JP2019005739A - 塗布ユニットおよび塗布装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施の形態に係る塗布ユニットを備える塗布装置の構成を概略的に示した図である。塗布装置200は、RFIDタグなどに導電性材料をパターン描画したり、配線パターンのオープン欠陥を修正したりする。図1に示されるように、塗布装置200は、塗布ユニット100と、観察光学系110と、観察光学系110に接続されたCCDカメラ111と、Z軸テーブル120と、X軸テーブル121と、Y軸テーブル122と、基台123と、操作パネル131と、モニタ132と、制御用コンピュータ133とを含む。
図2〜図5を参照して、塗布ユニット100の構成について説明する。図2は、塗布ユニット100の正面図である。図3は、塗布ユニット100の側面図である。図4は、塗布ユニット100が備える容器18とその周辺構成との平面図である。図5は、塗布ユニット100が備える容器18とその周辺構成とを示す部分断面図である。
以上のように、本実施の形態の塗布ユニット100は、底に貫通孔82が形成され、液体材料Lが注入された容器18と、貫通孔82から突出することにより、液体材料Lを対象物に塗布する塗布針17と、容器18内を負圧にするための真空ポンプ(負圧源)20とを備える。
上記の説明では、圧力センサ21を用いて真空ポンプ20の吸引力を制御したが、別の方法を用いて真空ポンプ20の吸引力を制御してもよい。図6は、変形例に係る塗布ユニットの容器とその周辺構成とを示す部分断面図である。図6に示されるように、変形例に係る塗布ユニットは、上記の塗布ユニット100と比較して、圧力センサ21および制御装置23の代わりに、カメラ30および制御装置23aを備える点で相違する。
上記の説明では、容器18内の負圧状態にするための貫通孔83を容器本体18aの側壁に形成するものとしたが、貫通孔83は蓋18bに形成されてもよい。逆に、吸入孔84を蓋18bに形成するものとしたが、吸入孔84は容器本体18aの側壁に形成されてもよい。
上記の説明では、容器18内を負圧にするための負圧源として真空ポンプ20を用いるものとした。しかしながら、負圧源は、真空ポンプ20に限定されるものではなく、他の装置であってもよい。たとえば、既存の圧縮空気設備を利用した真空エジェクタを用いてもよい。これにより、コンパクトな塗布ユニットを安価に製造することができる。
上記の説明では、容器18は、磁力によってベース台10に対し着脱可能に支持されるものとした。しかしながら、ベース台10による容器の支持方法はこれに限定されない。
Claims (7)
- 底に第1貫通孔が形成され、液体材料が注入された容器と、
前記第1貫通孔から突出することにより、前記液体材料を対象物に塗布する塗布針と、
前記容器内を負圧にするための負圧源とを備える、塗布ユニット。 - 前記負圧源は、前記容器内の気体を吸引することにより前記容器内を負圧にし、
前記塗布ユニットは、
前記容器内の圧力を検出するための圧力センサと、
前記圧力センサによって検出された圧力に基づいて、前記容器内の圧力が一定になるように前記負圧源の吸引力を制御するための制御部とをさらに備える、請求項1に記載の塗布ユニット。 - 前記負圧源は、前記容器内の気体を吸引することにより前記容器内を負圧にし、
前記塗布ユニットは、
前記第1貫通孔を撮像するためのカメラと、
前記カメラの撮像によって得られた画像に基づいて、前記第1貫通孔からの前記液体材料の突出量を測定し、前記突出量が一定になるように前記負圧源の吸引力を制御するための制御部とをさらに備える、請求項1に記載の塗布ユニット。 - 前記容器には、前記負圧源によって前記容器内が負圧にされたときに前記容器内に外気を取り込むための吸入孔が形成される、請求項1〜3のいずれか1項に記載の塗布ユニット。
- 前記容器には、前記負圧源によって前記容器内の気体を吸引するための第2貫通孔が形成され、
前記吸入孔の径は、前記第2貫通孔の径の1/3以下である、請求項4に記載の塗布ユニット。 - 前記容器を支持するための支持部をさらに備え、
前記容器は、容器本体と、前記容器本体の側面上に形成された鍔とを含み、
前記容器には、前記負圧源によって前記容器内の気体を吸引するための第2貫通孔が形成され、
前記第2貫通孔は、前記容器本体の内面と前記鍔の下面とに開口し、
前記支持部には、前記容器本体が挿通可能な穴と、上面に開口した溝と、前記溝に連通する第3貫通孔とが形成され、
前記支持部は、前記穴に前記容器本体が挿通された状態で前記鍔の前記下面と接することにより前記容器を支持し、
前記溝は、前記容器が前記支持部に支持されたときに前記鍔によって覆われるとともに、前記第2貫通孔と連通する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の塗布ユニット。 - 請求項1〜6のいずれか1項に記載の塗布ユニットを用いて、前記対象物に前記液体材料を塗布する、塗布装置。
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2017
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