JP2018526648A - 分光器 - Google Patents
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Abstract
Description
102…ハウジング
103…ハウジングカバー
104…壁部
105…カバー
106…第1の開口
108…第2の開口
110…第3の開口
112…入口スリット
113…長手方向の隙間
114…分散素子
116…検出器
117…フィルタ
118…第1のグループの感光領域
120…第2のグループの感光領域
122A…第1のグループの突出部
122B…第2のグループの突出部
124…輪郭部
126…くさび状部
128…光ファイバー/ファイバー
LP1…光路の第1の部分
LP2…光路の第2の部分
2081…内側開口
2082…外側開口
130…ネジ
132…フランジ
500…分光計
502…光源
504…測定領域
506…第1の光学素子
508…第2の光学素子
510…ガラスファイバー
512…コリメータレンズ
514…センサチップ
516…ディスプレイ
Claims (18)
- 分光器(100)であって、
ハウジング(102)を備え、
前記ハウジング(102)は、該ハウジングの内部に対面する内面を有する壁部(104)を備え、
前記壁部は、第1の開口(106)と、第2の開口(108)と、第3の開口(110)と、を備え、
前記壁部は、前記第2の開口(108)の内側に向けて延在する複数の突出部(122)を備え、
前記分光器(100)は、さらに、
前記第1の開口(106)のところに位置する入口スリット(112)であって、前記ハウジング(102)の前記内部において光路の第1の部分(LP1)に沿って光を方向付けるように構成された入口スリット(112)と、
前記第2の開口(108)のところに位置する分散素子(114)であって、前記光路の前記第1の部分(LP1)に沿った前記入口スリット(112)からの光を受け取り、前記ハウジング(102)の前記内部において前記光路の第2の部分(LP2)に沿って光を方向付けるように構成された分散素子(114)と
を備え、
前記分散素子(114)は、前記第2の開口(108)内へ延在する前記複数の突出部(122)に接触する寸法を有する輪郭部(124)を備え、
前記複数の突出部(122)および前記分散素子(114)の前記輪郭部(124)は、前記分散素子(114)が少なくとも部分的に前記第2の開口(108)内に位置する場合に前記分散素子(114)の前記輪郭部(124)が前記複数の突出部(122)の全てに接触するように、また、前記入口スリット(112)に対する前記分散素子(114)の向きが固定されるように相補的な寸法パラメータおよび相補的な公差パラメータを有し、
前記分光器(100)は、さらに、前記第3の開口(110)のところに位置する検出器(116)を備え、
前記検出器(116)は、前記光路の前記第2の部分(LP2)に沿った前記分散素子(114)からの光を受け入れるように構成された
分光器。 - 請求項1に記載の分光器(100)であって、
前記第2の開口(108)は、内側開口(2081)と外側開口(2082)とを備え、
前記内側開口(2081)は、前記外側開口(2082)よりも前記ハウジングの前記内部の近くに位置し、
前記複数の突出部(122)は、前記内側開口の内側に向けて延在する第1のグループの突出部(122A)と、前記外側開口の内側に向けて延在する第2のグループの突出部(122B)と、を備える
分光器。 - 請求項1または請求項2に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの突出部(122A)および前記第2のグループの突出部(122B)のうちの少なくとも一方は、少なくとも3つの突出部を備える
分光器。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記内側開口(2081)および前記外側開口(2082)は、異なる直径を有する
分光器。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)は、第1のグループの感光領域(118)と第2のグループの感光領域(120)とを備え、
前記分光器(100)は、さらに、前記第1のグループの感光領域(118)を前記光路から分離するように位置決めされるカバー(105)を備え、
前記第2のグループの感光領域(120)は、前記光路にさらされる
分光器。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)は、電荷結合素子アレイ検出器、ライン電荷結合素子検出器、フォトダイオードアレイ検出器、および、相補的な金属酸化膜半導体検出器のうちの1つである
分光器。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの感光領域(118)は、第1の波長帯の光を検出し、
前記第2のグループの感光領域(120)は、第2の波長帯の光を検出し、
前記第1の波長帯と前記第2の波長帯とは異なっている
分光器。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記第1のグループの感光領域(118)は、第1の波長帯の光を検出し、
前記第2のグループの感光領域(120)は、第2の波長帯の光を検出し、
前記第1の波長帯と前記第2の波長帯とは重複しない
分光器。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記検出器(116)の前段に配置されたフィルタ(117)を備え、その結果、前記光路の前記第2の部分(LP2)に沿って移動する光は、まず前記フィルタ(117)を超え、次いで前記検出器(116)に達する
分光器。 - 請求項1ないし請求項9のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記カバー(105)は、前記ハウジング(102)の前記壁部と一体である
分光器。 - 請求項1ないし請求項10のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記カバー(105)は、前記ハウジング(102)の前記壁部と別体である
分光器。 - 請求項1ないし請求項11のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、前記第1の開口(106)のところに、前記ハウジング(102)の前記内面に対して角度付けられた平面に沿って延在するくさび状部(126)を備え、
前記くさび状部(126)は、前記光路の前記第1の部分(LP1)についての前記分散素子(114)に対する所定の向きで前記入口スリット(112)を固定するように構成される
分光器。 - 請求項1ないし請求項12のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、前記くさび状部(126)に対して90度の角度で延在する長手方向の隙間(113)を備える
分光器。 - 請求項1ないし請求項13のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
光ファイバー(128)と組み合わせられ、
前記光ファイバー(128)は、光が前記光ファイバー(128)を通って前記分光器(100)内へ方向付けられるように構成され、
前記ファイバーは前記入口スリット(112)と光学的に連通する
分光器。 - 請求項1ないし請求項13のいずれか一項に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリットを所定の向きで固定するために前記入口スリット(112)の前記くさび状部(126)に当接して位置決めされたネジ(130)を備える
分光器。 - 請求項15に記載の分光器(100)であって、
前記入口スリット(112)は、該入口スリット(112)の周囲にフランジ(132)を備え、
前記くさび状部(126)は、前記フランジのくさび状部である
分光器。 - 請求項15または請求項16に記載の分光器(100)であって、
光ファイバー(128)と組み合わせられ、
前記光ファイバー(128)は、光が前記光ファイバーを通って前記分光器内へ方向付けられるように構成され、
前記フランジ(132)は、前記入口スリット(112)と光学的に連通する前記光ファイバーを収容するチューブ状部材を備える
分光器。 - 分光計(500)であって、
請求項1ないし請求項17のいずれか一項に記載の分光器(100)と、
光源(502)と、
サンプルまたはサンプルキャリアを保持するように構成された測定領域(504)と、
前記光源(502)からの光を前記測定領域(504)へ方向付けるように構成された第1の光学素子(506)と、
前記測定領域(504)からの光を前記分光器(100)の前記入口スリット(112)へ方向付けるように構成された第2の光学素子(508)と
