RU2018110766A - Спектрограф - Google Patents

Спектрограф Download PDF

Info

Publication number
RU2018110766A
RU2018110766A RU2018110766A RU2018110766A RU2018110766A RU 2018110766 A RU2018110766 A RU 2018110766A RU 2018110766 A RU2018110766 A RU 2018110766A RU 2018110766 A RU2018110766 A RU 2018110766A RU 2018110766 A RU2018110766 A RU 2018110766A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
spectrograph
light
hole
paragraphs
group
Prior art date
Application number
RU2018110766A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2715485C2 (ru
RU2018110766A3 (ru
Inventor
Чунь-Хуньг КО
Роберт КОВИЧ
Томаш ПОЛ
Марио КРЕВАТЭН
Original Assignee
Меттлер-Толедо Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Меттлер-Толедо Гмбх filed Critical Меттлер-Толедо Гмбх
Publication of RU2018110766A publication Critical patent/RU2018110766A/ru
Publication of RU2018110766A3 publication Critical patent/RU2018110766A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2715485C2 publication Critical patent/RU2715485C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0229—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using masks, aperture plates, spatial light modulators or spatial filters, e.g. reflective filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0202—Mechanical elements; Supports for optical elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0205—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows
    • G01J3/0218—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers
    • G01J3/0221—Optical elements not provided otherwise, e.g. optical manifolds, diffusers, windows using optical fibers the fibers defining an entry slit
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/0291—Housings; Spectrometer accessories; Spatial arrangement of elements, e.g. folded path arrangements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02—Details
    • G01J3/04—Slit arrangements slit adjustment
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28—Investigating the spectrum
    • G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Claims (18)

1. Спектрограф (100), содержащий: корпус (102), который включает в себя стенку (104), имеющую внутреннюю поверхность, обращенную к внутренней части корпуса, причем стенка включает в себя первое (106), второе (108) и третье отверстия (110), причем стенка включает в себя выступы (122), продолжающиеся внутрь второго отверстия (108); входную щель (112), расположенную в первом отверстии (106) и выполненную с возможностью направления света вдоль первого участка (LP1) пути света во внутренней части корпуса (102); дисперсионный элемент (114), расположенный во втором отверстии (108) и выполненный с возможностью приема света из входной щели (112) вдоль первого участка (LP1) пути света и направления света вдоль второго участка (LP2) пути света во внутренней части корпуса, причем дисперсионный элемент (114) имеет контур (124), имеющий размеры для контактирования с выступами (122), которые продолжаются во второе отверстие (108), причем выступы (122) и контур (124) дисперсионного элемента (114) имеют дополняющие параметры размеров и дополняющие параметры допусков, так что контур (124) дисперсионного элемента (114) контактирует со всеми выступами (122), когда дисперсионный элемент (114) по меньшей мере частично расположен во втором отверстии (108), и так что ориентация дисперсионного элемента (114) относительно входной щели (112) является фиксированной; и детектор (116), расположенный в третьем отверстии (110) и выполненный с возможностью приема света от дисперсионного элемента (114) вдоль второго участка (LP2) пути света.
2. Спектрограф (100) по п. 1, в котором второе отверстие (108) включает в себя внутреннее (2081) и внешнее отверстия (2082), причем внутреннее отверстие (2081) расположено ближе, чем внешнее отверстие (2082), к внутренней части корпуса, причем выступы (122) включают в себя первую группу выступов (122А), продолжающихся внутрь внутреннего отверстия, и вторую группу выступов (122В), продолжающихся внутрь внешнего отверстия.
3. Спектрограф (100) по п. 1 или 2, в котором по меньшей мере одна из первой группы выступов (122А) или второй группы выступов (122В) включает в себя по меньшей мере три выступа.
4. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-3, в котором внутреннее отверстие (2081) и внешнее отверстие (2082) имеют разные диаметры.
5. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-3, в котором детектор (116) включает в себя первую группу светочувствительных областей (118) и вторую группу светочувствительных областей (120); и, дополнительно, содержащий кожух (105), расположенный таким образом, чтобы изолировать первую группу светочувствительных областей (118) от пути света, причем вторая группа светочувствительных областей (120) является открытой для воздействия пути света.
6. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-5, в котором детектор (116) является одним из детектора на основе матрицы устройств с зарядовой связью, детектора на основе линейного устройства с зарядовой связью, детектора на основе матрицы фотодиодов, или детектора на основе комплементарных структур металл-оксид-полупроводник.
7. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-6, в котором светочувствительные области (118) первой группы детектируют свет в первом диапазоне длин волн, а светочувствительные области (120) второй группы детектируют свет во втором диапазоне длин волн, причем первый и второй диапазоны длин волн являются разными.
8. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-6, в котором светочувствительные области (118) первой группы детектируют свет в первом диапазоне длин волн, а светочувствительные области (120) второй группы детектируют свет во втором диапазоне длин волн, причем первый и второй диапазоны длин волн являются неперекрывающимися.
9. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-8, содержащий: фильтр (117), расположенный перед детектором (116) таким образом, что свет, распространяемый вдоль второго участка (LP2) пути света, сначала пройдет через фильтр (117) и затем достигнет детектора (116).
10. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-9, в котором кожух (105) является единым целым со стенкой корпуса (102).
11. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-10, в котором кожух (105) является отдельным от стенки корпуса (102).
12. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-11, в котором входная щель (112) включает в себя клиновидный участок (126), продолжающийся вдоль плоскости, которая расположена под углом относительно внутренней поверхности корпуса (102) у первого отверстия (106); и, причем, клиновидный участок (126) выполнен с возможностью фиксации входной щели (112) в некоторой ориентации относительно первого участка (LP1) пути света и относительно дисперсионного элемента (114).
13. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-12, в котором входная щель (112) включает в себя продольный зазор (113), продолжающийся под углом 90 градусов к клиновидному участку (126).
14. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-13 в комбинации с оптическим волокном (128), которое сконфигурировано таким образом, что свет направляется в спектрограф (100) через оптическое волокно (128), причем это волокно имеет оптическую связь с входной щелью (112).
15. Спектрограф (100) по любому из пп. 1-13, содержащий: винт (130), расположенный напротив клиновидного участка (126) входной щели (112), для фиксации входной щели в заданной ориентации.
16. Спектрограф (100) по п. 15, в котором входная щель (112) включает в себя фланец (132), находящийся на периферии входной щели (112), причем упомянутый клиновидный участок (126) является клиновидным участком фланца.
17. Спектрограф (100) по п. 15 или 16 в комбинации с оптическим волокном (128), которое сконфигурировано таким образом, что свет направляется в спектрограф через упомянутое оптическое волокно, причем фланец (132) включает в себя трубчатый элемент, вмещающий в себя оптическое волокно, имеющее оптическую связь с входной щелью (112).
18. Спектрометр (500), содержащий: спектрограф (100) по любому из пп. 1-17; источник (502) света; область (504) измерения, выполненную с возможностью удерживания образца или держателя образца; первые оптические элементы (506), выполненные с возможностью направления света из источника (502) света в область (504) измерения; вторые оптические элементы (508), выполненные с возможностью направления света из области (504) измерения во входную щель (112) спектрографа (100).
RU2018110766A 2015-08-31 2016-06-14 Спектрограф RU2715485C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US14/840,537 US9863809B2 (en) 2015-08-31 2015-08-31 Spectrograph
US14/840,537 2015-08-31
PCT/EP2016/063606 WO2017036622A1 (en) 2015-08-31 2016-06-14 Spectrograph

