceramic lattice body (hereinafter also simply referred to as “lattice body”) 1 shown in these drawings has a plurality of first filament portions 10 made of ceramics extending in one direction X. Each 1st filament part 10 is carrying out the straight line, and is mutually extended in parallel. The ceramic lattice body 1 has a plurality of ceramic second linear portions 20 extending in the Y direction, which is a direction different from the X direction. Each of the second linear portions 20 is straight and extends in parallel with each other. Since the X direction and the Y direction are different directions, the first linear portion 10 and the second linear portion 20 intersect each other. The crossing angle between the two line sections 10 and 20 can be set according to the specific application of the ceramic lattice body 10. For example, the crossing angle of the second linear portion 20 with respect to the first linear portion 10 can be 90 degrees. Or the crossing angle of the 2nd filament part 20 with respect to the 1st filament part 10 can also be changed in the range of 90 degree +/- 10 degree. The grid body 1 is formed by the plurality of first linear portions 10 and the plurality of second linear portions 20 intersecting each other.

セラミックス格子体1は、第1の線条部10と第2の線条部20とが交差することによって格子をなし、該格子によって画成される複数の貫通孔3を有する板状の形状をしている。セラミックス格子体1は、第1面1aと、これに対向する第2面1bとを有している。   The ceramic lattice body 1 forms a lattice when the first linear portion 10 and the second linear portion 20 intersect, and has a plate-like shape having a plurality of through holes 3 defined by the lattice. doing. The ceramic lattice body 1 has a first surface 1a and a second surface 1b opposite to the first surface 1a.

セラミックス格子体1は、それぞれの第1の線条部10と、それぞれの第2の線条部20とが交差する部位に交差部2を有する。交差部2は、セラミックス格子体1の平面視での投影像において、第1の線条部10と第2の線条部20とが重なり合う部位である。   The ceramic lattice body 1 has the intersection part 2 in the site | part where each 1st filament part 10 and each 2nd filament part 20 intersect. The intersecting portion 2 is a portion where the first linear portion 10 and the second linear portion 20 overlap in the projected image of the ceramic lattice 1 in plan view.

第1の線条部10は、両線条部10,20の交差部2以外の位置において、平面視して一定の幅W1(図2参照)を有している。第1の線条部10は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、図2及び図3に示すとおり、セラミックス格子体1の第1面1a側に位置する第1面10aと、セラミックス格子体1の第2面1b側に位置する第2面10bとで画成される。詳細には、第1の線条部10は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面が、交差部2以外の部位において、直線部10Aと、該直線部10Aの両端部を端部とする凸形の曲線部10Bとから構成される形状を有している。その結果、第1の線条部10の第1面10aは、該線条部10の厚み方向での断面が平坦面になっている。該平坦面は、セラミックス格子体1の面内方向と略平行になっている。一方、第1の線条部10の第2面10bは、該線条部10の厚み方向での断面が、セラミックス格子体1の第1面1aから第2面1bに向けた凸の曲面形状をしている。   The first linear portion 10 has a constant width W1 (see FIG. 2) in a plan view at a position other than the intersecting portion 2 between the two linear portions 10 and 20. As shown in FIGS. 2 and 3, the first linear portion 10 has a cross-sectional shape along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction, and is located on the first surface 1 a side of the ceramic lattice body 1. The first surface 10a and the second surface 10b located on the second surface 1b side of the ceramic lattice body 1 are defined. Specifically, the first linear portion 10 has a straight portion 10A and both end portions of the straight portion 10A in a portion other than the intersecting portion 2 in a cross section along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction. And a curved portion 10B having a convex shape with the end portion as the end portion. As a result, the first surface 10 a of the first linear portion 10 has a flat cross section in the thickness direction of the linear portion 10. The flat surface is substantially parallel to the in-plane direction of the ceramic lattice body 1. On the other hand, the second surface 10b of the first linear portion 10 has a convex curved surface shape in which the cross section in the thickness direction of the linear portion 10 is directed from the first surface 1a to the second surface 1b of the ceramic lattice body 1. I am doing.

第1の線条部10と同様に、第2の線条部20も、両線条部10,20の交差部2以外の位置において、平面視して一定の幅W2(図5参照)を有している。幅W2は、第1の線条部10の幅W1と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。第2の線条部20は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、図4及び図5に示すとおり、セラミックス格子体1の第1面1a側に位置する第1面20aと、セラミックス格子体1の第2面1b側に位置する第2面20bとで画成される。第2の線条部20の第1面20aは、セラミックス格子体1の第2面1bから第1面1aに向けた凸の曲面形状になっている。一方、第2の線条部20の第2面20bは、該線条部20の厚み方向での断面が、セラミックス格子体1の第1面1aから第2面1bに向けた凸の曲面形状をしている。この曲面形状は、第1の線条部10における曲面形状と同じであってもよく、あるいは異なっていてもよい。本実施形態においては、第2の線条部20の第1面20aと第2面20bとは対称形になっており、その結果、第2の線条部20は、その長手方向に直交する方向での厚み方向に沿った断面形状が、円形又は楕円形になっている。   Similar to the first filament part 10, the second filament part 20 also has a certain width W2 (see FIG. 5) in plan view at a position other than the intersecting part 2 of the two filament parts 10, 20. Have. The width W2 may be the same as or different from the width W1 of the first linear portion 10. As shown in FIGS. 4 and 5, the second linear portion 20 has a cross-sectional shape along the thickness direction in a direction orthogonal to the longitudinal direction thereof, which is located on the first surface 1 a side of the ceramic lattice body 1. The first surface 20a and the second surface 20b located on the second surface 1b side of the ceramic lattice 1 are defined. The first surface 20a of the second linear portion 20 has a convex curved shape from the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 toward the first surface 1a. On the other hand, the second surface 20b of the second linear portion 20 has a convex curved surface shape in which the cross section in the thickness direction of the linear portion 20 is directed from the first surface 1a to the second surface 1b of the ceramic lattice 1. I am doing. The curved surface shape may be the same as or different from the curved surface shape in the first linear portion 10. In the present embodiment, the first surface 20a and the second surface 20b of the second linear portion 20 are symmetrical, and as a result, the second linear portion 20 is orthogonal to the longitudinal direction. The cross-sectional shape along the thickness direction in the direction is circular or elliptical.

図3及び図4に示すとおり、第1の線条部10における直線部10A、すなわち第1面10aを載置面として平面P上に載置したとき、各第1面10aはすべて平面P上に位置する。第1面10aは、セラミックス格子体1における第1面1aをなすものであるから、各第1面10aがすべて平面P上に位置することは、該格子体1における第1面1aが平坦面になっていることを意味する。したがってセラミックス格子体1を、その第1面1aが、平坦な載置面と当接するように載置した場合には、該第1面1aの全域が載置面と接することとなる。   As shown in FIGS. 3 and 4, when the linear portion 10 </ b> A in the first linear portion 10, i.e., the first surface 10 a is placed on the plane P as a placement surface, all the first surfaces 10 a are all on the plane P. Located in. Since the first surface 10a forms the first surface 1a of the ceramic lattice body 1, the fact that each of the first surfaces 10a is all on the plane P means that the first surface 1a of the lattice body 1 is a flat surface. Means that Therefore, when the ceramic lattice body 1 is placed such that the first surface 1a is in contact with the flat placement surface, the entire area of the first surface 1a is in contact with the placement surface.

図3に示すとおり、第1の線条部10における直線部10A、すなわち第1面10aを載置面として平面P上に載置したとき、第2の線条部20は、隣り合う2つの交差部2の間において平面Pから離間する形状をしている。したがって、隣り合う2つの交差部2の間において、第2の線条部20と平面Pとの間には空間Sが形成される。   As shown in FIG. 3, when the linear portion 10 </ b> A in the first linear portion 10, i.e., the first surface 10 a is placed on the plane P as the placement surface, the second linear portion 20 includes two adjacent linear portions 20. The crossing portions 2 are separated from the plane P. Therefore, a space S is formed between the second linear portion 20 and the plane P between two adjacent intersecting portions 2.

一方、セラミックス格子体1における第2面1bは、凸の曲面形状になっている第2の線条部20の第2面20bから構成されているので、平坦面ではなく、凹凸面となっている。   On the other hand, since the 2nd surface 1b in the ceramic lattice body 1 is comprised from the 2nd surface 20b of the 2nd linear part 20 which is a convex curved surface shape, it becomes an uneven surface instead of a flat surface. Yes.

セラミックス格子体1における第1の線条部10と第2の線条部20との交差部2において、両線条部10,20は一体化している。「一体化している」とは、交差部2の断面を観察において、両線条部10,20間が、セラミックスとして連続した構造体となっていることをいう。両線条部10,20の交差によってセラミックス格子体1に形成されている各貫通孔3は同寸法であり、且つ同形をしている。各貫通孔3は略矩形をしている。貫通孔3は規則的に配置されている。   In the intersecting portion 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20 in the ceramic lattice body 1, both the linear portions 10 and 20 are integrated. “Integrated” means that, when the cross section of the intersecting portion 2 is observed, the space between the two linear portions 10 and 20 is a continuous structure as ceramics. The through-holes 3 formed in the ceramic lattice 1 by the intersection of both the line portions 10 and 20 have the same dimensions and the same shape. Each through-hole 3 has a substantially rectangular shape. The through holes 3 are regularly arranged.

図1、図3及び図4に示すとおり、第1の線条部10と第2の線条部20との交差部2は、いずれの交差部2においても、第1の線条部10上に第2の線条部20が配されている。つまり、第1の線条部10と第2の線条部20との交差部2においては、格子体1の2つの面1a,1bのうち、相対的に第1面側1aに位置する第1の線条部10上に、相対的に第2面1b側に位置する第2の線条部20が配されている。そして、交差部2における厚みが、該交差部以外の部位における第1の線条部の厚み及び第2の線条部の厚みのいずれよりも大きくなっている。つまり、両線条部10,20の交差部2以外の位置における第1の線条部10の厚みをT1とし(図2参照)、両線条部10,20の交差部2以外の位置における第2の線条部20の厚みをT2とし(図5参照)、更に交差部における厚みをTcとしたとき(図3及び図4参照)、Tc>T1であり、Tc>T2である。したがって、セラミックス格子体1の第2面1bにおいては、両線条部10,20の交差部の位置が最も高くなっている。   As shown in FIG. 1, FIG. 3, and FIG. 4, the intersection 2 between the first filament 10 and the second filament 20 is on the first filament 10 in any intersection 2. The 2nd filament part 20 is distribute | arranged to. That is, at the intersection 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20, the first surface side 1a of the two surfaces 1a, 1b of the lattice 1 is relatively positioned. On the 1 line part 10, the 2nd line part 20 located relatively on the 2nd surface 1b side is distribute | arranged. And the thickness in the intersection part 2 is larger than any of the thickness of the 1st filament part in the site | parts other than this intersection part, and the thickness of the 2nd filament part. That is, the thickness of the first filament 10 at a position other than the intersection 2 of the two filaments 10 and 20 is T1 (see FIG. 2), and the position of the both filaments 10 and 20 at a position other than the intersection 2. When the thickness of the second linear portion 20 is T2 (see FIG. 5) and the thickness at the intersecting portion is Tc (see FIGS. 3 and 4), Tc> T1 and Tc> T2. Therefore, on the second surface 1 b of the ceramic lattice body 1, the position of the intersecting portion between the two filament portions 10 and 20 is the highest.

