JP2018530424A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. ベルトを移動させるための第１のローラと、
   ベルトを移動させるための第２のローラと、
   前記第１のローラ及び前記第２のローラの周囲でテンションをかけられたベルトと、
   前記ベルトに面するように配置された堆積ステーションであって、
   第１の自己制限的単層形成材料の単層を前記ベルトに付着させるための第１の堆積要素と、
   リンス要素と、
   第２の自己制限的単層形成材料の単層を前記ベルトに付着させるための第２の堆積要素と、を含む、堆積ステーションと、
   前記第１の堆積要素の下流に配置されて、前記ベルト上に上流方向に吹きつけるガスカーテンを提供する、方向性ガスカーテン生成要素と、を備える装置。
2. 前記方向性ガスカーテン生成要素は、前記ベルトに付着されていない、液体、カチオン性材料、又はアニオン性材料を除去するのに十分な圧力を有する方向性ガスカーテンを生成する、請求項１に記載の装置。
3. 前記装置は、前記ベルトが少なくとも０．２５ｍ／ｓの速度で移動している間に、カチオン性材料又はアニオン性材料の単層を前記ベルトに付着させることができる、請求項１又は２に記載の装置。
4. 前記装置は、少なくとも５つの堆積要素を備える、請求項１〜３のいずれか一項に記載の装置。
5. 基材上に交互積層のコーティングを作製する方法であって、
   （ａ）ベルトが堆積ステーションに面するように、第１のローラ及び第２のローラの周囲で前記ベルトの形態をした基材にテンションをかけることであって、
   前記堆積ステーションは、
   第１の自己制限的単層形成材料の少なくとも単層を前記ベルトに付着させるための第１の堆積要素を含む、ことと、
   （ｂ）前記第１の堆積要素を連動させて前記ベルト上に第１の自己制限的単層形成材料を含む第１の液体を適用しながら、最初の回転の間、前記ベルトを前記第１のローラ及び前記第２のローラの周囲で移動させることと、
   （ｃ）前記堆積ステーションの下流に配置された方向性ガスカーテン生成要素を連動させて、前記ベルトからの液体の計量と前記ベルトの乾燥を同時に行うガスカーテンを提供することと、を含む方法。
6. 前記堆積ステーションは、
   前記第１の堆積要素の下流に配置されたリンス要素と、
   前記リンス要素の下流に配置されて第２の自己制限的単層形成材料の単層を前記ベルトに付着させるための第２の堆積要素と、を更に含み、
   前記方法は、
   （ｄ）前記リンス要素を連動させることと、
   （ｅ）前記第２の堆積要素を連動させて、前記ベルト上に第２の自己制限的単層形成材料の少なくとも単層を付着させることと、を更に含む、請求項５に記載の方法。
7. 所定数の単層のうちの少なくとも１つが堆積されるまで、所定の時間が経過するまで、所定の厚さが達成されるまで、又は、所定の、光学的、化学的若しくは物理的特性が達成されるまで、前記ベルトは移動を停止しない、請求項６に記載の方法。