JP2018516385A - 基板を平坦化するためのシステム及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、基板を平坦化するシステム及び方法と題する2015年4月13日に出願された米国仮特許出願第62/146,480号の利益を主張すし、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
Claims (20)
- 基板を平坦化する方法であって、
微細加工構造物を有する基板を受け取るステップであって、前記微細加工構造物は前記基板の上部上に配置されており、前記微細加工構造物の少なくとも一部は互いの間でオープンスペースを画定する、ステップと、
前記基板上に充填材料の充填材層を堆積するステップであって、前記充填材層は、前記微細加工構造物間の空間を充填し、少なくとも前記微細加工構造物の一部を覆っており、前記充填材層は、前記充填材層の上部表面位置がz高さにおいて、互いに比較して約1乃至100ナノメートルだけ異なる非平面の上部表面になる、ステップと、
前記充填材層上に発生材化合物を堆積させるステップであって、前記発生材化合物は、化学線曝露を受けることに応答して可溶性変化剤を発生させる化合物である、ステップと、
前記基板上に化学線のパターンを投影するステップであって、化学線の前記パターンは独立してアドレッシング可能な投影ポイントのアレイを有するデジタル画素ベースの投影システムを使用して投影され、前記基板上の所与のポイント位置において発生する前記可溶性変化剤の濃度が前記所与のポイント位置における化学線の曝露強度によって選択的に制御されるように、化学線の前記パターンが発生材化合物に前記可溶性変化剤を発生させる、ステップと、
前記可溶性変化剤が前記充填材層の上部部分の可溶性を変化させるように、前記可溶性変化剤を前記充填材層の少なくとも一部に拡散させるステップと、
を含む方法。 - 現像剤を使用して前記充填材層の可溶性の上部部分を取り除くステップ、
をさらに含む、請求項1記載の方法。 - 前記基板上に化学線の前記パターンを投影するステップは、前記基板にわたる前記充填材層の前記上部表面のz高さ値を空間的に特徴づけるz高さシグネチャに基づいて化学線の前記パターンを投影するステップを含む、
請求項1記載の方法。 - 前記基板上の前記微細加工構造物のトポロジに基づいて前記z高さシグネチャを生成するステップ、
をさらに含む、請求項3に記載の方法。 - 前記発生材化合物を堆積するステップは、光酸発生材を堆積するステップを含み、
化学線の前記パターンを投影するステップは、前記基板上の所与の空間位置における光酸の濃度が前記z高さシグネチャに基づくように、前記光酸発生材に光酸を発生させる、
請求項3記載の方法。 - 前記基板上に化学線の前記パターンを投影するステップは、前記基板上の各投影画素位置における可溶性変化剤の量が各画素位置に投影される化学線の強度に基づくように、前記基板にわたる前記充填材層の上部表面zの高さ値を空間的に特徴づけるz高さシグネチャに基づいて化学線の前記パターンを投影するステップを含む、
請求項1記載の方法。 - 充填材料の前記充填材層を堆積するステップが、現像可能な材料を堆積するステップであって、前記現像可能な材料が所定の濃度閾値を上回る可溶性変化剤の存在に応答する可溶性シフトを有する、ステップを含む、
請求項1記載の方法。 - 充填材料の前記充填材層を堆積するステップは前記充填材料がハードマスク材料を含有することを含む、
請求項7記載の方法。 - 下地層に充填材層パターンを転写するマスクとして前記充填材料を使用するステップをさらに含む、
請求項8記載の方法。 - 前記可溶性変化剤を前記充填材層の少なくとも一部に拡散させるステップは、所定の酸の前記充填材層への拡散を生じる所定の時間及び温度において、前記基板を焼成するステップを含む、
請求項1記載の方法。 - 基板を平坦化する方法であって、
微細加工構造物を有する基板を受け取るステップであって、前記微細加工構造物は前記基板の上部上に配置されており、前記微細加工構造物の少なくとも一部は、互いの間でオープンスペースを画定する、ステップと、