図4に示すとおり、第1の線条部10は、交差部2以外の部位において、該第1の線条部10における第2面10bの最高位置、すなわち頂部の位置が、第1の線条部10の延びる方向に沿って同じになっている。第2の線条部20に関しては、図3に示すとおり、第2の線条部20における第2面20bの最高位置は、交差部2の位置及び交差部2以外の位置のいずれにおいても、第1の線条部10の延びる方向に沿って互いに同じ位置になっている。第2の線条部20における第1面20aの最低位置は、交差部2以外の部位において、第2の線条部20の延びる方向に沿って互いに同じ位置になっている。   As shown in FIG. 4, the first line portion 10 has the highest position of the second surface 10 b in the first line portion 10, that is, the position of the top portion in the portion other than the intersecting portion 2. It is the same along the direction in which the strip 10 extends. With respect to the second striated portion 20, as shown in FIG. 3, the highest position of the second surface 20b in the second striated portion 20 is the position of the intersecting portion 2 and the position other than the intersecting portion 2, They are in the same position along the direction in which the first linear portion 10 extends. The lowest position of the first surface 20 a in the second linear portion 20 is the same position along the direction in which the second linear portion 20 extends in a portion other than the intersecting portion 2.

図1(a)及び図6に示すとおり、第2の線条部20は、その平面視での投影像が、交差部2において、幅方向Xの外方に向けて湾曲膨出した形状になっている。それによって交差部2における投影像の幅W2aが、交差部2以外の部位における投影像の幅W2bよりも大きくなっている。詳細には、第2の線条部20は、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭が、交差部2において、幅方向Xの外方に向けて緩やかな凸の曲線21,21を描いている。第2の線条部20の平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭は、幅W2aを有する最大幅部を有し、その最大幅部から離れるに連れて幅が漸次緩やかに減少していき、交差部2どうしの間の位置では幅W2bになる。幅W2bは、先に述べた幅W2と同じである。   As shown in FIG. 1A and FIG. 6, the second linear portion 20 has a shape in which the projected image in plan view is curved and bulged outward in the width direction X at the intersecting portion 2. It has become. As a result, the width W2a of the projected image at the intersection 2 is larger than the width W2b of the projection image at a portion other than the intersection 2. More specifically, the second linear portion 20 has curved contours 21, 21 whose contours along the longitudinal direction of the projected image in plan view are gently convex outward in the width direction X at the intersection 2. I'm drawing. The contour along the longitudinal direction of the projected image in plan view of the second linear portion 20 has a maximum width portion having a width W2a, and the width gradually decreases gradually as the distance from the maximum width portion increases. The width is W2b at the position between the intersections 2. The width W2b is the same as the width W2 described above.

一方、第1の線条部10は、図1(b)及び図7に示すとおり、その平面視での投影像が、交差部2において、幅方向Yの外方に向けて湾曲膨出した形状になっている。それによって交差部2における投影像の幅W1aが、交差部2以外の部位における投影像の幅W1bよりも大きくなっている。詳細には、第1の線条部10は、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭が、交差部2において、幅方向Yの外方に向けて緩やかな凸の曲線11,11を描いている。第1の線条部10の平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭は、幅W1aを有する最大幅部を有し、その最大幅部から離れるに連れて幅が漸次緩やかに減少していき、交差部2どうしの間の位置では幅W1bになる。幅W1bは、先に述べた幅W1と同じである。   On the other hand, as shown in FIGS. 1B and 7, the projected image in the plan view of the first linear portion 10 bulges outward in the width direction Y at the intersecting portion 2. It has a shape. Thereby, the width W1a of the projection image at the intersection 2 is larger than the width W1b of the projection image at a portion other than the intersection 2. More specifically, the first linear portion 10 has gently convex curves 11 and 11 whose contours along the longitudinal direction of the projected image in plan view are gradually outward in the width direction Y at the intersection 2. I'm drawing. The outline along the longitudinal direction of the projected image of the first linear portion 10 in plan view has a maximum width portion having a width W1a, and the width gradually decreases gradually as the distance from the maximum width portion increases. The width is W1b at the position between the intersections 2. The width W1b is the same as the width W1 described above.

図8には、セラミックス格子体1の平面図が示されている。同図に示すとおり、格子体1には、複数の第1の線条部10と複数の第2の線条部20とが略直交することで、該格子体の平面視において略矩形状の複数の貫通孔3が形成されている。略矩形状をなす貫通孔3は、対向する一組の辺である第1辺3a,3aを有している。これとともに貫通孔3は、対向する別の一組の辺である第2辺3b,3bを有している。第1辺3a,3aは、第1の線条部10の両側縁に対応する辺である。一方、第2辺3b,3bは、第2の線条部20の両側縁に対応する辺である。貫通孔3は、これらの四辺によって画定されている。対向する第1辺3a,3aどうしは直線になっており互いに平行に延びている。同様に、対向する第2辺3b,3bどうしも直線になっており互いに平行に延びている。そして、第1の線条部10及び第2の線条部20が、それらの交差部2において上述した湾曲膨出形状を有することによって、第1の線条部10と第2の線条部20とが略直交することによって形成される貫通孔3は、隅部30が直角の矩形ではなく、図8に示す模式図のように、隅部30がやや丸みを帯びた矩形となる。   FIG. 8 shows a plan view of the ceramic lattice body 1. As shown in the figure, the grid body 1 has a plurality of first line sections 10 and a plurality of second line sections 20 substantially orthogonal to each other, so that the grid body has a substantially rectangular shape in plan view. A plurality of through holes 3 are formed. The substantially rectangular through-hole 3 has first sides 3a and 3a that are a pair of opposing sides. At the same time, the through-hole 3 has second sides 3b and 3b which are another set of sides facing each other. The first sides 3 a and 3 a are sides corresponding to both side edges of the first linear portion 10. On the other hand, the second sides 3 b and 3 b are sides corresponding to both side edges of the second linear portion 20. The through hole 3 is defined by these four sides. The opposing first sides 3a, 3a are straight and extend parallel to each other. Similarly, the opposing second sides 3b, 3b are straight and extend parallel to each other. And when the 1st filament part 10 and the 2nd filament part 20 have the curve bulging shape mentioned above in those crossing parts 2, the 1st filament part 10 and the 2nd filament part The through-hole 3 formed by being substantially orthogonal to 20 has a corner portion 30 that is not a rectangle with a right angle, but a corner portion 30 that is slightly rounded as shown in the schematic diagram of FIG.

以上の構成を有するセラミックス格子体1は、これを例えば被焼成体の焼成用セッターとして用いた場合、矩形をした貫通孔3の隅部30が丸みを帯びていることに起因して、強度及び耐スポーリング性が向上する。この理由は、セラミックス格子体1のうち、クラック等の欠陥が最も発生しやすい部位は貫通孔3の隅部30であるところ、該隅部30が丸みを帯びていることに起因して、該隅部30にクラック等が生じにくいからである。これとは対照的に、例えば上述した特許文献2に記載されている開口部を有する窯道具板では、該開口部の隅部が直角になっているので、クラック等が生じやすい。   When the ceramic lattice body 1 having the above configuration is used as, for example, a setter for firing a body to be fired, the corner 30 of the rectangular through hole 3 is rounded, resulting in strength and strength. Improved spalling resistance. This is because the portion of the ceramic lattice 1 where defects such as cracks are most likely to occur is the corner 30 of the through-hole 3, and the corner 30 is rounded. This is because cracks and the like are hardly generated in the corner 30. In contrast to this, for example, in the kiln tool plate having the opening described in Patent Document 2 described above, the corners of the opening are at right angles, so that cracks and the like are likely to occur.

上述した強度及び耐スポーリング性の向上は、第1の線条部10と第2の線条部20との交差部2において、少なくとも第2の線条部20が、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭に、前記の凸の曲線21を有していれば十分に達成される。特に、第1の線条部10及び第2の線条部20の双方が、平面視での投影像の長手方向に沿う輪郭に、前記の凸の曲線11,21を有していると、強度及び耐スポーリング性が更に一層向上する。   The above-described improvement in strength and spalling resistance is obtained by projecting at least the second linear portion 20 in a plan view at the intersection 2 between the first linear portion 10 and the second linear portion 20. If the above-mentioned convex curve 21 is included in the contour along the longitudinal direction, the above-mentioned is achieved sufficiently. In particular, when both the first linear portion 10 and the second linear portion 20 have the convex curves 11 and 21 on the contour along the longitudinal direction of the projected image in plan view, Strength and spalling resistance are further improved.

