JP7420788B2 - コンパクトな分光計及びコンパクトな分光計を含む機器 - Google Patents
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Description
本願は、参照によりその全体が本明細書に援用される、2018年8月10日に出願された「COMPACT SPECTROMETERS AND INSTRUMENTS INCLUDING THEM」と題する米国仮特許出願第62/717,255号の優先権を主張する。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
光学分光計であって、
開口と、
コリメータと、
エシェル格子と、
軸外シュミット望遠鏡と、
検出器と
を備え、
前記コリメータは、前記開口及び前記エシェル格子に光学的に結合され、
前記軸外シュミット望遠鏡は、前記エシェル格子及び前記検出器に光学的に結合され、
前記開口を通って前記分光計に入る光は、前記検出器に向けられ、
前記検出器に入射する光は、紫外線光スペクトル及び可視光スペクトルにわたって空間的に分離される複数の波長を含む、
前記光学分光計。
(項目2)
前記軸外シュミット望遠鏡は、
シュミット補正器と、
分散素子と、
ミラーと
をさらに備える、項目1に記載の光学分光計。
(項目3)
前記ミラーは球面鏡を備える、
項目2に記載の光学分光計。
(項目4)
前記ミラー間に配置された視野平坦化レンズ
をさらに備え、
前記検出器及び前記視野平坦化レンズは、前記ミラーに光学的に結合される、項目2に記載の光学分光計。
(項目5)
前記分散素子はプリズムを備え、
前記シュミット補正器は、前記プリズムの一面上の非球面である、項目2に記載の光学分光計。
(項目6)
前記分散素子はプリズムを備え、
前記シュミット補正器は別個であり、前記プリズムから独立している、項目2に記載の光学分光計。
(項目7)
前記シュミット補正器は反射ミラーである、項目6に記載の光学分光計。
(項目8)
前記検出器は、可視光を検出するように構成される、
項目1に記載の光学分光計。
(項目9)
前記検出器は、紫外線光を検出するように構成される、
項目1に記載の光学分光計。
(項目10)
前記検出器は、赤外光を検出するように構成される、
項目1に記載の光学分光計。
(項目11)
前記プリズムは、ダブルパス反射プリズムである、
項目4に記載の光学分光計。
(項目12)
前記分光計は、誘導結合プラズマ(ICP)システムから光を受光する、項目1に記載の光学分光計。
(項目13)
前記複数の波長は、約167nm~約1200nmのスペクトル範囲にわたって空間的に分離される、項目1に記載の光学分光計。
Claims (13)
- 光学分光計であって、前記光学分光計は、
開口と、
コリメータと、
エシェル格子と、
反射シュミット補正器を備える軸外シュミット望遠鏡と、
検出器と
を備え、
前記コリメータは、前記開口を通って前記光学分光計に入る光が前記コリメータに入射し、かつ、前記コリメータによって反射され、前記コリメータによって反射された光が前記エシェル格子に入射し、かつ、前記エシェル格子によって前記軸外シュミット望遠鏡に向けられるように、前記開口および前記エシェル格子に光学的に結合されており、
前記軸外シュミット望遠鏡は、前記エシェル格子によって向けられた光が前記軸外シュミット望遠鏡に入射し、かつ、前記軸外シュミット望遠鏡によって前記検出器に向けられるように、前記エシェル格子および前記検出器に光学的に結合されており、
前記反射シュミット補正器は、軸外構成を有し、これにより、前記反射シュミット補正器によって反射された光は、前記反射シュミット補正器によって反射された前記光の光学経路を不明瞭化することなく、前記検出器に入射し、
前記検出器に入射する光は、紫外線光スペクトルおよび可視光スペクトルにわたって空間的に分離されている複数の波長を含む、光学分光計。 - 前記軸外シュミット望遠鏡は、
分散素子と、
ミラーと
をさらに備え、
前記分散素子は、前記反射シュミット補正器の前に位置付けられており、前記エシェル格子によって向けられた光は、前記分散素子および前記反射シュミット補正器によって受光され、かつ、前記ミラーに向けられ、前記ミラーは、前記分散素子および前記反射シュミット補正器からの光を前記検出器に反射する、請求項1に記載の光学分光計。 - 前記ミラーは、球面鏡を備える、請求項2に記載の光学分光計。
- 前記光学分光計は、前記ミラーと前記検出器との間に配置されている視野平坦化レンズをさらに備え、
前記検出器および前記視野平坦化レンズは、前記ミラーに光学的に結合されている、請求項2に記載の光学分光計。 - 前記分散素子は、前記反射シュミット補正器の前に位置付けられているプリズムを備え、
前記反射シュミット補正器は、前記プリズムとは別個であり、かつ、前記プリズムから独立している、請求項2に記載の光学分光計。 - 前記反射シュミット補正器は、反射ミラーである、請求項5に記載の光学分光計。
- 前記検出器は、可視光を検出するように構成されている、請求項1に記載の光学分光計。
- 前記検出器は、紫外線光を検出するように構成されている、請求項1に記載の光学分光計。
- 前記検出器は、赤外光を検出するように構成されている、請求項1に記載の光学分光計。
- 前記プリズムは、ダブルパス反射プリズムである、請求項5に記載の光学分光計。
- 前記光学分光計は、誘導結合プラズマ(ICP)システムから光を受光する、請求項1に記載の光学分光計。
- 前記複数の波長は、約167nm~約1200nmのスペクトル範囲にわたって空間的に分離されている、請求項1に記載の光学分光計。
- 前記エシェル格子に入射する光が、スペクトル的に分散され、かつ、前記軸外シュミット望遠鏡に向かって指向されるように、前記軸外シュミット望遠鏡は、前記エシェル格子に直接的に光学的に結合されている、請求項1に記載の光学分光計。
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