前記基板上に充填材料の充填材層を堆積するステップであって、前記充填材層は、前記微細加工構造物間の空間を充填し、少なくとも前記微細加工構造物の一部を覆っており、前記充填材層は、前記充填材層の上部表面位置がz高さにおいて互いに比較して約1乃至100ナノメートルだけ異なる非平面の上部表面になり、前記充填材層は発生材化合物を含み、前記発生材化合物は化学線の曝露を受けることに応答して可溶性変化剤を発生させる化合物である、ステップと、
前記基板上に化学線のパターンを投影するステップであって、化学線の前記パターンは、独立してアドレッシング可能な投影ポイントのアレイを有するデジタル画素ベースの投影システムを使用して投影され、基板上の所与のポイント位置において発生する前記可溶性変化剤の濃度が前記所与のポイント位置における化学線の曝露強度によって選択的に制御されるように、化学線の前記パターンが発生材化合物に前記可溶性変化剤を発生させる、ステップと、
現像剤を使用して前記充填材層の可溶性の上部部分を取り除くステップと、
を含む方法。 - 前記基板上に化学線の前記パターンを投影するステップは、前記基板にわたる前記充填材層の前記上部表面のz高さ値を空間的に特徴づけるz高さシグネチャに基づいて化学線の前記パターンを投影するステップを含む、
請求項11記載の方法。 - 前記発生材化合物は、前記充填材層がスピンオン堆積により堆積された後、前記充填材層の上部へ移動する移動性ポリマに結合する、
請求項11記載の方法。 - 前記発生材化合物は光酸発生材であり、
化学線の前記パターンを投影するステップは、前記基板上の所与の空間位置における光酸の濃度が前記z高さシグネチャに基づくように、前記光酸発生材に光酸を発生させる、
請求項11記載の方法。 - 前記基板上に化学線の前記パターンを投影するステップは、前記基板上の各投影画素位置における可溶性変化剤の量が各画素位置における化学線の強度に基づくように、前記基板にわたる前記充填材層の上部表面zの高さ値を空間的に特徴づけるz高さシグネチャに基づいて化学線の前記パターンを投影するステップを含む、
請求項11記載の方法。 - 充填材料の前記充填材層を堆積するステップは、現像可能材料を堆積するステップであって、可溶性変化剤が前記充填材層の一部の可溶性をシフトできる、ステップを含み、
充填材料の前記充填材層を堆積するステップは、前記充填材料がハードマスク材料を含有することを含む、
請求項1記載の方法。 - 基板を平坦化する方法であって、
微細加工構造物を有する基板を受け取るステップであって、
前記微細加工構造物は前記基板の上部上に配置されており、前記微細加工構造物の少なくとも一部は、互いの間でオープンスペースを画定し、
前記基板は、前記基板上に堆積した充填材料の充填材層をさらに有し、
前記充填材層は、前記微細加工構造物間の空間を充填し、少なくとも前記微細加工構造物の一部を覆っており、前記充填材層は、前記充填材層の上部表面位置がz高さにおいて、互いに比較して約1乃至100ナノメートルだけ異なる非平面の上部表面になり、
前記基板は、前記基板上に堆積した発生材化合物をさらに有し、
前記発生材化合物は、化学線曝露を受けることに応答して可溶性変化剤を発生させる化合物である、ステップと、
前記基板上に化学線のパターンを投影するステップであって、
化学線の前記パターンは、化学線のパターンを形成するためのレクチルを使用するフォトリソグラフィ投影システムを使用して投影され、化学線の前記パターンは、前記基板にわたる前記充填材層の前記上部表面のz高さ値を空間的に特徴づけるz高さシグネチャに基づき、基板上の所与のポイント位置において発生する前記可溶性変化剤の濃度が前記所与のポイント位置における化学線の曝露強度により制御されるように、化学線の前記パターンが発生材化合物に前記可溶性変化剤を発生させる、ステップと、
を含む方法。 - 前記基板を受け取るステップは、前記充填材層が前記基板上に堆積されたときに前記発生材化合物が前記充填材料の成分として堆積されたものであることを含む、
請求項17記載の方法。 - 前記基板を受け取るステップは、前記発生材化合物が前記充填材層の上部上に堆積されたものであることを含む、
請求項17記載の方法。 - 前記可溶性変化剤が前記充填材層の上部の可溶性を変化させるように、前記可溶性変化剤を前記充填材層の少なくとも一部に拡散させるステップ、
をさらに含む、請求項19記載の方法。
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