以上の構成を有するセラミックス格子体1は、これを例えば被焼成体の焼成用セッターとして用いた場合、該格子体1の第1面1aに被焼成体を載置すれば、該該第1面1aは平坦面であることから、平坦性を求められる被焼成体の載置に好適なものとなる。平坦性を求められる被焼成体としては、例えば積層セラミックコンデンサ等の小型のチップ状電子部品などが挙げられる。これらの小型電子部品は、焼成工程においてセッターに引っ掛からないことが必要とされるので、格子体1の第1面1aが平坦であることは有利である。また、被焼成体は、第1面1aを構成する部材である第1の線条部10のみ接触するので、格子体1と被焼成体との接触面積が大幅に低減し、それによって被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすくなる。また、格子体1は第1及び第2の線条部10,20の交差によって形成されており複数の貫通孔3が形成されているので、熱容量が小さく、その点からも被焼成体の急激な加熱及び冷却を行いやすい。更に格子体1は、複数の貫通孔3が存在していることに起因して通気性が良好なので、このことによっても被焼成体の急激な冷却を行いやすい。良好な通気性は、隣り合う交差部2どうしの間において第2の線条部20が浮いていることによって一層顕著なものとなる。しかも格子体1においては、第1及び第2の線条部10,20が交差部2において一体化しているので、充分な強度を有するものである。   When the ceramic lattice body 1 having the above configuration is used as, for example, a setter for firing a body to be fired, the first surface is formed by placing the body to be fired on the first surface 1a of the lattice body 1. Since 1a is a flat surface, it becomes suitable for mounting the to-be-fired body for which flatness is required. As a to-be-fired body from which flatness is calculated | required, small chip-shaped electronic components, such as a multilayer ceramic capacitor, etc. are mentioned, for example. Since these small electronic components are required not to be caught by the setter in the firing process, it is advantageous that the first surface 1a of the lattice body 1 is flat. Moreover, since the to-be-fired body contacts only the 1st filament part 10 which is the member which comprises the 1st surface 1a, the contact area of the grid | lattice body 1 and a to-be-fired body reduces significantly, and, thereby, to-be-fired It becomes easy to perform rapid heating and cooling of the body. Further, since the lattice body 1 is formed by the intersection of the first and second linear portions 10 and 20 and the plurality of through holes 3 are formed, the heat capacity is small. Easy heating and cooling. Furthermore, since the lattice body 1 has good air permeability due to the presence of the plurality of through holes 3, this also facilitates rapid cooling of the fired body. Good air permeability becomes more remarkable by the fact that the second linear portion 20 floats between the adjacent intersecting portions 2. Moreover, in the lattice body 1, the first and second linear portions 10 and 20 are integrated at the intersecting portion 2, so that the lattice body 1 has sufficient strength.

一方、格子体1の第2面1bには、mmオーダーの被焼成体を載置することが有利である。第2面1bは、第2の線条部20の曲面に起因する凹凸面となっているところ、このオーダーのサイズの電子部品は、それが載置される面に凹凸を有することが、脱脂性を高める観点から有利だからである。   On the other hand, it is advantageous to place an object to be fired in the order of mm on the second surface 1b of the lattice body 1. The second surface 1b is an uneven surface caused by the curved surface of the second linear portion 20, and the electronic component of this order size has an uneven surface on which it is placed. This is because it is advantageous from the viewpoint of enhancing the performance.

このように本実施形態の格子体1は、その一方の面が平坦であり、他方の面が凹凸面になっていることから、被焼成体の種類に応じて載置面を使い分けることができるという点で有利である。   As described above, the lattice body 1 of the present embodiment has one surface that is flat and the other surface is an uneven surface, so that the mounting surface can be properly used according to the type of the body to be fired. This is advantageous.

上述した各種の有利な効果を一層顕著なものとする観点から、T1の値は、50μm以上5mm以下であることが好ましく、200μm以上2mm以下であることが更に好ましい。一方、T2の値は、50μm以上5mm以下であることが好ましく、200μm以上2mm以下であることが更に好ましい。T1とT2の値の大小関係に特に制限はなく、T1>T2であってもよく、逆にT1<T2であってもよく、あるいはT1=T2であってもよい。   From the viewpoint of making the various advantageous effects described above more remarkable, the value of T1 is preferably 50 μm or more and 5 mm or less, and more preferably 200 μm or more and 2 mm or less. On the other hand, the value of T2 is preferably 50 μm or more and 5 mm or less, and more preferably 200 μm or more and 2 mm or less. The magnitude relationship between the values of T1 and T2 is not particularly limited, and may be T1> T2, conversely, T1 <T2, or T1 = T2.

同様の観点から、交差部2における厚みTcは0.1mm以上2mm以下であることが好ましく、0.3mm以上1.5mm以下であることが更に好ましい。なお、交差部2における厚みTcは、T1及びT2の総和であるT1+T2よりも小さくなっている。   From the same viewpoint, the thickness Tc at the intersection 2 is preferably 0.1 mm or more and 2 mm or less, and more preferably 0.3 mm or more and 1.5 mm or less. Note that the thickness Tc at the intersection 2 is smaller than T1 + T2, which is the sum of T1 and T2.

また、第2の線条部20の厚み方向での断面形状(図5参照)が楕円形である場合、楕円形の短軸が格子体1の厚み方向に一致し、且つ楕円形の長軸が格子体1の平面方向に一致することが、被焼成体の載置を首尾よく行える点から好ましい。この場合、長軸/短軸の比率は、1以上5以下であることが好ましく、1以上3以下であることが更に好ましい。また、第2の線条部20の厚み方向での断面形状が楕円形又は円形であることは、格子体1の強度向上にも寄与している。   Moreover, when the cross-sectional shape (refer FIG. 5) in the thickness direction of the 2nd filament part 20 is an ellipse, an elliptical short axis corresponds to the thickness direction of the grid | lattice body 1, and an elliptical long axis Is preferably coincident with the planar direction of the lattice body 1 from the viewpoint of successfully placing the object to be fired. In this case, the ratio of the major axis / minor axis is preferably 1 or more and 5 or less, and more preferably 1 or more and 3 or less. In addition, the fact that the cross-sectional shape in the thickness direction of the second linear portion 20 is an ellipse or a circle contributes to an improvement in the strength of the lattice 1.

セラミックス格子体1に形成された貫通孔3は、その面積が100μm以上100mm以下、特に2500μm以上1mm以下であることが、格子体1の熱容量を低下させる点や、通気性を向上させる点、及び格子体1の強度維持の点から好ましい。また、平面視におけるセラミックス格子体1の見かけの面積に対する貫通孔3の面積の総和の割合(この値を)は、1%以上80%以下であることが好ましく、3%以上70%以下であることが更に好ましく、10%以上70%以下であることが一層好ましい。この割合は、セラミックス格子体1を平面視して、任意の大きさの矩形に切り取り、その矩形内に含まれる貫通孔3の面積の総和を算出し、その総和を矩形の面積で除し100を乗じて算出される。また、各貫通孔3の面積は、格子体1の顕微鏡観察像を画像解析することで測定できる。 The through hole 3 formed in the ceramic lattice body 1 has an area of 100 μm 2 or more and 100 mm 2 or less, particularly 2500 μm 2 or more and 1 mm 2 or less, which reduces the heat capacity of the lattice body 1 and improves air permeability. This is preferable from the viewpoint of maintaining the strength of the grid body 1. The ratio of the total area of the through holes 3 to the apparent area of the ceramic lattice body 1 in plan view (this value) is preferably 1% to 80%, and preferably 3% to 70%. More preferably, it is 10% or more and 70% or less. This ratio is obtained by cutting the ceramic lattice body 1 into a rectangular shape in plan view, calculating the sum of the areas of the through holes 3 included in the rectangle, and dividing the sum by the rectangular area. Calculated by multiplying by Moreover, the area of each through-hole 3 can be measured by image analysis of the microscope observation image of the lattice 1.

貫通孔3の面積に関連して、第1の線条部10の幅W1は50μm以上10mm以下であることが好ましく、75μm以上1mm以下であることが更に好ましい。一方、第2の線条部20の幅W2は50μm以上10mm以下であることが好ましく、75μm以上1mm以下であることが更に好ましい。W1とW2の値の大小関係に特に制限はなく、W1>W2であってもよく、逆にW1<W2であってもよく、あるいはW1=W2であってもよい。   In relation to the area of the through-hole 3, the width W1 of the first linear portion 10 is preferably 50 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 75 μm or more and 1 mm or less. On the other hand, the width W2 of the second linear portion 20 is preferably 50 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 75 μm or more and 1 mm or less. There is no particular limitation on the magnitude relationship between the values of W1 and W2, W1> W2 may be satisfied, W1 <W2 may be conversely, or W1 = W2.

第1及び第2の線条部10,20の幅W1,W2との関連において、隣り合う第1の線条部10間のピッチP1は、100μm以上10mm以下であることが好ましく、150μm以上5mm以下であることが更に好ましい。一方、隣り合う第2の線条部20間のピッチP2は、100μm以上10mm以下であることが好ましく、150μm以上5mm以下であることが更に好ましい。   In relation to the widths W1 and W2 of the first and second linear portions 10 and 20, the pitch P1 between the adjacent first linear portions 10 is preferably 100 μm or more and 10 mm or less, and 150 μm or more and 5 mm. More preferably, it is as follows. On the other hand, the pitch P2 between the adjacent second linear portions 20 is preferably 100 μm or more and 10 mm or less, and more preferably 150 μm or more and 5 mm or less.

第1の線条部10は、その表面のうち第1面10aが平滑であることが好ましい。線条部10の第1面10aが平滑であることによって、セラミックス格子体1上に被焼成体を載置したときに、該被焼成体に傷がつきにくくなるという利点がある。また被焼成体の焼成によって得られた焼成体が、セラミックス格子体1に引っ掛かりにくくなり、取り出し性が良好になるという利点もある。更に、被焼成体が基板などの薄肉のテープ成形体であれば、第1面10aの表面状態が被焼成体の底面に転写されるため、被焼成体底面がより平滑に仕上がりやすくなるメリットもある。一方で、表面粗さが大きいと、被焼成体を載置したときに、被焼成体下のガスの流れがよくなるため、脱脂がスムーズに進みやすくなるという利点がある。これらの観点から、第1の線条部10の第1面10aの表面粗さRaは、0.01μm以上20μm以下であることが好ましく、0.01μm以上10μm以下であることが更に好ましい。一方、第2の線条部10の第2面20bの表面粗さRaは、10μm以上300μm以下であることが好ましく、20μm以上100μm以下であることが更に好ましい。表面粗さRaは、具体的には、次の方法で測定される。カラー3Dレーザー顕微鏡((株)キーエンス製、VK―8710)を用いて、撮影倍率を200倍として測定した。第1の線条部10の第1面10aに関しては、第1面10aの中線に沿って、表面粗さを測定し、20個の測定値から平均値を算出し、Raとした。一方、第2の線条部20の第2面20bでは、線条部10bの中線に沿って表面粗さを測定し、20個の測定値から平均値を算出し、Raとした。   As for the 1st filament part 10, it is preferable that the 1st surface 10a is smooth among the surfaces. Since the first surface 10a of the linear portion 10 is smooth, there is an advantage that when the object to be fired is placed on the ceramic lattice body 1, the object to be fired is hardly damaged. In addition, there is an advantage that the fired body obtained by firing the body to be fired is not easily caught by the ceramic lattice body 1 and the take-out property is improved. Furthermore, if the body to be fired is a thin tape molded body such as a substrate, the surface state of the first surface 10a is transferred to the bottom surface of the body to be fired, so that the bottom surface of the body to be fired can be finished more smoothly. is there. On the other hand, when the surface roughness is large, there is an advantage that the degreasing easily proceeds smoothly because the gas flow under the fired body is improved when the fired body is placed. From these viewpoints, the surface roughness Ra of the first surface 10a of the first filament portion 10 is preferably 0.01 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 0.01 μm or more and 10 μm or less. On the other hand, the surface roughness Ra of the second surface 20b of the second linear portion 10 is preferably 10 μm or more and 300 μm or less, and more preferably 20 μm or more and 100 μm or less. Specifically, the surface roughness Ra is measured by the following method. Using a color 3D laser microscope (manufactured by Keyence Co., Ltd., VK-8710), the measurement magnification was 200 times. For the first surface 10a of the first filament 10, the surface roughness was measured along the middle line of the first surface 10a, and an average value was calculated from the 20 measured values, which was Ra. On the other hand, on the second surface 20b of the second striated portion 20, the surface roughness was measured along the middle line of the striated portion 10b, and an average value was calculated from the 20 measured values to be Ra.