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2018110766A true RU2018110766A (ru) 2019-10-02
RU2018110766A3 RU2018110766A3 (ru) 2019-10-02
RU2715485C2 RU2715485C2 (ru) 2020-02-28

Family

ID=56132927

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018110766A RU2715485C2 (ru) 2015-08-31 2016-06-14 Спектрограф

Country Status (9)

Country Link
US (1) US9863809B2 (ru)
EP (1) EP3344960A1 (ru)
JP (2) JP7054671B2 (ru)
KR (1) KR20180048725A (ru)
CN (1) CN107923792B (ru)
AU (1) AU2016314503B2 (ru)
CA (1) CA2996453A1 (ru)
RU (1) RU2715485C2 (ru)
WO (1) WO2017036622A1 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2857810A1 (en) * 2013-10-02 2015-04-08 Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO Monolith spectrometer
US9863809B2 (en) 2015-08-31 2018-01-09 Mettler-Toledo Gmbh Spectrograph
DE102017206066A1 (de) * 2017-04-10 2018-10-11 Anvajo GmbH Spektrometer
CN108254075A (zh) * 2018-01-04 2018-07-06 南京邮电大学 一种微型集成化cmos光纤光谱仪
JP7245633B2 (ja) * 2018-11-08 2023-03-24 三星電子株式会社 分光光学系、分光計測システム、及び、半導体検査方法
CN114739905A (zh) * 2022-04-06 2022-07-12 杭州佰腾电子科技有限公司 一种双光路光谱仪及测色装置与校准方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5042893A (en) 1990-11-09 1991-08-27 Hewlett-Packard Company Direct mount coupling to a spectrophotometer
US6320663B1 (en) 1999-01-22 2001-11-20 Cymer, Inc. Method and device for spectral measurements of laser beam
DE29906678U1 (de) * 1999-04-15 1999-07-29 Zeiss Carl Jena Gmbh Spektrometer
JP4372314B2 (ja) * 2000-06-21 2009-11-25 大塚電子株式会社 スペクトル測定装置
JP2003139611A (ja) 2001-11-06 2003-05-14 Olympus Optical Co Ltd 分光光度計
JP4409860B2 (ja) 2003-05-28 2010-02-03 浜松ホトニクス株式会社 光検出器を用いた分光器
EP1676123A2 (en) 2003-10-17 2006-07-05 Axsun Technologies, Inc. Multi channel raman spectroscopy system and method
JP2005156343A (ja) 2003-11-26 2005-06-16 Shimadzu Corp 分光装置及び分光装置用光学フィルタ
JP4627402B2 (ja) 2003-11-28 2011-02-09 浜松ホトニクス株式会社 光検出器を用いた分光器
US7728972B2 (en) 2005-08-08 2010-06-01 Lambda Solutions, Inc. Linear fiber array mount to a spectrometer
US7697137B2 (en) 2006-04-28 2010-04-13 Corning Incorporated Monolithic Offner spectrometer
JP5205241B2 (ja) 2008-05-15 2013-06-05 浜松ホトニクス株式会社 分光モジュール
RU81320U1 (ru) * 2008-11-10 2009-03-10 Общество С Ограниченной Ответственностью "Вмк-Оптоэлектроника" Спектрометр
US8387837B2 (en) 2009-07-14 2013-03-05 Scholle Corporation Tap
JP5609611B2 (ja) 2010-03-11 2014-10-22 株式会社リコー 分光特性取得装置、画像評価装置、及び画像形成装置
DE102010015641B4 (de) 2010-04-20 2013-02-28 Imm Photonics Gmbh Spektrometer
US8339600B2 (en) * 2010-07-02 2012-12-25 Lawrence Livermore National Security, Llc Dual waveband compact catadioptric imaging spectrometer
JP6068039B2 (ja) 2012-08-06 2017-01-25 浜松ホトニクス株式会社 分光器
JP5484537B2 (ja) * 2012-09-03 2014-05-07 大塚電子株式会社 分光特性測定装置および分光特性測定方法
US10514296B2 (en) * 2015-07-29 2019-12-24 Samsung Electronics Co., Ltd. Spectrometer including metasurface
US9863809B2 (en) 2015-08-31 2018-01-09 Mettler-Toledo Gmbh Spectrograph
US11391871B2 (en) 2017-12-27 2022-07-19 Hitachi High-Tech Corporation Manufacturing method of concave diffraction grating, concave diffraction grating, and analyzer using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP7054671B2 (ja) 2022-04-14
WO2017036622A1 (en) 2017-03-09
JP2022050664A (ja) 2022-03-30
RU2715485C2 (ru) 2020-02-28
CN107923792A (zh) 2018-04-17
US9863809B2 (en) 2018-01-09
CN107923792B (zh) 2020-11-17
JP2018526648A (ja) 2018-09-13
EP3344960A1 (en) 2018-07-11
RU2018110766A3 (ru) 2019-10-02
AU2016314503A1 (en) 2018-02-01
AU2016314503B2 (en) 2021-11-11
US20170059404A1 (en) 2017-03-02
CA2996453A1 (en) 2017-03-09
KR20180048725A (ko) 2018-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2018110766A (ru) Спектрограф
TWM533229U (en) Optical path folding element, imaging lens module and electronic device
UA118684C2 (uk) Оптичний пристрій, пристрій і спосіб для тестування
US9201054B2 (en) Lubricant sensor
JP5956683B2 (ja) 撮像装置
RU2011142621A (ru) Керамический держатель оптики
WO2008118085A3 (en) Optical component for a camera pen
TW200617368A (en) Absorption spectrum photometry microchip testing device and components thereof
WO2020064794A8 (en) Optical cover for detection device
US20130223832A1 (en) System and method for controlling scattered light in a reflective optical filter
TR201819687T4 (tr) Optik Tertibat
JP2015139559A5 (ru)
JPWO2017036622A5 (ru)
KR20120059819A (ko) 광응용 센서 모듈
JP2019015708A5 (ru)
DE502006001563D1 (de) Messeinrichtung zur ramanspektrometrischen, nichtinvasiven glucosebestimmung
EA201600068A1 (ru) Миниатюрная оптическая ячейка на основе светодиодов спектрального диапазона 1600-5000 нм
RU2012135949A (ru) Устройство доплеровского измерителя скорости на основе интерферометра фабри-перо с волоконным вводом излучения
KR20150078199A (ko) 스펙트럼 센서 모듈
US20170052122A1 (en) Detection device
CN106872443A (zh) 具安装插槽的便携式拉曼光谱仪
UA125612U (uk) Дистанційний датчик температури
TWI484244B (zh) 鏡筒及相機模組
RU2012153554A (ru) Устройство спектральной селекции оптического излучения
RU2016137435A (ru) Система оптической связи