JP2018503803A - 少なくとも2つのブリッジを有する磁気抵抗ホイートストンブリッジ及び角度センサ - Google Patents
少なくとも2つのブリッジを有する磁気抵抗ホイートストンブリッジ及び角度センサ Download PDFInfo
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Abstract
Description
12 ホイートストンブリッジの第二実施形態
14 ホイートストンブリッジの第三実施形態
16 ホイートストンブリッジの第四実施形態
18 ホイートストンブリッジの第五実施形態
20 ホイートストンブリッジの第六実施形態
22 ホイートストンブリッジの第七実施形態
24 ホイートストンブリッジの第八実施形態
30 角度センサ
32 チップ基板
34 コンタクトパッド
36 導体トラック
38 磁気抵抗ブリッジ抵抗器
40 正弦ブリッジ
42 余弦ブリッジ
50 トリミング抵抗器
52 上部電極
54 トンネル抵抗器/トンネル素子
56 下部電極
58 絶縁層
60 電極途切れ
100 従来技術のホイートストンブリッジ
102 従来技術のホイートストンブリッジ
Claims (14)
- 磁気抵抗ホイートストンブリッジ(10、12、14、16、18、20、22、24)であって、
供給電圧Vbの間に並列に接続された二つのブリッジブランチを含み、
二つの直列に接続された抵抗器配置R1及びR3またはR2及びR4は、中間測定電位Voutを有し、ブリッジブランチのそれぞれに配置され、
前記二つのブリッジブランチの前記抵抗器配置R1及びR4またはR2及びR3は、対角線方向に対向し、
少なくとも二つの磁気抵抗器配置R1、R2、R3、R4は、磁気感度優先方向を有し、
前記ブリッジブランチR1及びR4またはR2及びR3の対角線方向に対向する磁気抵抗器配置の前記優先方向は、0°または180°以外の角度で互いに異なる、
ことを特徴とするホイートストンブリッジ。 - ブリッジブランチのそれぞれの直列に接続された前記抵抗器配置R1及びR3またはR2及びR4の前記優先方向は、反平行に配向される、
ことを特徴とする請求項1に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記ブリッジブランチにおいて対になり互いに対向して位置する前記抵抗器配置R1及びR2またはR3及びR4の前記優先方向は、反平行に配向される、
ことを特徴とする請求項1に記載のホイートストンブリッジ。 - 抵抗器配置R1、R2、R3、R4のそれぞれの抵抗挙動は、大きさに関して同一である、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記抵抗器配置は、チップ基板上に配置されるAMR抵抗器配置、GMR抵抗器配置、またはTMR抵抗器配置である、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の角度センサ。 - 抵抗器配置R1、R2、R3、R4のそれぞれは、優先方向を有する磁気抵抗器を含み、前記ブリッジブランチR1及びR4またはR2及びR3の対角線方向に対向する抵抗器配置の前記優先方向は、互いに角度αで異なり、特に、α=60°で異なる、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 抵抗器配置R1、R2、R3、R4のそれぞれは、角度α2で、または他の角度で互いに対してオフセットされる優先方向を有する少なくとも二つの磁気抵抗器RX1、RX2を備え、前記ブリッジブランチR1及びR4またはR2及びR3の対角線方向に対向する抵抗器配置の合成優先方向は、角度α1で互いに異なり、好ましくはα1=60°およびα2=30°又はα2=36°である、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記抵抗器配置R1、R2、R3およびR4の大きさに関して同一の抵抗挙動をもたらすために、少なくとも抵抗器配置R1、R2、R3またはR4において、トリミング抵抗器(50)RXTが直列に接続され、これは選択されることが好ましい、
ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記トリミング抵抗器(50)は、特に、TMR抵抗器であり、トリミング抵抗器優先方向を有する磁気抵抗器である、
ことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記トリミング抵抗器優先方向は、前記抵抗器配置の1つの抵抗器の優先方向の方向に配向され得、前記抵抗器配置の合成優先方向の方向に、または前記ホイートストンブリッジ(10、12、14、16、18、20)の全体優先方向の方向に配向され得る、
ことを特徴とする請求項9に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記トリミング抵抗器(50)は、上部電極(52)と下部電極(56)との間に少なくとも二つのトンネル抵抗器(54)の連結を含むことができ、前記トリミング抵抗器(50)は、前記上部電極(52)または前記下部電極(56)の電極途切れ(60)または電極の短絡によって調整可能である、
ことを特徴とする請求項8〜10のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 前記トリミング抵抗器(50)は、特に、複数のトンネル抵抗器(52)の、複数のトリミングサブ抵抗器の直列および/または並列接続を含み、並列ブランチのそれぞれの並列ブランチ数および/または直列抵抗器数は調整可能である、
ことを特徴とする請求項8〜11のいずれか1項に記載のホイートストンブリッジ。 - 角度センサ(30)であって、
第1センサブリッジおよび第2センサブリッジ(40、42)、特に正弦ブリッジ及び余弦ブリッジによって磁場の角度配向を決定するために、請求項1〜12のいずれか1項により、所定の角度、特に90°でオフセットされた少なくとも2つの磁気抵抗ホイートストンブリッジ(10、12、14、16、18、20、22、24)を含む、ことを特徴とする角度センサ。 - 第1センサブリッジ(40)及び第2センサブリッジ(42)の第1ブリッジブランチR1−R3(40−1、42−1)の抵抗器配置RX1、RX2は、チップ基板(32)上に空間的に隣接して配置され、
前記第1センサブリッジ(40)及び前記第2センサブリッジ(42)の第2ブリッジブランチR2−R4(40−2、42−2)の抵抗器配置RX1、RX2は、前記チップ基板(32)上に空間的に隣接して配置され、
前記第1ブリッジブランチR1−R3(40−1、42−1)および前記第2ブリッジブランチR2−R4(40−2、42−2)は、前記チップ基板(32)上で互いに対角線方向に配置される、
ことを特徴とする請求項13に記載の角度センサ。
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