線条部10a、20aの表面粗さRaの値を小さくするためには、例えば、該線条部の形成に用いられるペーストを塗布する基板として表面粗さの小さいものを用いたり、あるいは該ペーストとして低粘度のものを用いたりすればよい。一方、線条部10b、20bの表面粗さRaの値を大きくするためには、例えば、該ペーストとして、高粘度のものを用いたり、吐出させるノズル径を大きくしたりすればよい。場合によっては、セラミックス格子体1の第1面1a及び/又は第2面1bを研磨して所定の表面粗さとなるように加工してもよい。   In order to reduce the value of the surface roughness Ra of the linear portions 10a and 20a, for example, a substrate having a small surface roughness is used as a substrate on which the paste used for forming the linear portions is applied, or the paste A low-viscosity material may be used. On the other hand, in order to increase the value of the surface roughness Ra of the linear portions 10b and 20b, for example, a high-viscosity paste may be used, or the nozzle diameter to be discharged may be increased. In some cases, the first surface 1a and / or the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 may be polished and processed to have a predetermined surface roughness.

セラミックス格子体1を構成するセラミックス素材としては、種々のものを用いることができる。例えば、アルミナ、炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア、ムライト、ジルコン、コージェライト、チタン酸アルミニウム、チタン酸マグネシウム、マグネシア、二硼化チタン、窒化ホウ素などが挙げられる。これらのセラミックス素材は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。特に、アルミナ、ムライト、コージェライト、ジルコニア又は炭化ケイ素を含むセラミックスからなることが好ましい。ジルコニアを含むセラミックスを用いる場合には、格子体1を高温焼成での使用により適したものとするため、イットリア添加により完全安定化したジルコニアなどを用いることができる。セラミックス格子体1を急激な加熱及び冷却に付す場合には、セラミックス素材として炭化ケイ素を用いることが特に好ましい。なお炭化ケイ素は、被焼成体との反応の懸念があることから、セラミックス素材として炭化ケイ素を用いる場合には、表面をジルコニア等の反応性の低いセラミックス素材でコートすることが好ましい。格子体1を構成するセラミックス素材の原料粉としては、ペーストにした場合の粘性や焼結されやすさを考慮すると、0.1μm以上200μm以下の粒径のものを用いることが好ましい。第1の線条部10を構成するセラミックス素材と、第2の線条部20を構成するセラミックス素材とは同じでもよく、あるいは異なっていてもよい。交差部2における第1及び第2の線条部10,20の一体性を高くする観点からは、両線条部10,20を構成するセラミックス素材は同じであることが好ましい。   Various materials can be used as the ceramic material constituting the ceramic lattice body 1. Examples thereof include alumina, silicon carbide, silicon nitride, zirconia, mullite, zircon, cordierite, aluminum titanate, magnesium titanate, magnesia, titanium diboride, boron nitride and the like. These ceramic materials can be used singly or in combination of two or more. In particular, it is preferably made of a ceramic containing alumina, mullite, cordierite, zirconia or silicon carbide. In the case of using ceramics containing zirconia, zirconia that is completely stabilized by addition of yttria can be used in order to make the lattice body 1 more suitable for use in high-temperature firing. When the ceramic lattice body 1 is subjected to rapid heating and cooling, it is particularly preferable to use silicon carbide as the ceramic material. In addition, since silicon carbide has a concern about a reaction with a to-be-fired body, when using silicon carbide as a ceramic material, it is preferable to coat the surface with a low-reactivity ceramic material such as zirconia. As the raw material powder of the ceramic material constituting the lattice body 1, it is preferable to use a powder having a particle diameter of 0.1 μm or more and 200 μm or less in consideration of viscosity and ease of sintering when the paste is made. The ceramic material constituting the first filament part 10 and the ceramic material constituting the second filament part 20 may be the same or different. From the viewpoint of increasing the integrity of the first and second linear portions 10 and 20 at the intersecting portion 2, it is preferable that the ceramic materials constituting both the linear portions 10 and 20 are the same.

次に、本実施形態のセラミックス格子体1の好適な製造方法について説明する。本製造方法においては、まずセラミックス素材の原料粉を用意し、該原料粉を、水等の媒体及び結合剤と混合して線条部製造用のペーストを調製する。   Next, the suitable manufacturing method of the ceramic lattice body 1 of this embodiment is demonstrated. In this manufacturing method, first, raw material powder of a ceramic material is prepared, and the raw material powder is mixed with a medium such as water and a binder to prepare a paste for manufacturing a filament portion.

結合剤としては、この種のペーストに従来用いられたものと同様のものを用いることができる。その例としてはポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキシド、デキストリン、リグニンスルホン酸ソーダ及びアンモニウム、カルボキシメチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシプロピルメチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシエチルメチルセルロース、アルギン酸ナトリウム及びアンモニウム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アラビアゴム、ポリビニルブチラール、ポリアクリル酸及びポリアクリルアミドなどのアクリル系ポリマー、キサンタンガム及びグアガムなどの増粘多糖体類、ゼラチン、寒天及びペクチンなどのゲル化剤、酢酸ビニル樹脂エマルジョン、ワックスエマルジョン、並びにアルミナゾル及びシリカゾルなどの無機バインダーなどが挙げられる。これらのうちの2種類以上を混合して用いてもよい。   As the binder, those similar to those conventionally used for this type of paste can be used. Examples include polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyethylene oxide, dextrin, sodium lignin sulfonate and ammonium, carboxymethylcellulose, ethylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose, carboxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxyethylmethylcellulose, sodium and ammonium alginate, epoxy resin, phenol Resins, gum arabic, polyvinyl butyral, acrylic polymers such as polyacrylic acid and polyacrylamide, thickening polysaccharides such as xanthan gum and guar gum, gelling agents such as gelatin, agar and pectin, vinyl acetate resin emulsion, wax emulsion, And inorganic binders such as alumina sol and silica sol Etc., and the like. Two or more of these may be mixed and used.

ペーストの粘度は、塗布時の温度において高粘度であることが、本実施形態の構造を有する格子体1を首尾よく製造し得る点から好ましい。詳細には、ペーストの粘度は、塗布時の温度において、1.5MPa・s以上5.0MPa・s以下であることが好ましく、1.7MPa・s以上3.0MPa・s以下であることが更に好ましい。ペーストの粘度は、コーンプレート型回転式粘度計又はレオメーターを用いて、回転数0.3pmにて測定開始後4分時の測定値を用いた。   The viscosity of the paste is preferably high at the temperature at the time of application from the viewpoint that the lattice body 1 having the structure of this embodiment can be successfully manufactured. Specifically, the viscosity of the paste is preferably 1.5 MPa · s or more and 5.0 MPa · s or less, preferably 1.7 MPa · s or more and 3.0 MPa · s or less, at the temperature at the time of application. preferable. As the viscosity of the paste, a measured value at 4 minutes after the start of measurement was used at a rotation speed of 0.3 pm using a cone plate type rotary viscometer or a rheometer.

ペーストとして比較的低粘度のものを用いることもできる。低粘度のペーストを用いる場合には、後述する格子状前駆体を製造した後、該格子状前駆体を焼成工程に付す前に、該格子状前駆体を乾燥させて液体分を除去し、該格子状前駆体の保形性を高めてから焼成を行うことが好ましい。比較的低粘度のペーストを用いる場合、その粘度は、塗布時の温度において、10kPa・s以上1.5MPa・s以下であることが好ましく、0.5MPa・s以上1.3MPa・s以下であることが更に好ましい。   A paste having a relatively low viscosity can also be used. In the case of using a low-viscosity paste, after producing the lattice precursor described later, before subjecting the lattice precursor to the firing step, the lattice precursor is dried to remove the liquid component, It is preferable to perform firing after increasing the shape retention of the lattice precursor. When using a paste having a relatively low viscosity, the viscosity is preferably 10 kPa · s or more and 1.5 MPa · s or less, and 0.5 MPa · s or more and 1.3 MPa · s or less at the temperature during application. More preferably.

ペーストが高粘度のものである場合、及び比較的低粘度のものである場合のいずれの場合であっても、ペーストにおけるセラミックス素材の原料粉の割合は、20質量%以上85質量%以下であることが好ましく、35質量%以上75質量%以下であることが更に好ましい。ペーストにおける媒体の割合は、15質量%以上60質量%以下であることが好ましく、20質量%以上55質量%以下であることが更に好ましい。ペーストにおける結合剤の割合は、1質量%以上40質量%以下であることが好ましく、5質量%以上25質量%以下であることが更に好ましい。   Whether the paste has a high viscosity or a relatively low viscosity, the ratio of the raw material powder of the ceramic material in the paste is 20% by mass or more and 85% by mass or less. It is preferably 35% by mass or more and 75% by mass or less. The ratio of the medium in the paste is preferably 15% by mass to 60% by mass, and more preferably 20% by mass to 55% by mass. The proportion of the binder in the paste is preferably 1% by mass or more and 40% by mass or less, and more preferably 5% by mass or more and 25% by mass or less.