を備える
分光計。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020076649A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 分光光学系、分光計測システム、及び、半導体検査方法 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2857810A1 (en) * | 2013-10-02 | 2015-04-08 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Monolith spectrometer |
US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2018-01-09 | Mettler-Toledo Gmbh | Spectrograph |
DE102017206066A1 (de) * | 2017-04-10 | 2018-10-11 | Anvajo GmbH | Spektrometer |
CN108254075A (zh) * | 2018-01-04 | 2018-07-06 | 南京邮电大学 | 一种微型集成化cmos光纤光谱仪 |
CN114739905A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-07-12 | 杭州佰腾电子科技有限公司 | 一种双光路光谱仪及测色装置与校准方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003139611A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP2005156343A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Shimadzu Corp | 分光装置及び分光装置用光学フィルタ |
JP2007509319A (ja) * | 2003-10-17 | 2007-04-12 | アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 多チャネルラマン分光システムおよび方法 |
DE102010015641A1 (de) * | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Imm Photonics Gmbh | Spektrometer |
JP2014032156A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5042893A (en) | 1990-11-09 | 1991-08-27 | Hewlett-Packard Company | Direct mount coupling to a spectrophotometer |
US6320663B1 (en) | 1999-01-22 | 2001-11-20 | Cymer, Inc. | Method and device for spectral measurements of laser beam |
DE29906678U1 (de) * | 1999-04-15 | 1999-07-29 | Carl Zeiss Jena Gmbh, 07745 Jena | Spektrometer |
JP4372314B2 (ja) * | 2000-06-21 | 2009-11-25 | 大塚電子株式会社 | スペクトル測定装置 |
JP4409860B2 (ja) | 2003-05-28 | 2010-02-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器を用いた分光器 |
JP4627402B2 (ja) | 2003-11-28 | 2011-02-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器を用いた分光器 |
US7728972B2 (en) | 2005-08-08 | 2010-06-01 | Lambda Solutions, Inc. | Linear fiber array mount to a spectrometer |
US7697137B2 (en) | 2006-04-28 | 2010-04-13 | Corning Incorporated | Monolithic Offner spectrometer |
JP5205241B2 (ja) | 2008-05-15 | 2013-06-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 分光モジュール |
RU81320U1 (ru) * | 2008-11-10 | 2009-03-10 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Вмк-Оптоэлектроника" | Спектрометр |
US8387837B2 (en) | 2009-07-14 | 2013-03-05 | Scholle Corporation | Tap |
JP5609611B2 (ja) | 2010-03-11 | 2014-10-22 | 株式会社リコー | 分光特性取得装置、画像評価装置、及び画像形成装置 |
US8339600B2 (en) * | 2010-07-02 | 2012-12-25 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Dual waveband compact catadioptric imaging spectrometer |
JP5484537B2 (ja) * | 2012-09-03 | 2014-05-07 | 大塚電子株式会社 | 分光特性測定装置および分光特性測定方法 |
US10514296B2 (en) * | 2015-07-29 | 2019-12-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Spectrometer including metasurface |
US9863809B2 (en) | 2015-08-31 | 2018-01-09 | Mettler-Toledo Gmbh | Spectrograph |
US11391871B2 (en) | 2017-12-27 | 2022-07-19 | Hitachi High-Tech Corporation | Manufacturing method of concave diffraction grating, concave diffraction grating, and analyzer using the same |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003139611A (ja) * | 2001-11-06 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 分光光度計 |
JP2007509319A (ja) * | 2003-10-17 | 2007-04-12 | アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 多チャネルラマン分光システムおよび方法 |
JP2005156343A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Shimadzu Corp | 分光装置及び分光装置用光学フィルタ |
DE102010015641A1 (de) * | 2010-04-20 | 2011-10-20 | Imm Photonics Gmbh | Spektrometer |
JP2014032156A (ja) * | 2012-08-06 | 2014-02-20 | Hamamatsu Photonics Kk | 分光器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020076649A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 分光光学系、分光計測システム、及び、半導体検査方法 |
JP7245633B2 (ja) | 2018-11-08 | 2023-03-24 | 三星電子株式会社 | 分光光学系、分光計測システム、及び、半導体検査方法 |
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