ペーストには、粘性調整剤として、増粘剤、凝集剤、チクソトロピック剤などを含有させることができる。増粘剤の例としては、ポリエチレングリコール脂肪酸エステル、アルキルアリルスルホン酸、アルキルアンモニウム塩、エチルビニルエーテル・無水マレン酸コポリマー、フュームドシリカ、アルブミンなどのタンパク質などが挙げられる。多くの場合、結合剤は、増粘効果があるため、増粘剤に分類されることがあるが、更に厳密な粘性調整が必要とされる場合には、別途、結合剤に分類されない増粘剤を用いることができる。凝集剤の例として、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸エステル、硫酸アルミニウム、ポリ塩化アルミニウムなどが挙げられる。チクソトロピック剤の例として、脂肪酸アマイド、酸化ポリオレフィン、ポリエーテルエステル型界面活性剤などが挙げられる。ペースト調製用の溶媒としては、水以外にも、アルコール、アセトン及び酢酸エチルなどが用いられ、これらを2種類以上混合してもよい。また吐出量を安定させるために、可塑剤、潤滑剤、分散剤、沈降抑制剤、PH調整剤などを添加してもよい。可塑剤には、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコールなどのグリコール系、グリセリン、ブタンジオール、フタル酸系、アジピン酸系、リン酸系などが挙げられる。潤滑剤には、流動パラフィン、マイクロワックス、合成パラフィンなどの炭化水素系、高級脂肪酸、脂肪酸アミドなどが挙げられる。分散剤には、ポリカルボン酸ナトリウム若しくはアンモニウム塩、アクリル酸系、ポリイチレンイミン、リン酸系などが挙げられる。沈降抑制剤には、ポリアマイドアミン塩、ベントナイト、ステアリン酸アルミニウムなどが挙げられる。PH調整剤には、水酸化ナトリウム、アンモニア水、シュウ酸、酢酸、塩酸などが挙げられる。   The paste may contain a thickener, a flocculant, a thixotropic agent, etc. as a viscosity modifier. Examples of the thickener include polyethylene glycol fatty acid ester, alkylallyl sulfonic acid, alkyl ammonium salt, ethyl vinyl ether / maleic anhydride copolymer, fumed silica, albumin and other proteins. In many cases, the binder may be classified as a thickener because it has a thickening effect. However, if more precise viscosity adjustment is required, a thickener that is not classified separately as a binder. An agent can be used. Examples of the flocculant include polyacrylamide, polyacrylic acid ester, aluminum sulfate, and polyaluminum chloride. Examples of thixotropic agents include fatty acid amides, oxidized polyolefins, polyether ester type surfactants, and the like. As a solvent for preparing the paste, in addition to water, alcohol, acetone, ethyl acetate, and the like are used, and two or more of these may be mixed. In order to stabilize the discharge amount, a plasticizer, a lubricant, a dispersant, a sedimentation inhibitor, a pH adjuster, or the like may be added. Examples of the plasticizer include glycols such as trimethylene glycol and tetramethylene glycol, glycerin, butanediol, phthalic acid, adipic acid, and phosphoric acid. Examples of the lubricant include hydrocarbons such as liquid paraffin, micro wax, and synthetic paraffin, higher fatty acids, fatty acid amides, and the like. Examples of the dispersant include sodium polycarboxylate or ammonium salt, acrylic acid type, polyethyleneimine, and phosphoric acid type. Examples of the precipitation inhibitor include polyamide amine salts, bentonite, and aluminum stearate. Examples of the pH adjusting agent include sodium hydroxide, aqueous ammonia, oxalic acid, acetic acid, hydrochloric acid and the like.

得られたペーストを用い、平坦な基板上に、複数条の線条第1塗工体を互いに平行に且つ直線状に形成する。線条第1塗工体は、目的とする格子体1における第1の線条部10に対応するものである。線条第1塗工体の形成には、種々の塗布装置を用いることができる。例えばディスペンサを用いることができる。吐出方式は、ペーストが比較的低い粘性の場合は、スクリュータイプが吐出精度の観点から好ましく、比較的粘性が高い場合は、吐出安定性の観点から、一軸偏心ネジポンプ型が好ましい。ディスペンサにおけるノズルの直径は、例えば0.2mm以上5.0mm以下にすることができる。   Using the obtained paste, a plurality of linear first coated bodies are formed in parallel and linearly on a flat substrate. The filament first coating body corresponds to the first filament portion 10 in the target lattice body 1. Various coating apparatuses can be used for forming the first filament coated body. For example, a dispenser can be used. When the paste has a relatively low viscosity, the screw type is preferable from the viewpoint of discharge accuracy, and when the paste is relatively high, the uniaxial eccentric screw pump type is preferable from the viewpoint of discharge stability. The diameter of the nozzle in the dispenser can be, for example, 0.2 mm or more and 5.0 mm or less.

線条第1塗工体が形成されたら、次いで、該線条第1塗工体と交差するように、複数条の線条第2塗工体を互いに平行に且つ直線状に形成する。線条第2塗工体は、目的とする格子体1における第2の線条部20に対応するものである。線条第2塗工体の形成には、線条第1塗工体と同様の塗布装置を用いることができる。このように線条第1塗工体と線条第2塗工体とを順次形成することで、第1の線条部10上に第2の線条部20が位置する格子体1が首尾よく得られる。この場合、ペーストとして高粘度のものを用いることで、線条第1塗工体と線条第2塗工体との交差部において、線条第2塗工体が適度に線条第1塗工体内に沈み込み、それによって、これらの塗工体の側縁が幅方向の外方に向けて湾曲膨出する。更に、隣り合う交差部の間において、線条第2塗工体が橋渡し状態(つまり浮いた状態)になる。   When the filament first coated body is formed, a plurality of filament second coated bodies are then formed in parallel and in a straight line so as to intersect the filament first coated body. The filament second coated body corresponds to the second filament portion 20 in the target lattice body 1. For the formation of the second filament coated body, a coating device similar to the first filament coated body can be used. Thus, the grid body 1 in which the 2nd filament part 20 is located on the 1st filament part 10 is succeeded by forming a filament 1st coating body and a filament 2nd coating body sequentially. Well obtained. In this case, by using a high-viscosity paste, the filament second coated body is appropriately applied to the filament first coating at the intersection of the filament first coated body and the filament second coated body. It sinks into the work body, whereby the side edges of these coated bodies bulge out toward the outside in the width direction. Further, between the adjacent intersections, the second filament coated body is in a bridging state (that is, in a floating state).

このようにして、2種類の線条塗工体によって形成された格子状前駆体が得られる。格子状前駆体を製造するときに用いたペーストの粘度が比較的低い場合には、この格子状前駆体を乾燥させて、保形性を発現させることが好ましい。それによって、線条第2塗工体が過度に線条第1塗工体内に沈み込むことが防止されて、これらの塗工体の側縁が幅方向の外方に向けて適度に湾曲膨出する。また、隣り合う交差部の間において、線条第2塗工体が自重で下方に向けて撓むことが防止されて、線条第2塗工体の橋渡し状態が維持される。乾燥は、例えば大気下に40℃以上80℃以下の温度で格子状前駆体を加熱することで行われる。加熱時間は、例えば0.5時間以上12時間以下とすることができる。ペーストの粘度が高い場合には、格子状前駆体の乾燥は必要がない場合が多く、そのときには格子状前駆体を直接に以下に述べる焼成工程に付すことができる。   In this way, a lattice-shaped precursor formed by two types of linear coated bodies is obtained. When the viscosity of the paste used for producing the lattice precursor is relatively low, it is preferable to dry the lattice precursor to develop shape retention. Thereby, the second coated body of the filaments is prevented from excessively sinking into the first coated body of the filaments, and the side edges of these coated bodies are appropriately curved and expanded toward the outside in the width direction. Put out. Moreover, it is prevented that a filament 2nd coating body bends downward with dead weight between adjacent intersections, and the bridging state of a filament 2nd coating body is maintained. Drying is performed, for example, by heating the lattice precursor at a temperature of 40 ° C. or higher and 80 ° C. or lower in the atmosphere. The heating time can be, for example, 0.5 hours or more and 12 hours or less. When the viscosity of the paste is high, it is often unnecessary to dry the lattice precursor, and in that case, the lattice precursor can be directly subjected to the firing step described below.

乾燥後の格子状前駆体は、これを基板から剥離して焼成炉内に載置して焼成を行う。この焼成によって目的とするセラミックス格子体1が得られる。焼成は一般に大気下で行うことができる。焼成温度は、セラミックス素材の原料粉の種類に応じて適切な温度を選択すればよい。焼成時間に関しても同様である。   The dried lattice-like precursor is peeled off from the substrate and placed in a firing furnace to be fired. The target ceramic lattice 1 is obtained by this firing. Baking can generally be performed in air. The firing temperature may be selected appropriately depending on the type of raw material powder of the ceramic material. The same applies to the firing time.

以上の方法によって、目的とするセラミックス格子体1が得られる。このセラミックス格子体1は、棚板や敷板など、セラミックス製品の脱脂又は焼成用セッターとして好適に用いられるほか、セッター以外の窯道具、例えば匣やビームとしても用いることができる。更に、窯道具以外の用途、例えばフィルター、触媒担体などの各種の治具や各種構造材として用いることもできる。この場合、格子体1における凹凸面である第2面1b上に被焼成体を載置することが一般的であるが、被焼成体の種類によっては、平坦面である第1面1a上に被焼成体を載置してもよい。例えば積層セラミックコンデンサ(MLCC)の製造過程における焼成工程を行う場合には、被焼成体を、平坦面である第1面1a上に載置することが好ましい。   The target ceramic lattice 1 is obtained by the above method. This ceramic lattice body 1 can be suitably used as a setter for degreasing or firing ceramic products such as shelf boards and floorboards, and can also be used as a kiln tool other than a setter, such as a firewood or beam. Furthermore, it can also be used as various jigs and various structural materials such as filters and catalyst carriers other than kiln tools. In this case, although it is common to place a to-be-fired body on the 2nd surface 1b which is an uneven surface in the lattice body 1, depending on the kind of to-be-fired body, on the 1st surface 1a which is a flat surface You may mount a to-be-fired body. For example, when performing a firing step in the manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor (MLCC), it is preferable to place the body to be fired on the first surface 1a which is a flat surface.

以上、本発明をその好ましい実施形態に基づき説明したが、本発明は前記実施形態に制限されない。例えば前記実施形態のセラミックス格子体1は、第1の線条部10と第2の線条部20とが略直交するように交差していたが、両線条部10,20の交差角度は90度に限られない。   As mentioned above, although this invention was demonstrated based on the preferable embodiment, this invention is not restrict | limited to the said embodiment. For example, in the ceramic lattice body 1 of the above embodiment, the first linear portion 10 and the second linear portion 20 intersect so as to be substantially orthogonal, but the intersecting angle of both the linear portions 10, 20 is It is not limited to 90 degrees.

また、前記実施形態のセラミックス格子体1は、第1の線条部10及び第2線条部20の2種類の線条部を用いていたが、これに加えて第3の線条部(図示せず)や、更に第4、第5の線条部(図示せず)といった3種類以上の線条部を用いてもよい。このような3種類以上の線条部を用いる場合において第3の線条部以降の線状部は、それぞれ厚みT1、幅W1及びピッチP1について前述のような第1及び第2の線条部と同様の構成であることが望ましい。また第3の線条部以降の線状部によって形成される交差部の構成についても、前述のような第1及び第2の線条部により形成される交差部と同様の構成を有することが望ましい。   Moreover, although the ceramic lattice body 1 of the said embodiment used two types of linear parts, the 1st linear part 10 and the 2nd linear part 20, in addition to this, a 3rd linear part ( You may use 3 or more types of filament parts, such as a 4th, 5th filament part (not shown), and also the 4th, 5th filament part (not shown). In the case of using three or more types of linear portions, the linear portions subsequent to the third linear portion are the first and second linear portions as described above with respect to the thickness T1, the width W1, and the pitch P1, respectively. It is desirable to have the same configuration as Also, the configuration of the intersection formed by the linear portions after the third linear portion may have the same configuration as the intersection formed by the first and second linear portions as described above. desirable.

また、前記実施形態のセラミックス格子体1は単層構造のものであったが、これに代えて該格子体1を複数用い、それらを例えば図9(a)及び図9(b)に示すように複数段積層して用いてもよい。図9(a)に示す実施形態においては、第1の線条部10’及び第2の線条部20’からなる第1格子体1’と、第1の線条部10”及び第2の線条部20”からなる第2格子体1”とが積層されて格子体1が形成されている。第1格子体1’における第1の線条部10’と、第2格子体1”における第1の線条部10”とは同ピッチになるように配置されている。同様に、第1格子体1’における第2の線条部20’と、第2格子体1”における第2の線条部20”とも同ピッチになるように配置されている。   Further, the ceramic lattice body 1 of the above embodiment has a single-layer structure, but instead of this, a plurality of the lattice bodies 1 are used, for example, as shown in FIGS. 9 (a) and 9 (b). Multiple layers may be used. In the embodiment shown in FIG. 9 (a), a first lattice body 1 ′ composed of a first linear portion 10 ′ and a second linear portion 20 ′, a first linear portion 10 ″ and a second linear portion 10 ′. Are laminated to form a lattice body 1. The first linear portion 10 'in the first lattice body 1' and the second lattice body 1 are laminated. Are arranged so as to have the same pitch. Similarly, the second linear portion 20 ′ in the first grid 1 ′ and the second grid 1 ” It arrange | positions so that it may become the same pitch also as 2nd filament part 20 ".

一方、図9(a)に示す実施形態においては、第1格子体1’における第1の線条部10’と、第2格子体1”における第1の線条部10”とは半ピッチずれるように配置されている。同様に、第1格子体1’における第2の線条部20’と、第2格子体1”における第2の線条部20”とも半ピッチずれるように配置されている。   On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 9A, the first filament 10 ′ in the first grid 1 ′ and the first filament 10 ″ in the second grid 1 ″ are half pitch. It is arranged so as to be displaced. Similarly, the second filament 20 'in the first grid 1' and the second filament 20 "in the second grid 1" are arranged so as to be shifted by a half pitch.

また、前記実施形態のセラミックス格子体1の強度を向上させる目的で、該格子体1の外周に外枠を設けてもよい。この外枠は該格子体1と同じ材料から一体的に形成してもよく、あるいは該格子体1とは別途製造しておき、所定の接合手段で接合してもよい。また、耐スポーリング性を向上させる目的で、第1の線条部10及び/又は第2の線条部20の長手方向に沿う辺の一部に、幅方向内方に向けてスリットを入れてもよい。   Further, for the purpose of improving the strength of the ceramic lattice body 1 of the embodiment, an outer frame may be provided on the outer periphery of the lattice body 1. The outer frame may be integrally formed from the same material as that of the grid body 1 or may be manufactured separately from the grid body 1 and bonded by a predetermined bonding means. In addition, for the purpose of improving the spalling resistance, a slit is made inward in the width direction in a part of the side along the longitudinal direction of the first linear portion 10 and / or the second linear portion 20. May be.

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。しかしながら本発明の範囲は、かかる実施例に制限されない。特に断らない限り、「部」は「質量部」を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited to such examples. Unless otherwise specified, “part” means “part by mass”.

〔実施例1〕
(1)線条塗工体形成用のペーストの調製
平均粒径0.8μmの8モル%イットリア添加完全安定化ジルコニア粉65.3部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース(平均重合度:30万g/mol)5.0部と、可塑剤として、グリセリン2.5部と、ポリカルボン酸系分散剤(分子量12000)1.1部と、水26.1部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は25℃において2.3MPa・sであった。
(2)線条塗工体の形成
前記のペーストを原料とし、直径0.4mmのノズルを有するディスペンサを用いて樹脂基板上に線条第1塗工体を形成し、引き続きそれに交差する線条第2塗工体を形成した。両線条塗工体の交差角度は90度とした。このようにして格子状前駆体を得た。
(3)焼成工程
乾燥後の格子状前駆体を樹脂基板から剥離した後、大気焼成炉内に載置した。この焼成炉内で脱脂及び焼成を行い、図1ないし図8に示す形状のセラミックス格子体を得た。焼成温度は1450℃とし、焼成時間は3時間とした。得られた格子体における諸元を以下の表1に示す。得られた格子体においては、図8に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。
[Example 1]
(1) Preparation of a paste for forming a linear coated body 65.3 parts of 8 mol% yttria-added fully stabilized zirconia powder having an average particle diameter of 0.8 μm, and hydroxypropyl methylcellulose (average polymerization degree: 30) as an aqueous binder 10 g / mol) 5.0 parts, 2.5 parts of glycerin as a plasticizer, 1.1 parts of a polycarboxylic acid-based dispersant (molecular weight 12000) and 26.1 parts of water are mixed and defoamed. A paste was prepared. The viscosity of the paste was 2.3 MPa · s at 25 ° C.
(2) Formation of a linear coated body Using the above paste as a raw material, a linear first coated body is formed on a resin substrate using a dispenser having a nozzle having a diameter of 0.4 mm, and then the linear strip intersects with it. A second coated body was formed. The crossing angle between the two filament coated bodies was 90 degrees. Thus, a lattice precursor was obtained.
(3) Firing step After the dried lattice precursor was peeled from the resin substrate, it was placed in an atmospheric firing furnace. Degreasing and firing were performed in this firing furnace to obtain a ceramic lattice body having the shape shown in FIGS. The firing temperature was 1450 ° C., and the firing time was 3 hours. The specifications of the obtained lattice are shown in Table 1 below. In the obtained lattice body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例2〕
ノズルの直径を0.8mmとした以外は実施例1と同様にセラミックス格子体を得た。得られた格子体においては、図8に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。
[Example 2]
A ceramic lattice was obtained in the same manner as in Example 1 except that the nozzle diameter was 0.8 mm. In the obtained lattice body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例3〕
平均粒径0.8μmの8モル%イットリア添加完全安定化ジルコニア粉53.6部と、水系結合剤としてヒドロキシプロピルメチルセルロース(平均重合度:30万g/mol)4.1部と、可塑剤として、グリセリン2.0部と、ポリカルボン酸系分散剤(分子量12000)、水39.4部とを混合し、脱泡してペーストを調製した。ペーストの粘度は25℃において115万Pa・sであった。このペーストを用い実施例1と同様の操作によって格子状前駆体を得た。ただし、ノズルの直径を0.4mmとした。この格子状前駆体をドライヤーにて乾燥させながらディスペンサにより塗工体を形成し、更に、塗工体形成後に、乾燥機により60℃で12時間にわたり乾燥させた。これ以外は実施例1と同様にセラミックス格子体を得た。得られた格子体においては、図8に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。
Example 3
83.6% yttria-added fully stabilized zirconia powder having an average particle size of 0.8 μm, hydroxypropyl methylcellulose (average polymerization degree: 300,000 g / mol) as an aqueous binder, 4.1 parts, and plasticizer Then, 2.0 parts of glycerin, a polycarboxylic acid-based dispersant (molecular weight 12000), and 39.4 parts of water were mixed and defoamed to prepare a paste. The viscosity of the paste was 1.15 million Pa · s at 25 ° C. Using this paste, a lattice precursor was obtained by the same operation as in Example 1. However, the nozzle diameter was 0.4 mm. A coated body was formed with a dispenser while drying the lattice-shaped precursor with a dryer. Further, after the coated body was formed, the coated body was dried with a dryer at 60 ° C. for 12 hours. A ceramic lattice was obtained in the same manner as in Example 1 except for this. In the obtained lattice body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例4〕
実施例3においてノズルの直径を0.8mmとした。これ以外は実施例3と同様にセラミックス格子体を得た。得られた格子体においては、図8に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。
Example 4
In Example 3, the nozzle diameter was 0.8 mm. A ceramic lattice was obtained in the same manner as in Example 3 except for this. In the obtained lattice body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔実施例5〕
実施例1において、線条部を4種類とした。4種類の線条部は、第1の線条部、第2の線条部、第3の線条部、及び第4の線条部の順序に積層した。上下に隣り合う線条部どうしは90度で交差させた。第1の線条部と第2の線条部の交差によって生じる交差部の位置は、第2の線条部と第3の線条部の交差によって生じる線条部の位置と、平面視において同じになるようにした。第2の線条部と第3の線条部との交差部、及び第3の線条部と第4の線条部との交差部についても同様である。これ以外は実施例1と同様にセラミックス格子体を得た。諸元を示した表1において、第3の線条部の厚み、幅と、線条部の間のピッチを、それぞれT3、W3、P3として示した。また第4の線条部の厚み、幅と、線条部の間のピッチを、それぞれT4、W4、P4として示した。また表1において、セラミックス格子体の第1面とは第1の線条部の外面のことであり、第2面とは第4の線条部の該面のことである。得られた格子体においては、図8に示すとおり、矩形の貫通孔における隅部が丸みを帯びていた。
Example 5
In Example 1, the line part was made into four types. The four types of line sections were stacked in the order of the first line section, the second line section, the third line section, and the fourth line section. The strips adjacent to each other at the top and bottom intersect at 90 degrees. The position of the intersection produced by the intersection of the first filament and the second filament is the position of the filament produced by the intersection of the second filament and the third filament, and in plan view. I tried to be the same. The same applies to the intersection of the second and third filaments and the intersection of the third and fourth filaments. A ceramic lattice was obtained in the same manner as in Example 1 except for this. In Table 1 showing the specifications, the thickness and width of the third linear portion and the pitch between the linear portions are shown as T3, W3 and P3, respectively. Further, the thickness and width of the fourth linear portion and the pitch between the linear portions are indicated as T4, W4 and P4, respectively. In Table 1, the first surface of the ceramic lattice body is the outer surface of the first striated portion, and the second surface is the surface of the fourth striated portion. In the obtained lattice body, as shown in FIG. 8, the corners of the rectangular through holes were rounded.

〔比較例1〕
本比較例は、格子体としてニッケル網を用いた例である。このニッケル網は、太さ315μmのニッケル線材を平織りして形成された32メッシュにジルコニア溶射コートしたものであり、厚みは0.6mmである。
[Comparative Example 1]
This comparative example is an example using a nickel net as a lattice. This nickel mesh is obtained by applying a zirconia spray coating to 32 mesh formed by plain weaving of a nickel wire having a thickness of 315 μm, and has a thickness of 0.6 mm.

〔比較例2〕
本比較例は、ゼラチンを湯に溶解させて得られた溶液(ゼラチンの濃度は水に対して3%)を用意し、この溶液を、予め調製しておいたイットリア完全安定化ジルコニアスラリーと混合した。混合は、混合液におけるイットリア完全安定化ジルコニアと水との体積比が10:90になるように行った。この混合液を冷蔵庫内に静置してゲル化させた。このゲルをエタノール凍結機によって凍結させた。凍結させたゲルを乾燥(凍結乾燥)した後、得られた乾燥体を脱脂し、1600℃にて3時間焼成した。このようにして得られた格子体は、気孔率は79%、気孔径は95μmで、厚み方向に気孔が配向した構造が形成されたものであった。
[Comparative Example 2]
In this comparative example, a solution obtained by dissolving gelatin in hot water (the concentration of gelatin is 3% with respect to water) is prepared, and this solution is mixed with a yttria fully stabilized zirconia slurry prepared in advance. did. The mixing was performed so that the volume ratio of yttria fully stabilized zirconia to water in the mixed solution was 10:90. This mixed solution was allowed to stand in a refrigerator to be gelled. The gel was frozen with an ethanol freezer. After the frozen gel was dried (lyophilized), the obtained dried product was degreased and baked at 1600 ° C. for 3 hours. The lattice body thus obtained had a porosity of 79%, a pore diameter of 95 μm, and a structure in which pores were oriented in the thickness direction.

〔評価〕
実施例及び比較例で得られた格子体について、スポーリング性の評価を以下の方法で行った。それらの結果を以下の表2に示す。
[Evaluation]
About the lattice body obtained by the Example and the comparative example, the spalling evaluation was performed with the following method. The results are shown in Table 2 below.

〔耐スポーリング性の評価〕
縦150mm×横150mm×厚さ0.8〜1.5mmのサンプルを用意した。ムライト質足付きラック形状窯道具(外寸が165mm×165mmであり、中央にある十字形状幅寸法が15mmであり、外枠と十字の間には60mm×60mmの4つの中空構造を有する)を台板に載せ、そのラック上にサンプルをセットし、大気焼成炉にて高温加熱して1時間以上所望の温度に保持した後に、電気炉から取り出して室温に晒し、肉眼にてサンプルの割れの有無を評価した。設定温度を200℃から950℃まで50℃ずつ昇温させながら変更し、割れの生じない温度の上限を「耐スポーリング性」とした。
[Evaluation of spalling resistance]
A sample having a length of 150 mm, a width of 150 mm, and a thickness of 0.8 to 1.5 mm was prepared. A rack-shaped kiln tool with mullite foot (external dimension is 165 mm x 165 mm, cross-shaped width in the center is 15 mm, and there are four hollow structures of 60 mm x 60 mm between the outer frame and the cross) Place the sample on the base plate, set the sample on the rack, heat at high temperature in an atmospheric firing furnace and keep it at a desired temperature for 1 hour or more, then remove it from the electric furnace and expose it to room temperature. The presence or absence was evaluated. The set temperature was changed from 200 ° C. to 950 ° C. while increasing the temperature by 50 ° C., and the upper limit of the temperature at which no cracks occurred was defined as “spoling resistance”.

〔繰り返し焼成による形状変化評価〕
縦150mm×横150mmの各サンプルを用意し、カーボンるつぼの中で、アルゴン雰囲気下で400℃/hrで昇温し、1300℃で5分キープし、400℃/hr冷却する焼成パターンを65回繰り返し、初期と繰り返し焼成後のサンプル形状の差異について、外観から評価した。
[Evaluation of shape change by repeated firing]
Prepare each sample 150mm long x 150mm wide, heat up in a carbon crucible at 400 ° C / hr in an argon atmosphere, keep at 1300 ° C for 5 minutes, and cool at 400 ° C / hr 65 times firing pattern Repeatedly, the difference in the sample shape after the initial firing after repeated firing was evaluated from the appearance.

Figure 2019019053
Figure 2019019053

Figure 2019019053
Figure 2019019053

表2に示す結果から明らかなとおり、各実施例で得られた格子体は、各比較例に比べて耐スポーリング性が高いことが判る。   As is clear from the results shown in Table 2, it can be seen that the lattice bodies obtained in each example have higher spalling resistance than each comparative example.

1 セラミックス格子体
1a 第1面
1b 第2面
2 交差部
3 貫通孔
10 第1の線条部
10a 第1面
10b 第2面
20 第2の線条部
20a 第1面
20b 第2面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ceramic lattice body 1a 1st surface 1b 2nd surface 2 Crossing part 3 Through-hole 10 1st filament part 10a 1st surface 10b 2nd surface 20 2nd filament part 20a 1st surface 20b 2nd surface

以下本発明を、その好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。図1(a)及び図1(b)には、本発明のセラミックス格子体の一実施形態が示されている。これらの図に示すセラミックス格子体(以下、単に「格子体」ともいう。)1は、一方向Xに向けて延びるセラミックス製の複数の第1の線条部10を有する。それぞれの第1の線条部10は、直線をしており互いに平行に延びている。またセラミックス格子体1は、X方向と異なる方向であるY方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第2の線条部20を有する。それぞれの第2の線条部20は、直線をしており互いに平行に延びている。X方向とY方向とは異なる方向なので、第1の線条部10と第2の線条部20とは交差している。両線条部10,20の交差角度は、セラミックス格子体の具体的な用途に応じて設定することができる。例えば第1の線条部10に対して、第2の線条部20の交差角度を90度とすることができる。あるいは、第1の線条部10に対する第2の線条部20の交差角度を90度±10度の範囲で変更させることもできる。複数の第1の線条部10と、複数の第2の線条部20とが交差していることによって格子体1が形成される。
The present invention will be described below based on preferred embodiments with reference to the drawings. 1 (a) and 1 (b) show an embodiment of the ceramic lattice body of the present invention. A ceramic lattice body (hereinafter also simply referred to as “lattice body”) 1 shown in these drawings has a plurality of first filament portions 10 made of ceramics extending in one direction X. Each 1st filament part 10 is carrying out the straight line, and is mutually extended in parallel. The ceramic lattice body 1 has a plurality of ceramic second linear portions 20 extending in the Y direction, which is a direction different from the X direction. Each of the second linear portions 20 is straight and extends in parallel with each other. Since the X direction and the Y direction are different directions, the first linear portion 10 and the second linear portion 20 intersect each other. The intersecting angle between the two filaments 10 and 20 can be set according to the specific application of the ceramic lattice 1 . For example, the crossing angle of the second linear portion 20 with respect to the first linear portion 10 can be 90 degrees. Or the crossing angle of the 2nd filament part 20 with respect to the 1st filament part 10 can also be changed in the range of 90 degree +/- 10 degree. The grid body 1 is formed by the plurality of first linear portions 10 and the plurality of second linear portions 20 intersecting each other.

図1、図3及び図4に示すとおり、第1の線条部10と第2の線条部20との交差部2は、いずれの交差部2においても、第1の線条部10上に第2の線条部20が配されている。つまり、第1の線条部10と第2の線条部20との交差部2においては、格子体1の2つの面1a,1bのうち、相対的に第1面1a側に位置する第1の線条部10上に、相対的に第2面1b側に位置する第2の線条部20が配されている。そして、交差部2における厚みが、該交差部以外の部位における第1の線条部の厚み及び第2の線条部の厚みのいずれよりも大きくなっている。つまり、両線条部10,20の交差部2以外の位置における第1の線条部10の厚みをT1とし(図2参照)、両線条部10,20の交差部2以外の位置における第2の線条部20の厚みをT2とし(図5参照)、更に交差部における厚みをTcとしたとき(図3及び図4参照)、Tc>T1であり、Tc>T2である。したがって、セラミックス格子体1の第2面1bにおいては、両線条部10,20の交差部の位置が最も高くなっている。
As shown in FIG. 1, FIG. 3, and FIG. 4, the intersection 2 between the first filament 10 and the second filament 20 is on the first filament 10 in any intersection 2. The 2nd filament part 20 is distribute | arranged to. That is, in the intersection part 2 of the 1st filament part 10 and the 2nd filament part 20, among the two surfaces 1a and 1b of the grid | lattice body 1, it is relatively located in the 1st surface 1a side . On the 1 line part 10, the 2nd line part 20 located relatively on the 2nd surface 1b side is distribute | arranged. And the thickness in the intersection part 2 is larger than any of the thickness of the 1st filament part in the site | parts other than this intersection part, and the thickness of the 2nd filament part. That is, the thickness of the first filament 10 at a position other than the intersection 2 of the two filaments 10 and 20 is T1 (see FIG. 2), and the position of the both filaments 10 and 20 at a position other than the intersection 2. When the thickness of the second linear portion 20 is T2 (see FIG. 5) and the thickness at the intersecting portion is Tc (see FIGS. 3 and 4), Tc> T1 and Tc> T2. Therefore, on the second surface 1 b of the ceramic lattice body 1, the position of the intersecting portion between the two filament portions 10 and 20 is the highest.

第1の線条部10は、その表面のうち第1面10aが平滑であることが好ましい。第1の線条部10の第1面10aが平滑であることによって、セラミックス格子体1上に被焼成体を載置したときに、該被焼成体に傷がつきにくくなるという利点がある。また被焼成体の焼成によって得られた焼成体が、セラミックス格子体1に引っ掛かりにくくなり、取り出し性が良好になるという利点もある。更に、被焼成体が基板などの薄肉のテープ成形体であれば、第1面10aの表面状態が被焼成体の底面に転写されるため、被焼成体底面がより平滑に仕上がりやすくなるメリットもある。一方で、表面粗さが大きいと、被焼成体を載置したときに、被焼成体下のガスの流れがよくなるため、脱脂がスムーズに進みやすくなるという利点がある。これらの観点から、第1の線条部10の第1面10aの表面粗さRaは、0.01μm以上20μm以下であることが好ましく、0.01μm以上10μm以下であることが更に好ましい。一方、第2の線条部0の第2面20bの表面粗さRaは、10μm以上300μm以下であることが好ましく、20μm以上100μm以下であることが更に好ましい。表面粗さRaは、具体的には、次の方法で測定される。カラー3Dレーザー顕微鏡((株)キーエンス製、VK―8710)を用いて、撮影倍率を200倍として測定した。第1の線条部10の第1面10aに関しては、第1面10aの中線に沿って、表面粗さを測定し、20個の測定値から平均値を算出し、Raとした。一方、第2の線条部20の第2面20bでは、第2面20bの中線に沿って表面粗さを測定し、20個の測定値から平均値を算出し、Raとした。
As for the 1st filament part 10, it is preferable that the 1st surface 10a is smooth among the surfaces. Since the first surface 10a of the first filament 10 is smooth, there is an advantage that when the object to be fired is placed on the ceramic lattice body 1, the object to be fired is hardly damaged. In addition, there is an advantage that the fired body obtained by firing the body to be fired is not easily caught by the ceramic lattice body 1 and the take-out property is improved. Furthermore, if the body to be fired is a thin tape molded body such as a substrate, the surface state of the first surface 10a is transferred to the bottom surface of the body to be fired, so that the bottom surface of the body to be fired can be finished more smoothly. is there. On the other hand, when the surface roughness is large, there is an advantage that the degreasing easily proceeds smoothly because the gas flow under the fired body is improved when the fired body is placed. From these viewpoints, the surface roughness Ra of the first surface 10a of the first filament portion 10 is preferably 0.01 μm or more and 20 μm or less, and more preferably 0.01 μm or more and 10 μm or less. On the other hand, the surface roughness Ra of the second linear portions 2 0 of the second surface 20b is preferably 10μm or more 300μm or less, and more preferably 20μm or more 100μm or less. Specifically, the surface roughness Ra is measured by the following method. Using a color 3D laser microscope (manufactured by Keyence Co., Ltd., VK-8710), the measurement magnification was 200 times. For the first surface 10a of the first filament 10, the surface roughness was measured along the middle line of the first surface 10a, and an average value was calculated from the 20 measured values, which was Ra. On the other hand, the second surface 20b of the second linear portions 20, along the second surface 2 0b midline measuring the surface roughness, the average value of twenty measurements was Ra.

第1面10a、20aの表面粗さRaの値を小さくするためには、例えば、該線条部の形成に用いられるペーストを塗布する基板として表面粗さの小さいものを用いたり、あるいは該ペーストとして低粘度のものを用いたりすればよい。一方、第2面10b、20bの表面粗さRaの値を大きくするためには、例えば、該ペーストとして、高粘度のものを用いたり、吐出させるノズル径を大きくしたりすればよい。場合によっては、セラミックス格子体1の第1面1a及び/又は第2面1bを研磨して所定の表面粗さとなるように加工してもよい。
In order to reduce the value of the surface roughness Ra of the first surfaces 10a and 20a, for example, a substrate having a small surface roughness is used as a substrate on which a paste used for forming the linear portion is applied, or the paste A low-viscosity material may be used. On the other hand, in order to increase the value of the surface roughness Ra of the second surfaces 10b and 20b, for example, a high-viscosity paste may be used, or the nozzle diameter to be discharged may be increased. In some cases, the first surface 1a and / or the second surface 1b of the ceramic lattice body 1 may be polished and processed to have a predetermined surface roughness.

一方、図9()に示す実施形態においては、第1格子体1’における第1の線条部10’と、第2格子体1”における第1の線条部10”とは半ピッチずれるように配置されている。同様に、第1格子体1’における第2の線条部20’と、第2格子体1”における第2の線条部20”とも半ピッチずれるように配置されている。 On the other hand, in the embodiment shown in FIG. 9 ( b ), the first filament 10 'in the first grid 1' and the first filament 10 "in the second grid 1" are half pitch. It is arranged so as to be displaced. Similarly, the second linear portion 20 ′ in the first lattice body 1 ′ and the second linear portion 20 ″ in the second lattice body 1 ″ are arranged so as to be shifted by a half pitch.

Claims (6)

一方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第1の線条部と、該第1の線条部と交差する方向に向けて延びるセラミックス製の複数の第2線条部とを有するセラミックス格子体であって、
第1の線条部と第2の線条部との交差部は、いずれの該交差部においても、第1の線条部上に第2の線条部が配されており、
第1の線条部は、その断面が、前記交差部以外の部位において、直線部と、該直線部の両端部を端部とする凸形の曲線部とから構成される形状を有しており、
第2の線条部は、その断面が、前記交差部以外の部位において、円形又は楕円形の形状を有しており、
第2の線条部は、その平面視での投影像が、前記交差部において、幅方向外方に向けて湾曲膨出した形状になっており、それによって前記交差部における投影像の幅が、前記交差部以外の部位における投影像の幅よりも大きくなっている、セラミックス格子体。
A ceramic lattice body having a plurality of first filaments made of ceramics extending in one direction and a plurality of second filaments made of ceramics extending in a direction intersecting the first filaments Because
The intersection of the first filament part and the second filament part has the second filament part arranged on the first filament part in any of the intersection parts,
The first striated portion has a shape in which a cross section thereof is configured by a straight portion and a convex curved portion having both ends of the straight portion as ends in a portion other than the intersecting portion. And
The second linear portion has a circular or oval shape in cross section in a portion other than the intersecting portion,
The projected image in the plan view of the second linear portion has a shape that is curved and bulged outward in the width direction at the intersecting portion, whereby the width of the projected image at the intersecting portion is reduced. A ceramic lattice body that is larger than the width of the projected image at a portion other than the intersection.
第1の線条部における前記直線部を載置面として平面上に載置したとき、第2の線条部が、隣り合う2つの前記交差部の間において該平面から離間する形状をしている請求項1に記載のセラミックス格子体。   When the linear portion of the first linear portion is placed on a plane as a placement surface, the second linear portion has a shape that is separated from the plane between two adjacent intersections. The ceramic lattice body according to claim 1. 第1の線条部は、その平面視での投影像が、前記交差部において、幅方向外方に向けて湾曲膨出した形状になっており、それによって前記交差部における投影像の幅が、前記交差部以外の部位における投影像の幅よりも大きくなっている請求項1又は2に記載のセラミックス格子体。   The first linear portion has a shape in which a projection image in a plan view is curved and bulged outward in the width direction at the intersecting portion, whereby the width of the projected image at the intersecting portion is increased. The ceramic lattice body according to claim 1, wherein the ceramic lattice body is larger than a width of a projected image at a portion other than the intersection. アルミナ、ムライト、コージェライト、ジルコニア、窒化ケイ素又は炭化ケイ素を含むセラミックスからなる請求項1ないし3のいずれか一項に記載のセラミックス格子体。   The ceramic lattice body according to any one of claims 1 to 3, comprising a ceramic containing alumina, mullite, cordierite, zirconia, silicon nitride, or silicon carbide. 表面にジルコニアがコートされている請求項4に記載のセラミックス格子体。   The ceramic lattice body according to claim 4, wherein the surface is coated with zirconia. セラミックス製品の焼成用セッターとして用いられる請求項1ないし5のいずれか一項に記載のセラミックス格子体。   The ceramic lattice body as described in any one of Claims 1 thru | or 5 used as a setter for baking of ceramic products.
JP2018179210A 2018-09-25 2018-09-25 Ceramic lattice Active JP6608499B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018179210A JP6608499B2 (en) 2018-09-25 2018-09-25 Ceramic lattice

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018179210A JP6608499B2 (en) 2018-09-25 2018-09-25 Ceramic lattice

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016103778A Division JP6410758B1 (en) 2016-05-24 2016-05-24 Ceramic lattice

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019192403A Division JP2020073432A (en) 2019-10-23 2019-10-23 Ceramic lattice body

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019019053A true JP2019019053A (en) 2019-02-07
JP6608499B2 JP6608499B2 (en) 2019-11-20

Family

ID=65353634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018179210A Active JP6608499B2 (en) 2018-09-25 2018-09-25 Ceramic lattice

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6608499B2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021111993A1 (en) * 2019-12-03 2021-06-10

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02137700U (en) * 1989-04-24 1990-11-16
JPH07242916A (en) * 1994-03-08 1995-09-19 Fujitsu Ltd Production of sintered body
JP2002193679A (en) * 2000-12-26 2002-07-10 Ngk Insulators Ltd Spacer for banking and tool for baking using the spacer
WO2009110400A1 (en) * 2008-03-05 2009-09-11 日本碍子株式会社 Kiln tool plate for firing ceramic
JP2011052909A (en) * 2009-09-02 2011-03-17 Ngk Insulators Ltd Kiln tool plate for ceramic firing

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02137700U (en) * 1989-04-24 1990-11-16
JPH07242916A (en) * 1994-03-08 1995-09-19 Fujitsu Ltd Production of sintered body
JP2002193679A (en) * 2000-12-26 2002-07-10 Ngk Insulators Ltd Spacer for banking and tool for baking using the spacer
WO2009110400A1 (en) * 2008-03-05 2009-09-11 日本碍子株式会社 Kiln tool plate for firing ceramic
JP2011052909A (en) * 2009-09-02 2011-03-17 Ngk Insulators Ltd Kiln tool plate for ceramic firing

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2021111993A1 (en) * 2019-12-03 2021-06-10
JP7244808B2 (en) 2019-12-03 2023-03-23 株式会社村田製作所 Setter for electronic chip parts

Also Published As

Publication number Publication date
JP6608499B2 (en) 2019-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6410758B1 (en) Ceramic lattice
JP6259943B1 (en) Ceramic lattice
JP6814850B2 (en) Kiln tools
JP6462102B2 (en) Ceramic lattice
JP6261316B2 (en) Porous ceramic manufacturing method, porous ceramic, setter, and firing jig
WO2018066281A1 (en) Ceramic lattice
JP6608499B2 (en) Ceramic lattice
JP6952170B2 (en) Ceramic structure
JP6666990B2 (en) Ceramic lattice
JP6284693B1 (en) Ceramic lattice
JP6883680B2 (en) Ceramic lattice
JP2020073432A (en) Ceramic lattice body
JP6746827B1 (en) Ceramic structure

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180926

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180926

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190516

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190604

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190726

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20191008

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20191023

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6608499

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250